JPH0815709B2 - 真空ピンセット装置 - Google Patents
真空ピンセット装置Info
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- JPH0815709B2 JPH0815709B2 JP3317306A JP31730691A JPH0815709B2 JP H0815709 B2 JPH0815709 B2 JP H0815709B2 JP 3317306 A JP3317306 A JP 3317306A JP 31730691 A JP31730691 A JP 31730691A JP H0815709 B2 JPH0815709 B2 JP H0815709B2
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Landscapes
- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、エアの吸引力を利用し
た吸着具で半導体チップなどの被吸着物を保持または離
脱させる真空ピンセット装置に関する。
た吸着具で半導体チップなどの被吸着物を保持または離
脱させる真空ピンセット装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から知られる真空ピンセットは、例
えば特願平３−５０６７２号公報に記載されるように吸
引用空気源から延びるチューブにピンセット本体が接続
され、このピンセット本体の先端部に装着された吸着具
で半導体ウェーハなどの被吸着物を吸着保持できるよう
になっている。また、被吸着物を吸着具から離脱させる
際には、ピンセット本体の遮断弁を操作して吸引用空気
源を遮断すると、被吸着物は自重で吸着ノズルから落下
する。この被吸着物は、微小な植物の種子であったり、
数十ミクロンオーダーの薄い板状の半導体チップであっ
たり、直径が０．４ミリ以下のベアリングのような微小
な球状体などがあるので、被吸着物の種類によって吸着
具を交換したり吸着力を調整したりしている。
えば特願平３−５０６７２号公報に記載されるように吸
引用空気源から延びるチューブにピンセット本体が接続
され、このピンセット本体の先端部に装着された吸着具
で半導体ウェーハなどの被吸着物を吸着保持できるよう
になっている。また、被吸着物を吸着具から離脱させる
際には、ピンセット本体の遮断弁を操作して吸引用空気
源を遮断すると、被吸着物は自重で吸着ノズルから落下
する。この被吸着物は、微小な植物の種子であったり、
数十ミクロンオーダーの薄い板状の半導体チップであっ
たり、直径が０．４ミリ以下のベアリングのような微小
な球状体などがあるので、被吸着物の種類によって吸着
具を交換したり吸着力を調整したりしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】然しながら、外気の流
入によって静電気が発生したり空気中の水分の付着で粘
着性が増すことによって、被吸着物が真空ピンセットの
吸着具に吸い付いてしまい、遮断弁を操作して吸引用空
気源を遮断しても被吸着物が自重で落下しなくなった
り、離脱が遅くなって作業能率を低下させるなどの不具
合が生じる。
入によって静電気が発生したり空気中の水分の付着で粘
着性が増すことによって、被吸着物が真空ピンセットの
吸着具に吸い付いてしまい、遮断弁を操作して吸引用空
気源を遮断しても被吸着物が自重で落下しなくなった
り、離脱が遅くなって作業能率を低下させるなどの不具
合が生じる。
【０００４】その対策として、真空ピンセットの吸着具
を金属製にしたりに導電性のゴムパットを用いたものが
提案されている。しかし、前者の場合には被吸着物に対
して傷を与えやすいと共に、錆の発生により精密作業に
適さなくなるという耐腐食性の問題もあった。また後者
の場合には、被吸着物に痕跡を残して不純物を混入させ
てしまったり、耐腐食性の観点から好ましくなかった。
を金属製にしたりに導電性のゴムパットを用いたものが
提案されている。しかし、前者の場合には被吸着物に対
して傷を与えやすいと共に、錆の発生により精密作業に
適さなくなるという耐腐食性の問題もあった。また後者
の場合には、被吸着物に痕跡を残して不純物を混入させ
てしまったり、耐腐食性の観点から好ましくなかった。
【０００５】そこで本発明では、このような従来の技術
が有する課題を解決するために提案されたものであり、
被吸着物を容易に且つ高速で吸着具から離脱させること
ができると共に、操作性の良い真空ピンセット装置の提
供を目的とする。
が有する課題を解決するために提案されたものであり、
被吸着物を容易に且つ高速で吸着具から離脱させること
ができると共に、操作性の良い真空ピンセット装置の提
供を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明による真空ピンセット装置は、ピンセット本体
の先端に装着された吸着具で被吸着物を吸着保持または
離脱させる真空ピンセット装置において、被吸着物を離
脱させる際に上記吸着具からエアを吐出させる構成とな
っている。
に本発明による真空ピンセット装置は、ピンセット本体
の先端に装着された吸着具で被吸着物を吸着保持または
離脱させる真空ピンセット装置において、被吸着物を離
脱させる際に上記吸着具からエアを吐出させる構成とな
っている。
【０００７】また本発明による真空ピンセット装置は、
吸着保持と離脱の切換え操作ボタンを備えたピンセット
本体の内部には、外部の吸引用空気源に接続される吸着
保持用の吸引流路と外部の吐出用空気源に接続される離
脱用の吐出流路とを形成すると共に、上記切換え操作ボ
タンに連動して当該吸引流路と吐出流路とを切換える切
換え弁を設け、この切換え弁による選択流路が導管を介
して上記吸着具に連通される構成となっている。
吸着保持と離脱の切換え操作ボタンを備えたピンセット
本体の内部には、外部の吸引用空気源に接続される吸着
保持用の吸引流路と外部の吐出用空気源に接続される離
脱用の吐出流路とを形成すると共に、上記切換え操作ボ
タンに連動して当該吸引流路と吐出流路とを切換える切
換え弁を設け、この切換え弁による選択流路が導管を介
して上記吸着具に連通される構成となっている。
【０００８】また本発明による真空ピンセット装置は、
上記の各空気源から上記ピンセット本体への配管が、上
記吸引流路と吐出流路にそれぞれ連通するように同心状
に形成された二重チューブを介して接続される構成とな
っている。
上記の各空気源から上記ピンセット本体への配管が、上
記吸引流路と吐出流路にそれぞれ連通するように同心状
に形成された二重チューブを介して接続される構成とな
っている。
【０００９】また本発明による真空ピンセット装置は、
上記吐出流路と外気とを連通する吐出圧調整用の孔をピ
ンセット本体に形成し、この吐出圧調整用の孔の開口度
を開閉手段によって調整できる構成となっている。
上記吐出流路と外気とを連通する吐出圧調整用の孔をピ
ンセット本体に形成し、この吐出圧調整用の孔の開口度
を開閉手段によって調整できる構成となっている。
【００１０】また本発明による真空ピンセット装置は、
上記各空気源から上記ピンセット本体への配管の途中に
切換え分配器が設けられ、この切換え分配器は吸引用空
気源に接続される吸引用出口ポートと、上記吐出用空気
源に接続される吐出用入口ポートと、吸引用入口と吐出
用出口とがそれぞれ同心状に形成された複数の排出・供
給ポートと、上記吸引用出口ポートを上記排出・供給ポ
ートの吸引用入口へそれぞれ連通させる吸引用分配路
と、上記吐出用入口ポートを上記排出・供給ポートの吐
出用出口へそれぞれ連通させる吐出用分配路と、上記の
各排出・供給ポートにそれぞれ連通する少なくとも１系
統の吸引用分配路と吐出用分配路を同時に開閉する開閉
弁とで構成され、上記の各排出・供給ポートと複数の各
ピンセット本体間を上記二重チューブでそれぞれ接続す
る構成となっている。
上記各空気源から上記ピンセット本体への配管の途中に
切換え分配器が設けられ、この切換え分配器は吸引用空
気源に接続される吸引用出口ポートと、上記吐出用空気
源に接続される吐出用入口ポートと、吸引用入口と吐出
用出口とがそれぞれ同心状に形成された複数の排出・供
給ポートと、上記吸引用出口ポートを上記排出・供給ポ
ートの吸引用入口へそれぞれ連通させる吸引用分配路
と、上記吐出用入口ポートを上記排出・供給ポートの吐
出用出口へそれぞれ連通させる吐出用分配路と、上記の
各排出・供給ポートにそれぞれ連通する少なくとも１系
統の吸引用分配路と吐出用分配路を同時に開閉する開閉
弁とで構成され、上記の各排出・供給ポートと複数の各
ピンセット本体間を上記二重チューブでそれぞれ接続す
る構成となっている。
【００１１】
【実施例】以下、本発明による真空ピンセット装置の具
体的な実施例を図面に基づき詳細に説明する。図１は真
空ピンセットの外観斜視図を示し、図２は側面図を図３
は縦断面図をそれぞれ示す。ピンセット本体１は、切換
え弁２が設けられる弁取付け部３と、この弁取付け部３
の後部に螺着される柄部分４と、この柄部分４の後部に
螺着される吐出圧調整用コネクタ５と、このコネクタ５
の後部に圧入される吸引・吐出用同軸コネクタ６とから
なる。この吸引・吐出用同軸コネクタ６には、吸引用空
気源７および吐出用空気源８から切換え分配器９を介し
てそれぞれ延びる同軸構造の二重チューブ１０が接続さ
れる。また、弁取付け部３の先端部には導管１１が取り
付けられて、更にその先端部には被吸着物に適合する各
種の吸着具が交換可能に取り付けられる。
体的な実施例を図面に基づき詳細に説明する。図１は真
空ピンセットの外観斜視図を示し、図２は側面図を図３
は縦断面図をそれぞれ示す。ピンセット本体１は、切換
え弁２が設けられる弁取付け部３と、この弁取付け部３
の後部に螺着される柄部分４と、この柄部分４の後部に
螺着される吐出圧調整用コネクタ５と、このコネクタ５
の後部に圧入される吸引・吐出用同軸コネクタ６とから
なる。この吸引・吐出用同軸コネクタ６には、吸引用空
気源７および吐出用空気源８から切換え分配器９を介し
てそれぞれ延びる同軸構造の二重チューブ１０が接続さ
れる。また、弁取付け部３の先端部には導管１１が取り
付けられて、更にその先端部には被吸着物に適合する各
種の吸着具が交換可能に取り付けられる。
【００１２】柄部分４および吐出圧調整用コネクタ５内
には、図４および図５に示すように先端に円環状のスペ
ーサ１２が固着された吸引管１３が圧入されている。こ
の吸引管１３は、吸引流路Ｐ１に相当する吸引用のエア
が通る内管を構成し、吸引管１３の外周側である柄部分
４および吐出圧調整用コネクタ５部分は、吐出流路Ｐ２
に相当する吐出用のエアが流れる外管を構成する。円環
状のスペーサ１２の外周部には、図６に示すように吐出
用のエア通路となる溝１２ａが軸方向に切り欠かれてい
る。図７には、吐出圧調整用コネクタ５の後部側におい
て吸引管１３を保持する軸方向に形成された保持璧１４
と、吐出用の通路を形成する溝１５が示されている。こ
の吐出圧調整用コネクタ５には、吐出用通路と外気とを
連通させるスリット１６が軸方向に穿設されており、こ
のコネクタ５の外周部には吐出圧調整用カラー１７が螺
着される。このカラー１７を前後に螺進させてスリット
１６の開口度を調整することにより、吐出圧を調整でき
る。
には、図４および図５に示すように先端に円環状のスペ
ーサ１２が固着された吸引管１３が圧入されている。こ
の吸引管１３は、吸引流路Ｐ１に相当する吸引用のエア
が通る内管を構成し、吸引管１３の外周側である柄部分
４および吐出圧調整用コネクタ５部分は、吐出流路Ｐ２
に相当する吐出用のエアが流れる外管を構成する。円環
状のスペーサ１２の外周部には、図６に示すように吐出
用のエア通路となる溝１２ａが軸方向に切り欠かれてい
る。図７には、吐出圧調整用コネクタ５の後部側におい
て吸引管１３を保持する軸方向に形成された保持璧１４
と、吐出用の通路を形成する溝１５が示されている。こ
の吐出圧調整用コネクタ５には、吐出用通路と外気とを
連通させるスリット１６が軸方向に穿設されており、こ
のコネクタ５の外周部には吐出圧調整用カラー１７が螺
着される。このカラー１７を前後に螺進させてスリット
１６の開口度を調整することにより、吐出圧を調整でき
る。
【００１３】吸引・吐出用同軸コネクタ６は、吐出圧調
整用コネクタ５の後部外周の嵌入部５ａに圧入される。
この同軸コネクタ６の後部には吸引用接続管６ａが突出
しており、調整用コネクタ５の後部から延びる吸引管１
３が同軸コネクタ５内部でこの接続管６ａの内周璧に気
密に圧入される。また同軸コネクタ６の後部には、吐出
用接続部６ｂが接続管６ａの先端より後退した位置に突
出しており、図８に示すようにこの接続部６ｂには本体
１内の吐出用通路に繋がる連通孔１８が軸方向に複数本
穿設されている。吸引用接続管６ａには吸引用空気源７
から延びる二重チューブ１０の内側チューブ１０ａが接
続され、吐出用接続部６ｂには吐出用空気源８からの外
側チューブ１０ｂが接続される。
整用コネクタ５の後部外周の嵌入部５ａに圧入される。
この同軸コネクタ６の後部には吸引用接続管６ａが突出
しており、調整用コネクタ５の後部から延びる吸引管１
３が同軸コネクタ５内部でこの接続管６ａの内周璧に気
密に圧入される。また同軸コネクタ６の後部には、吐出
用接続部６ｂが接続管６ａの先端より後退した位置に突
出しており、図８に示すようにこの接続部６ｂには本体
１内の吐出用通路に繋がる連通孔１８が軸方向に複数本
穿設されている。吸引用接続管６ａには吸引用空気源７
から延びる二重チューブ１０の内側チューブ１０ａが接
続され、吐出用接続部６ｂには吐出用空気源８からの外
側チューブ１０ｂが接続される。
【００１４】弁取付け部３には、吸引用通路をなす吸引
孔１９が弁室２０を横切るように軸心部に穿設され、こ
の吸引孔１９の後部に吸引管１３の先端部が圧入され
る。この吸引孔１９の上方には、弁室２０を横切るよう
に吐出用通路をなす小孔２１が穿設されている。弁室２
０内には、弁棒２２に取り付けられた弁体２３が戻しば
ね２４によって上方に付勢された状態で収容されてい
る。弁室２０上部を塞ぐブッシュ２５から突出する弁棒
２２の先端部には、切換え操作ボタン２６が取り付けら
れている。この弁構造では、切換え弁２が操作されない
状態では、弁室２０を挟む前後の吸引孔１９間が弁体２
３の外周溝部２３ａによって連通された状態で吸引孔１
９と導管１１とが連通され、このとき吐出用の小孔２１
は弁体２３によって閉ざされている。また、切換え操作
ボタン２６が戻しばね２４に抗して押されて弁体２３が
押し下げられたときは、図９に示すように弁体２３によ
って吸引孔１９が塞がれるとともに、弁室２０を挟む前
後の吐出用の小孔２１が連通されて、この小孔２１と導
管１１とが連通される。このように切換え操作ボタン２
６を操作することによって吸引側と吐出側に弁２を切り
換えることができる。
孔１９が弁室２０を横切るように軸心部に穿設され、こ
の吸引孔１９の後部に吸引管１３の先端部が圧入され
る。この吸引孔１９の上方には、弁室２０を横切るよう
に吐出用通路をなす小孔２１が穿設されている。弁室２
０内には、弁棒２２に取り付けられた弁体２３が戻しば
ね２４によって上方に付勢された状態で収容されてい
る。弁室２０上部を塞ぐブッシュ２５から突出する弁棒
２２の先端部には、切換え操作ボタン２６が取り付けら
れている。この弁構造では、切換え弁２が操作されない
状態では、弁室２０を挟む前後の吸引孔１９間が弁体２
３の外周溝部２３ａによって連通された状態で吸引孔１
９と導管１１とが連通され、このとき吐出用の小孔２１
は弁体２３によって閉ざされている。また、切換え操作
ボタン２６が戻しばね２４に抗して押されて弁体２３が
押し下げられたときは、図９に示すように弁体２３によ
って吸引孔１９が塞がれるとともに、弁室２０を挟む前
後の吐出用の小孔２１が連通されて、この小孔２１と導
管１１とが連通される。このように切換え操作ボタン２
６を操作することによって吸引側と吐出側に弁２を切り
換えることができる。
【００１５】この弁取付け部３の先端部には、自在球２
７を介して導管１１が押さえキャップ２８により取り付
けられている。この押さえキャップ２８を緩めることに
より導管１１の向きを自在に変えることができる。この
導管１１の先端部には吸着具が装着されるが、例えば被
吸着物が微小な球状の場合には吸着ノズル２９が螺着さ
れ、このノズル２９の先端に開口する吸着口部２９ａで
微小球など被吸着物Ｗ１が吸着保持される。小さな半導
体チップなど板状の被吸着物Ｗ２を吸着保持する場合に
は、導管１１の先端部に図１０に示すような吸着パット
３０が取り付けられる。
７を介して導管１１が押さえキャップ２８により取り付
けられている。この押さえキャップ２８を緩めることに
より導管１１の向きを自在に変えることができる。この
導管１１の先端部には吸着具が装着されるが、例えば被
吸着物が微小な球状の場合には吸着ノズル２９が螺着さ
れ、このノズル２９の先端に開口する吸着口部２９ａで
微小球など被吸着物Ｗ１が吸着保持される。小さな半導
体チップなど板状の被吸着物Ｗ２を吸着保持する場合に
は、導管１１の先端部に図１０に示すような吸着パット
３０が取り付けられる。
【００１６】このように構成される真空ピンセット装置
では、吸引用空気源７からの吸引力を利用してピンセッ
ト本体１の先端部に導管１１を介して装着された吸着用
ノズル２９または吸着用パット３０などによって微小物
を吸着保持して搬送することができ、搬送後は切換え操
作ボタン２６を押し込んで切換え弁２を切り換えること
で、吐出用空気源８からのエアがノズル２９またはパッ
ト３０から吐出され、微小物の被吸着物Ｗ１，Ｗ２はエ
ア圧により吸着口部２９ａ，３０ａから押し出されて落
下する。この吐出圧は、吐出圧調整用コネクタ５で調整
されて被吸着物Ｗ１，Ｗ２に応じて最適な圧に調整でき
るので、被吸着物Ｗ１，Ｗ２が微小物であっても吐出圧
によって吹き飛ばされるような不具合は発生しない。
では、吸引用空気源７からの吸引力を利用してピンセッ
ト本体１の先端部に導管１１を介して装着された吸着用
ノズル２９または吸着用パット３０などによって微小物
を吸着保持して搬送することができ、搬送後は切換え操
作ボタン２６を押し込んで切換え弁２を切り換えること
で、吐出用空気源８からのエアがノズル２９またはパッ
ト３０から吐出され、微小物の被吸着物Ｗ１，Ｗ２はエ
ア圧により吸着口部２９ａ，３０ａから押し出されて落
下する。この吐出圧は、吐出圧調整用コネクタ５で調整
されて被吸着物Ｗ１，Ｗ２に応じて最適な圧に調整でき
るので、被吸着物Ｗ１，Ｗ２が微小物であっても吐出圧
によって吹き飛ばされるような不具合は発生しない。
【００１７】つぎに、このような真空ピンセットを能率
良く使用するのに好適な切換え分配器９を図１１乃至図
１３に基づいて説明する。この切換え分配器９は、分配
器本体３１の一方側に吸引用空気源７と接続される吸引
用出口ポート３２と吐出用空気源８と接続される吐出用
入口ポート３３がそれぞれ突設されている。また分配器
本体３１の他方側には、上記した構成による複数（実施
例では３本）の真空ピンセットが使用できるように、上
記した二重チューブ１０が接続される排出・供給ポート
が突設されている。この排出・供給ポートは、二重チュ
ーブ１０の内側チューブ１０ａが接続される吸引用入力
ポート３５と、外側チューブ１０ｂが接続される吐出用
出口ポート３７とが同心状に配設されている。更に、分
配器本体３１の内部には上記吸引用出口ポート３２から
３分岐させて各排出・供給ポートの吸引用入力ポート３
５へそれぞれ連通させる吸引用分配路３４と、上記吐出
用入口ポート３３から３分岐させて各排出・供給ポート
の吐出用出口ポート３７へそれぞれ連通させる吐出用分
配路３６とが設けられている。そして上記吸引用分配路
３４および吐出用分配路３６の途中には、これらの各分
配路に直交して遮断する態様で開閉弁３９が設けられて
おり、当該開閉弁３９には吸引用分配路３４を連通させ
る弁孔３９ａと吐出用分配路３６を連通させる弁孔３９
ｂが穿設され、上部に設けられた操作つまみ３８を回動
させることによって各系統毎に吸引用と吐出用の流路が
同時に開閉される。なお、この実施例では３系統のうち
の１系統は常時真空ピンセットが接続されて使用できる
ように開閉弁３９を設けないで流路を直結させ、残りの
２系列には開閉弁３９を設けて使用の有無に応じて流路
を開閉させるようにしたが、３系統の全てに開閉弁を設
けたり１系統のみに開閉弁を設ける態様もある。
良く使用するのに好適な切換え分配器９を図１１乃至図
１３に基づいて説明する。この切換え分配器９は、分配
器本体３１の一方側に吸引用空気源７と接続される吸引
用出口ポート３２と吐出用空気源８と接続される吐出用
入口ポート３３がそれぞれ突設されている。また分配器
本体３１の他方側には、上記した構成による複数（実施
例では３本）の真空ピンセットが使用できるように、上
記した二重チューブ１０が接続される排出・供給ポート
が突設されている。この排出・供給ポートは、二重チュ
ーブ１０の内側チューブ１０ａが接続される吸引用入力
ポート３５と、外側チューブ１０ｂが接続される吐出用
出口ポート３７とが同心状に配設されている。更に、分
配器本体３１の内部には上記吸引用出口ポート３２から
３分岐させて各排出・供給ポートの吸引用入力ポート３
５へそれぞれ連通させる吸引用分配路３４と、上記吐出
用入口ポート３３から３分岐させて各排出・供給ポート
の吐出用出口ポート３７へそれぞれ連通させる吐出用分
配路３６とが設けられている。そして上記吸引用分配路
３４および吐出用分配路３６の途中には、これらの各分
配路に直交して遮断する態様で開閉弁３９が設けられて
おり、当該開閉弁３９には吸引用分配路３４を連通させ
る弁孔３９ａと吐出用分配路３６を連通させる弁孔３９
ｂが穿設され、上部に設けられた操作つまみ３８を回動
させることによって各系統毎に吸引用と吐出用の流路が
同時に開閉される。なお、この実施例では３系統のうち
の１系統は常時真空ピンセットが接続されて使用できる
ように開閉弁３９を設けないで流路を直結させ、残りの
２系列には開閉弁３９を設けて使用の有無に応じて流路
を開閉させるようにしたが、３系統の全てに開閉弁を設
けたり１系統のみに開閉弁を設ける態様もある。
【００１８】上記した切換え分配器９は、吸引用出口ポ
ート３２を吸引用空気源７に吐出用入口ポート３３を吐
出用空気源８にそれぞれチューブを介して接続すると共
に、各系統の排出・供給ポート３５，３７には二重チュ
ーブ１０を介して１本または複数本のピンセット本体１
の吸引用接続管６ａおよび吐出用接続部６ｂにそれぞれ
接続して使用され、その際に各系統の内で使用されない
系統については開閉弁３９で流路を遮断しておく。従っ
て、上記切換え分配器９を使用することによって異なっ
た場所で同様の作業を並行して行ったり、同じ場所で吸
着具や配管を交換しないで異なった被吸着物に対する作
業を選択的に行うことができると共に、吸引流路と吐出
流路とが二重チューブによる１本の配管で同時に接続で
きるので接続作業が容易で且つ配管が簡素化される。
ート３２を吸引用空気源７に吐出用入口ポート３３を吐
出用空気源８にそれぞれチューブを介して接続すると共
に、各系統の排出・供給ポート３５，３７には二重チュ
ーブ１０を介して１本または複数本のピンセット本体１
の吸引用接続管６ａおよび吐出用接続部６ｂにそれぞれ
接続して使用され、その際に各系統の内で使用されない
系統については開閉弁３９で流路を遮断しておく。従っ
て、上記切換え分配器９を使用することによって異なっ
た場所で同様の作業を並行して行ったり、同じ場所で吸
着具や配管を交換しないで異なった被吸着物に対する作
業を選択的に行うことができると共に、吸引流路と吐出
流路とが二重チューブによる１本の配管で同時に接続で
きるので接続作業が容易で且つ配管が簡素化される。
【００１９】なお、上述した実施例の真空ピンセット装
置では、吸引用の通路を構成する内管と吐出用の通路を
構成する外管とが同心構造となっているが、吸引用の通
路と吐出用の通路とを同心状に構成せず、２本の管路を
ピンセット本体内に並設した構成としてもよい。この場
合、吸引用空気源および吐出用空気源から延びる独立し
た２本のチューブをピンセット本体にそれぞれ接続す
る。また、上述した実施例の真空ピンセット装置では、
切換え操作ボタンが押されていないときが吸着保持状態
で押したときに離脱状態になるようにしているが、切換
え弁の構造を変えて押したときに吸着保持状態になるよ
うにしても良い。
置では、吸引用の通路を構成する内管と吐出用の通路を
構成する外管とが同心構造となっているが、吸引用の通
路と吐出用の通路とを同心状に構成せず、２本の管路を
ピンセット本体内に並設した構成としてもよい。この場
合、吸引用空気源および吐出用空気源から延びる独立し
た２本のチューブをピンセット本体にそれぞれ接続す
る。また、上述した実施例の真空ピンセット装置では、
切換え操作ボタンが押されていないときが吸着保持状態
で押したときに離脱状態になるようにしているが、切換
え弁の構造を変えて押したときに吸着保持状態になるよ
うにしても良い。
【００２０】
【発明の効果】以上の説明のように、本発明では吸着具
からエアを吐出させて吸着している被吸着物を強制的に
離脱させるので、静電気や空気中の水分などによって影
響を受けることなく被吸着物を確実に離脱でき、然も瞬
時に離脱されるために作業能率を向上させることができ
る。また、吸着保持のためのエアの吸引流路と離脱のた
めのエアの吐出流路の切換えは、把持しているピンセッ
ト本体に設けられた切換え操作ボタンを手元でオンオフ
する簡単な操作で切換え弁を切り換えることによって、
吸着保持状態から直ちに離脱状態へ移行させることがで
きる。また、各空気圧源とピンセット本体を接続する上
記の吸引流路および吐出流路は、同心状に形成した二重
チューブを介してそれぞれ連通するようにしたので、接
続作業が容易で且つ配管が簡素化される。また、上記吐
出流路のエア圧はピンセット本体に設けられた吐出圧調
整手段によって、被吸着物に適合するよう手元で任意に
設定することができる。これにより、被吸着物が微小な
種子や非常に薄い半導体チップあるいは微小なボールベ
アリングなどのような球状物でも、容易で且つ確実に吸
着保持および離脱を高能率で行なうことができる。然
も、従来のように静電気を防止するために吸着具を金属
製にしたり導電性ゴムで構成する必要がなく、耐薬品性
に強い例えばフッソ樹脂などによって構成できるので、
被吸着物に損傷が生じたり、不純物が混入するなどの不
具合は発生しなくなる。更に、上記の各空気圧源からピ
ンセット本体への配管の間に上記の切換え分配器を設け
ることにより、異なった場所で同様の作業を並行して行
ったり、同じ場所で吸着具や配管を交換しないで異なっ
た被吸着物に対する作業を選択的に行うことができる。
また、この切換え分配器では上記の吸引流路と吐出流路
とを同心状に形成した二重チューブを接続して使用でき
るので、接続作業が容易で且つ配管が簡素化される。
からエアを吐出させて吸着している被吸着物を強制的に
離脱させるので、静電気や空気中の水分などによって影
響を受けることなく被吸着物を確実に離脱でき、然も瞬
時に離脱されるために作業能率を向上させることができ
る。また、吸着保持のためのエアの吸引流路と離脱のた
めのエアの吐出流路の切換えは、把持しているピンセッ
ト本体に設けられた切換え操作ボタンを手元でオンオフ
する簡単な操作で切換え弁を切り換えることによって、
吸着保持状態から直ちに離脱状態へ移行させることがで
きる。また、各空気圧源とピンセット本体を接続する上
記の吸引流路および吐出流路は、同心状に形成した二重
チューブを介してそれぞれ連通するようにしたので、接
続作業が容易で且つ配管が簡素化される。また、上記吐
出流路のエア圧はピンセット本体に設けられた吐出圧調
整手段によって、被吸着物に適合するよう手元で任意に
設定することができる。これにより、被吸着物が微小な
種子や非常に薄い半導体チップあるいは微小なボールベ
アリングなどのような球状物でも、容易で且つ確実に吸
着保持および離脱を高能率で行なうことができる。然
も、従来のように静電気を防止するために吸着具を金属
製にしたり導電性ゴムで構成する必要がなく、耐薬品性
に強い例えばフッソ樹脂などによって構成できるので、
被吸着物に損傷が生じたり、不純物が混入するなどの不
具合は発生しなくなる。更に、上記の各空気圧源からピ
ンセット本体への配管の間に上記の切換え分配器を設け
ることにより、異なった場所で同様の作業を並行して行
ったり、同じ場所で吸着具や配管を交換しないで異なっ
た被吸着物に対する作業を選択的に行うことができる。
また、この切換え分配器では上記の吸引流路と吐出流路
とを同心状に形成した二重チューブを接続して使用でき
るので、接続作業が容易で且つ配管が簡素化される。
【図１】本発明による真空ピンセット装置の一実施例を
示す外観斜視図である。
示す外観斜視図である。
【図２】図１の真空ピンセット装置の側面図である。
【図３】上記真空ピンセット装置の縦断面図である。
【図４】ピンセット本体の先端部分を示す縦断面図であ
る。
る。
【図５】図３のＡ−Ａ線断面図である。
【図６】図４のＢ−Ｂ線断面図である。
【図７】図５のＣ−Ｃ線断面図である。
【図８】図５のＤ−Ｄ線断面図である。
【図９】弁体が押し込まれた状態を示す断面図である。
【図１０】導管に取り付けられた吸着用パットを示す側
面図である。
面図である。
【図１１】切換え分配器の斜視図である。
【図１２】図１１のＥ−Ｅ線断面図である。
【図１３】図１２のＦ−Ｆ線断面図である。
１ ピンセット本体 ２ 切換え弁 ３ 弁取付け部 ４ 柄部分 ５ 吐出圧調整用コネクタ ６ 吸引・吐出用同
軸コネクタ ７ 吸引用空気源 ８ 吐出用空気源 ９ 切換え分配器 １０ 二重チューブ １１ 導管 １２ スペーサ １３ 吸引管 １４ 保持璧 １２ａ，１５ 溝 １６ スリット １７ 吐出圧調整用カラー １８ 連通孔 １９ 吸引孔 ２０ 弁室 ２１ 吐出用の小孔 ２２ 弁棒 ２３ 弁体 ２３ａ 外周溝部 ２４ 戻しばね ２６ 切換え操作ボ
タン ２７ 自在球 ２８ 押さえキャッ
プ ２９ 吸着用ノズル ３０ 吸着用パット ２９ａ，３０ａ 吸着口部 ３１ 分配器本体 ３２ 吸引用出口ポート ３３ 吐出用入口ポ
ート ３４ 吸引用分配路 ３５ 吸引用入口ポ
ート ３６ 吐出用分配路 ３７ 吐出用出口ポ
ート ３８ 操作つまみ ３９ 開閉弁 ３９ａ，３９ｂ 弁孔 Ｗ１，Ｗ２ 被吸着
物
軸コネクタ ７ 吸引用空気源 ８ 吐出用空気源 ９ 切換え分配器 １０ 二重チューブ １１ 導管 １２ スペーサ １３ 吸引管 １４ 保持璧 １２ａ，１５ 溝 １６ スリット １７ 吐出圧調整用カラー １８ 連通孔 １９ 吸引孔 ２０ 弁室 ２１ 吐出用の小孔 ２２ 弁棒 ２３ 弁体 ２３ａ 外周溝部 ２４ 戻しばね ２６ 切換え操作ボ
タン ２７ 自在球 ２８ 押さえキャッ
プ ２９ 吸着用ノズル ３０ 吸着用パット ２９ａ，３０ａ 吸着口部 ３１ 分配器本体 ３２ 吸引用出口ポート ３３ 吐出用入口ポ
ート ３４ 吸引用分配路 ３５ 吸引用入口ポ
ート ３６ 吐出用分配路 ３７ 吐出用出口ポ
ート ３８ 操作つまみ ３９ 開閉弁 ３９ａ，３９ｂ 弁孔 Ｗ１，Ｗ２ 被吸着
物
Claims (4)
- 【請求項１】 ピンセット本体の先端に装着された吸着
具で被吸着物を吸着保持または離脱させる真空ピンセッ
ト装置において、 吸着保持と離脱の切換え操作ボタンを備えたピンセット
本体の内部には、外部の吸引用空気源に接続される吸着
保持用の吸引流路と外部の吐出用空気源に接続される離
脱用の吐出流路とを形成すると共に、上記切換え操作ボ
タンに連動して当該吸引流路と吐出流路とを切換える切
換え弁を設け、この切換え弁による選択流路が導管を介
して上記吸着具に連通され、被吸着物を離脱させる際に
上記吸着具からエアを吐出させることを特徴とした真空
ピンセット装置。 - 【請求項２】 上記の各空気源から上記ピンセット本体
への配管が、上記吸引流路と吐出流路にそれぞれ連通す
るように同心状に形成された二重チューブを介して接続
されることを特徴とした請求項１記載の真空ピンセット
装置。 - 【請求項３】 上記吐出流路と外気とを連通する吐出圧
調整用の孔をピンセット本体に形成し、この吐出圧調整
用の孔の開口度を開閉手段によって調整できることを特
徴とした請求項１または請求項２記載の真空ピンセット
装置。 - 【請求項４】 上記各空気源から上記ピンセット本体へ
の配管の途中に切換え分配器が設けられ、この切換え分
配器は吸引用空気源に接続される吸引用出口ポートと、
上記吐出用空気源に接続される吐出用入口ポートと、吸
引用入口と吐出用出口とがそれぞれ同心状に形成された
複数の排出・供給ポートと、上記吸引用出口ポートを上
記排出・供給ポートの吸引用入口へそれぞれ連通させる
吸引用分配路と、上記吐出用入口ポートを上記排出・供
給ポートの吐出用出口へそれぞれ連通させる吐出用分配
路と、上記の各排出・供給ポートにそれぞれ連通する少
なくとも１系統の吸引用分配路と吐出用分配路を同時に
開閉する開閉弁とで構成され、上記の各排出・供給ポー
トと複数の各ピンセット本体間を上記二重チューブでそ
れぞれ接続することを特徴とした請求項２記載の真空ピ
ンセット装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3317306A JPH0815709B2 (ja) | 1991-11-06 | 1991-11-06 | 真空ピンセット装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3317306A JPH0815709B2 (ja) | 1991-11-06 | 1991-11-06 | 真空ピンセット装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05131375A JPH05131375A (ja) | 1993-05-28 |
| JPH0815709B2 true JPH0815709B2 (ja) | 1996-02-21 |
Family
ID=18086744
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3317306A Expired - Lifetime JPH0815709B2 (ja) | 1991-11-06 | 1991-11-06 | 真空ピンセット装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0815709B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3095112B2 (ja) * | 1995-07-11 | 2000-10-03 | 矢崎総業株式会社 | 種子のゲル被覆加工装置の種子供給機構 |
| JP4512387B2 (ja) * | 2004-03-11 | 2010-07-28 | 高橋 清 | 真空ピンセット装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59100571U (ja) * | 1982-12-27 | 1984-07-06 | 株式会社東芝 | 真空ピンセツト |
| JPS6420976U (ja) * | 1987-07-21 | 1989-02-01 | ||
| JPH0243174U (ja) * | 1988-09-19 | 1990-03-26 |
-
1991
- 1991-11-06 JP JP3317306A patent/JPH0815709B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05131375A (ja) | 1993-05-28 |
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