JPH09160030A - 液晶表示装置 - Google Patents
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- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
て、各色の輝度やコントラストをそろえた構成を提供す
る。 【構成】 RGBの各像を光学変調する液晶パネル10
1〜103を備えた投影型の液晶表示装置において、各
液晶パネル101〜103の基板間隔を適時設定し、各
液晶パネルからの像の輝度やコントラストを調整し、そ
れらをそろえるようにする。
Description
ー表示を行うことができるアクティブマトリクス型の液
晶表示装置に関する。
かつコンパクトな表示装置としてコンピュータ、電卓、
時計など幅広い分野で使用されている。液晶表示装置
は、液晶材料の外場(電場、熱等)の印加に対する液晶
分子の配向状態の変化や相転移により、液晶材料の光学
的性質(干渉、散乱、回折、旋光、吸収等)が変化する
ことを動作原理としている。
は、少なくとも一方が透光性を有し、間隔が1乃至数1
0μmに保たれた2枚の基板の間に液晶材料を挟み(以
下これを液晶パネルと言う)、前記2枚の基板の両方又
はいずれか一方に形成された電極により液晶材料に電界
を印加して液晶分子の配向状態を基板面内の画素毎に制
御し、液晶パネルを透過する光量を制御する事で画像表
示を行うものである。この時、上記のいずれの光学的性
質を利用するかによって、例えば液晶パネルの外側に偏
光板を設ける等、動作モードに応じた構成とする。
は、TN(ツイステッド・ネマチック)型またはSTN
(スーパー・ツイステッド・ネマチック)型というもの
で、これらはそれぞれ液晶材料の旋光性、複屈折光の干
渉といった光学的性質を利用しており、いずれも偏光板
を設ける必要がある。
る場合、数多くの画素を同時に動作制御するために、種
々の方法が提案されている。この中でアクティブマトリ
クス駆動が高画質、高密度の表示が可能な方法として、
広く用いられている。これは各画素に非線型能動素子
(ダイオード、トランジスタ等)を配置し、各画素を電
気的に独立した関係になるようにし、余分な信号の干渉
を排除し高画質を実現することを目的とするものであ
る。この方法によれば各画素は電気的スイッチが接続さ
れたコンデンサとして見ることができる。従って必要に
応じてスイッチをON/OFFさせることで画素に電荷
を注入/流出させることができる。さらにスイッチをO
FFにすれば画素に電荷を保持されるためメモリー性を
付与することが可能となる。
ラー表示を行う場合、混色の原理を用いた方法が現在最
も広く用いられている。混色には一般に減法混色と加法
混色がありそれぞれシアン、マゼンダ、黄色及び赤、
青、緑の三原色を用いればフルカラー表示が可能にな
る。カラーLCDにおいては印加電圧によって三原色の
色の強度を変化させて表示カラーを制御することにな
る。
て、液晶表示装置内にRGBのマイクロカラーフィルタ
ーを設けたり、RGB三種のパネルを用意して、色分離
を行い、表現したい画像に応じて液晶パネルにより光変
調し、再び色合成を行うなどの方法で行う。この点に関
しては液晶パネルの使用方法に依存するところが大き
く、直視型の液晶表示装置の場合、マイクロカラーフィ
ルターを用いる場合が多く、投射型ではRGB三種のパ
ネルを用意して色表示を行う場合が多い。
ている方式としては、ダイクロイックプリズム式液晶プ
ロジェクタがある。これは光源の白色光をRGB成分に
分離する光学系をダイクロイックミラーで形成し、それ
ぞれRGB単色の液晶表示画像をダイクロイックプリズ
ムで合成して投射レンズでスクリーンに拡大投影するも
のである。この方式は色合成光学系がプリズム1個で構
成されるのでコンパクト、調整が容易で投射レンズのバ
ックフォーカスが短くできて有利である。
離、色合成の両方をダイクロイックミラーで構成し、同
様にRGB単色の液晶表示画像を投射レンズでスクリー
ンに拡大投影するものである。ダイクロイックミラーは
生産性コスト等の点で量産化に向いている。一方で全体
寸法が大きくなる、投射レンズのバックフォーカスが長
くなる等の欠点がある。しかし、現在実用化されている
ものはこの形式が多い。
で単板式の投射型ディスプレイが提案されている。この
方式は1枚の液晶パネルとRGB3枚のダイクロイック
ミラーを組み合わせたものであり、小型で低価格の液晶
ディスプレイとなっている。
妙な色表示を行うためには各三原色の輝度の制御を正確
に行う必要がある。一方で装置の低価格化のためには駆
動系が簡略なものでなければならない。しかしながら従
来の液晶表示装置では赤、緑、青表示を行うと各色で透
過率やコントラストが異なる現象が生じており、この補
正のために駆動回路が複雑になり、高価格化、装置の大
型化を引き起こしていた。
み、投影型の液晶表示装置において、いかなる色を表示
しても均一な透過率及びコントラストの表示を複雑な駆
動方法に依らず容易に行い、もって高画質の表示が可能
な液晶表示装置を提供することを目的とする。
め、本発明は透光性を有する第一の絶縁基板と、該基板
に対向する第二の絶縁基板と、前記第一の基板と第二の
基板間に挟持された液晶材料を少なくとも有する液晶表
示装置において、赤、緑、青に対応する画素の基板間隔
が異なることを特徴とする。
るのに最適な液晶層の厚さがあることに着目し、RGB
の各液晶パネルの間隔を異なるものとし、最終的に投影
される各色の画像の輝度やコントラストをそろえること
を特徴とする。
の補正や、ダイクロイックミラーを用いる場合のバラン
スの補正を行うこともできる。
同一の基板を用いてRGBの液晶パネルを集積化して構
成を利用することは有用である。
制御回路を各液晶パネルにおいて共通化することができ
るので、全体の構成を簡略化することができ、また装置
自体を小型化することができるという有用性がある。
部に対応する領域に形成される絶縁膜の厚さを調整し、
各液晶パネル部の液晶層の厚さを適時設定する構成とす
ればよい。
一例を図1に示す。図1に示すのは、3枚の液晶パネル
を用いて、3つの独立した光学系から個別に投影面にR
GBの像を投影し、そこでカラー像を合成する機能を有
した投影装置である。
02、103)はそれぞれR(赤)、B(青)、G
(緑)用の液晶パネル、(104、105、106)は
補正レンズ、(107、108、109)はフレネルレ
ンズ、(110〜115)は集光のためのレンズ、(1
16、117)R、B用のダイクロイックミラー、(1
18)は反射板(全反射)、(119)はコールドミラ
ー、(120)はメタルハライドランプ、(121)は
UV・IRカットミラーである。
ら見た様子を示す。
示した。(201、202)は基板、(203、20
4)は電極、(205)は配向膜、(206)はスペー
サー、(207)はシール剤、(208)は液晶材料で
ある。
し、かつ外力に対しある程度の強度を有する材料、例え
ばガラス、石英などの無機材料などが用いられる。基板
上にTFTを形成する場合、無アルカリガラスや石英基
板を用いる。また液晶パネルの軽量化を目的とする場
合、複屈折性の少ないフィルム、例えばPES(ポリエ
チレンサルフェート)などを用いることもできる。
プレックス方式でもアクティブマトリクス方式でもよ
い。マルチプレックス方式では第一の基板上に形成する
のは表示用電極、基準電極の2種だけでよいが、アクテ
ィブマトリクス方式の場合、このほかにスイッチング素
子として非線型素子、例えば薄膜トランジスタ(TF
T)やダイオードを各画素毎に形成する。TFTとして
は活性層にアモルファスシリコンまたはポリ(多結晶)
シリコンを用いたトランジスタを用いることができる。
路を薄膜トランジスタで構成し、基板上に集積化してし
まう構成がある。この構成は、基板上に画素領域と周辺
回路領域とを集積化した一体構造として得られるので、
液晶パネルをより利用しやすいものとすることができ
る。
い部分にブラックマトリクスを形成する。前記ブラック
マトリクスとして、Cr等の金属や、液晶表示装置の内
部での乱反射によるコントラスト低下を防止する為、透
明な物質中に黒色の物質が分散しているものを用いるこ
とができる。特に、透明な物質としてはガラス、石英な
どの無機材料や、樹脂などの有機材料を使用することが
できるが、作製の容易さの点で樹脂材料を用いるのがよ
い。樹脂材料はアクリル系材料などを用いることができ
る。また、黒色性の物質としてはカーボンブラック、ま
たは顔料などを用いることができる。
コレステリック、スメクチック性を示す材料を用いるこ
とができる。
は、配向処理面もしくはTFT、透明電極などが形成さ
れた面を向かい合わせるようにして配置され、前記対向
する基板間に液晶材料が挟まれる。前記一対の基板に
は、基板間隔が一定になるようにスペーサーなどが散布
される。使用するスペーサーは1〜10μmの直径を有
する。前記一対の基板はエポキシ系の接着剤などで固定
される。接着剤のパターンは画素領域および周辺駆動回
路領域が内側になるように基板の外周に形成される。
せる。
る。Δnは液晶材料の屈折率異方性、dはセル厚、λは
光の波長である。数1が0になるときの条件として、u
=4m−1(mは整数)である必要がある。またTは波
長及びセル厚に依存することが分かる。従って、各三原
色ようにセル厚が一定なパネルを作製した場合、すべて
の三原色で暗状態が同時には得られない。すべての三原
色で同時に暗状態を得るためには各色に応じて異なった
セル厚にしなければならない。
√3又は√15となるようにセル厚と、液晶材料のΔn
を調節した。
T(d)=1となる。従って数1、数3はコントラスト
の逆数となる。
ト50以上が得られる。
装置およびその作製方法を示す。液晶パネルは三原色に
応じて1枚ずつ計3枚作製した。図1に本実施例の液晶
表示装置を示した。
ず、第一及び第二の絶縁基板としてガラス基板(20
1、202)の上に、透明電極を形成した。次にそれぞ
れの基板上に配向膜を形成した。配向膜は低温焼成型ポ
リイミドのAL3046(日産化学製)を公知のスピンコート
法などにより800Å塗布し、その後160℃で焼成し
た。次に液晶材料の配向処理のため、それぞれの基板に
ついて公知のラビング処理を行った。
式又は湿式で散布した。スペーサーは、SiO2 (酸化
珪素)又はプラスチック等の樹脂製の球状のものを使用
した。また、三原色に応じてセル厚を変えるため、赤用
のパネルには5.4μm、緑用のパネルにはには4.6
μm、青用のパネルには3.8μmのスペーサーを使用
した。
した。まず各色のパネルの第一もしくは第二の基板にシ
ール剤を印刷した。シール剤としては熱硬化型のエポキ
シ樹脂が含まれた接着剤を使用した。その後、対向する
基板をラビングの向きが一対の基板で直交するように重
ね合わせ、さらに熱プレスなどで一対の基板をプレスし
ながらシール剤を硬化させ、液晶セルとした。
により注入した。本実施例で使用した液晶材料はメルク
社製ネマチック液晶ZLI−4792で(商品名)であ
った。本液晶材料のしきい値は2Vであった。
ミラー型を使用した。図1に示す液晶パネルの位置に上
記RGBのパネルを設置した。この投影型液晶表示装置
によりコントラスト50以上の高精細画像を表示するこ
とが可能になった。
ティブマトリクス回路を用いた液晶表示装置の基板の作
製方法の説明を行う。本実施例の液晶表示装置は単板式
のリアプロジェクションとした。また、本実施例の液晶
表示装置の液晶パネルは周辺駆動回路をも基板内に形成
した、モノリシック型アクティブマトリクス回路とし
た。この制作工程について、図3を用いて説明する。こ
の工程は低温ポリシリコンプロセスのものである。
を、右側にアクティブマトリクス回路のTFT の作製工程
をそれぞれ示す。
(301)の上に、下地酸化膜(302)として厚さ1000〜3000
Åの酸化珪素膜を形成した。この酸化珪素膜の形成方法
としては、酸素雰囲気中でのスパッタ法やプラズマCVD
法を用いればよい。
てアモルファスのシリコン膜を300〜1500Å、好ましく
は500 〜1000Åに形成した。そして、500 ℃以上、好ま
しくは、500 〜600 ℃の温度で熱アニールを行い、シリ
コン膜を結晶化させた、もしくは、結晶性を高めた。熱
アニールによって結晶化ののち、光(レーザーなど)ア
ニールをおこなって、さらに結晶化を高めてもよい。ま
た、熱アニールによる結晶化の際に特開平6-244103、同
6-244104に記述されているように、ニッケル等のシリコ
ンの結晶化を促進させる元素(触媒元素)を添加しても
よい。
駆動回路のTFT の活性層(303 )(p チャネル型TFT
用)、(304 )(N チャネル型TFT 用)とマトリクス回
路のTFT (画素TFT)の活性層(305 )を形成した。さら
に、酸素雰囲気中でのスパッタ法によって厚さ500 〜20
00Åの酸化珪素のゲート絶縁膜(306 )を形成した。ゲ
ート絶縁膜の形成方法としては、プラズマCVD 法を用い
てもよい。プラズマCVD法によって酸化珪素膜を形成す
る場合には、原料ガスとして、一酸化二窒素(N2 O)
もしくは酸素(O2 )とモノシラン(SiH4) を用いるこ
とが好ましかった。
をスパッタ法によって基板全面に形成した。ここでアル
ミニウムはその後の熱プロセスによってヒロックが発生
するのを防止するため、シリコンまたはスカンジウム、
パラジウムなどを含有するものを用いてもよい。そして
これをエッチングしてゲート電極(307 、308 、309)
を形成する(図3(A ))。
ての島状活性層に、ゲート電極をマスクとして自己整合
的に、フォスフィン(PH3 )をドーピングガスとし
て、燐が注入される。ドーズ量は1 ×1012〜5 ×1013原
子/cm2 する。この結果、弱いN型領域(310 、311
、312)が形成される。(図3(B ))
ォトレジストのマスク(313) 及び画素TFT の活性層(30
5) のうち、ゲート電極に平行にゲート電極(309) の端
から3μm離れた部分まで覆うフォトレジストのマスク
(314) が形成される。
フォスフィンをドーピングガスとして燐を注入する。ド
ーズ量は1 ×1014〜5 ×1015原子/cm2 とする。この
結果として、強いN 型領域(ソース、ドレイン)(315、
316)が形成される。画素TFTの活性層(305) の弱いN型
領域(312) のうち、マスク(314) に覆われていた領域(3
17) は、今回のドーピングでは燐が注入されないので、
弱いN 型のままとなる。(図3(C ))
5)をフォトレジストのマスク(318)で覆い、ジボラン(B2
H6)をドーピングガスとして、イオンドーピング法によ
り、島状領域(303) に硼素が注入される。ドーズ量は5
×1014〜8 ×1015原子/cm2 とする。
3(C)における燐のドーズ量が上回るため、先に形成
されていた弱いN型領域(310) は強いP型領域(319) に
反転する。
(ソース/ドレイン)(315、316)、強いP型領域(ソー
ス/ドレイン)(319) 、弱いN型領域(低濃度不純物領
域)(317) が形成される。本実施例においては、低濃度
不純物領域(317) の幅xは、約3μmとする。(図3
(D ))
アニールを施すことにより、ドーピングによるダメージ
を回復せしめ、ドーピング不純物を活性化、シリコンの
結晶性を回復させた。その後、全面に層間絶縁物(320)
として、プラズマCVD 法によって酸化珪素膜を厚さ3000
〜6000Å形成した。これは、窒化珪素膜あるいは酸化珪
素膜と窒化珪素膜の多層膜であってもよい。そして、層
間絶縁膜(320) をウエットエッチング法またはドライエ
ッチング法によって、エッチングして、ソース/ ドレイ
ンにコンタクトホールを形成した。
00Åのアルミニウム膜、もしくはチタンとアルミニウム
の多層膜を形成する。これをエッチングして、周辺回路
の電極・配線(321、322 、323)および画素TFT の電極・
配線(324、325)を形成した。さらに、プラズマCVD 法に
よって、厚さ1000〜3000Åの窒化珪素膜(326) がパッシ
ベーション膜として形成され、これをエッチングして層
間膜とした。さらにこの上に表示用電極としてITO(3
27) を1200Å成膜し、実施例1における表示用電極と同
様なパターンとなるようパターニングした。
00〜3000Åの窒化珪素膜(328) がパッシベーション膜と
して形成され、この上に基準電極としてITO(図示せ
ず)を1200Å成膜し、画素部が実施例1における基準電
極と同じパターンになるようパターニングした。(図3
(E ))
4上にはブラックマトリクスを形成した(図示せず)。
ここで用いたブラックマトリクスはCrからなり、膜厚
1200Åとし、公知のフォトリソグラフィー法により所望
の形状にパターニングした。次にカラーフィルターを形
成した(図示せず)。カラーフィルターはエチレングリ
コール、モノエチルエーテルアセテート等の溶媒にR、
G、B色を示す顔料を分散させた材料を各色毎に塗布、
パターニング、硬化(焼成)を繰り返して、マイクロカ
ラーフィルターを形成した各色の膜厚は1.7μmとし
た。
ーバーコート剤(平坦化膜)を形成した。オーバーコー
ト剤は初め1μmの厚さで全面に形成する。次に0.8
μmの厚さで形成する。さらに公知のパターニング技術
によりR(赤)の部分についてのみ前記オーバーコート
剤をエッチングする。次に次に再び0.8μmの厚さで
オーバーコート剤を塗布し、RとGの部分にみ選択的に
エッチングする。この結果、膜厚はRGBで異なるもの
となる。例えばRに部分は、カラーフィルターとオーバ
ーコート剤でなる膜を合わせた膜厚が2.7μmとな
る。またGの部分は3.5μmとなる。またBの部分は
4.3μmとなる。
極204を形成した。対向基板201の上に透明電極2
03を形成した。次に基板201、202上に配向膜と
してポリイミドからなる配向膜205を形成した。
ングした。この時ラビングの方向は上下の基板で90°
の角度をなすような方向で行なった。
ーサー206を基板の配向膜を塗布した基板上に散布し
た(図示せず)。
に対応する領域において、それぞれ液晶層の厚さが、R
が5.4μm、Gが4.6μm、Bが3.8μmとな
る。
刷し、基板201、204を重ね合わせ、固定した。こ
のときシール材は画素領域及び周辺駆動回路領域を内側
にするように基板の外周近くに印刷した。次に液晶材料
208を上記セルに真空注入法で注入した。使用した液
晶材料はメルク社製ネマチック液晶ZLI−4792
(商品名)であった。こうして、図2の液晶パネルが形
成された。
プロジェクションの断面概略図を図4に示す。401は
ハロゲンランプ、402は集光光学系、403は液晶パ
ネル、404は反射板、405は投射レンズ、407は
スクリーンである。
り良好な画像の表示が可能になった。
型液晶表示装置において、RGB各色でセル厚の異なる
液晶パネルを用いた構成としたことで、いかなる色を表
示しても均一な透過率及びコントラストの表示を複雑な
駆動方法に依らず容易に行い、もって高画質の表示が可
能となった。
略を示す。
概略を示す。
素TFTと周辺駆動回路断面を示す。
面概略を示す。
ら見た概要を示す。
ら見た概要を示す。
ら見た概要を示す。
ドレイン) 317 低濃度不純物領域 318 フォトレジストのマスク 319 強いP型領域(ソース/
ドレイン) 320 層間絶縁膜 321〜325 周辺駆動回路、画素TF
Tの電極・配線 326、328 窒化珪素膜 327 表示用電極(ITO) 401 ランプ 402 集光光学系 403 液晶パネル 404 ミラー 405 投射レンズ 406 スクリーン
Claims (5)
- 【請求項1】透光性を有する第一の絶縁基板と、 該基板に対向する第二の絶縁基板と、 前記第一の基板と第二の基板間に挟持された液晶材料
と、 を少なくとも有する液晶表示装置において、 赤、緑、青に対応する画素の基板間隔が異なることを特
徴とする液晶表示装置。 - 【請求項2】赤、青、緑の各画像を形成する液晶パネル
からの画像を光学系を介して投影することによりカラー
画像を得る構成を有し、 前記各液晶パネルは一対の基板間に液晶が挟持された構
成を有し、 前記各液晶パネルのそれぞれは、異なる基板間隔を有す
ることを特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項3】請求項2において光学系は各液晶パネルに
対してそれぞれ独立に配置されていることを特徴とする
液晶表示装置。 - 【請求項4】赤、青、緑の各画像を形成する液晶パネル
からの画像を光学系を介して投影することによりカラー
画像を得る構成を有し、 前記各液晶パネルは一対の基板間に液晶が挟持された構
成を有し、 前記各液晶パネルのそれぞれは、異なる基板間隔を有す
ることを特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項5】赤、青、緑の各画像を形成する液晶パネル
が同一の基板を用いて集積化された構成を有し、 前記各液晶パネルの少なくとも一つは他の液晶パネルに
対して異なる液晶層の厚さを有し、 ていることを特徴とする液晶表示装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7337863A JPH09160030A (ja) | 1995-12-01 | 1995-12-01 | 液晶表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7337863A JPH09160030A (ja) | 1995-12-01 | 1995-12-01 | 液晶表示装置 |
Related Child Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004323860A Division JP2005072618A (ja) | 2004-11-08 | 2004-11-08 | 半導体装置の作製方法、表示装置の作製方法、及びリアプロジェクション型液晶表示装置の作製方法 |
JP2004323862A Division JP2005117055A (ja) | 2004-11-08 | 2004-11-08 | 表示装置及びリアプロジェクション型液晶表示装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09160030A true JPH09160030A (ja) | 1997-06-20 |
Family
ID=18312701
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7337863A Withdrawn JPH09160030A (ja) | 1995-12-01 | 1995-12-01 | 液晶表示装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09160030A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8619202B2 (en) | 2011-01-14 | 2013-12-31 | Seiko Epson Corporation | Projector |
-
1995
- 1995-12-01 JP JP7337863A patent/JPH09160030A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8619202B2 (en) | 2011-01-14 | 2013-12-31 | Seiko Epson Corporation | Projector |
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