JPH076541B2 - 磁気軸受装置 - Google Patents
磁気軸受装置Info
- Publication number
- JPH076541B2 JPH076541B2 JP3904487A JP3904487A JPH076541B2 JP H076541 B2 JPH076541 B2 JP H076541B2 JP 3904487 A JP3904487 A JP 3904487A JP 3904487 A JP3904487 A JP 3904487A JP H076541 B2 JPH076541 B2 JP H076541B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotating shaft
- permanent magnet
- stationary
- type
- magnetic bearing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 13
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 9
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical group [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 2
- 229910000976 Electrical steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/0408—Passive magnetic bearings
- F16C32/0423—Passive magnetic bearings with permanent magnets on both parts repelling each other
- F16C32/0427—Passive magnetic bearings with permanent magnets on both parts repelling each other for axial load mainly
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/0408—Passive magnetic bearings
- F16C32/0423—Passive magnetic bearings with permanent magnets on both parts repelling each other
- F16C32/0425—Passive magnetic bearings with permanent magnets on both parts repelling each other for radial load mainly
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は回転機の磁気軸受装置に関する。
（従来の技術） 磁気軸受装置は、磁石間の反発力あるいは吸引力により
回転軸を非接触に支持する装置であり、超高速運転や潤
滑剤の混入を嫌う真空中での運転など接触形の軸受では
使用できない分野に適している。従来技術による磁気軸
受では、永久磁石同志の反発力を用いる反発形永久磁石
式と、電磁石に流れる電流を回転軸の振動に合わせて調
節して電磁石と回転軸の間の吸引力を制御する吸引形電
磁石式とが代表的な形式である。
回転軸を非接触に支持する装置であり、超高速運転や潤
滑剤の混入を嫌う真空中での運転など接触形の軸受では
使用できない分野に適している。従来技術による磁気軸
受では、永久磁石同志の反発力を用いる反発形永久磁石
式と、電磁石に流れる電流を回転軸の振動に合わせて調
節して電磁石と回転軸の間の吸引力を制御する吸引形電
磁石式とが代表的な形式である。
第７図は、反発形永久磁石式ラジカル軸受装置の構造を
説明する縦断面図であり、回転軸（１）に半径方向に磁
束を有する円筒永久磁石（２）を同心に取り付け、その
外側に永久磁石（２）と極性が逆方向の円筒永久磁石
（３）を静止部（７）に固定してある。このとき、２つ
の永久磁石は互いに反発し合うため回転軸（１）のポテ
ンシャルは静止側円筒永久磁石（３）の中心（Ｃ）にお
いて安定となり、回転軸（１）が中心（Ｃ）から偏心す
ると回転軸（１）を中心（Ｃ）へ押しもどす方向に磁力
が作用するので、回転軸（１）は静止部と接触すること
なく支持される。
説明する縦断面図であり、回転軸（１）に半径方向に磁
束を有する円筒永久磁石（２）を同心に取り付け、その
外側に永久磁石（２）と極性が逆方向の円筒永久磁石
（３）を静止部（７）に固定してある。このとき、２つ
の永久磁石は互いに反発し合うため回転軸（１）のポテ
ンシャルは静止側円筒永久磁石（３）の中心（Ｃ）にお
いて安定となり、回転軸（１）が中心（Ｃ）から偏心す
ると回転軸（１）を中心（Ｃ）へ押しもどす方向に磁力
が作用するので、回転軸（１）は静止部と接触すること
なく支持される。
反発形の永久磁石式磁気軸受装置に対して、第８図に概
略構造を示す吸引形電磁石式ラジカル磁気軸受装置で
は、回転軸（１）の外周に配設された電磁石（４）に励
磁電流Ｉを通電すると、回転軸（１）には電磁石（４）
の生ずる磁束によって磁気吸引力が作用するが、励磁電
流Ｉが一定であると、回転軸（１）は不安定な状態にあ
って変位が生じた場合はその方向へ吸引されてしまうの
で、制御回路（６）は位置センサ（５）によって計測さ
れた回転軸（１）の変位をもとに変位を修復するために
必要な励磁電流を計算して電磁石（４）が発生する磁束
密度を調節して回転軸（１）の安定性を保持する。
略構造を示す吸引形電磁石式ラジカル磁気軸受装置で
は、回転軸（１）の外周に配設された電磁石（４）に励
磁電流Ｉを通電すると、回転軸（１）には電磁石（４）
の生ずる磁束によって磁気吸引力が作用するが、励磁電
流Ｉが一定であると、回転軸（１）は不安定な状態にあ
って変位が生じた場合はその方向へ吸引されてしまうの
で、制御回路（６）は位置センサ（５）によって計測さ
れた回転軸（１）の変位をもとに変位を修復するために
必要な励磁電流を計算して電磁石（４）が発生する磁束
密度を調節して回転軸（１）の安定性を保持する。
以上はラジアル軸受装置に関するものであるがスラスト
軸受装置についても同様で、永久磁石式では反発形が電
磁石式では吸引形がそれぞれ主流である。
軸受装置についても同様で、永久磁石式では反発形が電
磁石式では吸引形がそれぞれ主流である。
上述のように、磁気軸受装置は回転軸を非接触で支持す
るので、ころがり軸受やジャーナル軸受などでは焼き付
きのため使用できない超高速運転が可能であり、駆動装
置の軸受損失も皆無に等しくなる。また、潤滑剤が不要
のため、真空中の運転も極めて容易である。このように
すぐれた特徴を有している反面、従来技術では以下に説
明するような解決すべき問題が存在し、とりわけ大形機
械への適用がはばまれている。
るので、ころがり軸受やジャーナル軸受などでは焼き付
きのため使用できない超高速運転が可能であり、駆動装
置の軸受損失も皆無に等しくなる。また、潤滑剤が不要
のため、真空中の運転も極めて容易である。このように
すぐれた特徴を有している反面、従来技術では以下に説
明するような解決すべき問題が存在し、とりわけ大形機
械への適用がはばまれている。
まず、反発形永久磁石式磁気軸受においては、永久磁石
の磁力が調節できないために回転軸の振動を制御するこ
とができない。このため、危険速度通過時に不つり合い
により回転軸の振動が大きくなるので、回転軸のつり合
せを厳密に行え必要がある。したがって、その適用は小
形でかつ回転速度が比較的低いものに限られ、不つり合
い力が大きい大形機械や超高速運転への適用は困難であ
る。
の磁力が調節できないために回転軸の振動を制御するこ
とができない。このため、危険速度通過時に不つり合い
により回転軸の振動が大きくなるので、回転軸のつり合
せを厳密に行え必要がある。したがって、その適用は小
形でかつ回転速度が比較的低いものに限られ、不つり合
い力が大きい大形機械や超高速運転への適用は困難であ
る。
次に、吸引形電磁石式磁気軸受装置では、回転軸の荷重
を支持するため非常に大きな励磁電流を電磁石に供給し
なければならず、そのために大形の電源装置が必要であ
り、運転には大電力の消費を伴う。さらに、この励磁電
流を制御して回転軸の安定性を保持することから、制御
装置も大電流を制御できる大容量なものが必要である上
に、停電あるいは電源装置や制御装置が故障した場合に
は、回転軸の位置制御が不可能となるので、回転軸が静
止部と衝突して機械の破損へつながりかねないため、補
助電源や補助回路および回転軸を機械的に支持する補助
軸受等種々の保障装置を設ける必要があり、装置および
信頼性の上で吸引形電磁石式磁気軸受には問題が多く、
かつ大形化には限界がある。
を支持するため非常に大きな励磁電流を電磁石に供給し
なければならず、そのために大形の電源装置が必要であ
り、運転には大電力の消費を伴う。さらに、この励磁電
流を制御して回転軸の安定性を保持することから、制御
装置も大電流を制御できる大容量なものが必要である上
に、停電あるいは電源装置や制御装置が故障した場合に
は、回転軸の位置制御が不可能となるので、回転軸が静
止部と衝突して機械の破損へつながりかねないため、補
助電源や補助回路および回転軸を機械的に支持する補助
軸受等種々の保障装置を設ける必要があり、装置および
信頼性の上で吸引形電磁石式磁気軸受には問題が多く、
かつ大形化には限界がある。
（発明の解決しようとする問題点） このように従来技術による磁気軸受では、反発形永久磁
石式にあっては回転軸の制振性の欠除、吸引形電磁石式
にあっては大電流の消費、これに伴う大容量の電源およ
び制御装置の付帯、故障に対する保障装置の必要性な
ど、それぞれに問題がある上に、これらの問題を原因に
して両方式とも適用機種の大形化をはかるのは非常に困
難である。
石式にあっては回転軸の制振性の欠除、吸引形電磁石式
にあっては大電流の消費、これに伴う大容量の電源およ
び制御装置の付帯、故障に対する保障装置の必要性な
ど、それぞれに問題がある上に、これらの問題を原因に
して両方式とも適用機種の大形化をはかるのは非常に困
難である。
そこで、本発明においては、これら従来技術における問
題点に鑑み、消費電力が小さく、したがって大容量の電
源および保障装置を不要にして簡単で、かつ回転軸の振
動制御が可能な磁気軸受装置の提供を目的とする。
題点に鑑み、消費電力が小さく、したがって大容量の電
源および保障装置を不要にして簡単で、かつ回転軸の振
動制御が可能な磁気軸受装置の提供を目的とする。
（問題点を解決するための手段） 上記目的を達成するために本発明においては、回転軸と
これに対向する静止部とにそれぞれギャップを介して対
向装着した磁石と、静止側磁石と静止部との間に設けた
電歪素子と、回転軸の変位を検出する位置センサと、位
置センサからの変位信号を入力して前記電歪素子を変形
させる電力を供給して静止側磁石の位置を変化させ、回
転軸の振動を小さくさせる制御装置とを備えたことを特
徴とする磁気軸受装置を提供する。
これに対向する静止部とにそれぞれギャップを介して対
向装着した磁石と、静止側磁石と静止部との間に設けた
電歪素子と、回転軸の変位を検出する位置センサと、位
置センサからの変位信号を入力して前記電歪素子を変形
させる電力を供給して静止側磁石の位置を変化させ、回
転軸の振動を小さくさせる制御装置とを備えたことを特
徴とする磁気軸受装置を提供する。
（作 用） このように構成されたものにおいては、磁石間の反発力
あるいは吸引力によって回転軸を所定の位置に保つもの
であるが、回転軸が変位すると振動が生ずるので、位置
センサで変位を検出し、位置センサからの変位信号を制
御装置に入力し、制御装置は電歪素子を変形させて静止
側磁石の位置を変化させ、磁力を調整し、回転軸の振動
を小さくし、安定した運転を継続させるものである。
あるいは吸引力によって回転軸を所定の位置に保つもの
であるが、回転軸が変位すると振動が生ずるので、位置
センサで変位を検出し、位置センサからの変位信号を制
御装置に入力し、制御装置は電歪素子を変形させて静止
側磁石の位置を変化させ、磁力を調整し、回転軸の振動
を小さくし、安定した運転を継続させるものである。
（実施例） 実施例１ 以下、本発明の第１の実施例について説明する。
第１図は、実施例１の反発形永久磁石式ラジアル磁気軸
受装置の概略構造を示す縦断面図であり、また、第２図
はその上面図である。磁束の方向が半径方向で極性は互
いに反対の２つの円筒永久磁石（２），（３）を用意
し、永久磁石（２）は回転軸（１）に、永久磁石（３）
は円周に等配された電歪素子（４）を介してケーシング
である静止部（７）に装着する。そして、回転軸（１）
の変位を検出する２個の位置センサ（５）を直角方向か
ら回転軸（１）に向けて配置し、図示しない取付装置に
固定する。位置センサ（５）からの変位信号を入力して
電歪素子（４）変形させる電力を供給して静止側永久磁
石（３）の位置を変化させ、回転軸の振動を小さくさせ
る制御装置（６）を設ける。
受装置の概略構造を示す縦断面図であり、また、第２図
はその上面図である。磁束の方向が半径方向で極性は互
いに反対の２つの円筒永久磁石（２），（３）を用意
し、永久磁石（２）は回転軸（１）に、永久磁石（３）
は円周に等配された電歪素子（４）を介してケーシング
である静止部（７）に装着する。そして、回転軸（１）
の変位を検出する２個の位置センサ（５）を直角方向か
ら回転軸（１）に向けて配置し、図示しない取付装置に
固定する。位置センサ（５）からの変位信号を入力して
電歪素子（４）変形させる電力を供給して静止側永久磁
石（３）の位置を変化させ、回転軸の振動を小さくさせ
る制御装置（６）を設ける。
次にこの実施例１の作用を説明する。上記のようにする
と、極性が反対であるために２つの永久磁石（２），
（３）の間には反発磁力が生じて回転軸（１）は空中に
支持されるが、回転軸（１）を支持する磁力Ｆは、回転
側永久磁石（２）および静止側永久磁石（３）の磁荷を
それぞれqR,qS両者の相対位置をｒ、比例定数をＫとす
れば で与えられる。ところで、静止側永久磁石（３）は、位
置決め装置として設けられた電歪素子（４）によりその
位置を移動させることができるので、電歪素子（４）を
制御することによって両永久磁石（２）および（３）の
相対的位置ｒを変更して回転軸（１）の支持力を調節
し、回転軸（１）の振動を制御することが可能である。
すなわち、位置センサ（５）によって測定された回転軸
（１）の変位に対して、回転軸（１）の振動を極小とす
る回転軸の最適な支持力F0が存在するが、制御装置
（６）は式（101）からF0を得るための永久磁石
（２），（３）の相対位置r0を求め、その位置まで電歪
素子（４）を制御して静止側永久磁石（３）を移動させ
る。このように、静止側永久磁石（３）の位置制御を行
うことにより、永久磁石式ながら回転軸（１）の振動を
制御可能な磁気軸受が形成される。
と、極性が反対であるために２つの永久磁石（２），
（３）の間には反発磁力が生じて回転軸（１）は空中に
支持されるが、回転軸（１）を支持する磁力Ｆは、回転
側永久磁石（２）および静止側永久磁石（３）の磁荷を
それぞれqR,qS両者の相対位置をｒ、比例定数をＫとす
れば で与えられる。ところで、静止側永久磁石（３）は、位
置決め装置として設けられた電歪素子（４）によりその
位置を移動させることができるので、電歪素子（４）を
制御することによって両永久磁石（２）および（３）の
相対的位置ｒを変更して回転軸（１）の支持力を調節
し、回転軸（１）の振動を制御することが可能である。
すなわち、位置センサ（５）によって測定された回転軸
（１）の変位に対して、回転軸（１）の振動を極小とす
る回転軸の最適な支持力F0が存在するが、制御装置
（６）は式（101）からF0を得るための永久磁石
（２），（３）の相対位置r0を求め、その位置まで電歪
素子（４）を制御して静止側永久磁石（３）を移動させ
る。このように、静止側永久磁石（３）の位置制御を行
うことにより、永久磁石式ながら回転軸（１）の振動を
制御可能な磁気軸受が形成される。
実施例２ 第３図は同じく反発形永久磁石式ラジアル磁気軸受装置
の横断面図であるが、第２図の実施例１では静止側永久
磁石（３）は一体であるのに対して、この実施例２では
静止側永久磁石（３）は４個に等分割され、それぞれが
電歪素子（４）に装着されている。静止側永久磁石
（３）は個々に位置センサ（５）によって計測された回
転軸（１）の変位をもとに回転軸（１）との相対的位置
を制御する。他は実施例１と同様である。
の横断面図であるが、第２図の実施例１では静止側永久
磁石（３）は一体であるのに対して、この実施例２では
静止側永久磁石（３）は４個に等分割され、それぞれが
電歪素子（４）に装着されている。静止側永久磁石
（３）は個々に位置センサ（５）によって計測された回
転軸（１）の変位をもとに回転軸（１）との相対的位置
を制御する。他は実施例１と同様である。
このようにすると、静止側永久磁石（３）は各分割部ご
とに移動できるので、位置制御が精密にできる。
とに移動できるので、位置制御が精密にできる。
また、第1,第２の実施例の変形例として、上述の２つの
反発形永久磁石式ラジアル磁気軸受と同一の構成で、回
転側永久磁石（２）および静止側永久磁石（３）の極性
を同方向にした場合、回転軸（１）に作用する支持力が
吸引力となることを考慮して、同様の制御を行うことに
より吸引形永久磁石式ラジアル磁気軸受装置が形成され
る。
反発形永久磁石式ラジアル磁気軸受と同一の構成で、回
転側永久磁石（２）および静止側永久磁石（３）の極性
を同方向にした場合、回転軸（１）に作用する支持力が
吸引力となることを考慮して、同様の制御を行うことに
より吸引形永久磁石式ラジアル磁気軸受装置が形成され
る。
実施例３ 第４図は、第３の実施例の吸引形電磁石式ラジアル磁気
軸受装置の構造を説明する縦断面図で、静止側電磁石
（3a）をケーシングである静止部（７）に電歪素子
（４）を介して位置制御が可能に取り付けてある。静止
側電磁石（3a）は、一定電流を供給されて一定磁束を発
生し、渦電流による発熱を避けるため回転軸（１）に装
着された積層珪素鋼板からなる回転側磁石鉄心（2a）に
磁気吸引力を作用させる。
軸受装置の構造を説明する縦断面図で、静止側電磁石
（3a）をケーシングである静止部（７）に電歪素子
（４）を介して位置制御が可能に取り付けてある。静止
側電磁石（3a）は、一定電流を供給されて一定磁束を発
生し、渦電流による発熱を避けるため回転軸（１）に装
着された積層珪素鋼板からなる回転側磁石鉄心（2a）に
磁気吸引力を作用させる。
このようにすると制御装置（６）は、位置センサ（５）
によって測定された回転軸（１）の変位から、静止側電
磁石（3a）の位置決め装置である電歪素子（４）を制御
して、回転軸（１）に作用する電磁吸引力を調整して回
転軸（１）の安定に支持する。そして吸引形であるから
回転側磁石は鉄心（2a）だけで良い。
によって測定された回転軸（１）の変位から、静止側電
磁石（3a）の位置決め装置である電歪素子（４）を制御
して、回転軸（１）に作用する電磁吸引力を調整して回
転軸（１）の安定に支持する。そして吸引形であるから
回転側磁石は鉄心（2a）だけで良い。
実施例４ 第５図は第４の実施例の吸引形電磁石式磁気軸受装置を
示す。これは荷重の大きな回転軸（１）を支持するため
に静止側の磁石を超電導電磁石（3b）にて構成したもの
であって、他は実施例３（第４図参照）を横形にして軸
受台（８）で支えたものと同じである。
示す。これは荷重の大きな回転軸（１）を支持するため
に静止側の磁石を超電導電磁石（3b）にて構成したもの
であって、他は実施例３（第４図参照）を横形にして軸
受台（８）で支えたものと同じである。
このようにすれば超電導電磁石（3b）を使用したことか
ら強力な磁束を得ることができ、しかも電歪素子（４）
で超電導磁石（3b）の位置決めをするから、超電導磁石
（3b）は一定磁束を発生しておれば良く、磁束変化によ
る超電導性喪失の恐れがなく、大形の機械にも適用が可
能である。
ら強力な磁束を得ることができ、しかも電歪素子（４）
で超電導磁石（3b）の位置決めをするから、超電導磁石
（3b）は一定磁束を発生しておれば良く、磁束変化によ
る超電導性喪失の恐れがなく、大形の機械にも適用が可
能である。
実施例５ 第６図は第５の実施例を示し、反発形永久磁石式スラス
ト磁気軸受装置の構造を説明する縦断面図である。軸方
向に磁束を有する円盤状の永久磁石（２）を回転軸
（１）に同心に取り付け、永久磁石（２）に対向してそ
の両側に永久磁石（２）と逆の極性を有する円環状の永
久磁石（３）を位置決め装置である電歪素子（４）を介
して永久磁石（２）と相対的に移動可能にケーシングか
らなる静止部（７）に装着する。回転軸（１）の軸端に
設けた位置センサ（５）は、回転軸（１）の位置を測定
し制御装置（６）へ伝える。制御装置（６）は回転軸
（１）の振動を極小とする磁力が得られる永久磁石
（３）の位置を計算して、電歪素子（４）を制御して永
久磁石（３）をその位置まで移動させ、回転軸（１）を
安定に支持する。
ト磁気軸受装置の構造を説明する縦断面図である。軸方
向に磁束を有する円盤状の永久磁石（２）を回転軸
（１）に同心に取り付け、永久磁石（２）に対向してそ
の両側に永久磁石（２）と逆の極性を有する円環状の永
久磁石（３）を位置決め装置である電歪素子（４）を介
して永久磁石（２）と相対的に移動可能にケーシングか
らなる静止部（７）に装着する。回転軸（１）の軸端に
設けた位置センサ（５）は、回転軸（１）の位置を測定
し制御装置（６）へ伝える。制御装置（６）は回転軸
（１）の振動を極小とする磁力が得られる永久磁石
（３）の位置を計算して、電歪素子（４）を制御して永
久磁石（３）をその位置まで移動させ、回転軸（１）を
安定に支持する。
以上説明したように本発明によれば、静止側磁石の回転
軸との相対位置を電歪素子で決めるので、消費電力が小
さく、したがって大容量の電源および保障装置を不要に
して、簡単でかつ回転軸の振動制御が可能な磁気軸受装
置を提供することができる。
軸との相対位置を電歪素子で決めるので、消費電力が小
さく、したがって大容量の電源および保障装置を不要に
して、簡単でかつ回転軸の振動制御が可能な磁気軸受装
置を提供することができる。
第１図は本発明の磁気軸受装置の第１の実施例を示す縦
断面、第２図は第１図の各部品の配置を示す上面図、第
３図は第２の実施例の各部品の配置を示す上面図、第４
図ないし第６図は第３ないし第５の実施例を示す縦断面
図、第７図および第８図はそれぞれ異なる従来例を示す
縦断面図である。 １……回転軸、２……回転側磁石である永久磁石、 2a……回転側磁石である鉄心、 ３……静止側磁石である永久磁石、 3a……静止側磁石である電磁石、 3b……静止側磁石である超電導電磁石、 ４……電歪素子、５……位置センサ、 ６……制御装置、７……静止部であるケーシング、 ８……軸受台。
断面、第２図は第１図の各部品の配置を示す上面図、第
３図は第２の実施例の各部品の配置を示す上面図、第４
図ないし第６図は第３ないし第５の実施例を示す縦断面
図、第７図および第８図はそれぞれ異なる従来例を示す
縦断面図である。 １……回転軸、２……回転側磁石である永久磁石、 2a……回転側磁石である鉄心、 ３……静止側磁石である永久磁石、 3a……静止側磁石である電磁石、 3b……静止側磁石である超電導電磁石、 ４……電歪素子、５……位置センサ、 ６……制御装置、７……静止部であるケーシング、 ８……軸受台。
Claims (1)
- 【請求項１】回転軸とこれに対向する静止部とにそれぞ
れギャップを介して対向装着した磁石と、静止側磁石と
静止部との間に設けた電歪素子と、回転軸の変位を検出
する位置センサと、位置センサからの変位信号を入力し
て前記電歪素子を変形させる電力を供給して静止側磁石
の位置を変化させ、回転軸の振動を小さくさせる制御装
置とを備えたことを特徴とする磁気軸受装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3904487A JPH076541B2 (ja) | 1987-02-24 | 1987-02-24 | 磁気軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3904487A JPH076541B2 (ja) | 1987-02-24 | 1987-02-24 | 磁気軸受装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63210414A JPS63210414A (ja) | 1988-09-01 |
| JPH076541B2 true JPH076541B2 (ja) | 1995-01-30 |
Family
ID=12542120
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3904487A Expired - Lifetime JPH076541B2 (ja) | 1987-02-24 | 1987-02-24 | 磁気軸受装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH076541B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009156528A (ja) * | 2007-12-27 | 2009-07-16 | Canon Anelva Technix Corp | 冷却装置及び真空冷却装置 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2590568B2 (ja) * | 1989-08-30 | 1997-03-12 | 三菱マテリアル株式会社 | 金属管内外面加工装置 |
| JP4138735B2 (ja) * | 2004-11-29 | 2008-08-27 | 株式会社イワキ | 磁気軸受 |
| JP2012008025A (ja) * | 2010-06-25 | 2012-01-12 | Hara Doki Kk | 巻尺 |
| DE102012216450A1 (de) * | 2012-09-14 | 2014-03-20 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Verfahren zum Zentrieren einer Vakuumpumpe oder einer Rotationseinheit für eine Vakuumpumpe |
-
1987
- 1987-02-24 JP JP3904487A patent/JPH076541B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009156528A (ja) * | 2007-12-27 | 2009-07-16 | Canon Anelva Technix Corp | 冷却装置及び真空冷却装置 |
| JP4525984B2 (ja) * | 2007-12-27 | 2010-08-18 | キヤノンアネルバ株式会社 | 冷却装置及び真空冷却装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63210414A (ja) | 1988-09-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6877963B2 (en) | Vacuum pump | |
| US4090745A (en) | Magnetic suspension with magnetic stiffness augmentation | |
| US20030155829A1 (en) | Method and apparatus for providing three axis magnetic bearing having permanent magnets mounted on radial pole stack | |
| JPS61218355A (ja) | 回転位置決め機能を有する磁気浮上アクチユエ−タ | |
| JP2008537872A (ja) | 磁気的に浮上される物体を安定化させるための方法 | |
| JP2005532516A (ja) | 永久磁石を用いた、回転子軸受システム用のスラスト荷重緩和装置 | |
| JP3057047B2 (ja) | 磁気懸架装置 | |
| US4983869A (en) | Magnetic bearing | |
| US3929390A (en) | Damper system for suspension systems | |
| Asama et al. | Suspension performance of a two-axis actively regulated consequent-pole bearingless motor | |
| JP4200775B2 (ja) | フライホイール電力貯蔵装置 | |
| JPH076541B2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
| JP2002257136A (ja) | 磁気軸受 | |
| JPH08322194A (ja) | アキシャル磁気浮上回転モータ及びこれを用いた回転機器 | |
| US6362549B1 (en) | Magnetic bearing device | |
| JPH0674234A (ja) | 反発磁気浮上型回転装置 | |
| JP3930834B2 (ja) | アキシャル型磁気浮上回転機器及び遠心ポンプ | |
| JP2004286175A (ja) | 磁気軸受装置 | |
| JP4200776B2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
| JP2002021850A (ja) | 磁気軸受 | |
| JP2004293598A (ja) | 磁気軸受装置 | |
| JP3735742B2 (ja) | 超電導軸受部の回転損失測定装置 | |
| JP2546997B2 (ja) | 非接触支持方法 | |
| JPS61210290A (ja) | タ−ボ分子ポンプの磁気軸受装置 | |
| Weise | Present industrial applications of active magnetic bearings |