JPH08244946A

JPH08244946A - ローラコンベア装置

Info

Publication number: JPH08244946A
Application number: JP8088295A
Authority: JP
Inventors: Nobukatsu Sato; 信克佐藤; Junichi Hashimoto; 純一橋本
Original assignee: Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 1995-03-14
Filing date: 1995-03-14
Publication date: 1996-09-24

Abstract

(57)【要約】【目的】小型で簡単な構成によるコンベア構成体によ
って、その回転軸に設けたローラに弾性リングを容易か
つ迅速に交換できるようにする。【構成】回転軸１１にはそれと一体回転するローラ１５
が一対設けられており、このローラ１５には、弾性リン
グ１６を巻き付けるようにして装着されている。ローラ
１５の本体部１５ａの先端面には、円環状のクランプ駒
１８が当接して、ビス１９により着脱可能に連結されて
おり、本体部１５ａとクランプ駒１８との接合部におけ
る外周部には、それぞれ円弧状凹部２０ａ，２０ｂが全
周にわたって形成され。これらにより円弧溝２０が円周
状に形成される。この円弧溝２０の円弧は半円以上のも
のであり、この円弧溝２０内に弾性リング１６が巻き付
けるようにして装着され、これによって回転軸１１を分
割したり、ローラ１５を回転軸１１から分離したりする
ことなく、弾性リング１６の交換を行える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば液晶パネルのＴ
ＦＴ基板やその他のワークを、薬液と接触させる必要の
ある処理を行う際等において、その搬送を行うためのロ
ーラコンベア装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ＴＦＴ（Thin Film Transistor）タイプ
の液晶ディスプレイ装置における液晶パネルは、ＴＦＴ
基板に間に液晶を介して共通基板を貼り合わせることに
より形成される。ＴＦＴ基板は、ガラス基板にエッチン
グによりＴＦＴアレイが形成されるものであり、エッチ
ングを行った後のレジスト膜を除去する工程がある。こ
のレジスト膜の除去は、ＴＦＴ基板を種々の薬液と接触
させることにより行われるものである。この工程を自動
化するためにコンベア装置が用いられ、ＴＦＴ基板をこ
のコンベア装置で搬送する間に、これらの薬液を順次噴
射させるようにしたシャワー方式が採用されている。

【０００３】コンベア装置は薬液と接触することから、
ゴムベルト等では劣化が激しくなるために用いることは
できない。また、このコンベア装置により搬送されるＴ
ＦＴ基板が損傷しないように保護する必要がある等、種
々の制約があることから、一般的に、図１に示した構成
のコンベア構成体が用いられる。

【０００４】図中において、１は搬送路を区画形成する
チャンバ壁であって、このチャンバ壁１を貫通するよう
に回転軸２が設けられており、この回転軸２の両端近傍
部はそれぞれ軸受ユニット３，３により回転自在に支承
させている。そして、回転軸２は一方側の軸受ユニット
３を貫通して延び、その先端部には一対からなるプーリ
４が連結されており、このプーリ４には図示しないモー
タ等の駆動手段からの動力を伝達するためのタイミング
ベルトが巻回して設けられる。回転軸２は、チャンバ壁
１の貫通部において、それぞれシール機構５，５が設け
られており、このシール機構５によってチャンバ壁１外
の機構部に薬液が漏れ出すのを防止している。

【０００５】ＴＦＴ基板Ｃを搬送するために、回転軸２
には、一対からなるローラ６，６がこの回転軸２と一体
回転するようにして装着されている。これらローラ６
は、回転軸２に挿通された本体部６ａの中間部に略円錐
形のつば部６ｂを連設してなるものであって、両ローラ
６におけるつば部６ｂの円錐面は相互に対向する方向を
向いており、このつば部６ｂによりＴＦＴ基板Ｃの左右
の両側部がガイドされる。ＴＦＴ基板Ｃはローラ６の本
体部６ａに直接当接するのではなく、それに傷が付かな
いように保護するために、つば部６ｂより内側の部位に
弾性リング７を嵌着させて、この弾性リング７に当接さ
せるようにしている。また、ローラ６，６の中間部に
は、ＴＦＴ基板Ｃの反り等を防止するための保持ローラ
８が装着されている。

【０００６】以上のように構成されるコンベア構成体
は、チャンバ壁１におけるＴＦＴ基板Ｃの搬送方向に所
定のピッチ間隔をもって多数並べて配置し、前後のコン
ベア構成体の回転軸２のプーリ４間にそれぞれタイミン
グベルトを巻回して、これらのタイミングベルトをモー
タ等の駆動手段で作動させることによって、全ての回転
軸２は等速で回転駆動される。これによって、ＴＦＴ基
板Ｃは、弾性リング７に接触した状態にセットして搬送
される間に、様々な薬液が供給されて、レジスト膜の除
去等といった処理が行われる。

【０００７】ここで、弾性リング７は、ＴＦＴ基板Ｃを
傷付けないようにするために、このＴＦＴ基板Ｃに対し
て弾性的に支持させる。このために、弾性リング７の材
質としては、例えばフッ素ゴム，エチレン−プロピレン
ゴム（ＥＰＤＭ）等のようなゴム材が用いられる。そし
て、この弾性リング７は、その配設部位によっては、長
時間薬液に晒されることから、長時間のうちには劣化す
ることになる。従って、定期的に、または随時に弾性リ
ング７を交換しなければならない。この弾性リング７
は、閉鎖ループ状のものであるから、その交換を行える
ようにするために、回転軸２を３分割して、両ローラ４
を取り付けたローラ取付部２ａ，２ａと、その中間部の
連結部２ｂとから構成し、ローラ取付部２ａを連結部２
ｂの一端に、また連結部２ｂの他端をローラ取付部２ａ
に着脱可能に連結するように構成しなければならない。
これら連結部分の着脱機構としては、図２に示したよう
に、２分割されたジョイント部片９ａ，９ｂを用い、両
ジョイント部片９ａ，９ｂを複数のボルト９ｃにより連
結状態に固定できるようにしたジョイント部材９が用い
られる。

【０００８】以上のように構成することによって、弾性
リング７を交換する際には、ジョイント部材９を脱着さ
せて、回転軸２の連結部２ｂを分離し、劣化した弾性リ
ング７をローラ６から脱着させて、回転軸２のローラ取
付部２ａの先端から取り出し、新たな弾性リング７をロ
ーラ取付部２ａの先端側から嵌め込んで、ローラ６の本
体部６ａにおける所定の位置に嵌着させることができ
る。ここで、回転軸２における連結部２ｂを分離する
と、ローラ取付部２ａは軸受ユニット３によって片持ち
状態となり、この軸受ユニットに過大な負荷が作用する
ことになる。このような事態を防止して、ローラ取付部
２ａを安定的に保持するために、軸受ユニット３として
は、ローラ取付部２ａの軸線方向に位置を違えて２箇所
のベアリング３ａ，３ａをそれぞれ支持板３ｂ，３ｃに
取り付けた構成のものとしている。そして、これら２箇
所のベアリング３ａによりローラ取付部２ａを離れた２
つの位置で支持させることによって、たとえ連結部２ｂ
を分離した状態でも、ローラ取付部２ａを安定的に保持
できる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前述したよ
うに、弾性リング７の交換を行うためには、回転軸２を
軸線方向において３分割する必要があり、このためにジ
ョイント部材９を設けなければならない。また、回転軸
２におけるローラ取付部２ａを支承する軸受ユニット３
としては、ベアリングと支持板とをそれぞれ２組設ける
必要がある等、軸受ユニット３の構成が大型かつ複雑に
なり、コンベア構成体を多数並べることにより形成され
るローラコンベア装置を構成する部品の点数が著しく多
くなって、その全体構成が複雑で、大型化する等の問題
点がある。さらに、弾性リングの交換作業も複雑で、長
時間を要する等といった問題点もある。

【００１０】本発明は以上の点に鑑みてなされたもので
あって、その目的とするところは、小型で簡単な構成に
よるコンベア構成体によって、その回転軸に設けたロー
ラに弾性リングを容易かつ迅速に交換できるようにする
ことにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明は、回転軸に、それと一体回転するロー
ラを少なくとも２箇所設けて、これらのローラに弾性リ
ングを装着し、ワークをこの弾性リングに当接させた状
態で、回転軸を回転させることによって、ワークを搬送
するコンベア構成体をワークの搬送経路に所定のピッチ
間隔で設けたものであって、前記弾性リングは所定の長
さを有する断面円形の紐状部材からなり、前記ワークが
当接する部位がほぼ真円形状となるように前記ローラに
巻き付け固定されていることをその特徴とするものであ
る。

【００１２】

【作用】ローラに弾性リングを嵌め込むのではなく、巻
き付けるように装着することによって、このローラが回
転軸に装着されたままの状態で、弾性リングを着脱でき
る。従って、回転軸を分割する必要はなくなり、ジョイ
ント部材を設けなくても良く、また単一体で形成される
回転軸の両端に各１箇所のベアリングを設ければ良いこ
とから、軸受ユニットの構成も極めて簡単になる。さら
に、弾性リングの交換時に、回転軸を分離する必要がな
くなるので、この弾性リングの交換作業も容易に、迅速
に行うことができる。

【００１３】ワークを上下方向に揺れることがなく、円
滑に送るためには、弾性リングをローラに装着した時
に、この弾性リングの表面、即ち、ローラからの突出部
分の外径が真円状態となるように装着し、かつ弾性リン
グの端部に段差や切れ目が生じないようにする。このた
めに、弾性リングの断面形状を均一なものとなし、また
ローラにこの弾性リングを位置決め・固定するための溝
を円環状に形成して、この溝にほぼ半円以上の部分を内
部に埋入する状態に装着して、両端部を相互に接合させ
るか、または１回以上巻き付けて、両端部をそれ以外の
部位より内側に配置する。さらには、弾性リングには、
それを真円状態となるように付勢する筋材を埋設した
り、真円状態となるように端部を連結させる端部連結機
構部を備えたものを用いても、弾性リングに段差がなく
真円状態にすることができる。いずれの構成を採用する
にしろ、弾性リングはローラに嵌め込むのではなく、巻
き付けるように装着されているから、この弾性リングは
劣化した時には、回転軸を分離しなくとも、ローラから
直接取り外すことができ、また新たな弾性リングを装着
できる。

【００１４】

【実施例】以下、図面に基づいて本発明の実施例につい
て説明する。以下の実施例においては、ＴＦＴ基板を搬
送して、レジスト膜の除去を行うためのローラコンベア
装置として構成したものを示すが、本発明のローラコン
ベア装置により搬送されるワークは、これ以外のもので
あっても良く、またワークに対する処理はレジスト膜の
除去に限るものではない。

【００１５】図３にコンベア構成体の構成を示す。図中
において、１０はチャンバ壁であって、このチャンバ壁
１０には回転軸１１が挿通されている点は前述した従来
技術のものと同様である。しかしながら、この回転軸１
１は分割されてはおらず、その両端はチャンバ壁１０の
両側部を貫通して外部に延びる単一体から構成されてい
る。そして、回転軸１１における両端近傍部には支持板
１２ａにベアリング１２ｂを装着してなる軸受ユニット
１２に回転自在に支承されている。また、回転軸１１の
一方の先端にはそれぞれプーリ１３が装着されており、
このプーリ１３にタイミングベルトを巻回して、このタ
イミングベルトをモータ等の回転駆動手段により駆動す
ることによって、回転軸１１が回転駆動される。さら
に、回転軸１１のチャンバ壁１０への挿通部にはシール
機構１４が設けられており、このシール機構１４により
チャンバ壁１０の外部に薬液等が漏出することがないよ
うにしている。

【００１６】回転軸１１には、ＴＦＴ基板Ｃを搬送する
ために、ローラ１５が一対、この回転軸１１と一体回転
するように装着されている。ローラ１５は、回転軸１１
が挿通される筒状の本体部１５ａに円錐状のつば部１５
ｂを連設してなるものであり、このローラ１５の本体部
１５ａには、ＴＦＴ基板Ｃを弾性的に支承するために、
フッ素ゴムやエチレン−プロピレンゴム（ＥＰＤＭ）等
のゴム材で形成した弾性リング１６が装着されている。
またこれら両ローラ１５，１５の中間部にはＴＦＴ基板
Ｃが反るのを防止するための保持ローラ１７が取り付け
られている。

【００１７】ところで、弾性リング１６は、ローラ１５
に装着させた状態では、その外周部は実質的に段差がな
く、しかも真円形状とする必要がある。そして、この弾
性リング１７の交換には、ローラ１５を回転軸１１に装
着したまま行えるようにようにする。このために、ロー
ラ及び弾性リングは図４乃至図６に示した構成のものが
用いられる。

【００１８】図４から明らかなように、ローラ１５の本
体部１５ａにおけるつば部１５ｂの円錐面が向いている
側の先端面には、円環状のクランプ駒１８が当接して、
複数個所、好ましくは３箇所以上においてビス１９によ
り着脱可能に連結されるようになっている。そして、本
体部１５ａとクランプ駒１８との接合部における外周部
には、それぞれ円弧状凹部２０ａ，２０ｂが全周にわた
って形成されており、これら円弧状凹部２０ａ，２０ｂ
を接合させると、断面が円弧状となった円弧溝２０が円
周状に形成される。この円弧溝２０の円弧は半円以上の
ものであり、この円弧溝２０内に弾性リング１６が装着
されている。ここで、円弧状凹部２０ａ，２０ｂは同じ
円弧形状に形成することもでき、また異なる円弧形状と
することもできるが、少なくとも一方の円弧は半円以下
としなければならない。

【００１９】弾性リング１６は閉鎖ループ状のものでは
なく、端部を接合させることによってループを形成する
断面円形となった紐状の弾性部材から構成され、円弧溝
２０には巻き付けるようにして装着される。そして、こ
の弾性リング１６の長さは、円弧溝２０に巻き付けた時
に、両端部が密着状態に接合する寸法となっている。こ
こで、図６から明らかなように、弾性リング１６の端部
における切れ目は斜めになっており、これにより両端部
を接合させた時には、その接合ラインは円周方向に対し
て所定の角度傾斜した状態になる。

【００２０】コンベア構成体は以上のように構成される
ものであって、このコンベア構成体はチャンバ壁１０に
よるワーク搬送経路に沿って所定のピッチ間隔をもって
多数並べるように設けられ、前後の回転軸１１，１１間
におけるプーリ１３間にはタイミングベルトが巻回して
設けられ、回転駆動手段によってタイミングベルトを駆
動することによって、全てのコンベア構成体における回
転軸１１が同時に等速で回転することになり、ローラ１
５に装着した弾性リング１６上に載置されたＴＦＴ基板
Ｃの搬送が行われる。ＴＦＴ基板Ｃは、このようにして
搬送される間に、それに対して薬液が噴霧されてレジス
ト膜の除去等の処理が行われる関係から、搬送経路にお
ける所定の部位における弾性リング１６が長時間にわた
り薬液に接触する。従って、この弾性リング１６は劣化
するために、その交換を行う必要がある。

【００２１】弾性リング１６の交換を行うには、まずビ
ス１９を緩めることによって、クランプ駒１８をローラ
１５の端面から離間させる。ここで、弾性リング１６は
円弧溝２０に嵌合されているのではなく、巻き付けるよ
うに装着されているから、この円弧溝２０による拘束を
解除し、劣化した弾性リング１６の接合されている端部
を外せば、そのままそれを取り外すことができる。そし
て、新たな弾性リング１６をローラ１５の本体部１５ａ
側の円弧状凹部２０ａに沿うように配置して、クランプ
駒１８をローラ１５の本体部１５ａに接合させる。この
状態で、弾性リング１６における両端部を正確に接合さ
せた後に、ビス１９で締め付ける。これによって、弾性
リング１６の交換作業が終了することになり、この作業
が容易に、しかも迅速に行える。そして、円弧溝２０は
半円以上になっているから、それに弾性リング１６を装
着して、クランプ駒１８をビス１９で締め付けた後は、
この弾性リング１６は極めて安定した状態に保持され、
みだりに逸脱したり、また位置ずれしたりするおそれは
ない。

【００２２】而して、クランプ駒１８をローラ１５の本
体部１５ａに対して接離させることにより弾性リング１
６の交換を行うことができ、回転軸１１を分割したり、
または回転軸１１からローラ１５を分離したりする必要
がないので、回転軸１１の分割・連結を行うための機構
を必要とせず、また回転軸１１の両端には、それぞれ１
箇所のベアリング１２ｂを装着した軸受ユニット１２を
設ければ良いことから、コンベア構成体の構成を著しく
簡略化できる。

【００２３】弾性リング１６及び円弧溝２０を精度良く
形成しておくことによって、弾性リング１６の円弧溝２
０から突出し、ＴＦＴ基板Ｃが当接する部分はほぼ完全
に真円状態になり、ＴＦＴ基板Ｃの搬送時に、このＴＦ
Ｔ基板Ｃが上下動することはない。弾性リング１６の端
部接合部分は、相互に密着しているので、その間に隙間
が生じたり、また段差が生じる等のおそれはない。ま
た、この接合部分に多少の凹凸が生じていたとしても、
この接合ラインは円周方向に対して斜めになっているの
で、この凹凸の影響でＴＦＴ基板Ｃがずれる等のおそれ
はない。

【００２４】次に、図７及び図８は、ローラ及び弾性リ
ングの第２の実施例を示すものであって、ローラ３０に
おける本体部３０ａと、クランプ駒３１とは相互に接合
させて、ビス３２により固定されている。そして、この
接合部位には１回転以上、例えばほぼ３／２回転分（５
４０°）に相当する円弧溝３３が密着した螺旋状に形成
されるように、本体部３０ａ及びクランプ駒３１におけ
る接合部分の外周部位に円弧状凹部３３ａ，３３ｂを形
成する。そして、この円弧溝３３の少なくとも１回転分
は均一な形状の溝を形成する均一溝部となり、両端部の
近傍部位はこの均一溝部より深くなった深溝部となって
いる。円弧溝３３にはゴム材からなる弾性リング３４が
装着されるが、この弾性リング３４は、その断面がこの
円弧溝３３の円弧形状と同一の曲率をもった円形となっ
ており、長さは円弧溝３３の溝端部から溝端部に至る長
さと一致している。

【００２５】以上のように構成することによっても、ク
ランプ駒３１とローラ３０の本体部３０ａとの間に設け
た円弧溝３３に弾性リング３４が巻き付けられるように
なっており、このように巻き付けた状態では、この弾性
リング３４は、円弧溝３３のうちの均一溝部に位置する
部位３４ａが実質的に真円形状となり、深溝部に位置す
る部分３４ｂはそれより内側に位置することになるか
ら、ＴＦＴ基板Ｃは、この均一溝部に位置する部位に当
接した状態で、上下動なく円滑に搬送することができ
る。そして、弾性リング３４における円弧溝３３から突
出する部位を半円以下とすることによって、この弾性リ
ング３４は円弧溝３３における両側の壁と、部分的には
弾性リング３４同士が相互に接合された状態に保持さ
れ、この円弧溝３３から逸脱することも、また位置ずれ
するおそれもなく、安定した状態に保持される。

【００２６】さらに、図９及び図１０はローラ及び弾性
リングの第３の実施例を示すものであって、この実施例
においては、クランプ駒は用いず、ローラ４０の本体部
４０ａには断面が半円以下の円弧溝４１が円周状に形成
されている。そして、この円弧溝４１の外周面に巻き付
けられる弾性リング４２としては、ゴム材からなる弾性
部材４２ａ内に円形リング状となるように癖付け曲成し
た弾性金属リング４２ｂを埋設したものであって、この
弾性リング４２は閉鎖ループ状とはなっておらず、切れ
目を持った円形ループ状に形成されている。

【００２７】このように構成することによって、弾性リ
ング４２における弾性金属リング４２ｂを拡開させる
と、円弧溝４１に着脱できるようになり、従ってその交
換が容易になる。また、弾性リング４２を円弧溝４１に
装着すると、その弾性金属リング４２ｂの弾性復元力に
よって、外周部の全体が真円形状になり、かつ切れ目部
分の接合部は相互に密着して、実質的に隙間や段差がな
い状態に保持される。

【００２８】さらにまた、図１１及び図１２には、ロー
ラ及び弾性リングの第４の実施例が示されており、この
実施例においては、ローラ５０は、前述した第３の実施
例と同様の構成となっており、その本体部５０ａの外周
面には断面が半円以下の円弧溝５１が円周状に形成され
ている。この円弧溝５１に巻き付けられる弾性リング５
２は、断面が円形のゴム材からなるものであって、切れ
目を持った円形ループ状のものである。そして、切れ目
を構成する一方の端面側には突起５３が突設されてお
り、他方の端面側にはこの突起５３が嵌合する凹部５４
が形成されている。ここで、突起５３の先端は円形の膨
出部５３ａを備え、また凹部５４の奥部は、膨出部５３
ａと一致する形状の拡大凹部５４ａとなっている。

【００２９】以上のように構成することによって、突起
５３を凹部５４から脱着させた状態において、弾性リン
グ５２を円弧溝５１に巻き付けて、突起５３を凹部５４
に嵌合させると、この弾性リング５２の外周部は実質的
に真円形状となり、かつ切れ目の部分に隙間が生じない
ように装着される。そして、突起５３と凹部５４との間
で係脱させて、拡開させることによって、弾性リング５
２を円弧溝５１に着脱できるようになり、回転軸１１を
分割しなくても、容易かつ迅速に劣化した弾性リング５
２の交換を行える。

【００３０】

【発明の効果】本発明は以上のように構成したので、小
型で簡単な構成によるコンベア構成体によって、その回
転軸に設けたローラに弾性リングを容易かつ迅速に交換
できる等の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来技術によるコンベア構成体の構成説明図で
ある。

【図２】図１の回転軸におけるジョイント部材の構成を
示す断面図である。

【図３】本発明におけるコンベア構成体の一例を示す構
成説明図である。

【図４】ローラと、このローラに装着された弾性リング
における第１の実施例を示す断面図である。

【図５】図４に弾性リングの正面図である。

【図６】図５の右側面図である。

【図７】ローラと、このローラに装着された弾性リング
における第２の実施例を示す断面図である。

【図８】図７の弾性リングの円弧溝に装着した時の形状
を示す正面図である。

【図９】ローラと、このローラに装着された弾性リング
における第３の実施例を示す断面図である。

【図１０】図９の弾性リングの正面図である。

【図１１】ローラと、このローラに装着された弾性リン
グにおける第４の実施例を示す断面図である。

【図１２】図１１の弾性リングにおいて、突起と凹部と
の係合を解除して拡開させた状態を、一部を破断にして
示す正面図である。

【符号の説明】

１０チャンバ壁１１回転軸１５，３０，４０，５０ローラ１０ａ，３０ａ，４０ａ，５０ａ本体部１６，３４，４２，５２円弧溝１６ａ，１６ｂ，３３ａ，３３ｂ円弧状凹部１８，３１クランプ駒ＣＴＦＴ基板

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】回転軸に、それと一体回転するローラを
少なくとも２箇所設けて、これらのローラに弾性リング
を装着し、ワークをこの弾性リングに当接させた状態
で、回転軸を回転させることによって、ワークを搬送す
るコンベア構成体をワークの搬送経路に所定のピッチ間
隔で設けたものにおいて、前記弾性リングは所定の長さ
を有する断面円形の紐状部材からなり、前記ワークが当
接する部位がほぼ真円形状となるように前記ローラに巻
き付け固定されていることを特徴とするローラコンベア
装置。
【請求項２】前記ローラは、回転軸の軸線方向に２分
割されたローラ構成部片となし、両ローラ構成部片の相
対向する部位の外周エッジ部には、相互に接合させた時
に、断面が半円より大きな円弧溝を円周状に形成し、前
記弾性リングは、この円弧溝に嵌合させた時に、両端部
が密着するように接合される長さ寸法を有するものであ
ることを特徴とする請求項１記載のローラコンベア装
置。
【請求項３】前記ローラは、回転軸の軸線方向に２分
割されたローラ構成部片となし、両ローラ構成部片の相
対向する部位の外周エッジ部には、相互に接合させた時
に１回転以上の螺旋形状となった円弧溝を形成し、少な
くとも１回転分の円弧溝は一定形状の均一溝部となり、
この均一溝部の両側における延長線の部分をそれより深
い深溝部となし、この円弧溝の全長にわたって前記弾性
リングを巻き付けるように装着する構成としたことを特
徴とする請求項１記載のローラコンベア装置。
【請求項４】前記ローラには、その外周面に円弧溝を
円周状に形成し、前記弾性リングには、それを真円状態
となるように付勢する筋材を埋設する構成としたことを
特徴とする請求項１記載のローラコンベア装置。
【請求項５】前記ローラには、その外周面に円弧溝を
円周状に形成し、前記弾性リングには、それを真円状態
となるように端部を連結させる端部連結機構部を備える
構成としたことを特徴とする請求項１記載のローラコン
ベア装置。