JPH08113359A - 機械部品搬送処理装置 - Google Patents
機械部品搬送処理装置Info
- Publication number
- JPH08113359A JPH08113359A JP28458394A JP28458394A JPH08113359A JP H08113359 A JPH08113359 A JP H08113359A JP 28458394 A JP28458394 A JP 28458394A JP 28458394 A JP28458394 A JP 28458394A JP H08113359 A JPH08113359 A JP H08113359A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- panel
- traveling vehicle
- traveling
- cathode
- ray tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Platform Screen Doors And Railroad Systems (AREA)
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Feeding Of Workpieces (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 複数の工程処理を行う装置において、製造数
量に応じて装置の占有面積を可変にする。 【構成】 走行車を複数個設け、回転中心軸と該走行車
とをそれぞれ連結して、搬入された処理部品を回転に伴
って作業工程に従って処理してゆく機械部品搬送処理装
置。
量に応じて装置の占有面積を可変にする。 【構成】 走行車を複数個設け、回転中心軸と該走行車
とをそれぞれ連結して、搬入された処理部品を回転に伴
って作業工程に従って処理してゆく機械部品搬送処理装
置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば気体圧力を利用
した機械部品処理装置に係わり、特に簡単な組み替え操
作で行える真空処理装置等に関するものである。
した機械部品処理装置に係わり、特に簡単な組み替え操
作で行える真空処理装置等に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えばブラウン管の製造過程では、メタ
ルバック装置が必要である。従来のメタルバック装置
は、図５に示すようにターンテーブルに固定されたカー
トをターンテーブル中心に設けたドライブシステムによ
って、ターンテーブルごとカートを回転移動させるもの
であった。
ルバック装置が必要である。従来のメタルバック装置
は、図５に示すようにターンテーブルに固定されたカー
トをターンテーブル中心に設けたドライブシステムによ
って、ターンテーブルごとカートを回転移動させるもの
であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、生産量を少な
くする場合であっても、カートの間引き運転によること
しかできないため機械占有面積を少なくすることは出来
なかった。機械占有面積を変えるためには、別の方法を
考慮しなければならない。
くする場合であっても、カートの間引き運転によること
しかできないため機械占有面積を少なくすることは出来
なかった。機械占有面積を変えるためには、別の方法を
考慮しなければならない。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の目的は、上記従
来の技術の課題を解決すべく、機械占有面積が可変容易
でカートの間引き運転を不要としたドライブシステムに
よる安価なメタルバック装置等の特許請求の範囲記載の
機械部品搬送処理装置を提供することにある。
来の技術の課題を解決すべく、機械占有面積が可変容易
でカートの間引き運転を不要としたドライブシステムに
よる安価なメタルバック装置等の特許請求の範囲記載の
機械部品搬送処理装置を提供することにある。
【０００５】
【実施例】本発明をメタルバック装置を一例として図面
に基づいて説明する。
に基づいて説明する。
【０００６】自律走行車１の側面に屈曲軸２を取付け、
回転中心軸３と連結する。Ｐ−２４の位置において自律
走行車１内のヒーター２１に、アルミペレットをアルミ
ペレット供給機１０から供給した後、回転中心軸により
回転して、Ｐ−１の位置に来ると停止して、ブラウン管
のパネルがパネル装着用ロボット２２により自律走行車
に搬入されて、さらに位置移動を行いつつ順次、真空排
気（Ｐ−２〜）、真空測定（Ｐ−１３）、予備加熱（Ｐ
−１４〜Ｐ−１５）、蒸着（Ｐ−１６〜Ｐ−１８）、冷
却（Ｐ−１９〜Ｐ−２１）、膜厚測定（Ｐ−２１）、リ
ーク、ブロー（Ｐ−２２、Ｐ−２３）の工程を経過し
て、自律走行車Ｐ−２３の位置に来た時に完成したパネ
ルを搬出する。これが一工程であり繰り返し生産とな
る。各工程での処理に必要な装置は自律走行車に設けら
れている。この工程のタイムスケジュールの一例を図３
に示す。この例では一周３１２秒であり、各工程に要す
る時間を秒単位で表に記入してある。
回転中心軸３と連結する。Ｐ−２４の位置において自律
走行車１内のヒーター２１に、アルミペレットをアルミ
ペレット供給機１０から供給した後、回転中心軸により
回転して、Ｐ−１の位置に来ると停止して、ブラウン管
のパネルがパネル装着用ロボット２２により自律走行車
に搬入されて、さらに位置移動を行いつつ順次、真空排
気（Ｐ−２〜）、真空測定（Ｐ−１３）、予備加熱（Ｐ
−１４〜Ｐ−１５）、蒸着（Ｐ−１６〜Ｐ−１８）、冷
却（Ｐ−１９〜Ｐ−２１）、膜厚測定（Ｐ−２１）、リ
ーク、ブロー（Ｐ−２２、Ｐ−２３）の工程を経過し
て、自律走行車Ｐ−２３の位置に来た時に完成したパネ
ルを搬出する。これが一工程であり繰り返し生産とな
る。各工程での処理に必要な装置は自律走行車に設けら
れている。この工程のタイムスケジュールの一例を図３
に示す。この例では一周３１２秒であり、各工程に要す
る時間を秒単位で表に記入してある。
【０００７】ここで、自律走行車を駆動する電気、水、
空気等は回転中心軸３より給給する。例えば、図２にお
いて、回転軸下部のピット（図示省略）より電気、エア
を供給する。回転軸上部にはロータリジョイントがあっ
て、その上部に水の供給固定部がある。自律走行車は床
面に設けられたレールでガイドされるが、図において
は、レールは見にくくなるために省略してある。円形の
場合は軸を直線にすることによりレールは不要となる。
空気等は回転中心軸３より給給する。例えば、図２にお
いて、回転軸下部のピット（図示省略）より電気、エア
を供給する。回転軸上部にはロータリジョイントがあっ
て、その上部に水の供給固定部がある。自律走行車は床
面に設けられたレールでガイドされるが、図において
は、レールは見にくくなるために省略してある。円形の
場合は軸を直線にすることによりレールは不要となる。
【０００８】パネル２１インチサイズを例にとると、２
４台の走行車を設けた設備から１２台の走行車の設備に
減らすとすれば、約１／２の占有面積ですむことにな
り、クリーンルームの負担も少なくてすむことになる。
また、楕円軌道を設け、屈曲軸２の中間にユニバーサル
機構を設ければ、長方形のスペース利用もできることに
なる。すなわち、ガイド用レールを楕円形に設ければ、
自律走行車はこのレールにガイドされて楕円軌道をとっ
て回転軸のまわりを周回する。回転軸から自律走行車ま
での距離が軌道を周回するにつれて変化するが、これは
屈曲軸の屈曲の変化で対応する。従って、固定テーブル
を利用して従来の設備に比べ、軸の連結により多量、少
量の生産変更が容易にできるシステムが得られる。
４台の走行車を設けた設備から１２台の走行車の設備に
減らすとすれば、約１／２の占有面積ですむことにな
り、クリーンルームの負担も少なくてすむことになる。
また、楕円軌道を設け、屈曲軸２の中間にユニバーサル
機構を設ければ、長方形のスペース利用もできることに
なる。すなわち、ガイド用レールを楕円形に設ければ、
自律走行車はこのレールにガイドされて楕円軌道をとっ
て回転軸のまわりを周回する。回転軸から自律走行車ま
での距離が軌道を周回するにつれて変化するが、これは
屈曲軸の屈曲の変化で対応する。従って、固定テーブル
を利用して従来の設備に比べ、軸の連結により多量、少
量の生産変更が容易にできるシステムが得られる。
【０００９】このプロセスは、例としてメタルバック装
置を引用したけれども、プロセスの内容が別になって
も、工程の送り方で、例えば、冷凍機用コンプレッサー
の真空乾燥およびガス封入や表示管の封止などにも応用
ができる。また自律走行車は、前者の例では停止、走
行、粗引、本引、予備加熱、蒸着、補助引、リーク、加
圧エア導入を行える機能を持っている。しかし、他に利
用する場合は別機能を持たせることは当然である。
置を引用したけれども、プロセスの内容が別になって
も、工程の送り方で、例えば、冷凍機用コンプレッサー
の真空乾燥およびガス封入や表示管の封止などにも応用
ができる。また自律走行車は、前者の例では停止、走
行、粗引、本引、予備加熱、蒸着、補助引、リーク、加
圧エア導入を行える機能を持っている。しかし、他に利
用する場合は別機能を持たせることは当然である。
【００１０】冷凍機用コンプレッサーの真空乾燥とガス
封入の場合には １．ローダーにより排気管のついた容器を取付ける。
（真空用カプラ装着） 容器内には、モーターとコンプレッサーが入っている。 ２．真空排気および加熱（加熱炉内で容器内の脱ガス、
乾燥のため） ３．真空排気 ４．真空検査（真空もれ、乾燥検査を真空計で圧力確
認） ５．ガス封入その後栓をする。（水分吸着防止のため窒
素ガス封入） ６．アンローダによりコンプレッサー取出。 の各処理を行う。
封入の場合には １．ローダーにより排気管のついた容器を取付ける。
（真空用カプラ装着） 容器内には、モーターとコンプレッサーが入っている。 ２．真空排気および加熱（加熱炉内で容器内の脱ガス、
乾燥のため） ３．真空排気 ４．真空検査（真空もれ、乾燥検査を真空計で圧力確
認） ５．ガス封入その後栓をする。（水分吸着防止のため窒
素ガス封入） ６．アンローダによりコンプレッサー取出。 の各処理を行う。
【００１１】表示管真空封止の場合には １．表示管取付け ２．真空排気および加熱（外熱炉により加熱排気しなが
ら脱ガスを行う） ３．表示管内真空検査 ４．活性（表示管内フィラメントの加熱） ５．真空封止 ６．表示管取出 の各処理を行う。
ら脱ガスを行う） ３．表示管内真空検査 ４．活性（表示管内フィラメントの加熱） ５．真空封止 ６．表示管取出 の各処理を行う。
【００１２】
【発明の効果】本発明は、以上のように構成されている
ので生産量に応じて機械の占有面積を可変にすることが
できるという優れた効果を奏する。
ので生産量に応じて機械の占有面積を可変にすることが
できるという優れた効果を奏する。
【図１】本発明による一実施例、平面図。
【図２】同側面図。
【図３】チャンバ部分の拡大断面図。このようなチャン
バが図２に示すように自律走行車１に載っている。
バが図２に示すように自律走行車１に載っている。
【図４】タイムスケジュールの一例。表の第一行のポジ
ションの番号１〜２４は、図１のＰ−１〜Ｐ−２４にそ
れぞれ対応する。
ションの番号１〜２４は、図１のＰ−１〜Ｐ−２４にそ
れぞれ対応する。
【図５】従来のメタルバック装置。
１ 自律走行車 ２ 屈曲軸 ３ 回転中心軸 ４ パネル検出器 ５ ミラー ６ シャドウーマスク ７ ロータリジョイント ８ 固定部 ９ 移動減速・停止信号器 １０ アルミベレット供給機 １１ 膜厚計 １２ ガイドレール １３ 駆動車 １４ 制御盤 １５ 真空ポンプ １６ 真空ポンプ １７ 水供給 １８ 水排水 １９ 排気口 ２０ パネル ２１ ヒーター ２２ パネル装着用ロボット ２３ パネル取出用ロボット ２４ カート ２５ ターンテーブル ２６ ドライブシステム ２７ 膜厚モニタ ２８ チャンバ
Claims (4)
- 【請求項１】 走行車を複数個設け、回転中心軸と該走
行車とをそれぞれ連結して、搬入された処理部品を回転
に伴って作業工程に従って処理してゆく機械部品搬送処
理装置。 - 【請求項２】 走行車に自律走行装置を設けた請求項１
記載の機械部品搬送処理装置。 - 【請求項３】 回転中心軸から走行車にエネルギーを供
給するようにした請求項１又は２記載の機械部品搬送処
理装置。 - 【請求項４】 走行車に作業工程の処理装置を設けた請
求項１、２又は３記載の機械部品搬送処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6284583A JP2733823B2 (ja) | 1994-10-13 | 1994-10-13 | 機械部品搬送処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6284583A JP2733823B2 (ja) | 1994-10-13 | 1994-10-13 | 機械部品搬送処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08113359A true JPH08113359A (ja) | 1996-05-07 |
| JP2733823B2 JP2733823B2 (ja) | 1998-03-30 |
Family
ID=17680341
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6284583A Expired - Fee Related JP2733823B2 (ja) | 1994-10-13 | 1994-10-13 | 機械部品搬送処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2733823B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002034232A (ja) * | 2000-07-18 | 2002-01-31 | Shinko Electric Co Ltd | リニアモータシステムおよび回転形モータ |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5216242U (ja) * | 1975-07-23 | 1977-02-04 | ||
| JPS6135089A (ja) * | 1984-07-27 | 1986-02-19 | Hitachi Ltd | 非同期信号分配交換方式 |
| JPH05192881A (ja) * | 1992-01-20 | 1993-08-03 | Seiko Epson Corp | 自走作業台車 |
-
1994
- 1994-10-13 JP JP6284583A patent/JP2733823B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5216242U (ja) * | 1975-07-23 | 1977-02-04 | ||
| JPS6135089A (ja) * | 1984-07-27 | 1986-02-19 | Hitachi Ltd | 非同期信号分配交換方式 |
| JPH05192881A (ja) * | 1992-01-20 | 1993-08-03 | Seiko Epson Corp | 自走作業台車 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002034232A (ja) * | 2000-07-18 | 2002-01-31 | Shinko Electric Co Ltd | リニアモータシステムおよび回転形モータ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2733823B2 (ja) | 1998-03-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2833757B2 (ja) | 半導体素子の製造用ウエーハの処理装置 | |
| JPH0613361A (ja) | 処理装置 | |
| WO1998038672A1 (en) | System for loading, processing and unloading substrates arranged on a carrier | |
| JPH08113359A (ja) | 機械部品搬送処理装置 | |
| US20020110769A1 (en) | Heat treatment method and heat treatment apparatus | |
| JP2003258058A (ja) | 基板処理装置の運転方法 | |
| JP3195492B2 (ja) | アークイオンプレーティング装置及びアークイオンプレーティングシステム | |
| US4382500A (en) | Conveyor system for conveying panels and shadow masks | |
| JPH07111995B2 (ja) | プローブ装置 | |
| CN108385075A (zh) | 一种实现晶圆与mask取放和精确定位的旋转加热机构 | |
| JP4172553B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
| US2846973A (en) | Cathode-ray tube manufacturing apparatus | |
| US2837396A (en) | Process and apparatus for evacuating electronic tubes and the like | |
| JP4350064B2 (ja) | Ｅｌプロセス中のガラス板材用接着剤の塗布方法とその塗布装置 | |
| JP2004504495A (ja) | 基板にコーティングを施すための真空モジュール（及びその変形）とモジュールシステム | |
| JP4837163B2 (ja) | スパッタリング装置 | |
| US3796475A (en) | Apparatus for manufacturing discharge lamps | |
| JP2790164B2 (ja) | 真空チャンバ用移送装置 | |
| KR100480818B1 (ko) | 합착기 | |
| JP2920855B2 (ja) | 洗浄処理装置 | |
| JP3581274B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
| JPH03111575A (ja) | 真空処理装置 | |
| JPH0610679Y2 (ja) | 連続インライン式成膜装置 | |
| TWI304995B (en) | Exhausting apparatus | |
| US6082020A (en) | Supporting device for data-storage optical discs |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090109 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100109 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110109 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110109 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120109 Year of fee payment: 14 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |