JPH08115991A - Semiconductor device and manufacturing method thereof - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は外部端子部を平面上で格子状に配列さ
せた半導体装置及びその製造方法に関し、低コスト化を
図ると共に、信頼性及び電気的特性の向上を図ることを
課題とする。
【解決手段】半導体チップ４１を封止した樹脂領域２３
と、半導体チップ４１を搭載してワイヤ４３でボンディ
ングされるパターン層３２を有するパターン部２５が、
枠状端子部２７及び柱状端子部２８が形成された外部端
子部２６に接続された端子領域２４とでパッケージ２２
を構成する。
Kind Code: A1 Abstract: The present invention relates to a semiconductor device in which external terminal portions are arranged in a grid pattern on a plane and a method for manufacturing the semiconductor device, and at the same time achieves cost reduction and reliability and electrical characteristics improvement. This is an issue. A resin region 23 encapsulating a semiconductor chip 41
And the pattern portion 25 having the pattern layer 32 on which the semiconductor chip 41 is mounted and bonded by the wire 43,
The package 22 with the terminal region 24 connected to the external terminal portion 26 in which the frame-shaped terminal portion 27 and the columnar terminal portion 28 are formed.
Is configured.
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、外部端子を平面上
で格子状に配列させた半導体装置及びその製造方法に関
する。近年、電子機器の小型、薄型化及び高速、高機能
化へのニーズが高まる中で、構成する主要品の一つであ
る半導体装置においても小型化、高密度、高機能化が要
求されている。そのため、半導体装置はその外形をＱＦ
Ｐ（Ｑｕａｄ Ｆｌａｔ Ｐａｃｋａｇｅ），ＱＴＰ
（Ｑｕａｄ Ｔａｐｅ−ｃａｒｒｉｅｒ Ｐａｃｋａｇ
ｅ）等からＢＧＡ（Ｂａｌｌ Ｇｒｉｄ Ａｒｒｙ），
ＴＡＢ（ＴａｐｅＡｕｔｏｍａｔｅｄ Ｂｏｎｄｉｎ
ｇ）接続技術を用いたミニ又はマイクロ（μ）ＢＧＡに
移行してきている。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor device having external terminals arranged in a grid on a plane and a method for manufacturing the same. In recent years, with the increasing demand for smaller, thinner, higher speed, and higher functionality of electronic devices, miniaturization, high density, and high functionality are required for semiconductor devices, which are one of the main components of the electronic devices. . Therefore, the semiconductor device has a QF external shape.
P (Quad Flat Package), QTP
(Quad Tape-carrier Package
e) etc. to BGA (Ball Grid Array),
TAB (Tape Automated Bondin)
g) We are moving to mini or micro (μ) BGA using connection technology.
【０００２】そこで、半導体装置の小型形状に伴う信頼
性や電気的特性の向上が望まれている。Therefore, it is desired to improve the reliability and electrical characteristics of the semiconductor device due to its small size.
【０００３】[0003]
【従来の技術】図３３に、従来のμＢＧＡパッケージの
半導体装置の構成図を示す。図３３（Ａ）は断面図、図
３３（Ｂ）は平面図である。図３３（Ａ），（Ｂ）に示
す半導体装置１１は、半導体チップ１２上にはパッド１
３が所定数形成されており、半導体チップ１２のパッド
１３以外の部分に弾力性のある接着剤１４が形成されて
いる。また、半導体チップ１２の周囲側面には接着剤１
５ａにより保護又は放熱のための金属等の枠部１６が取
り付けられ、枠部１６上にも接着剤１５ｂが形成されて
いる。2. Description of the Related Art FIG. 33 is a block diagram of a conventional semiconductor device of a μBGA package. 33A is a cross-sectional view and FIG. 33B is a plan view. The semiconductor device 11 shown in FIGS. 33A and 33B has a pad 1 on the semiconductor chip 12.
3 is formed in a predetermined number, and an elastic adhesive 14 is formed on a portion other than the pad 13 of the semiconductor chip 12. Further, the adhesive 1 is attached to the peripheral side surface of the semiconductor chip 12.
A frame portion 16 made of metal or the like for protection or heat dissipation is attached by 5a, and an adhesive 15b is also formed on the frame portion 16.
【０００４】一方、ポリイミド（ＰＩ）等の樹脂フィル
ム１７上には銅箔のパターン１８が取着されており、パ
ターン１８は外部パッド１８ａとそれより延出されるリ
ード１８ｂにより構成されて、ＴＣ（Ｔａｐｅ Ｃａｒ
ｒｉｅｒ）が構成される。また、樹脂フィルム１７には
外部パッド１８に対応する部分に孔１９が形成されてお
り、孔１９内に外部パッド１８ａと接触する金又ははん
だのボール電極２０が格子配列で形成される。例えば、
ボール電極２０のピッチは0.5 mmに配列される。このボ
ール電極２０が外部端子となる。On the other hand, a copper foil pattern 18 is attached on a resin film 17 such as polyimide (PI). The pattern 18 is composed of an external pad 18a and a lead 18b extending from the external pad 18a and TC ( Tape Car
rier) is configured. In addition, holes 19 are formed in the resin film 17 at portions corresponding to the external pads 18, and gold or solder ball electrodes 20 that are in contact with the external pads 18a are formed in the holes 19 in a grid array. For example,
The pitch of the ball electrodes 20 is arranged at 0.5 mm. The ball electrode 20 serves as an external terminal.
【０００５】この樹脂フィルム１７が上述の接着剤１
４，１５ｂ上に取着される。そして、パターン１８から
延出されるリード１８ｂと半導体チップ１２のパッド１
３とが融着等により接続され、この部分がエポキシ等の
樹脂１５ｃにより封止される。このように、半導体装置
１１は、チップサイズに近い大きさでボール電極２０を
備えるμＢＧＡパッケージ構造で形成される。This resin film 17 is the above-mentioned adhesive 1.
It is mounted on 4, 15b. Then, the leads 18 b extending from the pattern 18 and the pads 1 of the semiconductor chip 12 are formed.
3 is connected by fusion or the like, and this portion is sealed with a resin 15c such as epoxy. As described above, the semiconductor device 11 is formed in the μBGA package structure including the ball electrode 20 having a size close to the chip size.
【０００６】ところで、上記半導体装置１１は、その平
面サイズが半導体チップ１２のサイズ又は端子数及び端
子ピッチより決定される。すなわち、端子数と端子ピッ
チから決定される面積が半導体チップ１２の面積を超え
ない場合には、半導体チップ１２上に形成されるパッド
１３が格子配列された外部端子の外側に配設されること
から半導体装置１１の平面サイズが決定される。The plane size of the semiconductor device 11 is determined by the size of the semiconductor chip 12, the number of terminals, and the terminal pitch. That is, when the area determined by the number of terminals and the terminal pitch does not exceed the area of the semiconductor chip 12, the pads 13 formed on the semiconductor chip 12 should be arranged outside the lattice-arranged external terminals. Then, the planar size of the semiconductor device 11 is determined.
【０００７】また、端子数及び端子ピッチから決定され
る面積が半導体チップ１２の面積を超える場合には、パ
ッド１３は必ずしも外部端子の外側にならず、格子配列
される外部端の面積により半導体装置１１の平面サイズ
が決定される。When the area determined by the number of terminals and the terminal pitch exceeds the area of the semiconductor chip 12, the pad 13 is not necessarily located outside the external terminals, and the area of the external end arranged in a lattice arrangement causes the semiconductor device. 11 plane sizes are determined.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述のような
半導体装置１１は、半導体チップ１２と外部端子との接
続がＴＡＢ技術であることから一品一様となって汎用性
がないという問題がある。However, the semiconductor device 11 as described above has a problem that the semiconductor chip 12 and the external terminal are connected by the TAB technique, and therefore the products are not uniform and have no versatility. .
【０００９】また、半導体チップ１２上に総ての外部端
子を集中させることは、例えば、３２４ピン以上の端子
数でパッド１３のピッチが８０μm 以下の場合に外部端
子のピッチを0.4 mm以下にする必要があり実装が困難と
なる。一方、外部端子ピッチを0.5 mm以上にすることは
半導体チップ１２のサイズを大きくする必要がありトー
タルコストの高騰を招くという問題がある。Further, to concentrate all the external terminals on the semiconductor chip 12, for example, when the pitch of the pads 13 is 80 μm or less when the number of terminals is 324 or more, the pitch of the external terminals is 0.4 mm or less. It is necessary and difficult to implement. On the other hand, if the external terminal pitch is 0.5 mm or more, it is necessary to increase the size of the semiconductor chip 12, which causes a problem of increasing the total cost.
【００１０】さらに、外部端子（バンプ電極２０）の形
成においてめっき処理が施されることから、コスト高を
招くという問題がある。また、半導体チップ１２の一部
分が露出した状態となって、信頼性を低下させるという
問題がある。Further, since the plating process is performed in the formation of the external terminals (bump electrodes 20), there is a problem that the cost is increased. In addition, there is a problem in that a part of the semiconductor chip 12 is exposed and reliability is lowered.
【００１１】そこで、本発明は、上記課題に鑑みなされ
たもので、低コスト化を図ると共に、信頼性及び電気特
性の向上を図る半導体装置及びその製造方法を提供する
ことを目的とする。Therefore, the present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a semiconductor device and a method for manufacturing the same which can reduce the cost and improve reliability and electric characteristics.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明では、下記の手段を講じたことを特徴とするも
のである。請求項１記載の発明では、所定数のパッドが
形成された半導体チップを覆う樹脂領域と、前記半導体
チップのパッドと電気的に接続された所定数の柱状端子
部及び所定数の枠状端子部が該樹脂領域から露出されて
配置された端子領域とを有して半導体装置が構成される
ことを特徴とするものである。In order to solve the above problems, the present invention is characterized by taking the following means. According to the invention of claim 1, a resin region covering a semiconductor chip on which a predetermined number of pads are formed, a predetermined number of columnar terminal portions and a predetermined number of frame-shaped terminal portions electrically connected to the pads of the semiconductor chip. And a terminal region exposed from the resin region, and the semiconductor device is configured.
【００１３】また、請求項２記載の発明では、前記請求
項１記載の端子領域は、前記柱状端子部が格子状に配列
され、少なくとも前記枠状端子部が前記柱状端子部の周
囲に配置されることを特徴とするものである。According to a second aspect of the present invention, in the terminal region according to the first aspect, the columnar terminal portions are arranged in a grid pattern, and at least the frame-shaped terminal portions are arranged around the columnar terminal portions. It is characterized by that.
【００１４】また、請求項３記載の発明では、前記請求
項１又は２記載の端子領域は、前記枠状端子部及び前記
柱状端子部で構成される外部端子部と、前記外部端子部
に接続されるもので、前記半導体チップが搭載されて前
記パッドと電気的接続が行われる接続部、及び前記枠状
端子部及び前記柱状端子部と接続される端子接続部が少
なくとも形成されたパターン部とを有して構成されるこ
とを特徴とするものである。Further, in the invention according to claim 3, the terminal region according to claim 1 or 2 is connected to an external terminal portion composed of the frame-shaped terminal portion and the columnar terminal portion, and the external terminal portion. And a pattern part in which at least a connection part on which the semiconductor chip is mounted and which is electrically connected to the pad, and a terminal connection part connected to the frame-shaped terminal part and the columnar terminal part are formed. It is characterized in that it is configured to have.
【００１５】また、請求項４記載の発明では、前記請求
項３記載のパターン部は、前記半導体チップを搭載する
ベース層に、前記接続部及び端子接続部が形成されたパ
ターン層が形成されてなることを特徴とするものであ
る。According to a fourth aspect of the present invention, in the pattern portion according to the third aspect, a pattern layer having the connection portion and the terminal connection portion is formed on a base layer on which the semiconductor chip is mounted. It is characterized by becoming.
【００１６】また、請求項５記載の発明では、前記請求
項４記載のベース層が、絶縁性のフィルム又は板状の金
属部材で形成されてなることを特徴とするものである。
また、請求項６記載の発明では、前記請求項５記載のベ
ース層は、前記パターン層の前記接続部に対応する部分
に開口部が形成され、前記半導体チップの前記パッドと
前記接続部とをワイヤにより電気的接続が行われてなる
ことを特徴とするものである。The invention according to claim 5 is characterized in that the base layer according to claim 4 is formed of an insulating film or a plate-shaped metal member.
Further, in the invention according to claim 6, the base layer according to claim 5 has an opening formed in a portion of the pattern layer corresponding to the connection portion, and connects the pad and the connection portion of the semiconductor chip. It is characterized in that electrical connection is made by wires.
【００１７】また、請求項７記載の発明では、前記請求
項４又は６記載のパターン層の前記接続部は、前記外部
端子部の外周の前記枠状端子部の上方に配置されてなる
ことを特徴とするものである。また、請求項８記載の発
明では、前記請求項３，６又は７記載の半導体チップの
パッドは、前記半導体チップの縁部に沿って二列に配置
されると共に、前記パターン層の接続部が前記パッドに
対して千鳥状に配置されることを特徴とするものであ
る。Further, in the invention according to claim 7, the connection portion of the pattern layer according to claim 4 or 6 is arranged above the frame-shaped terminal portion on the outer periphery of the external terminal portion. It is a feature. Further, in the invention according to claim 8, the pads of the semiconductor chip according to claim 3, 6 or 7 are arranged in two rows along the edge portion of the semiconductor chip, and the connection portion of the pattern layer is The pads are arranged in a staggered pattern with respect to the pad.
【００１８】また、請求項９記載の発明では、前記請求
項２記載の枠状端子部が、前記柱状端子部の配列内及び
外周に所定数形成され、電源系及び接地系の少なくとも
何れかの役割を有してなることを特徴とするものであ
る。According to a ninth aspect of the invention, a predetermined number of the frame-shaped terminal portions of the second aspect are formed inside and outside the array of the columnar terminal portions, and at least one of a power supply system and a ground system is provided. It is characterized by having a role.
【００１９】また、請求項１０記載の発明では、前記請
求項２又は９記載の枠状端子部が、分割して形成されて
電源系及び接地系の少なくとも何れかの役割を有してな
ることを特徴とするものである。また、請求項１１記載
の発明では、基板に対して実装する端子となる所定数の
枠状端子部及び所定数の柱状端子部が肉薄状態で連結さ
れて形成された外部端子部に、前記枠状端子部及び柱状
端子部に対応する端子接続部を有すると共に、搭載する
半導体チップと電気的接続を行うための接続部が前記枠
状端子部の上方に位置されるように形成されたパターン
層を有するパターン部が接続される工程と、前記パター
ン部上に前記半導体チップを搭載して前記パターン層の
接続部との電気的接続を行う工程と、前記外部端子部を
露出させ、前記半導体チップを樹脂により封止する工程
と、露出された前記外部端子部における前記枠状端子部
と前記柱状端子部との連結状態を分離させる工程とを含
んで半導体装置の製造方法を構成することを特徴とする
ものである。Further, in the invention of claim 10, the frame-shaped terminal portion of claim 2 or 9 is formed in a divided manner and has at least one of the role of a power supply system and a ground system. It is characterized by. In the invention according to claim 11, the frame is attached to the external terminal portion formed by thinly connecting a predetermined number of frame-shaped terminal portions and a predetermined number of columnar terminal portions, which are terminals to be mounted on the substrate. Pattern layer having terminal connecting portions corresponding to the terminal portions and the columnar terminal portions, and the connecting portions for electrically connecting to the mounted semiconductor chip are located above the frame-shaped terminal portions. A step of connecting the pattern portion having the above step, a step of mounting the semiconductor chip on the pattern portion to electrically connect with the connection portion of the pattern layer, and exposing the external terminal portion, and the semiconductor chip And a step of separating the frame-shaped terminal portion and the columnar terminal portion in the exposed external terminal portion from each other by connecting them with a resin, thereby forming a semiconductor device manufacturing method. When Is shall.
【００２０】また、請求項１２記載の発明では、基板に
対して実装する端子となる所定数の枠状端子部及び所定
数の柱状端子部が肉薄状態で連結されて形成された外部
端子部の一方面上に、前記枠状端子部の一部、及び全部
の前記柱状端子部の面を表出させて絶縁層を形成する工
程と、前記絶縁層上に、前記枠状端子部の一部及び柱状
端子部の面に接触すると共に、搭載する半導体チップと
の電気的接続を行うための接続部をパターニングした導
体金属のパターン層を形成する工程と、前記パターン層
上に、前記接続部を表出させる開口部を形成した上部絶
縁層を形成する工程と、前記上部絶縁層上に、前記半導
体チップを搭載して前記パターン層の接続部との電気的
接続を行う工程と、前記外部端子部を露出させ、前記半
導体チップを樹脂により封止する工程と、露出された前
記外部端子部における前記枠状端子部と前記柱状端子部
との連結状態を分離させる工程とを含んで半導体装置の
製造方法を構成することを特徴とするものである。According to the twelfth aspect of the present invention, there is provided an external terminal portion formed by thinly connecting a predetermined number of frame-shaped terminal portions and a predetermined number of columnar terminal portions, which are terminals to be mounted on the substrate. A step of exposing a part of the frame-shaped terminal portion and the surfaces of all the columnar terminal portions on one surface to form an insulating layer; and a part of the frame-shaped terminal portion on the insulating layer. And a step of contacting the surface of the columnar terminal portion and forming a pattern layer of a conductive metal in which a connecting portion for electrically connecting with a semiconductor chip to be mounted is patterned, and the connecting portion is formed on the pattern layer. A step of forming an upper insulating layer in which an opening for exposing is formed, a step of mounting the semiconductor chip on the upper insulating layer and electrically connecting with a connecting portion of the pattern layer, and the external terminal Part is exposed and the semiconductor chip is A method for manufacturing a semiconductor device is configured to include a step of further sealing and a step of separating a connection state of the frame-shaped terminal portion and the columnar terminal portion in the exposed external terminal portion. It is a thing.
【００２１】また、請求項１３記載の発明では、前記請
求項１１又は１２の外部端子部は、所定の金属導体板の
一方面に、前記枠状端子部及び柱状端子部となるパター
ンのレジストを塗布すると共に、その反対面全面にレジ
ストを塗布する工程と、前記一方面をハーフエッチング
して前記枠状端子部と前記柱状端子部とを肉薄状態で連
結して形成する工程と、前記レジストを剥離する工程と
により形成されることを特徴とするものである。Further, in the invention according to claim 13, the external terminal part according to claim 11 or 12 is provided with a resist having a pattern to be the frame-shaped terminal part and the columnar terminal part on one surface of a predetermined metal conductor plate. Along with applying, a step of applying a resist to the entire opposite surface, a step of half-etching the one surface to connect the frame-shaped terminal portion and the columnar terminal portion in a thin state to form, and the resist. It is formed by a step of peeling.
【００２２】また、請求項１４記載の発明では、前記請
求項１３記載の外部端子部の連結部分を突き上げにより
前記枠状端子部及び柱状端子部を両面で突出させた形状
に形成することを特徴とするものである。According to a fourteenth aspect of the present invention, the connecting portion of the external terminal portion according to the thirteenth aspect is pushed up to form the frame-shaped terminal portion and the columnar terminal portion in a shape in which they are projected on both sides. It is what
【００２３】また、請求項１５記載の発明では、前記請
求項１１又は１２記載の外部端子部は、所定の金属導体
板の両面より押圧する塑性加工により、前記枠状端子部
及び柱状端子部を両面で突出させて肉薄で連結状態に形
成することを特徴とするものである。Further, in the invention according to claim 15, the external terminal portion according to claim 11 or 12 is formed into the frame-shaped terminal portion and the columnar terminal portion by plastic working by pressing from both surfaces of a predetermined metal conductor plate. It is characterized in that it is formed in a thin and connected state by protruding on both sides.
【００２４】また、請求項１６記載の発明では、前記請
求項１１記載のパターン部は、絶縁性フィルム上に前記
接続部を表出させる開口部を形成して前記パターン層と
なる金属箔を貼着し、フォトエッチングにより前記接続
部及び前記端子接続部を形成することを特徴とするもの
である。In the invention according to claim 16, the pattern part according to claim 11 has an opening for exposing the connection part formed on an insulating film, and a metal foil to be the pattern layer is attached to the pattern part. Then, the connection portion and the terminal connection portion are formed by photolithography.
【００２５】また、請求項１７記載の発明では、前記請
求項１１記載のパターン部は、金属導体板に打ち抜き又
はエッチングにより前記接続部を表出させる開口部を形
成して前記パターン層となる金属箔を貼着し、フォトエ
ッチングにより前記接続部及び前記端子接続部を形成す
ることを特徴とするものである。In the invention according to claim 17, the pattern part according to claim 11 is a metal serving as the pattern layer by forming an opening for exposing the connection part by punching or etching in a metal conductor plate. It is characterized in that a foil is attached and the connection portion and the terminal connection portion are formed by photoetching.
【００２６】また、請求項１８記載の発明では、前記請
求項１１又は１２の外部端子部は、２枚の金属導体板の
それぞれの一方面に、前記枠状端子部及び柱状端子部を
肉薄で連結形成するための凹部がハーフエッチングによ
り形成され、それぞれの金属導体板を接合して、少くと
も一方面に前記枠状端子部及び柱状端子部となる突出部
分を形成することを特徴とするものである。In the invention according to claim 18, the external terminal portion according to claim 11 or 12 is such that the frame-shaped terminal portion and the columnar terminal portion are thin on one surface of each of the two metal conductor plates. A concave portion for connecting and forming is formed by half etching, and the respective metal conductor plates are joined to each other to form a protruding portion which becomes the frame-shaped terminal portion and the columnar terminal portion on at least one surface. Is.
【００２７】また、請求項１９記載の発明では、前記請
求項１１又は１２の外部端子部は、前記枠状端子部とな
る金属線枠及び前記柱状端子部となる金属球が形成さ
れ、前記金属線枠及び金属球を、金属導体板にハーフエ
ッチングにより形成した溝及び凹部に嵌合して取り付け
て形成することを特徴とするものである。Further, in the invention according to claim 19, in the external terminal portion according to claim 11 or 12, a metal wire frame serving as the frame-shaped terminal portion and a metal ball serving as the columnar terminal portion are formed, It is characterized in that the wire frame and the metal sphere are fitted and attached to the groove and the recess formed in the metal conductor plate by half etching.
【００２８】また、請求項２０記載の発明では、前記請
求項１１又は１２記載の柱状端子部は、前記肉薄部より
上部における断面積が前記肉薄部より下部における断面
積より小さくなるよう形成したことを特徴とするもので
ある。According to the twentieth aspect of the invention, the columnar terminal portion according to the eleventh or twelfth aspect is formed such that the cross-sectional area above the thin portion is smaller than the cross-sectional area below the thin portion. It is characterized by.
【００２９】また、請求項２１記載の発明では、半導体
チップと、前記半導体チップと電気的に接続され前記半
導体チップの外側方向に延出するリード部と、前記リー
ド部と一体的に接続されると共に前記リード部に対して
略直角下方向に延出する外部接続端子部とにより構成さ
れるリード体と、前記半導体チップの下面及び前記リー
ド部の下面を露出した状態で前記半導体チップ及びリー
ド部を封止する封止樹脂と、少なくとも前記半導体チッ
プの下面及び前記リード部の下面を被覆すると共に、前
記外部接続端子部が貫通された状態で配設される絶縁部
材とを具備してなる半導体装置を特徴とするものであ
る。According to the invention of claim 21, a semiconductor chip, a lead portion that is electrically connected to the semiconductor chip and extends outward of the semiconductor chip, and is integrally connected to the lead portion. Together with a lead body including an external connection terminal portion extending downward at substantially right angles to the lead portion, the semiconductor chip and the lead portion with the lower surface of the semiconductor chip and the lower surface of the lead portion exposed. And a sealing resin that seals the lower surface of the semiconductor chip and the lower surface of the lead portion, and an insulating member that is arranged in a state where the external connection terminal portion is penetrated. It is characterized by a device.
【００３０】また、請求項２２記載の発明では、前記請
求項２１記載の半導体装置において、前記リード体を構
成する外部接続端子部を柱状端子部と、前記柱状端子部
の下方端部に形成された端子端部とにより構成し、か
つ、前記リード部及び前記端子端部の材質を前記柱状端
子部の材質に対しレジスト作用を有する材料により形成
したことを特徴とするものである。According to a twenty-second aspect of the invention, in the semiconductor device according to the twenty-first aspect, the external connection terminal portion forming the lead body is formed on the columnar terminal portion and the lower end portion of the columnar terminal portion. And a terminal end portion, and the lead portion and the terminal end portion are made of a material having a resist action with respect to the material of the columnar terminal portion.
【００３１】また、請求項２３記載の発明では、前記請
求項２２記載の半導体装置において、前記リード部は、
ニッケル（Ｎｉ）層，アルミニウム（Ａｌ）層，或いは
チタン（Ｔｉ）層の上部に金（Ａｕ）層，銀（Ａｇ）
層，或いはパラジウム（Ｐｄ）層が形成された構成とさ
れており、かつ、前記柱状端子部は、銅（Ｃｕ）により
形成された構成とされており、かつ、前記端子端部は、
ニッケル（Ｎｉ）層，アルミニウム（Ａｌ）層，或いは
チタン（Ｔｉ）層の下部に金（Ａｕ）層，銀（Ａｇ）
層，或いはパラジウム（Ｐｄ）層が形成された構成とさ
れていることを特徴とするものである。According to a twenty-third aspect of the invention, in the semiconductor device according to the twenty-second aspect, the lead portion is
A gold (Au) layer and a silver (Ag) layer are formed on the nickel (Ni) layer, the aluminum (Al) layer, or the titanium (Ti) layer.
Layer or a palladium (Pd) layer is formed, the columnar terminal portion is formed of copper (Cu), and the terminal end portion is
Under the nickel (Ni) layer, aluminum (Al) layer, or titanium (Ti) layer, a gold (Au) layer, silver (Ag) layer
A layer or a palladium (Pd) layer is formed.
【００３２】また、請求項２４記載の発明では、前記請
求項２１乃至２３のいずれかに記載の半導体装置におい
て、前記半導体チップと前記絶縁部材との間に第２の絶
縁部材を介装したことを特徴とするものである。Further, in the invention described in claim 24, in the semiconductor device according to any one of claims 21 to 23, a second insulating member is interposed between the semiconductor chip and the insulating member. It is characterized by.
【００３３】また、請求項２５記載の発明では、前記請
求項２４記載の半導体装置において、前記外部接続端子
部を前記半導体チップの内周部、或いは前記半導体チッ
プの内周部及び外周部の双方に配設したことを特徴とす
るものである。According to a twenty-fifth aspect of the invention, in the semiconductor device according to the twenty-fourth aspect, the external connection terminal portion is the inner peripheral portion of the semiconductor chip, or both the inner peripheral portion and the outer peripheral portion of the semiconductor chip. It is characterized in that it is arranged in.
【００３４】また、請求項２６記載の発明では、前記請
求項２２記載の半導体装置の製造方法であって、前記柱
状端子部となる基板の上面に前記リード部を形成すると
共に、前記基板の下面に前記端子端部を形成してリード
フレームを形成するリードフレーム形成工程と、前記リ
ードフレーム形成工程において形成されたリードフレー
ムの基板上面の所定位置に、可溶性絶縁材を用いて前記
半導体チップを搭載すると共に、前記半導体チップと前
記リード部とを電気的に接続する半導体チップ搭載工程
と、前記半導体チップ及び前記リード部を封止樹脂によ
り封止する封止樹脂配設工程と、前記端子端部の配設位
置を残し前記基板及び前記可溶性絶縁材を除去する基板
除去工程と、前記基板除去工程を行うことにより露出さ
れた前記半導体チップの下面及び前記リード部の下面を
前記外部接続端子部を除き絶縁部材で被覆する絶縁部材
配設工程と、前記絶縁部材より突出した前記柱状端子部
及び前記端子端部よりなる外部接続端子部の表面に外装
膜を形成する外装工程とを具備することを特徴とするも
のである。According to a twenty-sixth aspect of the present invention, in the method of manufacturing a semiconductor device according to the twenty-second aspect, the lead portion is formed on the upper surface of the substrate which becomes the columnar terminal portion, and the lower surface of the substrate is formed. A lead frame forming step of forming the terminal end portion on a lead frame to form a lead frame; and mounting the semiconductor chip using a fusible insulating material at a predetermined position on the upper surface of the substrate of the lead frame formed in the lead frame forming step. And a semiconductor chip mounting step of electrically connecting the semiconductor chip and the lead section, a sealing resin disposing step of sealing the semiconductor chip and the lead section with a sealing resin, and the terminal end section. Substrate removing step for removing the substrate and the soluble insulating material while leaving the placement position of the semiconductor chip, and the semiconductor chip exposed by performing the substrate removing step. An insulating member disposing step of covering the lower surface of the lead portion and the lower surface of the lead portion with an insulating member excluding the external connecting terminal portion, and an external connecting terminal portion including the columnar terminal portion protruding from the insulating member and the terminal end portion. And an exterior step of forming an exterior film on the surface of the.
【００３５】また、請求項２７記載の発明では、前記請
求項２４記載の半導体装置の製造方法であって、前記柱
状端子部となる基板の上面に前記リード部を形成すると
共に、前記基板の下面に前記端子端部を形成してリード
フレームを形成するリードフレーム形成工程と、前記リ
ードフレーム形成工程において形成されたリードフレー
ムの基板上面の所定位置に、不可溶性絶縁材を用いて前
記半導体チップを搭載すると共に、前記半導体チップと
前記リード部とを電気的に接続する半導体チップ搭載工
程と、前記半導体チップ及び前記リード部を封止樹脂に
より封止する封止樹脂配設工程と、前記端子端部の配設
位置を残し前記基板を除去する基板除去工程と、前記基
板除去工程を行うことにより露出された前記半導体チッ
プの下面及び前記リード部の下面を前記外部接続端子部
を除き絶縁部材で被覆する絶縁部材配設工程と、前記絶
縁部材より突出した前記柱状端子部及び前記端子端部よ
りなる外部接続端子部の表面に外装膜を形成する外装工
程とを具備することを特徴とするものである。According to a twenty-seventh aspect of the present invention, in the method of manufacturing a semiconductor device according to the twenty-fourth aspect, the lead portion is formed on the upper surface of the substrate which becomes the columnar terminal portion, and the lower surface of the substrate is formed. A lead frame forming step of forming the terminal end portion on a lead frame to form a lead frame; and a semiconductor chip using an insoluble insulating material at a predetermined position on the upper surface of the substrate of the lead frame formed in the lead frame forming step. A semiconductor chip mounting step of mounting and electrically connecting the semiconductor chip and the lead section, a sealing resin disposing step of sealing the semiconductor chip and the lead section with a sealing resin, and the terminal end A substrate removing step of removing the substrate leaving the disposition position of the portion, the lower surface of the semiconductor chip exposed by performing the substrate removing step, and the substrate removing step. An insulating member disposing step of covering the lower surface of the cord portion with an insulating member excluding the external connection terminal portion, and an outer surface of the external connection terminal portion including the columnar terminal portion and the terminal end portion protruding from the insulating member. And an exterior process for forming a film.
【００３６】また、請求項２８記載の発明では、前記請
求項２６乃至２７のいずれかに記載の半導体装置の製造
方法であって、前記リード部及び前記端子端部の材質を
前記基板の材質に対しレジスト作用を有する材料により
形成し、前記基板除去工程において、前記端子端部をレ
ジスト材として機能させ、前記基板を溶解するエッチン
グ液を用いて前記基板を溶解することにより前記柱状端
子部を形成することを特徴とするものである。According to a twenty-eighth aspect of the present invention, in the method of manufacturing a semiconductor device according to any one of the twenty-sixth to twenty-seventh aspects, the material of the lead portion and the terminal end portion is made of the material of the substrate. On the other hand, the columnar terminal portion is formed by forming a material having a resist action, and in the substrate removing step, the terminal end portion functions as a resist material, and the substrate is dissolved by using an etching solution that dissolves the substrate. It is characterized by doing.
【００３７】また、請求項２９記載の発明では、前記請
求項２８記載の半導体装置の製造方法であって、前記エ
ッチング液を用いて前記基板を溶解する前に、前記端子
端部に所定の外部接続端子部形状に対応した切欠部を形
成しておくことを特徴とするものである。According to a twenty-ninth aspect of the invention, there is provided the method of manufacturing a semiconductor device according to the twenty-eighth aspect, wherein a predetermined external portion is provided on the terminal end portion before the substrate is dissolved using the etching solution. It is characterized in that a notch corresponding to the shape of the connection terminal is formed.
【００３８】また、請求項３０記載の発明では、前記請
求項２６乃至２９のいずれかに記載の半導体装置の製造
方法であって、前記外装工程において、前記外部接続端
子部に対応した位置にディンプル部を形成したディンプ
ルプレートを用意し、先ず、前記ディンプルプレートの
ディンプル部に半田ペーストを充填し、次に前記半田ペ
ーストが充填されたディンプル部内に前記外部接続端子
部を挿入し、前記外部接続端子部を前記ディンプル部内
に挿入した状態で加熱処理を行うことにより、前記外部
接続端子部の表面に外装膜となる半田を形成することを
特徴とするものである。According to a thirtieth aspect of the invention, there is provided the method of manufacturing a semiconductor device according to any of the twenty-sixth to twenty-ninth aspects, wherein the dimples are provided at positions corresponding to the external connection terminal portions in the exterior step. Preparing a dimple plate having a portion formed therein, first filling the dimple portion of the dimple plate with a solder paste, and then inserting the external connection terminal portion into the dimple portion filled with the solder paste, the external connection terminal The heat treatment is performed in a state where the portion is inserted into the dimple portion to form a solder serving as an exterior film on the surface of the external connection terminal portion.
【００３９】また、請求項３１記載の発明では、前記請
求項２６乃至３０のいずれかに記載の半導体装置の製造
方法であって、前記リードフレーム形成工程において、
前記基板上で封止樹脂が配設される領域の境界部に樹脂
止め部を一体的に形成し、かつ、前記封止樹脂配設工程
において前記封止樹脂をポッティングにより配設し、か
つ、前記基板除去工程において前記樹脂止め部を前記基
板と共に除去することを特徴とするものである。According to a thirty-first aspect of the invention, there is provided the method of manufacturing a semiconductor device according to any one of the twenty-sixth to thirtieth aspects, wherein in the lead frame forming step,
A resin stopper is integrally formed at the boundary of the region where the sealing resin is disposed on the substrate, and the sealing resin is disposed by potting in the sealing resin disposing step, and In the substrate removing step, the resin stopper is removed together with the substrate.
【００４０】また、請求項３２記載の発明では、前記請
求項２６乃至３１のいずれかに記載の半導体装置の製造
方法であって、前記リードフレーム形成工程において、
先ず前記基板に前記リード部形成位置及び前記端子端部
形成位置に対応する部位に開口を有するレジストを形成
し、続いて、前記開口部にめっき法を用いて前記リード
部及び前記端子端部を形成し、その後に前記レジストを
除去することにより前記基板の所定位置に前記リード部
及び前記端子端部を形成することを特徴とするものであ
る。According to a thirty-second aspect of the present invention, in the method of manufacturing a semiconductor device according to any of the twenty-sixth to thirty-first aspects, in the lead frame forming step,
First, a resist having an opening at a portion corresponding to the lead portion forming position and the terminal end portion forming position is formed on the substrate, and then the lead portion and the terminal end portion are formed in the opening portion by using a plating method. It is characterized in that the lead portion and the terminal end portion are formed at predetermined positions on the substrate by forming and then removing the resist.
【００４１】また、請求項３３記載の発明では、前記請
求項２６乃至３１のいずれかに記載の半導体装置の製造
方法であって、前記リードフレーム形成工程において、
先ず前記基板に前記リード部形成位置及び前記端子端部
形成位置に対応する部位に開口が形成されたメタルマス
クを配設し、続いて、前記開口部に蒸着法を用いて前記
リード部及び前記端子端部を形成し、その後に前記メタ
ルマスクを取り外すことにより前記基板の所定位置に前
記リード部及び前記端子端部を形成することを特徴とす
るものである。According to a thirty-third aspect of the present invention, in the method of manufacturing a semiconductor device according to any of the twenty-sixth to thirty-first aspects, in the lead frame forming step,
First, a metal mask having openings formed on the substrate at positions corresponding to the lead portion forming position and the terminal end portion forming position is provided, and subsequently, the lead portion and the metal mask are formed in the opening portion by using a vapor deposition method. It is characterized in that the terminal end portion is formed, and then the metal mask is removed to form the lead portion and the terminal end portion at predetermined positions on the substrate.
【００４２】また、請求項３４記載の発明では、前記請
求項２６乃至３１のいずれかに記載の半導体装置の製造
方法であって、前記リードフレーム形成工程において、
先ず前記基板の上面及び下面の全面にめっき法を用いて
前記リード部及び前記端子端部となる導電材料を形成
し、続いて、前記基板の両面に形成された各導電材料
に、前記リード部形成位置及び前記端子端部形成位置に
対応する部位のみを被覆するレジストを形成し、その後
に前記レジストに被覆されていない導電材料をエッチン
グにより除去することにより、前記基板の所定位置に前
記リード部及び前記端子端部を形成することを特徴とす
るものである。According to a thirty-fourth aspect of the invention, in the method of manufacturing a semiconductor device according to any one of the twenty-sixth to thirty-first aspects, in the lead frame forming step,
First, a conductive material to be the lead portion and the terminal end portion is formed on the entire upper surface and lower surface of the substrate by using a plating method, and then the lead portion is added to each conductive material formed on both surfaces of the substrate. By forming a resist that covers only the portion corresponding to the formation position and the terminal end portion formation position, and then removing the conductive material not covered by the resist by etching, the lead portion is provided at a predetermined position on the substrate. And the terminal end portion is formed.
【００４３】更に、請求項３５記載の発明では、前記請
求項２６乃至３４のいずれかに記載の半導体装置の製造
方法であって、前記リードフレーム形成工程において、
１枚の基板に複数個の半導体装置に対応する前記リード
部及び前記端子端部を形成し、その後、１個分の半導体
装置の領域毎に前記基板を分割することにより前記リー
ドフレームを形成することを特徴とするものである。Further, in the invention described in Item 35, in the method for manufacturing a semiconductor device according to any one of Items 26 to 34, in the lead frame forming step,
The lead portion and the terminal end portion corresponding to a plurality of semiconductor devices are formed on one substrate, and then the lead frame is formed by dividing the substrate for each region of one semiconductor device. It is characterized by that.
【００４４】上記の各手段は下記のように作用する。請
求項１記載の発明では、半導体チップを覆う樹脂領域
と、枠状端子部及び柱状端子部が露出された端子領域と
で構成する。これにより、半導体チップの大きさに制約
されずに端子領域を設定することが可能となって汎用性
が向上して低コスト化を図ることが可能になると共に、
枠状端子部を電源系等の端子とすることで信頼性及び電
気的特性の向上を図ることが可能となる。Each of the above means operates as follows. According to the first aspect of the invention, the resin region covers the semiconductor chip and the terminal region where the frame-shaped terminal portion and the columnar terminal portion are exposed. As a result, the terminal area can be set without being restricted by the size of the semiconductor chip, the versatility is improved, and the cost can be reduced.
By using the frame-shaped terminal portion as a terminal for a power supply system or the like, it is possible to improve reliability and electrical characteristics.
【００４５】請求項２及び３記載の発明では、端子領域
を、柱状端子部及び少なくともその周囲に配置された枠
状端子部で構成する外部端子部に、半導体チップを搭載
して電気的接続が行われたパターン部を接続して形成す
る。これにより、半導体チップのレイアウトやチップサ
イズの違いが許容可能となってパッケージの汎用化より
低コスト化が図られ、枠状端子部を電源系等の端子とす
ることで信頼性及び電気的特性の向上を図ることが可能
となる。According to the second and third aspects of the present invention, the semiconductor chip is mounted on the external terminal portion having the columnar terminal portion and the frame-shaped terminal portion arranged at least around the columnar terminal portion for electrical connection. The formed pattern parts are connected and formed. As a result, differences in semiconductor chip layout and chip size can be tolerated, and the cost can be reduced compared to general-purpose packaging. By using the frame-shaped terminal section as a terminal for the power supply system, etc., reliability and electrical characteristics can be improved. Can be improved.
【００４６】請求項４乃至７記載の発明では、パターン
部を、ベース層上に接続部を表出させる開口部を形成し
てパターン層をし、枠状端子部上方で半導体チップとの
ワイヤボンディングにより電気的接続を行わせる配置と
する。これにより、半導体チップとの接続が容易かつ確
実に行うことが可能となる。In the invention according to claims 4 to 7, the pattern portion is formed with an opening for exposing the connection portion on the base layer to form the pattern layer, and wire bonding with the semiconductor chip is performed above the frame-shaped terminal portion. The electrical connection is made by As a result, the connection with the semiconductor chip can be made easily and reliably.
【００４７】請求項８記載の発明では、半導体チップの
パッドを二列配置とし、接続部を千鳥状に配置して対向
距離で遠隔同士及び近接同士でループ高さを異ならせて
ワイヤボンディングする。これにより、ワイヤの接触を
防止してパッド及び接続部の配置密度を向上させること
が可能となる。According to the eighth aspect of the invention, the pads of the semiconductor chip are arranged in two rows, the connecting portions are arranged in a staggered manner, and the loop heights are made different at remote distances and at close distances, and wire bonding is performed. This makes it possible to prevent the contact of the wires and improve the arrangement density of the pads and the connecting portions.
【００４８】請求項９及び１２記載の発明では、枠状端
子部を柱状端子部の配列内及び外周に適宜分割させ、電
源系及び接地系の役割を持たせる。これにより、耐ノイ
ズ性を向上させて電気的特性の向上を図ることが可能と
なる。請求項１１，１６乃至１９記載の発明では、枠状
端子部と柱状端子部とを肉薄で連結状態とした外部端子
部に、絶縁性フィルム又は金属導体板に金属箔を貼着し
てパターニングし、所定のめっき処理されたパターン部
を絶縁性接着剤で貼着すると共に、端子接触部分をめっ
き処理し、半導体チップ搭載後に樹脂封止して枠状端子
部と柱状端子部との連結状態を分離させる。これによ
り、汎用性を有して異なるチップサイズでも低コストで
製造することが可能となる。According to the ninth and twelfth aspects of the present invention, the frame-shaped terminal portion is appropriately divided into the array and the outer periphery of the columnar terminal portion so as to serve as a power supply system and a ground system. This makes it possible to improve noise resistance and electrical characteristics. According to the invention as set forth in claims 11 and 16, patterning is performed by attaching a metal foil to an insulating film or a metal conductor plate on the external terminal portion in which the frame-shaped terminal portion and the columnar terminal portion are thin and connected. , The predetermined plated pattern part is attached with an insulating adhesive, and the terminal contact part is plated, and the resin is sealed after mounting the semiconductor chip to connect the frame-shaped terminal part to the columnar terminal part. Separate. As a result, it becomes possible to manufacture with versatility at low cost even with different chip sizes.
【００４９】請求項１２記載の発明では、枠状端子部と
柱状端子部とが肉薄状態で連結された外部端子部上に、
絶縁層を介してパターン層を形成し、パターン層上に上
部絶縁層を形成して半導体チップを搭載し、樹脂封止後
に枠状端子部と柱状端子部の連結状態を分離させる。こ
れにより、汎用性を有して異なるチップサイズでも低コ
ストで製造することが可能となる。According to the twelfth aspect of the invention, on the external terminal portion in which the frame-shaped terminal portion and the columnar terminal portion are connected in a thin state,
A pattern layer is formed via an insulating layer, an upper insulating layer is formed on the pattern layer, a semiconductor chip is mounted on the pattern layer, and the connection between the frame-shaped terminal portion and the columnar terminal portion is separated after resin sealing. As a result, it becomes possible to manufacture with versatility at low cost even with different chip sizes.
【００５０】請求項１３乃至１５記載の発明では、外部
端子部を、ハーフエッチング後に連結部分を突き上げ、
又は金属導体板を両面より押圧して塑性加工して肉薄の
連結部分を形成する。これにより、両面で突出させた枠
状端子部及び柱状端子部を容易に形成することが可能と
なる。According to the thirteenth to fifteenth aspects of the present invention, the external terminal portion is half-etched and the connecting portion is pushed up.
Alternatively, the metal conductor plate is pressed from both sides and plastically worked to form a thin connecting portion. This makes it possible to easily form the frame-shaped terminal portion and the columnar terminal portion that are projected on both surfaces.
【００５１】また、請求項２０記載の発明では、肉薄部
より上部における断面積が肉薄部より下部における断面
積より小さくなるよう柱状端子部を形成したことによ
り、肉薄部をエッチングにより除去した状態において、
柱状端子部の上部部分と下部部分の断面積を略等しくす
ることができ、柱状端子部の形状を良好なものとするこ
とができる。According to the invention of claim 20, the columnar terminal portion is formed so that the cross-sectional area above the thin portion is smaller than the cross-sectional area below the thin portion, so that the thin portion is removed by etching. ,
The cross-sectional areas of the upper portion and the lower portion of the columnar terminal portion can be made substantially equal, and the shape of the columnar terminal portion can be improved.
【００５２】また、請求項２１記載の発明では、リード
体が半導体チップの外側方向に延出するリード部と、こ
のリード部に対して略直角下方向に延出する外部接続端
子部とにより構成されている。このため、外部接続端子
部の配設位置はリード部の延出長により決定されること
になるが、リード部の延出長は自由度を持って設定する
ことができる。よって、半導体チップの大きさに規制さ
れずに外部接続端子部の配設位置を設定することが可能
となり汎用性が向上する。また、リード部と外部接続端
子部とが一体的に形成されているため、リード部と外部
接続端子部とを電気的に接続するためにビアホールの形
成或いは配線の引き回しを行うことは不要となり、半導
体装置のコスト低減を図ることができる。According to the twenty-first aspect of the invention, the lead body comprises a lead portion extending outward of the semiconductor chip, and an external connection terminal portion extending downward substantially at right angles to the lead portion. Has been done. Therefore, the arrangement position of the external connection terminal portion is determined by the extension length of the lead portion, but the extension length of the lead portion can be set with a degree of freedom. Therefore, the arrangement position of the external connection terminal portion can be set without being restricted by the size of the semiconductor chip, and the versatility is improved. Further, since the lead portion and the external connection terminal portion are integrally formed, it is not necessary to form a via hole or lay out a wiring to electrically connect the lead portion and the external connection terminal portion, The cost of the semiconductor device can be reduced.
【００５３】また、請求項２２及び２３記載の発明で
は、リード体を構成する外部接続端子部を柱状端子部と
端子端部とにより構成し、かつリード部及び端子端部の
材質を柱状端子部の材質に対しレジスト作用を有する材
料により形成したことにより、リード部及び端子端部を
レジストとして柱状端子部の形成を行うことが可能とな
る。このため、柱状端子部の形成に別個にレジスト材を
配設する構成に比べて、柱状端子部を容易かつ安価に形
成することができる。Further, in the inventions according to claims 22 and 23, the external connection terminal portion constituting the lead body is constituted by the columnar terminal portion and the terminal end portion, and the material of the lead portion and the terminal end portion is made of the columnar terminal portion. The columnar terminal portion can be formed using the lead portion and the terminal end portion as the resist by forming the material having the resist action with respect to the material. Therefore, the columnar terminal portions can be formed easily and inexpensively as compared with the configuration in which the resist material is separately provided for forming the columnar terminal portions.
【００５４】また、請求項２４記載の発明では、半導体
チップと絶縁部材との間に第２の絶縁部材を介装したこ
とにより、第２の絶縁部材の下部に外部接続端子部或い
は半導体チップの冷却部材を配設することが可能とな
る。また、請求項２５記載の発明では、外部接続端子部
を半導体チップの内周部、或いは半導体チップの内周部
及び外周部の双方に配設したことにより、外部接続端子
部を高密度に配設することが可能となる。According to the twenty-fourth aspect of the present invention, since the second insulating member is interposed between the semiconductor chip and the insulating member, the external connection terminal portion or the semiconductor chip of the semiconductor chip is provided below the second insulating member. It becomes possible to arrange a cooling member. According to the twenty-fifth aspect of the present invention, the external connection terminal portions are arranged at a high density by disposing the external connection terminal portions on the inner peripheral portion of the semiconductor chip or on both the inner peripheral portion and the outer peripheral portion of the semiconductor chip. Can be installed.
【００５５】また、請求項２６記載の発明では、予めリ
ードフレーム形成工程において柱状端子部となる基板に
リード部及び端子端部を形成したリードフレームを形成
し、このリードフレームを基材として半導体装置の製造
を行うため、効率良く、かつ高精度に半導体装置を製造
することができる。また、半導体チップ搭載工程におい
て半導体チップはリードフレームの所定位置に可溶性絶
縁材を用いて搭載され、かつ基板除去工程において可溶
性絶縁材は除去されるため、半導体チップの下面は露出
された構成となる。従って、半導体チップの下面は直接
絶縁部材と接触する構成となり、放熱特性を向上させる
ことができる。また、絶縁部材配設工程を実施した後に
外部接続端子部の表面に外装膜を形成する外装工程を実
施するため、リード部及び半導体チップに外装膜が付着
し、隣接するリード部間及び半導体チップとリード部と
の間が外装膜により短絡することを確実に防止すること
ができる。According to the twenty-sixth aspect of the present invention, a lead frame having lead portions and terminal end portions formed on a substrate which will be a columnar terminal portion in advance in the lead frame forming step is formed, and the lead frame is used as a base material for a semiconductor device. As described above, the semiconductor device can be manufactured efficiently and highly accurately. Further, in the semiconductor chip mounting step, the semiconductor chip is mounted on the lead frame at a predetermined position using a soluble insulating material, and in the substrate removing step, the soluble insulating material is removed, so that the lower surface of the semiconductor chip is exposed. . Therefore, the lower surface of the semiconductor chip comes into direct contact with the insulating member, and the heat dissipation characteristics can be improved. In addition, since the exterior film is formed on the surface of the external connection terminal portion after the insulation member disposing step is performed, the exterior film is attached to the lead portion and the semiconductor chip, and the space between the adjacent lead portions and the semiconductor chip is increased. It is possible to reliably prevent the short circuit between the lead portion and the lead portion due to the exterior film.
【００５６】また、請求項２７記載の発明では、予めリ
ードフレーム形成工程において柱状端子部となる基板に
リード部及び端子端部を形成したリードフレームを形成
し、このリードフレームを基材として半導体装置の製造
を行うため、効率良く、かつ高精度に半導体装置を製造
することができる。また、絶縁部材配設工程を実施した
後に外部接続端子部の表面に外層膜を形成する外装工程
を実施するため、リード部及び半導体チップに外層膜が
付着し、隣接するリード部間及び半導体チップとリード
部との間が外層膜により短絡することを確実に防止する
ことができる。また、半導体チップ搭載工程において半
導体チップはリードフレームの所定位置に不可溶性絶縁
材を用いて搭載され、かつ基板除去工程において不可溶
性絶縁材は除去されず残存するため、この不可溶性絶縁
材の下部（即ち、半導体チップの下部）に外部接続端子
部或いは半導体チップで発生する熱を放熱する放熱部材
を配設することが可能となる。According to the twenty-seventh aspect of the present invention, a lead frame in which lead portions and terminal ends are formed is formed in advance on a substrate which will be a columnar terminal portion in the lead frame forming step, and the lead frame is used as a base material for a semiconductor device. As described above, the semiconductor device can be manufactured efficiently and highly accurately. In addition, since the outer layer film is formed on the surface of the external connection terminal portion after the insulating member disposing step is performed, the outer layer film adheres to the lead portion and the semiconductor chip, and the adjacent lead portions and the semiconductor chip It is possible to reliably prevent a short circuit between the lead portion and the lead portion due to the outer layer film. Further, in the semiconductor chip mounting process, the semiconductor chip is mounted on the lead frame at a predetermined position using an insoluble insulating material, and the insoluble insulating material remains without being removed in the substrate removing step. It is possible to dispose a heat dissipation member that dissipates heat generated in the external connection terminal portion or the semiconductor chip (that is, below the semiconductor chip).
【００５７】また、請求項２８記載の発明では、リード
部及び前記端子端部の材質を前記基板の材質に対しレジ
スト作用を有する材料により形成し、基板除去工程にお
いて端子端部をレジスト材として機能させてエッチング
処理を行い柱状端子部を形成するため、柱状端子部の形
成に際し別個にレジスト材を配設する必要がなくなる。
よって、別個にレジスト材を配設して柱状端子部を形成
する方法に比べて、柱状端子部の形成に要する工程を短
縮することができ、半導体装置の製造の簡単化を図るこ
とができ、これにより製品コストの低減を図ることが可
能となる。According to the twenty-eighth aspect of the present invention, the material of the lead portion and the terminal end portion is formed of a material having a resist action with respect to the material of the substrate, and the terminal end portion functions as a resist material in the substrate removing step. Then, the columnar terminal portion is formed by performing the etching process, so that it is not necessary to separately provide a resist material when forming the columnar terminal portion.
Therefore, compared with the method of disposing the resist material separately to form the columnar terminal portion, the process required to form the columnar terminal portion can be shortened, and the manufacturing of the semiconductor device can be simplified. This makes it possible to reduce the product cost.
【００５８】また、請求項２９記載の発明では、エッチ
ング液を用いて基板を溶解する前に、端子端部に所定の
外部接続端子部の形状に対応した切欠部を形成しておく
ことにより、基板に対するエッチングが端子端部に形成
された切欠部まで進まない状態においては、切欠部より
外周部分の端子端部は基板に固定された状態を維持す
る。しかるに、基板に対するエッチングが端子端部に形
成された切欠部まで進むと、切欠部より外周部分の端子
端部は基板から脱落する。よって、エッチング処理後に
端子端部が柱状端子部から鍔状に延出することを防止す
ることができる。According to the twenty-ninth aspect of the present invention, before the substrate is dissolved by using the etching liquid, the notch portion corresponding to the shape of the predetermined external connection terminal portion is formed at the terminal end portion. When the etching of the substrate does not proceed to the cutout portion formed in the terminal end portion, the terminal end portion of the outer peripheral portion of the cutout portion remains fixed to the substrate. However, when the etching of the substrate progresses to the cutout portion formed in the terminal end portion, the terminal end portion on the outer peripheral portion of the cutout portion falls off from the substrate. Therefore, it is possible to prevent the terminal end portion from extending from the columnar terminal portion in a brim shape after the etching process.
【００５９】また、請求項３０記載の発明では、外装工
程においてディンプルプレートのディンプル部に半田ペ
ーストを充填た上で外部接続端子部を挿入し、この外部
接続端子部をディンプル部内に挿入した状態で加熱処理
を行い外装膜となる半田を外部接続端子部の表面に形成
することにより、外装工程の簡単化を図ることができ
る。According to the thirtieth aspect of the invention, in the exterior step, the dimple portion of the dimple plate is filled with the solder paste, the external connection terminal portion is inserted, and the external connection terminal portion is inserted into the dimple portion. By performing a heat treatment to form solder as an exterior film on the surface of the external connection terminal portion, the exterior process can be simplified.
【００６０】即ち、従来のディンプルプレートを用いた
外装工程は、ディンプルプレートのディンプル部に半田
ペーストを充填した後に１回目の加熱処理を行いディン
プル部内に半田ボールを形成し、続いて２回目の加熱処
理を行い形成された半田ボールを外部接続端子部に配設
することが行われていた。That is, in the conventional packaging process using the dimple plate, after the solder paste is filled in the dimple portion of the dimple plate, the first heat treatment is performed to form the solder balls in the dimple portion, and then the second heat treatment is performed. It has been practiced to dispose the solder balls formed by performing the processing on the external connection terminal portion.
【００６１】これに対し、本請求項に係る発明では、外
部接続端子部を半田ペーストが充填されたディンプル部
内に挿入した状態のままで加熱処理を行い半田を外部接
続端子部に配設するため加熱処理を実施する回数を少な
くすることができ、よって外装工程の簡単化を図ること
ができる。On the other hand, in the invention according to the present claim, the heat treatment is performed while the external connection terminal portion is inserted into the dimple portion filled with the solder paste to dispose the solder on the external connection terminal portion. The number of times the heat treatment is performed can be reduced, so that the exterior process can be simplified.
【００６２】また、請求項３１記載の発明では、リード
フレーム形成工程において基板上で封止樹脂が配設され
る領域の境界部に樹脂止め部を一体的に形成することに
より、封止樹脂配設工程において封止樹脂をポッティン
グしても樹脂が上記の領域が漏出するとを防止すること
ができる。また、ポッティング処理は、モールド処理と
異なり金型を必要としないため封止樹脂配設工程の簡単
化及び製品コストの低減を図ることができる。また、樹
脂止め部は基板除去工程において基板と共に除去される
ため、半導体装置が製造された状態で樹脂止め部が邪魔
になるようなこともない。According to the thirty-first aspect of the present invention, in the lead frame forming step, the resin stopper is integrally formed at the boundary of the region where the sealing resin is arranged on the substrate, so that the sealing resin distribution is improved. Even if the sealing resin is potted in the installation step, it is possible to prevent the resin from leaking into the above-mentioned region. Further, unlike the molding process, the potting process does not require a mold, so that the sealing resin disposing process can be simplified and the product cost can be reduced. Further, since the resin stopper is removed together with the substrate in the substrate removing step, the resin stopper does not become an obstacle in the state where the semiconductor device is manufactured.
【００６３】また、請求項３２乃至３４記載の発明で
は、リードフレーム形成工程において基板の所定位置に
リード部及び端子端部が形成されたリードフレームを容
易かつ精度よく形成することができる。更に、請求項３
５記載の発明では、リードフレーム形成工程において、
１枚の基板に複数個の半導体装置に対応するリード部及
び前記端子端部を形成し、その後に１個分の半導体装置
の領域毎に基板を分割しリードフレームを形成すること
により、１枚の基板からリードフレームを多数個取りす
ることが可能となり、効率良くかつ精度良くリードフレ
ームを形成することができる。Further, according to the thirty-second to thirty-fourth aspects of the present invention, in the lead frame forming step, it is possible to easily and accurately form a lead frame having lead portions and terminal end portions formed at predetermined positions on the substrate. Further, claim 3
In the invention described in 5, in the lead frame forming step,
By forming lead portions and terminal ends corresponding to a plurality of semiconductor devices on one substrate, and then dividing the substrate into regions for one semiconductor device to form a lead frame, one sheet is formed. It is possible to take a large number of lead frames from the substrate, and the lead frames can be formed efficiently and accurately.
【００６４】[0064]
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面と共に説明する。 図１に、本発明の第１実施例
の構成図を示す。図１（Ａ）は離面からの全体斜視図、
図１（Ｂ）はその断面図である。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows a block diagram of a first embodiment of the present invention. FIG. 1A is an overall perspective view from the separation surface,
FIG. 1B is a sectional view thereof.
【００６５】図１（Ａ），（Ｂ）に示す半導体装置２１
は、図１（Ａ）において、パッケージ２２がモールド樹
脂で形成された樹脂領域２３と端子領域２４とで構成さ
れる。端子領域２４はフレキシブルのＰＷＢ（プリント
ワイヤリングボード）で形成されたパターン部２５と外
部端子部２６とで構成される。A semiconductor device 21 shown in FIGS. 1A and 1B.
1A, the package 22 includes a resin region 23 formed of a molding resin and a terminal region 24. The terminal region 24 is composed of a pattern portion 25 formed of a flexible PWB (print wiring board) and an external terminal portion 26.
【００６６】外部端子部２６は、銅等の金属導体で形成
されるもので、平面上外側に枠状端子部２７が形成さ
れ、枠状端子部２７の内領域に樹脂２３ａでそれぞれ絶
縁された所定数（例えば３２４本）の柱状端子部２８が
格子状に配列される。この枠状端子部２７は、後述する
ワイヤボンディングを行う場合のベースになると共に、
電源パターン又は接地パターンとしての機能を持たせる
ことにより、耐ノイズ性を向上させることができる。The external terminal portion 26 is formed of a metal conductor such as copper, and the frame-shaped terminal portion 27 is formed on the outer side in plan view, and is insulated in the inner region of the frame-shaped terminal portion 27 by the resin 23a. A predetermined number (for example, 324) of columnar terminal portions 28 are arranged in a grid pattern. The frame-shaped terminal portion 27 serves as a base for wire bonding, which will be described later, and
Noise resistance can be improved by providing a function as a power source pattern or a ground pattern.
【００６７】図１（Ｂ）において、パターン部２５は、
絶縁フィルム又は金属フレームのベース層３１と銅箔等
で形成されたパターン層３２とが例えばエポキシ系の絶
縁層３３を介在させて構成され、ベース層３１の中央部
分に半導体チップ４１が銀ペースト等の接着剤４２によ
り搭載される。パターン層３２は、柱状端子部２８に対
応する端子接続部３２ａとワイヤ接続部３２ｂがそれぞ
れ形成される。In FIG. 1B, the pattern portion 25 is
An insulating film or a base layer 31 of a metal frame and a pattern layer 32 formed of a copper foil or the like are formed with an epoxy insulating layer 33 interposed, for example, and a semiconductor chip 41 is silver paste or the like in the central portion of the base layer 31. It is mounted by the adhesive 42. In the pattern layer 32, a terminal connecting portion 32a and a wire connecting portion 32b corresponding to the columnar terminal portion 28 are formed, respectively.
【００６８】ベース層３１には半導体チップ４１の外側
周辺の位置に開口部３４が形成されてパターン層３２の
ワイヤ接続部がそれぞれ表われ、半導体チップ４１の外
周側に形成されたパッドとワイヤ４３によりそれぞれ電
気的に接続されている（図２において説明する）。Openings 34 are formed in the base layer 31 around the outer periphery of the semiconductor chip 41 to show the wire connection portions of the pattern layer 32, and the pads and wires 43 formed on the outer peripheral side of the semiconductor chip 41. Are electrically connected to each other (described in FIG. 2).
【００６９】そして、パターン部２５のパターン層３２
と端子領域２４の外部端子部２６（枠状端子部２７）と
が例えばエポキシ系の接着剤又は絶縁フィルムの絶縁層
３５を介在させて固着されている。このとき、パターン
層３２の端子接続部３２ａと外部端子部２６の柱状端子
部２８とが当接状態でめっき３６により電気的に接続さ
れた状態になっている。尚、露出している外部端子部２
６の枠状端子部２７と柱状端子部２８との表面には所定
のめっき処理が施されている（後述する）。ここで、図
２に、図１の一部切截の説明図を示す。図２（Ａ）は一
部切截の斜視図、図２（Ａ）はワイヤボンディング部分
の拡大図である。Then, the pattern layer 32 of the pattern portion 25
And the external terminal portion 26 (frame-shaped terminal portion 27) of the terminal region 24 are fixed to each other with an epoxy adhesive or an insulating layer 35 of an insulating film interposed therebetween. At this time, the terminal connecting portion 32 a of the pattern layer 32 and the columnar terminal portion 28 of the external terminal portion 26 are in a contact state and electrically connected by the plating 36. The exposed external terminal portion 2
The surfaces of the frame-shaped terminal portion 27 and the columnar terminal portion 28 of No. 6 are subjected to a predetermined plating treatment (described later). Here, FIG. 2 shows an explanatory view of the partial cutting of FIG. 2A is a partially cutaway perspective view, and FIG. 2A is an enlarged view of a wire bonding portion.
【００７０】図２（Ａ）において、図１において説明し
たように、ベース層３１の中央部分に半導体チップ４１
が搭載され、その周辺に開口部３４より表われるパター
ン層３２のワイヤ接続部３２ｂとワイヤ４３により電気
的に接続されている。図２（Ｂ）に示すように、半導体
チップ４１上にはパッド４１ａが、ベース層３１の開口
部３４に対して同位置で前後２列に形成されている。ま
た、開口部３４より表われるパターン層３２のワイヤ接
続部３２ｂの端部はワイヤボンディング用の大きさで千
鳥状に配列されて形成される。In FIG. 2A, as described with reference to FIG. 1, the semiconductor chip 41 is formed in the central portion of the base layer 31.
Is mounted, and is electrically connected to the wire connecting portion 32b of the pattern layer 32, which is exposed from the opening 34, and the wire 43 in the periphery thereof. As shown in FIG. 2B, pads 41 a are formed on the semiconductor chip 41 in two rows in the front and rear at the same position with respect to the opening 34 of the base layer 31. Further, the ends of the wire connecting portions 32b of the pattern layer 32, which are exposed from the openings 34, are formed in a zigzag arrangement in a size for wire bonding.
【００７１】そして、開口部３４に近いパッド４１ａ
と、半導体チップ４１に近いワイヤ接続部３２ｂとがワ
イヤ４３ａで電気的接続が行われる。また開口部３４よ
り遠いパッド４１ａと、半導体チップ４１より遠いワイ
ヤ接続部３２ｂとがワイヤ４３ｂにより、ワイヤ４３ａ
のループより高さの高い形状ループで電気的接続が行わ
れる。これにより、ワイヤ４３ａ，４３ｂ間の接触が防
止されて配線密度を向上させることができる。Then, the pad 41a near the opening 34
And the wire connecting portion 32b near the semiconductor chip 41 are electrically connected by the wire 43a. Further, the pad 41a farther from the opening 34 and the wire connecting portion 32b farther from the semiconductor chip 41 are connected to the wire 43a by the wire 43b.
The electrical connection is made by a shape loop having a height higher than that of the loop. As a result, contact between the wires 43a and 43b is prevented, and the wiring density can be improved.
【００７２】次に、図３に、図１のパターン部形成の製
造工程図を示す。図３（Ａ）はパターン部２５のベース
が絶縁フィルム（ＰＩ）の場合、図３（Ｂ）は金属フレ
ーム（銅系又はスズ・ニッケル系）の場合を示したもの
である。図３（Ａ）において、まずベース層３１となる
ポリイミド（ＰＩ）フィルムが用意され（ステップ
（Ｓ）１）、ワイヤ接続部３２ｂを表わすための開口部
３４がプレスによる打ち抜きにより形成される（Ｓ
２）。Next, FIG. 3 shows a manufacturing process drawing for forming the pattern portion shown in FIG. 3A shows the case where the base of the pattern portion 25 is an insulating film (PI), and FIG. 3B shows the case where it is a metal frame (copper-based or tin-nickel-based). In FIG. 3A, first, a polyimide (PI) film to be the base layer 31 is prepared (step (S) 1), and an opening 34 for representing the wire connecting portion 32b is formed by punching with a press (S).
2).
【００７３】続いて、ＰＩフィルム上に例えばエポキシ
系の絶縁性の接着剤（絶縁層３３となる）が塗布され
（Ｓ３）、パターン層３２となる銅箔が貼着される（Ｓ
４）。その後、銅箔貼着面に所定のレジスト塗布を行い
（Ｓ５）、所定パターン形成の露光を行う（Ｓ６）、露
光後、露光を行った面（片面）の化学研磨であるエッチ
ングを行い（Ｓ７）、その後レジスト剥離を行う（Ｓ
８）。Subsequently, for example, an epoxy-based insulating adhesive (which becomes the insulating layer 33) is applied on the PI film (S3), and a copper foil which becomes the pattern layer 32 is stuck (S).
4). After that, a predetermined resist is applied to the copper foil-attached surface (S5), exposure for forming a predetermined pattern is performed (S6), and after the exposure, etching that is chemical polishing of the exposed surface (one side) is performed (S7). ), And then the resist is stripped (S
8).
【００７４】これにより、ベース層３１の開口部３４よ
りパターン層３２のワイヤ接続部３２ｂが表われるもの
で、ここにワイヤボンディングのためのめっき処理
（金、銀またはパラジウム）が行われるものである（Ｓ
９）。一方、図３（Ｂ）において、ベース層３１を金属
フレームで構成する場合には、まず、銅系又は鉄・ニッ
ケル系の金属フレームが用意され（Ｓ１１）、ワイヤ接
続部３２ｂを表わすための開口部３４がプレス又はエッ
チングにより形成される（Ｓ１２）。As a result, the wire connection portion 32b of the pattern layer 32 is exposed from the opening 34 of the base layer 31, and the plating process (gold, silver or palladium) for wire bonding is performed there. (S
9). On the other hand, in FIG. 3B, when the base layer 31 is formed of a metal frame, first, a copper-based or iron-nickel-based metal frame is prepared (S11), and an opening for representing the wire connection portion 32b is formed. The portion 34 is formed by pressing or etching (S12).
【００７５】ここで、ベースが銅系の場合には、ベース
上にＳｎＮｉのめっき処理が行われる（Ｓ１３ａ）。開
口部３４の形成後、又は銅系ベース上へのめっき処理
後、絶縁層３３となるエポキシ系の絶縁性の接着剤が塗
布され（Ｓ１３）、パターン層３２となる銅箔が貼着さ
れる（Ｓ１４）。その後、銅箔貼着面に所定パターンに
応じたレジストが塗布され（Ｓ１５）、パターン形成の
露光を行う（Ｓ１６）。If the base is a copper base, SnNi is plated on the base (S13a). After forming the openings 34 or after plating on the copper-based base, an epoxy-based insulating adhesive that becomes the insulating layer 33 is applied (S13), and the copper foil that becomes the pattern layer 32 is attached. (S14). Then, a resist corresponding to a predetermined pattern is applied to the copper foil sticking surface (S15), and exposure for pattern formation is performed (S16).
【００７６】露光後、露光を行った面（片面）のエッチ
ングを行い（Ｓ１７）、エッチングされなかった部分の
レジスト剥離を行う（Ｓ１８）。そして、ベース層３１
の開口部３４より表われたパターン層３２のワイヤ接続
部３２ｂにワイヤボンディングのためのめっき処理
（金、銀又はパラジウム）が行われるものである（Ｓ１
９）。After the exposure, the exposed surface (one surface) is etched (S17), and the resist which is not etched is removed (S18). Then, the base layer 31
The plating process (gold, silver, or palladium) for wire bonding is performed on the wire connecting portion 32b of the pattern layer 32, which is exposed from the opening 34 of S1 (S1).
9).
【００７７】次に、図４に、図１の外部端子部の製造工
程図を示す。図４はエッチングにより外部端子部を形成
する場合を示している。図４において、まず例えば銅板
が用意され（Ｓ２１）、パターン部２５との接続面に上
記枠状端子部２７及び柱状端子部２８を形成するパター
ンでレジストが塗布されると共に（Ｓ２２）、パターン
部接続面の裏面全面にレジストが塗布される（Ｓ２
３）。Next, FIG. 4 shows a manufacturing process drawing of the external terminal portion of FIG. FIG. 4 shows a case where the external terminal portion is formed by etching. In FIG. 4, first, for example, a copper plate is prepared (S21), a resist is applied on the connection surface with the pattern portion 25 in a pattern for forming the frame-shaped terminal portion 27 and the columnar terminal portion 28 (S22), and the pattern portion is formed. A resist is applied to the entire back surface of the connection surface (S2
3).
【００７８】そして、両面エッチングを行い（Ｓ２
４）、エッチング後に両面のレジスト剥離を行う（Ｓ２
５）。この場合、パターン部接続面のエッチングはいわ
ゆるハーフエッチング状態で枠状端子部２７と柱状端子
部２８とは肉薄で連結された状態となる。Then, double-sided etching is performed (S2
4) After the etching, the resist on both sides is stripped (S2
5). In this case, the pattern-surface connecting surface is so-called half-etched so that the frame-shaped terminal portion 27 and the columnar terminal portion 28 are thinly connected.
【００７９】ここで、図５に、図４の外部端子部の後加
工の製造説明図を示す。又、図６に、図４の外部端子部
の他の形状の製造説明図を示す。図５（Ａ）において、
図４により形成した外部端子部２６は、パターン部接続
面に柱状端子部２８となる突起２８ａが形成されてお
り、その反対面はエッチング処理されない状態の平面形
状である。Here, FIG. 5 shows a manufacturing explanatory view of post-processing of the external terminal portion of FIG. 6 is a manufacturing explanatory view of another shape of the external terminal portion of FIG. In FIG. 5A,
The external terminal portion 26 formed according to FIG. 4 has a protrusion 28a which will be a columnar terminal portion 28 formed on the connection surface of the pattern portion, and the opposite surface thereof has a planar shape that is not etched.
【００８０】この外部端子部２６を、ポンチ５１ａ及び
ダイス５１ｂで構成されるプレス５１の、そのパターン
部接続面を平坦なポンチ５１ａとし、反対面を突起２８
間の谷部分に対応する突部５１ｂ1 が形成されたダイス
５１ｂ側とするように位置させる。The external terminal portion 26 of the press 51 constituted by the punch 51a and the die 51b has a flat punch 51a as its pattern connecting surface, and a projection 28 on the opposite surface.
It is positioned so as to be on the side of the die 51b on which the protrusion 51b 1 corresponding to the valley portion between is formed.
【００８１】そして、プレス５１のスタンピングによ
り、図５（Ｂ）に示すように柱状端子部２８を、その反
対面でも突出させた形状とするものである。また隣接す
る各柱状端子部２８の間には肉薄部２９が介在してお
り、この肉薄部２９により各柱状端子部２８は連接され
た構成となっている。Then, by stamping the press 51, the columnar terminal portion 28 is formed in a shape projecting also on the opposite surface as shown in FIG. 5B. A thin portion 29 is interposed between the adjacent columnar terminal portions 28, and the columnar terminal portions 28 are connected by the thin portion 29.
【００８２】また、図６（Ａ）は、図５（Ａ）のような
突起２８ａが形成された外部端子部２６ではなく、銅板
２６ａが用意され、これと共に突部５１ａ1 及び５１ｂ
2 が対向して形成されたポンチ５１ａ及びダイス５１ｂ
間に位置させる。そして、プレス５１のスタンピングに
より、図６（Ｂ）に示すように外部端子部２６の両面で
柱状端子部２８を突出させて形成されるものである。こ
の場合、どちらの面をパターン部接続面としてもよい。
また、このプレス５１のスタンピングにより、肉薄部２
９も一括的に形成される。Further, in FIG. 6A, a copper plate 26a is prepared instead of the external terminal portion 26 having the protrusion 28a as shown in FIG. 5A, and the protrusions 51a 1 and 51b are also provided.
Punch 51a and die 51b formed by facing two
Located in between. Then, the press 51 stamps the columnar terminal portions 28 on both surfaces of the external terminal portion 26, as shown in FIG. 6B. In this case, either surface may be the connection surface of the pattern portion.
In addition, the stamping of the press 51 allows the thin portion 2 to be
9 is also formed collectively.
【００８３】また、図７〜図９に、図４の外部端子部の
他の形状の製造説明図を示す。図７（Ａ）において、２
枚の金属導体板（例えば銅合金）が用いられて、共にハ
ーフエッチングにより所定数の凹部２６ｂ3 を形成した
金属導体板２６ｂ1 ，２６ｂ2 が形成される。7 to 9 are manufacturing explanatory views of other shapes of the external terminal portion shown in FIG. In FIG. 7A, 2
A sheet of metal conductor plate (for example, copper alloy) is used to form metal conductor plates 26b 1 and 26b 2 in which a predetermined number of recesses 26b 3 are formed by half etching.
【００８４】これらを、図７（Ｂ）に示すように、金属
導体板２６ｂ1 の凹部２６ｂ3 が形成されていない面
に、金属導体板２６ｂ2 の凹部２６ｂ3 の形成されてい
る面を重ね合わせ、超音波等によって接合して外部端子
部２６を形成したものである。この外部端子部２６は、
凹部２６ｂ3 が形成されていない面を露出させて樹脂封
止した後にエッチングすることにより、後述する図１１
（Ｂ）に示すような枠状端子部２７及び柱状端子部２８
が肉薄の連結状態で形成されるものである。[0084] These, as shown in FIG. 7 (B), the surface of the concave portion 26b 3 of the metal conductor plates 26b 1 are not formed, overlapped surfaces are formed in the recess 26b 3 of the metal conductor plates 26b 2 The external terminal portions 26 are formed by joining them together by ultrasonic waves or the like. This external terminal portion 26 is
By exposing the surface on which the concave portion 26b 3 is not formed and sealing it with resin, etching is performed, so that the structure shown in FIG.
A frame-shaped terminal portion 27 and a columnar terminal portion 28 as shown in FIG.
Is formed in a thin connection state.
【００８５】また、図８（Ａ）に示す上述の図７（Ａ）
で形成された２枚の金属導体板２６ｂ1 ，２６ｂ2 を、
８（Ｂ）に示すように凹部２６ｂ3 が形成されていない
面同士を超音波等により接合して、外部端子部２６の両
面で枠状端子部２７内で柱状端子部２８を肉薄部２９を
介して連結した状態で突出させたものである。この場合
においても、図６と同様に何れの面をパターン部接続面
としてもよい。Further, the above-mentioned FIG. 7A shown in FIG.
The two metal conductor plates 26b 1 and 26b 2 formed by
As shown in FIG. 8 (B), the surfaces where the recesses 26b 3 are not formed are joined by ultrasonic waves or the like, and the columnar terminal portions 28 are formed in the frame-shaped terminal portions 27 on both surfaces of the external terminal portion 26 so that the thin portions 29 are formed. It is projected in a state of being connected via. In this case also, any surface may be used as the pattern portion connection surface, as in FIG.
【００８６】続いて、図９（Ａ）は、後に枠状端子部２
７となるはんだ、すず等の材料で環状の金属線枠（厚さ
が柱状端子部２７の厚さと同等）２７ａと、柱状端子部
２８となるはんだ、すずなどの金属球（径が柱状端子部
２８の厚さと同等）２８ａが用意されると共に、例えば
銅合金の金属導体板にハーフエッチングにより溝（金属
線枠２７ａに対応）２６ｃ1 と溝２６ｃ1 の内側に凹部
（金属球２８ａに対応）２６ｃ2 が形成された金属板２
６ｃが用意される。Subsequently, FIG. 9A shows the frame-shaped terminal portion 2 later.
7. An annular metal wire frame 27a (thickness equal to the thickness of the columnar terminal portion 27) 27a made of a material such as solder or tin, and a metal sphere (diameter is the columnar terminal portion) such as solder and tin to be the columnar terminal portion 28. 28a is prepared, and a groove (corresponding to the metal wire frame 27a) 26c 1 and a concave portion (corresponding to the metal ball 28a) are formed inside the groove 26c 1 by half etching on a metal conductor plate of copper alloy, for example. A metal plate 2 on which 26c 2 is formed
6c is prepared.
【００８７】これを、図９（Ｂ）に示すように、溝２６
ｃ1 に金属線枠２７ａを嵌合させ、凹部２６ｃ2 に金属
球２８ａを嵌合させて加熱することで融着接合させたも
のである。すなわち、金属線枠２７ａの枠状端子部２７
と金属球２８ａの柱状端子部２８が肉薄の連結状態で形
成されるものである。As shown in FIG. 9B, the groove 26
c 1 a metal wire frame 27a is fitted in, it is obtained by fusion bonding by heating with a metal ball 28a is fitted in the recess 26c 2. That is, the frame-shaped terminal portion 27 of the metal wire frame 27a
And the columnar terminal portion 28 of the metal ball 28a is formed in a thin connection state.
【００８８】この外部端子部２６は、金属線枠２７ａと
金属球２８ａが取り付けられていない面を露出させて樹
脂封止した後にエッチングして金属導体板２６ｃを完全
に除去することにより、後述する図１１（Ｂ）に示すよ
うな枠状端子部２７及び柱状端子部２８が形成されるも
のである。The external terminal portion 26 will be described later by exposing the surface on which the metal wire frame 27a and the metal sphere 28a are not attached and sealing the resin, and then etching to completely remove the metal conductor plate 26c. A frame-shaped terminal portion 27 and a columnar terminal portion 28 as shown in FIG. 11 (B) are formed.
【００８９】続いて、図１０に、第１実施例のチップボ
ンディングの製造工程図を示す。図１０において、上述
のように形成されたパターン部２５と外部端子部２６と
を、端子接続部３２ａと対応する柱状端子部２８とを突
き合わせて絶縁層３５となる接着剤（例えばエポキシ系
の熱硬化性樹脂）又は絶縁性フィルムにより貼着する
（Ｓ３１）。Next, FIG. 10 shows a manufacturing process diagram of the chip bonding of the first embodiment. In FIG. 10, the pattern portion 25 and the external terminal portion 26 formed as described above are abutted with the terminal connection portion 32a and the corresponding columnar terminal portion 28 to form an insulating layer 35 (for example, an epoxy adhesive). A curable resin) or an insulating film is attached (S31).
【００９０】続いて、外部端子部２６側より銅でめっき
処理を行うことによりめっき３６を形成して当該端子接
続部３２ａと柱状端子部２８との電気的接続を行う（Ｓ
３２）。その後、パターン部２５に接着剤４２を介して
半導体チップ４１を搭載し（Ｓ３３）、半導体チップ４
１のパッド４１ａと開口部３４より表われるワイヤ接続
部３２ｂとをワイヤ４３ａ，４３ｂによりボンディング
する（Ｓ３４，図２（Ｂ）参照）。Subsequently, plating is performed from the external terminal portion 26 side with copper to form a plating 36, and the terminal connection portion 32a and the columnar terminal portion 28 are electrically connected (S).
32). Then, the semiconductor chip 41 is mounted on the pattern portion 25 via the adhesive 42 (S33), and the semiconductor chip 4
The pad 41a of No. 1 and the wire connecting portion 32b shown by the opening 34 are bonded by the wires 43a and 43b (S34, see FIG. 2B).
【００９１】そして、外部端子部２６の枠状端子部２７
と柱状端子部２８を露出させて半導体チップ４１側を樹
脂モールド又は樹脂ポッティングを行い、樹脂２３ａに
より樹脂領域２４が形成される（Ｓ３５）。この状態が
図１１（Ａ）に示される。そこで、図１１に、第１実施
例の最終工程の製造説明図を示す。図１１（Ａ）が図７
に示す工程で形成されたもので、この状態では外部端子
部２６における枠状端子部２７と柱状端子部２８とが導
通状態となっている。The frame-shaped terminal portion 27 of the external terminal portion 26
Then, the columnar terminal portion 28 is exposed and the semiconductor chip 41 side is subjected to resin molding or resin potting to form the resin region 24 with the resin 23a (S35). This state is shown in FIG. Therefore, FIG. 11 shows a manufacturing explanatory diagram of the final step of the first embodiment. FIG. 11A is FIG.
In this state, the frame-shaped terminal portion 27 and the columnar terminal portion 28 in the external terminal portion 26 are in a conductive state.
【００９２】そこで、図１１（Ｂ）に示すように、露出
した外部端子部２６の面のエッチングを樹脂２３ａの面
まで行い、肉薄部２９を除去することにより枠状端子部
２７と柱状端子部２８とを分離する。そして、分離した
枠状端子部２７と柱状端子部２８とにはんだ、金、銀、
錫、パラジウム等の基板実装可能なめっき処理を施すも
のである。Therefore, as shown in FIG. 11B, the exposed surface of the external terminal portion 26 is etched to the surface of the resin 23a, and the thin portion 29 is removed to remove the frame-shaped terminal portion 27 and the columnar terminal portion. 28 and are separated. Then, the separated frame-shaped terminal portion 27 and columnar terminal portion 28 are soldered, gold, silver,
It is a plating treatment such as tin or palladium that can be mounted on a substrate.
【００９３】尚、パターン部２５及び外部端子部２６が
連設状態で形成される場合に、連設状態でパッケージン
グやエッチング、めっき等の種々の工程の最後に個々の
半導体装置２１A に切り離されるものである。このよう
に、端子領域２４を半導体チップ４１の底面側に配置し
てその底部を外部端子部を配設し、また端子領域２４と
半導体チップ４１の電気的接続をＴＡＢ技術ではなくワ
イヤ接続していることから、半導体チップ４１のサイズ
やパッド４１ａのレイアウトの制約を受けず、パッケー
ジの汎用化を図ることができる。When the pattern portion 25 and the external terminal portion 26 are formed in a continuous state, they are separated into individual semiconductor devices 21 A at the end of various steps such as packaging, etching and plating in the continuous state. It is what is done. In this way, the terminal region 24 is arranged on the bottom surface side of the semiconductor chip 41, the bottom portion thereof is provided with the external terminal portion, and the electrical connection between the terminal region 24 and the semiconductor chip 41 is made by wire connection instead of TAB technology. Therefore, the package can be generalized without being restricted by the size of the semiconductor chip 41 and the layout of the pad 41a.
【００９４】また、格子配列の外部端子（柱状端子部２
８）の形成を、外部端子部２６で未完成状態の全端子導
通で樹脂領域２３の形成後に追加工により端子形成する
ことから、安価かつ確実に行うことができると共に、半
導体チップ４１の保護に樹脂を適用することができる。Further, the external terminals of the lattice array (columnar terminal portion 2
The formation of 8) can be performed inexpensively and surely because the terminals are formed by the additional processing after the resin region 23 is formed by conducting all the terminals in the external terminal portion 26 in an unfinished state, and the semiconductor chip 41 can be protected. Resin can be applied.
【００９５】さらに、外部端子部２６に枠状端子部２７
が設けられており、ワイヤボンディング時のベースにさ
せると共に、電源又はグランドとしての端子役割をさせ
て電源又はグランドをまとめて見掛上の端子数が減少さ
せることができ、耐ノイズ性を向上させることができ
る。Further, the frame-shaped terminal portion 27 is attached to the external terminal portion 26.
Is provided, it serves as a base for wire bonding, and also serves as a terminal as a power supply or a ground, so that the apparent number of terminals can be reduced by collecting the power supply or the ground, and noise resistance is improved. be able to.
【００９６】次に、図１２に第１実施例の他のパッケー
ジ形状の外観図を示す。図１２（Ａ）に示す半導体装置
２１B は、外部端子部２６の外周で例えば４つに分割し
た枠状端子部２７ａ1 〜２７ａ4 を形成したもので、他
の構成は図１と同様である。このように、枠状端子部２
７ａ1 〜２７ａ4 を複数（役割に応じて適宜数を設定）
に分割させることで電源やグランドのそれぞれの役割を
もたせることができ、また適宜必要な信号系の役割を持
たせることができるものである。Next, FIG. 12 shows an external view of another package shape of the first embodiment. A semiconductor device 21 B shown in FIG. 12A has, for example, four divided frame-shaped terminal portions 27 a 1 to 27 a 4 formed on the outer periphery of the external terminal portion 26, and other configurations are the same as those in FIG. 1. is there. In this way, the frame-shaped terminal portion 2
Multiple 7a 1 to 27a 4 (set appropriate number according to role)
It is possible to have the respective roles of the power supply and the ground by dividing into two, and it is also possible to appropriately have the necessary role of the signal system.
【００９７】また、図１２（Ｂ）に示す半導体装置２１
C は、図１の枠状端子部２７を、外周に形成した第１の
枠状端子部２７ａと、柱状端子部２８内で環状に形成し
た第２の枠状端子部２７ｂとで構成したもので、他の構
成は図１と同様である。これによっても、電源、グラン
ド等の役割をもたせることができ、耐ノイズ性を向上さ
せることができる。Further, the semiconductor device 21 shown in FIG.
C is the one in which the frame-shaped terminal portion 27 of FIG. 1 is composed of a first frame-shaped terminal portion 27a formed on the outer periphery and a second frame-shaped terminal portion 27b formed annularly in the columnar terminal portion 28. Other configurations are the same as those in FIG. This also makes it possible to play a role of a power source, a ground, etc., and to improve noise resistance.
【００９８】さらに、図１２（Ｃ）に示す半導体装置２
１D は、図１２（Ｂ）の第２の枠状端子部２７ｂをさら
に４つに分割させた第２の枠状端子部２７ａ1 〜２７ａ
4 を形成したもので、同様に耐ノイズ性を向上させるこ
とができると共に、電源、グランド等の分担のレイアウ
トの自由性を向上させることができるものである。尚、
図１２（Ａ）と図１２（Ｃ）を組み合わせた形状として
もよい。Furthermore, the semiconductor device 2 shown in FIG.
1 D, the second frame-shaped terminal portions 27a 1 through 27a which is further divided into four second frame-shaped terminal portions 27b shown in FIG. 12 (B)
In the same manner, the noise resistance can be improved and the flexibility of the layout in which the power supply, the ground, etc. are shared can be improved by forming the structure of FIG. still,
The shape may be a combination of FIGS. 12A and 12C.
【００９９】次に、図１３に、本発明の第２実施例の構
成図を示す。図１３（Ａ）は外観図、図１３（Ｂ）は断
面図である。図１３（Ａ），（Ｂ）に示す半導体装置２
１Eは、図１に示す半導体装置２１A のパターン部２５
の構成を異ならせ、外部端子部２６との接続を蒸着によ
り行ったものである。尚、第１実施例と同一の構成部分
には同一符号を付して説明を省略する。Next, FIG. 13 shows a block diagram of a second embodiment of the present invention. 13A is an external view and FIG. 13B is a cross-sectional view. A semiconductor device 2 shown in FIGS. 13A and 13B.
1 E is the pattern portion 25 of the semiconductor device 21 A shown in FIG.
The configuration is different, and the connection with the external terminal portion 26 is performed by vapor deposition. The same components as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.
【０１００】図１３（Ａ），（Ｂ）において、半導体装
置２１E は、パッケージ２２が樹脂領域２３と端子領域
２４とで構成されることは、図１と同様である。樹脂領
域２３は、同様に半導体チップ４１を保護する樹脂２３
ａで形成される。端子領域２４は、パターン部２５A と
外部端子部２６で構成されて、外部端子部２６は外周の
枠状端子部２７とその内側に格子状に配列された柱状端
子部２８とで構成される。枠状端子部２７と柱状端子部
２８とは第１の絶縁層５１ａで絶縁されると共に、第２
の絶縁層５１ｂが枠状端子部２７上及び柱状端子部２８
を表出させて第１の絶縁層５１ａ上に形成されている。In FIGS. 13A and 13B, the semiconductor device 21 E is similar to FIG. 1 in that the package 22 is composed of the resin region 23 and the terminal region 24. The resin region 23 is the resin 23 that similarly protects the semiconductor chip 41.
a. The terminal region 24 is composed of a pattern part 25 A and an external terminal part 26, and the external terminal part 26 is composed of a frame-shaped terminal part 27 on the outer periphery and columnar terminal parts 28 arranged in a grid pattern inside thereof. . The frame-shaped terminal portion 27 and the columnar terminal portion 28 are insulated by the first insulating layer 51a, and
Of the insulating layer 51b on the frame-shaped terminal portion 27 and the columnar terminal portion 28.
And is formed on the first insulating layer 51a.
【０１０１】また、枠状端子部２７上方の第２の絶縁層
５１ｂ上と、表出された柱状端子部２８の面上とにパタ
ーニングされたパターン層５２がアルミニウム等の蒸着
により形成される。このとき、枠状端子部２７上方のパ
ターン層５２には図２（Ｂ）に示すようなワイヤ接続部
５２ａが形成される。このパターン層５２の柱状端子部
２８面との接続部分が第１実施例における端子接続部と
なる。A patterned pattern layer 52 is formed on the second insulating layer 51b above the frame-shaped terminal portion 27 and on the exposed surface of the columnar terminal portion 28 by vapor deposition of aluminum or the like. At this time, the wire connection portion 52a as shown in FIG. 2B is formed on the pattern layer 52 above the frame-shaped terminal portion 27. The connecting portion of the pattern layer 52 with the surface of the columnar terminal portion 28 becomes the terminal connecting portion in the first embodiment.
【０１０２】このパターン層５２上には上部絶縁層であ
る第３の絶縁層５３が形成され、上記ワイヤ接続部５２
ａ部分に開口部５３ａが形成される。第３の絶縁層５３
上には接着剤４２により半導体チップ４１が搭載され
る。半導体チップ４１上には、図２（Ｂ）に示すように
前後２列のパッド４１ａが形成されており、ワイヤ４３
（４３ａ，４３ｂ）により異なる高さで接触を回避させ
てパターン層５２のワイヤ接続部５２ａと電気的接続さ
れている。また、パッド４１ａのうち、電源用又はグラ
ンド用のパッド４１ａと枠状端子部２７とワイヤ４３に
より電気的に接続される。A third insulating layer 53 which is an upper insulating layer is formed on the pattern layer 52, and the wire connecting portion 52 is formed.
The opening 53a is formed in the portion a. Third insulating layer 53
The semiconductor chip 41 is mounted on the upper surface by the adhesive 42. As shown in FIG. 2B, two rows of front and rear pads 41 a are formed on the semiconductor chip 41.
(43a, 43b) avoids contact at different heights and is electrically connected to the wire connecting portion 52a of the pattern layer 52. Further, among the pads 41 a, the pads 41 a for power supply or ground, the frame-shaped terminal portion 27, and the wires 43 are electrically connected.
【０１０３】この半導体チップ４１を保護するように、
第３の絶縁層５３上で樹脂２３ａで封止されて樹脂領域
２３を形成している。このような半導体装置２１E にお
ける外部端子部２６の製造は図４〜図６と同様である。
そこで、図１４に、第２実施例のパターン層の形成の製
造説明図を示す。上記図４〜図６により形成された外部
端子部２６は、図１４（Ａ）に示すように枠状端子部２
７と柱状端子部２８とは導通状態のもので、その一方面
における枠状端子部２７と柱状端子部２８間の凹部分に
第１の絶縁層５１ａとして粉末ガラス若しくはガラスペ
ースト、又はエポキシ系の樹脂を充填する。In order to protect this semiconductor chip 41,
A resin region 23 is formed on the third insulating layer 53 by being sealed with a resin 23a. The manufacturing of the external terminal portion 26 in such a semiconductor device 21 E is similar to that shown in FIGS.
Therefore, FIG. 14 shows a manufacturing explanatory view of the formation of the pattern layer of the second embodiment. The external terminal portion 26 formed by the above-described FIGS. 4 to 6 has the frame-shaped terminal portion 2 as shown in FIG.
7 and the columnar terminal portion 28 are electrically connected to each other, and powder glass or glass paste or epoxy-based epoxy is used as the first insulating layer 51a in the concave portion between the frame-shaped terminal portion 27 and the columnar terminal portion 28 on one surface thereof. Fill with resin.
【０１０４】そして、図１４（Ｂ）に示すように、柱状
端子部２８を露出させて第１の絶縁層５１ａと同一のガ
ラス又は樹脂を形成して第２の絶縁層５１ｂとする。こ
こで、図１４（Ａ），（Ｂ）は第１及び第２の絶縁層５
１ａ，５１ｂを順次堆積させた場合を示しているが、全
面にガラスを溶融させて柱状端子部２８の表面を露出さ
せて第１の絶縁層５１ａとし、ＣＶＤ（化学気相成長）
法により柱状端子部２８の表面を露出させた状態でＳｉ
Ｏｎ（酸化シリコン）を被覆して第２の絶縁層５１ｂと
してもよい。また、同様に、全面に樹脂を充填して第１
の絶縁層５１ａとし、柱状端子部２８の表面を露出させ
た後、プリント印刷等により露出面以外の部分に樹脂で
被覆して第２の絶縁層５１ｂとしてもよい。Then, as shown in FIG. 14B, the columnar terminal portion 28 is exposed and the same glass or resin as the first insulating layer 51a is formed to form a second insulating layer 51b. Here, FIGS. 14A and 14B show the first and second insulating layers 5.
1a and 51b are sequentially deposited, but glass is melted on the entire surface to expose the surface of the columnar terminal portion 28 to form the first insulating layer 51a, and CVD (chemical vapor deposition) is performed.
By using the method in which the surface of the columnar terminal portion 28 is exposed.
The second insulating layer 51b may be covered with On (silicon oxide). In addition, similarly, the entire surface is filled with resin and the first
After the surface of the columnar terminal portion 28 is exposed as the insulating layer 51a, the second insulating layer 51b may be formed by coating the portion other than the exposed surface with resin by printing or the like.
【０１０５】続いて、図１４（Ｃ）に示すように、第２
の絶縁層５１ｂ及び柱状端子部２８に露出面上に所定パ
ターンのマスクを用いて、例えばアルミニウムを蒸着
し、その後金やパラジウム等のワイヤ接続可能な金属で
めっき処理を行ってパターン層５２を形成する。この場
合、全面にアルミニウムの蒸着した後フォトエッチング
によりパターンを形成し、上述のようなめっき処理を行
ってもよい。Then, as shown in FIG. 14C, the second
Of the insulating layer 51b and the columnar terminal portion 28 is formed on the exposed surface using a mask having a predetermined pattern, for example, aluminum is vapor-deposited, and then a wire-connectable metal such as gold or palladium is plated to form the pattern layer 52. To do. In this case, a pattern may be formed by photoetching after aluminum is vapor-deposited on the entire surface, and the above-described plating treatment may be performed.
【０１０６】そして、図１４（Ｄ）に示すように、枠状
端子部２７の内側範囲で開口部５３ａが形成された第３
の絶縁層５３として絶縁性フィルムを形成し、又はＣＶ
ＤによりＳｉＯｎ層を形成し、又はプリント印刷により
樹脂ペーストを塗布することにより形成する。Then, as shown in FIG. 14D, a third opening 53a is formed in the inner area of the frame-shaped terminal portion 27.
Forming an insulating film as the insulating layer 53 of
It is formed by forming a SiOn layer by D or applying a resin paste by print printing.
【０１０７】続いて、図１５に、第２実施例の最終工程
の断面図を示す。図１５（Ａ）は、図１４（Ａ）〜
（Ｄ）において形成されたパターン部２５上に半導体チ
ップ４１が接着剤（例えば銀ペースト）４２により搭載
され、図２（Ａ），（Ｂ）に示すようにワイヤ４３（４
３ａ，４３ｂ）によりパッド４１ａとワイヤ接続部５２
ａとが電気的接続が行われる。その後、端子領域２４の
上方で半導体チップ４１を樹脂２３ａにより封止して樹
脂領域２３を形成したものである。Next, FIG. 15 shows a sectional view of the final step of the second embodiment. FIG. 15A shows FIG.
The semiconductor chip 41 is mounted on the pattern portion 25 formed in (D) with an adhesive (for example, silver paste) 42, and as shown in FIGS.
3a, 43b) and the pad 41a and the wire connecting portion 52
Electrical connection is made with a. After that, the semiconductor chip 41 is sealed with the resin 23a above the terminal region 24 to form the resin region 23.
【０１０８】そして、図１５（Ｂ）に示すように、外部
端子部２６の底面のエッチングを行い、肉薄部２９を除
去することにより枠状端子部２７と柱状端子部２８とを
分離する。そして、その表面を基板実装可能にするため
に、はんだ、金、銀、錫、パラジウム等でめっき処理を
施すものである。Then, as shown in FIG. 15B, the bottom surface of the external terminal portion 26 is etched and the thin portion 29 is removed to separate the frame-shaped terminal portion 27 and the columnar terminal portion 28. Then, in order to make the surface mountable on a substrate, a plating process is performed with solder, gold, silver, tin, palladium or the like.
【０１０９】尚、パターン部２５A 及び外部端子部２６
が連設状態で形成される場合に、連設状態でパッケージ
ングやエッチング、めっき等の種々の工程の最後に個々
の半導体装置２１E に切り離されるものである。また、
外部端子部２６は、図１２（Ａ）〜（Ｃ）に示すよう
に、外周で分割し、又は外周と共に柱状端子部２８内に
環状若しくは適宜分割して形成することで、電源やグラ
ンド等の役割を持たせて耐ノイズ性を向上させることも
できるものである。The pattern portion 25 A and the external terminal portion 26
Are formed in a continuous state, they are separated into individual semiconductor devices 21 E at the end of various processes such as packaging, etching, and plating in the continuous state. Also,
As shown in FIGS. 12 (A) to 12 (C), the external terminal portion 26 is divided on the outer periphery, or is formed annularly or appropriately in the columnar terminal portion 28 together with the outer periphery to form a power source, a ground, or the like. It also has a role to improve noise resistance.
【０１１０】更に、肉薄部２９をエッチングにより除去
するに際し、図１６（Ａ）に示すように予め柱状端子部
２８の形状を肉薄部２９より上部における断面積が肉薄
部２９より下部における断面積より小さくなるよう形成
しておくことにより、肉薄部２９をエッチングにより除
去した状態において、図１６（Ｂ）に示すように柱状端
子部２８の上部部分と下部部分の断面積を略等しくする
ことができ、柱状端子部２８の形状を良好なものとする
ことができる。Further, when the thin portion 29 is removed by etching, as shown in FIG. 16A, the shape of the columnar terminal portion 28 is preliminarily determined such that the cross-sectional area above the thin portion 29 is smaller than the cross-sectional area below the thin portion 29. By forming it to be small, it is possible to make the cross-sectional areas of the upper portion and the lower portion of the columnar terminal portion 28 substantially equal as shown in FIG. 16B when the thin portion 29 is removed by etching. Therefore, the shape of the columnar terminal portion 28 can be improved.
【０１１１】続いて、本発明の第３実施例である半導体
装置６０について説明する。図１７は、本発明の第３実
施例である半導体装置６０の断面図である。半導体装置
６０は、大略すると半導体チップ６１，リード体６２，
封止樹脂（パッケージ）６３，及びソルダーレジスト
（絶縁部材）６４等により構成されている。Next, a semiconductor device 60 which is a third embodiment of the present invention will be described. FIG. 17 is a sectional view of a semiconductor device 60 which is a third embodiment of the present invention. The semiconductor device 60 generally includes a semiconductor chip 61, lead bodies 62,
It is composed of a sealing resin (package) 63, a solder resist (insulating member) 64, and the like.
【０１１２】半導体チップ６１は、本実施例ではワイヤ
６５によりリード体６２に電気的に接続されている。リ
ード体６２は、半導体チップ６１の外側方向に延出する
リード部６６と、このリード部６６に対して略直角下方
向に延出する外部接続端子部６７とにより構成されてお
り、リード部６６と外部接続端子部６７とは一体的な構
成となっている。The semiconductor chip 61 is electrically connected to the lead body 62 by the wire 65 in this embodiment. The lead body 62 is composed of a lead portion 66 extending outward of the semiconductor chip 61 and an external connection terminal portion 67 extending downward at a right angle to the lead portion 66. The external connection terminal portion 67 has an integral structure.
【０１１３】また、リード部６６は、ニッケル（Ｎ
ｉ），アルミニウム（Ａｌ），或いはチタン（Ｔｉ）等
よりなる内層６６ａの上部に金（Ａｕ），銀（Ａｇ），
或いはパラジウム（Ｐｄ）等よりなる外層６６ｂが形成
された構成とされている。また、外部接続端子部６７
は、柱状形状を有する柱状端子部６８と、この柱状端子
部６８の下方端部に形成された端子端部６９とにより構
成されている。柱状端子部６８は銅（Ｃｕ）により形成
されており、また端子端部６９はニッケル（Ｎｉ），ア
ルミニウム（Ａｌ），或いはチタン（Ｔｉ）等よりなる
内層６９ａの下部に金（Ａｕ），銀（Ａｇ），或いはパ
ラジウム（Ｐｄ）等よりなる外層６９ｂが形成された構
成とされている。The lead portion 66 is made of nickel (N
i), aluminum (Al), titanium (Ti) or the like, gold (Au), silver (Ag),
Alternatively, the outer layer 66b made of palladium (Pd) or the like is formed. In addition, the external connection terminal portion 67
Is composed of a columnar terminal portion 68 having a columnar shape, and a terminal end portion 69 formed at a lower end portion of the columnar terminal portion 68. The columnar terminal portion 68 is formed of copper (Cu), and the terminal end portion 69 is formed of nickel (Ni), aluminum (Al), titanium (Ti) or the like under the inner layer 69a of gold (Au), silver. An outer layer 69b made of (Ag), palladium (Pd), or the like is formed.
【０１１４】後述するように、柱状端子部６８はアルカ
リ系エッチャント（エッチング液）により所定の形状に
成形されるが、柱状端子部６８を挟んで配設されるリー
ド部６６及び端子端部６９はアルカリ系エッチャントに
対して溶解しない材料が選定されている。従って、エッ
チング処理により柱状端子部６８を形成する際、リード
部６６及び端子端部６９をレジストとして用いることが
可能となる。As will be described later, the columnar terminal portion 68 is formed into a predetermined shape with an alkaline etchant (etching solution), but the lead portion 66 and the terminal end portion 69 disposed with the columnar terminal portion 68 interposed therebetween are formed. A material that does not dissolve in the alkaline etchant is selected. Therefore, when the columnar terminal portion 68 is formed by the etching process, the lead portion 66 and the terminal end portion 69 can be used as a resist.
【０１１５】封止樹脂６３は例えばエポキシ系の樹脂で
あり、半導体チップ６１の下面及びリード部６６の下面
を露出した状態で、半導体チップ６１，リード部６６，
及びワイヤ６５を封止した構成とされている。この封止
樹脂６３は、例えばモールド金型を用いて樹脂モールド
することにより形成される。The sealing resin 63 is, for example, an epoxy resin, and the semiconductor chip 61, the lead portion 66, and the semiconductor chip 61 are exposed with the lower surface of the semiconductor chip 61 and the lower surface of the lead portion 66 exposed.
The wire 65 is sealed. The sealing resin 63 is formed by resin molding using a molding die, for example.
【０１１６】また、ソルダーレジスト６４は電気的絶縁
材（例えば、絶縁性樹脂等）よりなり、少なくとも半導
体チップ６１の下面及びリード部６６の下面を被覆する
よう配設されている。また、前記したように外部接続端
子部６７は下方に延出した構成とされているため、外部
接続端子部６７はソルダーレジスト６４を貫通して下方
に延出する。The solder resist 64 is made of an electrically insulating material (for example, insulating resin), and is provided so as to cover at least the lower surface of the semiconductor chip 61 and the lower surface of the lead portion 66. Further, since the external connection terminal portion 67 is configured to extend downward as described above, the external connection terminal portion 67 penetrates the solder resist 64 and extends downward.
【０１１７】更に、外部接続端子部６７のソルダーレジ
スト６４を貫通して下方に延出した部分には、例えば無
電解めっきによりＡｕ膜或いは半田膜（以下、外装膜７
０という）が形成されている。前記したように、半導体
チップ６１の下面及びリード部６６の下面は電気的絶縁
材よりなるソルダーレジスト６４が配設されているた
め、外装膜７０を無電解めっきにより外部接続端子部６
７に形成しても、外装膜７０が半導体チップ６１及びリ
ード部６６に付着するようなことはない。Further, in a portion of the external connection terminal portion 67 which extends through the solder resist 64 and extends downward, an Au film or a solder film (hereinafter referred to as an exterior film 7) is formed by, for example, electroless plating.
0) is formed. As described above, since the solder resist 64 made of an electrically insulating material is provided on the lower surface of the semiconductor chip 61 and the lower surface of the lead portion 66, the external connection terminal portion 6 is formed by electroless plating the exterior film 70.
7 does not cause the exterior film 70 to adhere to the semiconductor chip 61 and the lead portion 66.
【０１１８】上記構成とされた半導体装置６０は、前記
したようにリード体６２が半導体チップ６１の外側方向
に延出するリード部６６と、このリード部６６に対して
略直角下方向に延出する外部接続端子部６７とにより構
成されている。このため、外部接続端子部６７の配設位
置はリード部６６の延出長により決定されることになる
が、リード部６６の延出長は自由度を持って設定するこ
とができる。よって、半導体チップ６１の大きさに規制
されずに外部接続端子部６７の配設位置を設定すること
が可能となり汎用性を向上させることができる。In the semiconductor device 60 having the above-described structure, the lead body 62 extends outward from the semiconductor chip 61 and the lead portion 66 extends downward at a right angle to the lead portion 66 as described above. And an external connection terminal portion 67 that operates. Therefore, the arrangement position of the external connection terminal portion 67 is determined by the extension length of the lead portion 66, but the extension length of the lead portion 66 can be set with a degree of freedom. Therefore, the arrangement position of the external connection terminal portion 67 can be set without being restricted by the size of the semiconductor chip 61, and the versatility can be improved.
【０１１９】また、リード部６６と外部接続端子部６７
とが一体的に形成されているため、リード部６６と外部
接続端子部６７とを電気的に接続するためにビアホール
の形成或いは配線の引き回しを行うことは不要となり、
よって半導体装置６０のコスト低減を図ることができ
る。Further, the lead portion 66 and the external connection terminal portion 67
Since the and are integrally formed, it is not necessary to form a via hole or route a wiring to electrically connect the lead portion 66 and the external connection terminal portion 67,
Therefore, the cost of the semiconductor device 60 can be reduced.
【０１２０】続いて、上記構成とされた半導体装置６０
の製造方法について、図１８乃至図２０を用いて説明す
る。尚、図１７で示した半導体装置６０の構成と対応す
る部分については同一符号を附して説明する。半導体装
置６０は、リードフレーム形成工程，半導体チップ搭載
工程，封止樹脂配設工程，基板除去工程，絶縁部材配設
工程，及び外装工程の各工程を実施することにより製造
される。以下、各工程について詳述する。Subsequently, the semiconductor device 60 having the above structure
The manufacturing method of will be described with reference to FIGS. Note that the portions corresponding to the configuration of the semiconductor device 60 shown in FIG. The semiconductor device 60 is manufactured by performing the lead frame forming step, the semiconductor chip mounting step, the sealing resin disposing step, the substrate removing step, the insulating member disposing step, and the exterior step. Hereinafter, each step will be described in detail.
【０１２１】リードフレーム形成工程は、柱状端子部６
８となる基板７１にリード部６６及び端子端部６９を形
成してリードフレーム７２を形成する固定であり、図１
８（Ａ）〜（Ｆ）に示す処理がこれにが該当する。リー
ドフレーム７２を形成するには、先ず図１８（Ａ）に示
すように基板７１を用意する。この基板７１は、例えば
厚さが１００μｍである銅板である。この基板７１の上
面及び下面には、図１８（Ｂ）に示すようにフォトレジ
スト材７３，７４が所定の膜厚で塗布される。In the lead frame forming step, the columnar terminal portion 6
The lead portion 66 and the terminal end portion 69 are formed on the substrate 71 to be 8 to form the lead frame 72.
This corresponds to the processing shown in 8 (A) to (F). To form the lead frame 72, first, the substrate 71 is prepared as shown in FIG. The substrate 71 is, for example, a copper plate having a thickness of 100 μm. As shown in FIG. 18B, photoresist materials 73 and 74 are applied to the upper surface and the lower surface of the substrate 71 with a predetermined film thickness.
【０１２２】続いて、このフォトレジスト材７３，７４
に対して両面露光及び現像等を行うことにより、図１８
（Ｃ）に示すようにリード部６６の形成位置及び端子端
部６９の形成位置に対応する部位のフォトレジスト材７
３，７４を除去して開口７５，７６を形成する。次に、
この開口部７５，７６内にめっき法を用いてリード部６
６及び端子端部６９を形成する。Subsequently, the photoresist materials 73 and 74
As shown in FIG.
As shown in (C), the photoresist material 7 in the portion corresponding to the formation position of the lead portion 66 and the formation position of the terminal end portion 69.
3, 74 are removed to form openings 75, 76. next,
The lead portion 6 is formed in the openings 75 and 76 by plating.
6 and the terminal end 69 are formed.
【０１２３】具体的には、先ず厚さ約５μｍとなるまで
Ｎｉめっき（Ａｌ，Ｔｉでもよい）を行い内層６６ａ，
６９ａを形成し、続いてこの内層６６ａ，６９ａの上部
に厚さ約０．１μｍとなるまでＡｕめっき（Ａｇ，Ｐｄ
でもよい）を行う。図１８（Ｄ）は、各開口７５，７６
内にリード部６６及び端子端部６９が形成された状態を
示している。Specifically, first, Ni plating (Al or Ti may be used) is performed until the thickness reaches about 5 μm, and the inner layer 66a,
69a is formed, and then Au plating (Ag, Pd) is formed on the inner layers 66a, 69a to a thickness of about 0.1 μm.
But it's okay. FIG. 18D shows the openings 75 and 76.
A state in which the lead portion 66 and the terminal end portion 69 are formed is shown.
【０１２４】上記のように基板７１の両面所定位置にリ
ード部６６及び端子端部６９が形成されると、図１８
（Ｅ）に示されるようにフォトレジスト材７３，７４は
除去され、リード部６６及び端子端部６９のみが基板７
１に配設された状態となる。また、この状態の基板７１
は、図２９に示されるように、１枚の基板７１に複数個
分（図２９には２個分を示している）の半導体装置６０
に対応するリード部６６及び端子端部６９を形成してい
る。When the lead portion 66 and the terminal end portion 69 are formed at predetermined positions on both surfaces of the substrate 71 as described above, FIG.
As shown in (E), the photoresist materials 73 and 74 are removed, and only the lead portion 66 and the terminal end portion 69 are removed from the substrate 7.
1 is arranged. In addition, the substrate 71 in this state
29, a plurality of semiconductor devices 60 (two are shown in FIG. 29) are provided on one substrate 71, as shown in FIG.
Corresponding to the lead portion 66 and the terminal end portion 69 are formed.
【０１２５】続いて、上記のように複数個分の半導体装
置６０に対応するリード部６６及び端子端部６９が形成
された基板７１を１個分の半導体装置６０の領域毎に分
割する。図２９に示す例では、図中一点鎖線で示す位置
で基板７１を分割する。これにより、１個分の半導体装
置６０に対応した基板７１（この１個分の半導体装置６
０に対応した基板７１をリードフレーム７２という）が
形成される。Subsequently, the substrate 71 on which the lead portions 66 and the terminal end portions 69 corresponding to the plurality of semiconductor devices 60 are formed as described above is divided into regions of one semiconductor device 60. In the example shown in FIG. 29, the substrate 71 is divided at the position indicated by the alternate long and short dash line in the figure. As a result, the substrate 71 corresponding to one semiconductor device 60 (this one semiconductor device 6
A substrate 71 corresponding to 0 is called a lead frame 72).
【０１２６】このように、リードフレーム形成工程にお
いて１枚の基板７１に複数個の半導体装置に対応するリ
ード部６６及び端子端部６９を形成し、その後に１個分
の半導体装置６０の領域毎に基板７１を分割しリードフ
レーム７２を形成することにより、１枚の基板７１から
リードフレーム７２を多数個取りすることが可能とな
り、効率良くかつ精度良くリードフレーム７２を形成す
ることができる。As described above, in the lead frame forming step, the lead portions 66 and the terminal end portions 69 corresponding to a plurality of semiconductor devices are formed on one substrate 71, and thereafter, each region of one semiconductor device 60 is formed. By dividing the substrate 71 into two and forming the lead frame 72, it is possible to obtain a large number of lead frames 72 from one substrate 71, and the lead frame 72 can be formed efficiently and accurately.
【０１２７】また、上記のように１枚の基板７１を複数
個のリードフレーム７２に分割する処理はプレス加工を
用いて行うが、この際に位置決め用ガイドホール７７及
び素子間スロットル（図示せず）も一括的に形成する。
これにより、位置決め用ガイドホール７７及び素子間ス
ロットルを別個に形成する（例えば、エッチング等によ
り形成す）構成に比べて、リードフレーム形成工程を簡
単化することができる。以上のようにして形成されたリ
ードフレーム７２を図１８（Ｆ）に示す。The process of dividing one substrate 71 into a plurality of lead frames 72 as described above is performed by pressing, but at this time, a positioning guide hole 77 and an inter-element throttle (not shown) are used. ) Is also formed collectively.
As a result, the lead frame forming step can be simplified as compared with a configuration in which the positioning guide hole 77 and the inter-element throttle are separately formed (for example, by etching). The lead frame 72 formed as described above is shown in FIG.
【０１２８】上記したリードフレーム形成工程を実施す
ることによりリードフレーム７２が形成されると、続い
て半導体チップ搭載工程が実施される。この半導体チッ
プ搭載工程は、リードフレーム７２の基板上面の所定位
置に半導体チップ６１を搭載すると共に、この半導体チ
ップ６１と前記リード部６６とを電気的に接続する処理
を行う工程であり、図１８（Ｇ）に示される。When the lead frame 72 is formed by performing the above lead frame forming step, the semiconductor chip mounting step is subsequently performed. This semiconductor chip mounting step is a step of mounting the semiconductor chip 61 at a predetermined position on the upper surface of the substrate of the lead frame 72 and performing a process of electrically connecting the semiconductor chip 61 and the lead portion 66. (G).
【０１２９】半導体チップ搭載工程では、先ずリードフ
レーム７２の半導体チップ６１が搭載される所定位置
に、後述するアルカリ系エッチャントに溶解する材料
（例えば、ポリビニールアルコール等）よりなる可溶性
絶縁材７８を塗布し、この可溶性絶縁材７８を接着剤と
して半導体チップ６１をリードフレーム７２の上面に固
定する。続いて、半導体チップ６１とリード部６６との
間にワイヤボンディング法を用いて金線等のワイヤ６５
を配設する。この際、リード部６６はＮｉ等よりなる内
層６６ａの上部にＡｕ等よりなる外層６６ｂが形成され
ており、かつワイヤ６５はワイヤと同一材料により形成
された外層６６ｂに接続されるため、ワイヤ６５とリー
ド部６６との接続を良好に行うことができる。In the semiconductor chip mounting step, first, a soluble insulating material 78 made of a material (for example, polyvinyl alcohol) which is soluble in an alkaline etchant described later is applied to a predetermined position of the lead frame 72 where the semiconductor chip 61 is mounted. Then, the semiconductor chip 61 is fixed to the upper surface of the lead frame 72 using the soluble insulating material 78 as an adhesive. Then, a wire 65 such as a gold wire is formed between the semiconductor chip 61 and the lead portion 66 using a wire bonding method.
To arrange. At this time, in the lead portion 66, the outer layer 66b made of Au or the like is formed on the inner layer 66a made of Ni or the like, and the wire 65 is connected to the outer layer 66b made of the same material as the wire. And the lead portion 66 can be satisfactorily connected.
【０１３０】上記のように半導体チップ搭載工程を実施
し、リードフレーム７２に半導体チップ６１を搭載する
と共にワイヤ６５を配設すると、続いて封止樹脂配設工
程が実施される。封止樹脂配設工程は、半導体チップ６
１及びリード部６６を封止樹脂６３により封止する工程
であり、図１９（Ｈ）に示される。本実施例において
は、モールド金型を用いて封止樹脂６３をモールド形成
する方法を用いている。これにより、半導体チップ６１
及びリード部６６の底面を除く部分及びワイヤ６５は封
止樹脂６３内に封止され保護された状態となる。尚、封
止樹脂６３の材料としては、例えばエポキシ樹脂が選定
されている。When the semiconductor chip mounting step is carried out as described above, the semiconductor chip 61 is mounted on the lead frame 72, and the wires 65 are arranged, subsequently, the sealing resin mounting step is carried out. The semiconductor chip 6 is used in the sealing resin disposing process.
This is a step of sealing the 1 and the lead portion 66 with the sealing resin 63, and is shown in FIG. In this embodiment, a method of molding the sealing resin 63 using a molding die is used. Thereby, the semiconductor chip 61
Also, the portion of the lead portion 66 other than the bottom surface and the wire 65 are sealed and protected in the sealing resin 63. As the material of the sealing resin 63, for example, epoxy resin is selected.
【０１３１】上記のように封止樹脂配設工程が実施され
封止樹脂６３が配設されると、続いて基板除去工程が実
施される。基板除去工程は、端子端部６９の配設位置を
残し基板７１及び可溶性絶縁材７８を除去する工程であ
る。この基板除去工程では、図１９（Ｈ）に示される半
導体装置組立体８０をアルカリ系エッチャント（エッチ
ング液）が充填されたエッチング槽に浸漬し、Ｃｕによ
り形成された基板７１をエッチングにより除去する。こ
のエッチング処理の際、前記したようにリード部６６及
び端子端部６９はアルカリ系エッチャントに対して溶解
しない材料（具体的材料は前述した通り）が選定されて
いる。このため、エッチング処理により柱状端子部６８
を形成する際、リード部６６及び端子端部６９をレジス
トとして用いることが可能となる。When the encapsulating resin disposing step is performed and the encapsulating resin 63 is disposed as described above, the substrate removing step is subsequently performed. The board removing step is a step of removing the board 71 and the soluble insulating material 78 while leaving the terminal position 69 disposed. In this substrate removing step, the semiconductor device assembly 80 shown in FIG. 19 (H) is immersed in an etching bath filled with an alkaline etchant (etching solution), and the substrate 71 formed of Cu is removed by etching. At the time of this etching process, as described above, the lead portion 66 and the terminal end portion 69 are selected from materials that do not dissolve in the alkaline etchant (specific materials are as described above). Therefore, the columnar terminal portion 68 is formed by the etching process.
When forming the, the lead portion 66 and the terminal end portion 69 can be used as a resist.
【０１３２】従って、上記のエッチング処理により、リ
ード部６６と端子端部６９とに挟まれた部分を除き基板
７１はアルカリ系エッチャントにより溶解され除去され
る。基板除去工程が終了した状態を図１９（Ｉ）に示
す。同図に示されるように、エッチング処理を実施して
も基板７１のリード部６６と端子端部６９とに挟まれた
部分は残存し、よってリード部６６と端子端部６９との
間に柱状端子部６８が形成される。Therefore, by the above etching process, the substrate 71 except the portion sandwiched between the lead portion 66 and the terminal end portion 69 is dissolved and removed by the alkaline etchant. FIG. 19I shows a state where the substrate removing step is completed. As shown in the figure, the portion sandwiched between the lead portion 66 and the terminal end portion 69 of the substrate 71 remains even after the etching process is performed, so that the columnar portion is formed between the lead portion 66 and the terminal end portion 69. The terminal portion 68 is formed.
【０１３３】これにより、外側方向に延出するリード部
６６と、柱状端子部６８及び端子端部６９とにより構成
されリード部６６に対し直角下方に延出する外部接続端
子部６７とにより構成されるリード体６２が形成され
る。また、前記したように可溶性絶縁材７８もエッチン
グ処理により除去されるため、基板除去工程が終了した
状態において、半導体チップ６１及びリード部６６（外
部接続端子部６７の形成位置を除く）の底面は封止樹脂
６３から露出した状態となっている。As a result, the lead portion 66 extends outward, and the external connection terminal portion 67 is formed of the columnar terminal portion 68 and the terminal end portion 69 and extends downward at right angles to the lead portion 66. The lead body 62 is formed. Further, since the soluble insulating material 78 is also removed by the etching process as described above, the bottom surfaces of the semiconductor chip 61 and the lead portions 66 (excluding the positions where the external connection terminal portions 67 are formed) are formed in the state where the substrate removing step is completed. It is exposed from the sealing resin 63.
【０１３４】上記のように基板除去工程が実施され所定
部分以外の基板７１が除去されると、続いて絶縁部材配
設工程が実施される。この絶縁部材配設工程は、前記し
た基板除去工程を行うことにより露出された半導体チッ
プ６１の下面及びリード部６６の下面を外部接続端子部
を除きソルダーレジスト６４（絶縁部材）で被覆する工
程であり、図１９（Ｊ）に示される。When the substrate removing step is performed and the substrate 71 other than the predetermined portion is removed as described above, the insulating member disposing step is subsequently performed. This insulating member disposing step is a step of covering the lower surface of the semiconductor chip 61 and the lower surface of the lead portion 66 exposed by performing the above-described substrate removing step with the solder resist 64 (insulating member) except for the external connection terminal portion. Yes, as shown in FIG.
【０１３５】この絶縁部材配設工程では、ソルダーレジ
スト６４として粘性の低い液状絶縁部材８１を用い、こ
の液状絶縁部材８１を図１９（Ｊ）に示されるようにポ
ッティングノズル８２を用いてポッティングした後スピ
ナー等を用いて所定の膜厚にコートするか、或いは塗布
することによりソルダーレジスト６４を形成する構成と
している。In this insulating member disposing step, a liquid insulating member 81 having a low viscosity is used as the solder resist 64, and after this liquid insulating member 81 is potted using a potting nozzle 82 as shown in FIG. 19 (J). The solder resist 64 is formed by coating or applying a predetermined film thickness using a spinner or the like.
【０１３６】上記のように、絶縁部材配設工程において
ソルダーレジスト６４の基材として粘性の低い液状絶縁
部材８１を用い、この液状絶縁部材８１をポッティング
或いは塗布する方法を用いることにより、絶縁部材配設
工程の簡単化を図ることができる。これは、外部接続端
子部６７がリード部６６より直角下方に延出した（即
ち、突出した）構成となっていることに起因する。As described above, in the insulating member disposing step, the liquid insulating member 81 having low viscosity is used as the base material of the solder resist 64, and the method of potting or applying the liquid insulating member 81 is used to dispose the insulating member. The installation process can be simplified. This is because the external connection terminal portion 67 is configured to extend downward (that is, project) from the lead portion 66 at a right angle downward.
【０１３７】仮に、外部接続端子部６７がＬＧＡ (Lan
d Grid Array) 構造の半導体装置のように平坦な（突出
量の小さい）構成であるとすると、液状絶縁部材を単に
ポッティング或いは塗布する方法では、外部接続端子部
は液状絶縁部材に覆われてしまい、ソルダーレジスト内
に埋設され接続端子として機能しなくなってしまう。よ
って、このＬＧＡ構造において液状絶縁部材を用いよう
とした場合、外部接続端子部には絶縁部材が付着しない
ようマスキング等の処理が必要となる。If the external connection terminal portion 67 is LGA (Lan
Assuming that the semiconductor device has a d-Grid Array structure and has a flat structure (a small amount of protrusion), the external connection terminals are not covered by the liquid insulating member when the liquid insulating member is simply potted or applied. , It is embedded in the solder resist and does not function as a connection terminal. Therefore, when a liquid insulating member is used in this LGA structure, a treatment such as masking is required so that the insulating member does not adhere to the external connection terminal portion.
【０１３８】これに対し、本実施例の如く外部接続端子
部６７がリード部６６より直角下方に延出した構成で
は、液状絶縁部材８１をポッティング或いは塗布しても
外部接続端子部６７は液状絶縁部材８１（ソルダーレジ
スト６４）を貫通して突出するため、上記したようなマ
スキング等の処理は不要となる。よって、絶縁部材配設
工程の簡単化を図ることができる。図２０（Ｋ）は、ソ
ルダーレジスト６４が形成された状態を示している。On the other hand, in the structure in which the external connection terminal portion 67 extends downward from the lead portion 66 at a right angle as in the present embodiment, the external connection terminal portion 67 is liquid-insulated even if the liquid insulating member 81 is potted or applied. Since the member 81 (solder resist 64) penetrates and protrudes, the above-described masking or other processing is not necessary. Therefore, the step of disposing the insulating member can be simplified. FIG. 20K shows a state where the solder resist 64 is formed.
【０１３９】上記のように絶縁部材配設工程が実施され
ソルダーレジスト６４が形成されると、続いて外装工程
が実施される。この外装工程は、ソルダーレジスト６４
から突出した外部接続端子部６７の表面に外装膜７０を
形成する工程である。具体的には、外部接続端子部６７
のソルダーレジスト６４を貫通して下方に延出した部分
には、例えば無電解めっきによりＡｕ或いは半田をめっ
きすることにより外装膜７０を形成する。この際、前記
したように半導体チップ６１の下面及びリード部６６の
下面は電気的絶縁材よりなるソルダーレジスト６４が配
設されているため、外装膜７０を無電解めっきにより外
部接続端子部６７に形成しても、外装膜７０が半導体チ
ップ６１及びリード部６６に付着するようなことはな
い。After the insulating member disposing step is performed and the solder resist 64 is formed as described above, the exterior step is subsequently performed. This exterior process uses solder resist 64
This is a step of forming the exterior film 70 on the surface of the external connection terminal portion 67 protruding from. Specifically, the external connection terminal portion 67
The exterior film 70 is formed by plating Au or solder by electroless plating, for example, on the portion that penetrates the solder resist 64 and extends downward. At this time, as described above, since the solder resist 64 made of an electrically insulating material is provided on the lower surface of the semiconductor chip 61 and the lower surface of the lead portion 66, the exterior film 70 is formed on the external connection terminal portion 67 by electroless plating. Even if formed, the exterior film 70 does not adhere to the semiconductor chip 61 and the lead portion 66.
【０１４０】以上説明してきた各工程を実施することに
より、図１７に示される半導体装置６０が製造される。
上記した製造方法では、予めリードフレーム形成工程に
おいてリードフレーム７２を形成し、このリードフレー
ム７２を基材として半導体装置６０の製造を行うため、
効率良くかつ高精度に半導体装置６０を製造することが
できる。By carrying out the steps described above, semiconductor device 60 shown in FIG. 17 is manufactured.
In the manufacturing method described above, the lead frame 72 is formed in advance in the lead frame forming step, and the semiconductor device 60 is manufactured using the lead frame 72 as a base material.
The semiconductor device 60 can be manufactured efficiently and highly accurately.
【０１４１】また、半導体チップ搭載工程において半導
体チップ６１はリードフレーム７２の所定位置に可溶性
絶縁材７８を用いて搭載され、かつ基板除去工程におい
て可溶性絶縁材７８は除去されるため、半導体チップ６
１の下面は露出された構成となる。従って、半導体チッ
プ６１の下面はソルダーレジスト６４と接触する構成と
なり、放熱特性を向上させることができる。In the semiconductor chip mounting step, the semiconductor chip 61 is mounted on the lead frame 72 at a predetermined position by using the soluble insulating material 78, and the soluble insulating material 78 is removed in the substrate removing step.
The lower surface of No. 1 is exposed. Therefore, the lower surface of the semiconductor chip 61 comes into contact with the solder resist 64, and the heat dissipation characteristics can be improved.
【０１４２】更に、絶縁部材配設工程を実施した後に外
部接続端子部６７の表面に外装膜７０を形成する外装工
程を実施するため、リード部６６及び半導体チップ６１
に外装膜７０が付着して隣接するリード部間及び半導体
チップ６１とリード部６６との間が外装膜７０により短
絡することを確実に防止することができる。Further, after the step of disposing the insulating member is performed, the step of forming the exterior film 70 on the surface of the external connection terminal portion 67 is performed, so that the lead portion 66 and the semiconductor chip 61 are formed.
It is possible to reliably prevent the exterior film 70 from adhering to and short-circuiting between the adjacent lead portions and between the semiconductor chip 61 and the lead portion 66 due to the exterior film 70.
【０１４３】続いて、本発明の第４実施例である半導体
装置９０について説明する。図２１は、本発明の第４実
施例である半導体装置９０の断面図である。尚、図２１
において、図１７に示した第３実施例に係る半導体装置
６０と同一構成については、同一符号を附してその説明
を省略する。Next, a semiconductor device 90 which is a fourth embodiment of the present invention will be described. FIG. 21 is a sectional view of a semiconductor device 90 which is a fourth embodiment of the present invention. Note that FIG.
In FIG. 17, the same components as those of the semiconductor device 60 according to the third embodiment shown in FIG. 17 are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.
【０１４４】本実施例に係る半導体装置９０は、第３実
施例に係る半導体装置６０が半導体チップ６１をリード
フレーム７２に搭載するのに可溶性絶縁部材７８を用い
たのに対し、不可溶性絶縁材９１を用いて半導体チップ
６１をリードフレーム７２に搭載したことを第１の特徴
とする。従って、基板７１をアルカリ系エッチャントに
よりエッチング処理しても不可溶性絶縁材９１は溶解す
ることはなく、図示されるように半導体チップ６１の下
部には不可溶性絶縁材９１が残存した構成とされてい
る。In the semiconductor device 90 according to the present embodiment, the soluble insulating member 78 is used for mounting the semiconductor chip 61 on the lead frame 72 in the semiconductor device 60 according to the third embodiment, whereas the insoluble insulating material is used. The first feature is that the semiconductor chip 61 is mounted on the lead frame 72 by using 91. Therefore, even if the substrate 71 is etched with an alkaline etchant, the insoluble insulating material 91 does not dissolve, and as shown in the figure, the insoluble insulating material 91 remains below the semiconductor chip 61. There is.
【０１４５】また、本実施例に係る半導体装置９０は、
上記の如く半導体チップ６１の下部に配設された不可溶
性絶縁材９１の下部にも外部接続端子部９２（以下、こ
の外部接続端子部９２を内周端子部９２という）を形成
したことを第２の特徴とするものである。従って、本実
施例に係る半導体装置９０では、半導体チップ６１の外
周部に外部接続端子部６７が配設されると共に、半導体
チップ６１の内周部には内周端子部９２が配設された構
成となる。即ち、半導体チップ６１の内周部及び外周部
の双方に上記端子部６７，９２が配設された構成とな
る。Further, the semiconductor device 90 according to the present embodiment is
As described above, the external connection terminal portion 92 (hereinafter, this external connection terminal portion 92 is referred to as the inner peripheral terminal portion 92) is also formed under the insoluble insulating material 91 disposed under the semiconductor chip 61. It is characterized by 2. Therefore, in the semiconductor device 90 according to the present embodiment, the external connection terminal portion 67 is arranged on the outer peripheral portion of the semiconductor chip 61, and the inner peripheral terminal portion 92 is arranged on the inner peripheral portion of the semiconductor chip 61. It will be composed. That is, the terminal portions 67 and 92 are arranged on both the inner peripheral portion and the outer peripheral portion of the semiconductor chip 61.
【０１４６】上記のように、半導体チップ６１の下部に
不可溶性絶縁材９１が残存する構成とすることにより、
この不可溶性絶縁材９１の下部（即ち、半導体チップ６
１の下部）に内周端子部９２を配設することが可能とな
る。図２１に示す実施例の半導体装置９０では、内周端
子部９２を半導体チップ６１で発生する熱を放熱する放
熱部材として用いている。As described above, the insoluble insulating material 91 remains under the semiconductor chip 61,
The lower portion of the insoluble insulating material 91 (that is, the semiconductor chip 6
It is possible to dispose the inner peripheral terminal portion 92 on the lower part of the position 1. In the semiconductor device 90 of the embodiment shown in FIG. 21, the inner peripheral terminal portion 92 is used as a heat radiating member for radiating the heat generated in the semiconductor chip 61.
【０１４７】この構成とすることにより、半導体チップ
６１で発生した熱は内周端子部９２を介して放熱され
る。特に、内周端子部９２は外部接続端子部６７と同一
の構成とされており、放熱性の良好なＣｕより形成され
る柱状端子部６８の下部にＮｉ膜及びＡｕ膜等よりなる
端子端部６９が配設された構成であるため、半導体チッ
プ６１で発生した熱を効率よく放熱することができる。
また、内周端子部９２にリード部を接続させた構成とす
ることにより、内周端子部９２を信号端子或いは電源端
子として用いることも可能であり、この構成とした場合
には多ピン化を実現でき、半導体装置９０の高密度化を
図ることができる。With this structure, the heat generated in the semiconductor chip 61 is radiated through the inner peripheral terminal portion 92. In particular, the inner peripheral terminal portion 92 has the same configuration as the external connection terminal portion 67, and a terminal end portion formed of a Ni film, an Au film, or the like is formed below the columnar terminal portion 68 formed of Cu having good heat dissipation. Since 69 is provided, the heat generated in the semiconductor chip 61 can be efficiently dissipated.
In addition, since the lead portion is connected to the inner peripheral terminal portion 92, it is possible to use the inner peripheral terminal portion 92 as a signal terminal or a power supply terminal. This can be realized, and the density of the semiconductor device 90 can be increased.
【０１４８】続いて、上記構成とされた半導体装置９０
の製造方法について、図２２及び図２３を用いて説明す
る。尚、図２１で示した半導体装置９０の構成と対応す
る部分については同一符号を附して説明する。また、図
１８乃至図２０を用いて説明した半導体装置６０の製造
方法と異なる点を重点的に説明し、同一処理については
その説明を省略する。Subsequently, the semiconductor device 90 configured as described above is used.
The manufacturing method will be described with reference to FIGS. 22 and 23. Note that the portions corresponding to the configuration of the semiconductor device 90 shown in FIG. Further, points different from the method of manufacturing the semiconductor device 60 described with reference to FIGS. 18 to 20 will be mainly described, and description of the same processing will be omitted.
【０１４９】半導体装置９０も、リードフレーム形成工
程，半導体チップ搭載工程，封止樹脂配設工程，基板除
去工程，絶縁部材配設工程，及び外装工程の各工程を実
施することにより製造される。図２２（Ａ）〜（Ｆ）は
リードフレーム形成工程を示している。本実施例に係る
リードフレーム形成工程において前記した製造方法と異
なる点は、図２２（Ｃ）において、フォトレジスト材７
３，７４に対して両面露光及び現像等を行うことにより
開口を形成する際、リード部６６の形成位置及び端子端
部６９の形成位置に開口７５，７６を形成するのに加
え、内周端子部９２の形成位置にも開口９３を形成する
点である。The semiconductor device 90 is also manufactured by performing the lead frame forming step, the semiconductor chip mounting step, the sealing resin disposing step, the substrate removing step, the insulating member disposing step, and the exterior step. 22A to 22F show a lead frame forming step. The difference between the lead frame forming step according to the present embodiment and the manufacturing method described above is that in FIG.
When the openings are formed by performing double-sided exposure and development on 3,74, in addition to forming the openings 75, 76 at the formation position of the lead portion 66 and the formation position of the terminal end portion 69, the inner peripheral terminal is formed. The point is that the opening 93 is also formed at the position where the portion 92 is formed.
【０１５０】この内周端子部９２の形成位置に形成され
た開口９３には、端子端部６９の形成位置に形成された
開口７６と同様にＮｉめっき（Ａｌ，Ｔｉでもよい）を
行い内層６９ａを形成し、続いてこの内層６９ａの上部
にＡｕめっき（Ａｇ，Ｐｄでもよい）を行い内周端子部
９２を形成する。即ち、内周端子部９２用の端子端部６
９の形成は、外部接続端子６７用の端子端部６９の形成
と同時に行われる。図２２（Ｄ）は、リード部６６及び
端子端部６９が形成された状態を示している。The opening 93 formed at the position where the inner peripheral terminal portion 92 is formed is plated with Ni (Al or Ti may be used) similarly to the opening 76 formed at the position where the terminal end portion 69 is formed. Then, Au plating (Ag or Pd may be used) is performed on the upper portion of the inner layer 69a to form the inner peripheral terminal portion 92. That is, the terminal end portion 6 for the inner peripheral terminal portion 92
9 is formed simultaneously with the formation of the terminal end portion 69 for the external connection terminal 67. FIG. 22D shows a state in which the lead portion 66 and the terminal end portion 69 are formed.
【０１５１】上記のように基板７１の両面所定位置にリ
ード部６６及び端子端部６９が形成されると、図２２
（Ｅ）に示されるようにフォトレジスト材７３，７４は
除去され、続いて基板７１を１個分の半導体装置９０の
領域毎に分割することにより、図２２（Ｆ）に示される
リードフレーム９４が形成される。When the lead portion 66 and the terminal end portion 69 are formed at predetermined positions on both surfaces of the substrate 71 as described above, FIG.
The photoresist materials 73 and 74 are removed as shown in (E), and then the substrate 71 is divided into regions of one semiconductor device 90, whereby the lead frame 94 shown in FIG. Is formed.
【０１５２】このように、リードフレーム形成工程にお
いて、内周端子部９２用の端子端部６９の形成と、外部
接続端子６７用の端子端部６９の形成とは同時に行われ
るため、内周端子部９２を設ける構成としてもリードフ
レーム形成工程が複雑になるようなことはない。As described above, in the lead frame forming step, the formation of the terminal end portion 69 for the inner peripheral terminal portion 92 and the formation of the terminal end portion 69 for the external connection terminal 67 are performed at the same time. Even if the portion 92 is provided, the lead frame forming process does not become complicated.
【０１５３】上記したリードフレーム形成工程を実施す
ることによりリードフレーム９４が形成されると、続い
て半導体チップ搭載工程が実施される。この半導体チッ
プ搭載工程では、リードフレーム９４の半導体チップ６
１が搭載される所定位置に、基板７１の材料であるＣｕ
を溶解するアルカリ系エッチャントでは溶解しない材料
（例えば、エポキシ樹脂等）よりなる不可溶性絶縁材９
１を塗布し、このふ可溶性絶縁材９１を接着剤として半
導体チップ６１をリードフレーム７２の上面に固定する
ことを特徴とする。図２２（Ｇ）は、半導体チップ搭載
工程が終了した状態を示している。When the lead frame 94 is formed by carrying out the above lead frame forming step, a semiconductor chip mounting step is subsequently carried out. In this semiconductor chip mounting process, the semiconductor chip 6 of the lead frame 94 is
1 is mounted on a predetermined position, and is made of Cu, which is the material of the substrate 71.
Insoluble insulating material 9 made of a material that does not dissolve in an alkaline etchant that dissolves
1 is applied, and the fusible insulating material 91 is used as an adhesive to fix the semiconductor chip 61 to the upper surface of the lead frame 72. FIG. 22G shows a state where the semiconductor chip mounting process is completed.
【０１５４】上記のように半導体チップ搭載工程が実施
されると封止樹脂配設工程が実施され、図２３（Ｈ）に
示されるように封止樹脂６３が配設される。この封止樹
脂配設工程が終了すると、続いて基板除去工程が実施さ
れる。この基板除去工程では、図２３（Ｈ）に示される
半導体装置組立体９５をアルカリ系エッチャント（エッ
チング液）が充填されたエッチング槽に浸漬し、Ｃｕに
より形成された基板７１をエッチングにより除去する。
このエッチング処理の際、前記したようにリード部６６
及び端子端部６９はアルカリ系エッチャントに対して溶
解しない材料が選定されている。このため、エッチング
処理により柱状端子部６８を形成する際、リード部６６
及び端子端部６９をレジストとして用いることが可能と
なる。When the semiconductor chip mounting step is performed as described above, the encapsulating resin disposing step is performed, and the encapsulating resin 63 is disposed as shown in FIG. When the sealing resin disposing process is completed, the substrate removing process is subsequently performed. In this substrate removal step, the semiconductor device assembly 95 shown in FIG. 23 (H) is immersed in an etching bath filled with an alkaline etchant (etching solution), and the substrate 71 formed of Cu is removed by etching.
During this etching process, as described above, the lead portion 66 is used.
A material that does not dissolve in the alkaline etchant is selected for the terminal end 69. Therefore, when the columnar terminal portion 68 is formed by the etching process, the lead portion 66 is formed.
Also, the terminal end portion 69 can be used as a resist.
【０１５５】従って、上記のエッチング処理により、リ
ード部６６と端子端部６９とに挟まれた部分を除き基板
７１はアルカリ系エッチャントにより溶解され除去され
る。基板除去工程が終了した状態を図２３（Ｉ）に示
す。同図に示されるように、エッチング処理を実施して
も基板７１のリード部６６と端子端部６９とに挟まれた
部分は残存し、よってリード部６６と端子端部６９との
間に柱状端子部６８が形成される。Therefore, the substrate 71 is dissolved and removed by the alkaline etchant except for the portion sandwiched between the lead portion 66 and the terminal end portion 69 by the above etching process. FIG. 23I shows a state where the substrate removing step is completed. As shown in the figure, the portion sandwiched between the lead portion 66 and the terminal end portion 69 of the substrate 71 remains even after the etching process is performed, so that the columnar portion is formed between the lead portion 66 and the terminal end portion 69. The terminal portion 68 is formed.
【０１５６】また、前記したように不可溶性絶縁材９１
は基板７１を溶解するアルカリ系エッチャントでは溶解
されない材料により形成されているため、上記のエッチ
ング処理を実施しても除去されず半導体チップ６１の下
部に残存する。これにより、外側方向に延出するリード
部６６と、柱状端子部６８及び端子端部６９とにより構
成されリード部６６に対し直角下方に延出する外部接続
端子部６７とにより構成されるリード体６２が形成され
ると共に、不可溶性絶縁材９１の下部（即ち、半導体チ
ップ６１の内周部）には内周端子部９２が形成される。
この内周端子部９２と半導体チップ６１とは不可溶性絶
縁材９１により電気的に絶縁されているため、内周端子
部９２が半導体チップ６１と短絡してしまうことはな
い。In addition, as described above, the insoluble insulating material 91
Is formed of a material that is not dissolved by an alkaline etchant that dissolves the substrate 71, and thus is not removed even if the above etching process is performed and remains below the semiconductor chip 61. As a result, a lead body formed by the lead portion 66 extending outward and the external connection terminal portion 67 formed by the columnar terminal portion 68 and the terminal end portion 69 and extending downward at right angles to the lead portion 66. 62 is formed, and an inner peripheral terminal portion 92 is formed below the insoluble insulating material 91 (that is, the inner peripheral portion of the semiconductor chip 61).
Since the inner peripheral terminal portion 92 and the semiconductor chip 61 are electrically insulated by the insoluble insulating material 91, the inner peripheral terminal portion 92 does not short-circuit with the semiconductor chip 61.
【０１５７】尚、本実施例においても基板除去工程が終
了した状態において、半導体チップ６１及びリード部６
６（外部接続端子部６７の形成位置を除く）の底面は封
止樹脂６３から露出した状態となっている。上記のよう
に基板除去工程が実施され所定部分以外の基板７１が除
去されると絶縁部材配設工程が実施され、図２３（Ｊ）
に示されるように半導体チップ６１の下面及びリード部
６６の下面にソルダーレジスト６４が配設される。ソル
ダーレジスト６４が配設されると、続いて外装工程が実
施されソルダーレジスト６４から突出した外部接続端子
部６７の表面に外装膜７０を形成し、図２１に示される
半導体装置９０が製造される。Also in this embodiment, the semiconductor chip 61 and the lead portion 6 are also in the state where the substrate removing process is completed.
The bottom surface of 6 (excluding the position where the external connection terminal portion 67 is formed) is exposed from the sealing resin 63. When the substrate removing process is performed and the substrate 71 other than the predetermined portion is removed as described above, the insulating member disposing process is performed, and FIG.
As shown in FIG. 3, the solder resist 64 is provided on the lower surface of the semiconductor chip 61 and the lower surface of the lead portion 66. When the solder resist 64 is provided, the exterior process is subsequently performed to form the exterior film 70 on the surface of the external connection terminal portion 67 protruding from the solder resist 64, and the semiconductor device 90 shown in FIG. 21 is manufactured. .
【０１５８】以上説明してきた各工程を実施することに
より、図２１に示される半導体装置９０が製造される。
上記した製造方法によれば、図１８乃至図２０を用いて
説明した製造方法と同様に、予めリードフレーム形成工
程においてリードフレーム９４を形成し、このリードフ
レーム９４を基材として半導体装置６０の製造を行うた
め、効率良くかつ高精度に半導体装置６０を製造するこ
とができる。By carrying out the steps described above, the semiconductor device 90 shown in FIG. 21 is manufactured.
According to the manufacturing method described above, similarly to the manufacturing method described with reference to FIGS. 18 to 20, the lead frame 94 is formed in advance in the lead frame forming step, and the semiconductor device 60 is manufactured using the lead frame 94 as a base material. Therefore, the semiconductor device 60 can be manufactured efficiently and highly accurately.
【０１５９】また、絶縁部材配設工程を実施した後に外
部接続端子部６７の表面に外装膜７０を形成する外装工
程を実施するため、リード部６６及び半導体チップ６１
に外装膜７０が付着して隣接するリード部間及び半導体
チップ６１とリード部６６との間が外装膜７０により短
絡することを確実に防止することができる。In addition, since the exterior step of forming the exterior film 70 on the surface of the external connection terminal portion 67 is performed after the insulation member disposing step, the lead portion 66 and the semiconductor chip 61 are formed.
It is possible to reliably prevent the exterior film 70 from adhering to and short-circuiting between the adjacent lead portions and between the semiconductor chip 61 and the lead portion 66 due to the exterior film 70.
【０１６０】これに加えて、本実施例に係る製造方法で
は、半導体チップ搭載工程において半導体チップ６１は
リードフレーム９４の所定位置に不可溶性絶縁材９１を
用いて搭載され、かつ基板除去工程において不可溶性絶
縁材９１はエッチングにより除去されず残存するため、
この不可溶性絶縁材９１の下部（即ち、半導体チップ６
１の下部）に半導体チップで発生する熱を放熱する内周
端子部９２（放熱部材）、或いは外部接続端子部を配設
することが可能となる。In addition to this, in the manufacturing method according to the present embodiment, the semiconductor chip 61 is mounted at a predetermined position of the lead frame 94 by using the insoluble insulating material 91 in the semiconductor chip mounting step, and the semiconductor chip 61 is not mounted in the substrate removing step. Since the soluble insulating material 91 remains without being removed by etching,
The lower portion of the insoluble insulating material 91 (that is, the semiconductor chip 6
It is possible to dispose the inner peripheral terminal portion 92 (heat dissipating member) or the external connection terminal portion for dissipating the heat generated in the semiconductor chip in the lower part (1).
【０１６１】続いて、本発明の第５実施例である半導体
装置１００について説明する。図２４は、本発明の第５
実施例である半導体装置９０の断面図である。尚、図２
４において、図１７に示した第３実施例に係る半導体装
置６０と同一構成については、同一符号を附してその説
明を省略する。Next, a semiconductor device 100 which is a fifth embodiment of the present invention will be described. FIG. 24 shows the fifth embodiment of the present invention.
It is a sectional view of semiconductor device 90 which is an example. Incidentally, FIG.
4, the same components as those of the semiconductor device 60 according to the third embodiment shown in FIG. 17 are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.
【０１６２】本実施例に係る半導体装置９０は、第３実
施例に係る半導体装置６０が半導体チップ６１とリード
部６６を接続するのにワイヤ６５を用いていたのに対
し、半導体チップ６１とリード部６６を接続するのにバ
ンプ１０１を用いフリップチップボンディングを行う構
成としたことを特徴とする。In the semiconductor device 90 according to the present embodiment, the wire 65 is used to connect the semiconductor chip 61 and the lead portion 66 in the semiconductor device 60 according to the third embodiment, whereas the semiconductor device 61 and the lead are connected. It is characterized in that the bumps 101 are used to connect the portions 66 and flip-chip bonding is performed.
【０１６３】このように、フリップチップボンディング
法を用いて半導体チップ６１とリード部６６とをバンプ
１０１により直接接続する構成とすることにより、接続
部における電気的特性（例えば、インピーダンス特性）
を向上することができ、またワイヤボンディング法に比
べて高密度化を図れるため、多ピン化に対応することが
できる。As described above, the flip chip bonding method is used to directly connect the semiconductor chip 61 and the lead portion 66 to each other by the bump 101, so that the electrical characteristic (eg, impedance characteristic) of the connecting portion is obtained.
Can be improved, and the density can be increased as compared with the wire bonding method, so that the number of pins can be increased.
【０１６４】続いて、上記構成とされた半導体装置１０
０の製造方法について、図２５及び図２６を用いて説明
する。尚、図２４で示した半導体装置１００の構成と対
応する部分については同一符号を附して説明する。ま
た、図１８乃至図２０を用いて説明した半導体装置６０
の製造方法と異なる点を重点的に説明し、同一処理につ
いてはその説明を省略する。Subsequently, the semiconductor device 10 having the above structure
The manufacturing method of 0 will be described with reference to FIGS. 25 and 26. The parts corresponding to the configuration of the semiconductor device 100 shown in FIG. 24 will be described with the same reference numerals. In addition, the semiconductor device 60 described with reference to FIGS.
The different points from the manufacturing method will be mainly described, and the description of the same processing will be omitted.
【０１６５】本実施例に係る半導体装置１００も、リー
ドフレーム形成工程，半導体チップ搭載工程，封止樹脂
配設工程，基板除去工程，絶縁部材配設工程，及び外装
工程の各工程を実施することにより製造される。図２５
（Ａ）〜（Ｆ）はリードフレーム形成工程を示してい
る。本実施例に係るリードフレーム形成工程において前
記した製造方法と異なる点は、図２５（Ｃ）において、
フォトレジスト材７３，７４に対して両面露光及び現像
等を行うことにより開口を形成する際、リード部６６の
形成位置に対応する開口１０２を半導体チップ６１の下
部にまで延出するよう長く形成した点である。Also in the semiconductor device 100 according to this embodiment, the lead frame forming step, the semiconductor chip mounting step, the sealing resin disposing step, the substrate removing step, the insulating member disposing step, and the exterior step are performed. Manufactured by. Figure 25
(A)-(F) has shown the lead frame formation process. The difference between the lead frame forming step according to the present embodiment and the manufacturing method described above is that in FIG.
When the openings are formed by performing double-sided exposure and development on the photoresist materials 73 and 74, the openings 102 corresponding to the formation positions of the lead portions 66 are formed long so as to extend to the lower part of the semiconductor chip 61. It is a point.
【０１６６】この開口１０２には、端子端部６９の形成
位置に形成された開口７６と同様にＮｉめっき（Ａｌ，
Ｔｉでもよい）を行い内層６９ａを形成し、続いてこの
内層６９ａの上部にＡｕめっき（Ａｇ，Ｐｄでもよい）
を行い内周端子部９２を形成する。In this opening 102, similarly to the opening 76 formed at the position where the terminal end portion 69 is formed, Ni plating (Al,
Ti may be used) to form the inner layer 69a, and then Au plating (Ag or Pd may be used) on the upper portion of the inner layer 69a.
Then, the inner peripheral terminal portion 92 is formed.
【０１６７】上記のように基板７１の両面所定位置にリ
ード部６６及び端子端部６９が形成されると、図２５
（Ｅ）に示されるようにフォトレジスト材７３，７４は
除去され、続いて基板７１を１個分の半導体装置９０の
領域毎に分割することにより、図２５（Ｆ）に示される
リードフレーム７２が形成される。When the lead portion 66 and the terminal end portion 69 are formed at predetermined positions on both surfaces of the substrate 71 as described above, FIG.
As shown in FIG. 25E, the photoresist materials 73 and 74 are removed, and subsequently, the substrate 71 is divided into regions of one semiconductor device 90, whereby the lead frame 72 shown in FIG. Is formed.
【０１６８】このように、リードフレーム形成工程にお
いて、リード部６６の長さ及び形状は任意に設定するこ
とが可能であり、よってフリップチップボンディング法
にも容易に対応することができる。上記したリードフレ
ーム形成工程を実施することによりリードフレーム７２
が形成されると、続いて半導体チップ搭載工程が実施さ
れる。この半導体チップ搭載工程では、予め半導体チッ
プ６１の電極パッド或いはリード部６６の所定位置にバ
ンプ１０１（半田バンプ或いは金バンプ等）を形成して
おき、半導体チップ６１をリード部６６にフェイスダウ
ンした上で加熱処理することにより半導体チップ６１を
リード部６６に接合する。このフリップチップボンディ
ング法を用いることにより、前述したように電気的特性
及び高密度化を図ることができる。図２５（Ｇ）は半導
体チップ搭載工程が終了した状態を示している。As described above, in the lead frame forming step, the length and shape of the lead portion 66 can be set arbitrarily, so that the flip chip bonding method can be easily applied. By performing the lead frame forming process described above, the lead frame 72
When is formed, a semiconductor chip mounting step is subsequently performed. In this semiconductor chip mounting step, bumps 101 (solder bumps, gold bumps, etc.) are formed in advance on electrode pads of the semiconductor chip 61 or at predetermined positions of the lead portion 66, and the semiconductor chip 61 is face down to the lead portion 66. The semiconductor chip 61 is bonded to the lead portion 66 by heat treatment at. By using this flip chip bonding method, electrical characteristics and high density can be achieved as described above. FIG. 25G shows a state where the semiconductor chip mounting process is completed.
【０１６９】尚、図２５及び図２６に示す実施例では図
示されていないが、前記した各実施例に係る製造方法の
ように、半導体チップ６１の下部に可溶性絶縁材或いは
不可溶性絶縁材を塗布する構成としてもよい。この可溶
性絶縁材或いは不可溶性絶縁材を塗布した構成における
効果は、前述した通りである。Although not shown in the embodiments shown in FIGS. 25 and 26, a soluble insulating material or an insoluble insulating material is applied to the lower portion of the semiconductor chip 61 as in the manufacturing method according to each of the above-described embodiments. It may be configured to. The effect of the structure in which the soluble insulating material or the insoluble insulating material is applied is as described above.
【０１７０】上記のように半導体チップ搭載工程が実施
されると封止樹脂配設工程が実施され、図２６（Ｈ）に
示されるように封止樹脂６３が配設される。この封止樹
脂配設工程が終了すると、続いて基板除去工程が実施さ
れる。この基板除去工程では、図２６（Ｈ）に示される
半導体装置組立体１０３をアルカリ系エッチャント（エ
ッチング液）が充填されたエッチング槽に浸漬し、Ｃｕ
により形成された基板７１をエッチングにより除去す
る。このエッチング処理により、リード部６６と端子端
部６９とに挟まれた部分を除き基板７１はアルカリ系エ
ッチャントにより溶解され除去される。図２６（Ｉ）
は、基板除去工程が終了した状態を示している。When the semiconductor chip mounting step is performed as described above, the encapsulating resin disposing step is performed and the encapsulating resin 63 is disposed as shown in FIG. When the sealing resin disposing process is completed, the substrate removing process is subsequently performed. In this substrate removing step, the semiconductor device assembly 103 shown in FIG. 26H is immersed in an etching bath filled with an alkaline etchant (etching solution), and Cu
The substrate 71 formed by is removed by etching. By this etching process, the substrate 71 is dissolved and removed by the alkaline etchant except for the portion sandwiched between the lead portion 66 and the terminal end portion 69. FIG. 26 (I)
Shows the state where the substrate removing step is completed.
【０１７１】上記のように基板除去工程が実施され所定
部分以外の基板７１が除去されると絶縁部材配設工程が
実施され、図２６（Ｊ）に示されるように半導体チップ
６１の下面及びリード部６６の下面にソルダーレジスト
６４が配設される。ソルダーレジスト６４が配設される
と、続いて外装工程が実施されソルダーレジスト６４か
ら突出した外部接続端子部６７の表面に外装膜７０を形
成し、図２４に示される半導体装置９０が製造される。When the substrate removing step is performed and the substrate 71 other than the predetermined portion is removed as described above, the insulating member disposing step is performed, and as shown in FIG. The solder resist 64 is disposed on the lower surface of the portion 66. When the solder resist 64 is provided, an exterior process is subsequently performed to form an exterior film 70 on the surface of the external connection terminal portion 67 protruding from the solder resist 64, and the semiconductor device 90 shown in FIG. 24 is manufactured. .
【０１７２】続いて、上記した半導体装置の製造工程の
内、リードフレーム形成工程の変形例について図２７及
び図２８を用いて説明する。図２７は、リードフレーム
形成工程の第１の変形例を示している。前記したリード
フレーム形成工程では、リード部６６及び端子端部６９
を形成するのにフォトレジスト材７３，７４を配設し、
これに所定の開口７５，７６を形成することによりリー
ド部６６及び端子端部６９を所定位置に所定形状で形成
する方法が行われていた。Next, a modified example of the lead frame forming step among the above semiconductor device manufacturing steps will be described with reference to FIGS. 27 and 28. FIG. 27 shows a first modification of the lead frame forming step. In the lead frame forming step described above, the lead portion 66 and the terminal end portion 69 are formed.
Photoresist materials 73 and 74 are provided to form
A method of forming the lead portion 66 and the terminal end portion 69 at a predetermined position with a predetermined shape by forming predetermined openings 75 and 76 in this has been performed.
【０１７３】これに対し本変形例では、フォトレジスト
材７３，７４に代えてメタルマスクを用いたことを特徴
とするものである。具体的には、図２７（Ａ）に示され
るように、予めリード部６６の形成位置に開口１０７が
形成された上面用メタルマスク１０５と、端子端部６９
の形成位置に開口１０８が形成された下面用メタルマス
ク１０６を用意する。On the other hand, the present modification is characterized in that a metal mask is used instead of the photoresist materials 73 and 74. Specifically, as shown in FIG. 27A, the metal mask 105 for the upper surface in which the opening 107 is previously formed at the position where the lead portion 66 is formed, and the terminal end portion 69.
A lower surface metal mask 106 having an opening 108 formed at the formation position is prepared.
【０１７４】続いて、図２７（Ｂ）に示されるように、
上面用メタルマスク１０５と下面用メタルマスク１０６
を基板７１に装着する。この際、上面用メタルマスク１
０５と下面用メタルマスク１０６は高精度に位置決めさ
れた上で基板７１に装着される。Then, as shown in FIG. 27 (B),
Top metal mask 105 and bottom metal mask 106
Are mounted on the substrate 71. At this time, the metal mask 1 for the upper surface
05 and the lower surface metal mask 106 are accurately positioned and then mounted on the substrate 71.
【０１７５】上記のように各メタルマスク１０５，１０
６が基板７１に装着されると、基板７１は蒸着装置（或
いはスパッタ装置）にセットされ、上記各開口１０７，
１０８内にＮｉ，Ａｌ，或いはＴｉが先ず蒸着法により
膜形成されて内層６６ａ，６９ａが形成され、続いてこ
の内層６６ａ，６９ａの上部にＡｕ、Ａｇ，或いはＰｄ
が蒸着法により膜形成されて外層６６ｂ，６９ｂが形成
される。As described above, each metal mask 105, 10
When 6 is mounted on the substrate 71, the substrate 71 is set in the vapor deposition device (or the sputtering device), and the openings 107,
First, Ni, Al, or Ti is formed into a film in 108 by an evaporation method to form inner layers 66a and 69a, and then Au, Ag, or Pd is formed on the inner layers 66a and 69a.
Is formed by a vapor deposition method to form outer layers 66b and 69b.
【０１７６】これにより、図２７（Ｃ）に示されるよう
に、各メタルマスク１０５，１０６の各開口１０７，１
０８内にリード部６６及び端子端部６９が形成される。
また、その後に各メタルマスク１０５，１０６を基板７
１から取り外すことにより、図２７（Ｄ）に示されるよ
うに、基板７１の所定位置にリード部６６及び端子端部
６９が形成される。As a result, as shown in FIG. 27C, the openings 107, 1 of the metal masks 105, 106 are formed.
The lead portion 66 and the terminal end portion 69 are formed in the 08.
After that, the metal masks 105 and 106 are attached to the substrate 7
By removing from 1, the lead portion 66 and the terminal end portion 69 are formed at predetermined positions on the substrate 71, as shown in FIG.
【０１７７】上記した第１変形例によれば、蒸着法（或
いはスパッタリング法）を用いてリード部６６及び端子
端部６９を形成することが可能となる。また、各メタル
マスク１０５，１０６は予め開口１０７，１０８が形成
されてるいため、フォトレジスト材７３，７４を用いる
場合に実施する露光，現像等の処理が不要となり、リー
ドフレーム形成工程の簡単化を図ることができる。According to the first modification described above, the lead portion 66 and the terminal end portion 69 can be formed by using the vapor deposition method (or the sputtering method). Further, since the openings 107 and 108 are formed in the metal masks 105 and 106 in advance, the processes such as exposure and development which are performed when the photoresist materials 73 and 74 are used are unnecessary, and the lead frame forming process can be simplified. Can be planned.
【０１７８】図２８は、リードフレーム形成工程の第２
の変形例を示している。前記した各リードフレーム形成
工程では、リード部６６及び端子端部６９を形成するの
に、先ず基板７１にフォトレジスト材７３，７４を配設
し、これに所定の開口７５，７６を形成した後にリード
部６６及び端子端部６９となる内層６６ａ，６９ａ及び
外層６６ｂ，６９ｂを形成する方法が行われていた。FIG. 28 shows a second lead frame forming step.
Shows a modified example of. In each of the lead frame forming steps described above, in order to form the lead portion 66 and the terminal end portion 69, first, the photoresist materials 73 and 74 are arranged on the substrate 71, and after the predetermined openings 75 and 76 are formed therein, The method of forming the inner layers 66a and 69a and the outer layers 66b and 69b to be the lead portion 66 and the terminal end portion 69 has been performed.
【０１７９】これに対し本変形例では、先ず基板７１に
リード部６６及び端子端部６９となる内層膜１１０及び
外層膜１１１を基板全面に形成し、その後にフォトレジ
スト材１１２，１１３を配設する構成としたことを特徴
とするものである。具体的には図２８（Ａ）に示される
基板７１に、先ず図２８（Ｂ）に示されるように、基板
７１の上面及び下面の全面にわたり内層膜１１０及び外
層膜１１１を形成する。この内層膜１１０及び外層膜１
１１の形成は、めっき法を用いても、また蒸着法（スパ
ッタリング法）を用いてもよい。On the other hand, in this modified example, first, the inner layer film 110 and the outer layer film 111 to be the lead portion 66 and the terminal end portion 69 are formed on the substrate 71 over the entire surface of the substrate, and then the photoresist materials 112 and 113 are arranged. It is characterized by having a configuration. Specifically, on the substrate 71 shown in FIG. 28A, first, as shown in FIG. 28B, the inner layer film 110 and the outer layer film 111 are formed over the entire upper surface and lower surface of the substrate 71. The inner layer film 110 and the outer layer film 1
The formation of 11 may use a plating method or a vapor deposition method (sputtering method).
【０１８０】続いて、内層膜１１０及び外層膜１１１が
形成された基板７１にフォトレジスト材１１２，１１３
を配設し、このフォトレジスト材１１２，１１３に露
光，現像処理等を実施することによりリード部６６の形
成位置及び端子端部６９の形成位置のみにフォトレジス
ト材１１２，１１３を残存させる。図２８（Ｃ）は、以
上の処理が終了した状態を示している。Then, photoresist materials 112 and 113 are formed on the substrate 71 on which the inner layer film 110 and the outer layer film 111 are formed.
Is provided, and the photoresist materials 112 and 113 are exposed and developed, so that the photoresist materials 112 and 113 are left only at the formation positions of the lead portions 66 and the terminal end portions 69. FIG. 28C shows a state in which the above processing is completed.
【０１８１】続いて、内層膜１１０及び外層膜１１１を
共に溶解するエチャント（エッチング液）を用いて内層
膜１１０及び外層膜１１１をエッチング処理する。この
際、フォトレジスト材１１２，１１３に被覆された部分
における内層膜１１０及び外層膜１１１はエッチングさ
れないため、図２８（Ｄ）に示されるように基板７１の
所定位置にリード部６６及び端子端部６９が形成され
る。Subsequently, the inner layer film 110 and the outer layer film 111 are etched using an etchant (etching solution) that dissolves both the inner layer film 110 and the outer layer film 111. At this time, since the inner layer film 110 and the outer layer film 111 in the portion covered with the photoresist materials 112 and 113 are not etched, the lead portion 66 and the terminal end portion are provided at predetermined positions of the substrate 71 as shown in FIG. 69 is formed.
【０１８２】そして、その後にリード部６６及び端子端
部６９の上部に残存しているフォトレジスト材１１２，
１１３を除去することにより、図２８（Ｅ）に示される
ように、基板７１の所定位置にリード部６６及び端子端
部６９のみが形成された状態となる。After that, the photoresist material 112 remaining on the lead portion 66 and the terminal end portion 69,
By removing 113, only the lead portion 66 and the terminal end portion 69 are formed at predetermined positions of the substrate 71, as shown in FIG. 28 (E).
【０１８３】上記した第２変形例によっても蒸着法（或
いはスパッタリング法）を用いてリード部６６及び端子
端部６９を形成することが可能となる。また、フォトレ
ジスト材１１２，１１３に関する工程は、前記した各製
造方法に係る工程と同一であるため、第２変形例を採用
しても徒に製造工程が複雑になるようなことはない。According to the second modification described above, the lead portion 66 and the terminal end portion 69 can be formed by using the vapor deposition method (or the sputtering method). Further, since the steps relating to the photoresist materials 112 and 113 are the same as the steps relating to the above-mentioned manufacturing methods, the manufacturing steps do not become complicated even if the second modification is adopted.
【０１８４】続いて、上記した半導体装置の製造工程の
内、封止樹脂配設工程の変形例について説明する。図３
０は、封止樹脂配設工程の変形例を示している。前記し
た封止樹脂配設工程では、封止樹脂６３を形成するのに
モールド金型を用いるモールド法が用いられていた。し
かるに、このモールド法ではモールド金型を製造するの
に金型コストが高く、延いては半導体装置の製品コスト
が上昇してしまう。そこで、本変形例ではモールド金型
を用いないポッティング法により封止樹脂１１６を形成
することを特徴とするものである。Next, a modified example of the encapsulating resin disposing step of the above-described semiconductor device manufacturing steps will be described. FIG.
0 indicates a modification of the sealing resin disposing process. In the sealing resin disposing step described above, a molding method using a molding die is used to form the sealing resin 63. However, in this molding method, the mold cost is high for manufacturing the mold, and the product cost of the semiconductor device is increased accordingly. Therefore, the present modification is characterized in that the sealing resin 116 is formed by a potting method without using a molding die.
【０１８５】本変形例においては、先ずリードフレーム
形成工程において、基板７１上で封止樹脂１１６が配設
される所定領域の境界部に樹脂止め部１１５を一体的に
形成する。この樹脂止め部１１５は、基板７１の上部に
突出した突起であり、例えばプレス加工或いは切削加工
等により形成される。In this modification, first, in the lead frame forming step, the resin stopper 115 is integrally formed on the boundary of the predetermined region where the sealing resin 116 is provided on the substrate 71. The resin stopper 115 is a protrusion protruding above the substrate 71 and is formed by, for example, press working or cutting.
【０１８６】続いて、前記したと同様なリードフレーム
形成工程及び半導体チップ搭載工程を実施することによ
り、図３０（Ｂ）に示すように、基板７１に半導体チッ
プ６１，ワイヤ６５，リード部６６，端子端部６９等を
配設する。尚、図３０に示す例では、半導体チップ６１
の下部に可溶性絶縁部材７８が配設されている。Subsequently, by performing the same lead frame forming step and semiconductor chip mounting step as described above, the semiconductor chip 61, the wires 65, the lead portions 66, The terminal end portion 69 and the like are provided. In the example shown in FIG. 30, the semiconductor chip 61
A fusible insulating member 78 is disposed below the.
【０１８７】続いて実施される封止樹脂配設工程では、
図３０（Ｃ）に示されるように、ポッティングにより封
止樹脂１１６を形成する。この際、上記のようにリード
フレーム形成工程において基板７１には樹脂止め部１１
５が形成されているため、封止樹脂配設工程において封
止樹脂１１６をポッティングしても樹脂止め部１１５よ
りも外部に樹脂が漏出するとを防止できる。In the encapsulating resin disposing process carried out subsequently,
As shown in FIG. 30C, the sealing resin 116 is formed by potting. At this time, as described above, in the lead frame forming step, the resin stopper 11 is formed on the substrate 71.
5 is formed, it is possible to prevent the resin from leaking to the outside of the resin stopper 115 even if the sealing resin 116 is potted in the sealing resin disposing step.
【０１８８】これにより、ポッティング法を用いて封止
樹脂１１６を形成することが可能となる。また、ポッテ
ィング法による封止樹脂１１６の形成は、モールド処理
と異なり金型を必要としないため封止樹脂配設工程の簡
単化及び製品コストの低減を図ることができる。This makes it possible to form the sealing resin 116 using the potting method. Further, unlike the molding process, the formation of the sealing resin 116 by the potting method does not require a mold, so that the sealing resin disposing process can be simplified and the product cost can be reduced.
【０１８９】上記のようにポッティング法により封止樹
脂１１６が形成されると、続いて基板除去工程が実施さ
れる。基板除去工程では、基板７１に対してエッチング
処理が実施され、リード部６６と端子端部６９に挟まれ
た部分を除き基板７１が除去され、図３０（Ｄ）に示さ
れるように外部接続端子部６７が形成される。この際、
上記のように樹脂止め部１１５は基板７１と一体的な構
成とされているため、基板除去工程において樹脂止め部
１１５はエッチング処理により除去される。When the encapsulating resin 116 is formed by the potting method as described above, the substrate removing step is subsequently performed. In the substrate removing step, the substrate 71 is etched to remove the substrate 71 except the portion sandwiched between the lead portion 66 and the terminal end portion 69, and the external connection terminal is removed as shown in FIG. The part 67 is formed. On this occasion,
As described above, since the resin stopper 115 is formed integrally with the substrate 71, the resin stopper 115 is removed by etching in the substrate removing step.
【０１９０】続いて、絶縁部材配設工程が実施されるこ
とによりソルターレジスト６４が形成され、更に外装工
程を実施することにより外部接続端子部６７の表面に外
装膜７０が形成され、図３０（Ｅ）に示される半導体装
置１２０が形成される。この半導体装置１２０は、基板
除去工程において樹脂止め部１１５がエッチング処理に
より除去されているため、完成した状態において樹脂止
め部１１５は残存しない。よって、樹脂止め部１１５が
邪魔になったり、また樹脂止め部１１５により半導体装
置１２０が大型化してしまうことを防止することができ
る。Subsequently, an insulating member disposing step is performed to form the salter resist 64, and an external packaging step is further performed to form an external packaging film 70 on the surface of the external connection terminal portion 67, as shown in FIG. The semiconductor device 120 shown in E) is formed. In this semiconductor device 120, the resin stopper 115 is removed by the etching process in the substrate removing step, so that the resin stopper 115 does not remain in the completed state. Therefore, it is possible to prevent the resin stopper 115 from becoming an obstacle and prevent the resin stopper 115 from increasing the size of the semiconductor device 120.
【０１９１】続いて、上記した半導体装置の製造工程の
内、基板除去工程の変形例について説明する。図３１
は、基板除去工程の変形例を示している。前記した基板
除去工程では、基板７１をエッチングして柱状端子部６
８を形成するのに、切欠等が形成されない板状の端子端
部６９をレジストとして用いていた。このため、エッチ
ング処理において基板７１をオーバーエッチングした場
合には、図３１（Ｃ）に示されるように、端子端部６９
が柱状端子部６８より側方に延出し鍔状に残存しリード
形状が不良となってしまう。Next, a modified example of the substrate removing step among the above-described semiconductor device manufacturing steps will be described. Figure 31
Shows a modification of the substrate removing step. In the substrate removing step described above, the substrate 71 is etched to form the columnar terminal portions 6
In order to form No. 8, the plate-shaped terminal end 69 having no notch or the like was used as a resist. Therefore, when the substrate 71 is over-etched in the etching process, as shown in FIG.
Extends laterally from the columnar terminal portion 68 and remains in a brim shape, resulting in a defective lead shape.
【０１９２】そこで、本実施例ではエッチング処理後に
端子端部６９が鍔状に残ることを防止するために、エッ
チング液を用いて基板７１を溶解する前に端子端部６９
に外部接続端子部６７（柱状端子部６８）の断面形状に
対応した切欠部１２５を形成しておくことを特徴とする
ものである。Therefore, in this embodiment, in order to prevent the terminal end portion 69 from remaining in a brim shape after the etching process, the terminal end portion 69 is dissolved before the substrate 71 is dissolved by using an etching solution.
It is characterized in that a notch 125 corresponding to the cross-sectional shape of the external connection terminal 67 (columnar terminal 68) is formed.
【０１９３】図３１（Ａ）は、この切欠部１２５が形成
された端子端部６９を拡大して示している。同図に示さ
れるように、切欠部１２５は端子端部６９を貫通して形
成されており、その形成位置はエッチングにより形成し
ようとする柱状端子部６８の形状（図中、破線で示す）
に対応するよう選定されている。FIG. 31A is an enlarged view of the terminal end portion 69 in which the cutout portion 125 is formed. As shown in the figure, the notch 125 is formed so as to penetrate the terminal end 69, and the position of the notch 125 is the shape of the columnar terminal 68 to be formed by etching (indicated by a broken line in the figure).
Has been selected to correspond to.
【０１９４】この切欠部１２５の形成は、前記したリー
ドフレーム形成工程において、図１８（Ｃ）で示す工程
において、切欠部１２５の形成位置にフォトレジスト７
４を残すことにより容易に形成することができる。ま
た、図１８（Ａ）〜（Ｆ）に示すリードフレーム形成工
程を実施した後に、レーザ加工装置等を用いて端子端部
６９に切欠部１２５を形成する方法を用いてもよい。This notch 125 is formed by forming the photoresist 7 at the position where the notch 125 is formed in the step shown in FIG. 18C in the lead frame forming step described above.
It can be easily formed by leaving 4. Alternatively, a method of forming the notch 125 in the terminal end 69 using a laser processing device or the like may be used after the lead frame forming step shown in FIGS. 18A to 18F is performed.
【０１９５】切欠部１２５が形成された端子端部６９を
具備する基板７１に対しエッチング処理を行うと、基板
７１に対するエッチングが端子端部６９に形成された切
欠部１２５まで進まない状態においては、端子端部６９
の切欠部１２５より外周部分（以下、外周部６９-1とい
う）は基板７１に固定された状態を維持する。When the substrate 71 having the terminal end portion 69 having the cutout portion 125 is subjected to the etching process, in a state where the etching for the substrate 71 does not proceed to the cutout portion 125 formed in the terminal end portion 69, Terminal end 69
An outer peripheral portion (hereinafter, referred to as an outer peripheral portion 69-1) of the notch portion 125 is kept fixed to the substrate 71.
【０１９６】しかるに、基板７１に対するエッチングが
端子端部６９に形成された切欠部１２５まで進むと、図
３１（Ｂ）に示されるように端子端部６９の切欠部１２
５より外周に位置する外周部６９-1は基板７１及び端子
端部６９から脱落する。よって本変形例によれば、エッ
チング処理後に端子端部６９が柱状端子部６８から鍔状
に延出することを防止することができ、良好なリード形
状を実現することができる。However, when the etching of the substrate 71 proceeds to the cutout portion 125 formed in the terminal end portion 69, the cutout portion 12 of the terminal end portion 69 is formed as shown in FIG. 31B.
The outer peripheral portion 69-1 located on the outer periphery of 5 is detached from the substrate 71 and the terminal end portion 69. Therefore, according to this modification, it is possible to prevent the terminal end portion 69 from extending in a brim shape from the columnar terminal portion 68 after the etching process, and it is possible to realize a good lead shape.
【０１９７】続いて、上記した半導体装置の製造工程の
内、外装工程の変形例について説明する。図３２は、外
装工程の変形例を示している。前記した外装工程では、
外装膜７０を外部接続端子部６７の表面に配設するのに
電界めっきを用いていた。これに対し、本変形例ではデ
ィンプルプレート１３０を用いて外装膜７０を形成する
ことを特徴とするものである。以下、本変形例に係る外
装工程の具体的処理について説明する。Next, a modified example of the exterior process in the above-described semiconductor device manufacturing process will be described. FIG. 32 shows a modification of the exterior process. In the exterior process described above,
Electric field plating was used to dispose the exterior film 70 on the surface of the external connection terminal portion 67. On the other hand, the present modification is characterized in that the dimple plate 130 is used to form the exterior film 70. Hereinafter, a specific process of the exterior process according to this modification will be described.
【０１９８】外装膜７０を形成するには、先ず外部接続
端子部６７に対応した位置にディンプル部１３１が形成
されたディンプルプレート１３０を用意する。このディ
ンプルプレート１３０は、例えばセラミック或いは金属
等により形成されており、またディンプル部１３１は半
球状の凹部とされている。To form the exterior film 70, first, the dimple plate 130 having the dimple portion 131 formed at a position corresponding to the external connection terminal portion 67 is prepared. The dimple plate 130 is made of, for example, ceramic or metal, and the dimple portion 131 is a hemispherical recess.
【０１９９】続いて、上記構成とされたディンプルプレ
ート１３０に形成さたれディンプル部１３１に半田ペー
スト１３２を充填する。この半田ペースト１３２のディ
ンプル部１３１への充填は、厚膜印刷技術を利用してス
キージ等を用いて行う。また、各ディンプル部１３１の
形状は等しく形成されているため、各ディンプル部１３
１に充填される半田ペースト１３２の量も等しくなる。
図３２（Ａ）は、ディンプル部１３１に半田ペースト１
３２を充填した状態を示している。Subsequently, the dimple portion 131 formed on the dimple plate 130 having the above structure is filled with the solder paste 132. The solder paste 132 is filled in the dimple portion 131 by using a squeegee or the like using the thick film printing technique. Further, since the dimple portions 131 are formed to have the same shape, each dimple portion 13 is formed.
The amount of the solder paste 132 filled in 1 is also equal.
In FIG. 32A, the solder paste 1 is applied to the dimple portion 131.
The state where 32 is filled is shown.
【０２００】続いて、半田ペースト１３２が充填された
ディンプル部１３１内に、図３２（Ｂ）に示されるよう
に、外部接続端子部６７を挿入する。そして、外部接続
端子部６７をディンプル部１３１内に挿入した状態を維
持しつつ、半導体装置組立体１３３をディンプルプレー
ト１３０と共にリフロー炉に入れ加熱処理を行う。これ
により、図３２（Ｃ）に示されるように、外部接続端子
部６７の表面に外装膜７０となる半田を形成することが
できる。Subsequently, the external connection terminal portion 67 is inserted into the dimple portion 131 filled with the solder paste 132, as shown in FIG. 32 (B). Then, while maintaining the state in which the external connection terminal portion 67 is inserted into the dimple portion 131, the semiconductor device assembly 133 is placed in the reflow furnace together with the dimple plate 130 to perform a heat treatment. As a result, as shown in FIG. 32C, the solder to be the exterior film 70 can be formed on the surface of the external connection terminal portion 67.
【０２０１】上記のように、外装工程においてディンプ
ルプレート１３０のディンプル部１３１に半田ペースト
１３２を充填た上で外部接続端子部６７を挿入し、この
外部接続端子部６７をディンプル部１３１内に挿入した
状態で加熱処理を行い、外装膜７０となる半田を外部接
続端子部６７の表面に形成することにより、外装工程の
簡単化を図ることができる。As described above, in the exterior process, the dimple portion 131 of the dimple plate 130 is filled with the solder paste 132, the external connection terminal portion 67 is inserted, and the external connection terminal portion 67 is inserted into the dimple portion 131. By performing the heat treatment in this state and forming the solder to be the exterior film 70 on the surface of the external connection terminal portion 67, the exterior process can be simplified.
【０２０２】即ち、従来のディンプルプレートを用いた
外装工程は、ディンプルプレートのディンプル部に半田
ペーストを充填した後に１回目の加熱処理を行いディン
プル部内に半田ボールを形成し、続いて２回目の加熱処
理を行い形成された半田ボールを外部接続端子部に配設
することが行われていた。That is, in the conventional packaging process using the dimple plate, after the solder paste is filled in the dimple portion of the dimple plate, the first heat treatment is performed to form the solder balls in the dimple portion, and then the second heat treatment is performed. It has been practiced to dispose the solder balls formed by performing the processing on the external connection terminal portion.
【０２０３】これに対し本変形例に係る外装工程では、
外部接続端子部６７を半田ペースト１３２が充填された
ディンプル部１３１内に挿入した状態のままで加熱処理
を行い半田を外部接続端子部６７に配設するため加熱処
理を実施する回数を少なくすることができ、よって外装
工程の簡単化を図ることができる。On the other hand, in the exterior process according to this modification,
Heat treatment is performed with the external connection terminal portion 67 inserted in the dimple portion 131 filled with the solder paste 132, and solder is disposed on the external connection terminal portion 67, so that the number of times of heat treatment is reduced. Therefore, the exterior process can be simplified.
【０２０４】[0204]
【発明の効果】上述したように本発明によれば、下記の
種々の効果を実現することができる。請求項１記載の発
明によれば、半導体チップを覆う樹脂領域と、枠状端子
部及び柱状端子部が露出された端子領域とで構成するこ
とにより、半導体チップの大きさに制約されずに端子領
域を設定することが可能となって汎用性が向上して低コ
スト化を図ることが可能になると共に、枠状端子部を電
源系等の端子とすることで信頼性及び電気的特性の向上
を図ることができる。As described above, according to the present invention, the following various effects can be realized. According to the first aspect of the present invention, the resin region that covers the semiconductor chip and the terminal region in which the frame-shaped terminal portion and the columnar terminal portion are exposed form the terminal without being restricted by the size of the semiconductor chip. It is possible to set the area, improve versatility and reduce cost, and improve reliability and electrical characteristics by using the frame-shaped terminal part as a terminal for the power supply system etc. Can be achieved.
【０２０５】請求項２及び３記載の発明によれば、端子
領域を、柱状端子部及び少なくともその周囲に配置され
た枠状端子部で構成する外部端子部に、半導体チップを
搭載して電気的接続が行われたパターン部を接続して形
成することにより、半導体チップのレイアウトやチップ
サイズの違いが許容可能となってパッケージの汎用化よ
り低コスト化が図られ、枠状端子部を電源系等の端子と
することで信頼性及び電気的特性の向上を図ることがで
きる。According to the second and third aspects of the present invention, the semiconductor chip is mounted on the external terminal portion having the columnar terminal portion and at least the frame-shaped terminal portion arranged around the terminal area, and the semiconductor chip is electrically mounted. By connecting and forming the connected pattern parts, differences in the layout and chip size of the semiconductor chips can be tolerated, and the cost can be reduced compared to the general use of the package, and the frame-shaped terminal parts can be connected to the power supply system. By using such terminals, reliability and electrical characteristics can be improved.
【０２０６】請求項４乃至７記載の発明によれば、パタ
ーン部を、ベース層上に接続部を表出させる開口部を形
成してパターン層をし、枠状端子部上方で半導体チップ
とのワイヤボンディングにより電気的接続を行わせる配
置とすることにより、半導体チップとの接続が容易かつ
確実に行うことができる。According to the invention of claims 4 to 7, the pattern portion is formed on the base layer with an opening for exposing the connection portion to form the pattern layer, and the pattern portion is formed on the semiconductor chip above the frame-shaped terminal portion. By arranging for electrical connection by wire bonding, connection with the semiconductor chip can be performed easily and reliably.
【０２０７】請求項８記載の発明によれば、半導体チッ
プのパッドを二列配置とし、接続部を千鳥状に配置して
対向距離で遠隔同士及び近接同士でループ高さを異なら
せてワイヤボンディングすることにより、ワイヤの接触
を防止してパッド及び接続部の配置密度を向上させるこ
とができる。According to the invention described in claim 8, the pads of the semiconductor chip are arranged in two rows, the connecting portions are arranged in a staggered manner, and the loop heights are made different at remote distances and close distances at the facing distance, and wire bonding is performed. By doing so, the contact of the wires can be prevented and the arrangement density of the pads and the connecting portions can be improved.
【０２０８】請求項９及び１２記載の発明によれば、枠
状端子部を柱状端子部の配列内及び外周に適宜分割さ
せ、電源系及び接地系の役割を持たせることにより、耐
ノイズ性を向上させて電気的特性の向上を図ることがで
きる。請求項１１，１６乃至１９記載の発明によれば、
枠状端子部と柱状端子部とを肉薄で連結状態とした外部
端子部に、絶縁性フィルム又は金属導体板に金属箔を貼
着してパターニングし、所定のめっき処理されたパター
ン部を絶縁性接着剤で貼着すると共に、端子接触部分を
めっき処理し、半導体チップ搭載後に樹脂封止して枠状
端子部と柱状端子部との連結状態を分離させることによ
り、汎用性を有して異なるチップサイズでも低コストで
製造することができる。According to the ninth and twelfth aspects of the present invention, noise resistance is improved by appropriately dividing the frame-shaped terminal portion into the array of columnar terminal portions and the outer periphery thereof so as to function as a power supply system and a ground system. It is possible to improve the electrical characteristics. According to the inventions of claims 11, 16 to 19,
The external terminal portion, in which the frame-shaped terminal portion and the columnar terminal portion are thinly connected, is attached to the insulating film or the metal conductor plate with the metal foil for patterning, and the predetermined plated pattern portion is insulated. It has different versatility by sticking with an adhesive, plating the terminal contact part, and sealing the resin after mounting the semiconductor chip to separate the connection state between the frame-shaped terminal part and the columnar terminal part. The chip size can be manufactured at low cost.
【０２０９】請求項１２記載の発明によれば、枠状端子
部と柱状端子部とが肉薄状態で連結された外部端子部上
に、絶縁層を介してパターン層を形成し、パターン層上
に上部絶縁層を形成して半導体チップを搭載し、樹脂封
止後に枠状端子部と柱状端子部の連結状態を分離させる
ことにより、汎用性を有して異なるチップサイズでも低
コストで製造することができる。According to the twelfth aspect of the invention, a pattern layer is formed on the external terminal portion in which the frame-shaped terminal portion and the columnar terminal portion are connected in a thin state, with an insulating layer interposed, and the pattern layer is formed on the pattern layer. By forming the upper insulating layer, mounting the semiconductor chip, and separating the connection state of the frame-shaped terminal part and the columnar terminal part after resin sealing, it is versatile and can be manufactured at low cost even with different chip sizes. You can
【０２１０】請求項１３乃至１５記載の発明によれば、
外部端子部を、ハーフエッチング後に連結部分を突き上
げ、又は金属導体板を両面より押圧して塑性加工して肉
薄の連結部分を形成することにより、両面で突出させた
枠状端子部及び柱状端子部を容易に形成することができ
る。According to the thirteenth to fifteenth inventions,
The external terminal portion is half-etched, and the connecting portion is pushed up, or the metal conductor plates are pressed from both sides to perform plastic working to form a thin connecting portion, so that the frame-shaped terminal portion and the columnar terminal portion are projected on both sides. Can be easily formed.
【０２１１】また、請求項２０記載の発明では、肉薄部
より上部における断面積が肉薄部より下部における断面
積より小さくなるよう柱状端子部を形成したことによ
り、肉薄部をエッチングにより除去した状態において、
柱状端子部の上部部分と下部部分の断面積を略等しくす
ることができ、柱状端子部の形状を良好なものとするこ
とができる。According to the twentieth aspect of the invention, since the columnar terminal portion is formed such that the cross-sectional area above the thin portion is smaller than the cross-sectional area below the thin portion, the thin portion can be removed by etching. ,
The cross-sectional areas of the upper portion and the lower portion of the columnar terminal portion can be made substantially equal, and the shape of the columnar terminal portion can be improved.
【０２１２】また、請求項２１記載の発明では、リード
体が半導体チップの外側方向に延出するリード部と、こ
のリード部に対して略直角下方向に延出する外部接続端
子部とにより構成されているため、外部接続端子部の配
設位置はリード部の延出長により決定されることになる
が、リード部の延出長は自由度を持って設定することが
できる。よって、半導体チップの大きさに規制されずに
外部接続端子部の配設位置を設定することが可能となり
汎用性が向上する。また、リード部と外部接続端子部と
が一体的に形成されているため、リード部と外部接続端
子部とを電気的に接続するためにビアホールの形成或い
は配線の引き回しを行うことは不要となり、半導体装置
のコスト低減を図ることができる。According to the twenty-first aspect of the invention, the lead body is composed of a lead portion extending outward of the semiconductor chip and an external connection terminal portion extending downward substantially at right angles to the lead portion. Therefore, the arrangement position of the external connection terminal portion is determined by the extension length of the lead portion, but the extension length of the lead portion can be set with a degree of freedom. Therefore, the arrangement position of the external connection terminal portion can be set without being restricted by the size of the semiconductor chip, and the versatility is improved. Further, since the lead portion and the external connection terminal portion are integrally formed, it is not necessary to form a via hole or lay out a wiring to electrically connect the lead portion and the external connection terminal portion, The cost of the semiconductor device can be reduced.
【０２１３】また、請求項２２及び２３記載の発明で
は、リード部及び端子端部をレジストとして柱状端子部
の形成を行うことが可能となるため、柱状端子部の形成
に別個にレジスト材を配設する構成に比べて、柱状端子
部を容易かつ安価に形成することができる。Further, according to the twenty-second and twenty-third aspects of the present invention, since the columnar terminal portions can be formed by using the lead portions and the terminal end portions as resists, a resist material is separately provided for forming the columnar terminal portions. The columnar terminal portion can be formed easily and inexpensively as compared with the configuration in which it is provided.
【０２１４】また、請求項２４記載の発明では、半導体
チップと絶縁部材との間に第２の絶縁部材を介装したこ
とにより、第２の絶縁部材の下部に外部接続端子部或い
は半導体チップの冷却部材を配設することが可能とな
る。また、請求項２５記載の発明では、外部接続端子部
を半導体チップの内周部、或いは半導体チップの内周部
及び外周部の双方に配設したことにより、外部接続端子
部を高密度に配設することが可能となる。According to the twenty-fourth aspect of the present invention, since the second insulating member is interposed between the semiconductor chip and the insulating member, the external connection terminal portion or the semiconductor chip of the semiconductor chip is provided below the second insulating member. It becomes possible to arrange a cooling member. According to the twenty-fifth aspect of the present invention, the external connection terminal portions are arranged at a high density by disposing the external connection terminal portions on the inner peripheral portion of the semiconductor chip or on both the inner peripheral portion and the outer peripheral portion of the semiconductor chip. Can be installed.
【０２１５】また、請求項２６記載の発明では、予めリ
ードフレーム形成工程において柱状端子部となる基板に
リード部及び端子端部を形成したリードフレームを形成
し、このリードフレームを基材として半導体装置の製造
を行うため、効率良く、かつ高精度に半導体装置を製造
することができる。また、半導体チップ搭載工程におい
て半導体チップはリードフレームの所定位置に可溶性絶
縁材を用いて搭載され、かつ基板除去工程において可溶
性絶縁材は除去されるため、半導体チップの下面は露出
された構成となる。従って、半導体チップの下面は直接
絶縁部材と接触する構成となり、放熱特性を向上させる
ことができる。また、絶縁部材配設工程を実施した後に
外部接続端子部の表面に外層膜を形成する外装工程を実
施するため、リード部及び半導体チップに外層膜が付着
し、隣接するリード部間及び半導体チップとリード部と
の間が外層膜により短絡することを確実に防止すること
ができる。According to the twenty-sixth aspect of the present invention, a lead frame having lead portions and terminal end portions formed in advance on a substrate to be a columnar terminal portion in the lead frame forming step is formed, and the lead frame is used as a base material for a semiconductor device. As described above, the semiconductor device can be manufactured efficiently and highly accurately. Further, in the semiconductor chip mounting step, the semiconductor chip is mounted on the lead frame at a predetermined position using a soluble insulating material, and in the substrate removing step, the soluble insulating material is removed, so that the lower surface of the semiconductor chip is exposed. . Therefore, the lower surface of the semiconductor chip comes into direct contact with the insulating member, and the heat dissipation characteristics can be improved. In addition, since the outer layer film is formed on the surface of the external connection terminal portion after the insulating member disposing step is performed, the outer layer film adheres to the lead portion and the semiconductor chip, and the adjacent lead portions and the semiconductor chip It is possible to reliably prevent a short circuit between the lead portion and the lead portion due to the outer layer film.
【０２１６】また、請求項２７記載の発明では、予めリ
ードフレーム形成工程において柱状端子部となる基板に
リード部及び端子端部を形成したリードフレームを形成
し、このリードフレームを基材として半導体装置の製造
を行うため、効率良く、かつ高精度に半導体装置を製造
することができる。また、絶縁部材配設工程を実施した
後に外部接続端子部の表面に外層膜を形成する外装工程
を実施するため、リード部及び半導体チップに外層膜が
付着し、隣接するリード部間及び半導体チップとリード
部との間が外層膜により短絡することを確実に防止する
ことができる。また、半導体チップ搭載工程において半
導体チップはリードフレームの所定位置に不可溶性絶縁
材を用いて搭載され、かつ基板除去工程において不可溶
性絶縁材は除去されず残存するため、この不可溶性絶縁
材の下部（即ち、半導体チップの下部）に外部接続端子
部或いは半導体チップで発生する熱を放熱する放熱部材
を配設することが可能となる。According to the twenty-seventh aspect of the present invention, a lead frame having lead portions and terminal ends formed in advance on a substrate to be a columnar terminal portion in the lead frame forming step is formed, and the lead frame is used as a base material for a semiconductor device. As described above, the semiconductor device can be manufactured efficiently and highly accurately. In addition, since the outer layer film is formed on the surface of the external connection terminal portion after the insulating member disposing step is performed, the outer layer film adheres to the lead portion and the semiconductor chip, and the adjacent lead portions and the semiconductor chip It is possible to reliably prevent a short circuit between the lead portion and the lead portion due to the outer layer film. Further, in the semiconductor chip mounting process, the semiconductor chip is mounted on the lead frame at a predetermined position using an insoluble insulating material, and the insoluble insulating material remains without being removed in the substrate removing step. It is possible to dispose a heat dissipation member that dissipates heat generated in the external connection terminal portion or the semiconductor chip (that is, below the semiconductor chip).
【０２１７】また、請求項２８記載の発明では、リード
部及び前記端子端部の材質を前記基板の材質に対しレジ
スト作用を有する材料により形成し、基板除去工程にお
いて端子端部をレジスト材として機能させてエッチング
処理を行い柱状端子部を形成するため、柱状端子部の形
成に際し別個にレジスト材を配設する必要がなくなる。
よって、別個にレジスト材を配設して柱状端子部を形成
する方法に比べて、柱状端子部の形成に要する工程を短
縮することができ、半導体装置の製造の簡単化を図るこ
とができ、これにより製品コストの低減を図ることが可
能となる。According to the twenty-eighth aspect of the present invention, the material of the lead portion and the terminal end portion is formed of a material having a resist action with respect to the material of the substrate, and the terminal end portion functions as a resist material in the substrate removing step. Then, the columnar terminal portion is formed by performing the etching process, so that it is not necessary to separately provide a resist material when forming the columnar terminal portion.
Therefore, compared with the method of disposing the resist material separately to form the columnar terminal portion, the process required to form the columnar terminal portion can be shortened, and the manufacturing of the semiconductor device can be simplified. This makes it possible to reduce the product cost.
【０２１８】また、請求項２９記載の発明では、エッチ
ング液を用いて基板を溶解する前に、端子端部に所定の
外部接続端子部の形状に対応した切欠部を形成しておく
ことにより、基板に対するエッチングが端子端部に形成
された切欠部まで進まない状態においては、切欠部より
外周部分の端子端部は基板に固定された状態を維持す
る。しかるに、基板に対するエッチングが端子端部に形
成された切欠部まで進むと、切欠部より外周部分の端子
端部は基板から脱落する。よって、エッチング処理後に
端子端部が柱状端子部から鍔状に延出することを防止す
ることができる。According to the twenty-ninth aspect of the invention, before the substrate is dissolved by using the etching liquid, a notch portion corresponding to the shape of the predetermined external connection terminal portion is formed at the terminal end portion, When the etching of the substrate does not proceed to the cutout portion formed in the terminal end portion, the terminal end portion of the outer peripheral portion of the cutout portion remains fixed to the substrate. However, when the etching of the substrate progresses to the cutout portion formed in the terminal end portion, the terminal end portion on the outer peripheral portion of the cutout portion falls off from the substrate. Therefore, it is possible to prevent the terminal end portion from extending from the columnar terminal portion in a brim shape after the etching process.
【０２１９】また、請求項３０記載の発明では、外装工
程においてディンプルプレートのディンプル部に半田ペ
ーストを充填た上で外部接続端子部を挿入し、この外部
接続端子部をディンプル部内に挿入した状態で加熱処理
を行い外装膜となる半田を外部接続端子部の表面に形成
することにより、外装工程の簡単化を図ることができ
る。According to the thirtieth aspect of the invention, in the exterior step, after filling the dimple portion of the dimple plate with the solder paste and inserting the external connection terminal portion, the external connection terminal portion is inserted into the dimple portion. By performing a heat treatment to form solder as an exterior film on the surface of the external connection terminal portion, the exterior process can be simplified.
【０２２０】また、請求項３１記載の発明では、リード
フレーム形成工程において基板上で封止樹脂が配設され
る領域の境界部に樹脂止め部を一体的に形成することに
より、封止樹脂配設工程において封止樹脂をポッティン
グしても樹脂が上記の領域が漏出するとを防止すること
ができる。また、ポッティング処理は、モールド処理と
異なり金型を必要としないため封止樹脂配設工程の簡単
化及び製品コストの低減を図ることができる。また、樹
脂止め部は基板除去工程において基板と共に除去される
ため、半導体装置が製造された状態で樹脂止め部が邪魔
になるようなこともない。According to the thirty-first aspect of the present invention, in the lead frame forming step, the resin stopper is integrally formed at the boundary of the region where the sealing resin is arranged on the substrate. Even if the sealing resin is potted in the installation step, it is possible to prevent the resin from leaking into the above-mentioned region. Further, unlike the molding process, the potting process does not require a mold, so that the sealing resin disposing process can be simplified and the product cost can be reduced. Further, since the resin stopper is removed together with the substrate in the substrate removing step, the resin stopper does not become an obstacle in the state where the semiconductor device is manufactured.
【０２２１】また、請求項３２乃至３４記載の発明で
は、リードフレーム形成工程において基板の所定位置に
リード部及び端子端部が形成されたリードフレームを容
易かつ精度よく形成することができる。更に、請求項３
５記載の発明では、リードフレーム形成工程において、
１枚の基板に複数個の半導体装置に対応するリード部及
び前記端子端部を形成し、その後に１個分の半導体装置
の領域毎に基板を分割しリードフレームを形成すること
により、１枚の基板からリードフレームを多数個取りす
ることが可能となり、効率良くかつ精度良くリードフレ
ームを形成することができる。According to the invention described in claims 32 to 34, it is possible to easily and accurately form a lead frame in which lead portions and terminal end portions are formed at predetermined positions of the substrate in the lead frame forming step. Further, claim 3
In the invention described in 5, in the lead frame forming step,
By forming lead portions and terminal ends corresponding to a plurality of semiconductor devices on one substrate, and then dividing the substrate into regions for one semiconductor device to form a lead frame, one sheet is formed. It is possible to take a large number of lead frames from the substrate, and the lead frames can be formed efficiently and accurately.
【図１】本発明の第１実施例の構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of a first embodiment of the present invention.
【図２】図１の一部切截の説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram of a partial cutout of FIG.
【図３】図１のパターン部形成の製造工程図である。FIG. 3 is a manufacturing process diagram for forming the pattern portion of FIG. 1.
【図４】図１の外部端子部の製造工程図である。FIG. 4 is a manufacturing process diagram of the external terminal portion of FIG.
【図５】図４の外部端子部の後加工製造説明図である。5 is a post-process manufacturing explanatory diagram of the external terminal portion of FIG. 4. FIG.
【図６】図４の外部端子部の他の形状の製造説明図
（１）である。6 is a manufacturing explanatory view (1) of another shape of the external terminal portion of FIG. 4. FIG.
【図７】図４の外部端子部の他の形状の製造説明図
（２）である。FIG. 7 is a manufacturing explanatory view (2) of another shape of the external terminal portion of FIG. 4.
【図８】図４の外部端子部の他の形状の製造説明図
（３）である。FIG. 8 is a manufacturing explanatory view (3) of another shape of the external terminal portion of FIG. 4.
【図９】図４の外部端子部の他の形状の製造説明図
（４）である。9 is a manufacturing explanatory view (4) of another shape of the external terminal portion of FIG. 4. FIG.
【図１０】第１実施例のチップボンディングの製造説明
図である。FIG. 10 is a manufacturing explanatory diagram of the chip bonding of the first embodiment.
【図１１】第１実施例の最終工程の製造説明図である。FIG. 11 is a manufacturing explanatory diagram of the final step of the first embodiment.
【図１２】第１実施例の他のパッケージ形状の外観図で
ある。FIG. 12 is an external view of another package shape according to the first embodiment.
【図１３】本発明の第２実施例の構成図である。FIG. 13 is a configuration diagram of a second embodiment of the present invention.
【図１４】第２実施例のパターン部の形成の製造説明図
である。FIG. 14 is a manufacturing explanatory diagram of formation of a pattern portion according to the second embodiment.
【図１５】第２実施例の最終工程の断面図である。FIG. 15 is a sectional view of a final step of the second embodiment.
【図１６】柱状端子部の他の形成方法を説明するための
図である。FIG. 16 is a diagram for explaining another method of forming the columnar terminal portion.
【図１７】本発明の第３実施例の構成図である。FIG. 17 is a configuration diagram of a third embodiment of the present invention.
【図１８】本発明の第３実施例に係る半導体装置の製造
方法を説明するための図である（その１）。FIG. 18 is a diagram for explaining the manufacturing method of the semiconductor device according to the third example of the present invention (No. 1).
【図１９】本発明の第３実施例に係る半導体装置の製造
方法を説明するための図である）その２）。FIG. 19 is a drawing for explaining the manufacturing method of the semiconductor device according to the third embodiment of the present invention) (2).
【図２０】本発明の第３実施例に係る半導体装置の製造
方法を説明するための図である（その３）。FIG. 20 is a view for explaining the manufacturing method of the semiconductor device according to the third example of the present invention (No. 3).
【図２１】本発明の第４実施例の構成図である。FIG. 21 is a configuration diagram of a fourth embodiment of the present invention.
【図２２】本発明の第４実施例に係る半導体装置の製造
方法を説明するための図である（その１）。FIG. 22 is a diagram for explaining the manufacturing method of the semiconductor device according to the fourth example of the present invention (No. 1).
【図２３】本発明の第４実施例に係る半導体装置の製造
方法を説明するための図である（その２）。FIG. 23 is a view for explaining the manufacturing method of the semiconductor device according to the fourth example of the present invention (No. 2).
【図２４】本発明の第５実施例の構成図である。FIG. 24 is a configuration diagram of a fifth embodiment of the present invention.
【図２５】本発明の第５実施例に係る半導体装置の製造
方法を説明するための図である（その１）。FIG. 25 is a view for explaining the manufacturing method of the semiconductor device according to the fifth example of the present invention (No. 1).
【図２６】本発明の第５実施例に係る半導体装置の製造
方法を説明するための図である（その２）。FIG. 26 is a view for explaining the manufacturing method of the semiconductor device according to the fifth embodiment of the present invention (No. 2).
【図２７】リードフレーム形成工程の第１の変形例を説
明するための図である。FIG. 27 is a diagram for explaining the first modified example of the lead frame forming step.
【図２８】リードフレーム形成工程の第２の変形例を説
明するための図である。FIG. 28 is a diagram for explaining a second modification example of the lead frame forming step.
【図２９】１枚の基板からリードフレームを多数個取り
する構成を説明するための図である。FIG. 29 is a diagram for explaining a configuration in which a large number of lead frames are taken from one substrate.
【図３０】封止樹脂配設工程の変形例を説明するための
図である。FIG. 30 is a diagram for explaining a modified example of the sealing resin disposing step.
【図３１】基板除去工程の変形例を説明するための図で
ある。FIG. 31 is a diagram for explaining a modified example of the substrate removing step.
【図３２】外装工程の変形例を説明するための図であ
る。FIG. 32 is a diagram for explaining a modified example of the exterior process.
【図３３】従来のμＢＧＡパッケージの半導体装置の構
成図である。FIG. 33 is a configuration diagram of a semiconductor device of a conventional μBGA package.
２１A 〜２１E ，６０，９０，１００，１２０ 半導体
装置 ２２ パッケージ ２３ 樹脂領域 ２４ 端子領域 ２５ パターン部 ２６ 外部端子部 ２７ 枠状端子部 ２８，６８ 柱状端子部 ３１ ベース層 ３２ パターン層 ３２ａ 端子接続部 ３２ｂ ワイヤ接続部 ３３，３５ 絶縁層 ３４ 開口部 ３６ めっき ４１，６１ 半導体チップ ４２ 接着剤 ４３，６５ ワイヤ ５１ａ 第１の絶縁層 ５１ｂ 第２の絶縁層 ５２ パターン層 ５２ａ ワイヤ接続部 ５３ 第３の絶縁層 ５３ａ 開口部 ６２ リード体 ６３，１１６ 封止樹脂 ６４ ソルダーレジスト ６６ リード部 ６７ 外部接続端子部 ６９ 端子端部 ７０ 外装膜 ７１ 基板 ７２，９４ リードフレーム ７３，７４，１１２，１１３ フォトレジスト材 ７５，７６，９３，１０２，１０７，１０８ 開口 ７８ 可溶性絶縁材 ８１ 液状絶縁部材 ９１ 不可溶性絶縁材 ９２ 内周端子部 １０１ バンプ １０５ 上面用メタルマスク １０６ 下面用メタルマスク １１０ 内層膜 １１１ 外層膜 １１５ 樹脂止め部 １２５ 切欠部 １３０ ディンプルプレート １３１ ディンプル部 １３２ 半田ペースト21 A to 21 E , 60, 90, 100, 120 Semiconductor device 22 Package 23 Resin region 24 Terminal region 25 Pattern part 26 External terminal part 27 Frame-shaped terminal part 28,68 Columnar terminal part 31 Base layer 32 Pattern layer 32a Terminal connection Part 32b Wire connection part 33,35 Insulation layer 34 Opening part 36 Plating 41,61 Semiconductor chip 42 Adhesive 43,65 Wire 51a First insulation layer 51b Second insulation layer 52 Pattern layer 52a Wire connection part 53 Third Insulating layer 53a Opening 62 Lead body 63,116 Sealing resin 64 Solder resist 66 Lead part 67 External connection terminal part 69 Terminal end part 70 Exterior film 71 Substrate 72,94 Lead frame 73,74,112,113 Photoresist material 75 , 76, 93, 102, 107, 108 Opening 78 Soluble insulating material 81 Liquid insulating member 91 Insoluble insulating material 92 Inner peripheral terminal portion 101 Bump 105 Upper surface metal mask 106 Lower surface metal mask 110 Inner layer film 111 Outer layer film 115 Resin stop portion 125 Cutout portion 130 Dimple plate 131 Dimple portion 132 Solder paste
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 埜本 隆司 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 渡辺 英二 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 織茂 政一 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 小野寺 正徳 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Takashi Umoto, 1015 Kamiodanaka, Nakahara-ku, Kawasaki City, Kanagawa Prefecture, Fujitsu Limited (72) Inventor, Eiji Watanabe, 1015, Kamedotachu, Nakahara-ku, Kawasaki City, Kanagawa Prefecture, Fujitsu Limited (72) Inventor Masakazu Oshige 1015 Kamiodanaka, Nakahara-ku, Kawasaki City, Kanagawa Prefecture, Fujitsu Limited (72) Inventor Masanori Onodera, 1015, Kamedotachu, Nakahara-ku, Kawasaki City, Kanagawa Prefecture, Fujitsu Limited
Claims (35)
プを覆う樹脂領域と、 前記半導体チップのパッドと電気的に接続された所定数
の柱状端子部及び所定数の枠状端子部が該樹脂領域から
露出されて配置された端子領域とを有することを特徴と
する半導体装置。1. A resin region covering a semiconductor chip having a predetermined number of pads formed thereon, a predetermined number of columnar terminal portions and a predetermined number of frame-shaped terminal portions electrically connected to the pads of the semiconductor chip are provided on the resin region. A semiconductor device having a terminal region exposed from the region.
子部が格子状に配列され、少なくとも前記枠状端子部が
前記柱状端子部の周囲に配置されることを特徴とする半
導体装置。2. The semiconductor device according to claim 1, wherein the columnar terminal portions are arranged in a grid pattern, and at least the frame-shaped terminal portions are arranged around the columnar terminal portions.
子部と、 前記外部端子部に接続されるもので、前記半導体チップ
が搭載されて前記パッドと電気的接続が行われる接続
部、及び前記枠状端子部及び前記柱状端子部と接続され
る端子接続部が少なくとも形成されたパターン部と、 を有することを特徴とする半導体装置。3. The terminal region according to claim 1 or 2, wherein the terminal area is formed by the frame-shaped terminal portion and the columnar terminal portion, and the semiconductor chip is connected to the external terminal portion. A semiconductor device, comprising: a connection part mounted and electrically connected to the pad; and a pattern part having at least a terminal connection part connected to the frame-shaped terminal part and the columnar terminal part. apparatus.
体チップを搭載するベース層に、前記接続部及び端子接
続部が形成されたパターン層が形成されてなることを特
徴とする半導体装置。4. The semiconductor device according to claim 3, wherein a pattern layer having the connection portion and the terminal connection portion is formed on a base layer on which the semiconductor chip is mounted.
ィルム又は板状の金属部材で形成されてなることを特徴
とする半導体装置。5. A semiconductor device, wherein the base layer according to claim 4 is formed of an insulating film or a plate-shaped metal member.
ン層の前記接続部に対応する部分に開口部が形成され、
前記半導体チップの前記パッドと前記接続部とをワイヤ
により電気的接続が行われることを特徴とする半導体装
置。6. The base layer according to claim 5, wherein an opening is formed in a portion of the pattern layer corresponding to the connection portion,
A semiconductor device, wherein the pad of the semiconductor chip and the connection portion are electrically connected by a wire.
接続部は、前記外部端子部の外周の前記枠状端子部の上
方に配置されてなることを特徴とする半導体装置。7. The semiconductor device according to claim 4, wherein the connection portion of the pattern layer is arranged above the frame-shaped terminal portion on the outer periphery of the external terminal portion.
のパッドは、前記半導体チップの縁部に沿って二列に配
置されると共に、前記パターン層の接続部が前記パッド
に対して千鳥状に配置されることを特徴とする半導体装
置。8. The pads of the semiconductor chip according to claim 3, 6 or 7 are arranged in two rows along the edge of the semiconductor chip, and the connecting portions of the pattern layer are staggered with respect to the pads. A semiconductor device characterized by being arranged in a pattern.
端子部の配列内及び外周に所定数形成され、電源系及び
接地系の少なくとも何れかの役割を有してなることを特
徴とする半導体装置。9. The frame-shaped terminal portion according to claim 2 is formed in a predetermined number in and around the array of the columnar terminal portions, and has at least one of a power supply system and a ground system. Semiconductor device.
分割して形成されて電源系及び接地系の少なくとも何れ
かの役割を有してなることを特徴とする半導体装置。10. The frame-shaped terminal portion according to claim 2,
A semiconductor device, which is formed by being divided and has at least one of a power supply system and a ground system.
数の枠状端子部及び所定数の柱状端子部が肉薄部を介し
て連結されて形成された外部端子部に、前記枠状端子部
及び柱状端子部に対応する端子接続部を有すると共に、
搭載する半導体チップと電気的接続を行うための接続部
が前記枠状端子部の上方に位置されるように形成された
パターン層を有するパターン部が接続される工程と、 前記パターン部上に前記半導体チップを搭載して前記パ
ターン層の接続部との電気的接続を行う工程と、 前記外部端子部を露出させ、前記半導体チップを樹脂に
より封止する工程と、 露出された前記外部端子部における前記枠状端子部と前
記柱状端子部との連結状態及び前記各柱状端子部間の連
結状態を分離させる工程と、 を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。11. The frame-shaped terminal portion is provided on an external terminal portion formed by connecting a predetermined number of frame-shaped terminal portions and a predetermined number of columnar terminal portions, which are terminals to be mounted on a substrate, through thin-walled portions. And having a terminal connecting portion corresponding to the columnar terminal portion,
A step of connecting a pattern part having a pattern layer formed so that a connection part for electrically connecting to a mounted semiconductor chip is located above the frame-shaped terminal part; A step of mounting a semiconductor chip to make an electrical connection with the connection portion of the pattern layer; a step of exposing the external terminal portion and sealing the semiconductor chip with a resin; and a step of exposing the external terminal portion. And a step of separating the connection state between the frame-shaped terminal portion and the columnar terminal portion and the connection state between each of the columnar terminal portions.
数の枠状端子部及び所定数の柱状端子部が肉薄部により
連結されて形成された外部端子部の一方面上に、前記枠
状端子部の一部、及び全部の前記柱状端子部の面を表出
させて絶縁層を形成する工程と、 前記絶縁層上に、前記枠状端子部の一部及び柱状端子部
の面に接触すると共に、搭載する半導体チップとの電気
的接続を行うための接続部をパターニングした導体金属
のパターン層を形成する工程と、 前記パターン層上に、前記接続部を表出させる開口部を
形成した上部絶縁層を形成する工程と、 前記上部絶縁層上に、前記半導体チップを搭載して前記
パターン層の接続部との電気的接続を行う工程と、 前記外部端子部を露出させ、前記半導体チップを樹脂に
より封止する工程と、 露出された前記外部端子部における前記枠状端子部と前
記柱状端子部との連結状態及び前記各柱状端子部間の連
結状態を分離させる工程と、 を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。12. A frame-shaped external terminal portion formed on one surface of a predetermined number of frame-shaped terminal portions and a predetermined number of columnar terminal portions, which are terminals to be mounted on a substrate, are connected by a thin portion. A step of exposing a part of the terminal part and the entire surface of the columnar terminal part to form an insulating layer; and contacting a part of the frame-shaped terminal part and the surface of the columnar terminal part on the insulating layer. In addition, a step of forming a pattern layer of a conductive metal in which a connection portion is patterned for making an electrical connection with a semiconductor chip to be mounted, and an opening for exposing the connection portion is formed on the pattern layer. A step of forming an upper insulating layer; a step of mounting the semiconductor chip on the upper insulating layer to electrically connect with a connecting portion of the pattern layer; exposing the external terminal portion; and the semiconductor chip The step of sealing the The method of manufacturing a semiconductor device characterized by comprising the a step of separating the connection state between connected state and the respective pole terminals of the pole terminals and the frame-like terminal portion of the external terminal portion which is.
は、所定の金属導体板の一方面に、前記枠状端子部及び
柱状端子部となるパターンのレジストを塗布すると共
に、その反対面全面にレジストを塗布する工程と、 前記一方面をハーフエッチングして前記枠状端子部と前
記柱状端子部とを肉薄状態で連結して形成する工程と、 前記レジストを剥離する工程と、 により形成されることを特徴とする半導体装置の製造方
法。13. The external terminal portion according to claim 11 or 12, wherein a resist having a pattern to be the frame-shaped terminal portion and the columnar terminal portion is applied to one surface of a predetermined metal conductor plate and the opposite surface is entirely covered. And a step of half-etching the one surface to form the frame-shaped terminal portion and the columnar terminal portion by connecting them in a thin state, and a step of peeling the resist. A method of manufacturing a semiconductor device, comprising:
分を突き上げにより前記枠状端子部及び柱状端子部を両
面で突出させた形状に形成することを特徴とする半導体
装置の製造方法。14. A method of manufacturing a semiconductor device, characterized in that the frame-shaped terminal portion and the columnar terminal portion are formed in a shape in which they are projected on both sides by pushing up a connecting portion of the external terminal portion according to claim 13.
は、所定の金属導体板の両面より押圧する塑性加工によ
り、前記枠状端子部及び柱状端子部を両面で突出させて
肉薄で連結状態に形成することを特徴とする半導体装置
の製造方法。15. The external terminal portion according to claim 11 or 12, wherein the frame-shaped terminal portion and the columnar terminal portion are protruded on both sides by a plastic working of pressing from both sides of a predetermined metal conductor plate, and are thinly connected. A method of manufacturing a semiconductor device, comprising:
性フィルム上に前記接続部を表出させる開口部を形成し
て前記パターン層となる金属箔を貼着し、フォトエッチ
ングにより前記接続部及び前記端子接続部を形成するこ
とを特徴とする半導体装置の製造方法。16. The pattern portion according to claim 11, wherein an opening for exposing the connection portion is formed on an insulating film, and a metal foil to be the pattern layer is attached, and the connection portion is formed by photoetching. And a method for manufacturing a semiconductor device, which comprises forming the terminal connecting portion.
導体板に打ち抜き又はエッチングにより前記接続部を表
出させる開口部を形成して前記パターン層となる金属箔
を貼着し、フォトエッチングにより前記接続部及び前記
端子接続部を形成することを特徴とする半導体装置の製
造方法。17. The pattern portion according to claim 11, wherein an opening for exposing the connection portion is formed on a metal conductor plate by punching or etching, and a metal foil to be the pattern layer is attached, and the pattern portion is formed by photoetching. A method of manufacturing a semiconductor device, comprising forming the connection portion and the terminal connection portion.
は、２枚の金属導体板のそれぞれの一方面に、前記枠状
端子部及び柱状端子部を肉薄で連結形成するための凹部
がハーフエッチングにより形成され、それぞれの金属導
体板を接合して、少くとも一方面に前記枠状端子部及び
柱状端子部となる突出部分を形成することを特徴とする
半導体装置の製造方法。18. The external terminal portion according to claim 11 or 12, wherein one half of each of the two metal conductor plates has a half recessed portion for thinly connecting and forming the frame-shaped terminal portion and the columnar terminal portion. A method of manufacturing a semiconductor device, comprising the steps of forming a protruding portion that is formed by etching, and joins the respective metal conductor plates to form the frame-shaped terminal portion and the columnar terminal portion on at least one surface.
は、前記枠状端子部となる金属線枠及び前記柱状端子部
となる金属球が形成され、前記金属線枠及び金属球を、
金属導体板にハーフエッチングにより形成した溝及び凹
部に嵌合して取り付けて形成することを特徴とする半導
体装置の製造方法。19. The external terminal portion according to claim 11 or 12, wherein a metal wire frame serving as the frame-shaped terminal portion and a metal ball serving as the columnar terminal portion are formed, and the metal wire frame and the metal ball are
A method for manufacturing a semiconductor device, which is characterized in that the semiconductor device is formed by fitting into a groove and a recess formed in a metal conductor plate by half-etching.
は、前記肉薄部より上部における断面積が前記肉薄部よ
り下部における断面積より小さくなるよう形成したこと
を特徴とする半導体装置の製造方法。20. The method of manufacturing a semiconductor device according to claim 11, wherein the columnar terminal portion is formed such that a cross-sectional area above the thin portion is smaller than a cross-sectional area below the thin portion. .
の外側方向に延出するリード部と、前記リード部と一体
的に接続されると共に前記リード部に対して略直角下方
向に延出する外部接続端子部とにより構成されるリード
体と、 前記半導体チップの下面及び前記リード部の下面を露出
した状態で前記半導体チップ及びリード部を封止する封
止樹脂と、 少なくとも前記半導体チップの下面及び前記リード部の
下面を被覆すると共に、前記外部接続端子部が貫通され
た状態で配設される絶縁部材とを具備することを特徴と
する半導体装置。21. A semiconductor chip, a lead portion electrically connected to the semiconductor chip and extending outward of the semiconductor chip, integrally connected to the lead portion, and substantially connected to the lead portion. A lead body composed of an external connection terminal portion extending downward at a right angle, and a sealing resin for sealing the semiconductor chip and the lead portion with the lower surface of the semiconductor chip and the lower surface of the lead portion exposed. A semiconductor device comprising: an insulating member which covers at least the lower surface of the semiconductor chip and the lower surface of the lead portion, and which is arranged in a state where the external connection terminal portion is penetrated.
て、 前記リード体を構成する外部接続端子部を柱状端子部
と、前記柱状端子部の下方端部に形成された端子端部と
により構成し、 かつ、前記リード部及び前記端子端部の材質を前記柱状
端子部の材質に対しレジスト作用を有する材料により形
成したことを特徴とする半導体装置。22. The semiconductor device according to claim 21, wherein the external connection terminal portion forming the lead body is composed of a columnar terminal portion and a terminal end portion formed at a lower end portion of the columnar terminal portion, Further, the semiconductor device is characterized in that the material of the lead portion and the terminal end portion is formed of a material having a resist action with respect to the material of the columnar terminal portion.
て、 前記リード部は、ニッケル（Ｎｉ）層，アルミニウム
（Ａｌ）層，或いはチタン（Ｔｉ）層の上部に金（Ａ
ｕ）層，銀（Ａｇ）層，或いはパラジウム（Ｐｄ）層が
形成された構成とされており、 かつ、前記柱状端子部は、銅（Ｃｕ）により形成された
構成とされており、 かつ、前記端子端部は、ニッケル（Ｎｉ）層，アルミニ
ウム（Ａｌ）層，或いはチタン（Ｔｉ）層の下部に金
（Ａｕ）層，銀（Ａｇ）層，或いはパラジウム（Ｐｄ）
層が形成された構成とされていることを特徴とする半導
体装置。23. The semiconductor device according to claim 22, wherein the lead portion is formed by depositing gold (A) on top of a nickel (Ni) layer, an aluminum (Al) layer, or a titanium (Ti) layer.
u) layer, silver (Ag) layer, or palladium (Pd) layer is formed, and the columnar terminal portion is formed of copper (Cu), and The terminal end portion has a gold (Au) layer, a silver (Ag) layer, or a palladium (Pd) layer under a nickel (Ni) layer, an aluminum (Al) layer, or a titanium (Ti) layer.
A semiconductor device having a structure in which layers are formed.
の半導体装置において、 前記半導体チップと前記絶縁部材との間に第２の絶縁部
材を介装したことを特徴とする半導体装置。24. The semiconductor device according to claim 21, wherein a second insulating member is interposed between the semiconductor chip and the insulating member.
て、 前記外部接続端子部を前記半導体チップの内周部、或い
は前記半導体チップの内周部及び外周部の双方に配設し
たことを特徴とする半導体装置。25. The semiconductor device according to claim 24, wherein the external connection terminal portion is provided on an inner peripheral portion of the semiconductor chip or on both an inner peripheral portion and an outer peripheral portion of the semiconductor chip. Semiconductor device.
法であって、 前記柱状端子部となる基板の上面に前記リード部を形成
すると共に、前記基板の下面に前記端子端部を形成して
リードフレームを形成するリードフレーム形成工程と、 前記リードフレーム形成工程において形成されたリード
フレームの基板上面の所定位置に、可溶性絶縁材を用い
て前記半導体チップを搭載すると共に、前記半導体チッ
プと前記リード部とを電気的に接続する半導体チップ搭
載工程と、 前記半導体チップ及び前記リード部を封止樹脂により封
止する封止樹脂配設工程と、 前記端子端部の配設位置を残し前記基板及び前記可溶性
絶縁材を除去する基板除去工程と、 前記基板除去工程を行うことにより露出された前記半導
体チップの下面及び前記リード部の下面を前記外部接続
端子部を除き絶縁部材で被覆する絶縁部材配設工程と、 前記絶縁部材より突出した前記柱状端子部及び前記端子
端部よりなる外部接続端子部の表面に外装膜を形成する
外装工程とを具備することを特徴とする半導体装置の製
造方法。26. The method of manufacturing a semiconductor device according to claim 22, wherein the lead portion is formed on an upper surface of the substrate that becomes the columnar terminal portion, and the terminal end portion is formed on a lower surface of the substrate. A lead frame forming step of forming a lead frame, and mounting the semiconductor chip using a fusible insulating material at a predetermined position on the upper surface of the substrate of the lead frame formed in the lead frame forming step, the semiconductor chip and the lead. A semiconductor chip mounting step of electrically connecting the semiconductor chip and the lead portion with a sealing resin, and a step of leaving the terminal end portion at the placement position and the substrate and A substrate removing step of removing the soluble insulating material, and a bottom surface of the semiconductor chip and a bottom portion of the lead portion exposed by performing the substrate removing step. A step of disposing an insulating member except for the external connection terminal portion with an insulating member, and an exterior that forms an exterior film on the surface of the external connection terminal portion including the columnar terminal portion protruding from the insulating member and the terminal end portion. A method of manufacturing a semiconductor device, comprising:
法であって、 前記柱状端子部となる基板の上面に前記リード部を形成
すると共に、前記基板の下面に前記端子端部を形成して
リードフレームを形成するリードフレーム形成工程と、 前記リードフレーム形成工程において形成されたリード
フレームの基板上面の所定位置に、不可溶性絶縁材を用
いて前記半導体チップを搭載すると共に、前記半導体チ
ップと前記リード部とを電気的に接続する半導体チップ
搭載工程と、 前記半導体チップ及び前記リード部を封止樹脂により封
止する封止樹脂配設工程と、 前記端子端部の配設位置を残し前記基板を除去する基板
除去工程と、 前記基板除去工程を行うことにより露出された前記半導
体チップの下面及び前記リード部の下面を前記外部接続
端子部を除き絶縁部材で被覆する絶縁部材配設工程と、 前記絶縁部材より突出した前記柱状端子部及び前記端子
端部よりなる外部接続端子部の表面に外装膜を形成する
外装工程とを具備することを特徴とする半導体装置の製
造方法。27. The method of manufacturing a semiconductor device according to claim 24, wherein the lead portion is formed on the upper surface of the substrate that becomes the columnar terminal portion, and the terminal end portion is formed on the lower surface of the substrate. A lead frame forming step of forming a lead frame, and mounting the semiconductor chip using an insoluble insulating material at a predetermined position on the upper surface of the substrate of the lead frame formed in the lead frame forming step. A semiconductor chip mounting step of electrically connecting a lead portion, a sealing resin disposing step of sealing the semiconductor chip and the lead portion with a sealing resin, and the substrate leaving the terminal end portion disposition position. A bottom surface of the semiconductor chip and a bottom surface of the lead portion exposed by performing the board removal step. A step of disposing an insulating member excluding the portions and covering with an insulating member; and an exterior step of forming an exterior film on the surface of the external connection terminal portion formed of the columnar terminal portion and the terminal end portion protruding from the insulating member. A method of manufacturing a semiconductor device, comprising:
の半導体装置の製造方法であって、 前記リード部及び前記端子端部の材質を前記基板の材質
に対しレジスト作用を有する材料により形成し、 前記基板除去工程において、前記端子端部をレジスト材
として機能させ、前記基板を溶解するエッチング液を用
いて前記基板を溶解することにより前記柱状端子部を形
成することを特徴とする半導体装置の製造方法。28. The method of manufacturing a semiconductor device according to claim 26, wherein the material of the lead portion and the terminal end portion is formed of a material having a resist action with respect to a material of the substrate. In the substrate removing step, the columnar terminal portion is formed by causing the terminal end portion to function as a resist material and dissolving the substrate using an etching solution that dissolves the substrate. Production method.
法であって、 前記エッチング液を用いて前記基板を溶解する前に、前
記端子端部に所定の外部接続端子部形状に対応した切欠
部を形成しておくことを特徴とする半導体装置の製造方
法。29. The method of manufacturing a semiconductor device according to claim 28, wherein the terminal end portion has a cutout portion corresponding to a predetermined external connection terminal portion shape before the substrate is dissolved using the etching liquid. A method for manufacturing a semiconductor device, comprising:
の半導体装置の製造方法であって、 前記外装工程において、前記外部接続端子部に対応した
位置にディンプル部を形成したディンプルプレートを用
意し、 先ず、前記ディンプルプレートのディンプル部に半田ペ
ーストを充填し、次に前記半田ペーストが充填されたデ
ィンプル部内に前記外部接続端子部を挿入し、 前記外部接続端子部を前記ディンプル部内に挿入した状
態で加熱処理を行うことにより、前記外部接続端子部の
表面に外装膜となる半田を形成することを特徴とする半
導体装置の製造方法。30. The method of manufacturing a semiconductor device according to claim 26, wherein a dimple plate having a dimple portion formed at a position corresponding to the external connection terminal portion is prepared in the exterior step. First, a state in which the dimple portion of the dimple plate is filled with solder paste, then the external connection terminal portion is inserted into the dimple portion filled with the solder paste, and the external connection terminal portion is inserted into the dimple portion. A method of manufacturing a semiconductor device, characterized in that a heat treatment is performed on the surface of the external connection terminal portion to form solder serving as an exterior film.
の半導体装置の製造方法であって、 前記リードフレーム形成工程において、前記基板上で封
止樹脂が配設される領域の境界部に樹脂止め部を一体的
に形成し、 かつ、前記封止樹脂配設工程において前記封止樹脂をポ
ッティングにより配設し、 かつ、前記基板除去工程において前記樹脂止め部を前記
基板と共に除去することを特徴とする半導体装置の製造
方法。31. The method of manufacturing a semiconductor device according to claim 26, wherein in the lead frame forming step, a resin is provided at a boundary portion of a region where sealing resin is provided on the substrate. A stopper part is integrally formed, the sealing resin is disposed by potting in the sealing resin disposing step, and the resin retaining part is removed together with the substrate in the substrate removing step. And a method for manufacturing a semiconductor device.
の半導体装置の製造方法であって、 前記リードフレーム形成工程において、先ず前記基板に
前記リード部形成位置及び前記端子端部形成位置に対応
する部位に開口を有するレジストを形成し、 続いて、前記開口部にめっき法を用いて前記リード部及
び前記端子端部を形成し、 その後に前記レジストを除去することにより前記基板の
所定位置に前記リード部及び前記端子端部を形成するこ
とを特徴とする半導体装置の製造方法。32. The method of manufacturing a semiconductor device according to claim 26, wherein, in the lead frame forming step, first, the lead portion forming position and the terminal end portion forming position are formed on the substrate. Forming a resist having an opening at a portion to be formed, subsequently forming the lead portion and the terminal end portion by using a plating method in the opening, and then removing the resist to a predetermined position on the substrate. A method of manufacturing a semiconductor device, comprising forming the lead portion and the terminal end portion.
の半導体装置の製造方法であって、 前記リードフレーム形成工程において、先ず前記基板に
前記リード部形成位置及び前記端子端部形成位置に対応
する部位に開口が形成されたメタルマスクを配設し、 続いて、前記開口部に蒸着法を用いて前記リード部及び
前記端子端部を形成し、 その後に前記メタルマスクを取り外すことにより前記基
板の所定位置に前記リード部及び前記端子端部を形成す
ることを特徴とする半導体装置の製造方法。33. The method of manufacturing a semiconductor device according to claim 26, wherein in the lead frame forming step, first, the lead portion forming position and the terminal end portion forming position are formed on the substrate. A metal mask having an opening is formed at a portion to be formed, subsequently, the lead portion and the terminal end portion are formed in the opening by using a vapor deposition method, and then the metal mask is removed to remove the substrate. A method of manufacturing a semiconductor device, characterized in that the lead portion and the terminal end portion are formed at predetermined positions.
の半導体装置の製造方法であって、 前記リードフレーム形成工程において、先ず前記基板の
上面及び下面の全面にめっき法を用いて前記リード部及
び前記端子端部となる導電材料を形成し、 続いて、前記基板の両面に形成された各導電材料に、前
記リード部形成位置及び前記端子端部形成位置に対応す
る部位のみを被覆するレジストを形成し、 その後に前記レジストに被覆されていない導電材料をエ
ッチングにより除去することにより、前記基板の所定位
置に前記リード部及び前記端子端部を形成することを特
徴とする半導体装置の製造方法。34. The method of manufacturing a semiconductor device according to claim 26, wherein in the lead frame forming step, the lead portion is first formed on the entire upper and lower surfaces of the substrate by a plating method. And a conductive material to be the terminal end portion, and subsequently, a resist that covers the conductive material formed on both surfaces of the substrate only at the portions corresponding to the lead portion formation position and the terminal end portion formation position. And then the conductive material not covered with the resist is removed by etching to form the lead portion and the terminal end portion at predetermined positions of the substrate. .
の半導体装置の製造方法であって、 前記リードフレーム形成工程において、１枚の基板に複
数個の半導体装置に対応する前記リード部及び前記端子
端部を形成し、 その後、１個分の半導体装置の領域毎に前記基板を分割
することにより前記リードフレームを形成することを特
徴とする半導体装置の製造方法。35. The method of manufacturing a semiconductor device according to claim 26, wherein in the lead frame forming step, the lead portion and the lead portion corresponding to a plurality of semiconductor devices are provided on one substrate. A method of manufacturing a semiconductor device, comprising forming terminal ends, and thereafter forming the lead frame by dividing the substrate into regions for one semiconductor device.
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