JPH08325714A

JPH08325714A - 蒸着装置

Info

Publication number: JPH08325714A
Application number: JP12798595A
Authority: JP
Inventors: Kiyoshi Takada; 清志高田; Kazuo Okada; 和夫岡田; Hiromoto Ito; 弘基伊藤
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1995-05-26
Filing date: 1995-05-26
Publication date: 1996-12-10

Abstract

(57)【要約】【目的】投入電力の無駄な消費を防止するとともに、
質の高い蒸着膜を得ることが可能な蒸着装置を提供す
る。【構成】真空チャンバ７内に相対向して配設される一
対のローラ１９、２０と、ローラ１９、２０のいずれか
一方１９に巻回され順次他方のローラ２０に巻き取られ
て移動するシート状の蒸着物質１８とを備え、移動する
蒸着物質１８の表面にレーザ光１３を照射して蒸発さ
せ、これを基板２２の表面に蒸着させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、蒸着物質を加熱する
ことにより蒸発させ、これを例えば基板等の被蒸着物の
表面に蒸着させる蒸着装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図１０は例えば「薄膜ハンドブック」
（オーム社昭和５８年１２月１０日発行）に記載された
従来の蒸着装置の一例を示す断面図である。図におい
て、１はるつぼ、２はこのるつぼ１に充填される試料、
３はこの試料２が蒸発して発生する蒸気、４はるつぼ１
内に埋設される水冷管、５は通電加熱されるフィラメン
ト、６はこのフィラメント５に数ＫＶの高電圧を印加す
ることによって発生する電子ビームである。

【０００３】上記のように構成された従来の蒸着装置に
おいては、予め通電加熱されたフィラメント５に数ＫＶ
の高電圧が印加されると、電子ビーム６が発生してるつ
ぼ１内の試料に照射される。そして、この照射により試
料２は加熱溶融されて蒸発し、発生した蒸気３は例えば
基板等の被蒸着物（図示せず）の表面に蒸着され蒸着膜
が形成される。なお、この間、るつぼ１は水冷管４内を
流れる冷却水により冷却され、高温になるのが防止され
ている。

【０００４】又、図１１は例えば特開平１−２１９１５
５号公報等に記載された従来の蒸着装置の他の例を示す
断面図である。図において、７は真空排気ポンプ８によ
り高真空に排気された真空チャンバで、壁面に入射窓７
ａが設けられている。９はこの真空チャンバ７内に回転
可能に配設された円柱状の試料、１０は反射鏡１１およ
び集光レンズ１２を介して入射窓７ａから真空チャンバ
７内にレーザ光１３を導入し、試料９の表面に照射する
レーザ発振器、１４は試料９の表面のレーザ光１３が照
射される位置に対向して配設される基板、１５はこの基
板１４の表面に形成される蒸着膜、１６は基板１４を加
熱するヒータ、１７は試料９が蒸発することによって発
生する蒸気である。

【０００５】上記のように構成された従来の蒸着装置に
おいては、まず、真空排気ポンプ８により真空チャンバ
７内を高真空に排気して試料９を回転させた後、レーザ
発振器１０を駆動させてレーザ光１３を発生させ、反射
鏡１１および集光レンズ１２を介して試料９の表面に照
射させる。すると、試料９の表面は加熱溶融されて蒸発
し、発生した蒸気１７はヒータ１６によって加熱される
基板１４の表面に蒸着され蒸着膜１５が形成される。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】従来の蒸着装置はそれ
ぞれ以上のように構成されているので、るつぼ１を用い
た蒸着装置の場合は、電子ビーム６として投入された電
力は試料２上で熱となるが、この熱の全てが試料２を溶
融するために費やされるのではなく、かなりの熱が試料
２からるつぼ１へと熱伝導され、水冷管４内を流れる冷
却水によって運び去られる。だからといって、るつぼ１
の冷却が不十分であったり冷却しないと、るつぼ１が高
温となるため、試料２と反応を起こしたり変形、蒸発を
招き、この不純物が蒸気３に混入して蒸着膜の質が低下
する等という問題点があった。

【０００７】又、るつぼを使用せずレーザ光１３を照射
する蒸着装置の場合は、レーザ光１３として投入された
電力は試料９の表面で熱となるが、その一部は試料９の
表面から内側に熱伝導され、図示はしない回転軸等を介
して外部に放出される等して無駄に消費されるという問
題点があった。

【０００８】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、蒸着物質を蒸発させるために投
入される電力を有効に利用して効率良く、且つ不純物混
入のない蒸気を発生させて質の高い蒸着膜を形成するこ
とが可能な蒸着装置を提供することを目的とするもので
ある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この発明の請求項１に係
る蒸着装置は、真空チャンバ内に相対向して配設される
一対のローラと、ローラのいずれか一方に巻回され順次
他方のローラに巻き取られて移動するシート状の蒸着物
質とを備え、移動する蒸着物質の表面にレーザ光または
電子ビームを照射して蒸発させ、これを被蒸着物の表面
に蒸着させるようにしたものである。

【００１０】又、この発明の請求項２に係る蒸着装置
は、請求項１において、レーザ光または電子ビームを蒸
着物質の移動方向に対し遮る方向に移動させて蒸着物質
の表面に照射させるようにしたものである。

【００１１】又、この発明の請求項３に係る蒸着装置
は、請求項１において、レーザ光または電子ビームを蒸
着物質の表面にパルス状に照射させるようにしたもので
ある。

【００１２】又、この発明の請求項４に係る蒸着装置
は、請求項１において、蒸着物質を異なる複数の物質で
構成したものである。

【００１３】又、この発明の請求項５に係る蒸着装置
は、請求項４において、蒸着物質を移動方向に対し遮る
方向に複数の領域に分割するとともに各領域をそれぞれ
異なる物質で構成したものである。

【００１４】又、この発明の請求項６に係る蒸着装置
は、請求項４において、蒸着物質を移動方向に複数の領
域に分割するとともに各領域をそれぞれ異なる物質で構
成したものである。

【００１５】又、この発明の請求項７に係る蒸着装置
は、請求項１ないし６のいずれかにおいて、蒸着物質の
両側を案内部材で保持するようにしたものである。

【００１６】又、この発明の請求項８に係る蒸着装置
は、請求項１ないし７のいずれかにおいて、蒸着物質の
レーザ光または電子ビームが照射される位置の下方に回
収皿を配設するようにしたものである。

【００１７】又、この発明の請求項９に係る蒸着装置
は、真空チャンバ内を一方から他方に移送されるシート
状または棒状の蒸着物質と、蒸着物質の両側に当接され
た一対の電極とを備え、両電極間に所定の電流を通電す
ることにより蒸着物質を蒸発させ、これを被蒸着物の表
面に蒸着させるようにしたものである。

【００１８】又、この発明の請求項１０に係る蒸着装置
は、真空チャンバ内に配設されるディスク状の蒸着物質
と、蒸着物質の中心部を回転可能に支承するとともに一
方の電極となる第１の電極と、蒸着物質の外周面に当接
し且つ蒸着物質と接離する方向に移動可能で他方の電極
となる第２の電極とを備え、蒸着物質を回転させるとと
もに両電極間に所定の電流を通電することにより蒸着物
質を蒸発させ、これを被蒸着物の表面に蒸着させるよう
にしたものである。

【００１９】

【作用】この発明の請求項１における蒸着装置は、蒸着
物質をシート状に形成し移動させながらレーザ光または
電子ビームを照射して瞬時に蒸発させるので、投入され
た電力の熱伝導による損失を低減し、蒸着物の近傍に何
も存在させないので、蒸気に不純物が混入されるのを防
止する。

【００２０】又、この発明の請求項２における蒸着装置
は、レーザ光または電子ビームを蒸着物質の移動方向に
対し遮る方向に移動させるので、蒸着物質の広範囲にわ
たる蒸発を可能にする。

【００２１】又、この発明の請求項３における蒸着装置
は、レーザ光または電子ビームをパルス状に照射させる
ので、蒸着物質を網目状に蒸発させて有効利用を図る。

【００２２】又、この発明の請求項４における蒸着装置
は、連続または同時に複数種類の異なる物質の蒸気を発
生させる。

【００２３】又、この発明の請求項５における蒸着装置
は、同時に複数種類の異なる物質の蒸気を発生させる。

【００２４】又、この発明の請求項６における蒸着装置
は、連続して複数種類の異なる物質の蒸気を発生させ
る。

【００２５】又、この発明の請求項７における蒸着装置
は、蒸着物質の両側を案内部材で保持して破断を防止す
る。

【００２６】又、この発明の請求項８における蒸着装置
は、溶融して落下する蒸着物質を回収皿で回収する。

【００２７】又、この発明の請求項９における蒸着装置
は、シート状または棒状の蒸着物質の両側面に一対の電
極を当接させ、両電極間に所定の電流を通電することに
より、蒸着物質を昇温、蒸発させる。

【００２８】又、この発明の請求項１０における蒸着装
置は、ディスク状の蒸着物質を回転可能に支承する第１
の電極と、蒸着物質の外周面に当接された第２の電極と
の間に所定の電流を通電することにより、蒸着物質を昇
温、蒸発させる。

【００２９】

【実施例】

実施例１．以下、この発明の実施例を図に基づいて説明
する。図１はこの発明の実施例１における蒸着装置の概
略構成を示す図である。図において、従来装置における
ものと同様な部分は同一符号を付して説明を省略する。
１８はシート状に形成された蒸着物質で、一方のローラ
１９に巻回され図中矢印で示すように他方のローラ２０
に順次巻き取られるようになっている。２１は両ローラ
１９、２０間の蒸着物質１８の下方に配設された回収
皿、２２は蒸着物質１８の上方所定の位置に配設される
被蒸着物としての基板、２３はレーザ発振器１０からの
レーザ光１３が照射されて発生する蒸気、２４はこの蒸
気２３が基板２２の表面に蒸着されて形成される蒸着膜
である。

【００３０】次に、上記のように構成された実施例１に
おける蒸着装置の動作について説明する。まず、真空排
気ポンプ８により真空チャンバ７内を高真空状態にした
後、真空チャンバ７の外部に配設されたレーザ発振器１
０からレーザ光１３を発振させ、入射窓７ａを通して真
空チャンバ７内に導入し蒸着物質１８の表面に照射す
る。この時、レーザ光１３は１００μｍ程度の微小スポ
ットに集光するようにすれば、蒸着物質１８を局所的に
瞬時に蒸発させて気化することが可能であり、又、蒸着
物質１８を十分薄くすることにより、径の大きなレーザ
光１３の照射でも瞬時に蒸発させることが可能になる。

【００３１】蒸着物質１８は予め一方のローラ１９に巻
回されており、レーザ光１３の照射による蒸着物質１８
の蒸発に合わせて、他方ローラ２０に巻き取られ図中矢
印Ａで示す方向に移動するようになっている。この時、
レーザ光１３は蒸着物質１８の中央部に照射されるの
で、両端は蒸発せずに残るため、この両端の残存した部
分が他方のローラ２０に巻き取られることになる。そし
て、蒸着物質１８の蒸発により発生した蒸気２３は真空
チャンバ７内を上昇し、基板２２の表面に蒸着されて蒸
着膜２４が形成される。一方、レーザ光１３の照射時
に、蒸発せずに溶融して落下する蒸着物質１８の一部
は、回収皿２１で受け止められて回収される。

【００３２】このように上記実施例１によれば、蒸着物
質１８をシート状に形成して両ローラ１９、２０間を移
動させながら、レーザ光１３を照射することにより瞬時
に蒸発させるようにしているので、投入された電力の熱
伝導による損失を低減して、投入電力に対する蒸気２３
の発生効率を改善することができ、又、蒸着物質１８の
レーザ光１３の照射位置近傍に何も存在していないの
で、不純物が蒸気２３に混入することもなくなり、高品
質の蒸着膜２４を得ることが可能になる。

【００３３】実施例２．図２はこの発明の実施例２にお
ける蒸着装置の概略構成を示す図である。図から明らか
なように、この実施例２における構成は上記実施例１の
場合と同様であるが、レーザ発振器１０から発振される
レーザ光１３が、図中矢印Ｂで示すように、蒸着物質１
８の移動方向に対し遮る方向に移動して、蒸着物質１８
の表面に照射されるようになっている点が異なってい
る。

【００３４】このように上記実施例２によれば、レーザ
光１３を蒸着物質１８の移動方向に対し遮る方向に移動
して、蒸着物質１８の表面に照射するようにしているの
で、幅の広い蒸着物質１８に対しても広範囲な領域にわ
たって照射、蒸発させることが可能になる。尚、この
際、レーザ光１３の移動速度と蒸着物質１８の供給速度
とを調節することにより、蒸着物質１８の端部を残して
他の部分を全て蒸発させることもでき、蒸着物質１８の
蒸発領域を有効に拡大することができる。又、発生する
蒸気２３の密度分布がより均一になるとともに、より広
範囲に広がるので大形基板への蒸着膜の形成が容易とな
る。

【００３５】実施例３．図３はこの発明の実施例３にお
ける蒸着装置の概略構成を示す図である。この実施例３
における構成は上記各実施例１、２の場合と同様である
が、レーザ発振器１０から発振されるレーザ光１３が、
図に示すように蒸着物質１８の表面に照射されるように
なっている点が異なっている。

【００３６】このように上記実施例３によれば、レーザ
光１３を蒸着物質１８の表面にスポット状に照射するよ
うにしているので、蒸着物質１８を離散的に蒸発させる
ことができ、網目状に蒸着物質１８を蒸発させることに
より蒸着物質１８を有効に利用することができる。

【００３７】実施例４．図４はこの発明の実施例４にお
ける蒸着装置の概略構成を示す図である。図において、
上記各実施例におけるものと同様な部分は同一符号を付
して説明を省略する。２５は蒸着物質１８の両端を表裏
から挟み、両端に沿って長手方向に固着された案内部材
で、図示はしないが例えばステンレス等の薄板材をＵ字
状に折曲して形成されている。

【００３８】このように上記実施例４によれば、蒸着物
質１８の両端を案内部材２５で挟むように保持して、他
方のローラ２０に巻き取るようにしているので、蒸着物
質１８の厚さがかなり薄くて、蒸発せずに残存する端部
が切れ易くなった場合でも、案内部材２５で端部が保持
されているため、蒸着物質１８の供給が途切れることも
なく、又、蒸着物質１８の端部ぎりぎりまで蒸発させる
ことが可能になるため、蒸着物質１８を有効に利用する
ことができる。

【００３９】実施例５．図５はこの発明の実施例５にお
ける蒸着装置の概略構成を示す図である。図において、
上記各実施例におけるものと同様な部分は同一符号を付
して説明を省略する。２６、２７は移動方向に対し遮る
方向に２つの領域に分割されるとともに、それぞれ異な
る成分の物質で構成される第１および第２の蒸着物質、
２８はこれら第１および第２の蒸着物質２６、２７がそ
れぞれ蒸発して発生する混合蒸気、２９はこの混合蒸気
２８が蒸着することにより基板２２の表面に形成される
蒸着膜、３０はこの蒸着膜２９が形成される領域を規制
するために設けられたマスクである。

【００４０】上記のように構成された実施例５において
は、図中矢印Ｂに示すようにレーザ光を移動させて、両
蒸着物質２６、２７の表面に照射させると、両蒸着物質
２６、２７はほぼ同時に蒸発して混合蒸気２８が発生
し、真空チャンバ７内を上昇してマスク３０の開口を通
過した後、基板２２の表面の所定の領域に蒸着され２成
分からなる蒸着膜２９が形成される。

【００４１】このように上記実施例５によれば、蒸着物
質をその移動方向に対し遮る方向に２つの領域に分割
し、それぞれ異なる成分でなる第１および第２の蒸着物
質２６、２７で構成し、レーザ光１３の移動によりほぼ
同時に蒸発させるようにしているので、基板２２上に２
成分でなる蒸着膜２９を形成させることが可能になるこ
とは勿論のこと、２つの領域を所定の割合で構成するこ
とにより、蒸着膜２９の組成比を所望の値に設定するこ
とが可能になる。

【００４２】実施例６．図６はこの発明の実施例６にお
ける蒸着装置の概略構成を示す図である。図において、
上記各実施例におけるものと同様な部分は同一符号を付
して説明を省略する。３１、３２は移動方向に２つの領
域に分割されるとともに、それぞれ異なる成分の物質で
構成される第１および第２の蒸着物質、３３、３４はこ
れら第１および第２の蒸着物質３１、３２がそれぞれ蒸
発して発生する各蒸気で、図には第２の蒸着物質３２が
蒸発して発生する蒸気３４を示す。３５は各蒸気３３、
３４が蒸着することにより基板２２の表面に形成される
蒸着膜で、第１および第２の蒸着物質３１、３２の成分
でなる２層に形成されている。

【００４３】上記のように構成された実施例６において
は、レーザ光１３が照射されると、まず、第１の蒸着物
質３１が蒸発して蒸気３３が発生し、真空チャンバ７内
を上昇して基板２２の表面に蒸着される。続いて、ロー
ラ２０の巻き取りが進行して第２の蒸着膜３２にレーザ
光１３が照射されると、第２の蒸着膜３２は蒸発して蒸
気３４が発生し、蒸気３３の場合と同様に真空チャンバ
内を上昇して、蒸気３３が蒸着して形成された蒸着膜の
表面にさらに蒸着されて２層の蒸着膜３５が形成され
る。

【００４４】このように上記実施例６によれば、蒸着物
質をその移動方向に２つの領域に分割し、それぞれ異な
る成分でなる第１および第２の蒸着物質３１、３２で構
成し、レーザ光１３を照射して順次蒸発させるようにし
ているので、基板２２上に異なる成分を有する２層の蒸
着膜３５を形成させることが可能になり、又、２つの領
域を所定の長さ割合で構成することにより、蒸着膜３５
の各層の厚みを所望の値に設定することが可能になる。

【００４５】実施例７．図７はこの発明の実施例７にお
ける蒸着装置の概略構成を示す図である。図において、
上記各実施例におけるものと同様な部分は同一符号を付
して説明を省略する。３６は例えばワイヤ、ロッド等の
ように棒状に形成された蒸着物質で、一対の供給手段３
７、３８により図中矢印Ａで示す方向に連続して供給さ
れる。３９、４０は蒸着物質３６の両側に当設された一
対の電極で、電気抵抗が小さく高融点材料のタングステ
ン等で形成されている。４１は両電極３９、４０間に交
流電圧を印加して所定の電流を通電する電源、４２は蒸
着物質３６が蒸発して発生する蒸気、４３はこの蒸気４
２が基板２２の表面に蒸着して形成される蒸着膜であ
る。

【００４６】次に、上記のように構成された実施例７に
おける蒸着装置の動作について説明する。まず、真空排
気ポンプ８により真空チャンバ７内を１０^-6Torr程度の
高真空状態にする。この時、一対の電極３９、４０は蒸
着物質３６の両側に当接されている。この両電極３９、
４０の蒸着物質３６との接触部は、蒸着物質３６の電気
抵抗や融点等の物性値に基づき、蒸着物質３６の断面積
や通電電流密度等により、その形状および接触面積が考
慮される。

【００４７】次いで、この両電極３９、４０間に電源４
１により交流電圧が印加され、所定の電流が通電され
る。この時の通電電流量は、両供給手段３７、３８によ
り供給される蒸着物質３６が両電極３９、４０間に位置
した時に、瞬間的に融点を越える熱量を受け得る値に設
定される。したがって、この状態になると、電気抵抗の
大きな蒸着物質３６の両電極３９、４０と接触する両側
の周辺が溶融して蒸発し蒸気４２を発生する。そして、
この蒸気４２は真空チャンバ７内を上昇して、基板２２
の表面に蒸着し蒸着膜４３が形成される。なお、蒸着物
質３６の移動速度は、蒸着物質３６が液状に変形する前
に両電極３９、４０間を通過して温度が下がるような値
に制御される。

【００４８】このように上記実施例７によれば、棒状の
蒸着物質３６の両側に一対の電極３９、４０を当接さ
せ、これら両電極に交流電圧を印加して所定の電流を通
電することにより、蒸着物質３６を加熱、蒸発させるよ
うにしているので、直接的に投入電力を蒸着物質３６自
身で熱に変換している分、蒸発効率が向上し、無駄な電
力の消費が防止される。

【００４９】実施例８．尚、上記実施例７では、棒状の
蒸着物質３６を用いた場合について説明したが、図８に
その構成を示すように、実施例１の場合と同様に一方の
ローラ１９に巻回され、他方のローラ２０により図中矢
印Ａで示す方向に巻き取られるシート状の蒸着物質１８
の両側に、一対の電極４４、４５を当接させて、電源４
１により両電極４４、４５間に交流電圧を印加して所定
の電流を通電し、蒸着物質１８を加熱、蒸発させるよう
にしても良く、上記実施例７と同様の効果を発揮し得る
ことは言うまでもない。

【００５０】実施例９．図９はこの発明の実施例９にお
ける蒸着装置の概略構成を示す図である。図において、
上記各実施例におけるものと同様な部分は同一符号を付
して説明を省略する。４８はディスク状の蒸着物質、４
９はこの蒸着物質４８の中心部を支承し、図中矢印Ａで
示すように回転駆動させる第１の電極としての回転手
段、５０は第２の電極５１を図中矢印Ｂで示すように蒸
着物質４８に接近する方向に移動させ、蒸着物質４８の
外周面に当接させる移動手段、５２は蒸着物質４８が蒸
発して発生する蒸気、５３はこの蒸気５２が基板２２の
表面に蒸着することにより形成される蒸着膜である。

【００５１】次に、上記のように構成された実施例９に
おける蒸着装置の動作について説明する。まず、真空排
気ポンプ８により真空チャンバ７内を１０^-6Torr程度の
高真空状態にする。次いで、回転手段４９により蒸着物
質４８を回転させるとともに、移動手段５０により第２
の電極５１を図中矢印Ｂで示す方向に移動させて、蒸着
物質４８の外周面に当接させる。そして、第１の電極と
しての回転手段４９と第２の電極５１との間に、電源４
１により交流電圧を印加して所定の電流を通電させる。

【００５２】すると、蒸着物質４８の外周面周辺は加熱
されて、溶融、蒸発し蒸気５２が発生する。この蒸発に
より蒸着物質４８の径が小さくなるが、この小さくなっ
た分だけ第２の電極５１は移動手段５０の駆動によって
移動し、常時当接状態が維持される。そして、発生した
蒸気５２は真空チャンバ７内を上昇して、基板２２の表
面に蒸着し蒸着膜５３が形成される。

【００５３】このように上記実施例９によれば、ディス
ク状の蒸発物質４８を第１の電極としての回転手段４９
によって支承して回転駆動させるとともに、第２の電極
５１をこの回転する蒸着物質４８の外周面に当接させ、
回転手段４９と第２の電極５１との間に交流電圧を印加
して所定の電流を通電することにより、蒸着物質４８を
加熱して溶融、蒸発させるようにしているので、上記実
施例７と同様に、蒸発効率が向上し無駄な電力の消費が
防止される。

【００５４】

【発明の効果】以上のように、この発明の請求項１によ
れば、真空チャンバ内に相対向して配設される一対のロ
ーラと、ローラのいずれか一方に巻回され順次他方のロ
ーラに巻き取られて移動するシート状の蒸着物質とを備
え、移動する蒸着物質の表面にレーザ光または電子ビー
ムを照射して蒸発させ、これを被蒸着物の表面に蒸着さ
せるようにしたので、投入電力の無駄な消費を防止する
とともに、質の高い蒸着膜を得ることが可能な蒸着装置
を提供することができる。

【００５５】又、この発明の請求項２によれば、請求項
１において、レーザ光または電子ビームを蒸着物質の移
動方向に対し遮る方向に移動させて蒸着物質の表面に照
射させるようにしたので、投入電力の無駄な消費を防止
するとともに、質の高い蒸着膜を得ることが可能である
ことは勿論のこと、大形被蒸着物への蒸着膜の形成が容
易な蒸着装置を提供することができる。

【００５６】又、この発明の請求項３によれば、請求項
１において、レーザ光または電子ビームを蒸着物質の表
面にパルス状に照射させるようにしたので、投入電力の
無駄な消費を防止するとともに、質の高い蒸着膜を得る
ことが可能であることは勿論のこと、蒸着物質の有効利
用が可能な蒸着装置を提供することができる。

【００５７】又、この発明の請求項４によれば、請求項
１において、蒸着物質を異なる複数の物質で構成したの
で、投入電力の無駄な消費を防止するとともに、質の高
い蒸着膜を得ることが可能であることは勿論のこと、複
数の異なる成分を有した蒸着膜を得ることが可能な蒸着
装置を提供することができる。

【００５８】又、この発明の請求項５によれば、請求項
４において、蒸着物質を移動方向に対し遮る方向に複数
の領域に分割するとともに各領域をそれぞれ異なる物質
で構成したので、投入電力の無駄な消費を防止するとと
もに、質の高い蒸着膜を得ることが可能であることは勿
論のこと、複数の成分を所望の組成比で構成した蒸着膜
を得ることが可能な蒸着装置を提供することができる。

【００５９】又、この発明の請求項６によれば、請求項
４において、蒸着物質を移動方向に複数の領域に分割す
るとともに各領域をそれぞれ異なる物質で構成したの
で、投入電力の無駄な消費を防止するとともに、質の高
い蒸着膜を得ることが可能であることは勿論のこと、異
なる成分の蒸着物質が所望の厚さで積層された蒸着膜を
得ることが可能な蒸着装置を提供することができる。

【００６０】又、この発明の請求項７によれば、請求項
１ないし６のいずれかにおいて、蒸着物質の両側を案内
部材で保持するようにしたので、投入電力の無駄な消費
を防止するとともに、質の高い蒸着膜を得ることが可能
であることは勿論のこと、蒸着物質の有効利用が可能な
蒸着装置を提供することができる。

【００６１】又、この発明の請求項８によれば、請求項
１ないし７のいずれかにおいて、蒸着物質のレーザ光ま
たは電子ビームが照射される位置の下方には回収皿を配
設するようにしたので、投入電力の無駄な消費を防止す
るとともに、質の高い蒸着膜を得ることが可能であるこ
とは勿論のこと、蒸着物質の有効利用が可能な蒸着装置
を提供することができる。

【００６２】又、この発明の請求項９によれば、真空チ
ャンバ内を一方から他方に移送されるシート状または棒
状の蒸着物質と、蒸着物質の両側に当接された一対の電
極とを備え、両電極間に所定の電流を通電することによ
り蒸着物質を蒸発させ、これを被蒸着物の表面に蒸着さ
せるようにしたので、投入電力の無駄な消費を防止する
とともに、質の高い蒸着膜を得ることが可能な蒸着装置
を提供することができる。

【００６３】又、この発明の請求項１０によれば、真空
チャンバ内に配設されるディスク状の蒸着物質と、蒸着
物質の中心部を回転可能に支承するとともに一方の電極
となる第１の電極と、蒸着物質の外周面に当接し且つ蒸
着物質と接離する方向に移動可能で他方の電極となる第
２の電極とを備え、蒸着物質を回転させるとともに両電
極間に所定の電流を通電することにより蒸着物質を蒸発
させ、これを被蒸着物の表面に蒸着させるようにしたの
で、投入電力の無駄な消費を防止するとともに、質の高
い蒸着膜を得ることが可能な蒸着装置を提供することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施例１における蒸着装置の概略
構成を示す図である。

【図２】この発明の実施例２における蒸着装置の概略
構成を示す図である。

【図３】この発明の実施例３における蒸着装置の概略
構成を示す図である。

【図４】この発明の実施例４における蒸着装置の概略
構成を示す図である。

【図５】この発明の実施例５における蒸着装置の概略
構成を示す図である。

【図６】この発明の実施例６における蒸着装置の概略
構成を示す図である。

【図７】この発明の実施例７における蒸着装置の概略
構成を示す図である。

【図８】この発明の実施例８における蒸着装置の概略
構成を示す図である。

【図９】この発明の実施例９における蒸着装置の概略
構成を示す図である。

【図１０】従来の蒸着装置の一例の概略構成を示す図
である。

【図１１】従来の蒸着装置の他の例の概略構成を示す
図である。

【符号の説明】

７真空チャンバ、７ａ入射窓、１０レーザ発振
器、１３レーザ光、１８，２６，２７，３１，３２，
３６，４８蒸着物質、１９，２０ローラ、２１回
収皿、２２基板、２３，２８，３３，３４，４２，４
６，５２蒸気、２４，２９，３５，４３，４７，５３
蒸着膜、２５案内部材、３９，４０，４４，４５，
５１電極、４９回転手段、５２移動手段。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】真空チャンバ内に相対向して配設される
一対のローラと、上記ローラのいずれか一方に巻回され
順次他方のローラに巻き取られて移動するシート状の蒸
着物質とを備え、移動する上記蒸着物質の表面にレーザ
光または電子ビームを照射して蒸発させ、これを被蒸着
物の表面に蒸着させるようにしたことを特徴とする蒸着
装置。
【請求項２】レーザ光または電子ビームを蒸着物質の
移動方向に対し遮る方向に移動させて上記蒸着物質の表
面に照射させるようにしたことを特徴とする請求項１記
載の蒸着装置。
【請求項３】レーザ光または電子ビームを蒸着物質の
表面にパルス状に照射させるようにしたことを特徴とす
る請求項１記載の蒸着装置。
【請求項４】蒸着物質は異なる複数の物質で構成され
ていることを特徴とする請求項１記載の蒸着装置。
【請求項５】蒸着物質は移動方向に対し遮る方向に複
数の領域に分割されるとともに上記各領域はそれぞれ異
なる物質で構成されていることを特徴とする請求項４記
載の蒸着装置。
【請求項６】蒸着物質は移動方向に複数の領域に分割
されるとともに上記各領域はそれぞれ異なる物質で構成
されていることを特徴とする請求項４記載の蒸着装置。
【請求項７】蒸着物質の両側は案内部材で保持されて
いることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記
載の蒸着装置。
【請求項８】蒸着物質のレーザ光または電子ビームが
照射される位置の下方には回収皿が配置されていること
を特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の蒸着
装置。
【請求項９】真空チャンバ内を一方から他方に移送さ
れるシート状または棒状の蒸着物質と、上記蒸着物質の
両側に当接された一対の電極とを備え、上記両電極間に
所定の電流を通電することにより上記蒸着物質を蒸発さ
せ、これを被蒸着物の表面に蒸着させるようにしたこと
を特徴とする蒸着装置。
【請求項１０】真空チャンバ内に配設されるディスク
状の蒸着物質と、上記蒸着物質の中心部を回転可能に支
承するとともに一方の電極となる第１の電極と、上記蒸
着物質の外周面に当接し且つ上記蒸着物質と接離する方
向に移動可能で他方の電極となる第２の電極とを備え、
上記蒸着物質を回転させるとともに上記両電極間に所定
の電流を通電することにより上記蒸着物質を蒸発させ、
これを被蒸着物の表面に蒸着させるようにしたことを特
徴とする蒸着装置。