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JPH077778B2 - Wire bonding equipment - Google Patents

Wire bonding equipment

Info

Publication number
JPH077778B2
JPH077778B2 JP31957087A JP31957087A JPH077778B2 JP H077778 B2 JPH077778 B2 JP H077778B2 JP 31957087 A JP31957087 A JP 31957087A JP 31957087 A JP31957087 A JP 31957087A JP H077778 B2 JPH077778 B2 JP H077778B2
Authority
JP
Japan
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data
wire
wiring
storage device
wire bonder
Prior art date
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JP31957087A
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Japanese (ja)
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JPH01160027A (en
Inventor
英雄 鈴木
義仁 長谷川
武久 菅原
力夫 杉浦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP31957087A priority Critical patent/JPH077778B2/en
Publication of JPH01160027A publication Critical patent/JPH01160027A/en
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Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491Disposition
    • H01L2224/4912Layout
    • H01L2224/49171Fan-out arrangements

Landscapes

  • Wire Bonding (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [概要] 本発明は小容量の記憶装置により多品種の半導体素子チ
ップについてワイヤボンディングを行う装置に関し、 小容量の記憶装置と品種別配線データの作成手段を有す
る中央制御装置を使用して、不要配線を確実に除去して
配線の出来るワイヤボンディング装置を提供することを
目的とし、 半導体素子チップとそのパッケージのリードとを接続す
るワイヤをボンディングするワイヤボンダと、該ワイヤ
ボンダを制御する中央制御装置とで構成するワイヤボン
ディング装置において、該中央制御装置にはワイヤボン
ディングのデータを記憶する記憶装置を接続し、且つ中
央制御装置にはワイヤボンダの動作品種名信号に従って
記憶装置からデータを読出す手段と、該読出す手段の出
力について半導体素子チップの品種別配線データを作成
する手段と、該作成する手段により作成したデータをワ
イヤボンダに通知する手段とを具備することで構成す
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Outline] The present invention relates to an apparatus for wire-bonding a wide variety of semiconductor element chips with a small-capacity storage device, and a central control having a small-capacity storage device and means for creating wiring data by product type. For the purpose of providing a wire bonding device capable of surely removing unnecessary wiring by using the device, a wire bonder for bonding a wire connecting a semiconductor element chip and a lead of the package, and a wire bonder In a wire bonding device configured with a controlling central control device, a storage device for storing wire bonding data is connected to the central control device, and the central control device receives data from the storage device in accordance with a wire bonder operation type name signal. Of the semiconductor element chip and the output of the reading means. It is configured by including means for creating type-specific wiring data and means for notifying the wire bonder of the data created by the creating means.

[産業上の利用分野] 本発明は小容量の記憶装置により多品種の半導体素子チ
ップについてワイヤボンディングを行う装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for wire-bonding a wide variety of semiconductor element chips with a small-capacity storage device.

従来のワイヤボンディング装置は、半導体素子チップに
ついて品種別に全データを管理する記憶装置と、単純な
制御装置と、ワイヤボンダとで構成されていたから、デ
ータ量は膨大なものとなり、しかも記憶内のデータ管理
やワイヤボンダの作業結果については、必ず人手による
チェックを要した。そのため記憶装置の容量を減少させ
て、半導体素子チップに対し正確なボンディングを行う
装置を開発することが要望された。
Since the conventional wire bonding apparatus is composed of a storage device that manages all data for each type of semiconductor element chip, a simple control device, and a wire bonder, the amount of data becomes enormous, and data management in storage and The work result of the wire bonder must be manually checked. Therefore, it has been desired to develop a device for reducing the capacity of the memory device and performing accurate bonding to the semiconductor element chip.

[従来の技術] 半導体素子のチップをパッケージに搭載し、外部接続用
リードとチップのパッド間をワイヤボンダを使用して結
線するとき近頃は、パッケージは同一であってもチップ
が異なるという多品種で少量生産することが多くなっ
た。これはゲートアレイ型集積回路チップを搭載するパ
ッケージとしてそのリードを引き出すためのピン数が80
〜200となったが、そのとき品種によってパッド・リー
ド間の接続が電気的機能上不要となる場合があり、品種
によってその位置・数がまちまちである。第7図は或る
チップについてその周囲にパッドを多数配置しているこ
とを示し、数字はパッドの順序番号である。このとき2
番のパッドを■印としたことは、そのパッドとパケッー
ジとは結線を要しないことを意味する。そして第8図は
第7図と同一パッケージに搭載される他のチップについ
てのパッドを示し、この場合は3番のパッド結線が不要
である。このように不要な結線はチップを80〜200ピン
のパッケージに搭載するとき一品種について数本乃至十
数本となっている。現在ワイヤボンダにより配線作業を
行うとき、不要配線を除去した後の必要配線すべき個所
についての情報をワイヤボンダに与えている。そのため
記憶装置には各品種毎に必要な情報を全て格納してい
る。またワイヤボンダに対し情報を与えるときは記憶装
置から読出したデータについて作業者が配線1本毎に与
えることにより行っていた。
[Prior Art] When a chip of a semiconductor element is mounted on a package, and a wire bonder is used to connect between an external connection lead and a pad of the chip, recently, there are many kinds of chips that have the same package but different chips. It is often produced in small quantities. This is a package that mounts a gate array type integrated circuit chip, and the number of pins for pulling out its leads is 80.
However, depending on the product type, the connection between the pad and the lead may not be necessary in terms of electrical function, and the position and number of the product may vary depending on the product type. FIG. 7 shows that a certain chip has a large number of pads arranged around it, and the numeral is the order number of the pads. At this time 2
The numbered pad marked with ■ means that the pad and the package do not need to be connected. FIG. 8 shows pads for other chips mounted in the same package as FIG. 7, and in this case, the pad connection of No. 3 is unnecessary. As described above, the number of unnecessary connections is several to ten or more when a chip is mounted on a package of 80 to 200 pins. Currently, when performing a wiring work with a wire bonder, the wire bonder is provided with information about a place where necessary wiring should be performed after removing unnecessary wiring. Therefore, the storage device stores all necessary information for each product type. Further, when the information is given to the wire bonder, the operator gives the data read from the storage device for each wire.

[発明が解決しようとする問題点] チップの各品種毎に必要とする配線すべきデータを記憶
装置に格納しているから、品種が増大する毎に配線すべ
き共通性のある膨大なデータを格納することとなるた
め、記憶装置の容量が膨大となり無駄なことであった。
また配線手順についてもティーチングと言って、作業者
が行うことであり面倒なことであった。その作業のとき
ミスがどうしても出易いことから、ワイヤボンダの処理
の後作業者が検査していた。即ち正式に配線すべき状態
を描いた図面と、配線したパッケージを顕微鏡で見た視
野とを比較し、ボンディング位置の勘違い・ワイヤ抜け
の有無をチェックしていた。しかも多ピン型ではチェッ
クを何回も繰り返す必要があった。そのためチップ上の
パッドとリードとを電気的使用の有無に関係なく、全部
配線することも行われていて、細い金線を使用するよう
な配線材料を無駄に使用する欠点があった。
[Problems to be Solved by the Invention] Since data to be wired required for each type of chip is stored in a storage device, a huge amount of common data to be wired should be stored every time the number of types increases. Since it is to be stored, the capacity of the storage device becomes enormous, which is a waste.
In addition, the wiring procedure is also called teaching, and it is troublesome for the operator to perform. Since mistakes are apt to occur during the work, the worker had to inspect the wire bonder after processing. In other words, the drawing in which the wiring was officially drawn was compared with the field of view of the wiring package under a microscope, and the misalignment of the bonding position and the presence / absence of a wire drop were checked. Moreover, with the multi-pin type, the check had to be repeated many times. Therefore, the pads and leads on the chip are all wired regardless of whether or not they are electrically used, and there is a drawback in that a wiring material such as a thin gold wire is wasted.

本発明の目的は前述の欠点を改善し、小容量の記憶装置
と品種別配線データの作成手段とを有する中央制御装置
を使用して不要配線を確実に除去して結線作業の出来る
ボンディング装置を提供することにある。
An object of the present invention is to improve the above-mentioned drawbacks, and to provide a bonding apparatus capable of surely removing unnecessary wiring and performing a wiring work by using a central controller having a small-capacity storage device and means for creating wiring data for each product type. To provide.

[問題点を解決するための手段] 第1図は本発明の原理構成を示す図である。第1図にお
いて、1は中央制御装置、2は記憶装置、3はワイヤボ
ンダ、4は半導体素子チップ、5はパッケージ、6はリ
ード、7はワイヤ、11はデータ読出手段、12は配線デー
タ作成手段、13は通知手段を示す。
[Means for Solving Problems] FIG. 1 is a diagram showing a principle configuration of the present invention. In FIG. 1, 1 is a central control device, 2 is a storage device, 3 is a wire bonder, 4 is a semiconductor element chip, 5 is a package, 6 is a lead, 7 is a wire, 11 is a data reading means, and 12 is a wiring data creating means. , 13 are notification means.

半導体素子チップ4とそのパッケージ5のリード6を接
続するワイヤ7をボンディングするワイヤボンダ3と、
該ワイヤボンダ3を制御する中央制御装置1とで構成す
るワイヤボンディング装置において、本発明は下記の構
成とする。即ち、 中央制御装置1にはワイヤボンディングのデータを記憶
する記憶装置3を接続し、且つ中央制御装置1にはワイ
ヤボンダ3からの動作品種名信号に従って記憶装置2か
らデータを読出す手段11と、該読出す手段11の出力につ
いて半導体素子チップ4の品種別配線データを作成する
手段12と、該作成する手段12により作成したデータをワ
イヤボンダ3に通知する手段13とを具備している。
A wire bonder 3 for bonding a wire 7 for connecting the semiconductor element chip 4 and the lead 6 of the package 5 thereof,
The present invention has the following configuration in the wire bonding apparatus configured with the central controller 1 that controls the wire bonder 3. That is, the central control unit 1 is connected with a storage unit 3 for storing wire bonding data, and the central control unit 1 is provided with a means 11 for reading data from the storage unit 2 in accordance with an operation type name signal from the wire bonder 3, The output of the reading means 11 is provided with a means 12 for creating type-specific wiring data of the semiconductor element chip 4 and a means 13 for notifying the wire bonder 3 of the data created by the creating means 12.

[作用] 記憶装置2は中央制御装置1と接続され、ワイヤボンダ
3が動作するため必要な品種別配線データを作成するた
め、必要な基本データを格納して置く。ワイヤボンダ3
におけるキーボードなどで所定の半導体素子チップ4に
ついての品種名を指定してから、ワイヤボンダ3が前記
品種に対応するデータ要求信号を中央制御装置1に送出
する。中央制御装置1においては、品種名指定のデータ
要求信号により、記憶装置2に対するデータ読出手段11
に指令する。読出手段11は所定のデータを記憶装置2か
ら読出して、配線データ作成手段12に印加する。配線デ
ータ作成手段12は読出したデータに基づいて品種別の配
線データを作成し、次いで通知する手段13によりワイヤ
ボンダ3に通知する。ワイヤボンダ3は配線データに従
うボンディング処理を行う。
[Operation] The storage device 2 is connected to the central control device 1 and stores necessary basic data in order to create type-specific wiring data necessary for the operation of the wire bonder 3. Wire bonder 3
After designating a product type name for a predetermined semiconductor element chip 4 using a keyboard or the like, the wire bonder 3 sends a data request signal corresponding to the product type to the central control unit 1. In the central controller 1, the data read means 11 for the storage device 2 is operated by the data request signal designating the product type name.
Command. The reading means 11 reads predetermined data from the storage device 2 and applies it to the wiring data creating means 12. The wiring data creating means 12 creates wiring data for each product type based on the read data, and then notifies the wire bonder 3 by the notifying means 13. The wire bonder 3 performs a bonding process according to the wiring data.

[実施例] 第2図は本発明の実施例として、第1図の記憶装置2に
おける格納データを示す例である。第2図において、A
乃至Eは各データ表であって、Aはパッケージ・リード
の座標を、パッケージの種類毎に格納し、 Bはチップ・パッドの座標を、チップの種類毎に格納
し、 Cは上記Aの番号とBの番号との対応をさせる基本配線
の表を、品種のシリーズ別に格納する。
[Embodiment] FIG. 2 shows an example of stored data in the storage device 2 of FIG. 1 as an embodiment of the present invention. In FIG. 2, A
3A to 3E are data tables, where A stores the coordinates of the package lead for each package type, B stores the coordinates of the chip pad for each chip type, and C the number of A above. The table of the basic wiring that makes the numbers B and B correspond to each other is stored for each product series.

また、Dは不要配線の表を、 Eは品種別データの対応表を示している。Further, D shows a table of unnecessary wiring, and E shows a correspondence table of data by product type.

そして、第2図A,Bにおける座標値とは、第3図に示す
ようにチップとパッケージについてそれらの上面中央位
置を原点Oとして、原点Oからの距離をミクロン単位で
測ったパッケージ・リードとチップのX,Y座標値即ち、
ワイヤボンダがボンディングする点の位置を示す。そし
て第2図Cは第2図A,Bにおける同じ番号について、対
応する基本配線(リード)の有無を示すもので、通常は
有となるから矢印が両方向を向いている。次に第2図D
では、チップパッドを基準として配線(リード)のない
ものを品種追番毎に示している。即ち、品種のシリーズ
名が同じであっ追番が001,002のように異なるとき、配
線のないパッドをNパッドとして表示している。例えば
MB123001ではパッドの2,8,14,20番にリードが接続され
てなくNパッドであることが判る。更に第2図Eでは品
種別データの対応表を示している。
The coordinate values in FIGS. 2A and 2B are the package leads obtained by measuring the distance from the origin O in microns as the origin O is the center position of the upper surface of the chip and the package as shown in FIG. X, Y coordinate value of the chip, that is,
The position of the bonding point of the wire bonder is shown. 2C shows the presence or absence of the corresponding basic wiring (lead) for the same number in FIGS. 2A and 2B. Since it is normally present, the arrows point in both directions. Next, FIG. 2D
In the figure, those having no wiring (lead) with the chip pad as a reference are shown for each product serial number. That is, when the series name of the product type is the same and the serial numbers are different, such as 001 and 002, pads without wiring are displayed as N pads. For example
In MB123001, it can be seen that the pads are No. 2, 8, 14, and 20 and the leads are not connected, and are N pads. Further, FIG. 2E shows a correspondence table of data by product type.

中央制御装置1はパソコン程度のものであって良く、前
記のデータ読出手段11,データ作成手段12,データ通知手
段13を具備しているものを使用する。そして、第4図に
その動作フローチャートを示す。まず動作開始後に、ス
テップにおいて、記憶装置において新たなデータベー
スを作成する必要性の有無を判断し、作成するときはス
テップにおいて作成する。次にステップにおいて、
ワイヤボンディングを行うときの必要な品種名を指定す
る。ステップ以降は図示するように動作する。そのた
めワイヤボンダ3からのデータ転送要求を受けて、中央
制御装置1は指定品種名データに基づき、第2図Dのデ
ーブルから該当する品種名を検索し、第5図に示すよう
な品種別配線データを新規に作成する。第5図において
■印はNパッドを示す。その後ワイヤボンダ3にデータ
を送出する。そのため記憶装置には全ての品種別配線デ
ータを記憶するのでは無く、中央制御装置が基本データ
よりワイヤボンディングに必要なデータを作成して行く
ことが特徴である。
The central control unit 1 may be a personal computer or the like, and is provided with the data reading unit 11, the data creating unit 12, and the data notifying unit 13 described above. The operation flowchart is shown in FIG. First, after the operation is started, in step, it is judged whether or not it is necessary to create a new database in the storage device, and when it is created, it is created in step. Next in step,
Specify the product type name required for wire bonding. After the step, it operates as shown. Therefore, in response to the data transfer request from the wire bonder 3, the central controller 1 searches the table of FIG. 2D for the corresponding product name based on the specified product name data, and the product-specific wiring data as shown in FIG. Create a new. In FIG. 5, the mark ■ indicates an N pad. After that, the data is sent to the wire bonder 3. Therefore, the storage device does not store all the wiring data for each product type, but the central control device creates the data necessary for wire bonding from the basic data.

第6図はワイヤボンダを複数台使用する場合のブロック
機構図を示している。ワイヤボンダ3-1〜3-5はネットワ
ーク・コントローラ8-1を介して中央制御装置1と結線
され、同様にワイヤボンダ3-6〜3-10はコントローラ8-2
を介して結線される。このときコントローラ8-1,8-2は
インタフェースRS232CとRS422により図示するように結
線されている。各ワイヤボンダはそれぞれ動作すべき品
種が前述のように指定される。勿論同一の品種を指定し
て動作することも可能であり、全部のワイヤボンダが異
なる品種について動作することもある。
FIG. 6 shows a block mechanism diagram when a plurality of wire bonders are used. The wire bonders 3-1 to 3-5 are connected to the central control unit 1 via the network controller 8-1, and similarly the wire bonders 3-6 to 3-10 are connected to the controller 8-2.
Is connected via. At this time, the controllers 8-1 and 8-2 are connected as shown by the interfaces RS232C and RS422. The type of wire bonder to be operated is specified as described above. Of course, it is possible to specify and operate the same type, and all wire bonders may operate for different types.

[発明の効果] このようにして本発明によると、記憶装置としては基本
的データについてのみ格納し、個別の不要配線データや
配線データをすべて格納する必要がないから、記憶装置
の容量が従来より少なくて済む。また記憶装置に格納し
たデータについて当初にチェックを行うことで、ワイヤ
ボンダが動作した後に、改めてチェックすることは必要
がない。そのため従来の装置のようにティーチング時間
が不要であり、チェック時間が少ないため、工程数が削
減され、短時間で良品質のワイヤボンディングが可能で
ある。
As described above, according to the present invention, the storage device stores only basic data and does not need to store all individual unnecessary wiring data or wiring data. It can be small. Further, by initially checking the data stored in the storage device, it is not necessary to check again after the wire bonder operates. Therefore, unlike the conventional apparatus, the teaching time is not required and the check time is short, so that the number of steps is reduced and high-quality wire bonding can be performed in a short time.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本発明の原理構成を示す図、 第2図は第1図の記憶装置に格納されているデータの例
を示す図、 第3図は座標値を求めることを説明する図、 第4図は中央制御装置の処理動作フローチャート、 第5図は中央制御装置において作成した品種別配線デー
タの例を示す図、 第6図は複数のワイヤボンダを使用するときのブロック
図、 第7図・第8図は半導体素子チップの主に不要パッドを
示す図である。 1…中央制御装置、2…記憶装置 3…ワイヤボンダ、4…半導体素子チップ 5…パッケージ、6…リード 7…ワイヤ 11…データ読出手段 12…配線データ作成手段 13…通知手段
FIG. 1 is a diagram showing the principle configuration of the present invention, FIG. 2 is a diagram showing an example of data stored in the storage device of FIG. 1, and FIG. 3 is a diagram explaining obtaining coordinate values. FIG. 4 is a flow chart of processing operation of the central control device, FIG. 5 is a diagram showing an example of wiring data by product type created in the central control device, FIG. 6 is a block diagram when a plurality of wire bonders are used, FIG. FIG. 8 is a view mainly showing unnecessary pads of the semiconductor element chip. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Central control device, 2 ... Storage device 3 ... Wire bonder, 4 ... Semiconductor element chip 5 ... Package, 6 ... Lead 7 ... Wire 11 ... Data reading means 12 ... Wiring data creation means 13 ... Notification means

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】半導体素子チップ(4)とそのパッケージ
(5)のリード(6)とを接続するワイヤ(7)をボン
ディングするワイヤボンダ(3)と、該ワイヤボンダ
(3)を制御する中央制御装置(1)とで構成するワイ
ヤボンディング装置において、 該中央制御装置(1)にはワイヤボンディングのデータ
を記憶する記憶装置(2)を接続し、 且つ中央制御装置(1)には、ワイヤボンダ(3)の動
作品種名信号に従って記憶装置(2)からデータを読出
す手段(11)と、 該読出す手段(11)の出力について半導体素子チップ
(4)の品種別配線データを作成する手段(12)と、 該作成する手段(12)により作成したデータをワイヤボ
ンダ(3)に通知する手段(13)とを具備すること を特徴とするワイヤボンディング装置。
1. A wire bonder (3) for bonding a wire (7) connecting a semiconductor element chip (4) and a lead (6) of its package (5), and a central controller for controlling the wire bonder (3). In the wire bonding apparatus including (1), a storage device (2) for storing wire bonding data is connected to the central control device (1), and a wire bonder (3) is connected to the central control device (1). ) Means for reading data from the storage device (2) in accordance with the operation type name signal of (4), and means (12) for creating type-specific wiring data of the semiconductor element chip (4) for the output of the reading means (11). ) And a means (13) for notifying the wire bonder (3) of the data created by the creating means (12).
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