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JPH08318574A - Formation of three-dimensional shape - Google Patents

Formation of three-dimensional shape

Info

Publication number
JPH08318574A
JPH08318574A JP7127991A JP12799195A JPH08318574A JP H08318574 A JPH08318574 A JP H08318574A JP 7127991 A JP7127991 A JP 7127991A JP 12799195 A JP12799195 A JP 12799195A JP H08318574 A JPH08318574 A JP H08318574A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
dimensional shape
forming
irradiation position
light beam
sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP7127991A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3155168B2 (en
Inventor
Zenichi Shikada
善一 鹿田
Sakuo Kamata
策雄 鎌田
Yoshiyuki Uchinono
良幸 内野々
Yoshikazu Azuma
喜万 東
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Electric Works Co Ltd
Original Assignee
Matsushita Electric Works Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by Matsushita Electric Works Ltd filed Critical Matsushita Electric Works Ltd
Priority to JP12799195A priority Critical patent/JP3155168B2/en
Publication of JPH08318574A publication Critical patent/JPH08318574A/en
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Abstract

PURPOSE: To shape a three-dimensional shape with high accuracy by laser beam. CONSTITUTION: In a method obtaining a shaped article having a desired three- dimensional shape by irradiating the photo-setting resin soln. 15 stored in a resin soln. tank 12 with laser beam to form a photo-set layer 16 and stacking a plurality of the photo-set layers, the irradiation position of laser beam is measured by a sensor 30 at each time when each layer is shaped and a shaped article having a three-dimensional shape is obtained while the fluctuations of the irradiation position of laser beam are corrected on the basis of the measuring result.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、三次元形状の形成方
法に関し、詳しくは、光の照射によって硬化する光硬化
性樹脂を用いて、立体的な三次元形状を有する物品を成
形製造する方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for forming a three-dimensional shape, and more particularly to a method for molding and producing an article having a three-dimensional shape using a photocurable resin which is cured by irradiation with light. It is about.

【0002】[0002]

【従来の技術】光硬化性樹脂を用いて三次元形状を形成
する方法は、複雑な三次元形状を、成形型や複雑な加工
工具等を用いることなく、簡単かつ正確に形成すること
ができる方法として、各種の製品モデルや立体模型の製
造等に利用することが考えられている。具体的には、例
えば、特開昭63−141724号公報や特開平2−1
88229号公報などに開示された方法がある。
2. Description of the Related Art A method of forming a three-dimensional shape using a photo-curable resin can easily and accurately form a complicated three-dimensional shape without using a molding die or a complicated processing tool. As a method, it is considered to use it for manufacturing various product models and three-dimensional models. Specifically, for example, JP-A-63-141724 and JP-A-2-1 can be used.
There is a method disclosed in Japanese Patent No. 88229.

【0003】特開昭63−141724号公報に開示さ
れた方法は、樹脂液槽内に光硬化性樹脂液を蓄えておく
とともに、昇降自在な成形台を設けておく。成形台を一
旦液面下に深く沈めたのち、成形台を樹脂液面よりもわ
ずか下の位置まで上昇させると、成形台の上には必要と
する光硬化層の厚みに対応した厚みを有する光硬化性樹
脂液薄層が自然に形成される。この樹脂液薄層に形状デ
ータで変調されたレーザ光をスキャナにより走査して照
射し光硬化させるのである。このような、成形台を昇降
させて樹脂液薄層を形成する工程とレーザ光を照射して
光硬化層を形成する工程とを繰り返すことによって、成
形台の上には、光硬化層が積み重ねられ、所望の三次元
形状を備えた成形品が得られる。
According to the method disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 63-141724, a photocurable resin liquid is stored in a resin liquid tank and a vertically movable molding table is provided. Once the molding table is deeply submerged below the liquid surface, the molding table is raised to a position slightly below the resin surface, and the molding table has a thickness corresponding to the required photocurable layer thickness. A photocurable resin liquid thin layer is naturally formed. The thin resin liquid layer is scanned and irradiated with laser light modulated by shape data by a scanner to be photo-cured. By repeating the process of raising and lowering the molding table to form the thin resin liquid layer and the step of irradiating the laser beam to form the photocurable layer, the photocurable layer is stacked on the molding table. Thus, a molded product having a desired three-dimensional shape is obtained.

【0004】特開平2−188229号公報に開示され
た方法は、樹脂液槽の底を透光板で形成しておき、成形
台を透光板との間にわずかな隙間があく程度まで沈めた
状態で、透光板の下方から樹脂液槽内に向けて形状デー
タで変調されたレーザ光をXY移動装置(スキャナ)に
より走査して照射し、透光板と成形台の間の樹脂液薄層
を光硬化させる。光硬化層が形成された後、成形台を少
し上昇させれば、光硬化層は成形台に付着したまま持ち
上げられ、この光硬化層と透光板の間には、新たな樹脂
液が供給される。このような工程を繰り返すことで、成
形台の下面に光硬化層が付着した状態で積み重ねられて
いくのである。
In the method disclosed in Japanese Unexamined Patent Publication No. 2-188229, the bottom of the resin liquid tank is formed of a transparent plate, and the molding table is submerged to the extent that there is a slight gap between the transparent plate and the transparent plate. In this state, the laser light modulated with the shape data is scanned from below the transparent plate into the resin liquid tank by the XY moving device (scanner) and irradiated, and the resin liquid between the transparent plate and the molding table is irradiated. Light cure the thin layer. After the photo-curing layer is formed, if the molding table is raised a little, the photo-curing layer is lifted while being attached to the molding table, and new resin liquid is supplied between the photo-curing layer and the transparent plate. . By repeating such steps, the photocurable layer is stacked on the lower surface of the molding table in a state of being attached thereto.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】前記従来の形成方法で
は、短時間の造形ではレーザ光による正確な露光が可能
である。しかし、長時間の造形においては、レーザ光の
光源における発振点のずれ、環境温度の変化によるレー
ザ光源や光学系を支持する支持部材のたわみ、およびス
キャナ自身の温度変化等の要因により所定位置に正確に
レーザ光を照射することが困難である。
According to the above-mentioned conventional forming method, it is possible to perform accurate exposure with a laser beam in the case of modeling in a short time. However, when modeling for a long time, the laser light source shifts in the oscillation point, the deflection of the support member that supports the laser light source and the optical system due to changes in the ambient temperature, and the temperature change of the scanner itself cause factors such as temperature changes. It is difficult to irradiate laser light accurately.

【0006】図14は、樹脂液面の9か所に照射位置を
測定するための2次元PSD(位置検出素子)からなる
9個のセンサA〜Iを配置したときの照射位置の変化を
示す図である。図14から明らかなように、長時間レー
ザ光を照射すると、前記要因により各測定位置で照射位
置が経時的に変化する。このように長時間のレーザ光の
照射により樹脂形成位置における照射位置がずれて樹脂
液面を正確に露光できないと、各光硬化層間で形状が変
化して高精度に造形を行うことができないという問題が
生じる。
FIG. 14 shows changes in the irradiation position when nine sensors A to I, which are two-dimensional PSDs (position detecting elements) for measuring the irradiation position, are arranged at nine positions on the resin liquid surface. It is a figure. As is clear from FIG. 14, when the laser light is irradiated for a long time, the irradiation position changes with time at each measurement position due to the above factors. If the irradiation position at the resin forming position is displaced by the irradiation of the laser light for a long time and the resin liquid surface cannot be accurately exposed in this way, the shape changes between the photo-curing layers, and it is impossible to perform molding with high accuracy. The problem arises.

【0007】そこで、この発明の課題は、光ビームによ
り三次元形状を造形するに際し、高精度に造形を行うこ
とができる三次元形状の形成方法を提供することにあ
る。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a method for forming a three-dimensional shape that can be formed with high precision when forming a three-dimensional shape with a light beam.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決する、本
発明の請求項1にかかる三次元形状の形成方法は、樹脂
液槽に貯留された光硬化性樹脂液に光ビームを照射して
光硬化層を形成し、この光硬化層を複数層積み重ねて所
望の三次元形状を備えた造形物を得る方法において、前
記光ビームの照射位置を測定し、その測定結果に基づき
光ビームの照射位置の変動を補正することを特徴とす
る。
A method for forming a three-dimensional shape according to claim 1 of the present invention, which solves the above-mentioned problems, is to irradiate a photocurable resin liquid stored in a resin liquid tank with a light beam. In the method of forming a photocurable layer and stacking a plurality of the photocurable layers to obtain a modeled article having a desired three-dimensional shape, the irradiation position of the light beam is measured, and the irradiation of the light beam is performed based on the measurement result. It is characterized in that the position variation is corrected.

【0009】基本的な使用装置や作業工程は、前記した
先行技術に開示されたような、通常の各種三次元形状の
形成方法の場合と同様でよく、使用する光硬化性樹脂の
材料や形成する三次元形状も自由に選択することができ
る。例えば、光硬化性樹脂としては、ウレタン、ウレタ
ン−アクリレート、エポキシ、エポキシ−アクリレート
系などの光硬化性樹脂が使用される。
The basic use device and working process may be the same as in the case of the method for forming various three-dimensional shapes in general as disclosed in the above-mentioned prior art, and the material and formation of the photocurable resin to be used. The three-dimensional shape to be used can be freely selected. For example, as the photocurable resin, a photocurable resin such as urethane, urethane-acrylate, epoxy, or epoxy-acrylate resin is used.

【0010】照射する光は、通常、レーザ光などの光ビ
ームが用いられ、このような光ビームを走査させて、所
定形状の光硬化層を形成する。光のエネルギ密度は、レ
ーザ発振器における発振強度や、照射された光が通過す
る光学系の構成、発振器から照射する樹脂液までの距
離、光を走査する際の走査速度、樹脂液の光透過特性な
どの条件によって変わってくる。光ビームの場合、ビー
ム径によってエネルギ密度が変わり、その焦点位置で、
ビーム径は最も小さくエネルギ密度は最も大きくなり、
焦点から前後に離れるほど、ビーム径は大きくエネルギ
密度は小さくなる。
A light beam such as a laser beam is usually used as the irradiation light, and such a light beam is scanned to form a photo-cured layer having a predetermined shape. The energy density of light is the oscillation intensity of the laser oscillator, the configuration of the optical system through which the irradiated light passes, the distance from the oscillator to the resin liquid to be irradiated, the scanning speed when scanning light, the light transmission characteristics of the resin liquid. It depends on such conditions. In the case of a light beam, the energy density changes depending on the beam diameter, and at that focus position,
The beam diameter is the smallest and the energy density is the largest,
The beam diameter increases and the energy density decreases as the distance from the focal point increases.

【0011】請求項2に係る三次元形状の形成方法は、
請求項1記載の方法において、固定された1個または複
数個のセンサで照射位置を測定する。請求項3に係る三
次元形状の形成方法は、請求項2記載の方法において、
光ビームの光源と実質的に同じ高さ位置に配置されたセ
ンサで照射位置を測定する。請求項4に係る三次元形状
の形成方法は、請求項3記載の方法において、光ビーム
を分光し、ひとつの分光ビームの照射位置をセンサで測
定する。
A method of forming a three-dimensional shape according to claim 2 is
The method according to claim 1, wherein the irradiation position is measured by one or a plurality of fixed sensors. The method for forming a three-dimensional shape according to claim 3 is the method according to claim 2,
The irradiation position is measured by a sensor arranged at substantially the same height as the light source of the light beam. A three-dimensional shape forming method according to a fourth aspect is the method according to the third aspect, wherein the light beam is dispersed and the irradiation position of one spectral beam is measured by a sensor.

【0012】請求項5に係る三次元形状の形成方法は、
請求項1記載の方法において、移動する1個または複数
個のセンサを用い、所定位置における光ビームの照射位
置を認識する。請求項6に係る三次元形状の形成方法
は、請求項5記載の方法において、センサは、成形台ま
たは先に形成された光硬化層の上に形成された樹脂液層
の少なくとも一部を水平移動により掃き取る掃き取り部
材に取り付けられている。
A method for forming a three-dimensional shape according to claim 5 is
The method according to claim 1, wherein the irradiation position of the light beam at a predetermined position is recognized by using one or a plurality of moving sensors. The method for forming a three-dimensional shape according to claim 6 is the method according to claim 5, wherein the sensor horizontally positions at least a part of the resin liquid layer formed on the molding table or the photo-cured layer formed previously. It is attached to a sweeping member that is swept by movement.

【0013】請求項7に係る三次元形状の形成方法は、
請求項6記載の方法において、掃き取り部材を造形物の
造形エリアの中央部および端部で静止させる。請求項8
に係る三次元形状の形成方法は、請求項6または7記載
の方法において、掃き取り部材の水平移動動作に光ビー
ムを同期させる。請求項9に係る三次元形状の形成方法
は、請求項1〜8のいずれかに記載の方法において、各
光硬化層を得る毎に変動補正を行う。
The method for forming a three-dimensional shape according to claim 7 is
The method according to claim 6, wherein the sweeping member is made stationary at the center and the end of the shaping area of the shaping object. Claim 8
The method for forming a three-dimensional shape according to claim 6 is the method according to claim 6 or 7, wherein the light beam is synchronized with the horizontal movement operation of the sweeping member. A method for forming a three-dimensional shape according to a ninth aspect is the method according to any one of the first to eighth aspects, in which variation correction is performed each time each photo-cured layer is obtained.

【0014】請求項10に係る三次元形状の形成方法
は、請求項1〜8のいずれかに記載の方法において、一
定時間毎および/または一定層を得る毎に変動補正を行
う。請求項11に係る三次元形状の形成方法は、請求項
1〜10のいずれかに記載の方法において、光ビームの
焦点距離および/またはビーム径を測定し、光ビームの
焦点距離の変動をさらに補正する。
The method for forming a three-dimensional shape according to a tenth aspect is the method according to any one of the first to eighth aspects, in which the variation correction is performed every constant time and / or every time a constant layer is obtained. The method for forming a three-dimensional shape according to claim 11 is the method according to any one of claims 1 to 10, wherein the focal length and / or the beam diameter of the light beam is measured, and fluctuations in the focal length of the light beam are further measured. to correct.

【0015】請求項12に係る三次元形状の形成方法
は、請求項1〜11のいずれかに記載の方法において、
光ビームの出力を測定し、光源の出力を制御する。
A method of forming a three-dimensional shape according to claim 12 is the method according to any one of claims 1 to 11,
The output of the light beam is measured and the output of the light source is controlled.

【0016】[0016]

【作用】請求項1にかかる三次元形状の形成方法では、
光ビームを照射する際に、所定のタイミングで光ビーム
の照射位置をセンサにより測定し、その測定結果に基づ
き光ビームの照射位置の変動を補正する。そして光ビー
ムを樹脂液槽に貯留された樹脂液層に照射して光硬化層
を形成し、光硬化層を昇降させることで光硬化層に接し
て樹脂液層を形成する。この工程を繰り返して光硬化層
を複数層積み重ねて所望の三次元形状を備えた造形物を
得る。ここでは、光ビームの照射位置を測定し、その測
定位置に基づいて照射位置の変動が補正されるので、照
射位置が変動しにくくなり、高精度に造形を行うことが
できる。
In the method for forming a three-dimensional shape according to claim 1,
When irradiating the light beam, the irradiation position of the light beam is measured by a sensor at a predetermined timing, and the variation of the irradiation position of the light beam is corrected based on the measurement result. Then, a light beam is applied to the resin liquid layer stored in the resin liquid tank to form a photocurable layer, and the photocurable layer is moved up and down to contact the photocurable layer to form the resin liquid layer. By repeating this process, a plurality of photocurable layers are stacked to obtain a molded article having a desired three-dimensional shape. Here, since the irradiation position of the light beam is measured and the fluctuation of the irradiation position is corrected based on the measured position, the irradiation position is less likely to change and the modeling can be performed with high accuracy.

【0017】請求項2に係る三次元形状の形成方法で
は、固定された1個または複数個のセンサで照射位置が
測定されるので、センサの位置が確実に固定され測定精
度が向上し、より高精度に造形を行うことができる。請
求項3に係る三次元形状の形成方法では、光ビームの光
源と実質的に同じ高さ位置に配置されたセンサで照射位
置が測定されるので、光学系の支持部材のたわみによる
影響を受けにくくなるとともに樹脂液の付着等の問題が
生じなくなり、測定精度がより向上するとともにセンサ
性能の劣化を防止できる。
In the method for forming a three-dimensional shape according to the second aspect, since the irradiation position is measured by one or a plurality of fixed sensors, the position of the sensor is surely fixed and the measurement accuracy is improved. Highly accurate modeling is possible. In the method for forming a three-dimensional shape according to claim 3, since the irradiation position is measured by the sensor arranged at substantially the same height as the light source of the light beam, it is affected by the deflection of the supporting member of the optical system. In addition, the problem of adhesion of resin liquid does not occur, the measurement accuracy is further improved, and the deterioration of the sensor performance can be prevented.

【0018】請求項4に係る三次元形状の形成方法で
は、光ビームを分光し、ひとつの分光ビームの照射位置
がセンサで測定されるので、樹脂液層に照射中の光ビー
ムの照射位置の変動をリアルタイムに正確に補正でき、
より高精度に造形を行うことができる。請求項5に係る
三次元形状の形成方法では、移動する1個または複数個
のセンサを用い、所定位置における光ビームの照射位置
を認識するので、移動する光ビームの照射位置を広範囲
に正確に測定できる。
In the method for forming a three-dimensional shape according to the fourth aspect, since the light beam is dispersed and the irradiation position of one spectral beam is measured by the sensor, the irradiation position of the light beam being irradiated on the resin liquid layer is determined. You can accurately correct fluctuations in real time,
It is possible to perform modeling with higher accuracy. In the method for forming a three-dimensional shape according to claim 5, since the irradiation position of the light beam at a predetermined position is recognized using one or a plurality of moving sensors, the irradiation position of the moving light beam can be accurately measured in a wide range. Can be measured.

【0019】請求項6に係る三次元形状の形成方法で
は、掃き取り部材に取り付けられセンサで照射位置が測
定されるので、別の移動部材を用いることなくセンサを
移動できる。請求項7に係る三次元形状の形成方法で
は、掃き取り部材が造形物の造形エリアの中央部および
端部で静止するので、樹脂液面における平行移動分の補
正(原点補正)だけでなく、基準点(端部)からの距離
によるずれ量の増分を考慮した補正(ゲイン補正)も行
うことができ、より高精度に変動を補正できる。
In the method for forming a three-dimensional shape according to the sixth aspect, since the irradiation position is measured by the sensor attached to the sweeping member, the sensor can be moved without using another moving member. In the method for forming a three-dimensional shape according to claim 7, since the sweeping member is stationary at the center and the end of the modeling area of the modeled object, not only the correction of the parallel movement on the resin liquid surface (origin correction), but also the The correction (gain correction) can be performed in consideration of the increment of the shift amount due to the distance from the reference point (end portion), and the variation can be corrected with higher accuracy.

【0020】請求項8に係る三次元形状の形成方法で
は、掃き取り部材の水平移動動作に光ビームが同期して
移動するので、複数個の有限なセンサで照射中の任意の
照射位置の変動を補正でき、より高精度に造形を行うこ
とができる。請求項9に係る三次元形状の形成方法で
は、各光硬化層を得る毎に変動補正が行われるので、各
光硬化層の造形精度がより向上する。
In the method for forming a three-dimensional shape according to the eighth aspect, since the light beam moves in synchronization with the horizontal movement operation of the sweeping member, the fluctuation of any irradiation position during irradiation by a plurality of finite sensors. Can be corrected, and modeling can be performed with higher accuracy. In the method for forming a three-dimensional shape according to the ninth aspect, the variation correction is performed each time each photo-cured layer is obtained, so that the modeling accuracy of each photo-cured layer is further improved.

【0021】請求項10に係る三次元形状の形成方法で
は、一定時間毎および/または一定層を得る毎に変動補
正が行われるので、造形精度がより向上する。請求項1
1に係る三次元形状の形成方法では、たとえば所定のタ
イミングで光ビームの焦点距離および/またはビーム径
が測定されて、照射位置の変動の補正に加えて光ビーム
の焦点距離の変動がさらに補正されるので、光ビーム照
射時の樹脂の硬化形状、硬化度合などを一定にでき、よ
り高精度で層間の接着力が優れた造形が可能になる。
In the three-dimensional shape forming method according to the tenth aspect, since the variation correction is performed every fixed time and / or each time a fixed layer is obtained, the molding accuracy is further improved. Claim 1
In the method for forming a three-dimensional shape according to the first aspect, for example, the focal length and / or the beam diameter of the light beam are measured at a predetermined timing, and in addition to the correction of the variation of the irradiation position, the variation of the focal length of the light beam is further corrected. Therefore, it is possible to make the cured shape, the degree of curing, etc. of the resin at the time of irradiation of the light beam constant, and it is possible to perform modeling with higher accuracy and excellent adhesive force between layers.

【0022】請求項12に係る三次元形状の形成方法で
は、たとえば所定のタイミングで光ビームの出力が測定
され、その測定結果に基づき光源の出力が制御されるの
で、光源の出力の変動が抑えられ、光ビーム照射時の樹
脂の硬化形状、硬化度合などを一定にでき、より高精度
で層間の接着力が優れた造形が可能になる。
In the three-dimensional shape forming method according to the twelfth aspect, for example, the output of the light beam is measured at a predetermined timing, and the output of the light source is controlled based on the measurement result, so that the fluctuation of the output of the light source is suppressed. Therefore, it is possible to make the cured shape, the degree of curing, etc. of the resin during irradiation of the light beam constant, and thus it is possible to perform modeling with higher accuracy and excellent adhesive force between layers.

【0023】[0023]

【実施例】ついで、この発明の実施例について、図面を
参照しながら以下に説明する。実施例1 図1は、実施例1の実施に用いる光造形装置を示してい
る。図1において、光造形装置は、光源10と、光源1
0から照射された光をXY平面上に走査する光走査部1
1と、光硬化性樹脂液15を貯留する矩形枠状の樹脂液
槽12と、樹脂液槽12内に沈められた水平台状をなす
成形台13と、樹脂液槽12上を水平移動するドクター
ブレード(掃き取り部材)14とを備えている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. Example 1 FIG. 1 shows a stereolithography apparatus used for carrying out Example 1. In FIG. 1, the stereolithography apparatus includes a light source 10 and a light source 1.
Optical scanning unit 1 for scanning the light emitted from 0 on the XY plane
1, a rectangular-frame-shaped resin liquid tank 12 that stores the photocurable resin liquid 15, a horizontal stand-shaped molding base 13 that is submerged in the resin liquid tank 12, and moves horizontally on the resin liquid tank 12. And a doctor blade (sweeping member) 14.

【0024】光源10は、たとえば、紫外線レーザ光を
照射するガスレーザ発振源であり、支持ステージ20上
に取り付けられている。光走査部11は、光源10とと
もに支持ステージ20に取り付けられている。光走査部
11は、光源10からのレーザ光を反射する3つの固定
ミラー21,22,23と、固定ミラー23で反射した
光をX方向に走査するX走査ミラー24と、X走査ミラ
ー24でX方向に走査されたレーザ光をY方向に走査し
て成形台13上の樹脂液面に向けて照射するY走査ミラ
ー25とを有している。X走査ミラー24およびY走査
ミラー25は、それぞれの駆動部26,27を有してお
り、駆動部26,27によりその傾斜角度を変更するこ
とでそれぞれの方向にレーザ光を走査する。すなわち、
光走査部11では、光源10から投射されたレーザ光1
7を2つの走査ミラー24,25でX,Yの2方向に偏
向して成形台13上に照射する。
The light source 10 is, for example, a gas laser oscillation source that radiates ultraviolet laser light, and is mounted on the support stage 20. The optical scanning unit 11 is attached to the support stage 20 together with the light source 10. The optical scanning unit 11 includes three fixed mirrors 21, 22 and 23 that reflect the laser light from the light source 10, an X scanning mirror 24 that scans the light reflected by the fixed mirror 23 in the X direction, and an X scanning mirror 24. It has a Y scanning mirror 25 which scans the laser beam scanned in the X direction in the Y direction and irradiates the laser beam toward the resin liquid surface on the molding table 13. The X-scanning mirror 24 and the Y-scanning mirror 25 have respective drive units 26 and 27, and the laser beams are scanned in the respective directions by changing the inclination angle of the drive units 26 and 27. That is,
In the optical scanning unit 11, the laser light 1 projected from the light source 10
7 is deflected in two directions of X and Y by two scanning mirrors 24 and 25, and is irradiated onto the molding table 13.

【0025】樹脂液槽12の一隅には、直方体形状の凹
部12aが形成されており、この凹部12aには、光源
10から照射されたレーザ光の照射位置を検出するため
のセンサ30が設けられている。なお、センサ30は1
個ではなく複数個設けてもよい。センサ30は、たとえ
ば2次元位置検出素子(PSD)からなり、センサ30
に照射されたレーザ光の照射位置の所定位置(通常は受
光面の中心)からのX,Y方向のずれ量を2次元で検出
できる。このセンサ30は、コンピュータ31に接続さ
れている。
A rectangular parallelepiped recess 12a is formed at one corner of the resin liquid tank 12, and a sensor 30 for detecting the irradiation position of the laser beam emitted from the light source 10 is provided in the recess 12a. ing. In addition, the sensor 30 is 1
A plurality of pieces may be provided instead of individual pieces. The sensor 30 includes, for example, a two-dimensional position detecting element (PSD),
It is possible to two-dimensionally detect the amount of deviation in the X and Y directions of the irradiation position of the laser light irradiated to the position from a predetermined position (usually the center of the light receiving surface). The sensor 30 is connected to the computer 31.

【0026】コンピュータ31には、X,Y駆動部2
6,27と光源10と成形台昇降機構とドクターブレー
ド移動機構とも接続されている。コンピュータ31は、
成形台昇降機構とドクターブレード移動機構との移動を
制御するとともに、走査データに基づき光源10および
X,Y駆動部26,27を制御する。また、コンピュー
タ31は、所定のタイミングでセンサ30にレーザ光を
照射し、センサ30により照射位置が検出されると、所
定位置からのずれ量に基づき駆動部26,27を制御
し、走査ミラー24,25を傾けて照射位置の変動を補
正する。
The computer 31 includes an X, Y drive unit 2
6, 27, the light source 10, the forming table elevating mechanism, and the doctor blade moving mechanism are also connected. The computer 31
The light source 10 and the X, Y drive units 26, 27 are controlled based on the scan data while controlling the movements of the forming table elevating mechanism and the doctor blade moving mechanism. Further, the computer 31 irradiates the sensor 30 with laser light at a predetermined timing, and when the sensor 30 detects the irradiation position, controls the drive units 26 and 27 based on the deviation amount from the predetermined position, and the scanning mirror 24. , 25 are tilted to correct variations in the irradiation position.

【0027】成形台13は、樹脂液槽12の外部に設置
された昇降機構(図示せず)により、樹脂液15中で昇
降可能になっており、造形された光硬化層16を支持す
る。ドクターブレード14は、樹脂液槽12の外部に設
置された水平移動機構(図示せず)により水平移動可能
となっている。ドクターブレード14は、成形台13ま
たは先に形成された光硬化層16の上に形成された樹脂
液薄膜上を水平移動により掃き取り、樹脂液薄層の厚み
を一定にしかつ表面を滑らかにするための部材である。
The molding table 13 can be moved up and down in the resin liquid 15 by an elevating mechanism (not shown) installed outside the resin liquid tank 12, and supports the formed photocurable layer 16. The doctor blade 14 can be horizontally moved by a horizontal moving mechanism (not shown) installed outside the resin liquid tank 12. The doctor blade 14 sweeps the resin liquid thin film formed on the molding table 13 or the photo-curing layer 16 previously formed by horizontal movement to sweep the resin liquid thin layer to a uniform thickness and smooth the surface. It is a member for.

【0028】次に、本発明方法の実施例1の実施手順の
一例を、図2に示すフローチャートにしたがって説明す
る。コンピュータ31に電源が投入されると、図2のス
テップS1では、X,Y駆動部26,27に所定の指令
値を送信し、X,Y走査ミラー24,25を傾けてセン
サ30の受光面に向けてレーザ光を照射する。ステップ
S2では、センサ30のレーザ光の照射位置(X0,Y
0)を読み込む。この照射位置(X0,Y0)が以降の
照射位置の原点となる。
Next, an example of the procedure for carrying out the first embodiment of the method of the present invention will be described with reference to the flow chart shown in FIG. When the computer 31 is powered on, in step S1 of FIG. 2, a predetermined command value is transmitted to the X, Y drive units 26, 27, the X, Y scanning mirrors 24, 25 are tilted, and the light receiving surface of the sensor 30 is detected. Laser light is radiated toward. In step S2, the laser beam irradiation position of the sensor 30 (X0, Y
0) is read. This irradiation position (X0, Y0) becomes the origin of the subsequent irradiation positions.

【0029】ステップS3では、光源10およびX,Y
駆動部26,27に走査データを送信する。ステップS
4では、レーザ光を樹脂液面のXY方向に走査する。こ
の結果、樹脂液槽12内の成形台13上の樹脂液15の
露光部分が1層分所定の形状に硬化し、光硬化層16が
造形される。ステップS5では、成形台13を所定量下
降させ、続いて、ドクターブレード14を動作させる。
この結果、造形された光硬化層16の上に一定厚みの滑
らかな樹脂液薄膜が形成される。ステップS6では、全
ての光硬化層16の造形が終了したか否かを判断する。
全ての光硬化層16の造形が終了した場合には処理を終
了し、造形が終了していない場合にはステップS7に移
行する。ステップS7では、ステップS1と同様に所定
の指令値をX,Y駆動部26,27に送信し、X,Y走
査ミラー24,25を傾けてセンサ30の受光面に向け
てレーザ光を照射する。ステップS8では、センサ30
のレーザ光の照射位置(X1,Y1)を読み込む。ステ
ップS9では、今回の照射位置(X1,Y1)と原点
(X0,Y0)との差により補正量(ΔX,ΔY)を求
める。ステップS10では、次の光硬化層16を造形す
る際の走査データの補正を行う。具体的にはX(補正後
の走査データ)=X(補正前の走査データ)−ΔX、Y
(補正後の走査データ)=Y(補正前の走査データ)−
ΔYでデータの補正を行う。ステップS10での補正が
終了するとステップS3に戻り、次の光硬化層16の走
査データを光源10およびX,Y駆動部26,27に送
信し、以降の動作を造形終了まで繰り返す。
In step S3, the light source 10 and X, Y
Scan data is transmitted to the drive units 26 and 27. Step S
In 4, the laser light is scanned in the XY directions on the resin liquid surface. As a result, the exposed portion of the resin liquid 15 on the molding table 13 in the resin liquid tank 12 is cured by one layer into a predetermined shape, and the photo-cured layer 16 is formed. In step S5, the molding table 13 is lowered by a predetermined amount, and then the doctor blade 14 is operated.
As a result, a smooth resin liquid thin film having a constant thickness is formed on the formed photocurable layer 16. In step S6, it is determined whether or not the modeling of all the photo-cured layers 16 has been completed.
When the modeling of all the photo-curable layers 16 is completed, the process is terminated, and when the modeling is not completed, the process proceeds to step S7. In step S7, as in step S1, a predetermined command value is transmitted to the X, Y drive units 26, 27, the X, Y scanning mirrors 24, 25 are tilted and laser light is emitted toward the light receiving surface of the sensor 30. . In step S8, the sensor 30
The laser beam irradiation position (X1, Y1) is read. In step S9, the correction amount (ΔX, ΔY) is obtained from the difference between the irradiation position (X1, Y1) of this time and the origin (X0, Y0). In step S10, the scan data for shaping the next photo-curable layer 16 is corrected. Specifically, X (scan data after correction) = X (scan data before correction) −ΔX, Y
(Scan data after correction) = Y (scan data before correction) −
The data is corrected with ΔY. When the correction in step S10 is completed, the process returns to step S3, the scan data of the next photo-curable layer 16 is transmitted to the light source 10 and the X, Y drive units 26 and 27, and the subsequent operations are repeated until the modeling is completed.

【0030】この実施例では、センサ30により層形成
の都度、照射位置を補正して照射位置の変動を抑えてい
る。このため、照射位置が常に一定になり、造形精度が
向上する。また、センサ30が樹脂液槽12の一隅に固
定されているので、センサ30の測定精度が向上する。実施例2 図3は実施例2の実施に用いる光造形装置を示してい
る。なお、以降の図において、実施例1と同一または対
応する部材に対しては同一符号を用い、その説明は省略
する。また、X,Yミラー24,25およびその駆動部
26,27のうち、Xミラー24およびX駆動部26の
図示は省略し、ミラー25および駆動部27がXYの2
方向にレーザ光を走査するものとする。
In this embodiment, the sensor 30 corrects the irradiation position every time the layer is formed, and suppresses the fluctuation of the irradiation position. Therefore, the irradiation position is always constant, and the modeling accuracy is improved. Moreover, since the sensor 30 is fixed to one corner of the resin liquid tank 12, the measurement accuracy of the sensor 30 is improved. Embodiment 2 FIG. 3 shows a stereolithography apparatus used for carrying out Embodiment 2. In the following drawings, the same reference numerals are used for the same or corresponding members as in the first embodiment, and the description thereof will be omitted. Of the X, Y mirrors 24, 25 and their drive units 26, 27, the X mirror 24 and the X drive unit 26 are not shown, and the mirror 25 and the drive unit 27 are in the XY position.
The laser beam is scanned in the direction.

【0031】図3において、センサ30は、樹脂液槽1
2の一隅ではなく、光源10が取り付けられた支持ステ
ージ20に設けられている。また、支持ステージ20に
は、固定ミラー22からのレーザ光を2つに分光するビ
ームスプリッタ28が配置されている。ビームスプリッ
タ28で分光された一方のレーザ光は、固定ミラー23
に照射され、他方のレーザ光は、センサ30の受光面の
中心に照射されるようになっている。他の構成は実施例
1と同様なため説明を省略する。
In FIG. 3, the sensor 30 is a resin liquid tank 1
It is provided on the support stage 20 to which the light source 10 is attached, instead of one corner. A beam splitter 28 that disperses the laser light from the fixed mirror 22 into two is disposed on the support stage 20. One of the laser beams split by the beam splitter 28 is fixed mirror 23.
The other laser beam is emitted to the center of the light receiving surface of the sensor 30. Since other configurations are similar to those of the first embodiment, description thereof will be omitted.

【0032】次に、実施例2の実施手順を、図2のフロ
ーチャートに用いて説明する。この実施例2では、ステ
ップS1およびステップS7の処理は不要である。なぜ
なら、レーザ光は常にセンサ30に照射されるからであ
る。したがって、この実施例2では、ステップS2から
動作を開始する。そして、ステップS3〜ステップS1
0(ステップS7を除く)までの動作を造形が終了する
まで繰り返す。なお、照射位置の測定は、層毎に行わず
に任意のタイミング(たとえば、X方向の一走査毎)に
行ってもよい。
Next, the procedure for implementing the second embodiment will be described with reference to the flowchart of FIG. In the second embodiment, the processes of step S1 and step S7 are unnecessary. This is because the laser light is always applied to the sensor 30. Therefore, in the second embodiment, the operation starts from step S2. Then, step S3 to step S1
The operation up to 0 (excluding step S7) is repeated until the modeling is completed. The irradiation position may be measured not at each layer but at any timing (for example, every scanning in the X direction).

【0033】この実施例2では照射位置を常時測定でき
るので、補正を任意のタイミングでリアルタイムに行
え、フィードバック制御等の精密な制御も可能になる。実施例3 図4は実施例3の実施に用いる光造形装置を示してい
る。実施例1および実施例2ではセンサを固定していた
が、この実施例ではセンサを移動可能に配置している。
In the second embodiment, since the irradiation position can be constantly measured, the correction can be performed in real time at an arbitrary timing, and precise control such as feedback control can be performed. Third Embodiment FIG. 4 shows a stereolithography apparatus used for carrying out the third embodiment. Although the sensor is fixed in the first and second embodiments, the sensor is movably arranged in this embodiment.

【0034】図3において、ドクターブレード14上に
は、その長手方向に間隔を隔てて3個のセンサ30a,
30b,30cが配置されている。センサ30aは、ド
クターブレード14の中央に、センサ30bは、ドクタ
ーブレード14の図4手前側に、センサ30cは、ドク
ターブレード14の図4奥側にそれぞれ配置されてい
る。その他の構成は実施例1(図1)と同様であり、説
明を省略する。
In FIG. 3, on the doctor blade 14, three sensors 30a,
30b and 30c are arranged. The sensor 30a is arranged at the center of the doctor blade 14, the sensor 30b is arranged on the front side of the doctor blade 14 in FIG. 4, and the sensor 30c is arranged on the rear side of the doctor blade 14 in FIG. The other configurations are similar to those of the first embodiment (FIG. 1), and the description thereof will be omitted.

【0035】次に、実施例3の実施手順の一例を、図5
に示すフローチャートにしたがって説明する。図5のス
テップS11では、ドクターブレード14の位置をポジ
ション1にする。このポジション1は、図6に示すよう
に樹脂液槽12の端部である。ステップS12では、駆
動部27への指令値(X’10,Y’10)を、図6に
示すエリアA(センサ30aの受光面)の中心位置にレ
ーザ光の照射位置が一致するように設定する。ステップ
S13では、駆動部27へ初期指令値(X’10,Y’
10)を送信し、走査ミラー25を傾けてセンサ30a
の受光面に向けてレーザ光を照射する。ステップS14
では、照射位置(X1,Y1)がエリアA内の所定位置
(X10,Y10)と一致したか否かを判断する。照射
位置と所定位置とが一致しない場合はステップS15に
移行する。ステップS15では、初期指令値(X’1
0,Y’10)を補正する。具体的には、初期指令値か
ら照射位置と所定位置との偏差を減ずる(X’10=
X’10−(X1−X10)、Y’10=Y’10−
(Y1−Y10))。補正を終わるとステップS13に
戻り、補正された新たな初期指令値を駆動部27へ送信
し、照射位置と所定位置とが一致するまでステップS1
5,S13の動作を繰り返し、初期指令値を補正する。
Next, an example of the procedure for carrying out the third embodiment is shown in FIG.
It will be described according to the flowchart shown in FIG. In step S11 of FIG. 5, the position of the doctor blade 14 is set to the position 1. This position 1 is the end of the resin liquid tank 12 as shown in FIG. In step S12, the command value (X'10, Y'10) to the drive unit 27 is set so that the irradiation position of the laser light coincides with the center position of the area A (light receiving surface of the sensor 30a) shown in FIG. To do. In step S13, the drive unit 27 receives the initial command value (X'10, Y '.
10) is transmitted, the scanning mirror 25 is tilted, and the sensor 30a
The laser light is emitted toward the light receiving surface of. Step S14
Then, it is determined whether or not the irradiation position (X1, Y1) coincides with the predetermined position (X10, Y10) in the area A. If the irradiation position does not match the predetermined position, the process proceeds to step S15. In step S15, the initial command value (X'1
0, Y'10) is corrected. Specifically, the deviation between the irradiation position and the predetermined position is subtracted from the initial command value (X'10 =
X'10- (X1-X10), Y'10 = Y'10-
(Y1-Y10)). When the correction is completed, the process returns to step S13, the corrected new initial command value is transmitted to the drive unit 27, and the step S1 is performed until the irradiation position and the predetermined position match.
The operations of 5 and S13 are repeated to correct the initial command value.

【0036】照射位置と所定位置とが一致した場合は、
ステップS14からステップS16に移行する。ステッ
プS16では、ドクターブレード14の位置をポジショ
ン2にする。このポジション2は、図6に示すように樹
脂液槽12のほぼ中央部であり、造形エリアの中心部で
ある。ステップS17では、ステップS12〜ステップ
S15の動作と同様な動作をエリアBおよびエリアCで
行い、エリアB,Cに配置されたセンサ30a,30b
への初期指令値(X’20,Y’20)、(X’30,
Y’30)を求める。
When the irradiation position matches the predetermined position,
The process moves from step S14 to step S16. In step S16, the position of the doctor blade 14 is set to the position 2. This position 2 is substantially the center of the resin liquid tank 12 as shown in FIG. 6, and is the center of the modeling area. In step S17, operations similar to those in steps S12 to S15 are performed in area B and area C, and the sensors 30a and 30b arranged in areas B and C are operated.
Initial command values (X'20, Y'20), (X'30,
Y'30) is calculated.

【0037】ステップS18では、ドクターブレード1
4の位置をポジション1に戻す。ステップS19では、
光源10および駆動部27に走査データを送信し、レー
ザ光を樹脂液面のXY方向に走査する。この結果、樹脂
液槽12内の成形台13上の樹脂液15の露光部分が1
層分所定の形状に硬化し、光硬化層16が造形される。
ステップS20では、成形台13を所定量下降させ、続
いて、ドクターブレード14を動作させる。この結果、
造形された光硬化層16の上に一定の厚みの滑らかな樹
脂液薄膜が形成される。ステップS21では、全ての層
の造形が終了したか否かを判断する。全ての層の造形が
終了した場合には処理を終了し、造形が終了していない
場合にはステップS22に移行する。
In step S18, the doctor blade 1
Return position 4 to position 1. In step S19,
Scan data is transmitted to the light source 10 and the drive unit 27, and the laser light is scanned in the XY directions of the resin liquid surface. As a result, the exposed portion of the resin liquid 15 on the molding table 13 in the resin liquid tank 12 is 1
The layer is cured into a predetermined shape, and the photo-cured layer 16 is formed.
In step S20, the molding table 13 is lowered by a predetermined amount, and then the doctor blade 14 is operated. As a result,
A smooth resin liquid thin film having a certain thickness is formed on the formed photocurable layer 16. In step S21, it is determined whether or not modeling of all layers has been completed. If the modeling of all layers is completed, the process is terminated, and if the modeling is not completed, the process proceeds to step S22.

【0038】ステップS22では、初期指令値(X’1
0,Y’10)、(X’20,Y’20)、(X’3
0,Y’30)を次の層の指令値(X’1,Y’1)、
(X’2,Y’2)、(X’3,Y’3)にする。ステ
ップS23では、駆動部27へ指令値(X’1,Y’
1)を送信し、走査ミラー25を傾けてセンサ30aの
受光面に向けてレーザ光を照射する。ステップS24で
は、照射位置(X1,Y1)がエリアA内の所定位置
(X10,Y10)と一致したか否かを判断する。照射
位置と所定位置とが一致しない場合はステップS25に
移行する。ステップS25では、指令値(X’1,Y’
1)を補正する。具体的には、指令値から照射位置と所
定位置との偏差を減ずる(X’1=X’1−(X1−X
10)、Y’1=Y’1−(Y1−Y10))。補正を
終わるとステップS23に戻り、補正された指令値を駆
動部27へ送信し、照射位置と所定位置とが一致するま
でステップS25,S23の動作を繰り返し、指令値を
補正する。
At step S22, the initial command value (X'1
0, Y'10), (X'20, Y'20), (X'3
0, Y'30) is the command value (X'1, Y'1) of the next layer,
(X'2, Y'2), (X'3, Y'3). In step S23, the command values (X'1, Y '
1) is transmitted, the scanning mirror 25 is tilted, and laser light is emitted toward the light receiving surface of the sensor 30a. In step S24, it is determined whether the irradiation position (X1, Y1) coincides with the predetermined position (X10, Y10) in the area A. If the irradiation position does not match the predetermined position, the process proceeds to step S25. In step S25, command values (X'1, Y '
Correct 1). Specifically, the deviation between the irradiation position and the predetermined position is subtracted from the command value (X'1 = X'1- (X1-X
10), Y'1 = Y'1- (Y1-Y10)). When the correction is completed, the process returns to step S23, the corrected command value is transmitted to the drive unit 27, and the operations of steps S25 and S23 are repeated until the irradiation position and the predetermined position match, and the command value is corrected.

【0039】照射位置と所定位置とが一致した場合は、
ステップS24からステップS26に移行する。ステッ
プS26では、ドクターブレード14の位置をポジショ
ン2にする。ステップS27では、ステップS22〜ス
テップS25の動作と同様な動作をエリアBおよびエリ
アCで行い、エリアB,Cに配置されたセンサ30a,
30bへの指令値(X’2,Y’2)、(X’3,Y’
3)を補正する。
When the irradiation position coincides with the predetermined position,
The process moves from step S24 to step S26. In step S26, the position of the doctor blade 14 is set to the position 2. In step S27, operations similar to those in steps S22 to S25 are performed in area B and area C, and the sensors 30a arranged in areas B and C,
Command values (X'2, Y'2) to 30b, (X'3, Y '
Correct 3).

【0040】ステップS28では、各測定エリアA,
B,Cにおいて指令値(X’1,Y’1)、(X’2,
Y’2)、(X’3,Y’3)と初期指令値(X’1
0,Y’10)、(X’20,Y’20)、(X’3
0,Y’30)との偏差(ΔX1,ΔY1)、(ΔX
2,ΔY2)、(ΔX3,ΔY3)をそれぞれ求める。
ここで各偏差は ΔX1=X’1−X’10,ΔY1=Y’1−Y’10 ΔX2=X’2−X’20,ΔY2=X’2−X’20 ΔX3=X’3−X’30,ΔY3=Y’3−Y’30
である。
In step S28, each measurement area A,
In B and C, command values (X'1, Y'1), (X'2,
Y'2), (X'3, Y'3) and the initial command value (X'1
0, Y'10), (X'20, Y'20), (X'3
0, Y'30) deviation (ΔX1, ΔY1), (ΔX
2, ΔY2), (ΔX3, ΔY3), respectively.
Here, each deviation is ΔX1 = X'1-X'10, ΔY1 = Y'1-Y'10 ΔX2 = X'2-X'20, ΔY2 = X'2-X'20 ΔX3 = X'3-X. '30, ΔY3 = Y'3-Y'30
Is.

【0041】ステップS29では次の層の走査データの
原点補正を下記式により行う。 X(原点補正後の走査データ)=X(補正前)−ΔX2 Y(原点補正後の走査データ)=Y(補正前)−ΔY2 ステップS30では、指令値差の傾き(α,β)を下記
式により求める。 α=(ΔX1−ΔX2)/g β=(ΔY2−ΔY3)/h 但し、h=X20−X10 g=Y30−Y20 ステップS31では、求められた指令値差の傾き(α,
β)により、次の層の走査データのゲイン補正を下記式
により行う。
In step S29, the origin correction of the scanning data of the next layer is performed by the following equation. X (scan data after origin correction) = X (before correction) −ΔX2 Y (scan data after origin correction) = Y (before correction) −ΔY2 In step S30, the slope (α, β) of the command value difference is as follows. Calculate by formula. α = (ΔX1−ΔX2) / g β = (ΔY2−ΔY3) / h However, h = X20−X10 g = Y30−Y20 In step S31, the gradient (α,
According to β), the gain correction of the scanning data of the next layer is performed by the following formula.

【0042】X(ゲイン補正後の走査データ)=X(原
点補正後)+α(X(原点補正後)−X20) Y(ゲイン補正後の走査データ)=Y(原点補正後)+
β(Y(原点補正後)−Y20) ステップS31でのゲイン補正が終了するとステップS
18に戻り、ドクターブレード14をポジション1にし
て、ステップS18〜S31の動作を造形終了するまで
繰り返す。
X (scan data after gain correction) = X (after origin correction) + α (X (after origin correction) -X20) Y (scan data after gain correction) = Y (after origin correction) +
β (Y (after origin correction) -Y20) When the gain correction in step S31 is completed, step S
Returning to 18, the doctor blade 14 is set to the position 1, and the operations of steps S18 to S31 are repeated until the shaping is completed.

【0043】ここでは、移動するドクターブレード14
にセンサ30a,30bを配置したので、特別な部材を
用いることなくセンサ30a,30bを移動させること
ができる。また、複数のセンサ30a,30bを樹脂液
槽12の端部と中央部とに移動させることで、樹脂液面
における平行移動分の補正(原点補正)だけでなく、基
準点(端部)からの距離によるずれ量の増分を考慮した
補正(ゲイン補正)も行うことができ、より高精度に変
動を補正でき、一層高精度な造形を行うことができる。
Here, the moving doctor blade 14
Since the sensors 30a and 30b are arranged in the above, it is possible to move the sensors 30a and 30b without using a special member. Further, by moving the plurality of sensors 30a and 30b to the end portion and the central portion of the resin liquid tank 12, not only the correction of the parallel movement on the resin liquid surface (origin correction) but also the reference point (end portion) It is also possible to perform correction (gain correction) in consideration of the increment of the shift amount due to the distance, and it is possible to correct fluctuations with higher accuracy and to perform modeling with even higher accuracy.

【0044】実施例4 上記実施例3では3個のうち2個のセンサ30a,30
bを用い、その補正を固定のエリアで行ったが、この実
施例では3個のセンサ30a〜30cを用い、ドクター
ブレード14を走査に同期して移動させて補正点の数を
多くしている。なお、構造については実施例3と同様な
ため、説明を省略する。
Fourth Embodiment In the third embodiment, two of the three sensors 30a, 30 are used.
Although the correction is performed in a fixed area by using b, in this embodiment, three sensors 30a to 30c are used and the doctor blade 14 is moved in synchronization with scanning to increase the number of correction points. . Since the structure is the same as that of the third embodiment, the description is omitted.

【0045】実施例4の実施手順の一例を、図7に示す
フローチャートにしたがって説明する。図7のステップ
S41では、光走査部11の走査ミラー25とドクター
ブレード14とを同期させて移動させ、常にセンサ30
aでレーザ光を受光できるようにして、所定のタイミン
グで照射位置を測定し、複数の測定点での照射位置のデ
ータを得る。なお、ここでの測定点の数は可能な限り多
い方がよいが、測定時間と演算処理速度とを勘案して測
定点の数を決定するのが好ましい。ステップS42で
は、同様にして常にセンサ30bでレーザ光を受光でき
るようにして、所定のタイミングで照射位置を測定す
る。ステップS43では、同様にして常にセンサ30c
でレーザ光を受光できるようにして、所定のタイミング
で照射位置を測定する。このこのようにして3つのセン
サ30a〜30cの照射位置の初期値を測定し、照射位
置の初期位置データを得る。
An example of the procedure for implementing the fourth embodiment will be described with reference to the flowchart shown in FIG. In step S41 of FIG. 7, the scanning mirror 25 of the optical scanning unit 11 and the doctor blade 14 are moved in synchronization with each other, and the sensor 30 is constantly operated.
The irradiation position is measured at a predetermined timing so that the laser light can be received by a, and the irradiation position data at a plurality of measurement points is obtained. The number of measurement points here is preferably as large as possible, but it is preferable to determine the number of measurement points in consideration of the measurement time and the arithmetic processing speed. In step S42, similarly, the sensor 30b is always allowed to receive the laser beam, and the irradiation position is measured at a predetermined timing. Similarly, in step S43, the sensor 30c is always used.
The laser beam can be received by and the irradiation position is measured at a predetermined timing. In this way, the initial values of the irradiation positions of the three sensors 30a to 30c are measured, and the initial position data of the irradiation positions are obtained.

【0046】ステップS44では、駆動部27に走査デ
ータを送信し、レーザ光を樹脂液面のXY方向に走査す
る。この結果、樹脂液槽12内の成形台13上の樹脂液
15の露光部分が1層分所定の形状に硬化し、所定厚み
の光硬化層16が造形される。ステップS45では、成
形台13を所定量下降させ、続いて、ドクターブレード
14を動作させる。この結果、造形された光硬化層16
の上に次層の光硬化層となる一定厚みの滑らかな樹脂液
薄膜が形成される。ステップS46では、全ての光硬化
層の造形が終了したか否かを判断する。全ての光硬化層
の造形が終了した場合には処理を終了し、造形が終了し
ていない場合にはステップS47に移行する。
In step S44, scan data is transmitted to the drive unit 27, and laser light is scanned in the XY directions of the resin liquid surface. As a result, the exposed portion of the resin liquid 15 on the molding table 13 in the resin liquid tank 12 is cured into a predetermined shape for one layer, and the photo-cured layer 16 having a predetermined thickness is formed. In step S45, the molding table 13 is lowered by a predetermined amount, and then the doctor blade 14 is operated. As a result, the formed photo-curable layer 16
On top of this, a smooth resin liquid thin film having a constant thickness is formed, which is a next photo-curing layer. In step S46, it is determined whether or not all the photo-cured layers have been formed. If the modeling of all the photo-curable layers is completed, the process is terminated, and if the modeling is not completed, the process proceeds to step S47.

【0047】ステップS47では、ステップS41と同
様に光走査部11の走査ミラー25とドクターブレード
14とを同期させて移動させ、常にセンサ30aでレー
ザ光を受光できるようにして、初期位置と同じタイミン
グで照射位置を測定する。ステップS48では、同様に
して常にセンサ30bでレーザ光を受光できるようにし
て、所定のタイミングで照射位置を測定する。ステップ
S49では、同様にして常にセンサ30cでレーザ光を
受光できるようにして、所定のタイミングで同じ測定点
で照射位置を測定する。このようにして3つのセンサ3
0a〜30cの層造形終了後の照射位置を測定する。
In step S47, similarly to step S41, the scanning mirror 25 of the optical scanning unit 11 and the doctor blade 14 are moved in synchronization with each other so that the laser beam can always be received by the sensor 30a and the same timing as the initial position. Measure the irradiation position with. In step S48, similarly, the sensor 30b is always made to be able to receive the laser beam, and the irradiation position is measured at a predetermined timing. In step S49, similarly, the sensor 30c is always allowed to receive the laser beam, and the irradiation position is measured at the same measurement point at a predetermined timing. In this way three sensors 3
The irradiation position after the layer formation of 0a to 30c is measured.

【0048】ステップS50では、各測定点での初期値
と照射位置との偏差を求める。ステップS51では、次
層の走査データがどの測定点に最も近いかを調べ、その
測定点における補正量(初期値と照射位置との偏差)を
走査データより差し引く補正を行う。そして、ステップ
S44に戻り、次層の走査データを送信して層の形成を
造形終了まで繰り返して行う。
In step S50, the deviation between the initial value and the irradiation position at each measurement point is obtained. In step S51, it is checked which measurement point the scan data of the next layer is closest to, and correction is performed by subtracting the correction amount (deviation between the initial value and the irradiation position) at that measurement point from the scan data. Then, the process returns to step S44, the scanning data of the next layer is transmitted, and the formation of the layer is repeated until the modeling is completed.

【0049】ここでは、3つのセンサ(有限個のセン
サ)を用いて無限個(多数の)測定点での偏差(ずれ)
を測定でき、より高精度な造形が可能になる。実施例5 実施例1〜4では一層造形毎に補正を行ったが、この実
施例では一定層造形毎または一定時間毎に補正をおこな
う。なお、構成については上述した実施例と同様である
ので説明を省略する。
Here, using three sensors (a finite number of sensors), deviations (deviations) at an infinite number (a large number) of measurement points
Can be measured, and more accurate modeling is possible. Fifth Embodiment In the first to fourth embodiments, the correction is performed for each layer forming, but in this embodiment, the correction is performed for each constant layer forming or every constant time. Note that the configuration is similar to that of the above-described embodiment, so description will be omitted.

【0050】実施例5の実施手順の一例を、図8に示す
フローチャートにしたがって説明する。なお、ここで
は、実施例1と同一の構成のもの、つまり図1のセンサ
30が固定のもので実施手順を説明する。ただし、セン
サは移動するものでもよい。図7のステップS61で
は、X,Y駆動部26,27に所定の指令値を送信し、
X,Y走査ミラー24,25を傾けてセンサ30の受光
面に向けてレーザ光を照射する。ステップS62では、
センサ30のレーザ光の照射位置(X0,Y0)を読み
込む。この照射位置(X0,Y0)が以降の照射位置の
原点となる。
An example of the procedure for implementing the fifth embodiment will be described with reference to the flowchart shown in FIG. Here, the procedure will be described with the same configuration as that of the first embodiment, that is, the sensor 30 of FIG. 1 is fixed. However, the sensor may be movable. In step S61 of FIG. 7, a predetermined command value is transmitted to the X and Y drive units 26 and 27,
The X, Y scanning mirrors 24, 25 are tilted and laser light is emitted toward the light receiving surface of the sensor 30. In step S62,
The irradiation position (X0, Y0) of the laser light of the sensor 30 is read. This irradiation position (X0, Y0) becomes the origin of the subsequent irradiation positions.

【0051】ステップS63では、積層数を示す変数i
を「0」にセットする。ステップS64では光源10お
よびX,Y駆動部26,27に走査データを送信する。
ステップS65では、レーザ光を樹脂液面のXY方向に
走査する。この結果、樹脂液槽12内の成形台13上の
樹脂液15の露光部分が1層分所定の形状に硬化する。
ステップS66では、変数iをインクリメントする。ス
テップS67では、成形台13を所定量下降させ、続い
て、ドクターブレード14を動作させる。ステップS6
8では、全ての層の造形が終了したか否かを判断する。
全ての層の造形が終了した場合には処理を終了し、造形
が終了していない場合にはステップS69に移行する。
ステップS69では、補正をタイミングを判断するため
に、積層数を示す変数iが10で割り切れる数か否かを
判断する。つまり10層積層毎の補正タイミングを判断
する。
In step S63, a variable i indicating the number of layers is
Is set to "0". In step S64, the scan data is transmitted to the light source 10 and the X, Y drive units 26, 27.
In step S65, the laser light is scanned in the XY directions of the resin surface. As a result, the exposed portion of the resin liquid 15 on the molding table 13 in the resin liquid tank 12 is cured into a predetermined shape for one layer.
In step S66, the variable i is incremented. In step S67, the molding table 13 is lowered by a predetermined amount, and then the doctor blade 14 is operated. Step S6
At 8, it is determined whether or not all layers have been formed.
If the modeling of all layers is completed, the process is terminated, and if the modeling is not completed, the process proceeds to step S69.
In step S69, in order to determine the correction timing, it is determined whether the variable i indicating the number of stacked layers is a number divisible by 10. That is, the correction timing is determined for each 10-layer stack.

【0052】補正タイミングと判断するとステップS6
9からステップS70に移行する。ステップS70で
は、ステップS61と同様に所定の指令値をX,Y駆動
部26,27に送信し、X,Y走査ミラー24,25を
傾けてセンサ30の受光面に向けてレーザ光を照射す
る。ステップS71では、センサ30のレーザ光の照射
位置(X1,Y1)を読み込む。ステップS72では、
今回の照射位置(X1,Y1)と原点(X0,Y0)と
の差により補正量(ΔX,ΔY)を求める。ステップS
73では、次の光硬化層を形成する際の走査データの補
正を行う。具体的にはX(補正後の走査データ)=X
(補正前の走査データ)−ΔX、Y(補正後の走査デー
タ)=Y(補正前の走査データ)−ΔYでデータの補正
を行う。ステップS73での補正が終了するとステップ
S64に戻り、次の層の走査データを光源10および
X,Y駆動部26,27に送信し、以降の動作を造形終
了まで繰り返す。また、ステップS69で補正のタイミ
ングではないと判断するとステップS73に移行する。
When it is determined that the correction timing has been reached, step S6
The process proceeds from step 9 to step S70. In step S70, as in step S61, a predetermined command value is transmitted to the X, Y drive units 26, 27, and the X, Y scanning mirrors 24, 25 are tilted to irradiate the laser light toward the light receiving surface of the sensor 30. . In step S71, the irradiation position (X1, Y1) of the laser light of the sensor 30 is read. In step S72,
The correction amount (ΔX, ΔY) is obtained from the difference between the irradiation position (X1, Y1) at this time and the origin (X0, Y0). Step S
At 73, the scan data for forming the next photo-curing layer is corrected. Specifically, X (corrected scan data) = X
(Scan data before correction) −ΔX, Y (scan data after correction) = Y (scan data before correction) −ΔY to correct the data. When the correction in step S73 is completed, the process returns to step S64, the scan data of the next layer is transmitted to the light source 10 and the X, Y drive units 26, 27, and the subsequent operations are repeated until the modeling is completed. If it is determined in step S69 that it is not the correction timing, the process proceeds to step S73.

【0053】ここでは、一定層(実施例は10層)造形
毎に補正を行うので、一層造形毎に補正を行うよりも高
速で造形できる。なお、一定層毎に補正を行う代わりに
一定時間毎に補正を行ってもよい。この場合には、ステ
ップS69での判断を層数ではなく時間で判断し、たと
えば、造形開始から10分毎に補正を行うようにすれば
よい。
In this case, since the correction is performed for each constant layer (10 layers in the embodiment), the modeling can be performed at a higher speed than the correction for each layer. It should be noted that instead of performing correction for each constant layer, correction may be performed for each constant time. In this case, the determination in step S69 may be determined not by the number of layers but by time, and for example, the correction may be performed every 10 minutes from the start of modeling.

【0054】実施例6 実施例1〜5では照射位置のみを補正したが、実施例6
では焦点距離の変動をさらに補正している。図9は、実
施例6の実施に用いる光造形装置を示している。図にお
いて、光造形装置は、図1に示す構成に加えて、固定ミ
ラー23と走査ミラー25との間に配置された焦点距離
調整器29と、樹脂液槽12のセンサ30が配置された
凹部12aと対称の凹部12bに受光部を上向きにして
配置されたビーム径測定用のセンサ32とを備えてい
る。焦点距離調整器29は、図10に示すように、その
間隔が調整可能な凸レンズ35および凹レンズ36を有
している。両レンズ35,39の距離Lは、コンピュー
タ31からの指令値により制御される。ここでは、距離
Lを大きくすると焦点距離が長くなり、小さくすると焦
点距離が短くなる。センサ32は、たとえば受光部と受
光部前を移動するスリットとを備えたスリット方式のも
のであり、コンピュータ31に接続されている。センサ
32は、測定時にスリットを移動させ、コンピュータ3
1は、センサ32の受光部が光を検知している時間を測
定することによりビーム径を算出する。
Example 6 In Examples 1 to 5, only the irradiation position was corrected, but Example 6
Then, the fluctuation of the focal length is further corrected. FIG. 9 shows a stereolithography apparatus used for carrying out the sixth embodiment. In the figure, in addition to the configuration shown in FIG. 1, the optical modeling apparatus is a concave portion in which a focal length adjuster 29 arranged between the fixed mirror 23 and the scanning mirror 25 and a sensor 30 of the resin liquid tank 12 are arranged. A beam diameter measuring sensor 32 is provided in a concave portion 12b that is symmetrical to 12a, with the light receiving portion facing upward. As shown in FIG. 10, the focal length adjuster 29 has a convex lens 35 and a concave lens 36 whose intervals can be adjusted. The distance L between the lenses 35 and 39 is controlled by a command value from the computer 31. Here, when the distance L is increased, the focal length becomes longer, and when the distance L is decreased, the focal length becomes shorter. The sensor 32 is of a slit type having, for example, a light receiving portion and a slit that moves in front of the light receiving portion, and is connected to the computer 31. The sensor 32 moves the slit at the time of measurement, and the computer 3
1 calculates the beam diameter by measuring the time during which the light receiving portion of the sensor 32 detects light.

【0055】次に、実施例6の実施手順の一例を、図1
1に示すフローチャートにしたがって説明する。図11
のステップS81では、駆動部27に所定の指令値を送
信し、走査ミラー25を傾けてセンサ30の受光面に向
けてレーザ光を照射する。ステップS82では、センサ
30のレーザ光の照射位置(X0,Y0)を読み込む。
この照射位置(X0,Y0)が以降の照射位置の原点と
なる。
Next, an example of the procedure for carrying out the sixth embodiment is shown in FIG.
A description will be given according to the flowchart shown in FIG. Figure 11
In step S81, a predetermined command value is transmitted to the drive unit 27, the scanning mirror 25 is tilted, and laser light is emitted toward the light receiving surface of the sensor 30. In step S82, the irradiation position (X0, Y0) of the laser light of the sensor 30 is read.
This irradiation position (X0, Y0) becomes the origin of the subsequent irradiation positions.

【0056】ステップS83では光源10および駆動部
27に走査データを送信し、レーザ光を樹脂液面のXY
方向に走査する。この結果、樹脂液槽12内の成形台1
3上の樹脂液15の露光部分が1層分所定の形状に硬化
し、所定の厚みの光硬化層16が形成される。ステップ
S84では、成形台13を所定量下降させ、続いて、ド
クターブレード14を動作させる。この結果、光硬化層
16の上に次層となる樹脂液薄膜が形成される。ステッ
プS85では、全ての光硬化層16の造形が終了したか
否かを判断する。全ての層の造形が終了した場合には処
理を終了し、造形が終了していない場合にはステップS
86に移行する。ステップS86では、駆動部27に所
定の指令値を送信し、走査ミラー25を傾けてセンサ3
2の受光部に向けてレーザ光を照射する。ステップS8
7では、センサ32の出力によりビーム径を測定する。
ステップS88では測定されたビーム径が所定範囲内か
否かを判断する。ビーム径が所定範囲より小さい場合に
はステップS88からステップS89に移行し、焦点距
離調整器29のレンズ距離Lを所定長さ大きくして焦点
距離を長くし、ビーム径を大きくし、ステップS87に
戻り、再度ビーム径を測定する。ビーム径が所定範囲よ
り大きい場合にはステップS88からステップS90に
移行し、焦点距離調整器29のレンズ距離Lを所定長さ
小さくして焦点距離を短くし、ビーム径を小さくし、ス
テップS87に戻り、再度ビーム径を測定する。この結
果、樹脂液15に常に所定範囲のビーム径のレーザ光が
照射される。
In step S83, the scanning data is transmitted to the light source 10 and the drive unit 27, and the laser light is applied to the XY of the resin liquid surface.
Scan in the direction. As a result, the molding table 1 in the resin liquid tank 12
The exposed portion of the resin liquid 15 on 3 is cured into a predetermined shape for one layer, and a photo-cured layer 16 having a predetermined thickness is formed. In step S84, the molding table 13 is lowered by a predetermined amount, and then the doctor blade 14 is operated. As a result, a resin liquid thin film as a next layer is formed on the photo-curable layer 16. In step S85, it is determined whether or not all the photo-cured layers 16 have been formed. If the modeling of all layers is completed, the process is terminated, and if the modeling is not completed, step S
Move to 86. In step S86, a predetermined command value is transmitted to the drive unit 27, the scanning mirror 25 is tilted, and the sensor 3
The laser light is emitted toward the second light receiving portion. Step S8
In 7, the beam diameter is measured by the output of the sensor 32.
In step S88, it is determined whether or not the measured beam diameter is within a predetermined range. When the beam diameter is smaller than the predetermined range, the process proceeds from step S88 to step S89, the lens distance L of the focal length adjuster 29 is increased by a predetermined length to increase the focal length, the beam diameter is increased, and the process proceeds to step S87. Return and measure the beam diameter again. When the beam diameter is larger than the predetermined range, the process proceeds from step S88 to step S90, the lens distance L of the focal length adjuster 29 is shortened by a predetermined length to shorten the focal length, the beam diameter is reduced, and the process proceeds to step S87. Return and measure the beam diameter again. As a result, the resin liquid 15 is always irradiated with laser light having a beam diameter within a predetermined range.

【0057】ビーム径が所定範囲の場合にはステップS
87からステップS91に移行し、ステップS81と同
様に所定の指令値を駆動部27に送信し、走査ミラー2
5を傾けてセンサ30の受光面に向けてレーザ光を照射
する。ステップS92では、センサ30のレーザ光の照
射位置(X1,Y1)を読み込む。ステップS93で
は、今回の照射位置(X1,Y1)と原点(X0,Y
0)との差により補正量(ΔX,ΔY)を求める。ステ
ップS94では、次の光硬化層を形成する際の走査デー
タの補正を行う。具体的にはX(補正後の走査データ)
=X(補正前の走査データ)−ΔX、Y(補正後の走査
データ)=Y(補正前の走査データ)−ΔYでデータの
補正を行う。ステップS94での補正が終了するとステ
ップS83に戻り、次の層の走査データを光源10およ
び駆動部27に送信し、以降の動作を造形終了まで繰り
返す。
If the beam diameter is within the predetermined range, step S
The routine proceeds from step 87 to step S91, where a predetermined command value is transmitted to the drive unit 27 as in step S81, and the scanning mirror 2
The laser light is emitted toward the light receiving surface of the sensor 30 by inclining the lens 5. In step S92, the irradiation position (X1, Y1) of the laser light of the sensor 30 is read. In step S93, the irradiation position (X1, Y1) of this time and the origin (X0, Y)
The correction amount (ΔX, ΔY) is calculated from the difference from 0). In step S94, the scan data for forming the next photo-cured layer is corrected. Specifically, X (scan data after correction)
= X (scan data before correction) −ΔX, Y (scan data after correction) = Y (scan data before correction) −ΔY to correct the data. When the correction in step S94 is completed, the process returns to step S83, the scan data of the next layer is transmitted to the light source 10 and the drive unit 27, and the subsequent operations are repeated until the modeling is completed.

【0058】ここでは、照射位置のずれ補正だけでな
く、焦点距離(ビーム径)の補正も行うことにより、レ
ーザ光照射時の樹脂の硬化形状、硬化度合等を一定に保
て、より高精度で層間の接着力が良好な造形が可能にな
る。実施例7 実施例1〜5では照射位置のみを補正したが、実施例7
では光源10の出力変動をさらに補正している。
Here, not only the deviation of the irradiation position is corrected but also the focal length (beam diameter) is corrected, so that the cured shape, the degree of curing, etc. of the resin at the time of laser light irradiation can be kept constant and higher accuracy can be obtained. With this, it becomes possible to perform modeling with good adhesion between layers. Example 7 In Examples 1 to 5, only the irradiation position was corrected, but Example 7
Then, the output fluctuation of the light source 10 is further corrected.

【0059】図12は、実施例7の実施に用いる光造形
装置を示している。図において、光造形装置は、図1に
示す構成に加えて、光源10とコンピュータ31との間
に接続された光源制御部33と、樹脂液槽12のセンサ
30が配置された凹部12aと対称の凹部12bに受光
部を上向きにして配置されたビームパワー測定用のセン
サ34とを備えている。光源制御部33は、光源10の
出力をコンピュータ31からの指令値により制御する。
センサ34は、たとえば受光部を備えた通常の光センサ
であり、受光量(ビームパワー)に応じた信号をコンピ
ュータ31に出力する。
FIG. 12 shows a stereolithography apparatus used for carrying out the seventh embodiment. In the figure, in addition to the configuration shown in FIG. 1, the stereolithography apparatus is symmetrical to the light source control unit 33 connected between the light source 10 and the computer 31 and the recess 12a in which the sensor 30 of the resin liquid tank 12 is arranged. And a sensor 34 for measuring the beam power, which is arranged in the concave portion 12b with the light receiving portion facing upward. The light source control unit 33 controls the output of the light source 10 according to a command value from the computer 31.
The sensor 34 is, for example, an ordinary optical sensor including a light receiving unit, and outputs a signal according to the amount of received light (beam power) to the computer 31.

【0060】次に、実施例7の実施手順の一例を、図1
3に示すフローチャートにしたがって説明する。図13
のステップS101では、駆動部27に所定の指令値を
送信し、走査ミラー25を傾けてセンサ30の受光面に
向けてレーザ光を照射する。ステップS102では、セ
ンサ30のレーザ光の照射位置(X0,Y0)を読み込
む。この照射位置(X0,Y0)が以降の照射位置の原
点となる。
Next, an example of the procedure for implementing the seventh embodiment is shown in FIG.
A description will be given according to the flowchart shown in FIG. FIG.
In step S101, a predetermined command value is transmitted to the drive unit 27, the scanning mirror 25 is tilted, and laser light is emitted toward the light receiving surface of the sensor 30. In step S102, the irradiation position (X0, Y0) of the laser light of the sensor 30 is read. This irradiation position (X0, Y0) becomes the origin of the subsequent irradiation positions.

【0061】ステップS103では光源10および駆動
部27に走査データを送信し、レーザ光を樹脂液面のX
Y方向に走査する。この結果、樹脂液槽12内の成形台
13上の樹脂液15の露光部分が1層分所定の形状に硬
化し、所定厚みの光硬化層16が造形される。ステップ
S104では、成形台13を所定量下降させ、続いて、
ドクターブレード14を動作させる。この結果、光硬化
層16の上に次の光硬化層となる所定厚みの滑らかな樹
脂液薄膜が形成される。ステップS105では、全ての
層の造形が終了したか否かを判断する。全ての層の造形
が終了した場合には処理を終了し、造形が終了していな
い場合にはステップS106に移行する。ステップS1
06では、駆動部27に所定の指令値を送信し、走査ミ
ラー25を傾けてセンサ34に向けてレーザ光を照射す
る。ステップS107では、センサ34の出力によりビ
ームパワーを測定する。ステップS108では測定され
たビームパワーが所定範囲内か否かを判断する。ビーム
パワーが所定範囲より小さい場合にはステップS108
からステップS109に移行し、光源制御部33に光源
10のパワーを所定パワー大きくする指令値を出力す
る。この結果、光源10の出力が所定パワー大きくな
る。そしてステップS107に戻り、再度ビームパワー
を測定する。ビーム径パワーが所定範囲より大きい場合
にはステップS108からステップS11に移行し、光
源制御部33に光源10のパワーを所定パワー小さくす
る指令値を出力する。この結果、光源10の出力が所定
パワー小さくなる。そしてステップS107に戻り、再
度ビームパワーを測定する。この結果、樹脂液15には
常に所定範囲内のパワーのレーザ光が照射される。
In step S103, the scanning data is transmitted to the light source 10 and the driving unit 27, and the laser light is applied to the X level of the resin surface.
Scan in the Y direction. As a result, the exposed portion of the resin liquid 15 on the molding table 13 in the resin liquid tank 12 is cured into a predetermined shape for one layer, and the photo-cured layer 16 having a predetermined thickness is formed. In step S104, the molding table 13 is lowered by a predetermined amount, and then,
The doctor blade 14 is operated. As a result, a smooth resin liquid thin film having a predetermined thickness is formed on the photocurable layer 16 as the next photocurable layer. In step S105, it is determined whether or not modeling of all layers has been completed. If the modeling of all layers is completed, the process is terminated, and if the modeling is not completed, the process proceeds to step S106. Step S1
In 06, a predetermined command value is transmitted to the drive unit 27, the scanning mirror 25 is tilted, and the laser light is emitted toward the sensor 34. In step S107, the beam power is measured by the output of the sensor 34. In step S108, it is determined whether the measured beam power is within a predetermined range. If the beam power is smaller than the predetermined range, step S108.
Then, the process proceeds to step S109, and a command value for increasing the power of the light source 10 by a predetermined power is output to the light source control unit 33. As a result, the output of the light source 10 is increased by a predetermined power. Then, returning to step S107, the beam power is measured again. If the beam diameter power is larger than the predetermined range, the process proceeds from step S108 to step S11, and a command value for reducing the power of the light source 10 by the predetermined power is output to the light source control unit 33. As a result, the output of the light source 10 is reduced by a predetermined power. Then, returning to step S107, the beam power is measured again. As a result, the resin liquid 15 is always irradiated with laser light having a power within a predetermined range.

【0062】ビームパワーが所定範囲の場合にはステッ
プS107からステップS111に移行し、ステップS
101と同様に所定の指令値を駆動部27に送信し、走
査ミラー25を傾けてセンサ30の受光面に向けてレー
ザ光を照射する。ステップS112では、センサ30の
レーザ光の照射位置(X1,Y1)を読み込む。ステッ
プS113では、今回の照射位置(X1,Y1)と原点
(X0,Y0)との差により補正量(ΔX,ΔY)を求
める。ステップS114では、次の光硬化層を形成する
際の走査データの補正を行う。具体的にはX(補正後の
走査データ)=X(補正前の走査データ)−ΔX、Y
(補正後の走査データ)=Y(補正前の走査データ)−
ΔYでデータの補正を行う。ステップS114での補正
が終了するとステップS103に戻り、次の層の走査デ
ータを光源10および駆動部27に送信し、以降の動作
を造形終了まで繰り返す。
If the beam power is within the predetermined range, the process proceeds from step S107 to step S111, and then step S111.
Similar to 101, a predetermined command value is transmitted to the driving unit 27, the scanning mirror 25 is tilted, and laser light is emitted toward the light receiving surface of the sensor 30. In step S112, the irradiation position (X1, Y1) of the laser light of the sensor 30 is read. In step S113, the correction amount (ΔX, ΔY) is obtained from the difference between the irradiation position (X1, Y1) of this time and the origin (X0, Y0). In step S114, the scan data for forming the next photo-cured layer is corrected. Specifically, X (scan data after correction) = X (scan data before correction) −ΔX, Y
(Scan data after correction) = Y (scan data before correction) −
The data is corrected with ΔY. When the correction in step S114 is completed, the process returns to step S103, the scan data of the next layer is transmitted to the light source 10 and the drive unit 27, and the subsequent operations are repeated until the modeling is completed.

【0063】ここでは、照射位置のずれ補正だけでな
く、ビームパワーを所定範囲内に制御することにより、
レーザ光照射時の樹脂の硬化形状、硬化度合等を一定に
保て、より高精度で層間の接着力が良好な造形が可能に
なる。 〔他の実施例〕 (a) 以上の実施例において、レーザ光に代えて紫外
線ビームやその他のビームを用いてもよい。
In this case, not only the deviation of the irradiation position is corrected but also the beam power is controlled within a predetermined range.
By keeping the cured shape, the degree of curing, etc. of the resin at the time of laser light irradiation constant, it becomes possible to perform modeling with higher accuracy and good adhesive force between layers. Other Examples (a) In the above examples, an ultraviolet beam or another beam may be used instead of the laser beam.

【0064】(b) センサ30,32,34の設置位
置は一例であり、レーザ光を受光できる位置であればど
こでもよい。
(B) The installation positions of the sensors 30, 32, 34 are merely examples, and may be any positions as long as they can receive laser light.

【0065】[0065]

【発明の効果】以上に述べたように、この発明の請求項
1に係る三次元形状の形成方法によれば、光ビームの照
射位置を測定し、その測定位置に基づいて照射位置の変
動が補正されるので、照射位置が変動しにくくなり、高
精度に造形を行うことができる。
As described above, according to the method for forming a three-dimensional shape according to the first aspect of the present invention, the irradiation position of the light beam is measured, and the irradiation position changes based on the measured position. Since the correction is performed, the irradiation position is less likely to change, and modeling can be performed with high accuracy.

【0066】請求項2に係る三次元形状の形成方法で
は、固定された1個または複数個のセンサで照射位置が
測定されるので、センサの位置が確実に固定され測定精
度が向上し、より高精度に造形を行うことができる。請
求項3に係る三次元形状の形成方法では、光ビームの光
源と実質的に同じ高さ位置に配置されたセンサで照射位
置が測定されるので、光学系の支持部材のたわみによる
影響を受けにくくなるとともに樹脂液の付着等の問題が
生じなくなり、測定精度がより向上するとともにセンサ
性能の劣化を防止できる。
In the three-dimensional shape forming method according to the second aspect, since the irradiation position is measured by one or a plurality of fixed sensors, the position of the sensor is surely fixed and the measurement accuracy is improved. Highly accurate modeling is possible. In the method for forming a three-dimensional shape according to claim 3, since the irradiation position is measured by the sensor arranged at substantially the same height as the light source of the light beam, it is affected by the deflection of the supporting member of the optical system. In addition, the problem of adhesion of resin liquid does not occur, the measurement accuracy is further improved, and the deterioration of the sensor performance can be prevented.

【0067】請求項4に係る三次元形状の形成方法で
は、光ビームを分光し、ひとつの分光ビームの照射位置
がセンサで測定されるので、樹脂液層に照射中の光ビー
ムの照射位置の変動をリアルタイムに正確に補正でき、
より高精度に造形を行うことができる。請求項5に係る
三次元形状の形成方法では、移動する1個または複数個
のセンサを用い、所定位置における光ビームの照射位置
を認識するので、移動する光ビームの照射位置を広範囲
に正確に測定できる。
In the method for forming a three-dimensional shape according to the fourth aspect, since the light beam is dispersed and the irradiation position of one spectral beam is measured by the sensor, the irradiation position of the light beam being irradiated on the resin liquid layer is determined. You can accurately correct fluctuations in real time,
It is possible to perform modeling with higher accuracy. In the method for forming a three-dimensional shape according to claim 5, since the irradiation position of the light beam at a predetermined position is recognized using one or a plurality of moving sensors, the irradiation position of the moving light beam can be accurately measured in a wide range. Can be measured.

【0068】請求項6に係る三次元形状の形成方法で
は、掃き取り部材に取り付けられセンサで照射位置が測
定されるので、別の移動部材を用いることなくセンサを
移動できる。請求項7に係る三次元形状の形成方法で
は、掃き取り部材が造形物の造形エリアの中央部および
端部で静止するので、樹脂液面における平行移動分の補
正(原点補正)だけでなく、基準点(端部)からの距離
によるずれ量の増分を考慮した補正(ゲイン補正)も行
うことができ、より高精度に変動を補正できる。
In the method for forming a three-dimensional shape according to the sixth aspect, since the irradiation position is measured by the sensor attached to the sweeping member, the sensor can be moved without using another moving member. In the method for forming a three-dimensional shape according to claim 7, since the sweeping member is stationary at the center and the end of the modeling area of the modeled object, not only the correction of the parallel movement on the resin liquid surface (origin correction), but also the The correction (gain correction) can be performed in consideration of the increment of the shift amount due to the distance from the reference point (end portion), and the variation can be corrected with higher accuracy.

【0069】請求項8に係る三次元形状の形成方法で
は、掃き取り部材の水平移動動作に光ビームが同期して
移動するので、複数個の有限なセンサで照射中の任意の
照射位置の変動を補正でき、より高精度に造形を行うこ
とができる。請求項9に係る三次元形状の形成方法で
は、各光硬化層を得る毎に変動補正が行われるので、各
光硬化層の造形精度がより向上する。
In the method for forming a three-dimensional shape according to the eighth aspect, since the light beam moves in synchronization with the horizontal movement operation of the sweeping member, fluctuations in arbitrary irradiation position during irradiation by a plurality of finite sensors. Can be corrected, and modeling can be performed with higher accuracy. In the method for forming a three-dimensional shape according to the ninth aspect, the variation correction is performed each time each photo-cured layer is obtained, so that the modeling accuracy of each photo-cured layer is further improved.

【0070】請求項10に係る三次元形状の形成方法で
は、一定時間毎および/または一定層を得る毎に変動補
正が行われるので、造形精度がより向上する。請求項1
1に係る三次元形状の形成方法では、たとえば所定のタ
イミングで光ビームの焦点距離および/またはビーム径
が測定されて、照射位置の変動の補正に加えて光ビーム
の焦点距離の変動がさらに補正されるので、光ビーム照
射時の樹脂の硬化形状、硬化度合などを一定にでき、よ
り高精度で層間の接着力が優れた造形が可能になる。
In the three-dimensional shape forming method according to the tenth aspect, since the variation correction is performed every fixed time and / or each time a fixed layer is obtained, the modeling accuracy is further improved. Claim 1
In the method for forming a three-dimensional shape according to the first aspect, for example, the focal length and / or the beam diameter of the light beam are measured at a predetermined timing, and in addition to the correction of the variation of the irradiation position, the variation of the focal length of the light beam is further corrected. Therefore, it is possible to make the cured shape, the degree of curing, etc. of the resin at the time of irradiation of the light beam constant, and it is possible to perform modeling with higher accuracy and excellent adhesive force between layers.

【0071】請求項12に係る三次元形状の形成方法で
は、たとえば所定のタイミングで光ビームの出力が測定
され、その測定結果に基づき光源の出力が制御されるの
で、光源の出力の変動が抑えられ、光ビーム照射時の樹
脂の硬化形状、硬化度合などを一定にでき、より高精度
で層間の接着力が優れた造形が可能になる。
In the three-dimensional shape forming method according to the twelfth aspect, for example, the output of the light beam is measured at a predetermined timing, and the output of the light source is controlled based on the measurement result, so that the fluctuation of the output of the light source is suppressed. Therefore, it is possible to make the cured shape, the degree of curing, etc. of the resin during irradiation of the light beam constant, and thus it is possible to perform modeling with higher accuracy and excellent adhesive force between layers.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の実施例1の実施に用いる光造形装置
の斜視図。
FIG. 1 is a perspective view of a stereolithography apparatus used for carrying out a first embodiment of the present invention.

【図2】その実施手順を示すフローチャート。FIG. 2 is a flowchart showing the implementation procedure.

【図3】実施例2の実施に用いる光造形装置の斜視図。FIG. 3 is a perspective view of an optical modeling apparatus used for carrying out Example 2.

【図4】実施例3の実施に用いる光造形装置の斜視図。FIG. 4 is a perspective view of an optical modeling apparatus used for carrying out Example 3.

【図5】その実施手順を示すフローチャート。FIG. 5 is a flowchart showing an implementation procedure thereof.

【図6】測定エリアを説明する平面図。FIG. 6 is a plan view illustrating a measurement area.

【図7】実施例4の実施手順を示すフローチャート。FIG. 7 is a flowchart showing an implementation procedure of the fourth embodiment.

【図8】実施例5の実施手順を示すフローチャート。FIG. 8 is a flowchart showing an implementation procedure of the fifth embodiment.

【図9】実施例6の実施に用いる光造形装置の斜視図。FIG. 9 is a perspective view of an optical modeling apparatus used for carrying out Example 6.

【図10】焦点距離調整器の構成を示す模式図。FIG. 10 is a schematic diagram showing a configuration of a focal length adjuster.

【図11】実施例6の実施手順を示すフローチャート。FIG. 11 is a flowchart showing an implementation procedure of the sixth embodiment.

【図12】実施例7の実施に用いる光造形装置の斜視
図。
FIG. 12 is a perspective view of an optical modeling apparatus used for carrying out Example 7.

【図13】その実施手順を示すフローチャート。FIG. 13 is a flowchart showing an implementation procedure thereof.

【図14】照射位置の経時変化を示すグラフ。FIG. 14 is a graph showing changes over time in irradiation position.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 光源 11 光走査部 12 樹脂液槽 13 成形台 14 ドクターブレード 15 光硬化性樹脂 16 光硬化層 17 レーザ光 24,25 X,Y走査ミラー 26,27 X,Y駆動部 28 ビームスプリッタ 29 焦点距離調整器 30,30a〜30c センサ 31 コンピュータ 32,34 センサ 33 光源制御部 10 Light Source 11 Optical Scanning Section 12 Resin Liquid Tank 13 Molding Table 14 Doctor Blade 15 Photosetting Resin 16 Photocuring Layer 17 Laser Light 24, 25 X, Y Scanning Mirrors 26, 27 X, Y Drive 28 Beam Splitter 29 Focal Length Adjuster 30, 30a to 30c Sensor 31 Computer 32, 34 Sensor 33 Light source controller

フロントページの続き (72)発明者 東 喜万 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内Front Page Continuation (72) Inventor Kima Higashi 1048, Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture Matsushita Electric Works Co., Ltd.

Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 樹脂液槽に貯留された光硬化性樹脂液に
光ビームを照射して光硬化層を形成し、この光硬化層を
複数層積み重ねて所望の三次元形状を備えた造形物を得
る方法において、前記光ビームの照射位置を測定し、そ
の測定結果に基づき光ビームの照射位置の変動を補正す
ることを特徴とする三次元形状の形成方法。
1. A molded article having a desired three-dimensional shape by irradiating a light beam on a photocurable resin liquid stored in a resin liquid tank to form a photocurable layer, and stacking a plurality of the photocurable layers. In the method for obtaining a three-dimensional shape, the irradiation position of the light beam is measured, and the variation of the irradiation position of the light beam is corrected based on the measurement result.
【請求項2】 固定された1個または複数個のセンサで
前記照射位置を測定する請求項1記載の三次元形状の形
成方法。
2. The method for forming a three-dimensional shape according to claim 1, wherein the irradiation position is measured by one or a plurality of fixed sensors.
【請求項3】 前記光ビームの光源と実質的に同じ高さ
位置に配置されたセンサで照射位置を測定する請求項2
記載の三次元形状の形成方法。
3. The irradiation position is measured by a sensor arranged at substantially the same height as the light source of the light beam.
A method for forming a three-dimensional shape as described.
【請求項4】 前記光ビームを分光し、ひとつの分光ビ
ームの照射位置を前記センサで測定する請求項3記載の
三次元形状の形成方法。
4. The method for forming a three-dimensional shape according to claim 3, wherein the light beam is dispersed, and the irradiation position of one spectral beam is measured by the sensor.
【請求項5】 移動する1個または複数個のセンサを用
い、所定位置における光ビームの照射位置を認識する請
求項1記載の三次元形状の形成方法。
5. The method for forming a three-dimensional shape according to claim 1, wherein the irradiation position of the light beam at a predetermined position is recognized by using one or a plurality of moving sensors.
【請求項6】 前記センサは、成形台または先に形成さ
れた光硬化層の上に形成された樹脂液層の少なくとも一
部を水平移動により掃き取る掃き取り部材に取り付けら
れている請求項5記載の三次元形状の形成方法。
6. The sensor is attached to a molding table or a sweeping member that sweeps at least a part of the resin liquid layer formed on the photo-cured layer formed previously by horizontal movement. A method for forming a three-dimensional shape as described.
【請求項7】 前記掃き取り部材を前記造形物の造形エ
リアの中央部および端部で静止させる請求項6記載の三
次元形状の形成方法。
7. The method for forming a three-dimensional shape according to claim 6, wherein the sweeping member is stopped at a central portion and an end portion of a shaping area of the shaping object.
【請求項8】 前記掃き取り部材の水平移動動作に前記
光ビームを同期させる請求項6または7記載の三次元形
状の形成方法。
8. The method for forming a three-dimensional shape according to claim 6, wherein the light beam is synchronized with a horizontal movement operation of the sweeping member.
【請求項9】 各光硬化層を得る毎に前記変動補正を行
う請求項1〜8のいずれかに記載の三次元形状の形成方
法。
9. The method for forming a three-dimensional shape according to claim 1, wherein the variation correction is performed every time each photocured layer is obtained.
【請求項10】 一定時間毎および/または一定層を得
る毎に前記変動補正を行う請求項1〜8のいずれかに記
載の三次元形状の形成方法。
10. The method for forming a three-dimensional shape according to claim 1, wherein the variation correction is performed every constant time and / or every time a constant layer is obtained.
【請求項11】 前記光ビームの焦点距離および/また
はビーム径を測定し、光ビームの焦点距離の変動をさら
に補正する請求項1〜10のいずれかに記載の三次元形
状の形成方法。
11. The method for forming a three-dimensional shape according to claim 1, wherein the focal length and / or the beam diameter of the light beam is measured to further correct the variation in the focal length of the light beam.
【請求項12】 前記光ビームの出力を測定し、前記光
源の出力を制御する請求項1〜11のいずれかに記載の
三次元形状の形成方法。
12. The method for forming a three-dimensional shape according to claim 1, wherein the output of the light beam is measured and the output of the light source is controlled.
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