JPH08149863A - 超音波振動子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 大きな振幅を得て移動体を速い速度で移動さ
せることができる、効率が良い超音波振動子を提供す
る。 【構成】 棒状の弾性体よりなるベース４と、このベー
ス４の略中央より略垂直方向に一体的に突出して形成さ
れた該ベース４と略一致する共振周波数を有する弾性体
よりなる梁５と、上記ベース４の上面の上記梁５を挟ん
だ両側に設けられた凹部４ａ，４ｂに埋設されており、
該ベース４に屈曲振動を発生させる積層型圧電素子でな
る第１，第２振動体６ａ，６ｂと、上記梁５の端面に圧
接された被駆動部材たる移動体３とを備えており、上記
第１，第２振動体６ａ，６ｂのそれぞれに高周波電源７
ａ，７ｂから略９０°の位相差を有する交番電圧を印加
して、上記ベース４および梁５に屈曲振動を発生させる
超音波振動子１。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、超音波振動子、より詳
しくは、電気−機械エネルギー変換素子を用いた超音波
振動子に関する。

【０００２】

【従来の技術】圧電素子または電歪素子等の電気−機械
エネルギー変換素子を用いた超音波振動子は、従来より
種々のものが提案されている。

【０００３】例えば、本出願人は、ベースとこのベース
の中央から垂直に延出する梁を有する弾性体と、この弾
性体のベースに埋設した第１，第２の圧電素子とを備え
た超音波振動子において、これら第１，第２の圧電素子
に一定の位相差を有する高周波電気信号を印加して、上
記ベースと第１，第２の圧電素子でなる水平部に屈曲振
動を発生させ、これにより梁の先端部に略楕円軌道を描
く振動を発生させて、この梁の先端に圧接された移動体
を移動させる技術手段を提案している。

【０００４】また、特開昭６３−３９４７３号公報に
は、水平部である基体とこの基体の中央部から垂直に突
出して形成された梁とよりなる弾性体と、上記基体と梁
におのおの屈曲振動を発生させる第１，第２の圧電素子
とを備え、該圧電素子に超音波領域の電気信号を印加し
て、上記弾性体に複合共振を発生し、上記梁の先端に移
動体を圧接して移動させる技術手段が開示されている。

【０００５】さらに、特開平２−８７９８１号公報に
は、連結体に水平方向に固着された第１，第２の圧電素
子と、これら第１および第２の圧電素子と直角になるよ
うに該連結体に固着された第３の圧電素子とを備え、上
記第１，第２，第３の圧電素子に電気信号を印加して、
上記第３の圧電素子の端部に斜め，楕円，円などの軌跡
を描かせて、該端部に移動体を圧接して移動させる技術
手段が開示されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た本出願人の提案による技術手段では、水平部を屈曲振
動させたときに、垂直に突出する梁は該水平部の屈曲振
動に合わせて動くのみであり、この梁が有効な動作を行
っているとはいえないために、移動体の移動速度も比較
的遅く、振動子の効率が十分に良いとはいえなかった。

【０００７】また、上記特開昭６３−３９４７３号公報
に記載された技術手段では、水平部である基体と垂直部
である梁のそれぞれに、該基体と梁を振動させるための
専用の圧電素子が必要であり、コストが高くなるととも
に消費電力も大きくなるという問題点がある。

【０００８】さらに、上記特開平２−８７９８１号公報
に記載された技術手段では、駆動に必要な変位を圧電素
子の変位のみで得るようにしているために、十分な変位
が得られず、よって駆動速度が遅くなり効率も悪くなっ
てしまう。また、駆動力が圧電素子に直接伝達されるた
めに、大きな力が加わった場合には圧電素子が折れ易い
という難点がある。

【０００９】本発明は上記事情に鑑みてなされたもので
あり、大きな振幅を得ることができる効率が良い超音波
振動子を提供することを目的としている。

【００１０】

【課題を解決するための手段及び作用】上記の目的を達
成するために、本発明の請求項１による超音波振動子
は、棒状もしくは板状の弾性体よりなるベース部と、こ
のベース部の略中央より略垂直方向に突出するよう該ベ
ース部と一体的に形成された弾性体よりなる梁部と、上
記ベース部の上記梁部を挟んだ両側に設けられており該
ベース部に屈曲振動を発生させる少なくとも２つの電気
−機械エネルギー変換素子とを備えており、上記電気−
機械エネルギー変換素子の夫々に、予め定められた位相
差を有する交番電圧を印加し、上記ベース部における上
記梁部の両側に、屈曲振動を発生させる超音波振動子で
あって、上記ベース部と梁部における共振周波数を略一
致させたものである。

【００１１】また、本発明の請求項２による超音波振動
子は、さらに、上記梁部の、上記屈曲振動の振幅方向と
垂直に形成された端面に圧接され、上記超音波振動子と
相対的に移動可能に構成された移動体を有する請求項１
に記載のものである。

【００１２】さらに、本発明の請求項３による超音波振
動子は、上記電気−機械エネルギー変換素子は、積層型
の圧電素子である請求項１に記載のものである。

【００１３】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。図１から図５は本発明の第１実施例を示したもの
であり、図１は超音波振動子を示す（Ａ）側面図，
（Ｂ）正面図である。

【００１４】この第１実施例の超音波振動子１は、駆動
体２と、この駆動体２に圧接されて駆動される移動体３
とを有して構成されている。

【００１５】上記駆動体２は、図示のように、水平部を
構成する棒状の弾性体からなるベース４と、このベース
４と一体的に形成されており該ベース４の中央から直角
に延出する弾性体でなる梁５と、上記ベース４の梁５を
挟んで両側に形成された凹部４ａ，４ｂに埋設されてい
て該ベース４とともに水平部を構成して屈曲振動する第
１，第２振動体６ａ，６ｂとを有して構成されている。

【００１６】上記ベース４と梁５は、全体としてＴ字型
形状を呈する弾性体を構成しており、比較的振動減衰率
の小さな金属から形成されている。このＴ字型形状をな
す弾性体は、図示しない不動部材に対して、発生する屈
曲振動が伝播しないような状態で支持されている。そし
て、上記移動体３は、このような弾性体の梁５の上端に
加圧接触されるようになっている。

【００１７】上記第１，第２振動体６ａ，６ｂは、エポ
キシ樹脂等の接着材で固着された電気−機械エネルギー
変換素子たる積層型圧電素子でなり、その積層方向が上
記ベース４の延出方向に略一致するように上記凹部４
ａ，４ｂに埋設することにより、屈曲振動を発生させる
ための駆動力を強くするように構成されている。

【００１８】これら第１，第２振動体６ａ，６ｂには、
高周波駆動するための高周波電源７ａ，７ｂがそれぞれ
電気的に接続されている。

【００１９】そして、上記ベース４および第１，第２振
動体６ａ，６ｂで構成される水平部の屈曲共振周波数
と、上記ベース４から垂直に延出する梁５の屈曲共振周
波数とが同一になるように形成して、この共振周波数を
上記高周波電源７ａ，７ｂから第１，第２振動体６ａ，
６ｂに印加することにより、水平部が屈曲振動するのに
同期して梁５も屈曲振動するように構成されている。

【００２０】このような第１実施例において、移動体３
を図１の矢印Ａに示すような左方向に移動する方法を、
図２，図３を参照して説明する。

【００２１】上記第１振動体６ａに、図２（Ａ）に示す
ような振幅Ｖ0で、ベース４と第１，第２振動体６ａ，
６ｂでなる水平部、および梁５の屈曲共振周波数にほぼ
一致する角周波数ωの正弦波形ｇ1の交流電圧Ｖ0sinω
ｔを高周波電源７ａから印加すると、第１振動体６ａが
直線→伸張→直線→収縮→直線の各状態を経て１周期の
振動を行う。

【００２２】また、第２振動体６ｂに、図２（Ｂ）に示
すような上記正弦波形ｇ1より９０°位相が遅れた正弦
波形ｇ2の交流電圧−Ｖ0cosωｔを高周波電源７ｂから
印加すると、第２振動体６ｂは収縮→直線→伸張→直線
→収縮の各状態を経て１周期の振動を行う。

【００２３】そこで、これら図２（Ａ），（Ｂ）に示し
た正弦波を同時に第１，第２振動体６ａ，６ｂに印加す
ると、駆動体２は図３（Ａ）〜（Ｈ）に示すように振動
する。

【００２４】すなわち、ωｔ＝０の状態にほぼ対応する
図３（Ａ）では、第１振動体６ａが略直線状態（ベース
４等から応力が加わるために、完全に直線状態にはなら
ない。）に、第２振動体６ｂが収縮状態になるととも
に、梁５はやや右に撓んで左凸の状態になっている。

【００２５】図３（Ｂ）では、第１，第２振動体６ａ，
６ｂは上記図３（Ａ）と次に示す図３（Ｃ）のほぼ中間
の状態をとるとともに、梁５は大きく右に撓んで左凸の
状態になっている。

【００２６】ωｔ＝π／２の状態にほぼ対応する図３
（Ｃ）では、第１振動体６ａが伸張状態に、第２振動体
６ｂが略直線状態になり、梁５はやや右に撓んで左凸の
状態になっている。

【００２７】図３（Ｄ）では、第１，第２振動体６ａ，
６ｂは上記図３（Ｃ）と次に示す図３（Ｅ）のほぼ中間
の状態をとるとともに、梁５は略直線状態となってい
る。

【００２８】ωｔ＝πの状態にほぼ対応する図３（Ｅ）
では、第１振動体６ａが略直線状態に、第２振動体６ｂ
が伸張状態になり、梁５はやや左に撓んで右凸の状態に
なっている。

【００２９】図３（Ｆ）では、第１，第２振動体６ａ，
６ｂは上記図３（Ｅ）と次に示す図３（Ｇ）のほぼ中間
の状態をとるとともに、梁５は大きく左に撓んで右凸の
状態になっている。

【００３０】ωｔ＝３π／２の状態にほぼ対応する図３
（Ｇ）では、第１振動体６ａが収縮状態に、第２振動体
６ｂが略直線状態になり、梁５はやや左に撓んで右凸の
状態になっている。

【００３１】図３（Ｈ）では、第１，第２振動体６ａ，
６ｂは上記図３（Ｇ）と上記図３（Ａ）のほぼ中間の状
態をとるとともに、梁５は略直線状態になっている。

【００３２】このように水平部に屈曲振動が発生すると
ともに、水平部と同一の共振周波数を有する梁５には、
左凸→直線→右凸→直線→左凸という屈曲振動が同時に
発生している。

【００３３】そして、梁５の上端面は、移動体３に近づ
きながら右から左へ動き〔図３（Ｂ）→（Ｆ）〕、ま
た、移動体３から離れながら左から右へ動く〔図３
（Ｆ）→（Ｂ）〕といった、略円運動あるいは略楕円運
動を行い、この運動の振幅が上記梁５自体の屈曲振動に
より一層大きなものとなっている。

【００３４】これによって上記移動体３には、梁５の上
端面により右から左へ蹴り上げる力が働くことになり、
移動体３が左方向に移動することになる。

【００３５】このようにして、水平部で発生した屈曲振
動が小さな振幅である場合にも、梁５の上端面において
大きな振幅の略円運動もしくは略楕円運動に変換され、
さらには、水平部に同期して梁５自体が屈曲振動を行う
ことにより振幅がより増大するために、移動体３を速く
移動させることが可能になっている。

【００３６】そして、上述の動作が連続して行われるこ
とにより、移動体３は水平部の屈曲振動に伴って矢印Ａ
の方向に連続的に移動して行くことになる。

【００３７】なお、移動体３を右方向へ移動させる場合
には、第２振動体６ｂに印加する信号を上記の場合に対
して１８０°位相をずらせば、すなわち、第１振動体６
ａに印加する電圧に対して第２振動体６ｂに印加する電
圧の位相を９０°進めれば、図１における移動体３を矢
印Ａとは逆の方向に動かすことができる。

【００３８】この第１実施例における移動体３の移動速
度は、水平部および梁５の屈曲振動の振幅に関係してお
り、移動体３を速く移動させる場合には屈曲振動の振幅
を大きくすればよく、第１，第２振動体６ａ，６ｂに印
加する電圧が一定であるならば、第１，第２振動体６
ａ，６ｂに印加する周波数を変化させて、水平部および
梁５の屈曲共振周波数に近づければよい。

【００３９】また、移動体３を遅く移動させる場合には
屈曲振動の振幅を小さくすればよく、第１，第２振動体
６ａ，６ｂに印加する電圧が一定ならば、第１，第２振
動体６ａ，６ｂに印加する周波数を変化させて、水平部
の屈曲共振周波数から遠ざければよい。

【００４０】印加する電圧の周波数が水平部の屈曲共振
周波数に近づきあるいは遠ざかれば、水平部および梁５
に発生する屈曲振動の振幅が変化し、すなわち梁５の上
端面が描く円軌道または楕円軌道の大きさが変化する
（つまり円または楕円自体の大きさが近似的に変化す
る）。これに伴い、移動体３の移動速度が変更される。

【００４１】このときの第１振動体６ａに印加する電圧
に対して第２振動体６ｂに印加する電圧の位相差は、例
えば６０°〜１２０°の範囲内で変化させると良い。ま
た、逆方向に駆動する場合には、位相差を例えば−６０
°〜−１２０°の範囲内で変化させれば良い。

【００４２】さらに、第１，第２振動体６ａ，６ｂに印
加する入力電圧を変化させることによっても、移動体３
の移動速度を制御することができる。つまり、印加電圧
を変化させることにより、水平部および梁５に発生する
屈曲振動の振幅が変化し、これにより梁５の上端面が描
く円軌道の大きさが変化して、移動体３の速度は変更さ
れる。

【００４３】加えて、第１，第２振動体６ａ，６ｂに入
力する電圧の位相差を変化させることにより、移動体３
の移動速度を制御することもできる。入力する電圧の位
相差を変更した場合には、梁５の上端面が描く円または
楕円軌道における、水平方向の変位が変化して、垂直方
向の変位は変化しない。つまり、梁５の上端面が描く軌
道は、縦長になったり横長になったりして種々の略楕円
軌道を描くが、このときの縦方向の変位はそのままで、
横方向の変位のみが変更されることになる。これに伴っ
て、移動体３の速度が変更される。

【００４４】そして、印加電圧をパルス上の信号に変更
して、このパルス幅を変更することによりデューティを
変化させても、移動体３の速度を変更することは可能で
ある。

【００４５】次に、図４，図５を参照して、水平部と垂
直部である梁５の屈曲共振周波数を合わせる設計方法に
ついて説明する。

【００４６】まず図４は、本実施例のＴ字型の駆動体２
の寸法形状を示す斜視図であり、後述する式に用いる寸
法記号を記載している。

【００４７】つまり、水平部の長さをｌ2，水平部の幅
をＢ，水平部の厚みをｈ2，梁５の長さをｌ1，梁５の幅
をＢ，梁５の厚みをｈ1とする。

【００４８】次に図５は、上記図４に示したＴ字型の駆
動体２をモデル化したものであり、（Ａ）側面図，
（Ｂ）正面図である。

【００４９】このモデルは、水平部の両端Ｃ1，Ｃ2を支
持し、梁５を水平部の中央に位置する質量ｍに置き換え
たものである。ここで水平部の質量はｍbとしている。

【００５０】上記図４と図５に示したようなモデルにお
いて、水平部と垂直部である梁５の共振周波数を合わせ
ることになる。

【００５１】まず図４を参照して、垂直部である梁５の
共振周波数ｆ1を求める。

【００５２】ここに、梁５の長さをｌ1，梁５の縦弾性
率をＥ1，梁５の密度をρ1，梁５の断面積をＡ，梁５の
断面２次モーメントをＩ1，とすると、梁５の１次共振
周波数ｆ1は、

【数１】 と表わされる。

【００５３】また水平部の共振周波数ｆ2は、図５にお
いて、水平部の長さをｌ2，水平部の質量をｍb，水平部
の縦弾性率をＥ2，水平部の断面２次モーメントをＩ2，
梁５の質量をｍ，とすると水平部のばね定数ｋは、

【数２】 と表され、このばね定数ｋを用いると水平部の共振周波
数ｆ2は、

【数３】 で表すことができる。

【００５４】ここで水平部と垂直部である梁５の共振周
波数を合わせるということは、つまり ｆ1＝ｆ2 となるようにするということであり、この式が成り立つ
ように図４に示した駆動体２の各寸法やあるいは材質等
を調整すればよいことになる。

【００５５】なお本実施例では、弾性体の梁５の上端面
に圧接する移動体３として棒状のものを採用している
が、移動体３の形状としてはこれに限るものではなく、
該棒状のものの代わりに例えば円板状のものを採用し、
この円板状をなす移動体の側面部や平面部を駆動体２に
圧接して回転させるようにしてもよい。

【００５６】また、ベース４および梁５からなる弾性体
の材質としては、機械的Ｑmの高い材料が適しており、
例えばステンレス，黄銅，リン青銅，アルミニウム，セ
ラミックス，ガラス、あるいはこれらの複合材料等を用
いると良い。

【００５７】さらに、上記移動体３の駆動体２との摩擦
接触面は、耐摩耗性の優れた材料を採用している。

【００５８】このような第１実施例によれば、水平部に
同期して梁が屈曲共振振動を行うために、移動体と接触
する梁の先端で大きな振幅を得ることができて、低電圧
でも移動体を速い速度で移動させることが可能であり、
効率の良い超音波振動子となる。

【００５９】また、移動体を駆動する力が直接かかるの
は梁であり、圧電素子でなる振動体に直接かかるのでは
ないために、該振動体が破損することはなく、十分な強
度を有する超音波振動子となっている。

【００６０】さらに、弾性体の形状寸法を巧みに形成す
ることにより移動体を速い速度で移動させるようにして
いるために、梁専用の圧電素子や電源等を設ける必要が
なく、コストを削減することができる。

【００６１】図６は本発明の第２実施例を示したもので
あり、駆動体を示す側面図である。この第２実施例にお
いて、上述の第１実施例と同様である部分については説
明を省略し、主として異なる点についてのみ説明する。

【００６２】この第２実施例は、上記第１実施例におけ
る第１，第２振動体６ａ，６ｂを、ベース４の下面に設
けた例である。

【００６３】すなわち、ベース４の下面に凹部４ｃ，４
ｄを設けて、この凹部４ｃ，４ｄに該ベース４を屈曲振
動させるための積層型圧電素子でなる第１，第２振動体
６ａ，６ｂを、その積層方向がベース４の延出方向に略
一致するように埋設している。

【００６４】そして、ベース４と該第１，第２振動体６
ａ，６ｂでなる水平部の屈曲共振周波数と、梁５の屈曲
共振周波数とを略一致させている。

【００６５】このような第２実施例においても、上述の
第１実施例と同様に、第１，第２振動体６ａ，６ｂに、
水平部および梁５の屈曲共振周波数となる高周波電圧
を、略９０°位相差で印加して該水平部および梁５を共
振させ、梁５の端部に移動体３（図１参照）を圧接して
移動させる作用は同様である。

【００６６】このような第２実施例によれば、上述の第
１実施例とほぼ同様の効果を有している。

【００６７】図７は本発明の第３実施例を示したもので
あり、駆動体を示す側面図である。この第３実施例にお
いて、上述の第１，第２実施例と同様である部分につい
ては説明を省略し、主として異なる点についてのみ説明
する。

【００６８】この第３実施例の弾性体の形状は、上述の
第１実施例と同様に、Ｔ字型形状を呈しているが、ベー
ス１４には凹部は設けられていない。

【００６９】そして、このベース１４の屈曲振動の振動
方向の上面の梁５の左右両側には、板状圧電素子でなる
第１，第２振動体１６ａ，１６ｂがそれぞれ固着されて
いて、これらベース１４と第１，第２振動体１６ａ，１
６ｂとで水平部が構成されている。この水平部と梁５の
屈曲共振周波数が一致するように構成されていることは
上述の各実施例と同様である。

【００７０】このような超音波振動子を駆動するときに
は、上述の各実施例とほぼ同様にして、上記第１，第２
振動体１６ａ，１６ｂに水平部および梁５の屈曲共振周
波数である高周波電圧を印加することによって、該水平
部および梁５に共振振動を発生させ、上記梁５の上端部
に移動体３（図１参照）を圧接して該移動体３を移動さ
せるようになっている。

【００７１】なお、この第３実施例では、第１，第２振
動体１６ａ，１６ｂをベース４の上面に固着している
が、図８に示すように、該ベース４の下面に固着しても
かまわない。

【００７２】このような第３実施例によれば、上述の第
１，第２実施例とほぼ同様の効果を有するとともに、板
状圧電素子を用いることも可能になり、さらには、凹部
を設けていないためにベースの形成がより容易になると
いう利点を有している。

【００７３】［付記］以上詳述したような本発明の上記
実施態様によれば、以下のごとき構成を得ることができ
る。

【００７４】（１） 棒状もしくは板状の弾性体よりな
るベース部と、このベース部の略中央より略垂直方向に
突出するよう、該ベース部と一体的に形成された弾性体
よりなる梁部と、上記ベース部の、上記梁部を挟んだ両
側に設けられており、該ベース部に屈曲振動を発生させ
る少なくとも２つの電気−機械エネルギー変換素子と、
を具備しており、上記電気−機械エネルギー変換素子の
夫々に、予め定められた位相差を有する交番電圧を印加
し、上記ベース部における上記梁部の両側に、屈曲振動
を発生させる超音波振動子であって、上記ベース部と梁
部における共振周波数を略一致させたことを特徴とする
超音波振動子。

【００７５】（２） 棒状もしくは板状のベース部の略
中央より垂直に突出する梁部を有する弾性体と、上記梁
部を挟んで上記ベース部に設けられた２つの電気−機械
エネルギー変換素子と、を具備しており、上記２つの電
気−機械エネルギー変換素子の夫々に、予め定められた
位相差を有する交番電圧を印加し、上記ベース部に屈曲
振動を発生させる超音波振動子であって、上記ベース部
と梁部における共振周波数を略一致させたことを特徴と
する超音波振動子。

【００７６】（３） 付記１または付記２において、さ
らに、上記梁部の、上記屈曲振動の振幅方向と垂直に形
成された端面に圧接され、上記超音波振動子と相対的に
移動可能に構成された移動体を有する。

【００７７】（４） 付記１または付記２において、上
記電気−機械エネルギー変換素子は、積層型圧電素子か
らなる。

【００７８】（５） 付記４において、上記積層型圧電
素子は、上記ベース部の延出方向に沿って積層されて形
成される。

【００７９】（６） 付記４において、上記積層型圧電
素子は、上記ベース部の延出方向に沿って伸縮すること
により、該ベース部に屈曲振動を発生させる。

【００８０】（７） 付記１または付記２において、上
記電気−機械エネルギー変換素子は、板状の圧電素子で
ある。

【００８１】（８） 付記１または付記２において、上
記弾性体は比較的振動減衰率の小さな金属よりなる。

【００８２】（９） 付記１または付記２において、上
記弾性体は機械的Ｑの高い材料により構成される。

【００８３】（１０） 付記１または付記２において、
上記弾性体は、ステンレス，黄銅，リン青銅，アルミニ
ウム，セラミックス，ガラスのいずれか一つもしくはこ
れらが複合された材料により構成される。

【００８４】（１１） 付記１または付記２において、
上記複数の電気−機械エネルギー変換素子の夫々に、６
０°乃至１２０°もしくは−６０°乃至−１２０°の位
相差を有する交番電圧を印加する。

【００８５】（１２） 付記１または付記２において、
上記交番電圧の周波数は、上記弾性体のベース部および
梁部における共振周波数と略一致する。

【００８６】（１３） 付記１または付記２において、
ベース部および梁部の共振周波数は、夫々の部分におけ
る屈曲振動の共振周波数である。

【００８７】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、大
きな振幅を得ることができる効率が良い超音波振動子と
なる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例の超音波振動子を示す
（Ａ）側面図，（Ｂ）正面図。

【図２】上記第１実施例において、（Ａ）第１振動体，
（Ｂ）第２振動体にそれぞれ印加する電圧を示す線図。

【図３】上記第１実施例の超音波振動子の振動状態をそ
れぞれ示す側面図。

【図４】上記第１実施例の駆動体の寸法形状を示す斜視
図。

【図５】上記第１実施例の駆動体をモデル化したものを
示す（Ａ）側面図，（Ｂ）正面図。

【図６】本発明の第２実施例の駆動体を示す側面図。

【図７】本発明の第３実施例の駆動体を示す側面図。

【図８】上記第３実施例の駆動体の他の例を示す側面
図。

【符号の説明】

１…超音波振動子 ２…駆動体 ３…移動体 ４，１４…ベース（ベース部） ５…梁（梁部） ６ａ，１６ａ…第１振動体（電気−機械エネルギー変換
素子） ６ｂ，１６ｂ…第２振動体（電気−機械エネルギー変換
素子）

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 棒状もしくは板状の弾性体よりなるベー
   ス部と、このベース部の略中央より略垂直方向に突出す
   るよう、該ベース部と一体的に形成された弾性体よりな
   る梁部と、 上記ベース部の、上記梁部を挟んだ両側に設けられてお
   り、該ベース部に屈曲振動を発生させる少なくとも２つ
   の電気−機械エネルギー変換素子と、 を具備しており、上記電気−機械エネルギー変換素子の
   夫々に、予め定められた位相差を有する交番電圧を印加
   し、上記ベース部における上記梁部の両側に、屈曲振動
   を発生させる超音波振動子であって、 上記ベース部と梁部における共振周波数を略一致させた
   ことを特徴とする超音波振動子。
2. 【請求項２】 さらに、上記梁部の、上記屈曲振動の振
   幅方向と垂直に形成された端面に圧接され、上記超音波
   振動子と相対的に移動可能に構成された移動体を有する
   ことを特徴とする、請求項１に記載の超音波振動子。
3. 【請求項３】 上記電気−機械エネルギー変換素子は、
   積層型の圧電素子であることを特徴とする、請求項１に
   記載の超音波振動子。