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JPH08174567A - 光照射器 - Google Patents

光照射器

Info

Publication number
JPH08174567A
JPH08174567A JP6300536A JP30053694A JPH08174567A JP H08174567 A JPH08174567 A JP H08174567A JP 6300536 A JP6300536 A JP 6300536A JP 30053694 A JP30053694 A JP 30053694A JP H08174567 A JPH08174567 A JP H08174567A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lamp
mirror
cooling
light
cooling air
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6300536A
Other languages
English (en)
Inventor
Hidehiko Adachi
秀彦 阿達
Kunihiro Yonejima
邦啓 米嶋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ushio Denki KK
Ushio Inc
Original Assignee
Ushio Denki KK
Ushio Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ushio Denki KK, Ushio Inc filed Critical Ushio Denki KK
Priority to JP6300536A priority Critical patent/JPH08174567A/ja
Priority to EP95116821A priority patent/EP0709620B1/en
Priority to DE69512601T priority patent/DE69512601T2/de
Priority to US08/548,252 priority patent/US5712487A/en
Publication of JPH08174567A publication Critical patent/JPH08174567A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26DRYING
    • F26BDRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B3/00Drying solid materials or objects by processes involving the application of heat
    • F26B3/28Drying solid materials or objects by processes involving the application of heat by radiation, e.g. from the sun
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21LIGHTING
    • F21VFUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F21V29/00Protecting lighting devices from thermal damage; Cooling or heating arrangements specially adapted for lighting devices or systems
    • F21V29/50Cooling arrangements
    • F21V29/502Cooling arrangements characterised by the adaptation for cooling of specific components
    • F21V29/505Cooling arrangements characterised by the adaptation for cooling of specific components of reflectors
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21LIGHTING
    • F21VFUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F21V29/00Protecting lighting devices from thermal damage; Cooling or heating arrangements specially adapted for lighting devices or systems
    • F21V29/50Cooling arrangements
    • F21V29/60Cooling arrangements characterised by the use of a forced flow of gas, e.g. air
    • F21V29/67Cooling arrangements characterised by the use of a forced flow of gas, e.g. air characterised by the arrangement of fans
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21LIGHTING
    • F21VFUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F21V29/00Protecting lighting devices from thermal damage; Cooling or heating arrangements specially adapted for lighting devices or systems
    • F21V29/50Cooling arrangements
    • F21V29/70Cooling arrangements characterised by passive heat-dissipating elements, e.g. heat-sinks
    • F21V29/83Cooling arrangements characterised by passive heat-dissipating elements, e.g. heat-sinks the elements having apertures, ducts or channels, e.g. heat radiation holes
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21LIGHTING
    • F21YINDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES F21K, F21L, F21S and F21V, RELATING TO THE FORM OR THE KIND OF THE LIGHT SOURCES OR OF THE COLOUR OF THE LIGHT EMITTED
    • F21Y2103/00Elongate light sources, e.g. fluorescent tubes

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  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Microbiology (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Arrangement Of Elements, Cooling, Sealing, Or The Like Of Lighting Devices (AREA)
  • Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
  • Heating, Cooling, Or Curing Plastics Or The Like In General (AREA)
  • Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ピーク照度の大きな光照射器を構成するこ
と。 【構成】 ミラー2の頂部に設けられた開口を貫通する
冷却ノズル4を設け、その冷却風吸入口をランプ1から
所定距離dに離れた位置に配置する。そして、上記冷却
ノズル4の冷却風吸入口から冷却風を吸入し、ランプ1
を冷却しながらランプ1に高電気入力を与えて高光強度
の光を放射させる。これによって、ミラーの集光力を低
下させることなく、管径の細いランプを効率的に冷却す
ることができ、ワークにピーク強度の大きな光を照射す
ることができる。また、集光用ミラー2と冷却ノズル4
を別体とすることにより、ランプ1の管径に応じて冷却
ノズルを選定することができ、同一のミラーで種々の管
径のランプに対応することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は硬化処理、改質処理等の
ためワークに紫外線を照射するための光照射器に関し、
特に本発明は大きなピーク出力を得ることができる光照
射器に関するものである。
【0002】
【従来の技術】フォトレジスト、光硬化型のインク、樹
脂、塗料への照射、化学物質の合成および処理、また、
液晶の表面処理のための照射等に光照射器が用いられて
いる。図5は上記した光照射器を用いた処理装置の一例
を示す図であり、11は光照射器、12は棒状の光源、
13は集光用ミラー、14は搬送ベルト、Wは紫外線が
照射されるワークである。
【0003】同図において、搬送ベルト14上に載置さ
れたワークWは順次光照射器11の下に搬送される。そ
して、光源12から放射され集光用ミラー13により集
光される紫外線がワークWに照射され、紫外線のエネル
ギーによりワークWの硬化処理等が行われる。図6は図
5に示した光照射器11においてランプ12、ミラー1
3、ワークWの配置を示す図である。
【0004】光照射器は光源12と、断面が楕円形状を
持つ樋状の集光用ミラー13等から構成されており、同
図に示すように、光源12は集光用ミラーの楕円の第1
焦点f1に配置され、また、ワークWは上記楕円の第2
焦点f2に配置される(もしくは第2焦点を通過す
る)。そして、光源12が放射する紫外線はミラー13
で集光され、第2焦点f2に置かれたワーク上に集光す
る。
【0005】図7(b)は上記した光照射器の第2焦点
における照度を示す図であり、同図(a)に示すように
照度計により光照射器の光照射点(第2焦点)近傍の照
度を測定すると、位置Xに応じて照度I(x)は同図
(b)に示すようになる。上記図7(b)において、最
大となる照度をピーク照度と呼び、積算光量が同じであ
ってもこのピーク照度が大きい程、光硬化性の樹脂を硬
化させる場合等においては有利である。
【0006】すなわち、ワークWの光硬化時間は紫外線
のピーク照度に大きく依存し、ピーク照度が大きい程処
理時間を短縮することができるので、光照射器のピーク
照度を大きくすることにより、前記図5において、搬送
ベルトの搬送速度を速くし短時間で多くのワークを紫外
線処理することが可能となり、処理効率を向上すること
ができる。
【0007】そこで、近年、ランプの発光強度が高く、
例えば硬化に対して大きな照射強度を有する光照射器の
使用が期待されている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】光照射器のピーク照度
は次の値により定まる。 (a) 光源の管径 管径を細くすることにより、第2焦点における集光度を
高くすることができ、図8に示すようにピーク照度を大
きくすることができる。 (b) 第2焦点と楕円ミラーの開口端を結ぶ直線がなす角
度θ(図6参照) 上記角度θが大きければ大きい程、より多く集光するこ
とができ、ピーク照度を大きくすることができる。な
お、光照射器の外形は設置する装置の構造から制約を受
けるので、むやみに大きくすることはできず、上記角度
θには(実用上は)上限がある。 (c) 光源への電気入力 光源への入力を大きくすることにより、その出力輝度が
高くなるのでピーク照度を大とすることができる。
【0009】以上のように、楕円ミラーの集光力を保持
しながら(上記角度θを小さくすることなく)、ランプ
の管径を細くするか、ランプへの入力を大きくしその出
力輝度を大きくすれば、ピーク照度を大きくすることが
できる。しかしながら、管径の細い高圧ランプの電気入
力を大きくし、その出力輝度を上昇させるには、その温
度上昇を抑えるため効率的な冷却機構を必要とするが、
上記角度θを小さくすることなく管径の細いランプを効
率的に冷却する機構が実現できなかったことにより、従
来、比較的細い高圧ランプを用いたピーク照度の大きな
光照射器は実用化されておらず、ワークの高速処理に対
する要望に充分答えることができなかった。
【0010】本発明は、上記した従来技術の問題点に鑑
みなされたものであって、本発明の第1の目的は、高入
力高圧ランプを使用したピーク照度の大きな光照射器を
構成し、ワークの処理速度の向上を図ることである。本
発明の第2の目的は、楕円ミラーの集光力を低下させる
ことなく管径の細いランプを効果的に冷却することがで
き、ランプの出力輝度を大きくすることが可能で、大き
なピーク照度を得ることができる光照射器を提供するこ
とである。
【0011】本発明の第3の目的は、ランプの管径にか
かわらず、同一形状の楕円ミラーを使用することがで
き、大きなピーク照度を得ることが可能な光照射器を提
供することである。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の請求項1の発明は、断面が楕円形状の樋状
もしくは楕円筒状のミラーと、上記ミラーが形成する楕
円の第1焦点の位置にその中心が配置された棒状のラン
プと、上記ランプ、ミラーを収納し、光照射のための開
口を有するランプハウスとを備えた光照射器において、
上記ランプを管径の細いランプで構成するとともに、ミ
ラーの頂部に開口を設け、また、上記開口を貫通し、そ
の冷却風吸入口が上記ランプから所定距離dに離れた位
置に配置された冷却ノズルを設け、上記冷却ノズルの冷
却風吸入口から上記ランプを冷却する空気を吸入しなが
ら上記ランプに高電気入力を与えて高光強度の光を放射
させ、上記ミラーが形成する楕円の第2焦点の位置に配
置されたワークにピーク強度の大きな光を照射するよう
に構成したものである。
【0013】本発明の請求項2の発明は、請求項1の発
明において、ランプを、管径(外径)φ18mm以下の
高圧ランプとし、該高圧ランプに単位長さ当たり250
W/cm以上の電気入力を与えるようにしたものであ
る。本発明の請求項3の発明は、請求項1または請求項
2の発明において、冷却ノズルの最小幅Dと、該ノズル
の冷却風吸入口とランプとの距離dをD≧2dとしたも
のである。
【0014】本発明の請求項4の発明は、請求項1,2
または請求項3の発明において、ミラーと冷却ノズルを
別体とし、冷却ノズル幅および冷却風吸入口の位置をラ
ンプの管径に応じて調整可能に構成したものである。
【0015】
【作用】近年、管径が細く高電気入力を与えることが可
能な高圧ランプが開発され実用化されつつある。光源と
して高圧ランプを用いる場合、通常、ランプを冷却する
ために図9に示すように楕円形状のミラーの頂部に冷却
風用の開口を設け空気を吸引する。特に、上記した管径
の細い高圧ランプに高電気入力を与え高出力輝度を得る
ためには、上記冷却機構が効率的に機能しなければなら
ない。
【0016】その際のランプ冷却量はランプの近傍を通
過する冷却風の風速に依存し、風速は図9における冷却
風が通過する領域の間隙dにより定まる。したがって、
ミラーの大きさを変えずに(すなわち、ミラーが形成す
る楕円の第1焦点の位置を変えずに)、ピーク照度を上
げるためランプ径を細くすると、冷却風吸入口とランプ
との間隙dが大きくなりランプの冷却効率が低下する。
【0017】このため、単にランプの管径を細くしただ
けでは、ランプの電気入力を大きくすることができず、
大きなピーク照度を得ることができない。なお、冷却風
を吸引するブロアの容量は上記幅dと冷却ノズルの幅D
に依存し、幅dに対して冷却ノズルの幅Dが狭すぎる
と、ブロア容量が大きくなる。このため上記幅dの値を
適切な値に選定するとともに、上記dとDの関係を適切
なものとする必要がある。
【0018】一方、ランプの中心位置はミラーの楕円の
第1焦点位置になければならないから、ミラーの深さを
変えずに(従って光照射器の高さを変えずに)、また、
ミラーとワークとの距離を変えずに、上記間隙dを一定
に保ちながらランプの管径を細くすると、図10に示す
ように楕円の形状は縦長になり、第2焦点f2と楕円ミ
ラーの開口端を結ぶ直線がなす角度θは小さくなる。す
なわち、図10に示すように、(ランプの径が大きいと
きの角度θL )>(ランプの径が小さいときの角度θS
)となる。
【0019】このことから、ランプの管径を細くしそれ
に合わせてミラーの形状を変えると、上記角度θも小さ
くなり、集光力が低下するので、大きなピーク照度を得
ることができないことがわかる。すなわち、ランプ管径
を細くしピーク照度を大きくするには、冷却効率を低下
させずに(冷却風吸入口とランプとの間隙dを一定に保
ちつつ)、ミラーの集光力を保持する(楕円の形状を変
えずに角度θを一定に保つ)という矛盾した要求を満足
させなければならない。
【0020】そこで、本発明においては、ミラーの頂部
に設けられた開口を貫通する冷却ノズルを設け、その冷
却風吸入口からランプまでの距離をランプの管径にかか
わらず所定距離に保つことができるようにすることによ
り、上記矛盾を解決したものである。すなわち、上記冷
却ノズルを設け、冷却ノズルの冷却風吸入口をランプ側
に突出可能とすれば、ランプの管径にかかわらずランプ
と冷却ノズルの冷却風吸入口との距離を一定に保つこと
ができるので、ランプの管径が細くなっても、ミラーの
形状を変えることなく、冷却効率を最適な値に維持する
ことができる。
【0021】その結果、電気入力の大きな管径の細いラ
ンプを使用することが可能となり、ピーク照射強度の大
きな光照射器を実現することができる。ここで、前記し
たように、冷却ノズルの幅Dとランプと冷却ノズルの冷
却風吸入口との間隙dを所定の関係に保たなければ、冷
却風を吸引するブロアの容量が増大する。
【0022】そこで、本発明においては、上記幅Dと間
隙dの関係をD≧2dに設定する。すなわち、冷却風
は、ランプの両側の冷却ノズルと冷却風吸入口の間隙d
を通って冷却ノズルに流入するので、冷却ノズルの幅D
は少なくとも上記間隙dの2倍でなければならず、この
ような関係とすることにより、冷却風の流路の抵抗を減
少させ、冷却風を吸入するブロアの容量を小さくするこ
とができる。
【0023】さらに、上記幅Dとノズルの長さを種々な
値に選定した複数の冷却ノズル、あるいは、上記幅Dと
長さを調整可能とした冷却ノズルを用意し、ランプの管
径に合わせて冷却ノズルを選定したり、幅Dと長さを調
整することにより、同一のミラーで種々の管径のランプ
に対応することが可能となる。なお、上記幅Dがランプ
の管径より大きいと冷却効率が低下するので、幅Dは少
なくともランプ管径より小さくなければならない。
【0024】本発明は上記した原理に基づき、ピーク照
度の大きな光照射器を実現したものであり、本発明の請
求項1の発明においては、ミラーの頂部に開口を設け、
上記開口を貫通し、その冷却風吸入口が上記ランプから
所定距離dに離れた位置に配置された冷却ノズルを設
け、上記冷却ノズルの冷却風吸入口から上記ランプを冷
却する空気を吸入しながらランプに高電気入力を与えて
高光強度の光を放射させるようにしたので、ピーク強度
の大きな光を照射することが可能となり、ワークの処理
速度を向上させることができる。
【0025】また、ミラーの大きさは従来のものと同一
のものを用いることができるので、装置の外形寸法が大
きくなることもない。さらに、ミラーの形状とは独立し
てランプ管径を選定することができるので、装置の設計
上の自由度を大きくすることができる。本発明の請求項
2の発明においては、請求項1の発明において、ランプ
を、管径(外径)φ18mm以下の高圧ランプとし、該
高圧ランプに単位長さ当たり250W/cm以上の電気
入力を与えるようにしたので、ワークを迅速に処理する
に必要な充分なピーク照度を得ることができる。
【0026】本発明の請求項3の発明においては、請求
項1または請求項2の発明において、冷却ノズルの最小
幅Dと、該ノズルの冷却風吸入口とランプとの距離dを
D≧2dとしたので、冷却風の流路の抵抗を小さくする
ことができ、容量の大きなブロアを使用することなく、
効率的にランプを冷却することができる。本発明の請求
項4の発明においては、請求項1,2または請求項3の
発明において、ミラーと冷却ノズルを別体とし、冷却ノ
ズル幅および冷却風吸入口の位置をランプの管径に応じ
て調整可能に構成したので、ランプの管径の変化に容易
に対応することができる。特に、ランプの管径が変わっ
ても同一のミラーを用いることができるので、ユーザの
要求に容易に対応することができ、また、光照射器のコ
ストダウンを図ることが可能となる。
【0027】
【実施例】図1は本発明の第1の実施例の光照射器の構
成を示す図であり、同図(a)は本実施例の光照射器の
斜視図、(b)は同図(a)をA方向から見た図を示し
ている。なお、同図(a)においてはミラーを覆うラン
プハウス3は省略されている。
【0028】同図において、1は棒状有電極高圧ランプ
等から構成されるランプ、2は集光用ミラー、3はラン
プハウスであり、ランプ1は集光用ミラーが形成する楕
円の第1焦点の位置に配置されており、ランプ1が放射
する紫外線は、前記したように上記楕円の第2焦点の位
置に設置された(もしくはその位置を通過する)ワーク
上に集光される。
【0029】なお、ピーク照度を大きくするためには、
ランプ1の管径が細い方がよいが、必要とされるピーク
照度、冷却風を吸引するブロアの容量、実用化可能な有
電極高圧ランプの管径、有電極高圧ランプに入力できる
電気入力の大きさの上限値等を考慮すると、ランプの管
径はφ18mm〜φ12mm程度が望ましい。また、4
は冷却風を吸引する冷却用ノズル、5はダクトであり、
冷却ノズル4は同図に示すようにランプ1側に突出して
いる。
【0030】ランプ1と上記冷却ノズル4の冷却風吸入
口4aの間隙はdに設定され、また、冷却ノズルの幅D
はD≧2dに設定されている。そして、冷却風は上記間
隙d→冷却ノズル4→ダクト5を介して図示しないブロ
アにより吸引される。図2は冷却ノズルの開口幅Dを一
定にして、冷却ノズルの冷却風吸入口とランプとの距離
dを2.8〜6.4まで変化させたときの、ランプの表
面温度の変化を示したグラフである。
【0031】同図において、Tu,Ts,Tlは図3に
示すようにランプの上部、側部、下部の温度(冷却風は
ランプの上側へ吸入される)、同図の横軸は冷却風吸入
口とランプとの間隙幅d、縦軸は°Cを示し、下記の条
件で、間隙幅dを2.8から6.4mmまで変えて測定
したものである。 ・ランプ管径…φ18mm ・ランプ入力…7kW(280W/cm:ランプ1cm
当たりの電気入力) ・ブロワ…750W ・ダクト…φ175mm 同図から明らかなように、d=3.5mmでDが2dよ
り若干大のとき最も効率が良く冷却され、ランプの最大
温度を720°C程度に抑えることができ、また、ラン
プ表面の温度差が最も小さいことがわかる。
【0032】ここで、上記のようにd=3.5mmに設
定した場合、冷却ノズルをランプ側に突出させないと、
前記図10で説明したように、ミラーが形成する楕円の
形状は縦長となり、必要なピーク照度を得るためのミラ
ーの開口部の角度θを確保することができない。φ26
mm、φ18mm、φ14mmで同一電気入力を投入し
た場合、同一ミラー形状(すなわち角度θが同じ)のと
き、φ18mmのときはφ26mmのときの約1.3倍
のピーク照度が得られた。また、φ14mmのときはφ
26mmのときの約1.8倍のピーク照度が得られた。
なお、φ10mm未満とすると、本発明の冷却手段を採
用して250W/cm以上の入力を行うと、ランプ管壁
温度が950°Cを越え実用に供することができなかっ
た。
【0033】以上の実験結果から、冷却ノズル4をミラ
ーから突出させ、ランプ1と冷却ノズル4の冷却風吸入
口との間隙を適切な値に設定できるようにすることによ
り、管径の細いランプに高電気入力を与えて高輝度で発
光させても、ランプを実用に耐える程度に冷却すること
が可能であり、ピーク照度の大きな光照射器を実現する
ことができることが確認できた。
【0034】以上のように、本実施例においては、冷却
ノズルをミラーから突出させ、ランプと冷却ノズルの冷
却風吸入口との間隙を適切な値に設定しているので、ミ
ラーの集光力を低下させることなく、細い管径のランプ
を効率的に冷却することができる。このため、細径の有
電極水銀ランプに高電気入力を与えて高輝度で発光させ
ることができ、高いピーク照度を得ることができる。
【0035】図4は本発明の第2の実施例を示す図であ
り、本実施例はランプの管径に応じて、冷却ノズルを交
換できるようにした実施例を示しており、図1に示した
ものと同一のものには同一の符号が付されている。同図
において、集光用ミラー2と冷却ノズル4は別体で構成
されており、冷却ノズルとしては、例えば、大径用の冷
却ノズル41と、細径用ランプ用冷却ノズル42が用意
されている。
【0036】また、集光用ミラー2の頂部には穴が設け
られ、ランプの管径に応じた冷却ノズル41もしくは4
2を取り付けられるように構成されている。そして、大
径のランプ1を用いる場合には、同図の実線に示すよう
に大径ランプ用冷却ノズル41を取り付け、また、細径
のランプ1’を用いる場合には、同図の点線で示すよう
に細径ランプ用冷却ノズル42を取り付け、ランプと冷
却用ノズルの冷却風吸入口の間隙を一定に保つ。
【0037】以上のような構成とすることにより、ラン
プ径が変わっても、ミラーを変えることなく冷却ノズル
を取り替えるだけで対応することができ、ユーザの種々
の要求に容易に対応することができる。また、一種類の
ミラーを用意しておけばよいので、光照射器のコストダ
ウンを図ることができる。
【0038】上記実施例においては、ランプの管径に応
じて冷却ノズルを交換する例を示したが、長さおよび幅
を調整できるように構成した冷却ノズルを用いることも
できる。なお、上記第1、第2の実施例においては、断
面が楕円形状の樋状のミラーを用いる例を示したが、ミ
ラーを楕円筒状とし、楕円筒内部の第2焦点位置にワー
クを配置し、ワークを楕円筒の長手方向に移動させても
よい。
【0039】
【発明の効果】以上説明したように、本発明において
は、次の効果を得ることができる。 (1) ミラーの開口を貫通し、その冷却風吸入口がランプ
から所定距離dに離れた位置に配置された冷却ノズルを
設け、上記冷却ノズルの冷却風吸入口から上記ランプを
冷却する空気を吸入しながらランプに高電気入力を与え
て高光強度の光を放射させるようにしたので、管径の細
いランプを効率的に冷却しながらワークにピーク強度の
大きな光を照射することが可能となり、ワークの処理速
度の向上を図ることができる。
【0040】また、ミラーの大きさは従来のものと同一
のものを用いることができるので、装置の外形寸法が大
きくなることもない。さらに、ミラーの形状とは独立し
てランプ管径を選定することができるので、装置の設計
上の自由度を大きくすることができる。 (2) 冷却ノズルの最小幅Dと、該ノズルの冷却風吸入口
とランプとの距離dをD≧2dとすることにより、冷却
風の流路の抵抗を小さくすることができ、容量の大きな
ブロアを使用することなく、効率的にランプを冷却する
ことができる。 (3) ミラーと冷却ノズルを別体とし、冷却ノズル幅およ
び冷却風吸入口の位置をランプの管径に応じて調整可能
に構成することにより、ランプの管径の変化に容易に対
応することができる。特に、ランプの管径が変わっても
同一のミラーを用いることができるので、ユーザの種々
の要求に容易に対応することができ、また、光照射器の
コストダウンを図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を示す図である。
【図2】距離dを変化させたときのランプの表面温度の
変化を示す図である。
【図3】図2における温度測定位置等の測定条件を示す
図である。
【図4】本発明の第2の実施例を示す図である。
【図5】光照射器を用いた処理装置の一例を示す図であ
る。
【図6】光照射器におけるランプ、ミラー、ワークの配
置を示す図である。
【図7】光照射器のピーク照度を説明する図である。
【図8】光照射器のピーク照度を説明する図である。
【図9】ランプの冷却方法を示す図である。
【図10】ランプの径を変えたときのミラーの形状変化
を説明する図である。
【符号の説明】
1,1’,12, ランプ 2,13 集光用ミラー 3 ランプハウス 4,41,42 冷却用ノズル 5 ダクト W ワーク

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 断面が楕円形状の樋状もしくは楕円筒状
    のミラーと、 上記ミラーが形成する楕円の第1焦点の位置にその中心
    が配置された棒状のランプと、 上記ランプ、ミラーを収納し、光照射のための開口を有
    するランプハウスとを備えた光照射器において、 上記ランプを管径の細いランプで構成するとともに、ミ
    ラーの頂部に開口を設け、 また、上記開口を貫通し、その冷却風吸入口が上記ラン
    プから所定距離に離れた位置に配置された冷却ノズルを
    設け、 上記冷却ノズルの冷却風吸入口から上記ランプを冷却す
    る空気を吸入しながら上記ランプに高電気入力を与えて
    高光強度の光を放射させ、上記ミラーが形成する楕円の
    第2焦点位置に配置されたワークにピーク強度の大きな
    光を照射することを特徴とする光照射器。
  2. 【請求項2】 ランプを管径(外径)φ18mm以下の
    高圧ランプとし、該高圧ランプに単位長さ当たり250
    W/cm以上の電気入力を与えることを特徴とする請求
    項1の光照射器。
  3. 【請求項3】 冷却ノズルの最小幅Dと、該ノズルの冷
    却風吸入口とランプとの距離dをD≧2dとしたことを
    特徴とする請求項1または請求項2の光照射器。
  4. 【請求項4】 ミラーと冷却ノズルを別体とし、冷却ノ
    ズルの幅および冷却風吸入口の位置をランプの管径に応
    じて調整可能に構成したことを特徴とする請求項1,2
    または請求項3の光照射器。
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