JPH08145609A - 位置検出装置 - Google Patents
位置検出装置Info
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- JPH08145609A JPH08145609A JP28655794A JP28655794A JPH08145609A JP H08145609 A JPH08145609 A JP H08145609A JP 28655794 A JP28655794 A JP 28655794A JP 28655794 A JP28655794 A JP 28655794A JP H08145609 A JPH08145609 A JP H08145609A
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Links
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Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 位置検出装置の信頼性を維持しながら、小型
化することを目的とする。 【構成】 位置検出目盛９ａを有する薄板状スケール１
をスケールベース２上にこの位置検出目盛方向に沿って
複数の固定部８，８‥‥を設けて固定した位置検出装置
において、この複数の固定部８の間に基準位置目盛１０
ａを設けるようにしたものである。
化することを目的とする。 【構成】 位置検出目盛９ａを有する薄板状スケール１
をスケールベース２上にこの位置検出目盛方向に沿って
複数の固定部８，８‥‥を設けて固定した位置検出装置
において、この複数の固定部８の間に基準位置目盛１０
ａを設けるようにしたものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は工作機械等に取り付けて
相対移動位置等を検出するのに使用される位置検出装置
に関する。
相対移動位置等を検出するのに使用される位置検出装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に位置検出目盛を有する金属等の薄
板状スケールを工作機械等に取り付ける場合に、その薄
板状スケールを直接工作機械等に取り付けずに、まず、
鉄、ステンレス等のスケールベースに取り付け、このス
ケールベースを工作機械等に取り付けるようにしてい
る。
板状スケールを工作機械等に取り付ける場合に、その薄
板状スケールを直接工作機械等に取り付けずに、まず、
鉄、ステンレス等のスケールベースに取り付け、このス
ケールベースを工作機械等に取り付けるようにしてい
る。
【０００３】この薄板状スケールをスケールベースに取
り付けるのに理想的な方法を本出願人が先に提案した
（特願平５−１１１４６２号）。
り付けるのに理想的な方法を本出願人が先に提案した
（特願平５−１１１４６２号）。
【０００４】これは図１２に示す如くで、この図１２に
おいて、１は磁性材より成る薄板状スケールを示し、こ
の薄板状スケール１は長手方向に移動距離を検出するた
めのインクリメンタル磁気目盛９ａが記録形成されてい
るインクリメンタルトラック９及び基準位置検出を行う
ための基準位置磁気目盛１０ａが記録形成されている基
準位置目盛トラック１０を有している。
おいて、１は磁性材より成る薄板状スケールを示し、こ
の薄板状スケール１は長手方向に移動距離を検出するた
めのインクリメンタル磁気目盛９ａが記録形成されてい
るインクリメンタルトラック９及び基準位置検出を行う
ための基準位置磁気目盛１０ａが記録形成されている基
準位置目盛トラック１０を有している。
【０００５】この薄板状スケール１に対向し、この薄板
状スケール１に対しインクリメンタル磁気目盛９ａの方
向に相対的に移動する如く位置検出ヘッド１１を設け
る。この位置検出ヘッド１１は、例えば磁気抵抗効果素
子によって、それらの磁気目盛９ａ及び１０ａを読み取
る如くなされている。
状スケール１に対しインクリメンタル磁気目盛９ａの方
向に相対的に移動する如く位置検出ヘッド１１を設け
る。この位置検出ヘッド１１は、例えば磁気抵抗効果素
子によって、それらの磁気目盛９ａ及び１０ａを読み取
る如くなされている。
【０００６】この薄板状スケール１は、その剛性が低い
ので、工作機械等に取り付ける為には、この薄板状スケ
ール１を剛性の高いスケールベース２に固定する必要が
あると共にこの薄板状スケール１は温度変化に対しても
正確な位置検出が行えるようにスケールベース２と一体
化する必要がある。
ので、工作機械等に取り付ける為には、この薄板状スケ
ール１を剛性の高いスケールベース２に固定する必要が
あると共にこの薄板状スケール１は温度変化に対しても
正確な位置検出が行えるようにスケールベース２と一体
化する必要がある。
【０００７】この為図１２に示す従来例においては、こ
の薄板状スケール１のインクリメンタルトラック９の下
側及び基準位置目盛トラック１０の上側を夫々このイン
クリメンタルトラック９方向に沿って、複数個所をスポ
ット溶接し固定している。図１２において、８は溶接部
である。
の薄板状スケール１のインクリメンタルトラック９の下
側及び基準位置目盛トラック１０の上側を夫々このイン
クリメンタルトラック９方向に沿って、複数個所をスポ
ット溶接し固定している。図１２において、８は溶接部
である。
【０００８】この場合この薄板状スケール１のスケール
ベース２に対する溶接固定を図１２に示す如く長手方向
（インクリメンタルトラック９方向）に複数の溶接部８
により行っているので、温度変化によるスケールベース
２の伸縮に対してこの薄板状スケール１も同様に伸縮す
る。
ベース２に対する溶接固定を図１２に示す如く長手方向
（インクリメンタルトラック９方向）に複数の溶接部８
により行っているので、温度変化によるスケールベース
２の伸縮に対してこの薄板状スケール１も同様に伸縮す
る。
【０００９】このスケールベース２は取付けネジ６によ
って被取り付け部（例えば工作機械）に良好に固定でき
るので、インクリメンタル磁気目盛９ａを有する薄板状
スケール１をこの被取り付け部に良好に固定できる。即
ちこの取り付けにより、薄板状スケール１、スケールベ
ース２及び被取り付け部が一体化したことになり、温度
変化や切削油等の外的変化に対しても安定になるので正
確な位置検出ができる。
って被取り付け部（例えば工作機械）に良好に固定でき
るので、インクリメンタル磁気目盛９ａを有する薄板状
スケール１をこの被取り付け部に良好に固定できる。即
ちこの取り付けにより、薄板状スケール１、スケールベ
ース２及び被取り付け部が一体化したことになり、温度
変化や切削油等の外的変化に対しても安定になるので正
確な位置検出ができる。
【００１０】またこの薄板状スケール１を接着剤により
スケールベース２に接着したときには耐環境性が悪く位
置検出の信頼性に乏しいが、本例によれば溶接により薄
板状スケール１をスケールベース２に固定しているの
で、耐環境性が良く信頼性の高い位置検出ができる。
スケールベース２に接着したときには耐環境性が悪く位
置検出の信頼性に乏しいが、本例によれば溶接により薄
板状スケール１をスケールベース２に固定しているの
で、耐環境性が良く信頼性の高い位置検出ができる。
【００１１】更に薄板状スケール１とスケールベース２
との温度膨張係数が異なっている場合でも、薄板状スケ
ール１はスケールベース２に良好に固定されているの
で、これらが一体化されていることになり、スケールベ
ース２の剛性をこの薄板状スケール１に対して十分高く
すれば、温度変化に対してもスケールべース２と同様の
伸縮を行うことになり、トータルの温度膨張係数として
は、ほぼスケールベース２の温度膨張係数と同じにな
る。
との温度膨張係数が異なっている場合でも、薄板状スケ
ール１はスケールベース２に良好に固定されているの
で、これらが一体化されていることになり、スケールベ
ース２の剛性をこの薄板状スケール１に対して十分高く
すれば、温度変化に対してもスケールべース２と同様の
伸縮を行うことになり、トータルの温度膨張係数として
は、ほぼスケールベース２の温度膨張係数と同じにな
る。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】斯る図１２例において
は薄板状スケール１をスケールベース２に取り付け固定
するのに薄板状スケール１のインクリメンタルトラック
９の下側及び基準位置目盛トラック１０の上側に複数個
所の溶接部８を設けているので、例えばインクリメンタ
ルトラック９の幅を４ｍｍ、基準位置目盛トラック１０
の幅を３ｍｍ、このインクリメンタルトラック９と基準
位置目盛トラック１０との間のガードバンドの幅を１ｍ
ｍ、インクリメンタルトラック９の下側の溶接部８の幅
を２ｍｍ、基準位置目盛トラック１０の上側の溶接部８
の幅を２ｍｍとしたときは、１２ｍｍの薄板状スケール
１の幅を必要とし、それだけ、この位置検出装置が大型
化する不都合があった。
は薄板状スケール１をスケールベース２に取り付け固定
するのに薄板状スケール１のインクリメンタルトラック
９の下側及び基準位置目盛トラック１０の上側に複数個
所の溶接部８を設けているので、例えばインクリメンタ
ルトラック９の幅を４ｍｍ、基準位置目盛トラック１０
の幅を３ｍｍ、このインクリメンタルトラック９と基準
位置目盛トラック１０との間のガードバンドの幅を１ｍ
ｍ、インクリメンタルトラック９の下側の溶接部８の幅
を２ｍｍ、基準位置目盛トラック１０の上側の溶接部８
の幅を２ｍｍとしたときは、１２ｍｍの薄板状スケール
１の幅を必要とし、それだけ、この位置検出装置が大型
化する不都合があった。
【００１３】本発明は斯る点に鑑み、位置検出装置とし
ての信頼性を維持しながら、小型化することを目的とす
る。
ての信頼性を維持しながら、小型化することを目的とす
る。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明位置検出装置は例
えば図１、図２に示す如く、位置検出目盛９ａを有する
薄板状スケール１をスケールベース２上にこの位置検出
目盛方向に沿って複数の固定部８，８‥‥８を設けて固
定した位置検出装置において、この複数の固定部８の間
に基準位置目盛１０ａを設けるようにしたものである。
えば図１、図２に示す如く、位置検出目盛９ａを有する
薄板状スケール１をスケールベース２上にこの位置検出
目盛方向に沿って複数の固定部８，８‥‥８を設けて固
定した位置検出装置において、この複数の固定部８の間
に基準位置目盛１０ａを設けるようにしたものである。
【００１５】また本発明位置検出装置は例えば図１、図
２に示す如く上述において、複数の固定部８の固定が溶
接であるものである。
２に示す如く上述において、複数の固定部８の固定が溶
接であるものである。
【００１６】
【作用】本発明によれば、複数の固定部８間に基準位置
目盛１０ａを設けるようにしたので、薄板状スケール１
をスケールベース２に例えば溶接、ネジ止め、超音波接
合等で固定したときにも、トラック幅方向について基準
位置目盛トラック１０と複数の固定部８とが重なり、そ
れだけ薄板状スケール１の幅を狭くすることができ、そ
れだけ位置検出装置を小型化できる。
目盛１０ａを設けるようにしたので、薄板状スケール１
をスケールベース２に例えば溶接、ネジ止め、超音波接
合等で固定したときにも、トラック幅方向について基準
位置目盛トラック１０と複数の固定部８とが重なり、そ
れだけ薄板状スケール１の幅を狭くすることができ、そ
れだけ位置検出装置を小型化できる。
【００１７】また本発明によればこの固定部８の固定を
溶接としたので、信頼性の高い位置検出を行うことがで
きる。
溶接としたので、信頼性の高い位置検出を行うことがで
きる。
【００１８】
【実施例】以下、図１、図２を参照して本発明位置検出
装置の一実施例につき説明しよう。この図１、図２にお
いて、図１２に対応する部分には同一符号を付して示
す。
装置の一実施例につき説明しよう。この図１、図２にお
いて、図１２に対応する部分には同一符号を付して示
す。
【００１９】図１、図２において、１は磁性材より成る
薄板状スケールを示し、この薄板状スケール１は長手方
向に沿って、移動距離を検出するための例えば１００μ
ｍピッチの等間隔のインクリメンタル磁気目盛９ａが記
録形成されているインクリメンタルトラック９を有して
いる。
薄板状スケールを示し、この薄板状スケール１は長手方
向に沿って、移動距離を検出するための例えば１００μ
ｍピッチの等間隔のインクリメンタル磁気目盛９ａが記
録形成されているインクリメンタルトラック９を有して
いる。
【００２０】この薄板状スケール１は、その剛性が低い
ので、工作機械等に取り付ける為にはこの薄板状スケー
ル１を剛性の高いスケールベース２に固定する必要があ
ると共にこの薄板状スケール１は温度変化に対しても正
確な位置検出が行えるようにスケールベース２と一体化
する必要がある。
ので、工作機械等に取り付ける為にはこの薄板状スケー
ル１を剛性の高いスケールベース２に固定する必要があ
ると共にこの薄板状スケール１は温度変化に対しても正
確な位置検出が行えるようにスケールベース２と一体化
する必要がある。
【００２１】この為本例においては図１、図２に示す如
く、この薄板状スケール１をスケールベース２上の所定
位置に配し、この薄板状スケール１のインクリメンタル
トラック９の上側及び下側を夫々このインクリメンタル
トラック９方向に沿って夫々複数個所をスポット溶接
し、この薄板状スケール１をスケールベース２上に固定
する。図１、図２において、８は溶接部である。
く、この薄板状スケール１をスケールベース２上の所定
位置に配し、この薄板状スケール１のインクリメンタル
トラック９の上側及び下側を夫々このインクリメンタル
トラック９方向に沿って夫々複数個所をスポット溶接
し、この薄板状スケール１をスケールベース２上に固定
する。図１、図２において、８は溶接部である。
【００２２】本例においては図１、図２に示す如くこの
薄板上スケール１のインクリメンタル磁気目盛９ａを記
録形成されたインクリメンタルトラック９の上側の溶接
部８と重ならない所定位置の溶接部８と溶接部８との間
に必要に応じた数の例えば３個のこの位置検出装置の基
準位置を示す基準位置磁気目盛１０ａを記録形成する。
薄板上スケール１のインクリメンタル磁気目盛９ａを記
録形成されたインクリメンタルトラック９の上側の溶接
部８と重ならない所定位置の溶接部８と溶接部８との間
に必要に応じた数の例えば３個のこの位置検出装置の基
準位置を示す基準位置磁気目盛１０ａを記録形成する。
【００２３】この場合、この薄板状スケール１において
インクリメンタルトラック９の上側においては複数の溶
接部８，８‥‥８と基準位置目盛トラック１０とが重な
り合うこととなる。
インクリメンタルトラック９の上側においては複数の溶
接部８，８‥‥８と基準位置目盛トラック１０とが重な
り合うこととなる。
【００２４】また、この場合スケールベース２に固定後
に薄板上スケールに磁気目盛を記録形成するときは磁気
ヘッドにより接触又は非接触でインクリメンタル磁気目
盛９ａ及び基準位置磁気目盛１０ａの一括連続記録、又
は固定部８の凸状の高さに応じて、インクリメンタル磁
気目盛９ａの記録後、基準位置磁気目盛１０ａの記録
（逆でも可）を行えば良い。またスケールベース２に固
定前に薄板状スケール１に磁気目盛を記録形成するとき
はインクリメンタル磁気目盛９ａ及び基準位置磁気目盛
１０ａの一括連続記録した後に、この薄板状スケール１
のテンション調整を行い精度を確認し固定するを可とす
る。
に薄板上スケールに磁気目盛を記録形成するときは磁気
ヘッドにより接触又は非接触でインクリメンタル磁気目
盛９ａ及び基準位置磁気目盛１０ａの一括連続記録、又
は固定部８の凸状の高さに応じて、インクリメンタル磁
気目盛９ａの記録後、基準位置磁気目盛１０ａの記録
（逆でも可）を行えば良い。またスケールベース２に固
定前に薄板状スケール１に磁気目盛を記録形成するとき
はインクリメンタル磁気目盛９ａ及び基準位置磁気目盛
１０ａの一括連続記録した後に、この薄板状スケール１
のテンション調整を行い精度を確認し固定するを可とす
る。
【００２５】本例位置検出装置においては、この薄板状
スケール１に対向し、この薄板状スケール１に対し、イ
ンクリメンタル磁気目盛９ａの方向に相対的に移動する
如く、位置検出ヘッド１１を設ける。この位置検出ヘッ
ド１１は例えば磁気抵抗効果素子によって、このインク
リメンタル磁気目盛９ａ及び基準位置磁気目盛１０ａを
読み取る如くなされている。
スケール１に対向し、この薄板状スケール１に対し、イ
ンクリメンタル磁気目盛９ａの方向に相対的に移動する
如く、位置検出ヘッド１１を設ける。この位置検出ヘッ
ド１１は例えば磁気抵抗効果素子によって、このインク
リメンタル磁気目盛９ａ及び基準位置磁気目盛１０ａを
読み取る如くなされている。
【００２６】この場合、溶接部８が図３に示す如く凸状
となるときは、位置検出ヘッド１１と薄板状スケール１
とのクリアランスＬ0 は、この凸状の高さＬ1 だけ狭く
なり、実質的クリアランスＬ2 はＬ0 −Ｌ1 となる。
となるときは、位置検出ヘッド１１と薄板状スケール１
とのクリアランスＬ0 は、この凸状の高さＬ1 だけ狭く
なり、実質的クリアランスＬ2 はＬ0 −Ｌ1 となる。
【００２７】このインクリメンタル磁気目盛９ａよりの
位置検出ヘッド１１の再生波長が例えば８０μｍのとき
は、このクリアランスＬ0 は約６０μｍなので、例えば
非接触で比較的応力をかけずに溶接できるレーザ溶接で
は、この溶接部８の凸状高さＬ1 が２０μｍ程度に抑え
られる。この為このインクリメンタル磁気目盛９ａより
の再生波長が８０μｍ以上であれば、この溶接部８の凸
状は問題がない。
位置検出ヘッド１１の再生波長が例えば８０μｍのとき
は、このクリアランスＬ0 は約６０μｍなので、例えば
非接触で比較的応力をかけずに溶接できるレーザ溶接で
は、この溶接部８の凸状高さＬ1 が２０μｍ程度に抑え
られる。この為このインクリメンタル磁気目盛９ａより
の再生波長が８０μｍ以上であれば、この溶接部８の凸
状は問題がない。
【００２８】また、このインクリメンタル磁気目盛９ａ
よりの位置検出ヘッド１１の再生波長が８０μｍ未満例
えば１０μｍであっても、研削や研磨等の後加工によ
り、この溶接部８の凸状部を除去すれば全く問題はなく
位置検出が行える。
よりの位置検出ヘッド１１の再生波長が８０μｍ未満例
えば１０μｍであっても、研削や研磨等の後加工によ
り、この溶接部８の凸状部を除去すれば全く問題はなく
位置検出が行える。
【００２９】以上述べた如く本例によれば溶接部８と溶
接部８との間に基準位置磁気目盛１０ａを設けるように
したので、この薄板状スケール１をスケールベース２に
溶接で固定しても、基準位置目盛トラック１０と複数の
溶接部８，８‥‥８とが重なり合い、それだけ薄板状ス
ケール１の幅を狭くすることができ、それだけ位置検出
装置を小型化することができる。
接部８との間に基準位置磁気目盛１０ａを設けるように
したので、この薄板状スケール１をスケールベース２に
溶接で固定しても、基準位置目盛トラック１０と複数の
溶接部８，８‥‥８とが重なり合い、それだけ薄板状ス
ケール１の幅を狭くすることができ、それだけ位置検出
装置を小型化することができる。
【００３０】具体的には例えばインクリメンタルトラッ
ク９の幅を４ｍｍ、基準位置目盛トラック１０の幅を３
ｍｍ、このインクリメンタルトラック９と基準位置目盛
トラック１０との間のガードバンドの幅を１ｍｍ、イン
クリメンタルトラック９の下側の複数の溶接部８，８‥
‥８の幅を２ｍｍとしたときにはこの薄板状スケール１
の幅を１０ｍｍとすることができる。
ク９の幅を４ｍｍ、基準位置目盛トラック１０の幅を３
ｍｍ、このインクリメンタルトラック９と基準位置目盛
トラック１０との間のガードバンドの幅を１ｍｍ、イン
クリメンタルトラック９の下側の複数の溶接部８，８‥
‥８の幅を２ｍｍとしたときにはこの薄板状スケール１
の幅を１０ｍｍとすることができる。
【００３１】また本例によればこの薄板状スケール１の
スケールベース２に対する溶接固定を図１、図２に示す
如く長手方向（インクリメンタルトラック９方向）に複
数の溶接部８により行っているので、温度変化によるス
ケールベース２の伸縮に対してこの薄板状スケール１も
同様に伸縮する。
スケールベース２に対する溶接固定を図１、図２に示す
如く長手方向（インクリメンタルトラック９方向）に複
数の溶接部８により行っているので、温度変化によるス
ケールベース２の伸縮に対してこの薄板状スケール１も
同様に伸縮する。
【００３２】このスケールベース２は取り付け孔３を介
して取付けネジによって被取り付け部（例えば工作機
械）に良好に固定できるので、インクリメンタル磁気検
出目盛９ａを有する薄板状スケール１をこの被取り付け
部に良好に固定できる。即ちこの取り付けにより、薄板
状スケール１、スケールベース２及び被取り付け部が一
体化したことになり、温度変化や切削油等の外的変化に
対しても安定になるので正確な位置検出ができる。
して取付けネジによって被取り付け部（例えば工作機
械）に良好に固定できるので、インクリメンタル磁気検
出目盛９ａを有する薄板状スケール１をこの被取り付け
部に良好に固定できる。即ちこの取り付けにより、薄板
状スケール１、スケールベース２及び被取り付け部が一
体化したことになり、温度変化や切削油等の外的変化に
対しても安定になるので正確な位置検出ができる。
【００３３】またこの薄板状スケール１を接着剤により
スケールベース２に接着したときには耐環境性が悪く位
置検出の信頼性に乏しいが、本例によれば溶接により薄
板状スケール１をスケールベース２に固定しているの
で、耐環境性が良く信頼性の高い位置検出がでる。
スケールベース２に接着したときには耐環境性が悪く位
置検出の信頼性に乏しいが、本例によれば溶接により薄
板状スケール１をスケールベース２に固定しているの
で、耐環境性が良く信頼性の高い位置検出がでる。
【００３４】更に薄板状スケール１とスケールベース２
との温度膨張係数が異なっている場合でも、薄板状スケ
ール１はスケールベース２に良好に固定されているの
で、これらが一体化されていることになり、スケールベ
ース２の剛性をこの薄板状スケール１に対して十分高く
すれば、温度変化に対してもスケールべース２と同様の
伸縮を行うことになり、トータルの温度膨張係数として
は、ほぼスケールベース２の温度膨張係数と同じにな
る。
との温度膨張係数が異なっている場合でも、薄板状スケ
ール１はスケールベース２に良好に固定されているの
で、これらが一体化されていることになり、スケールベ
ース２の剛性をこの薄板状スケール１に対して十分高く
すれば、温度変化に対してもスケールべース２と同様の
伸縮を行うことになり、トータルの温度膨張係数として
は、ほぼスケールベース２の温度膨張係数と同じにな
る。
【００３５】尚、図１、図２実施例においては基準位置
目盛１０ａをインクリメンタル磁気目盛９ａのインクリ
メンタルトラック９の上側のみ設けた例につき述べた
が、この基準位置磁気目盛１０ａを図４に示す如く、こ
のインクリメンタルトラック９の下側の溶接部８と溶接
部８との間の所定位置、例えばインクリメンタルトラッ
ク９の上側の基準位置磁気目盛１０ａと対応する位置に
設けるようにしても良い。
目盛１０ａをインクリメンタル磁気目盛９ａのインクリ
メンタルトラック９の上側のみ設けた例につき述べた
が、この基準位置磁気目盛１０ａを図４に示す如く、こ
のインクリメンタルトラック９の下側の溶接部８と溶接
部８との間の所定位置、例えばインクリメンタルトラッ
ク９の上側の基準位置磁気目盛１０ａと対応する位置に
設けるようにしても良い。
【００３６】この図４例においては、図１、図２例と同
様の作用効果が得られる他に、上及び下側の基準位置磁
気目盛１０ａを検出することにより位置検出ヘッド１１
が正常でなく、傾斜していても信号処理により正確に位
置検出ができる利益がある。
様の作用効果が得られる他に、上及び下側の基準位置磁
気目盛１０ａを検出することにより位置検出ヘッド１１
が正常でなく、傾斜していても信号処理により正確に位
置検出ができる利益がある。
【００３７】また図５は本発明をロータリーエンコーダ
に適用した例を示し、この図５は円盤状のスケールベー
ス２ａの外周に沿って、図１、図２例と同様に形成した
薄板状スケール１を図１、図２と同様に複数の溶接部
８，８‥‥８により溶接固定するようにしたものであ
る。
に適用した例を示し、この図５は円盤状のスケールベー
ス２ａの外周に沿って、図１、図２例と同様に形成した
薄板状スケール１を図１、図２と同様に複数の溶接部
８，８‥‥８により溶接固定するようにしたものであ
る。
【００３８】この場合薄板状スケール１のつなぎ部は図
６に示す如く、溶接部８のピッチを狭めたり、図７に示
す如く、このつなぎ部分をシーム溶接により溶接するよ
うにしても良い。図７において２１はシーム溶接部であ
る。
６に示す如く、溶接部８のピッチを狭めたり、図７に示
す如く、このつなぎ部分をシーム溶接により溶接するよ
うにしても良い。図７において２１はシーム溶接部であ
る。
【００３９】斯る図５例においても、図１、図２例と同
様の作用効果が得られることは容易に理解できよう。
様の作用効果が得られることは容易に理解できよう。
【００４０】また、図８は薄板状スケール１をスケール
ベース２にシーム溶接により溶接固定した例を示す。
ベース２にシーム溶接により溶接固定した例を示す。
【００４１】この図８につき説明するに薄板状スケール
１のインクリメンタル磁気目盛９ａより成るインクリメ
ンタルトラック９の下側を薄板状スケール１の長手方向
の全長に亘ってシーム溶接部２３として示す如くシーム
溶接すると共にこのインクリメンタルトラック９の上側
を長手方向に沿って複数例えば４個のシーム溶接部２
２，２２，２２，２２として示す如く断続的にシーム溶
接し、このシーム溶接部２２，２２間に基準位置磁気目
盛１０ａを記録形成する如くする。その他は図１、図２
例と同様に構成する。
１のインクリメンタル磁気目盛９ａより成るインクリメ
ンタルトラック９の下側を薄板状スケール１の長手方向
の全長に亘ってシーム溶接部２３として示す如くシーム
溶接すると共にこのインクリメンタルトラック９の上側
を長手方向に沿って複数例えば４個のシーム溶接部２
２，２２，２２，２２として示す如く断続的にシーム溶
接し、このシーム溶接部２２，２２間に基準位置磁気目
盛１０ａを記録形成する如くする。その他は図１、図２
例と同様に構成する。
【００４２】斯る図８例においても、図１、図２例と同
様の作用効果が得られることは容易に理解できよう。
様の作用効果が得られることは容易に理解できよう。
【００４３】また図９は、薄板状スケール１をスケール
ベース２に複数個のネジ１５により固定した例を示す。
ベース２に複数個のネジ１５により固定した例を示す。
【００４４】この図９につき説明するに、この薄板状ス
ケール１のインクリメンタル磁気目盛９ａより成るイン
クリメンタルトラック９の上側及び下側を夫々長手方向
に沿って所定間隔おきに複数個のネジ１５で複数個所を
ネジ止めし、固定する如くする。
ケール１のインクリメンタル磁気目盛９ａより成るイン
クリメンタルトラック９の上側及び下側を夫々長手方向
に沿って所定間隔おきに複数個のネジ１５で複数個所を
ネジ止めし、固定する如くする。
【００４５】この薄板状スケール１のインクリメンタル
トラック９上側のネジ止めしたネジ１５及び１５間の所
定位置に基準位置磁気目盛１０ａを記録形成する如くす
る。その他は図１、図２例と同様に構成する。
トラック９上側のネジ止めしたネジ１５及び１５間の所
定位置に基準位置磁気目盛１０ａを記録形成する如くす
る。その他は図１、図２例と同様に構成する。
【００４６】この場合、図９に示す如く薄板状スケール
１をスケールベース２に複数のネジ１５で固定するとき
でも図１０に示す如く、このネジ１５として皿ネジを使
用すれば、薄板状スケール１と位置検出ヘッド１１との
クリアランスの問題は生じない。
１をスケールベース２に複数のネジ１５で固定するとき
でも図１０に示す如く、このネジ１５として皿ネジを使
用すれば、薄板状スケール１と位置検出ヘッド１１との
クリアランスの問題は生じない。
【００４７】また、ネジ１５として図１１に示す如く頭
が凸状となっていても、その凸状の高さＬ1 がクリアラ
ンスＬ0 よりも小さければ良く、例えばネジ１５として
Ｍ２精密ネジを用いたときは、この凸状の高さＬ1 は
０．６ｍｍであるので、インクリメンタル磁気目盛９ａ
よりの再生波長が１ｍｍ以上であれば実質クリアランス
Ｌ2 は確保できる。
が凸状となっていても、その凸状の高さＬ1 がクリアラ
ンスＬ0 よりも小さければ良く、例えばネジ１５として
Ｍ２精密ネジを用いたときは、この凸状の高さＬ1 は
０．６ｍｍであるので、インクリメンタル磁気目盛９ａ
よりの再生波長が１ｍｍ以上であれば実質クリアランス
Ｌ2 は確保できる。
【００４８】斯る図９例においても、図１、図２例と同
様の作用効果が得られることは容易に理解できよう。ま
た、加工歪の少ないレーザ溶接を用いた場合、薄板状ス
ケール１の厚みが０．０５〜２ｍｍ程度までは容易に固
定でき、抵抗溶接や超音波接合でも同程度の厚みが固定
可能である。ネジ止めの場合は、この薄板状スケール１
の厚みに対する制約がないので、５ｍｍ厚のスケール材
を使用したものでも固定可能である。
様の作用効果が得られることは容易に理解できよう。ま
た、加工歪の少ないレーザ溶接を用いた場合、薄板状ス
ケール１の厚みが０．０５〜２ｍｍ程度までは容易に固
定でき、抵抗溶接や超音波接合でも同程度の厚みが固定
可能である。ネジ止めの場合は、この薄板状スケール１
の厚みに対する制約がないので、５ｍｍ厚のスケール材
を使用したものでも固定可能である。
【００４９】尚上述実施例においては、薄板状スケール
１のインクリメンタルトラック９の上側及び下側の両方
を複数の固定部を設けてスケールベース２に固定する如
く述べたが、この複数の固定部は薄板状スケール１の上
側又は下側のいずれか一方であっても良いことは勿論で
ある。
１のインクリメンタルトラック９の上側及び下側の両方
を複数の固定部を設けてスケールベース２に固定する如
く述べたが、この複数の固定部は薄板状スケール１の上
側又は下側のいずれか一方であっても良いことは勿論で
ある。
【００５０】また上述実施例においては磁気式の位置検
出装置の例につき述べたが、光学式の金属スケールを用
いた反射式、静電容量式等の位置検出装置にも本発明を
適用できることは勿論である。
出装置の例につき述べたが、光学式の金属スケールを用
いた反射式、静電容量式等の位置検出装置にも本発明を
適用できることは勿論である。
【００５１】また、本発明は上述実施例に限ることな
く、本発明の要旨を逸脱することなく、その他種々の構
成が採り得ることは勿論である。
く、本発明の要旨を逸脱することなく、その他種々の構
成が採り得ることは勿論である。
【００５２】
【発明の効果】本発明によれば複数の固定部間に基準位
置目盛１０ａを設けるようにしたので、薄板状スケール
１をスケールベース２に例えば溶接、ネジ止め、超音波
接合で固定したときにも、基準位置目盛トラックと複数
の固定部とが重なり、それだけ薄板状スケール１の幅を
狭くすることができ、それだけ位置検出装置を小型化で
きる利益がある。
置目盛１０ａを設けるようにしたので、薄板状スケール
１をスケールベース２に例えば溶接、ネジ止め、超音波
接合で固定したときにも、基準位置目盛トラックと複数
の固定部とが重なり、それだけ薄板状スケール１の幅を
狭くすることができ、それだけ位置検出装置を小型化で
きる利益がある。
【００５３】また本発明によればこの固定部の固定を溶
接としたので、信頼性の高い位置検出を行うことができ
る利益がある。
接としたので、信頼性の高い位置検出を行うことができ
る利益がある。
【図１】本発明位置検出装置の一実施例を示す斜視図で
ある。
ある。
【図２】図１例の要部の上面図である。
【図３】図１例の側面図である。
【図４】本発明の他実施例を示す要部の上面図である。
【図５】本発明の他の実施例を示す斜視図である。
【図６】図５例の説明に供する線図である。
【図７】図５例の説明に供する線図である。
【図８】本発明の他の実施例を示す要部の上面図であ
る。
る。
【図９】本発明の他の実施例を示す要部の上面図であ
る。
る。
【図１０】図９例の説明に供する断面図である。
【図１１】図９例の説明に供する側面図である。
【図１２】位置検出装置の例を示す斜視図である。
１ 薄板状スケール ２，２ａ スケールベース ８ 溶接部 ９ インクリメンタルトラック ９ａ インクリメンタル磁気目盛 １０ 基準位置目盛トラック １０ａ 基準位置磁気目盛 １１ 位置検出ヘッド
Claims (2)
- 【請求項１】 位置検出目盛を有する薄板状スケールを
スケールベース上に上記位置検出目盛方向に沿って複数
の固定部を設けて固定した位置検出装置において、 上記複数の固定部の間に基準位置目盛を設けるようにし
たことを特徴とする位置検出装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の位置検出装置において、 上記複数の固定部の固定が溶接であることをあることを
特徴とする位置検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28655794A JPH08145609A (ja) | 1994-11-21 | 1994-11-21 | 位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28655794A JPH08145609A (ja) | 1994-11-21 | 1994-11-21 | 位置検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08145609A true JPH08145609A (ja) | 1996-06-07 |
Family
ID=17705958
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28655794A Pending JPH08145609A (ja) | 1994-11-21 | 1994-11-21 | 位置検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08145609A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6532681B2 (en) | 1997-08-08 | 2003-03-18 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Position measuring system including partial scale elements |
| JP2007127649A (ja) * | 2005-11-04 | 2007-05-24 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 担持体にスケールを固定するための方法、そのために形成されたスケールならびにこのスケールを備えた担持体 |
| JP2020038141A (ja) * | 2018-09-05 | 2020-03-12 | ファナック株式会社 | 検出誤差を低減可能な磁気式変位検出器 |
| CN114508993A (zh) * | 2020-11-16 | 2022-05-17 | 精量电子（深圳）有限公司 | 磁阻位移测量装置 |
| WO2022264888A1 (ja) * | 2021-06-15 | 2022-12-22 | Ntn株式会社 | 角度検出装置 |
-
1994
- 1994-11-21 JP JP28655794A patent/JPH08145609A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6532681B2 (en) | 1997-08-08 | 2003-03-18 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Position measuring system including partial scale elements |
| DE19821558B4 (de) * | 1997-08-08 | 2007-09-13 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Maßstab und Verfahren zur Herstellung eines Maßstabes sowie Positionsmeßeinrichtung |
| JP2007127649A (ja) * | 2005-11-04 | 2007-05-24 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 担持体にスケールを固定するための方法、そのために形成されたスケールならびにこのスケールを備えた担持体 |
| JP2020038141A (ja) * | 2018-09-05 | 2020-03-12 | ファナック株式会社 | 検出誤差を低減可能な磁気式変位検出器 |
| CN114508993A (zh) * | 2020-11-16 | 2022-05-17 | 精量电子（深圳）有限公司 | 磁阻位移测量装置 |
| WO2022264888A1 (ja) * | 2021-06-15 | 2022-12-22 | Ntn株式会社 | 角度検出装置 |
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