JPH08340598A - 超音波振動子 - Google Patents
超音波振動子Info
- Publication number
- JPH08340598A JPH08340598A JP14667495A JP14667495A JPH08340598A JP H08340598 A JPH08340598 A JP H08340598A JP 14667495 A JP14667495 A JP 14667495A JP 14667495 A JP14667495 A JP 14667495A JP H08340598 A JPH08340598 A JP H08340598A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- vibration
- vibration isolator
- auxiliary
- case
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 238000013016 damping Methods 0.000 claims description 18
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 9
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 6
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 6
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 5
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 振動板の振動を抑えることができて残響時間
が十分に短く、しかも側壁を支持する場合に、その支持
条件が変わっても振動板の振動状態が変化せず、長期の
安定性、信頼性を保つことができる超音波振動子の提
供。 【構成】 上面に振動板2を一体に有した略円錐台形状
のケース1と、振動板2の内面に張り合わせた圧電素子
8と、振動板2との間に離間した状態でケース1に挿入
された主防振材4とから成る超音波振動子において、ケ
ース1の側壁3を振動板2より剛性を大きく形成すると
ともに、主防振材4と振動板2との間に補助防振材9を
介在させている。
が十分に短く、しかも側壁を支持する場合に、その支持
条件が変わっても振動板の振動状態が変化せず、長期の
安定性、信頼性を保つことができる超音波振動子の提
供。 【構成】 上面に振動板2を一体に有した略円錐台形状
のケース1と、振動板2の内面に張り合わせた圧電素子
8と、振動板2との間に離間した状態でケース1に挿入
された主防振材4とから成る超音波振動子において、ケ
ース1の側壁3を振動板2より剛性を大きく形成すると
ともに、主防振材4と振動板2との間に補助防振材9を
介在させている。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は超音波振動子に関し、詳
しくは、超音波センサーなどに使用され、超音波を受信
または発振できる超音波振動子に関する。
しくは、超音波センサーなどに使用され、超音波を受信
または発振できる超音波振動子に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の超音波振動子の一例としては、図
7に示すようなものがある。この超音波振動子は、上面
に振動板2を一体に有した略円錐台形状のケース1と、
振動板2の内面に張り合わせた圧電素子8と、振動板2
との間に離間した状態でケース1に挿入された主防振材
4とを有して成るものである。そして、このような超音
波振動子によって、超音波を発振し、この超音波が物体
に当たって反射してくるのを受信することによって、物
体を検知することができるのである。
7に示すようなものがある。この超音波振動子は、上面
に振動板2を一体に有した略円錐台形状のケース1と、
振動板2の内面に張り合わせた圧電素子8と、振動板2
との間に離間した状態でケース1に挿入された主防振材
4とを有して成るものである。そして、このような超音
波振動子によって、超音波を発振し、この超音波が物体
に当たって反射してくるのを受信することによって、物
体を検知することができるのである。
【0003】ところで、この超音波振動子は、側壁3の
厚みが、超音波を受信または発振する振動板2と略同厚
みであり、振動板2の振動とともに側壁3も振動するよ
うになっている。そして、この側壁3に主防振材4が接
触しているので、振動板2の振動を迅速に減衰させるこ
とができるのである。
厚みが、超音波を受信または発振する振動板2と略同厚
みであり、振動板2の振動とともに側壁3も振動するよ
うになっている。そして、この側壁3に主防振材4が接
触しているので、振動板2の振動を迅速に減衰させるこ
とができるのである。
【0004】したがって、この超音波振動子は、超音波
の発振を止めたときに、振動板4の振動が迅速に減衰さ
れるので、受信時に発信時の振動が雑音となることがな
い低残響型のものとなっているのである。
の発振を止めたときに、振動板4の振動が迅速に減衰さ
れるので、受信時に発信時の振動が雑音となることがな
い低残響型のものとなっているのである。
【0005】しかし、このような超音波振動子は、側壁
3を支持体に挟持するなどして支持されて使用されるも
のであって、この支持状態が振動板2の振動特性に大き
く影響を与えるので、この点で安定性、信頼性に問題の
あるものである。
3を支持体に挟持するなどして支持されて使用されるも
のであって、この支持状態が振動板2の振動特性に大き
く影響を与えるので、この点で安定性、信頼性に問題の
あるものである。
【0006】このような問題点を改善した超音波振動子
の一例として、図8に示すように、側壁3の厚みを振動
板2に比べて厚くして、側壁3の剛性を上げて支持条件
の影響を受けにくくし、安定性、信頼性を上げたものも
ある。
の一例として、図8に示すように、側壁3の厚みを振動
板2に比べて厚くして、側壁3の剛性を上げて支持条件
の影響を受けにくくし、安定性、信頼性を上げたものも
ある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
図8に示す従来例にあっては、側壁3が厚いため剛性が
高くて、この側壁3が振動しにくいため、側壁3に主防
振材4が接触していても、その防振効果が小さく、発信
時の残響を短くすることが難しいものである。
図8に示す従来例にあっては、側壁3が厚いため剛性が
高くて、この側壁3が振動しにくいため、側壁3に主防
振材4が接触していても、その防振効果が小さく、発信
時の残響を短くすることが難しいものである。
【0008】本発明は、以上のような問題点を解決する
ためになされたものであり、その目的は、振動板の振動
を抑えることができて残響時間が十分に短く、しかも側
壁を支持する場合に、その支持条件が変わっても振動板
の振動状態が変化せず、長期の安定性、信頼性を保つこ
とができる超音波振動子の提供にある。
ためになされたものであり、その目的は、振動板の振動
を抑えることができて残響時間が十分に短く、しかも側
壁を支持する場合に、その支持条件が変わっても振動板
の振動状態が変化せず、長期の安定性、信頼性を保つこ
とができる超音波振動子の提供にある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する請求
項1記載の発明は、上面に振動板2を一体に有した略円
錐台形状のケース1と、振動板2の内面に張り合わせた
圧電素子8と、振動板2との間に離間した状態でケース
1に挿入された主防振材4とから成る超音波振動子にお
いて、ケース1の側壁3を振動板2より剛性を大きく形
成するとともに、主防振材4と振動板2との間に補助防
振材9を介在させて成ることを特徴として構成してい
る。
項1記載の発明は、上面に振動板2を一体に有した略円
錐台形状のケース1と、振動板2の内面に張り合わせた
圧電素子8と、振動板2との間に離間した状態でケース
1に挿入された主防振材4とから成る超音波振動子にお
いて、ケース1の側壁3を振動板2より剛性を大きく形
成するとともに、主防振材4と振動板2との間に補助防
振材9を介在させて成ることを特徴として構成してい
る。
【0010】ケース1の側壁3を振動板2より剛性を大
きく形成するには、剛性の大きい材質の材料を用いる
か、または厚みを厚く形成するなどして行うことができ
る。
きく形成するには、剛性の大きい材質の材料を用いる
か、または厚みを厚く形成するなどして行うことができ
る。
【0011】請求項2記載の発明は、請求項1記載の発
明において、主防振材4の振動板2側に補助防振材9を
一体に介在させ、この補助防振材9を振動板2に圧電素
子8の外周部5で接触させて成ることを特徴として構成
している。
明において、主防振材4の振動板2側に補助防振材9を
一体に介在させ、この補助防振材9を振動板2に圧電素
子8の外周部5で接触させて成ることを特徴として構成
している。
【0012】請求項3記載の発明は、請求項2記載の発
明において、振動板2の外周部5にスリット6を設け
て、このスリット6に補助防振材9を挿入して成ること
を特徴として構成している。
明において、振動板2の外周部5にスリット6を設け
て、このスリット6に補助防振材9を挿入して成ること
を特徴として構成している。
【0013】請求項4記載の発明は、請求項1記載の発
明において、ケース1の側壁3を外側が厚い外壁3aと、
内側が薄い内壁3bとの2重構造に形成し、この二重構造
の隙間に補助防振材9を挿入して成ることを特徴として
構成している。
明において、ケース1の側壁3を外側が厚い外壁3aと、
内側が薄い内壁3bとの2重構造に形成し、この二重構造
の隙間に補助防振材9を挿入して成ることを特徴として
構成している。
【0014】請求項5記載の発明は、請求項1記載の発
明において、振動板2と主防振材4との間の位置におけ
るケース1の側壁3に、厚み方向の切り込み7を設け、
この切り込み7に補助防振材9を挿入して成ることを特
徴として構成している。
明において、振動板2と主防振材4との間の位置におけ
るケース1の側壁3に、厚み方向の切り込み7を設け、
この切り込み7に補助防振材9を挿入して成ることを特
徴として構成している。
【0015】
【作用】上記課題を解決する請求項1記載の発明は、側
壁3の剛性が高く強度が大きいため、この側壁3の支持
状態が振動板2の振動に影響を与えることがない。した
がって、この支持状態が振動性能に悪影響を与えること
がない。
壁3の剛性が高く強度が大きいため、この側壁3の支持
状態が振動板2の振動に影響を与えることがない。した
がって、この支持状態が振動性能に悪影響を与えること
がない。
【0016】また、主防振材4と振動板2との間に補助
防振材9が介在していることによって、振動板2の振動
が補助防振材9によく伝わるので、この振動は補助防振
材9と主防振材4とによって確実に減衰される。その
上、直に主防振材4によって、振動板2の振動を吸収す
ることがないため、振動吸収が過剰となることもない。
したがって、発信特性に悪影響を与えることがなくて、
感度を損なうことなく振動板2の振動が減衰されて、短
い残響時間が実現されている。
防振材9が介在していることによって、振動板2の振動
が補助防振材9によく伝わるので、この振動は補助防振
材9と主防振材4とによって確実に減衰される。その
上、直に主防振材4によって、振動板2の振動を吸収す
ることがないため、振動吸収が過剰となることもない。
したがって、発信特性に悪影響を与えることがなくて、
感度を損なうことなく振動板2の振動が減衰されて、短
い残響時間が実現されている。
【0017】また、ケース1の側壁3は振動板2側の細
い円錐台形状であって、側壁3の振動板2側の剛性が低
くなっている。そして、少なくともこの剛性の低い部分
に補助防振材9が介在しているので、振動板2の振動が
補助防振材9に伝わりやすく、減衰されやすくなって、
低残響特性が実現されやすくなっている。
い円錐台形状であって、側壁3の振動板2側の剛性が低
くなっている。そして、少なくともこの剛性の低い部分
に補助防振材9が介在しているので、振動板2の振動が
補助防振材9に伝わりやすく、減衰されやすくなって、
低残響特性が実現されやすくなっている。
【0018】請求項2記載の発明では、補助防振材9が
振動板2に、圧電素子8の外周部5で接触しているの
で、この振動板2の振動が直に補助防振材9に伝わり、
補助防振材9と一体の主防振材4とによって、振動板2
の振動を減衰させることができる。
振動板2に、圧電素子8の外周部5で接触しているの
で、この振動板2の振動が直に補助防振材9に伝わり、
補助防振材9と一体の主防振材4とによって、振動板2
の振動を減衰させることができる。
【0019】請求項3記載の発明では、スリット6に補
助防振材9が挿入されて振動板2に直に接触し、振動板
2との接触が確実なものになっている。このため、振動
板2の振動が補助防振材9によく伝わり、補助防振材9
と一体の主防振材4とによって、振動板2の振動を減衰
させることができる。また、スリット6によって、振動
板2が振動しやすいものになっている。
助防振材9が挿入されて振動板2に直に接触し、振動板
2との接触が確実なものになっている。このため、振動
板2の振動が補助防振材9によく伝わり、補助防振材9
と一体の主防振材4とによって、振動板2の振動を減衰
させることができる。また、スリット6によって、振動
板2が振動しやすいものになっている。
【0020】請求項4記載の発明では、外壁3aが厚くて
剛性が高いために、この側壁3の支持状態などが振動板
2の振動に影響を与えることがない。また、内壁3bが薄
く、振動板2の振動とともによく振動し、この内壁3bに
直に接触している補助防振材9および主防振材4に伝わ
って振動板2の振動を減衰させることができる。
剛性が高いために、この側壁3の支持状態などが振動板
2の振動に影響を与えることがない。また、内壁3bが薄
く、振動板2の振動とともによく振動し、この内壁3bに
直に接触している補助防振材9および主防振材4に伝わ
って振動板2の振動を減衰させることができる。
【0021】また、主防振材4および補助防振材9が振
動板2に直に接触していないため、主防振材4および補
助防振材9による振動板2の振動特性の変化が小さくな
っている。
動板2に直に接触していないため、主防振材4および補
助防振材9による振動板2の振動特性の変化が小さくな
っている。
【0022】請求項5記載の発明では、振動板2と主防
振材4との間の位置におけるケース1の側壁3に、厚み
方向の切り込み7が設けられているので、この部分の剛
性が低く、振動板2の振動とともによく振動して、この
切り込み7内に挿入された補助防振材9と、主防振材4
とによって振動を減衰させることができる。
振材4との間の位置におけるケース1の側壁3に、厚み
方向の切り込み7が設けられているので、この部分の剛
性が低く、振動板2の振動とともによく振動して、この
切り込み7内に挿入された補助防振材9と、主防振材4
とによって振動を減衰させることができる。
【0023】また、主防振材4および補助防振材9が振
動板2に直に接触していないため、主防振材4および補
助防振材9による振動板2の振動特性の変化が小さくな
っている。
動板2に直に接触していないため、主防振材4および補
助防振材9による振動板2の振動特性の変化が小さくな
っている。
【0024】
【実施例】以下、本発明に係る超音波振動子の実施例に
ついて、添付図面を参照して具体的に説明する。
ついて、添付図面を参照して具体的に説明する。
【0025】以下に述べる各実施例の超音波振動子は、
上面に振動板2を一体に有した略円錐台形状のケース1
と、振動板2の内面に張り合わせた圧電素子8と、振動
板2との間に離間した状態でケース1に挿入された主防
振材4とから成るものである。そして、特に、ケース1
の側壁3を振動板2より剛性を大きく形成するととも
に、主防振材4と振動板2との間に補助防振材9を介在
させていることを特徴としている。
上面に振動板2を一体に有した略円錐台形状のケース1
と、振動板2の内面に張り合わせた圧電素子8と、振動
板2との間に離間した状態でケース1に挿入された主防
振材4とから成るものである。そして、特に、ケース1
の側壁3を振動板2より剛性を大きく形成するととも
に、主防振材4と振動板2との間に補助防振材9を介在
させていることを特徴としている。
【0026】また、各実施例のケース1の側壁3は振動
板2側の細い円錐台形状であって、側壁3の振動板2側
が剛性が低くなっている。そして、少なくともこの剛性
の低い部分に補助防振材9が介在しているものである。
このため、振動板2の振動が補助防振材9に伝わりやす
く、減衰されやすくなって、低残響特性が実現されやす
くなっている。
板2側の細い円錐台形状であって、側壁3の振動板2側
が剛性が低くなっている。そして、少なくともこの剛性
の低い部分に補助防振材9が介在しているものである。
このため、振動板2の振動が補助防振材9に伝わりやす
く、減衰されやすくなって、低残響特性が実現されやす
くなっている。
【0027】以下、各実施例をさらに具体的に説明す
る。図1は、第一の実施例である超音波振動子を示す断
面図である。
る。図1は、第一の実施例である超音波振動子を示す断
面図である。
【0028】ケース1の側壁3は振動板2に比べて断面
が厚く剛性が高くなっている。ケース1内部には主防振
材4が挿入充填され、側壁3と振動板2の外周部5とに
接触している。また、補助防振材9は主防振材4と一体
に形成され、振動板2に圧電素子8の外周部5で接触さ
せられている。
が厚く剛性が高くなっている。ケース1内部には主防振
材4が挿入充填され、側壁3と振動板2の外周部5とに
接触している。また、補助防振材9は主防振材4と一体
に形成され、振動板2に圧電素子8の外周部5で接触さ
せられている。
【0029】振動板2が振動するとき、側壁3はほとん
ど振動しないので、主防振材4は側壁3との接触によっ
ては減衰効果を発揮することができない。しかし、補助
防振材9が直に振動する振動板2の外周部5と接触して
いるため、大きな減衰効果が得られる。
ど振動しないので、主防振材4は側壁3との接触によっ
ては減衰効果を発揮することができない。しかし、補助
防振材9が直に振動する振動板2の外周部5と接触して
いるため、大きな減衰効果が得られる。
【0030】ただし、一体の主防振材4および補助防振
材9の剛性によって、振動板2の振動特性が大きく変化
するため、感度特性が劣化しないように、一体の主防振
材4および補助防振材9の剛性および形状をケース1に
適合するように設定している。
材9の剛性によって、振動板2の振動特性が大きく変化
するため、感度特性が劣化しないように、一体の主防振
材4および補助防振材9の剛性および形状をケース1に
適合するように設定している。
【0031】図2は、第二の実施例である超音波振動子
を示す断面図である。ケース1の側壁3の断面は、振動
板2に比べて厚く、剛性が高くなっている。また、振動
板2の外周に側壁3の外面の傾斜と連続する補助振動板
2aを延設し、この補助振動板2aを振動板2と同程度かそ
れより薄く形成している。ケース1の内部には主防振材
4が挿入充填されている。また、補助防振材9は主防振
材4と一体に形成され、補助振動板2aに接触している。
を示す断面図である。ケース1の側壁3の断面は、振動
板2に比べて厚く、剛性が高くなっている。また、振動
板2の外周に側壁3の外面の傾斜と連続する補助振動板
2aを延設し、この補助振動板2aを振動板2と同程度かそ
れより薄く形成している。ケース1の内部には主防振材
4が挿入充填されている。また、補助防振材9は主防振
材4と一体に形成され、補助振動板2aに接触している。
【0032】振動板2が振動するとき、側壁3aは剛性
が高いためほとんど振動しないが、補助振動板2aは振動
板2とともに振動する。よって、補助防振材9が補助振
動板2aとの接触部分で振動して、振動板2の振動を減衰
させて大きな減衰効果が得られる。
が高いためほとんど振動しないが、補助振動板2aは振動
板2とともに振動する。よって、補助防振材9が補助振
動板2aとの接触部分で振動して、振動板2の振動を減衰
させて大きな減衰効果が得られる。
【0033】図3ないし図4は、それぞれ第三の実施例
である超音波振動子を示す断面図ないし上面図である。
である超音波振動子を示す断面図ないし上面図である。
【0034】ケース1の側壁3は、振動板2に比べて断
面が厚く十分に剛性が高くなっている。振動板2には外
周部にスリット6が開けられている。ケース1内部には
主防振材4が挿入充填されている。この主防振材4と一
体に形成されている補助防振材9はスリット6に挿入さ
れている。
面が厚く十分に剛性が高くなっている。振動板2には外
周部にスリット6が開けられている。ケース1内部には
主防振材4が挿入充填されている。この主防振材4と一
体に形成されている補助防振材9はスリット6に挿入さ
れている。
【0035】振動板2が振動するとき、側壁3はほとん
ど振動しない。しかし、補助防振材9は振動板2のスリ
ット6に挿入されているため、振動板2の振動を大きく
減衰させることができる。また、振動板2はスリット6
が開けられているため振動しやすくなっていて、圧電素
子8の駆動に対して敏感に応答して振動することができ
る。したがって、感度が高く、かつ、振動減衰効果も大
きくて残響特性のよい超音波振動子となっている。
ど振動しない。しかし、補助防振材9は振動板2のスリ
ット6に挿入されているため、振動板2の振動を大きく
減衰させることができる。また、振動板2はスリット6
が開けられているため振動しやすくなっていて、圧電素
子8の駆動に対して敏感に応答して振動することができ
る。したがって、感度が高く、かつ、振動減衰効果も大
きくて残響特性のよい超音波振動子となっている。
【0036】図5は、第四の実施例である超音波振動子
を示す断面図である。ケース1の側壁3は、底面側から
削るなどして外壁3aと内壁3bとの二重構造になってい
る。外壁3aは振動板2より断面が厚く剛性が大きくなっ
ており、内壁3bは振動板2と同程度かそれより小さい厚
さに形成されて、剛性が小さくなっている。また、外壁
3aと内壁3bとの隙間は振動板2にほぼ接する位置まで先
細りに延設されている。
を示す断面図である。ケース1の側壁3は、底面側から
削るなどして外壁3aと内壁3bとの二重構造になってい
る。外壁3aは振動板2より断面が厚く剛性が大きくなっ
ており、内壁3bは振動板2と同程度かそれより小さい厚
さに形成されて、剛性が小さくなっている。また、外壁
3aと内壁3bとの隙間は振動板2にほぼ接する位置まで先
細りに延設されている。
【0037】ケース1の内部には主防振材4が、外壁3a
と内壁3bとの隙間には補助防振材9が挿入充填されてい
る。主防振材4は内壁3bと、補助防振材9は外壁3aおよ
び内壁3bとそれぞれ接触している。
と内壁3bとの隙間には補助防振材9が挿入充填されてい
る。主防振材4は内壁3bと、補助防振材9は外壁3aおよ
び内壁3bとそれぞれ接触している。
【0038】振動板2が振動しても外壁3aは、剛性が高
くほとんど振動しないが、内壁3bは剛性が低いため振動
板2とともによく振動する。主防振材4および補助防振
材9は内壁3bを挟み込む形になっているため、内壁3bが
振動板2とともに振動して、大きな振動減衰効果が生じ
る。
くほとんど振動しないが、内壁3bは剛性が低いため振動
板2とともによく振動する。主防振材4および補助防振
材9は内壁3bを挟み込む形になっているため、内壁3bが
振動板2とともに振動して、大きな振動減衰効果が生じ
る。
【0039】図6は、第五の実施例である超音波振動子
を示す断面図である。振動板2と主防振材4との間の位
置におけるケース1の側壁3に、厚み方向の切り込み7
を設け、この切り込み7に補助防振材9を挿入してい
る。
を示す断面図である。振動板2と主防振材4との間の位
置におけるケース1の側壁3に、厚み方向の切り込み7
を設け、この切り込み7に補助防振材9を挿入してい
る。
【0040】ケース1の側壁3には、振動板2近傍であ
って振動板2と主防振材4との間の位置に切り込み7が
設けられている。ケース1の内部には主防振材4が、切
り込み7には補助防振材9が挿入充填されている。
って振動板2と主防振材4との間の位置に切り込み7が
設けられている。ケース1の内部には主防振材4が、切
り込み7には補助防振材9が挿入充填されている。
【0041】振動板2が振動するとき、側壁3は剛性が
高いためほとんど振動しないが、切り込み7を設けられ
た部分は、この切り込み7によって剛性が弱く、振動板
2とともに良く振動する。補助防振材9がこのよく振動
する位置に介在していることによって、振動板2の振動
が補助防振材9によく伝わり、主防振材4とともに大き
な減衰効果を発生させている。
高いためほとんど振動しないが、切り込み7を設けられ
た部分は、この切り込み7によって剛性が弱く、振動板
2とともに良く振動する。補助防振材9がこのよく振動
する位置に介在していることによって、振動板2の振動
が補助防振材9によく伝わり、主防振材4とともに大き
な減衰効果を発生させている。
【0042】
【発明の効果】請求項1記載の発明では、側壁は剛性が
高いため、この側壁での支持条件などが変化しても、振
動板の振動状態に影響を及ぼすことが少ないものになっ
ている。したがって、この超音波振動子はその支持条件
に左右されることなく常に安定した発信性能が得られ
る。
高いため、この側壁での支持条件などが変化しても、振
動板の振動状態に影響を及ぼすことが少ないものになっ
ている。したがって、この超音波振動子はその支持条件
に左右されることなく常に安定した発信性能が得られ
る。
【0043】また、内部の主防振材との間に補助防振材
を介在させることによって、発信を止めたときの振動板
の振動を迅速に減衰させることができ、低残響の超音波
振動子となっている。その上、補助防振材を介在させて
いるので、振動吸収が過剰となって、発信特性に悪影響
を与えることがないものになっている。
を介在させることによって、発信を止めたときの振動板
の振動を迅速に減衰させることができ、低残響の超音波
振動子となっている。その上、補助防振材を介在させて
いるので、振動吸収が過剰となって、発信特性に悪影響
を与えることがないものになっている。
【0044】請求項2記載の発明では、補助防振材を振
動板に直に接触させて、減衰効果を大きくすることによ
って、安定性が高く低残響の超音波振動子が得られてい
る。
動板に直に接触させて、減衰効果を大きくすることによ
って、安定性が高く低残響の超音波振動子が得られてい
る。
【0045】請求項3記載の発明では、振動板にスリッ
トを設けることによって、振動板が振動しやすく、主防
振材による振動感度の低下を補って、感度の高い超音波
振動子が得られている。
トを設けることによって、振動板が振動しやすく、主防
振材による振動感度の低下を補って、感度の高い超音波
振動子が得られている。
【0046】請求項4記載の発明では、側壁を剛性の高
い外壁と剛性の低い内壁とに分けて、外壁で振動の安定
性を確保して、内壁に主防振材を働かせることによって
低残響性能がえられている。
い外壁と剛性の低い内壁とに分けて、外壁で振動の安定
性を確保して、内壁に主防振材を働かせることによって
低残響性能がえられている。
【0047】また、主防振材が振動板に直に接触してい
ないため、主防振材による振動板の振動特性の変化が小
さく、感度の高い超音波振動子の設計が容易である。
ないため、主防振材による振動板の振動特性の変化が小
さく、感度の高い超音波振動子の設計が容易である。
【0048】請求項5記載の発明では、側壁に切り込み
を入れて側壁の振動板近傍部だけを振動しやすくして、
その部分を切り込みに挿入した主防振材に接触させるこ
とによって、良好な低残響性能を実現している。
を入れて側壁の振動板近傍部だけを振動しやすくして、
その部分を切り込みに挿入した主防振材に接触させるこ
とによって、良好な低残響性能を実現している。
【0049】また、主防振材および補助防振材が振動板
に直に接触していないため、振動板の振動特性の変化が
小さく、感度の高い超音波振動子の設計が容易である。
に直に接触していないため、振動板の振動特性の変化が
小さく、感度の高い超音波振動子の設計が容易である。
【図1】本発明の第一の実施例を示す断面図である。
【図2】同上の第二の実施例を示す断面図である。
【図3】同上の第三の実施例を示す断面図である。
【図4】同上実施例の上面図である。
【図5】同上の第四の実施例を示す断面図である。
【図6】同上の第五の実施例を示す断面図である。
【図7】従来例を示す断面図である。
【図8】従来例を示す断面図である。
1 ケース 2 振動板 3 側壁 4 主防振材 5 外周部 6 スリット 7 切り込み 8 圧電素子 9 補助防振材
Claims (5)
- 【請求項1】 上面に振動板を一体に有した略円錐台形
状のケースと、振動板の内面に張り合わせた圧電素子
と、振動板との間に離間した状態でケースに挿入された
主防振材とから成る超音波振動子において、ケースの側
壁を振動板より剛性を大きく形成するとともに、主防振
材と振動板との間に補助防振材を介在させて成ることを
特徴とする超音波振動子。 - 【請求項2】 主防振材の振動板側に補助防振材を一体
に介在させ、この補助防振材を圧電素子の外周部で振動
板に接触させて成ることを特徴とする請求項1記載の超
音波振動子。 - 【請求項3】 振動板の外周部にスリットを設けて、こ
のスリットに補助防振材を挿入嵌合させて成ることを特
徴とする請求項2記載の超音波振動子。 - 【請求項4】 ケースの側壁を外側が厚い外壁と、内側
が薄い内壁との2重構造に形成し、この二重構造の隙間
に補助防振材を挿入して成ることを特徴とする請求項1
記載の超音波振動子。 - 【請求項5】 振動板と主防振材との間の位置における
ケースの側壁に、厚み方向の切り込みを設け、この切り
込みに補助防振材を挿入して成ることを特徴とする請求
項1記載の超音波振動子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14667495A JPH08340598A (ja) | 1995-06-14 | 1995-06-14 | 超音波振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14667495A JPH08340598A (ja) | 1995-06-14 | 1995-06-14 | 超音波振動子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08340598A true JPH08340598A (ja) | 1996-12-24 |
Family
ID=15413048
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14667495A Withdrawn JPH08340598A (ja) | 1995-06-14 | 1995-06-14 | 超音波振動子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08340598A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007102460A1 (ja) * | 2006-03-06 | 2007-09-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 超音波センサおよびその製造方法 |
JP2013172449A (ja) * | 2012-02-21 | 2013-09-02 | Tung Thih Electronic Co Ltd | 超音波センサー及び該超音波センサーの製造方法 |
-
1995
- 1995-06-14 JP JP14667495A patent/JPH08340598A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007102460A1 (ja) * | 2006-03-06 | 2007-09-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 超音波センサおよびその製造方法 |
JPWO2007102460A1 (ja) * | 2006-03-06 | 2009-07-23 | 株式会社村田製作所 | 超音波センサおよびその製造方法 |
US7732993B2 (en) | 2006-03-06 | 2010-06-08 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Ultrasonic sensor and method for manufacturing the same |
JP4766112B2 (ja) * | 2006-03-06 | 2011-09-07 | 株式会社村田製作所 | 超音波センサおよびその製造方法 |
EP1993322A4 (en) * | 2006-03-06 | 2016-10-26 | Murata Manufacturing Co | ULTRASOUND SENSOR, AND METHOD OF MANUFACTURING SAME |
JP2013172449A (ja) * | 2012-02-21 | 2013-09-02 | Tung Thih Electronic Co Ltd | 超音波センサー及び該超音波センサーの製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101368697B1 (ko) | 초음파 진동장치 | |
JP3141834B2 (ja) | スピーカ | |
US4283605A (en) | Piezoelectric speaker | |
JPH0459839B2 (ja) | ||
JPS59131132A (ja) | 圧電トランスデユ−サ | |
JPS6138678B2 (ja) | ||
US6465935B1 (en) | Ultrasonic transducer | |
CN114257936A (zh) | Mems麦克风芯片 | |
JP4075733B2 (ja) | 超音波センサ | |
US20060232165A1 (en) | Ultrasonic transmitter-receiver | |
JPH08340598A (ja) | 超音波振動子 | |
WO2012060046A1 (ja) | 電子機器 | |
JPS6211558B2 (ja) | ||
JPH0534848B2 (ja) | ||
JPH0514633Y2 (ja) | ||
JPH09121396A (ja) | 超音波振動子 | |
JPS63120937A (ja) | パワ−ユニツトのマウンテイング装置 | |
JP4124326B2 (ja) | 能動型液封防振装置 | |
JPS5843357Y2 (ja) | 超音波送受波器 | |
JPS6349996Y2 (ja) | ||
JPS6012341Y2 (ja) | 圧電音叉 | |
JP2509089Y2 (ja) | 圧電スピ―カ | |
JPS635357Y2 (ja) | ||
JPS59210798A (ja) | 超音波セラミツクマイクロホン | |
JPS635356Y2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020903 |