[go: up one dir, main page]

JPH08285917A - Adapter device for circuit board inspection - Google Patents

Adapter device for circuit board inspection

Info

Publication number
JPH08285917A
JPH08285917A JP7093369A JP9336995A JPH08285917A JP H08285917 A JPH08285917 A JP H08285917A JP 7093369 A JP7093369 A JP 7093369A JP 9336995 A JP9336995 A JP 9336995A JP H08285917 A JPH08285917 A JP H08285917A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
circuit board
conductive path
insulating substrate
connector
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP7093369A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3670338B2 (en
Inventor
Kiyoshi Kimura
潔 木村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JSR Corp
Original Assignee
Japan Synthetic Rubber Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Japan Synthetic Rubber Co Ltd filed Critical Japan Synthetic Rubber Co Ltd
Priority to JP09336995A priority Critical patent/JP3670338B2/en
Publication of JPH08285917A publication Critical patent/JPH08285917A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3670338B2 publication Critical patent/JP3670338B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Coupling Device And Connection With Printed Circuit (AREA)
  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 配線の自由度が大きくて集積度の高い回路基
板の検査に対応することができ、製作が容易であり、異
方導電性エラストマー層が損耗したときに経済的にその
機能を回復可能な回路基板検査用アダプター装置を提供
すること。 【構成】 分離可能なフロントコネクターおよびバック
アップコネクターとを有し、回路基板とテスターの検査
用接続部との間に介挿されて両者を電気的に接続する。
フロントコネクターは、上面に一体の異方導電性エラス
トマー層、下面に接触電極を有する絶縁性基板を備え、
被検査電極に対応する異方導電性エラストマー層の導電
路形成部と接触電極は貫通導電路により接続されてい
る。バックアップコネクターは、上面に内面電極、下面
に外面電極、これらを接続する貫通導電路を有する絶縁
性基板を備え、上面に一体の異方導電性エラストマー層
を有する。接触電極、導電路形成部および外面電極のピ
ッチはこの順に大きくなる。
(57) [Abstract] [Purpose] It is suitable for inspection of circuit boards with a high degree of wiring freedom and a high degree of integration, is easy to manufacture, and is economical when the anisotropic conductive elastomer layer is worn. To provide a circuit board inspection adapter device capable of recovering its function. [Structure] It has a separable front connector and a backup connector, and is inserted between a circuit board and a tester connection portion for inspection to electrically connect them.
The front connector includes an anisotropic conductive elastomer layer integrated on the upper surface and an insulating substrate having a contact electrode on the lower surface,
The conductive path forming portion of the anisotropic conductive elastomer layer corresponding to the electrode to be inspected and the contact electrode are connected by a through conductive path. The backup connector includes an inner surface electrode on the upper surface, an outer surface electrode on the lower surface, an insulating substrate having a through conductive path connecting them, and an integrated anisotropic conductive elastomer layer on the upper surface. The pitch of the contact electrode, the conductive path forming portion, and the outer surface electrode increases in this order.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、プリント回路基板など
の回路基板を検査する目的で、当該回路基板をテスター
に電気的に接続するために用いられる回路基板検査用ア
ダプター装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a circuit board inspection adapter device used for electrically connecting a circuit board such as a printed circuit board to a tester for the purpose of inspecting the circuit board.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、プリント回路基板などの回路基
板の表面においては、各種の電子的機能素子などが相当
に高い集積度で形成されており、また各素子同士および
各素子を周縁部のリード電極に電気的に接続するための
配線部が同様に高い密度で形成されている。そして、こ
のような回路基板については、その製造が完了したとき
に、所期の機能を発揮する回路が完成されていることを
確認するために、回路基板における、素子部、配線部、
リード電極部などの導電部における適宜の個所につい
て、それが他の所定の個所と電気的に接続されているか
あるいは絶縁されているかを検査することが必要であ
る。
2. Description of the Related Art In general, various electronic functional elements are formed on a surface of a circuit board such as a printed circuit board with a considerably high degree of integration, and each element is connected to each other and each element is connected to a peripheral lead. Wiring portions for electrically connecting to the electrodes are similarly formed with high density. Then, for such a circuit board, in order to confirm that the circuit exhibiting the intended function is completed when the manufacture is completed, in the circuit board, the element portion, the wiring portion,
It is necessary to inspect an appropriate part of the conductive part such as the lead electrode part whether it is electrically connected or insulated from another predetermined part.

【0003】斯かる回路基板の検査はテスターによって
行われるが、これを実行するためには、回路基板の導電
部において設定された多数の被検査電極をテスターの検
査用接続部に電気的に接続することが必要であり、これ
を達成するためにアダプター装置が用いられる。そし
て、このアダプター装置として、種々のコネクターを利
用することができる。
Such a circuit board is inspected by a tester, and in order to perform this, a large number of electrodes to be inspected set in the conductive portion of the circuit board are electrically connected to the inspection connection portion of the tester. It is necessary to do this and an adapter device is used to achieve this. Various connectors can be used as this adapter device.

【0004】然るに、現在、回路基板においては、機能
素子などの導電部が微細となってその集積度が相当に高
くなっており、これに伴って、当該コネクターにおいて
もその電極および配線の密度を高くして高い解像度を得
ることが必要となってきており、このような理由から、
従来、例えば多層配線型コネクターが好適に用いられて
いる。この多層配線型コネクターは、複数の絶縁層が一
体に積層されてなり、この積層体の表面に、検査対象で
ある回路基板の被検査電極に対応する表面電極が形成さ
れ、また裏面に、テスターの検査用接続部の接点に対応
する裏面電極が形成されており、これらの表面電極と裏
面電極とが、当該絶縁層の積層体の表面、裏面および各
層間に配置された面内配線部並びにこの面内配線部を互
いに接続する貫通配線部によって、電気的に接続されて
いる。
However, at present, in circuit boards, conductive parts such as functional elements are becoming finer and the degree of integration thereof is considerably higher, and accordingly, the density of electrodes and wirings in the connector is also increased. It is necessary to increase the resolution to obtain a high resolution, and for this reason,
Conventionally, for example, a multilayer wiring type connector is preferably used. This multilayer wiring type connector is formed by integrally laminating a plurality of insulating layers, a surface electrode corresponding to an electrode to be inspected of a circuit board to be inspected is formed on the surface of the laminated body, and a tester is formed on the back surface. A back electrode corresponding to the contact of the inspection connection part is formed, and the front surface electrode and the back surface electrode are an in-plane wiring part arranged on the front surface, the back surface and each layer of the insulating layer laminate, and The in-plane wiring portions are electrically connected to each other by the through wiring portions.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、多層配
線型コネクターにおいては、以下に詳述するように、複
数の絶縁層が一体とされていることから、製造上の理由
も加わって、電極または配線の密度を十分に高いものと
することができない、という問題点がある。
However, in the multi-layer wiring type connector, as will be described in detail below, since a plurality of insulating layers are integrated, an electrode or wiring is added for manufacturing reasons. However, there is a problem that the density cannot be sufficiently high.

【0006】例えば図4(イ)に示すように、3層構成
の多層配線型コネクター60において、表面絶縁層61
の表面に形成された表面電極Aと他の表面電極Bとを電
気的に接続する場合において、その接続用配線は、最も
簡単には当該表面絶縁層61の表面に形成すればよい
が、当該表面には通常多数の他の電極または配線部が形
成されており、これらは、それに重ねて接続用配線を設
けることのできない配線禁止部位である。図4(イ)に
おいて、黒丸で示されているこのような配線禁止部位N
は、表面絶縁層61の表面のみならず、表面絶縁層61
と中間絶縁層62との間、中間絶縁層62と裏面絶縁層
63との間、および裏面絶縁層63の表面にも存在す
る。
For example, as shown in FIG. 4A, in a multilayer wiring type connector 60 having a three-layer structure, a surface insulating layer 61
In the case of electrically connecting the surface electrode A formed on the surface of the other surface electrode B to the other surface electrode B, the connection wiring may be formed on the surface of the surface insulating layer 61 most simply. A large number of other electrodes or wiring portions are usually formed on the surface, and these are wiring prohibited portions in which connection wiring cannot be provided. In FIG. 4A, such a wiring prohibited portion N indicated by a black circle.
Is not only the surface of the surface insulating layer 61 but also the surface insulating layer 61.
And the intermediate insulating layer 62, between the intermediate insulating layer 62 and the back insulating layer 63, and on the surface of the back insulating layer 63.

【0007】配線禁止部位Nを迂回しまたはそれとの接
触を回避して接続用配線を設けるためには、表面配線部
S1、表面絶縁層61と中間絶縁層62との間の面内配
線部S2、中間絶縁層62と裏面絶縁層63との間の面
内配線部S3および裏面絶縁層63の表面における裏面
配線部S4、並びに表面絶縁層61をその厚み方向に貫
通して伸び、当該表面絶縁層61の両面に設けられた電
極または面内配線部を互いに電気的に接続する貫通配線
部T1、中間絶縁層62に形成された同様の貫通配線部
T2および裏面絶縁層63に形成された同様の貫通配線
部T3を適宜の個所に形成配置することが必要である。
In order to provide the connection wiring by bypassing the wiring prohibited portion N or avoiding contact with the wiring prohibited portion N, the surface wiring portion S1 and the in-plane wiring portion S2 between the surface insulating layer 61 and the intermediate insulating layer 62 are provided. , The in-plane wiring portion S3 between the intermediate insulating layer 62 and the back surface insulating layer 63, the back surface wiring portion S4 on the surface of the back surface insulating layer 63, and the surface insulating layer 61 extending through in the thickness direction, A through wiring portion T1 electrically connecting electrodes or in-plane wiring portions provided on both surfaces of the layer 61 to each other, a similar through wiring portion T2 formed in the intermediate insulating layer 62, and a similar formed in the back surface insulating layer 63. It is necessary to form and arrange the through wiring part T3 of FIG.

【0008】然るに、図4(イ)の構成における表面電
極Bに係る全層貫通配線部Taは、表面絶縁層61、中
間絶縁層62および裏面絶縁層63の全部を一直線に沿
って連続的に貫通する導電路であり、これは全体を連続
して直線的に貫通するスルーホールを形成してその内部
に金属メッキなどによって導電材料を配置すればよいの
で、製作が比較的容易であるが、その反面、当該全層貫
通配線部Taの存在により、すべての絶縁層の同一地点
に配線禁止部位が形成されることとなるので、配線の自
由度が大幅に低下し、多層配線板型であることの利点が
大きく減殺されることとなる。
However, in the all-layer through wiring portion Ta related to the front surface electrode B in the structure of FIG. 4A, all of the front surface insulating layer 61, the intermediate insulating layer 62 and the back surface insulating layer 63 are continuously arranged along a straight line. It is a conductive path that penetrates, and this is relatively easy to manufacture because it is sufficient to form a through hole that continuously and linearly penetrates the whole and dispose a conductive material by metal plating or the like inside it. On the other hand, due to the existence of the all-layer through-wiring portion Ta, a wiring prohibited portion is formed at the same point in all insulating layers, so that the degree of freedom of wiring is significantly reduced, and the wiring board type is a multilayer wiring board type. The advantage of this will be greatly diminished.

【0009】このような問題点を軽減するために、図4
(ロ)に示すように、表面または裏面から伸びるが、す
べての絶縁層を貫通するのではなく、孔としては行き止
まり状のブラインドホールとも称されるバイアホールを
形成してこれにより局部層貫通配線部Tbを形成するこ
とも知られている。このような構成によれば、スルーホ
ールを形成する場合に比して配線の自由度は大きくなる
が、反面、ブラインドホールを正確に形成するための工
作において非常に精密な制御が必要とされるため製作が
容易ではなく、製作コストも高いものとなる。
In order to reduce such problems, FIG.
As shown in (b), it extends from the front surface or the back surface, but does not penetrate all the insulating layers, but forms a via hole, which is also called a blind hole, as a hole. It is also known to form the section Tb. With such a configuration, the degree of freedom of wiring is increased as compared with the case of forming a through hole, but on the other hand, extremely precise control is required in the work for forming a blind hole accurately. Therefore, the manufacturing is not easy, and the manufacturing cost is high.

【0010】このように、従来の多層配線型コネクター
によるアダプター装置においては、十分に大きい配線の
自由度が得られないために十分な解像度が得られず、そ
の結果集積度の高い回路基板の検査に十分に対応するこ
とができず、あるいは、比較的大きい配線の自由度が得
られるものは製作が困難で製作コストが高い、という問
題点がある。
As described above, in the conventional adapter device using the multi-layer wiring type connector, sufficient resolution cannot be obtained because a sufficiently large degree of freedom of wiring cannot be obtained, and as a result, inspection of a circuit board having a high degree of integration is performed. However, there is a problem in that it is difficult to manufacture and the manufacturing cost is high if the wiring can not be sufficiently dealt with, or a relatively large degree of freedom of wiring can be obtained.

【0011】また、多層配線型コネクターによるアダプ
ター装置として、検査対象回路基板の被検査電極などが
損傷されないよう、コネクターの表面に、例えば異方導
電性エラストマー層を設けてなるものが開発されている
が、このような構成においては、検査対象回路基板が多
数回にわたって対接されることによって当該異方導電性
エラストマー層が損耗するようになった場合には、当該
アダプター装置の全体を交換しなければならないので経
済的でない、という問題点がある。
Further, as an adapter device using a multi-layer wiring type connector, one having an anisotropic conductive elastomer layer provided on the surface of the connector has been developed so that the electrodes to be inspected of the circuit board to be inspected are not damaged. However, in such a configuration, if the anisotropic conductive elastomer layer is worn due to the circuit board to be inspected being contacted many times, the entire adapter device must be replaced. There is a problem that it is not economical because it must be done.

【0012】本発明は、以上のような問題点を解決する
ものであって、その目的は、十分に大きい配線の自由度
が得られて解像度が高く、集積度の高い回路基板の検査
に十分に対応することができ、しかも製作が容易で製作
コストが低く、また表面の異方導電性エラストマー層が
損耗したときには経済的にその機能を回復することので
きる回路基板検査用アダプター装置を提供することにあ
る。
The present invention is intended to solve the above problems, and an object of the present invention is to sufficiently inspect a circuit board having a high degree of integration and a high degree of integration because wiring freedom is sufficiently high. The present invention provides an adapter device for inspecting a circuit board, which can meet the above requirements, is easy to manufacture, has a low manufacturing cost, and can economically recover its function when the anisotropic conductive elastomer layer on the surface is damaged. Especially.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】本発明の回路基板検査用
アダプター装置は、検査対象である回路基板とテスター
の検査用接続部との間に介挿され、当該回路基板の被検
査電極と当該テスターの検査用接続部とを電気的に接続
する回路基板検査用アダプター装置であって、回路基板
側に配置される全体が板状のフロントコネクターと、こ
のフロントコネクターと互いに分離可能に積重され、前
記フロントコネクターとテスターの検査用接続部との間
に配置される全体が板状のバックアップコネクターとを
有してなり、前記フロントコネクターは、(a)絶縁性
基板と、(b)絶縁性基板(a)の上面を覆うよう一体
に積層して設けられ、回路基板の被検査電極と対応して
配置された導電路形成部を有し、回路基板に対接される
異方導電性エラストマー層と、(c)絶縁性基板(a)
の下面に形成された、ピッチの小さい微小基準格子点位
置に配置された接触電極と、(d)絶縁性基板(a)の
厚み方向に伸びるよう形成された、異方導電性エラスト
マー層(b)の導電路形成部と接触電極とを電気的に接
続する貫通導電路とを備えてなり、前記バックアップコ
ネクターは、(イ)絶縁性基板と、(ロ)絶縁性基板
(イ)の上面において、前記フロントコネクターの接触
電極(c)に対応した位置に形成された内面電極と、
(ハ)内面電極が形成された絶縁性基板(イ)の上面を
覆うよう一体に積層して設けられ、前記接触電極(c)
に係る微小基準格子点のピッチよりも大きいピッチの中
間基準格子点位置に配置された導電路形成部を有し、前
記フロントコネクターの下面に対接される異方導電性エ
ラストマー層と、(ニ)絶縁性基板(イ)の下面に形成
された、前記異方導電性エラストマー層(ハ)における
導電路形成部に係る中間基準格子点のピッチよりも大き
いピッチの粗大基準格子点位置に配置された外面電極
と、(ホ)絶縁性基板(イ)の厚み方向に伸びるよう形
成された、内面電極(ロ)と外面電極(ニ)とを電気的
に接続する貫通導電路とを備えてなり、前記外面電極
(ニ)がテスターの検査用接続部に電気的に接続される
ことを特徴とする。
A circuit board inspection adapter device of the present invention is inserted between a circuit board to be inspected and an inspection connection portion of a tester, and an electrode to be inspected of the circuit board and An adapter device for inspecting a circuit board, which electrically connects an inspection connecting portion of a tester, wherein a whole board-shaped front connector arranged on the side of the circuit board and the front connector are separably stacked with each other. An entire board-shaped backup connector arranged between the front connector and the tester connection portion, the front connector comprising: (a) an insulating substrate; and (b) an insulating substrate. An anisotropic conductive elastus which is provided by integrally laminating so as to cover the upper surface of the board (a) and has a conductive path forming portion arranged corresponding to the electrodes to be inspected of the circuit board, and which contacts the circuit board. And mer layer, (c) an insulating substrate (a)
Of the contact electrodes formed on the lower surface of the substrate at small reference grid points with a small pitch, and (d) the anisotropic conductive elastomer layer (b) formed so as to extend in the thickness direction of the insulating substrate (a). ) And a through conductive path for electrically connecting the conductive path forming portion to the contact electrode, the backup connector has (b) an insulating substrate and (b) an upper surface of the insulating substrate (b). An inner surface electrode formed at a position corresponding to the contact electrode (c) of the front connector,
(C) The contact electrode (c) is integrally laminated so as to cover the upper surface of the insulating substrate (a) on which the inner surface electrode is formed.
An anisotropic conductive elastomer layer that is in contact with the lower surface of the front connector and that has a conductive path forming portion arranged at an intermediate reference grid point position with a pitch larger than the pitch of the minute reference grid points according to ) Arranged at a coarse reference grid point position formed on the lower surface of the insulating substrate (a) at a pitch larger than the pitch of the intermediate reference grid points related to the conductive path forming portion in the anisotropic conductive elastomer layer (c). And an outer surface electrode, and (e) a through conductive path formed to extend in the thickness direction of the insulating substrate (a) for electrically connecting the inner surface electrode (b) and the outer surface electrode (d). The outer surface electrode (d) is electrically connected to the inspection connecting portion of the tester.

【0014】[0014]

【作用】本発明の回路基板検査用アダプター装置によれ
ば、検査対象である回路基板の被検査電極が、ピッチが
微小な高密度の複雑なパターンによる微細なものである
場合にも、フロントコネクターとバックアップコネクタ
ーを介して、テスターの検査用接続部に対する当該回路
基板の所要の電気的接続を確実に達成することができ
る。
According to the circuit board inspecting adapter device of the present invention, even when the electrodes to be inspected on the circuit board to be inspected are fine ones with a high-density complicated pattern having a fine pitch, the front connector Through the backup connector and the backup connector, the required electrical connection of the circuit board to the test connection portion of the tester can be reliably achieved.

【0015】そして、フロントコネクターとバックアッ
プコネクターとが互いに分離可能であるため、フロント
コネクターの表面を形成する異方導電性エラストマー層
が損耗した場合には、フロントコネクターのみを交換す
ればよく、バックアップコネクターはなおそのまま継続
して使用することができる。また、フロントコネクター
およびバックアップコネクターは、そのいずれにおいて
も、絶縁層は絶縁性基板による1層のみであるために貫
通導電路は常にスルーホールを利用して形成することが
できるので、その製作が容易で製作コストが低く、しか
も全体としては実質的に多層配線構造が達成されるの
で、非常に大きい配線の自由度が得られ、集積度の高い
回路基板の検査に十分に対応することができる。
Since the front connector and the backup connector can be separated from each other, when the anisotropic conductive elastomer layer forming the surface of the front connector is worn, only the front connector needs to be replaced. Can still be used as is. Further, in both of the front connector and the backup connector, since the insulating layer is only one layer made of the insulating substrate, the through conductive path can be always formed by using the through hole, so that the manufacturing is easy. Since the manufacturing cost is low and a multilayer wiring structure is substantially achieved as a whole, a very large degree of freedom of wiring can be obtained, and it is possible to sufficiently cope with the inspection of a circuit board having a high degree of integration.

【0016】[0016]

【実施例】以下、図面によって本発明を具体的に説明す
る。図1は、本発明の一実施例に係る回路基板検査用ア
ダプター装置10の構成の概略を、上側に配置される検
査対象である回路基板12の一部、並びに下側に配置さ
れるテスターの検査用接続部15と共に示す説明用断面
図である。13は回路基板12の被検査電極である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be specifically described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows a schematic configuration of a circuit board inspecting adapter device 10 according to an embodiment of the present invention, showing a part of a circuit board 12 to be inspected arranged on an upper side and a tester arranged on a lower side. FIG. 5 is an explanatory cross-sectional view showing together with an inspection connecting portion 15. Reference numeral 13 denotes an electrode to be inspected on the circuit board 12.

【0017】このアダプター装置10は、回路基板12
側に配置される全体が板状のフロントコネクター20
と、このフロントコネクター20の下側に積重されるよ
うに配置される全体が板状のバックアップコネクター3
0とよりなり、これらは各々独立に製作され、互いに分
離可能に積重される構成とされている。
This adapter device 10 includes a circuit board 12
The front connector 20 has a plate shape and is placed on the side
And a backup connector 3 that is entirely plate-shaped and is arranged below the front connector 20 so as to be stacked.
0, which are manufactured independently of each other and stacked so as to be separable from each other.

【0018】フロントコネクター20は、適宜の樹脂よ
りなる絶縁性基板21を有し、この絶縁性基板21上面
を覆うよう、異方導電性エラストマー層22が積層して
一体に設けられている。この異方導電性エラストマー層
22には、各々厚み方向に伸び、隣接するものとは電気
的に絶縁された状態の導電路形成部23が、回路基板1
2の被検査電極13と対応するパターン、すなわち被検
査電極13のパターンと対掌的なパターンに従う形状お
よび位置で、かつ僅かに外方に突出する状態で形成され
ている。絶縁性基板21の下面には、小さいピッチの微
小基準格子点における適宜の位置に接触電極25が配置
されて形成されている。
The front connector 20 has an insulating substrate 21 made of an appropriate resin, and an anisotropic conductive elastomer layer 22 is laminated and integrally provided so as to cover the upper surface of the insulating substrate 21. The anisotropic conductive elastomer layer 22 has conductive path forming portions 23 each extending in the thickness direction and electrically insulated from adjacent ones.
It is formed in a shape and a position corresponding to the pattern corresponding to the second electrode 13 to be inspected, that is, the pattern opposite to the pattern of the electrode 13 to be inspected, and slightly protruding outward. Contact electrodes 25 are formed on the lower surface of the insulating substrate 21 at appropriate positions on small reference grid points with a small pitch.

【0019】また、絶縁性基板21の上面には、異方導
電性エラストマー層22の導電路形成部23の直下領域
全体に位置するよう上面電極24が形成されており、更
に必要に応じて、この上面電極24に接続された上面配
線部27が形成されている。また、絶縁性基板21の下
面には、必要に応じて、接触電極25に接続された下面
配線部28が形成されている。
Further, an upper surface electrode 24 is formed on the upper surface of the insulating substrate 21 so as to be located in the entire region directly below the conductive path forming portion 23 of the anisotropic conductive elastomer layer 22, and further, if necessary, An upper surface wiring portion 27 connected to the upper surface electrode 24 is formed. Further, a lower surface wiring portion 28 connected to the contact electrode 25 is formed on the lower surface of the insulating substrate 21 as needed.

【0020】そして、当該絶縁性基板21を厚み方向に
貫通して伸びる貫通導電路26が形成されており、これ
により、異方導電性エラストマー層22の導電路形成部
23と、例えばその直下位置またはその近傍位置に存在
する接触電極25とが電気的に接続されている。絶縁性
基板21において、この貫通導電路26を形成する位置
は、当該貫通導電路26が、上面電極24と接触電極2
5とを直接に接続する態様、上面配線部27と接触電極
25とを直接に接続する態様、上面電極24と下面配線
部28とを直接に接続する態様、および上面配線部27
と下面配線部28とを直接に接続する態様となるいずれ
の位置であってもよい。
A through conductive path 26 is formed so as to extend through the insulating substrate 21 in the thickness direction, whereby a conductive path forming portion 23 of the anisotropic conductive elastomer layer 22 and, for example, a position directly below it. Alternatively, the contact electrode 25 existing in the vicinity thereof is electrically connected. In the insulating substrate 21, the through conductive path 26 is formed at the position where the through conductive path 26 is formed.
5, the upper surface wiring portion 27 and the contact electrode 25 are directly connected, the upper surface electrode 24 and the lower surface wiring portion 28 are directly connected, and the upper surface wiring portion 27.
And the lower surface wiring portion 28 may be directly connected to each other.

【0021】バックアップコネクター30は、適宜の樹
脂よりなる絶縁性基板31を有し、この絶縁性基板31
の上面には、フロントコネクター20の接触電極25に
対応して1または複数の異方導電性エラストマー層32
の導電路形成部33の直下に位置するよう内面電極34
が形成され、更に必要に応じて、内面電極34に接続さ
れた内面配線部37が形成されている。
The backup connector 30 has an insulating substrate 31 made of an appropriate resin.
On the upper surface of the one or more anisotropic conductive elastomer layers 32 corresponding to the contact electrodes 25 of the front connector 20.
Of the inner surface electrode 34 so as to be located immediately below the conductive path forming portion 33 of
And an inner surface wiring portion 37 connected to the inner surface electrode 34 is formed if necessary.

【0022】また、この内面電極34および内面配線部
37が形成された絶縁性基板31の上面を全体にわたっ
て覆うよう、異方導電性エラストマー層32が積層して
一体に設けられている。この異方導電性エラストマー層
32には、各々厚み方向に伸び、隣接するものとは電気
的に絶縁された状態の多数の導電路形成部33が、フロ
ントコネクター20の接触電極25に係る微小基準格子
点のピッチより大きいピッチの中間基準格子点位置のす
べてにおいて、僅かに上方に突出する状態で形成されて
いる。
Further, an anisotropic conductive elastomer layer 32 is laminated and integrally provided so as to cover the entire upper surface of the insulating substrate 31 on which the inner electrode 34 and the inner wiring portion 37 are formed. In this anisotropic conductive elastomer layer 32, a large number of conductive path forming portions 33 each extending in the thickness direction and electrically insulated from adjacent ones are provided as a minute reference for the contact electrode 25 of the front connector 20. All of the intermediate reference grid point positions having a pitch larger than the grid point pitch are formed so as to project slightly upward.

【0023】また、絶縁性基板31の下面には、テスタ
ーの検査用接続部15における標準格子点位置に配置さ
れた接続用接点16に対応して、異方導電性エラストマ
ー層32における導電路形成部33に係る中間基準格子
点のピッチよりも大きいピッチの粗大基準格子点位置に
配置された外面電極35が設けられており、必要に応じ
て、外面電極35に接続された外面配線部38が形成さ
れている。
Further, on the lower surface of the insulating substrate 31, a conductive path is formed in the anisotropic conductive elastomer layer 32 corresponding to the connecting contacts 16 arranged at the standard lattice point positions in the test connecting portion 15 of the tester. The outer surface electrode 35 arranged at the coarse reference grid point position having a pitch larger than the pitch of the intermediate reference grid point related to the portion 33 is provided, and the outer surface wiring portion 38 connected to the outer surface electrode 35 is provided as necessary. Has been formed.

【0024】そして、当該絶縁性基板31を厚み方向に
貫通して伸びる貫通導電路36が形成されており、これ
により、内面電極34と外面電極35とが電気的に接続
されている。絶縁性基板31において、この貫通導電路
36を形成する位置は、当該貫通導電路36が、内面電
極34と外面電極35とを直接に接続する態様、内面配
線部37と外面電極35とを直接に接続する態様、内面
電極34と外面配線部38とを直接に接続する態様、お
よび内面配線部37と外面配線部38とを直接に接続す
る態様となるいずれの位置であってもよい。
A through conductive path 36 is formed so as to extend through the insulating substrate 31 in the thickness direction, whereby the inner electrode 34 and the outer electrode 35 are electrically connected. In the insulating substrate 31, the position where the through conductive path 36 is formed is such that the through conductive path 36 directly connects the inner surface electrode 34 and the outer surface electrode 35, and the inner surface wiring portion 37 and the outer surface electrode 35 are directly connected to each other. May be connected to the inner surface electrode 34, the outer surface wiring portion 38 may be directly connected, and the inner surface wiring portion 37 and the outer surface wiring portion 38 may be directly connected.

【0025】以上において、フロントコネクター20の
絶縁性基板21およびバックアップコネクター30の絶
縁性基板31の材質は、いずれも寸法安定性の高い耐熱
性材料であることが好ましく、各種の樹脂を使用するこ
とができるが、特にガラス繊維補強型エポキシ樹脂が最
適である。
In the above, it is preferable that the insulating substrate 21 of the front connector 20 and the insulating substrate 31 of the backup connector 30 are both heat resistant materials having high dimensional stability, and various resins are used. However, the glass fiber reinforced epoxy resin is most suitable.

【0026】バックアップコネクター30の異方導電性
エラストマー層32は、絶縁性基板31の表面に一体的
に接着乃至密着した状態で形成されている。この異方導
電性エラストマー層32は、図2に示すように、各々絶
縁性の弾性高分子物質E中に導電性粒子Pが密に充填さ
れてなる多数の導電路形成部33が、隣接するもの同士
が相互に絶縁部40によって絶縁された状態とされてい
る。各導電路形成部33においては、導電性粒子Pが厚
さ方向に並ぶよう配向されており、厚さ方向に伸びる導
電路が形成されている。この導電路形成部33は、厚さ
方向に加圧されて圧縮されたときに抵抗値が減少して導
電路が形成される、加圧導電部であってもよい。これに
対して、絶縁部40は、加圧されたときにも厚さ方向に
導電路が形成されないものである。
The anisotropic conductive elastomer layer 32 of the backup connector 30 is formed so as to be integrally adhered or adhered to the surface of the insulating substrate 31. As shown in FIG. 2, the anisotropic conductive elastomer layer 32 is adjacent to a large number of conductive path forming portions 33 each having conductive particles P densely packed in an insulating elastic polymer material E. The objects are insulated from each other by the insulating portion 40. In each conductive path formation portion 33, the conductive particles P are oriented so as to be aligned in the thickness direction, and a conductive path extending in the thickness direction is formed. The conductive path forming portion 33 may be a pressurizing conductive portion whose resistance value is reduced to form a conductive path when pressed and compressed in the thickness direction. On the other hand, the insulating portion 40 does not have a conductive path formed in the thickness direction even when pressure is applied.

【0027】図示の例においては、異方導電性エラスト
マー層32の外面において、導電路形成部33が絶縁部
40の表面から突出する突出部を形成している。このよ
うな構成によれば、当該異方導電性エラストマー層32
が厚み方向に加圧されたときに圧縮の程度が絶縁部40
より導電路形成部33において大きいため、十分に抵抗
値の低い導電路が確実に形成され、これにより、加圧力
の変化乃至変動に対して抵抗値の変動の程度を小さくす
ることができ、その結果、異方導電性エラストマー層3
2に作用される加圧力が不均一であっても、確実に所期
の電気的な接続を達成することができる。
In the illustrated example, on the outer surface of the anisotropic conductive elastomer layer 32, the conductive path forming portion 33 forms a protruding portion protruding from the surface of the insulating portion 40. According to such a configuration, the anisotropic conductive elastomer layer 32
Is compressed in the thickness direction, the degree of compression depends on the insulating portion 40.
Since the conductive path forming portion 33 is larger, a conductive path having a sufficiently low resistance value is surely formed, which makes it possible to reduce the degree of change in the resistance value with respect to the change or change in the pressing force. As a result, the anisotropic conductive elastomer layer 3
Even if the pressing force applied to 2 is non-uniform, the desired electrical connection can be reliably achieved.

【0028】このように導電路形成部33が突出部を形
成している場合には、当該突出部の突出高さhは、異方
導電性エラストマー層32の全厚t(t=h+d、dは
絶縁部40の厚さである。)の8%以上であることが好
ましい。また、異方導電性エラストマー層32の全厚t
は、導電路形成部33の中心間距離として定義される電
極ピッチpの300%以下、すなわちt≦3pであるこ
とが好ましい。このような条件が充足されることによ
り、導電路形成部33に作用される加圧力が変化した場
合にも、それによる導電路形成部33の導電性の変化が
十分に小さく抑制されるからである。
When the conductive path forming portion 33 forms a protrusion in this manner, the protrusion height h of the protrusion is the total thickness t (t = h + d, d) of the anisotropic conductive elastomer layer 32. Is the thickness of the insulating portion 40). Further, the total thickness t of the anisotropic conductive elastomer layer 32
Is preferably 300% or less of the electrode pitch p defined as the distance between the centers of the conductive path formation portions 33, that is, t ≦ 3p. By satisfying such a condition, even if the pressing force applied to the conductive path forming portion 33 changes, the change in conductivity of the conductive path forming portion 33 due to the change is suppressed sufficiently small. is there.

【0029】導電路形成部33が突出部を形成する場合
においては、突出部の平面における全体が導電性を有す
ることは必ずしも必要ではなく、例えば突出部の周縁に
は、電極ピッチの20%以下の導電路非形成部分が存在
していてもよい。また、隣接する導電路形成部33相互
間の離間距離rの最小値は、当該導電路形成部33の幅
Rの10%以上であることが好ましい。このような条件
が満足されることにより、加圧されて突出部が変形した
ときの横方向の変位が原因となって隣接する導電路形成
部33同士が電気的に接触するおそれを十分に回避する
ことができる。以上の例において、導電路形成部33の
平面形状は必要な面積を有する円形、その他の適宜の形
状とすることができる。
When the conductive path forming portion 33 forms a protruding portion, it is not always necessary that the entire plane of the protruding portion has conductivity, and for example, 20% or less of the electrode pitch is provided on the periphery of the protruding portion. The conductive path non-formation part of may exist. Further, the minimum value of the separation distance r between the adjacent conductive path forming portions 33 is preferably 10% or more of the width R of the conductive path forming portions 33. By satisfying such a condition, it is possible to sufficiently avoid the possibility that the conductive path forming portions 33 adjacent to each other electrically contact with each other due to the lateral displacement when the protrusion is deformed due to pressure. can do. In the above example, the planar shape of the conductive path forming portion 33 can be a circle having a necessary area, or any other suitable shape.

【0030】導電路形成部33における導電性粒子Pと
しては、例えばニッケル、鉄、コバルトなどの磁性を示
す金属の粒子もしくはこれらの合金の粒子、またはこれ
らの粒子に金、銀、パラジウム、ロジウムなどのメッキ
を施したもの、非磁性金属粒子もしくはガラスビーズな
どの無機質粒子またはポリマー粒子にニッケル、コバル
トなどの導電性磁性体のメッキを施したものなどを挙げ
ることができる。
As the conductive particles P in the conductive path forming portion 33, for example, particles of a metal exhibiting magnetism such as nickel, iron, cobalt or particles of an alloy thereof, or gold, silver, palladium, rhodium or the like in these particles is used. And non-magnetic metal particles or glass beads or other inorganic particles or polymer particles plated with a conductive magnetic material such as nickel or cobalt.

【0031】導電性粒子の粒径は、導電路形成部33の
加圧変形を容易にし、導電路形成部33において導電性
粒子間に十分な電気的な接触が得られるよう、3〜20
0μmであることが好ましく、特に10〜100μmで
あることが好ましい。
The particle size of the conductive particles is 3 to 20 so that the conductive path forming portion 33 can be easily deformed under pressure and sufficient electrical contact can be obtained between the conductive particles in the conductive path forming portion 33.
The thickness is preferably 0 μm, and particularly preferably 10 to 100 μm.

【0032】導電路形成部33を構成する絶縁性で弾性
を有する高分子物質Eとしては、架橋構造を有する高分
子物質が好ましい。架橋高分子物質を得るために用いる
ことができる硬化性の高分子物質用材料としては、例え
ばシリコーンゴム、ポリブタジエン、天然ゴム、ポリイ
ソプレン、スチレン−ブタジエン共重合体ゴム、アクリ
ロニトリル−ブタジエン共重合体ゴム、エチレン−プロ
ピレン共重合体ゴム、ウレタンゴム、ポリエステル系ゴ
ム、クロロプレンゴム、エピクロルヒドリンゴム、軟質
液状エポキシ樹脂などを挙げることができる。
As the insulating and elastic polymeric substance E forming the conductive path forming portion 33, a polymeric substance having a crosslinked structure is preferable. Examples of the curable polymer material that can be used to obtain the crosslinked polymer material include silicone rubber, polybutadiene, natural rubber, polyisoprene, styrene-butadiene copolymer rubber, acrylonitrile-butadiene copolymer rubber. , Ethylene-propylene copolymer rubber, urethane rubber, polyester rubber, chloroprene rubber, epichlorohydrin rubber, soft liquid epoxy resin and the like.

【0033】具体的には、硬化処理前には液状であっ
て、硬化処理後に絶縁性基板31と密着状態または接着
状態を保持して一体となる高分子物質用材料が好まし
い。このような観点から、好適な高分子物質用材料とし
ては、液状シリコーンゴム、液状ウレタンゴム、軟質液
状エポキシ樹脂などを挙げることができる。高分子物質
用材料には、異方導電性エラストマー層32の絶縁性基
板31に対する接着性を向上させるために、シランカッ
プリング剤、チタンカップリング剤などの添加剤を添加
することができる。
Specifically, it is preferable to use a material for a polymer substance which is in a liquid state before the curing treatment and is integrated with the insulating substrate 31 after the curing treatment so as to be in a close contact state or an adhesive state. From such a point of view, as a suitable material for the polymer substance, liquid silicone rubber, liquid urethane rubber, soft liquid epoxy resin and the like can be mentioned. Additives such as a silane coupling agent and a titanium coupling agent can be added to the polymer material in order to improve the adhesion of the anisotropic conductive elastomer layer 32 to the insulating substrate 31.

【0034】絶縁部40を構成する材料としては、導電
路形成部33を構成する高分子物質と同一のものまたは
異なるものを用いることができるが、同様に硬化処理後
に絶縁性基板31と密着状態または接着状態を保持して
絶縁性基板31と一体となるものが用いられる。
As the material forming the insulating portion 40, the same or different material as the polymer material forming the conductive path forming portion 33 can be used. Similarly, it is in a state of being in close contact with the insulating substrate 31 after the curing treatment. Alternatively, the one that holds the bonded state and is integrated with the insulating substrate 31 is used.

【0035】フロントコネクター20の異方導電性エラ
ストマー層22も、絶縁性基板21の表面に一体的に接
着乃至密着した状態で形成されている。この異方導電性
エラストマー層22は、その導電路形成部23の位置お
よび平面形状が回路基板12の被検査電極13に対応し
た位置および形状とされることを除き、基本的に、上述
のようなバックアップコネクター30の異方導電性エラ
ストマー層32と同様の構成を有するものとすることが
できる。
The anisotropic conductive elastomer layer 22 of the front connector 20 is also formed so as to be integrally adhered or adhered to the surface of the insulating substrate 21. The anisotropic conductive elastomer layer 22 is basically as described above except that the position and the planar shape of the conductive path forming portion 23 are set to the position and shape corresponding to the electrode 13 to be inspected of the circuit board 12. The backup conductive connector 30 may have the same structure as the anisotropic conductive elastomer layer 32.

【0036】以上のような構成のアダプター装置は、バ
ックアップコネクター30の上にフロントコネクター2
0が互いに位置決めされて積重された状態で、フロント
コネクター20の異方導電性エラストマー層22の上面
側に検査対象である回路基板12が位置され、またバッ
クアップコネクター30の下面側にテスターの検査用接
続部15が位置されることとなるよう配設される。そし
て、適宜の挟圧手段により、フロントコネクター20お
よびバックアップコネクター30が、回路基板12とテ
スターの検査用接続部15との間に厚み方向(図1で上
下方向)に挟圧された状態とされる。
In the adapter device having the above structure, the front connector 2 is provided on the backup connector 30.
In a state where 0s are positioned and stacked on each other, the circuit board 12 to be inspected is positioned on the upper surface side of the anisotropic conductive elastomer layer 22 of the front connector 20, and the tester is inspected on the lower surface side of the backup connector 30. The connection portion 15 is arranged so as to be positioned. Then, the front connector 20 and the backup connector 30 are clamped in the thickness direction (vertical direction in FIG. 1) between the circuit board 12 and the tester connection portion 15 by an appropriate clamping means. It

【0037】このような状態においては、回路基板12
の被検査電極13は、フロントコネクター20における
異方導電性エラストマー層22の導電路形成部23に押
圧され、これにより、貫通導電路26を介して接触電極
25に電気的に接続された状態となる。同時に、フロン
トコネクター20の接触電極25は、バックアップコネ
クター30の異方導電性エラストマー層32の導電路形
成部33に押圧され、これにより、内面電極34および
貫通導電路36を介して外面電極35に電気的に接続さ
れた状態となる。そして、この外面電極35はテスター
の検査用接続部15に対接されて電気的に接続した状態
とされる。
In such a state, the circuit board 12
The electrode 13 to be inspected is pressed by the conductive path forming portion 23 of the anisotropic conductive elastomer layer 22 of the front connector 20 and thereby electrically connected to the contact electrode 25 through the through conductive path 26. Become. At the same time, the contact electrode 25 of the front connector 20 is pressed against the conductive path forming portion 33 of the anisotropic conductive elastomer layer 32 of the backup connector 30, whereby the contact electrode 25 is applied to the outer surface electrode 35 via the inner surface electrode 34 and the through conductive path 36. It is in an electrically connected state. Then, the outer surface electrode 35 is brought into contact with and electrically connected to the test connecting portion 15 of the tester.

【0038】その結果、回路基板12の被検査電極13
が、フロントコネクター20およびバックアップコネク
ター30よりなるアダプター装置10により、テスター
の検査用接続部15に電気的に接続された状態が実現さ
れ、この状態で、当該回路基板12における被検査電極
13についての電気的な接続状態の検査がテスターによ
り行われる。このとき、回路基板12の被検査電極13
が位置する面に直接対接されるものが、柔軟で弾性に富
んだ異方導電性エラストマー層22であるため、当該被
検査電極13および回路基板12の表面が損傷されるこ
とがない。
As a result, the electrodes 13 to be inspected on the circuit board 12
However, the adapter device 10 including the front connector 20 and the backup connector 30 realizes a state of being electrically connected to the inspection connecting portion 15 of the tester. In this state, the electrode 13 to be inspected on the circuit board 12 is The tester checks the electrical connection status. At this time, the electrodes 13 to be inspected of the circuit board 12
Since the anisotropic conductive elastomer layer 22 which is flexible and rich in elasticity is directly contacted with the surface on which is located, the surfaces of the electrode 13 to be inspected and the circuit board 12 are not damaged.

【0039】上記の構成のアダプター装置においては、
フロントコネクター20とバックアップコネクター30
とが互いに独立したものとして構成されているため、そ
の各々における絶縁性基板の両面のいずれをも配線部形
成面として利用することができる。すなわち、図1の例
では、フロントコネクター20の絶縁性基板21には上
面配線部27および下面配線部28を形成することがで
き、バックアップコネクター30の絶縁性基板31には
内面配線部37および外面配線部38を形成することが
できる。
In the adapter device having the above construction,
Front connector 20 and backup connector 30
Since and are configured to be independent of each other, both surfaces of the insulating substrate in each of them can be used as the wiring portion formation surface. That is, in the example of FIG. 1, the upper wiring portion 27 and the lower wiring portion 28 can be formed on the insulating substrate 21 of the front connector 20, and the inner wiring portion 37 and the outer surface of the insulating substrate 31 of the backup connector 30 can be formed. The wiring portion 38 can be formed.

【0040】しかも、各絶縁性基板21,31において
は、貫通導電路26および貫通導電路36を形成するた
めには、絶縁性基板21,31の各々の全体を貫通する
ホールを形成してこれを利用することができるから、積
層された複数の絶縁層の全部を連続して直線的に貫通す
るスルーホールを形成するようなことは必要でなく、従
って、配線の自由度を大きく得ながらしかも全体の製作
が容易でコストが低いものとなる。
In addition, in each of the insulating substrates 21 and 31, in order to form the through conductive paths 26 and 36, a hole is formed through each of the insulating substrates 21 and 31. Therefore, it is not necessary to form a through hole that continuously and linearly penetrates all of the plurality of laminated insulating layers, and therefore, the degree of freedom of wiring can be increased and The whole is easy to manufacture and the cost is low.

【0041】このことは、例えば上記実施例のアダプタ
ー装置を、図4の構成と比較するときに一層明らかとな
る。すなわち、上記実施例のアダプター装置において
は、配線部形成面として利用することのできる面は、絶
縁性基板21,31の各々の両面であって合計4面であ
り、しかも貫通導電路26のために単に1枚の絶縁性基
板を貫通するホールを形成すれば十分である。一方、図
4の例においては、配線部形成面として利用することの
できる面は、表面絶縁層61の表面、表面絶縁層61と
中間絶縁層62の内面、中間絶縁層62と裏面絶縁層6
3の内面、および裏面絶縁層63の表面の合計4面であ
るが、複数の絶縁性基板の全部を連続して伸びるような
スルーホールを形成することが必要であり、あるいは行
き止まり状のブラインドホールを形成することが必要と
なる。
This becomes more apparent when the adapter device of the above embodiment is compared with the configuration of FIG. 4, for example. That is, in the adapter device of the above-described embodiment, the surfaces that can be used as the wiring part forming surfaces are the two surfaces of each of the insulating substrates 21 and 31, that is, four surfaces in total, and because of the through conductive paths 26. It is sufficient to simply form a hole in the insulating substrate. On the other hand, in the example of FIG. 4, the surface that can be used as the wiring part formation surface is the surface of the surface insulating layer 61, the inner surfaces of the surface insulating layer 61 and the intermediate insulating layer 62, and the intermediate insulating layer 62 and the back insulating layer 6.
Although there are a total of four surfaces including the inner surface of No. 3 and the surface of the back surface insulating layer 63, it is necessary to form a through hole that continuously extends all of the plurality of insulating substrates, or a blind hole having a dead end. Need to be formed.

【0042】また、バックアップコネクター30におい
ては、その異方導電性エラストマー層32の導電路形成
部33の位置が、フロントコネクター20の接触電極2
5に係る微小基準格子点のピッチより大きい中間基準格
子点位置とされると共に、外面電極35の位置が、導電
路形成部33に係る中間基準格子点のピッチより大きい
粗大基準格子点位置とされているので、回路基板12の
被検査電極13の配置が微細で高密度であっても、その
各々が、確実にテスターの検査用接続部15に電気的に
接続された状態を容易に達成することができ、従って高
い解像度が得られると共に高い信頼性が得られる。
In the backup connector 30, the position of the conductive path forming portion 33 of the anisotropic conductive elastomer layer 32 is the contact electrode 2 of the front connector 20.
5 is set to an intermediate reference grid point position larger than the pitch of the minute reference grid points, and the position of the outer surface electrode 35 is set to a coarse reference grid point position larger than the pitch of the intermediate reference grid points related to the conductive path forming portion 33. Therefore, even if the electrodes 13 to be inspected on the circuit board 12 are fine and have a high density, it is possible to easily achieve a state in which the electrodes 13 are surely electrically connected to the inspection connection portion 15 of the tester. Therefore, high resolution and high reliability can be obtained.

【0043】上記の構成によるアダプター装置の具体的
な一例において、接触電極25に係る微小基準格子点の
ピッチは0.2mm、異方導電性エラストマー層32の
導電路形成部33に係る中間基準格子点のピッチは0.
5mm、外面電極35に係る粗大基準格子点のピッチは
2.54mmであるが、これらは自由に設定しあるいは
変更することができる。
In a specific example of the adapter device having the above-mentioned configuration, the pitch of the fine reference grid points related to the contact electrodes 25 is 0.2 mm, the intermediate reference grid related to the conductive path forming portion 33 of the anisotropic conductive elastomer layer 32. The point pitch is 0.
The pitch of the coarse reference grid points related to the outer surface electrode 35 is 5 mm, which is 5 mm, but these can be freely set or changed.

【0044】更に、多数回にわたって検査が行われる
と、回路基板が繰り返し対接されて押圧されるフロント
コネクター20の異方導電性エラストマー層22は次第
に損耗するようになるが、フロントコネクター20はバ
ックアップコネクター30から分離可能に構成されてい
るため、アダプター装置の全体を交換する必要がなく、
フロントコネクター20のみを交換すればバックアップ
コネクター30はそのまま使用可能であるので、経済的
に初期のアダプター装置の機能を回復させることができ
る。
Further, when the inspection is performed a number of times, the anisotropic conductive elastomer layer 22 of the front connector 20 against which the circuit boards are repeatedly contacted and pressed gradually wears, but the front connector 20 is backed up. Since it is configured to be separable from the connector 30, it is not necessary to replace the entire adapter device,
Since the backup connector 30 can be used as it is by replacing only the front connector 20, it is possible to economically restore the initial function of the adapter device.

【0045】本発明のアダプター装置におけるフロント
コネクターおよびバックアップコネクターは、いずれも
単一の絶縁性基板を基体として有するものであって他の
絶縁性基板が一体に積層されたものでないため、反りな
どの変形を生ずるおそれが非常に小さくて常に高い平板
性および高い寸法安定が得られると共に、いずれも異方
導電性エラストマー層を有するものであることにより、
検査対象回路基板とテスターの検査用接続部との間に複
数のエラストマー層が介在されることとなり、その結
果、当該回路基板、当該フロントコネクターおよびバッ
クアップコネクター、テスターの検査用接続部などにお
ける面方向の寸法の変位を十分に吸収することができる
ため、回路基板とテスターの検査用接続部との間で良好
な挟圧状態を達成することができ、このことからも、高
い信頼性をもって所期の検査を行うことができる。
The front connector and the backup connector in the adapter device of the present invention each have a single insulating substrate as a base and are not integrally laminated with other insulating substrates, so that warping or the like is prevented. Since the possibility of deformation is very small, high flatness and high dimensional stability are always obtained, and both have anisotropic conductive elastomer layers,
Multiple elastomer layers will be interposed between the circuit board to be inspected and the tester's test connection, and as a result, the circuit board, front connector and backup connector, tester's test connection, etc. Since it is possible to sufficiently absorb the displacement of the dimension, it is possible to achieve a good pinching state between the circuit board and the tester connection portion of the tester. Can be inspected.

【0046】また、異方導電性エラストマー層22,3
2はいずれも絶縁性基板21,31と一体に形成された
ものであるため、温度変化による熱履歴などの環境の変
化に対しても、当該異方導電性エラストマー層22,3
2と絶縁性基板21,31との間で位置ズレなどの変位
が生ずることがない。
Further, the anisotropic conductive elastomer layers 22, 3
Since 2 is formed integrally with the insulating substrates 21 and 31, the anisotropic conductive elastomer layers 22 and 3 are not affected by environmental changes such as thermal history due to temperature changes.
There is no displacement between the insulating substrate 21 and the insulating substrates 21 and 31 such as displacement.

【0047】本発明において、フロントコネクターおよ
びバックアップコネクターの異方導電性エラストマー層
は、その導電路形成部の各々がその周囲から突出した状
態に形成されているものに限られるものではなく、平坦
な表面を有するものであってもよい。また、フロントコ
ネクターとバックアップコネクターにおいて、両者の異
方導電性エラストマー層が基本的に同様の構成を有する
ものであることは必須のことではなく、それぞれ、目的
に応じて適宜の構成のものを用いることができる。
In the present invention, the anisotropic conductive elastomer layers of the front connector and the backup connector are not limited to those in which each of the conductive path forming portions is formed so as to project from the periphery thereof, and are flat. It may have a surface. Further, in the front connector and the backup connector, it is not essential that the anisotropic conductive elastomer layers of both have basically the same structure, and each has an appropriate structure according to the purpose. be able to.

【0048】以上、本発明の一実施例について説明した
が、本発明においては、フロントコネクター20とバッ
クアップコネクター30との間、またはバックアップコ
ネクター30とテスターの検査用接続部との間に、その
厚み方向に導電路を有する適宜の異方導電性コネクタ
ー、例えば上記フロントコネクター20またはバックア
ップコネクター30と同様の構成のコネクターを追加的
に配設することもでき、この場合には、各コネクターの
電極ピッチを適切に設定することにより、一層高い解像
度を得ることが可能である。
Although one embodiment of the present invention has been described above, in the present invention, the thickness thereof is provided between the front connector 20 and the backup connector 30 or between the backup connector 30 and the tester connection portion of the tester. A suitable anisotropically conductive connector having a conductive path in the direction, for example, a connector having the same configuration as the front connector 20 or the backup connector 30 may be additionally provided. In this case, the electrode pitch of each connector may be arranged. It is possible to obtain an even higher resolution by properly setting.

【0049】本発明のアダプター装置の検査対象である
回路基板は、特に制限されるものではなく、種々の回路
基板における被検査電極についての電気的な検査を実行
することができる。また、テスターおよびその検査用接
続部も特に限定されるものではなく、回路基板との間
に、本発明のアダプター装置を挟圧することができるも
のであればよい。また、テスターの検査用接続部は、テ
スター本体に一体に設けられたものである必要はなく、
テスターに電気的に接続された独立的な構成のものであ
ってもよい。
The circuit board to be inspected by the adapter device of the present invention is not particularly limited, and it is possible to perform an electrical inspection on the electrodes to be inspected on various circuit boards. Further, the tester and its inspection connecting portion are not particularly limited as long as the adapter device of the present invention can be pinched between the tester and the circuit board. Also, the tester connecting portion does not have to be provided integrally with the tester body,
It may have an independent structure electrically connected to the tester.

【0050】本発明においては、各々形状または寸法の
異なる複数のフロントコネクターを積重してフロントコ
ネクター複合体を構成させることにより、いわゆる掘込
み回路基板のように、異なるレベルに複数の電極配置面
が設けられている回路基板をも、検査対象とすることが
できる。
In the present invention, by stacking a plurality of front connectors each having a different shape or size to form a front connector composite, a plurality of electrode placement surfaces are provided at different levels like a so-called digging circuit board. A circuit board provided with can also be an inspection target.

【0051】図5は掘込み回路基板の基本的構成を示す
説明用斜視図、図6は、図5の掘込み回路基板における
集積回路チップの配置およびワイアリングについての説
明用断面図である。図示の例の掘込み回路基板70は、
全体が例えば矩形の板状の多層配線板であって、その一
面の中央領域には、当該回路基板70の外形寸法より小
さい寸法の平面矩形の第1の凹所71Aが形成されてお
り、その結果として当該一面に残存する領域により、当
該第1の凹所71Aの開口を包囲する矩形枠状の第1電
極配置面70Aが形成されている。
FIG. 5 is an explanatory perspective view showing the basic structure of the engraved circuit board, and FIG. 6 is a sectional view for explaining the arrangement and wiring of the integrated circuit chips on the engraved circuit board of FIG. The digging circuit board 70 in the illustrated example is
The whole is, for example, a rectangular plate-shaped multilayer wiring board, and in the central region of one surface thereof, there is formed a planar rectangular first recess 71A having a size smaller than the outer dimensions of the circuit board 70. As a result, the region remaining on the one surface forms a rectangular frame-shaped first electrode placement surface 70A that surrounds the opening of the first recess 71A.

【0052】この第1の凹所71Aの底面には、その中
央領域に当該第1の凹所71Aの寸法より小さい寸法の
平面矩形の第2の凹所71Bが形成されることにより、
外周領域に矩形枠状の第2電極配置面70Bが残されて
形成されている。更に、この第2の凹所71Bの底面に
は、同様にして、一層寸法の小さい平面矩形の第3の凹
所71Cが形成されることにより、矩形枠状の第3電極
配置面70Cが形成されている。そして、この第3の凹
所71Cの底面には、当該第3の凹所71Cの寸法より
小さい矩形の中央貫通孔72が形成されることにより、
矩形枠状のチップ配置段73が残されて形成されてい
る。
The bottom surface of the first recess 71A is formed with the second recess 71B having a planar rectangular shape having a size smaller than the size of the first recess 71A in the central region thereof.
The rectangular frame-shaped second electrode placement surface 70B is formed to remain in the outer peripheral region. Furthermore, a third frame 71C having a rectangular frame shape is formed on the bottom surface of the second recess 71B by forming a third recess 71C having a planar rectangular shape with a smaller size in the same manner. Has been done. Then, by forming a rectangular central through hole 72 smaller than the size of the third recess 71C on the bottom surface of the third recess 71C,
A rectangular frame-shaped chip arrangement step 73 is left and formed.

【0053】このような構成の掘込み回路基板70にお
いては、図6に示すように、チップ配置段73の段面上
にいわゆる裸の集積回路チップ80が配置されて固定さ
れ、当該集積回路チップ80の所定の電極が、適宜のワ
イアリング75を介して、合計3つの電極配置面70A
〜70Cのうちのいずれかに形成された対応する端子電
極76A〜76Cに電気的に接続される。
In the digging circuit board 70 having such a structure, as shown in FIG. 6, a so-called bare integrated circuit chip 80 is arranged and fixed on the step surface of the chip arrangement step 73, and the integrated circuit chip is fixed. 80 predetermined electrodes are provided with a total of three electrode placement surfaces 70A via appropriate wire rings 75.
To 70C, the corresponding terminal electrodes 76A to 76C are electrically connected.

【0054】従って、掘込み回路基板70においては、
その一面に形成されるべき電極配置面が複数(図示の例
では3つ)の面部分に分割されて、それらが各々階段状
に異なるレベルにおいて集積回路チップ80を包囲する
状態となる。このため、当該掘込み回路基板70が多層
配線板として構成されることにより、微細で配置密度の
高い集積回路チップ80の電極に対して、ワイアリング
75により、確実に所期の電気的な接続を達成すること
が可能となる。
Therefore, in the digging circuit board 70,
The electrode arrangement surface to be formed on the one surface is divided into a plurality of (three in the illustrated example) surface portions, which are in a state of surrounding the integrated circuit chip 80 at different levels in a stepwise manner. For this reason, since the dugout circuit board 70 is configured as a multilayer wiring board, the wiring 75 ensures reliable electrical connection to the electrodes of the integrated circuit chip 80 that is fine and has a high arrangement density. Can be achieved.

【0055】しかしながら、このような掘込み回路基板
70に対しては、複数の電極配置面が当該基板の厚さ方
向に異なるレベルに設けられているため、一平面上に配
置された被検査電極に対接するよう構成されている通常
の回路基板検査装置では、その検査用接続部を、すべて
の電極配置面の被検査電極に対し、一斉にあるいは同時
に電気的に接続した状態を実現することが非常に困難で
ある。このため、実際には、個々の電極配置面毎に検査
を行うことが必要となり、その結果、検査の効率がきわ
めて低いものとなってしまう問題点がある。
However, since a plurality of electrode arrangement surfaces are provided at different levels in the thickness direction of the board for such a digging circuit board 70, the electrodes to be inspected arranged on one plane are arranged. In a normal circuit board inspection device configured to contact each other, it is possible to realize a state in which the inspection connection portion is electrically connected to the electrodes to be inspected on all electrode arrangement surfaces all at once or simultaneously. Very difficult. Therefore, in practice, it is necessary to perform the inspection for each electrode arrangement surface, and as a result, there is a problem that the inspection efficiency becomes extremely low.

【0056】然るに本発明によれば、以下に詳述するよ
うに、掘込み回路基板に対しても、これを検査対象回路
基板として、きわめて容易に所期の検査を実行すること
ができる回路基板検査用アダプター装置を構築すること
ができる。
According to the present invention, however, as will be described in detail below, a circuit board which can be extremely easily executed as a target circuit board to be inspected even for a digged circuit board. A test adapter device can be constructed.

【0057】図3は、掘込み回路基板の検査に適用し得
るよう構成された本発明回路基板検査用アダプター装置
の一例を示す説明用断面図である。この図3において、
掘込み回路基板70は、各電極配置面70A〜70Cが
下方を向いた状態に示されており、これらの各々には、
被検査電極77A〜77Cが僅かに突出するよう形成さ
れている。
FIG. 3 is an explanatory sectional view showing an example of an adapter device for inspecting a circuit board according to the present invention, which is constructed so as to be applicable to the inspection of a digging circuit board. In this FIG.
The digging circuit board 70 is shown in a state in which each of the electrode placement surfaces 70A to 70C faces downward.
The electrodes 77A to 77C to be inspected are formed to slightly project.

【0058】そして、中央貫通孔72内には、その深さ
と同等の厚みを有するバックアップスペーサ82が配置
され、第3の凹所71C内には、当該第3の凹所71C
に適合する形状の寸法形状を有する模擬チップ83が配
置されている。77Dは、後に配置される集積回路チッ
プに接続されるアース電極である。
A backup spacer 82 having a thickness equivalent to the depth is disposed in the central through hole 72, and the third recess 71C is provided in the third recess 71C.
Simulated chip 83 having a size and shape adapted to is arranged. 77D is a ground electrode connected to an integrated circuit chip to be arranged later.

【0059】掘込み回路基板70の第2の凹所71B内
には、当該第2の凹所71Bに適合する形状を有する第
3のフロントコネクター20Cが配置され、当該第3の
フロントコネクター20Cの中央領域が模擬チップ83
に対向すると共に、外周領域が第3電極配置面70Cに
対向した状態とされる。また、第1の凹所71A内に
は、当該第1の凹所71Aに適合する形状を有する第2
のフロントコネクター20Bが配置され、当該第2のフ
ロントコネクター20Bの中央領域が第3のフロントコ
ネクター20Cに対向すると共に、外周領域が第2電極
配置面70Bに対向した状態とされる。更に、この第2
のフロントコネクター20Bおよび第1電極配置面70
Aの外面側に第1のフロントコネクター20Aが配置さ
れ、当該第1のフロントコネクター20Aの中央領域が
第2のフロントコネクター20Bに対向すると共に、外
周領域が第1電極配置面70Aに対向した状態とされ
る。
A third front connector 20C having a shape matching the second recess 71B is arranged in the second recess 71B of the digging circuit board 70. Simulated chip 83 in the central area
And the outer peripheral region faces the third electrode arrangement surface 70C. In addition, in the first recess 71A, a second shape having a shape adapted to the first recess 71A is formed.
The front connector 20B is arranged such that the central region of the second front connector 20B faces the third front connector 20C and the outer peripheral region faces the second electrode arrangement surface 70B. Furthermore, this second
Front connector 20B and first electrode arrangement surface 70
A state in which the first front connector 20A is disposed on the outer surface side of A, the central region of the first front connector 20A faces the second front connector 20B, and the outer peripheral region faces the first electrode placement face 70A. It is said that

【0060】そして、第1のフロントコネクター20A
の外面側には、バックアップコネクター30が配置さ
れ、これを介してテスターの検査用接続部15が配置さ
れている。90は押圧用弾性体である。
Then, the first front connector 20A
A backup connector 30 is disposed on the outer surface side of the tester, and a tester connecting portion 15 is disposed therethrough. 90 is an elastic body for pressing.

【0061】第1のフロントコネクター20A〜第3の
フロントコネクター20Cは、既述のフロントコネクタ
ーと同様の基本的構成を有するものであり、絶縁性基板
とこれに一体的に設けられた異方導電性エラストマー層
とよりなり、当該異方導電性エラストマー層には、外周
領域において、対応する被検査電極と一致するパターン
で導電路形成部が形成されている。すなわち、第1のフ
ロントコネクター20Aの外周領域には第1電極配置面
70Aの被検査電極77Aと、第2のフロントコネクタ
ー20Bの外周領域には第2電極配置面70Bの被検査
電極77Bと、並びに第3のフロントコネクター20C
の外周領域には第3電極配置面70Cの被検査電極77
Cと、それぞれ一致するパターンで導電路形成部が設け
られている。
The first front connector 20A to the third front connector 20C have the same basic structure as the above-mentioned front connector, and include an insulating substrate and an anisotropic conductive member integrally provided on the insulating substrate. Conductive anisotropic layer, the conductive path forming portion is formed in the anisotropic conductive elastomer layer in the outer peripheral region in a pattern corresponding to the corresponding electrode to be inspected. That is, the inspected electrode 77A of the first electrode arrangement surface 70A is in the outer peripheral area of the first front connector 20A, and the inspected electrode 77B of the second electrode arrangement surface 70B is in the outer peripheral area of the second front connector 20B. And the third front connector 20C
The electrode 77 to be inspected on the third electrode placement surface 70C
Conductive path forming portions are provided in a pattern that respectively matches C.

【0062】このような構成によれば、全体が押圧用弾
性体90などを介して押圧された状態において、第3の
フロントコネクター20Cは、その外周領域において第
3電極配置面70Cに直接対接されて被検査電極77C
に弾性的に接触することとなり、結局、当該被検査電極
77Cに対して既述のフロントコネクターとしての機能
を発揮する。また、第2のフロントコネクター20B
は、その外周領域において第2電極配置面70Bに直接
対接されて被検査電極77Bに弾性的に接触することと
なり、結局、当該被検査電極77Bに対してフロントコ
ネクターとしての機能を発揮すると共に、同時に第3の
フロントコネクター20Cに対してバックアップコネク
ターとしての機能を発揮する。更に、第1のフロントコ
ネクター20Aも同様に、その外周領域において第1電
極配置面70Aに直接対接されて被検査電極77Aに弾
性的に接触することとなり、結局、当該被検査電極77
Aに対してフロントコネクターとしての機能を発揮する
と共に、同時に第2のフロントコネクター20Bに対し
てバックアップコネクターとしての機能を発揮する。
According to this structure, the third front connector 20C directly contacts the third electrode arrangement surface 70C in the outer peripheral area in a state where the whole is pressed by the pressing elastic body 90 and the like. Inspected electrode 77C
Elastically contact with the inspected electrode 77C, and finally, the above-described function as the front connector is exerted on the inspected electrode 77C. Also, the second front connector 20B
Is brought into direct contact with the second electrode placement surface 70B in its outer peripheral region and elastically contacts the electrode 77B to be inspected, and in the end, the function as a front connector is exerted with respect to the electrode 77B to be inspected. At the same time, it also functions as a backup connector for the third front connector 20C. Further, similarly, the first front connector 20A also comes into direct contact with the first electrode arrangement surface 70A in the outer peripheral region thereof and elastically contacts the inspected electrode 77A.
It functions as a front connector for A and simultaneously functions as a backup connector for the second front connector 20B.

【0063】以上のように、上記の回路基板検査用アダ
プター装置によれば、互いに異なるレベルに位置された
複数の電極配置面に被検査電極が設けられている検査対
象回路基板に対しても、複数のフロントコネクターを積
重して配置することにより、いずれかのフロントコネク
ターの前面の少なくとも一部がいずれかの電極配置面に
直接対接する状態を得ることができる結果、すべての電
極配置面に対して所期の電気的な接続が達成された状態
を確実に、かつきわめて容易に実現することができる。
すなわち、いわゆる掘込み回路基板を検査対象回路基板
とする場合において、当該掘込み回路基板の段の数、段
の高さ、形状などは区々であるが、本発明の構成によれ
ば、実際の検査対象回路基板の状態に対応して、フロン
トコネクターの数、その各々の形状を適宜選定してこれ
らを積重するように組み合わせてフロントコネクター複
合体を構成することにより、確実に検査対象回路基板の
電極配置面に対応した対接面を有する回路基板検査用ア
ダプター装置を構築することができる。
As described above, according to the above-described circuit board inspection adapter device, even for the circuit board to be inspected in which the electrodes to be inspected are provided on the plurality of electrode arrangement surfaces positioned at different levels, By arranging multiple front connectors in a stack, it is possible to obtain a state in which at least a part of the front surface of one of the front connectors is in direct contact with any of the electrode placement surfaces, and as a result, all of the electrode placement surfaces are On the other hand, the state in which the desired electrical connection is achieved can be realized reliably and extremely easily.
That is, when a so-called digging circuit board is used as the inspection target circuit board, the number of steps, the height of the step, the shape, etc. of the digging circuit board are different, but according to the configuration of the present invention, According to the state of the circuit board to be inspected, the number of front connectors and their respective shapes are appropriately selected, and by combining them to form a front connector composite, the circuit to be inspected is surely obtained. It is possible to construct an adapter device for circuit board inspection having a contact surface corresponding to the electrode arrangement surface of the board.

【0064】[0064]

【発明の効果】本発明の回路基板検査用アダプター装置
によれば、検査対象である回路基板の被検査電極が、ピ
ッチが微小な高密度の複雑なパターンによる微細なもの
である場合にも、フロントコネクターとバックアップコ
ネクターを介して、テスターの検査用接続部に対する当
該回路基板の所要の電気的接続を確実に達成することが
できる。
According to the circuit board inspecting adapter device of the present invention, even when the electrodes to be inspected of the circuit board to be inspected are fine ones with a high-density complicated pattern having a minute pitch, Through the front connector and the backup connector, it is possible to reliably achieve the required electrical connection of the circuit board to the test connecting portion of the tester.

【0065】そして、本発明の回路基板検査用アダプタ
ー装置によれば、フロントコネクターとバックアップコ
ネクターとが互いに分離可能であるため、フロントコネ
クターの表面を形成する異方導電性エラストマー層が損
耗した場合には、フロントコネクターのみを交換すれば
よく、バックアップコネクターはなお継続して使用する
ことができるので、経済的に初期の機能を回復すること
ができる。また、フロントコネクターおよびバックアッ
プコネクターは、そのいずれにおいても、絶縁層は絶縁
性基板による1層のみであるために貫通導電路は常にス
ルーホールを利用して形成することができるので、その
製作が容易で製作コストが低く、しかも全体としては実
質的に多層配線構造が達成されるので、非常に大きい配
線の自由度が得られ、集積度の高い回路基板の検査に十
分に対応することができる。
According to the circuit board inspection adapter device of the present invention, since the front connector and the backup connector can be separated from each other, when the anisotropic conductive elastomer layer forming the surface of the front connector is damaged. Since only the front connector needs to be replaced and the backup connector can be used continuously, the initial function can be economically restored. Further, in both of the front connector and the backup connector, since the insulating layer is only one layer made of the insulating substrate, the through conductive path can be always formed by using the through hole, so that the manufacturing is easy. Since the manufacturing cost is low and a multilayer wiring structure is substantially achieved as a whole, a very large degree of freedom of wiring can be obtained, and it is possible to sufficiently cope with the inspection of a circuit board having a high degree of integration.

【0066】更に、各々形状または寸法の異なる複数の
フロントコネクターを積重してフロントコネクター複合
体を構成させることにより、いわゆる掘込み回路基板の
ように、異なるレベルに複数の電極配置面が設けられて
いる回路基板をも、検査対象とすることができる。
Further, by stacking a plurality of front connectors each having a different shape or size to form a front connector composite, a plurality of electrode arrangement surfaces are provided at different levels like a so-called recessed circuit board. The circuit board on which it is mounted can also be an inspection target.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例に係る回路基板検査用アダプ
ター装置の構成の概略を、検査対象回路基板の一部、並
びにテスターの検査用接続部と共に示す説明用断面図で
ある。
FIG. 1 is an explanatory cross-sectional view showing a schematic configuration of a circuit board inspection adapter device according to an embodiment of the present invention together with a part of a circuit board to be inspected and a test connection portion of a tester.

【図2】図1のアダプター装置における異方導電性エラ
ストマー層部分の一例の説明用拡大断面図である。
FIG. 2 is an enlarged sectional view for explaining an example of an anisotropic conductive elastomer layer portion in the adapter device of FIG.

【図3】掘込み回路基板を検査対象回路基板とする場合
などに好適な、複数のフロントコネクターによりフロン
トコネクター複合体が構成されている本発明の回路基板
検査用アダプター装置の構成を示す説明用断面図であ
る。
FIG. 3 is an explanatory view showing a configuration of an adapter device for inspecting a circuit board of the present invention, which is suitable for a case where a digging circuit board is a circuit board to be inspected, and in which a front connector complex is composed of a plurality of front connectors. FIG.

【図4】多層配線型コネクターについての説明図であっ
て、(イ)はスルーホールが形成されており、(ロ)は
ブラインドホールが形成されている。
FIG. 4 is an explanatory diagram of a multilayer wiring type connector, in which (a) has a through hole formed therein, and (b) has a blind hole formed therein.

【図5】掘込み回路基板の基本的構成を示す説明用斜視
図である。
FIG. 5 is an explanatory perspective view showing a basic configuration of a digging circuit board.

【図6】図5の掘込み回路基板における集積回路チップ
の配置およびワイアリングについての説明用断面図であ
る。
6 is a cross-sectional view for explaining the arrangement and wiring of integrated circuit chips on the digging circuit board of FIG. 5;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 アダプター装置 12 回路基板 13 被検査電極 15 検査用接
続部 20 フロントコネクター 20A 第1の
フロントコネクター 20B 第2のフロントコネクター 20C 第3の
フロントコネクター 21 絶縁性基板 22 異方導電
性エラストマー層 23 導電路形成部 24 上面電極 25 接触電極 26 貫通導電
路 27 上面配線部 28 下面配線
部 30 バックアップコネクター 31 絶縁性基
板 32 異方導電性エラストマー層 33 導電路形
成部 34 内面電極 16 接続用接
点 35 外面電極 36 貫通導電
路 37 内面配線部 38 外面配線
部 40 絶縁部 P 導電性粒子 E 高分子物質 60 多層配線
型コネクター 61 表面絶縁層 A,B 表面電
極 62 中間絶縁層 63 裏面絶縁
層 N 配線禁止部位 S1 表面配線
部 S2,S3 面内配線部 S4 裏面配線
部 T1,T2,T3 貫通配線部 Ta 全層貫通
配線部 Tb 局部層貫通配線部 70 掘込み回
路基板 70A 第1電極配置面 70B 第2電
極配置面 70C 第3電極配置面 71A 第1の
凹所 71B 第2の凹所 71C 第3の
凹所 72 中央貫通孔 73 チップ配
置段 75 ワイアリング 76A〜76C
端子電極 77A〜77C 被検査電極 77D アース
電極 80 集積回路チップ 82 バックア
ップスペーサ 83 模擬チップ 90 押圧用弾
性体
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Adapter device 12 Circuit board 13 Electrode to be inspected 15 Connection part for inspection 20 Front connector 20A First front connector 20B Second front connector 20C Third front connector 21 Insulating substrate 22 Anisotropic conductive elastomer layer 23 Conductive path Forming part 24 Upper surface electrode 25 Contact electrode 26 Through conductive path 27 Upper surface wiring part 28 Lower surface wiring part 30 Backup connector 31 Insulating substrate 32 Anisotropic conductive elastomer layer 33 Conductive path forming part 34 Inner surface electrode 16 Connection contact 35 Outer surface electrode 36 Through conductive path 37 Inner surface wiring section 38 Outer surface wiring section 40 Insulation section P Conductive particles E Polymeric substance 60 Multilayer wiring type connector 61 Surface insulation layer A, B Surface electrode 62 Intermediate insulation layer 63 Backside insulation layer N Wiring prohibited area S1 surface Wiring part S2, S3 In-plane distribution Line portion S4 Backside wiring portion T1, T2, T3 Through wiring portion Ta All-layer through wiring portion Tb Local layer through wiring portion 70 Dug circuit board 70A First electrode arrangement surface 70B Second electrode arrangement surface 70C Third electrode arrangement surface 71A 1st recess 71B 2nd recess 71C 3rd recess 72 Central through-hole 73 Chip arrangement | positioning step 75 Wire ring 76A-76C
Terminal electrode 77A to 77C Inspected electrode 77D Earth electrode 80 Integrated circuit chip 82 Backup spacer 83 Simulated chip 90 Pressing elastic body

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 検査対象である回路基板とテスターの検
査用接続部との間に介挿され、当該回路基板の被検査電
極と当該テスターの検査用接続部とを電気的に接続する
回路基板検査用アダプター装置であって、 回路基板側に配置される全体が板状のフロントコネクタ
ーと、このフロントコネクターと互いに分離可能に積重
され、前記フロントコネクターとテスターの検査用接続
部との間に配置される全体が板状のバックアップコネク
ターとを有してなり、 前記フロントコネクターは、 (a)絶縁性基板と、 (b)絶縁性基板(a)の上面を覆うよう一体に積層し
て設けられ、回路基板の被検査電極と対応して配置され
た導電路形成部を有し、回路基板に対接される異方導電
性エラストマー層と、 (c)絶縁性基板(a)の下面に形成された、ピッチの
小さい微小基準格子点位置に配置された接触電極と、 (d)絶縁性基板(a)の厚み方向に伸びるよう形成さ
れた、異方導電性エラストマー層(b)の導電路形成部
と接触電極とを電気的に接続する貫通導電路とを備えて
なり、 前記バックアップコネクターは、 (イ)絶縁性基板と、 (ロ)絶縁性基板(イ)の上面において、前記フロント
コネクターの接触電極(c)に対応した位置に形成され
た内面電極と、 (ハ)内面電極が形成された絶縁性基板(イ)の上面を
覆うよう一体に積層して設けられ、前記接触電極(c)
に係る微小基準格子点のピッチよりも大きいピッチの中
間基準格子点位置に配置された導電路形成部を有し、前
記フロントコネクターの下面に対接される異方導電性エ
ラストマー層と、 (ニ)絶縁性基板(イ)の下面に形成された、前記異方
導電性エラストマー層(ハ)における導電路形成部に係
る中間基準格子点のピッチよりも大きいピッチの粗大基
準格子点位置に配置された外面電極と、 (ホ)絶縁性基板(イ)の厚み方向に伸びるよう形成さ
れた、内面電極(ロ)と外面電極(ニ)とを電気的に接
続する貫通導電路とを備えてなり、 前記外面電極(ニ)がテスターの検査用接続部に電気的
に接続されることを特徴とする回路基板検査用アダプタ
ー装置。
1. A circuit board which is interposed between a circuit board to be inspected and a test connecting portion of a tester and electrically connects an electrode to be inspected of the circuit board and a test connecting portion of the tester. An inspection adapter device, which is entirely arranged on the side of a circuit board and has a plate-shaped front connector and is separably stacked with the front connector, and between the front connector and a tester connection part for inspection. The whole arranged has a plate-shaped backup connector, and the front connector is provided by integrally laminating (a) an insulating substrate and (b) an upper surface of the insulating substrate (a). An anisotropic conductive elastomer layer having a conductive path forming portion arranged corresponding to the electrode to be inspected of the circuit board and facing the circuit board; and (c) on the lower surface of the insulating board (a). Been formed A contact electrode arranged at a small reference grid point position with a small pitch; and (d) a conductive path forming portion of the anisotropic conductive elastomer layer (b) formed so as to extend in the thickness direction of the insulating substrate (a). The backup connector comprises: a through conductive path for electrically connecting to a contact electrode, wherein the backup connector comprises: (a) an insulating substrate; and (b) an upper surface of the insulating substrate (a), the contact electrode of the front connector being provided. (C) an inner surface electrode formed at a position corresponding to (c) and (c) an integrally laminated layer covering the upper surface of the insulating substrate (a) on which the inner surface electrode is formed.
An anisotropic conductive elastomer layer, which has a conductive path forming portion arranged at an intermediate reference grid point position with a pitch larger than the pitch of the minute reference grid points according to the above, and is in contact with the lower surface of the front connector. ) Arranged at a coarse reference grid point position, which is formed on the lower surface of the insulating substrate (a) and has a pitch larger than the pitch of the intermediate reference grid points related to the conductive path forming portion in the anisotropic conductive elastomer layer (c). And an outer surface electrode, and (e) a through conductive path formed to extend in the thickness direction of the insulating substrate (a) and electrically connecting the inner surface electrode (b) and the outer surface electrode (d). An adapter device for inspecting a circuit board, wherein the outer electrode (d) is electrically connected to an inspection connecting portion of a tester.
JP09336995A 1995-04-19 1995-04-19 Circuit board inspection adapter device Expired - Lifetime JP3670338B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP09336995A JP3670338B2 (en) 1995-04-19 1995-04-19 Circuit board inspection adapter device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP09336995A JP3670338B2 (en) 1995-04-19 1995-04-19 Circuit board inspection adapter device

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001253839A Division JP3726727B2 (en) 2001-08-24 2001-08-24 Circuit board inspection method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH08285917A true JPH08285917A (en) 1996-11-01
JP3670338B2 JP3670338B2 (en) 2005-07-13

Family

ID=14080391

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP09336995A Expired - Lifetime JP3670338B2 (en) 1995-04-19 1995-04-19 Circuit board inspection adapter device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3670338B2 (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0841568A2 (en) * 1996-11-08 1998-05-13 W.L. GORE & ASSOCIATES, INC. A method of wafer level burn-in
EP0841572A2 (en) * 1996-11-08 1998-05-13 W.L. GORE & ASSOCIATES, INC. Wafer-level burn-in system
US7244127B2 (en) 2002-03-20 2007-07-17 J.S.T. Mfg. Co., Ltd. Anisotropic conductive sheet and its manufacturing method
US7465491B2 (en) 2002-03-20 2008-12-16 J.S.T. Mfg. Co., Ltd. Anisotropic conductive sheet and its manufacturing method

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3726727B2 (en) * 2001-08-24 2005-12-14 Jsr株式会社 Circuit board inspection method

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05159821A (en) * 1991-03-27 1993-06-25 Japan Synthetic Rubber Co Ltd Circuit board inspection device
JPH06249924A (en) * 1993-02-25 1994-09-09 Japan Synthetic Rubber Co Ltd Adapter device for inspection of circuit board

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05159821A (en) * 1991-03-27 1993-06-25 Japan Synthetic Rubber Co Ltd Circuit board inspection device
JPH06249924A (en) * 1993-02-25 1994-09-09 Japan Synthetic Rubber Co Ltd Adapter device for inspection of circuit board

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0841568A2 (en) * 1996-11-08 1998-05-13 W.L. GORE & ASSOCIATES, INC. A method of wafer level burn-in
EP0841572A2 (en) * 1996-11-08 1998-05-13 W.L. GORE & ASSOCIATES, INC. Wafer-level burn-in system
US7244127B2 (en) 2002-03-20 2007-07-17 J.S.T. Mfg. Co., Ltd. Anisotropic conductive sheet and its manufacturing method
US7465491B2 (en) 2002-03-20 2008-12-16 J.S.T. Mfg. Co., Ltd. Anisotropic conductive sheet and its manufacturing method

Also Published As

Publication number Publication date
JP3670338B2 (en) 2005-07-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101882720B (en) Anisotropc conductive connector device and production method therefor and circuit device inspection device
KR100474241B1 (en) Circuit and method of producing the same, bump typed contact head and semiconductor component packaging module using the same
US5759047A (en) Flexible circuitized interposer with apertured member and method for making same
CN101373865B (en) Anisotropic conductive connector and anisotropic conductive connector connection structure
KR20080079670A (en) Wafer Inspection Circuit Board Device, Probe Card and Wafer Inspection Device
WO2004066691A1 (en) Circuit board device and method for interconnecting wiring boards
CN114221146B (en) Conductive particle arrangement film, manufacturing method thereof, inspection probe unit, and conduction inspection method
JP3001182B2 (en) Liquid crystal panel inspection apparatus and method of manufacturing the same
JP2009019974A (en) Method for positioning anisotropic conductive connector, method for positioning anisotropic conductive connector and circuit board for inspection, anisotropic conductive connector, and probe card
KR20040023776A (en) Contact sheet for inspecting an electric device and manufacturing method of the same
JP3820603B2 (en) Connector device
JP3670338B2 (en) Circuit board inspection adapter device
US6641406B1 (en) Flexible connector for high density circuit applications
JP3185452B2 (en) Manufacturing method of circuit board inspection adapter device, circuit board inspection adapter device, and circuit board inspection method and apparatus using the same
JP3726727B2 (en) Circuit board inspection method
JP2009193710A (en) Anisotropic conductive connector and circuit device inspection apparatus using this anisotropic conductive connector
JPH1140293A (en) Multi-layer connector and adapter device for circuit board inspection
JPH1164377A (en) Multi-layer connector and adapter device for circuit board inspection
JP3726391B2 (en) Method for manufacturing multilayer connector and method for manufacturing adapter device for circuit board inspection
JPH05232142A (en) Electric circuit having elastic gasket supporting body for uplifted contact
JPH11231010A (en) Multi-layer connector and adapter device for circuit board inspection
JP3767054B2 (en) Method for manufacturing multilayer connector and method for manufacturing adapter device for circuit board inspection
JPH11345643A (en) Multilayer connector, adapter and adapter device for circuit device inspection
JPH10339744A (en) Circuit board for check and circuit board device for check
JP2001194417A (en) Substrate having electrodes and inspection jig, inspection apparatus and adapter apparatus using the same

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20010626

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050308

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20050414

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080422

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090422

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090422

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090422

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100422

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100422

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110422

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110422

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120422

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120422

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130422

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130422

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140422

Year of fee payment: 9

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

EXPY Cancellation because of completion of term