JPH09223586A - 排気制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】露光装置において、放電を利用した光源を有す
る光源ユニツトを複数個用いた場合、各光源を安定して
点灯させることができなかつた。 【解決手段】温度検出手段から送出される温度検知信号
に基づいて、排気手段による排気動作を開始させ、かつ
光源の安定化温度に到達した光源ユニツトに対応した排
気管の排気径路開閉手段を順次開放させると共に、安定
化温度に到達した光源が安定化温度を保持し得るように
排気手段から排気される排気量を排気量調整手段によつ
て調整する。これにより、各光源を過熱させずに個別に
安定化温度まで到達させることができると共に、既に安
定化温度に保持されている光源を過冷却させずに、新た
に安定化温度に到達した光源を安定化温度に保持させる
ことができ、かくして光源ユニツトを複数個用いた場合
でも、簡易な構成で該各光源を安定して点灯させること
のできる排気制御装置を実現し得る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は排気制御装置に関
し、特に放電を利用した光源を有する光源ユニツトを複
数有する露光装置の該各光源ユニツト内の排気を制御す
る排気制御装置に適用して好適なものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えば投影露光装置においては、
光源ユニツト（以下、これをランプハウスと呼ぶ）から
射出された露光光を投影光学系を介してマスクのパター
ン面を照射することにより、マスク上に描画されたパタ
ーンをガラス基板上のフオトレジスト層上に露光するよ
うになされている。この光源ユニツトは、例えば超高圧
水銀ランプを光源として有し、該超高圧水銀ランプを安
定して点灯させるために光源ユニツト内の排気を制御す
る排気制御装置が設けられている。

【０００３】ここでこの種の排気制御装置の一構成例を
図４に示す。この排気制御装置１においては、超高圧水
銀（Ｈｇ）ランプ用の電源２の電源が投入されると、筐
体内に超高圧水銀ランプ（以下、単に水銀ランプと呼
ぶ）３Ａを有するランプハウス３の該水銀ランプ３Ａが
徐々に加熱する。この後、水銀ランプ３Ａの温度が徐々
に上昇して、水銀ランプ３Ａの温度が該水銀ランプ３Ａ
中の水銀が完全に蒸発する温度（以下、これを安定化温
度と呼ぶ）まで到達すると、水銀ランプ３Ａに設けられ
た温度センサ４が、該水銀ランプ３Ａの温度が安定化温
度に到達したことを検出し、温度検知信号Ｓ１を電源２
を介して制御ユニツト５に送出する。

【０００４】制御ユニツト５はこの温度検知信号Ｓ１に
基づいて、排気量調整バルブ６及び排気フアン７にそれ
ぞれ排気量調整信号Ｓ２及び排気動作開始信号Ｓ３を送
出する。排気量調整バルブ６は排気量調整信号Ｓ２に基
づいてバルブ（図示せず）を開け、排気フアン７は排気
動作開始信号Ｓ３に基づいてフアンを回転させて排気動
作を開始する。これにより、ランプハウス３の内部が排
気管８を介して排気され、水銀ランプ３Ａを安定化温度
に保持するようになされている。かくして水銀ランプ３
Ａを安定して点灯させることができる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで最近、パーソ
ナルコンピユータやテレビジヨン等の表示素子として液
晶表示基板が多用されてきていると共に、この液晶表示
基板の大面積化が要求されており、これに伴い投影露光
装置においても露光領域の拡大が望まれている。このよ
うな要望に対応するために、複数のランプハウスを有す
る投影露光装置が提案されている。

【０００６】この投影露光装置においては、複数のラン
プハウスが設けられており、該各ランプハウスから射出
した各露光光をマスク上の異なる領域に照射させ、この
異なる領域の像を各ランプハウスにそれぞれ対応する投
影露光系を介してガラス基板上の投影領域に投影するよ
うになされている。ところがこのような投影露光装置の
各ランプハウス内の排気を制御するためには、上述のよ
うな排気制御装置１を各ランプハウス毎にそれぞれ設け
なければならず、この結果投影露光装置全体の構成が大
型化すると共に複雑化し、コストが上昇するおそれがあ
る。

【０００７】このような問題を解決する１つの方法とし
て、排気制御装置１に複数のランプハウス３を設けると
共に該各ランプハウス３に排気管を設け、各ランプハウ
ス３を各排気管を介して排気量調整バルブ６に接続させ
ることが考えられる。ところが各水銀ランプ３Ａはワツ
ト数などにより安定化温度に到達するまでの時間がそれ
ぞれ異なるため、ある水銀ランプ３Ａが安定化温度に到
達した時点で流量調整バルブ６のバルブを開くと共に排
気フアン７を稼働させて排気を開始すると、安定化温度
に到達していない水銀ランプ３Ａは安定化温度に到達す
る前に冷却されるため水銀ランプ３Ａの点灯が不安定に
なるおそれがあつた。

【０００８】また全ての水銀ランプ３Ａが安定化温度に
到達した時点で、流量調整バルブ６のバルブを開くと共
に排気フアン７を稼働させて排気を開始すると、早く安
定化温度に到達した水銀ランプ３Ａは過熱状態となつて
破損したり、また破損を回避し得ても水銀ランプ３Ａの
寿命が短くなるおそれがあつた。

【０００９】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、放電を利用した光源を有する光源ユニツトを複数個
用いた場合でも、簡易な構成で該各光源を安定して点灯
させることのできる排気制御装置を提案しようとするも
のである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、放電を利用した光源（１２Ｂ、１
３Ｂ、１４Ｂ）を筐体内に有する光源ユニツト（１２、
１３、１４）を複数備えた露光装置における該各光源ユ
ニツト（１２、１３、１４）内の排気を制御する排気制
御装置（１０、３０、４０）において、各光源ユニツト
（１２、１３、１４）に設けられた各排気管（１５、４
１）にそれぞれ設けられ、該各排気管（１５、４１）の
排気径路（１５Ａ、１５Ｂ、１５Ｃ、４１Ａ、４１Ｂ、
４１Ｃ）を開閉する排気径路開閉手段（１６、１７、１
８、４２、４３、４４）と、各排気径路（１５Ａ、１５
Ｂ、１５Ｃ、４１Ａ、４１Ｂ、４１Ｃ）を介して各光源
ユニツト（１２、１３、１４）内を排気する排気手段
（２０）と、該排気手段（２０）から排気される排気量
を調整する排気量調整手段（１６、１７、１８、１９、
２１、３１、３２、４２Ａ、４３Ａ、４４Ａ、４２、４
３、４４、４５）と、各光源（１２Ｂ、１３Ｂ、１４
Ｂ）毎の温度をそれぞれ検出し、各光源（１２Ｂ、１３
Ｂ、１４Ｂ）毎に温度検知信号（Ｓ１２、Ｓ１３、Ｓ１
４）を送出する温度検出手段（１２Ａ、１２Ｂ、１２
Ｃ）と、温度検知信号（Ｓ１２、Ｓ１３、Ｓ１４）に基
づいて、排気手段（２０）により排気動作を開始させ、
かつ光源（１２Ｂ、１３Ｂ、１４Ｂ）の安定化温度に到
達した光源ユニツト（１２、１３、１４）に対応した排
気管（１５、４１）の排気径路開閉手段（１６、１７、
１８、４２、４３、４４）を順次開放させると共に、安
定化温度に到達した光源（１２Ｂ、１３Ｂ、１４Ｂ）が
安定化温度を保持するように排気量調整手段（１６、１
７、１８、１９、２１、３１、３２、４２Ａ、４３Ａ、
４４Ａ、４２、４３、４４、４５）を制御する制御手段
（２１、３１、４５）とを設ける。

【００１１】温度検知信号（Ｓ１２、Ｓ１３、Ｓ１４）
に基づいて、光源（１２Ｂ、１３Ｂ、１４Ｂ）の安定化
温度に到達した光源ユニツト（１２、１３、１４）に対
応した排気径路開閉手段（１６、１７、１８、４２、４
３、４４）を順次開放すると共に、安定化温度に到達し
た光源（１２Ｂ、１３Ｂ、１４Ｂ）の数に応じて、安定
化温度に到達した光源（１２Ｂ、１３Ｂ、１４Ｂ）が安
定化温度を保持し得るように排気手段（２０）から排気
される排気量を調整することで、各光源（１２Ｂ、１３
Ｂ、１４Ｂ）を過熱させずに個別に安定化温度まで到達
させることができると共に、既に安定化温度に保持され
ている光源（１２Ｂ、１３Ｂ、１４Ｂ）を過冷却させず
に、新たに安定化温度に到達した光源（１２Ｂ、１３
Ｂ、１４Ｂ）を安定化温度に保持させることができる。

【００１２】また本発明においては、各光源（１２Ｂ、
１３Ｂ、１４Ｂ）が接続された電源（１１）を有し、各
光源（１２Ｂ、１３Ｂ、１４Ｂ）の電源を数秒間隔で順
次投入するようにしたことにより、必要とする電源（１
１）のパワーを抑制し得ると共に電源投入時の立上がり
電流を抑えることができるので、消費電力の増大を回避
することができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下図面について、本発明の一実
施例を詳述する。

【００１４】（１）第１実施例 図１において、本発明の第１実施例による排気制御装置
１０には、電源１１にそれぞれ接続されたランプハウス
１２、１３及び１４がそれぞれ筐体内に、温度センサ１
２Ａ、１３Ａ及び１４Ａがそれぞれ設けられた 3.5〔k
W〕の水銀ランプ１２Ｂ、１３Ｂ及び１４Ｂが設置され
て構成されている。

【００１５】また各ランプハウス１２、１３及び１４に
は、それぞれ同じ長さ及び径に選定された３つの排気径
路１５Ａ、１５Ｂ及び１５Ｃに分岐した排気管１５の該
排気径路１５Ａ、１５Ｂ及び１５Ｃがそれぞれ取り付け
られている。この排気径路１５Ａ、１５Ｂ及び１５Ｃの
内部にはそれぞれ開閉弁１６Ａ、１７Ａ及び１８Ａを有
するモータダンパ１６、１７及び１８が設けられてお
り、開閉弁１６Ａ、１７Ａ及び１８Ａを開閉することに
よりそれぞれ排気径路１５Ａ、１５Ｂ及び１５Ｃを開閉
し得るようになされている。

【００１６】また排気管１５には排気量調整バルブ１９
が取り付けられており、該排気量調整バルブ１９はバル
ブの開き具合を調整することにより、排気フアン２０か
ら排気される排気量を調整し得るようになされている。
この排気フアン２０は排気量調整バルブ１９に取り付け
られており、フアンを一定の回転数で回転させて排気動
作を行う。かくしてこの排気制御装置１０では、排気フ
アン２０を動作させることにより排気管１５の各排気径
路１５Ａ、１５Ｂ及び１５Ｃを介して各ランプハウス１
２、１３及び１４の内部を排気し得る。

【００１７】温度センサ１２Ａ、１３Ａ及び１４Ａはそ
れぞれ水銀ランプ１２Ｂ、１３Ｂ及び１４Ｂの温度を検
出し、該水銀ランプ１２Ｂ、１３Ｂ及び１４Ｂの温度が
安定化温度に到達すると、電源１１を介して制御ユニツ
ト２１にそれぞれ温度検知信号Ｓ１２、Ｓ１３及びＳ１
４を送出する。

【００１８】制御ユニツト２１は温度検知信号Ｓ１２、
Ｓ１３又はＳ１４を受けると、排気フアン２０に排気動
作開始信号Ｓ１５を送出する。さらに受けた温度検知信
号Ｓ１２、Ｓ１３又はＳ１４に基づいて、該温度検知信
号Ｓ１２、Ｓ１３又はＳ１４を送出した温度センサ１２
Ａ、１３Ａ又は１４Ａを有するランプハウス１２、１３
又は１４にそれぞれ対応した排気径路１５Ａ、１５Ｂ又
は１５Ｃ内のモータダンパ１６、１７又は１８に弁開放
信号Ｓ１６、Ｓ１７又はＳ１８を送出する。また制御ユ
ニツト２１は各温度センサ１２Ａ、１３Ａ又１４Ａから
温度検知信号Ｓ１２、Ｓ１３又はＳ１４を受ける毎に、
安定化温度に到達した水銀ランプの数に合わせて、排気
量調整バルブ１９のバルブの開き具合を調整するための
排気量調整信号Ｓ１９を送出する。

【００１９】排気フアン２０は排気動作開始信号Ｓ１５
に基づいて排気動作を開始する。モータダンパ１６、１
７及び１８はそれぞれ弁開放信号Ｓ１６、Ｓ１７及びＳ
１８を受けると、それぞれ開閉弁１６Ａ、１７Ａ及び１
８Ａを開放する。排気量調整バルブ１９は、制御ユニツ
ト２１から受けた排気量調整信号Ｓ１９の数（すなわち
安定化温度に到達した水銀ランプの数）に応じて、安定
化温度に到達した水銀ランプ１２Ｂ及び又は１３Ｂ及び
又は１４Ｂが安定化温度を保持し得るようにバルブの開
き具合を調整して排気フアン２０から排気される排気量
を調整する。

【００２０】ここで排気フアン２０は、全ての水銀ラン
プ１２Ｂ、１３Ｂ及び１４Ｂが安定化温度に到達した
際、少なくとも各水銀ランプ１２Ｂ、１３Ｂ及び１４Ｂ
の温度を安定化温度に保持し得るような排気量を排気す
るようになされている。

【００２１】かくしてこの排気制御装置１０は、モータ
ダンパ１６、１７及び１８の開閉弁１６Ａ、１７Ａ及び
１８Ａを開閉させることにより各ランプハウス１２、１
３及び１４内の排気を個別に管理し得る。また、安定化
温度に到達した水銀ランプの数に応じて排気フアン２０
から排気される排気量を、安定化温度に到達した水銀ラ
ンプ１２Ｂ及び又は１３Ｂ及び又は１４Ｂが該安定化温
度を保持し得るように排気量調整バルブ１９によつて調
整し得る。

【００２２】以上の構成において、この排気制御装置１
０では、水銀ランプ１２Ｂ、１３Ｂ、１４Ｂの順に数秒
間隔で電源を投入する。これにより水銀ランプ１２Ｂ、
１３Ｂ及び１４Ｂの温度は徐々に上昇し、水銀ランプ１
２Ｂが安定化温度に到達すると（電源投入後５分程
度）、温度検知信号Ｓ１２が電源１１を介して制御ユニ
ツト２１に送出される。

【００２３】制御ユニツト２１はこの温度検知信号Ｓ１
２を受けると、モータダンパ１６、排気量調整バルブ１
９及び排気フアン２０にそれぞれ弁開放信号Ｓ１６、排
気量調整信号Ｓ１９及び排気動作開始信号Ｓ１５を送出
する。これによりモータダンパ１６の開閉弁１６Ａが開
放されると共に排気フアン２０により排気動作が開始さ
れ、排気径路１５Ａを介してランプハウス１２の内部が
排気される。この場合、制御ユニツト２１は、ランプハ
ウス１２の水銀ランプ１２Ｂの温度が安定化温度を保持
し得るように排気量調整バルブ１９のバルブの開き具合
を調整する。

【００２４】従つて安定化温度に到達した水銀ランプ１
２Ｂを有するランプハウス１２に対応した排気径路１５
Ａのモータダンパ１６の開放弁１６Ａだけを開放させる
と共に、水銀ランプ１２Ｂが安定化温度を保持し得るよ
うに排気フアン２０から排気される排気量を排気量調整
バルブ１９によつて調整したので、水銀ランプ１２Ｂを
過熱させずに該水銀ランプ１２Ｂを安定化温度に到達さ
せることができる。

【００２５】続いてランプハウス１３内の水銀ランプ１
３Ｂが安定化温度に到達すると、温度センサ１３Ａから
温度検知信号Ｓ１３が電源１１を介して制御ユニツト２
１に送出される。制御ユニツト２１はこの温度検知信号
Ｓ１３を受けると、モータダンパ１７及び排気量調整バ
ルブ１９にそれぞれ弁開放信号Ｓ１７及び排気量調整信
号Ｓ１９を送出する。これによりモータダンパ１７の開
閉弁１７Ｂが開放されて排気径路１５Ｂを介してランプ
ハウス１３の内部が排気される。この場合、制御ユニツ
ト２１は、ランプハウス１２及び１３内の水銀ランプ１
２Ｂ及び１３Ｂがそれぞれ安定化温度を保持し得るよう
に排気量調整バルブ１９のバルブの開き具合を調整す
る。

【００２６】従つて安定化温度に到達した水銀ランプ１
３Ｂを有するランプハウス１３に対応した排気径路１５
Ｂのモータダンパ１７の開放弁１７Ａを開放させると共
に、水銀ランプ１２Ｂ及び１３Ｂが安定化温度を保持し
得るように排気フアン２０から排気される排気量を排気
量調整バルブ１９によつて調整したので、水銀ランプ１
３Ｂを過熱させずに該水銀ランプ１３Ｂを安定化温度に
到達させることができると共に、既に安定化温度に保持
されている水銀ランプ１２Ｂを過冷却させずに、水銀ラ
ンプ１３Ｂを安定化温度に保持させることができる。

【００２７】続いてランプハウス１４内の水銀ランプ１
４Ｂが安定化温度に到達すると、温度センサ１４Ａから
温度検知信号Ｓ１４が電源１１を介して制御ユニツト２
１に送出される。制御ユニツト２１はこの温度検知信号
Ｓ１４を受けると、モータダンパ１８及び排気量調整バ
ルブ１９にそれぞれ弁開放信号Ｓ１８及び排気量調整信
号Ｓ１９を送出する。これによりモータダンパ１８の開
閉弁１８Ｂが開放されて排気径路１５Ｃを介してランプ
ハウス１４の内部が排気される。この場合、制御ユニツ
ト２１は、ランプハウス１２、１３及び１４内の水銀ラ
ンプ１２Ｂ、１３Ｂ及び１４Ｂがそれぞれ安定化温度を
保持し得るように排気量調整バルブ１９のバルブの開き
具合を調整する。

【００２８】従つて安定化温度に到達した水銀ランプ１
４Ｂを有するランプハウス１４に対応した排気径路１５
Ｃのモータダンパ１８の開放弁１８Ａを開放させると共
に、水銀ランプ１２Ｂ、１３Ｂ及び１４Ｂが安定化温度
を保持し得るように排気フアン２０から排気される排気
量を排気量調整バルブ１９によつて調整した。このた
め、水銀ランプ１４Ｂを過熱させずに該水銀ランプ１４
Ｂを安定化温度に到達させることができる。また、既に
安定化温度に保持されている水銀ランプ１２Ｂ及び１３
Ｂを過冷却させずに、水銀ランプ１４Ｂを安定化温度に
保持させることができる。

【００２９】かくしてこの排気制御装置１０では、簡易
な構成で各水銀ランプ１２Ｂ、１３Ｂ及び１４Ｂを過熱
させずに個別に安定化温度まで到達させることができる
と共に、既に安定化温度に保持されている水銀ランプを
過冷却させずに、新たに安定化温度に到達した水銀ラン
プを安定化温度に保持させることができる。またこの排
気制御装置１０では、水銀ランプ１２Ｂ、１３Ｂ及び１
４Ｂの電源を数秒間隔で順次投入したことにより、必要
とする電源１１のパワーを抑制し得ると共に電源投入時
の立上がり電流を抑えることができるので、消費電力の
増大を回避することができる。

【００３０】以上の構成によれば、各ランプハウス１
２、１３及び１４に対応する排気径路１５Ａ、１５Ｂ及
び１５Ｃ内に開放弁１６Ａ、１７Ａ及び１８Ａをそれぞ
れ有するモータダンパ１６、１７及び１８を設けると共
に、安定化温度に到達した水銀ランプの数に応じて排気
フアン２０から排気される排気量を排気量調整バルブ１
９によつて調整するようにした。このことにより、各水
銀ランプ１２Ｂ、１３Ｂ及び１４Ｂを過熱させずに個別
に安定化温度まで到達させることができると共に、既に
安定化温度に保持されている水銀ランプを過冷却させず
に、新たに安定化温度に到達した水銀ランプを安定化温
度に保持させることができる。かくして複数のランプハ
ウス１２、１３及び１４を用いた場合でも、簡易な構成
で該各水銀ランプ１２Ｂ、１３Ｂ及び１４Ｂをそれぞれ
安定して点灯させることのできる排気制御装置を実現す
ることができる。

【００３１】（２）第２実施例 図１との対応部分に同一符号を付して示す図２におい
て、第２実施例による排気制御装置３０においては、排
気管１５に排気フアン２０が直接接続されている共に、
制御ユニツト３１と排気フアン２０との間に、該排気フ
アン２０のフアンの回転数を制御するインバータ３２が
接続されている。

【００３２】制御ユニツト３１はランプハウス１２、１
３又は１４の温度センサ１２Ａ、１３Ａ又は１４Ａから
温度検知信号Ｓ１２、Ｓ１３又はＳ１４を受ける毎に、
安定化温度に到達した水銀ランプの数に合わせて排気フ
アン２０のフアンの回転数が設定されるようにインバー
タ３２の周波数を制御する周波数制御信号Ｓ３１をイン
バータ３２に送出する。インバータ３２はこの周波数制
御信号Ｓ３１に応じた回転数制御信号Ｓ３２を排気フア
ン２０に送出し、排気フアン２０はこの回転数制御信号
Ｓ３２に応じた回転数でフアンを回転させて排気動作を
行うようになされている。

【００３３】以上の構成において、この排気制御装置３
０では、水銀ランプ１２Ｂ、１３Ｂ、１４Ｂの順で数秒
間隔で電源１１を投入した後、水銀ランプ１２Ｂが安定
化温度に到達すると、制御ユニツト３１は、温度検知信
号Ｓ１２に基づいて、モータダンパ１６に弁開放信号Ｓ
１６を送出する。そして、水銀ランプ１２Ｂの温度が安
定化温度を保持し得るような回転数で排気フアン２０の
フアンを回転させるように、インバータ３２の周波数を
制御する周波数制御信号Ｓ３１をインバータ３２に送出
するので、ランプハウス１２の内部は水銀ランプ１２Ｂ
が安定化温度を保持し得るように排気フアン２０によつ
て排気される。

【００３４】続いて水銀ランプ１３Ｂが安定化温度に到
達すると、制御ユニツト３１は、温度検知信号Ｓ１３に
基づいて、モータダンパ１７に弁開放信号Ｓ１７を送出
すると共に、水銀ランプ１２Ｂ及び１３Ｂが安定化温度
を保持し得るような回転数で排気フアン２０のフアンを
回転させるようにインバータ３２の周波数を制御する周
波数制御信号Ｓ３１をインバータ３２に送出する。その
ためランプハウス１２及び１３の内部はそれぞれ水銀ラ
ンプ１２Ｂ及び１３Ｂが安定化温度を保持し得るように
排気フアン２０によつて排気される。

【００３５】同様に水銀ランプ１４Ｂが安定化温度に到
達すると、制御ユニツト３１は、温度検知信号Ｓ１４に
基づいて、モータダンパ１８に弁開放信号Ｓ１８を送出
すると共に、水銀ランプ１２Ｂ、１３Ｂ及び１４Ｂが安
定化温度を保持し得るような回転数で排気フアン２０の
フアンを回転させるようにインバータ３２の周波数を制
御する周波数制御信号Ｓ３１をインバータ３２に送出す
る。従つてランプハウス１２、１３及び１４の内部はそ
れぞれ水銀ランプ１２Ｂ、１３Ｂ及び１４Ｂが安定化温
度を保持し得るように排気フアン２０によつて排気され
る。

【００３６】従つてこの排気制御装置３０では、各水銀
ランプ１２Ｂ、１３Ｂ及び１４Ｂの温度を過熱させずに
個別に安定化温度まで到達させることができると共に、
既に安定化温度に保持されている水銀ランプを過冷却さ
せずに、新たに安定化温度に到達した水銀ランプを安定
化温度に保持させることができる。

【００３７】以上の構成によれば、各ランプハウス１
２、１３及び１４に対応する排気径路１５Ａ、１５Ｂ及
び１５Ｃ内に開放弁１６Ａ、１７Ａ及び１８Ａをそれぞ
れ有するモータダンパ１６、１７及び１８を設けると共
に、安定化温度に到達した水銀ランプの数に応じて排気
フアン２０の回転周波数を調整することによつて排気フ
アン２０から排気される排気量を調整する。このことに
より、各水銀ランプ１２Ｂ、１３Ｂ及び１４Ｂを過熱さ
せずに個別に安定化温度まで到達させることができると
共に、既に安定化温度に保持されている水銀ランプを過
冷却させずに、新たに安定化温度に到達した水銀ランプ
を安定化温度に保持させることができる。かくして複数
のランプハウス１２、１３及び１４を用いた場合でも、
簡易な構成で該各水銀ランプ１２Ｂ、１３Ｂ及び１４Ｂ
をそれぞれ安定して点灯させることのできる排気制御装
置を実現し得る。

【００３８】（３）他の実施例 なお上述の第１及び第２実施例においては、排気手段か
ら排気される排気量を調整する排気量調整手段として排
気量調整バルブ１９及びインバータ３２を用いた場合に
ついて述べたが、本発明はこれに限らず、図１との対応
部分に同一符号を付して図３に示す排気制御装置４０の
ように構成しても上述の実施例と同様の効果を得ること
ができる。

【００３９】この排気制御装置４０の場合、排気管４１
の排気径路４１Ａ、４１Ｂ及び４１Ｃの一部には所定の
大きさでなる開口部４２Ａ、４３Ａ及び４４Ａがそれぞ
れ設けられていると共に、各排気径路４１Ａ、４１Ｂ及
び４１Ｃは、水銀ランプ１２Ｂ、１３Ｂ及び１４Ｂが順
に安定化温度に到達した際に各水銀ランプ１２Ｂ、１３
Ｂ及び１４Ｂが安定化温度を保持し得るように長さ及び
径が選定されている。

【００４０】また排気径路４１Ａ、４１Ｂ及び４１Ｃに
は、開口部４２Ａ、４３Ａ及び４４Ａを開けたり又は塞
ぐようになされたモータダンパ４２、４３及び４４を設
けており、これらモータダンパ４２、４３及び４４は制
御ユニツト４５から送出される制御信号Ｓ４２、Ｓ４３
及びＳ４４によつて開閉が制御される。また排気フアン
２０のフアンは一定の回転数で回転するようになされて
いる。

【００４１】実際上、水銀ランプ１２Ｂが安定化温度に
到達した場合、モータダンパ４２によつて開口部４２Ａ
が塞がれると共に排気径路４１Ａが開放される。このと
き排気径路４１Ａにおける排気流量は、その径及び長さ
によつて水銀ランプ１２Ｂを安定化温度に保持し得る排
気流量となる。続いて水銀ランプ１３Ｂが安定化温度に
到達すると、モータダンパ４３によつて開口部４３Ａが
塞がれると共に排気径路４１Ｂが開放される。このとき
排気径路４１Ａ及び４１Ｂにおける排気流量は、これら
の径及び長さによつて水銀ランプ１２Ｂ及び１３Ｂを安
定化温度に保持し得る排気流量とする。以下、水銀ラン
プ１４Ｂが安定化温度に到達した場合でも同様である。

【００４２】また上述の第１及び第２実施例において
は、安定化温度に到達した水銀ランプの数に応じて排気
量調整バルブ１９のバルブの開き具合及びインバータ３
２の周波数を調整することにより、排気フアン２０から
排気される排気量を調整した場合について述べたが、本
発明はこれに限らず、要は各水銀ランプ１２Ｂ、１３Ｂ
及び１４Ｂを過熱させずに個別に安定化温度に到達させ
ると共に、既に安定化温度に保持されている水銀ランプ
を過冷却させずに、新たに安定化温度に到達した水銀ラ
ンプを安定化温度に保持させることができるように排気
フアン２０から排気される排気量を調整できればよい。

【００４３】さらに上述の第１及び第２実施例において
は、排気径路１５Ａ、１５Ｂ及び１５Ｃの長さ及び径を
同じ長さに選定した場合について述べたが、本発明はこ
れに限らず、排気径路１５Ａ、１５Ｂ及び１５Ｃの長さ
及び径をそれぞれ異なる長さ及び径に選定してもよい。
さらに上述の実施例においては、 3.5〔kW〕の水銀ラン
プ１２Ｂ、１３Ｂ及び１４Ｂを用いた場合について述べ
たが、本発明はこれに限らず、 4.5〔kW〕の水銀ランプ
等必要に応じてワツト数を変更してもよく、また各水銀
ランプ１２Ｂ、１３Ｂ及び１４Ｂとしてそれぞれ異なる
ワツト数の水銀ランプを用いてもよい。この場合は、ワ
ツト数に応じて、排気経路の長さ及び径を選定すること
が望ましい。さらに上述の実施例においては、３つの水
銀ランプ１２Ｂ、１３Ｂ及び１４Ｂを用いた場合につい
て述べたが、本発明はこれに限らず、２つ又は４つ以上
の水銀ランプを用いても上述の実施例と同様の効果を得
ることができる。

【００４４】さらに上述の実施例においては、水銀ラン
プ１２Ｂ、１３Ｂ及び１４Ｂがそれぞれ安定化温度に到
達したとき、温度センサ１２Ａ、１３Ａ及び１４Ａから
それぞれ温度検知信号Ｓ１２、Ｓ１３及びＳ１４を制御
ユニツト２１、３１及び４５に送出した場合について述
べたが、本発明はこれに限らず、温度センサ１２Ａ、１
３Ａ及び１４Ａから常に制御ユニツト２１、３１、４５
に温度検知信号を送出するようにしてもよい。この場
合、制御ユニツト２１、３１及び４５は受けた温度検知
信号に基づいて、水銀ランプが安定化温度に到達したか
否かを判断するようにする。

【００４５】さらに上述の実施例においては、放電を利
用した光源として水銀ランプ１２Ｂ、１３Ｂ及び１４Ｂ
を用いた場合について述べたが、本発明はこれに限ら
ず、露光光として利用し得れば、放電を利用した光源と
してこの他種々の光源を適用し得る。さらに上述の実施
例においては、各光源ユニツトに設けられた各排気間に
それぞれ設けられ、該各排気管の排気径路を開閉する排
気径路開閉手段として、モータダンパ１６、１７及び１
８、モータダンパ４２、４３及び４４を用いた場合につ
いて述べたが、本発明はこれに限らず、排気径路開閉手
段としてこの他種々の排気径路開閉手段を適用し得る。
さらに上述の実施例においては、各光源の電源を数秒間
隔で順次投入するようにした場合について述べたが、本
発明はこれに限らず、各光源の電源を同時に投入するよ
うにしてもよい。

【００４６】

【発明の効果】上述のように本発明によれば、温度検出
手段から送出される温度検知信号に基づいて、排気手段
による排気動作を開始させ、かつ光源の安定化温度に到
達した光源ユニツトに対応した排気径路開閉手段を順次
開放させると共に、安定化温度に到達した光源がそれぞ
れ安定化温度を保持するように、排気手段から排気され
る排気量を排気量調整手段によつて調整することによ
り、各光源を過熱させずに個別に該各光源を安定化温度
まで到達させることができると共に、既に安定化温度に
保持されている光源を過冷却させずに、新たに安定化温
度に到達した光源を安定化温度に保持させることがで
き、かくして放電を利用した光源を有する光源ユニツト
を複数個用いた場合でも、簡易な構成で各光源を安定し
て点灯させることのできる排気制御装置を実現し得る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例による排気制御装置の構成
を示すブロツク図である。

【図２】本発明の第２実施例による排気制御装置の構成
を示すブロツク図である。

【図３】他の実施例による排気制御装置の構成を示すブ
ロツク図である。

【図４】従来の排気制御装置の構成を示すブロツク図で
ある。

【符号の説明】

１０、３０、４０……排気制御装置、１１……電源、１
２、１３、１４……ランプハウス、１２Ａ、１３Ａ、１
４Ａ……温度センサ、１２Ｂ、１３Ｂ、１４Ｂ……水銀
ランプ、１５、４１……排気管、１５Ａ、１５Ｂ、１５
Ｃ、４１Ａ、４１Ｂ、４１Ｃ……排気径路、１６、１
７、１８、４２、４３、４４……モータダンパ、１９…
…排気量調整バルブ、２０……排気フアン、２１、３
１、４５……制御ユニツト、３２……インバータ、４２
Ａ、４３Ａ、４４Ａ……開口部。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】放電を利用した光源を筐体内に有する光源
   ユニツトを複数備えた露光装置における該各光源ユニツ
   ト内の排気を制御する排気制御装置において、 各前記光源ユニツトに設けられた各排気管にそれぞれ設
   けられ、該各排気管の排気径路を開閉する排気径路開閉
   手段と、 各前記排気径路を介して各前記光源ユニツト内を排気す
   る排気手段と、 該排気手段から排気される排気量を調整する排気量調整
   手段と、 各前記光源毎の温度をそれぞれ検出し、各前記光源毎に
   温度検知信号を送出する温度検出手段と、 前記温度検知信号に基づいて、前記排気手段により排気
   動作を開始させ、かつ前記光源の安定化温度に到達した
   前記光源ユニツトに対応した前記排気管の前記排気径路
   開閉手段を順次開放させると共に、前記安定化温度に到
   達した前記光源が前記安定化温度を保持するように前記
   排気量調整手段を制御する制御手段とを具えることを特
   徴とする排気制御装置。
2. 【請求項２】各前記光源が接続された電源を具え、各前
   記光源の電源を数秒間隔で順次投入するようにしたこと
   を特徴とする請求項１に記載の排気制御装置。