JPH0762868B2 - プリント基板の配線パターン欠陥検査方法 - Google Patents
プリント基板の配線パターン欠陥検査方法Info
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- JPH0762868B2 JPH0762868B2 JP60218112A JP21811285A JPH0762868B2 JP H0762868 B2 JPH0762868 B2 JP H0762868B2 JP 60218112 A JP60218112 A JP 60218112A JP 21811285 A JP21811285 A JP 21811285A JP H0762868 B2 JPH0762868 B2 JP H0762868B2
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2801—Testing of printed circuits, backplanes, motherboards, hybrid circuits or carriers for multichip packages [MCP]
- G01R31/2806—Apparatus therefor, e.g. test stations, drivers, analysers, conveyors
-
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- G01R31/302—Contactless testing
- G01R31/308—Contactless testing using non-ionising electromagnetic radiation, e.g. optical radiation
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Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、配線パターンを有するプリント基板を連続的
に移動させプリント基板に励起光をストロボ照明してプ
リント基板の基材より発生される極めて微弱な蛍光光像
に基づいて配線パターンに存在する欠陥を検査するよう
にしたプリント基板の配線パター欠陥検査方法に関する
ものである。
に移動させプリント基板に励起光をストロボ照明してプ
リント基板の基材より発生される極めて微弱な蛍光光像
に基づいて配線パターンに存在する欠陥を検査するよう
にしたプリント基板の配線パター欠陥検査方法に関する
ものである。
これまでに、例えばTVカメラをパターン検出器としてプ
リント板パターンを検出し、パターンの欠陥を検査する
装置が開発されている。例えば昭和60年度電子通信学会
総合全周大会におけるNo.1682,1683の論文には、配線パ
ターを有するプリント基板に励起光をストロボ照明して
プリント基板の基材より発生する微弱な蛍光光像に基づ
いて配線パターンに存在する欠陥を検査する装置が示さ
れているが、これによると、プリント基板が保持されて
いるXYステージをステップ・リピートさせつつ配線パタ
ーンの蛍光静止画像が検出されるようになっている。こ
の配線パターン検出においては、ストロボ照明を用いる
場合にはXYステージを停止させる必要はないが、ストロ
ボ照明光の強度が照明光に比し弱いことから、プリント
基板の基材より発生する蛍光が益々微弱となり、励起照
明光としてストロボを使用し得ないものとなっている。
これに対する解決策としては超高感度のTVカメラである
SIT（Silicone Intensified Target）撮像管をパターン
検出器として使用することが考えられる。しかしなが
ら、SIT撮像管は残像が大きい（次回走査で30％の残像
が残る）ためにその使用は困難となっている。
リント板パターンを検出し、パターンの欠陥を検査する
装置が開発されている。例えば昭和60年度電子通信学会
総合全周大会におけるNo.1682,1683の論文には、配線パ
ターを有するプリント基板に励起光をストロボ照明して
プリント基板の基材より発生する微弱な蛍光光像に基づ
いて配線パターンに存在する欠陥を検査する装置が示さ
れているが、これによると、プリント基板が保持されて
いるXYステージをステップ・リピートさせつつ配線パタ
ーンの蛍光静止画像が検出されるようになっている。こ
の配線パターン検出においては、ストロボ照明を用いる
場合にはXYステージを停止させる必要はないが、ストロ
ボ照明光の強度が照明光に比し弱いことから、プリント
基板の基材より発生する蛍光が益々微弱となり、励起照
明光としてストロボを使用し得ないものとなっている。
これに対する解決策としては超高感度のTVカメラである
SIT（Silicone Intensified Target）撮像管をパターン
検出器として使用することが考えられる。しかしなが
ら、SIT撮像管は残像が大きい（次回走査で30％の残像
が残る）ためにその使用は困難となっている。
本発明の目的は、上記従来技術の課題を解決すべく、配
線パターンを有するプリント基板を連続的に移動させて
プリント基板に励起光をストロボ照明してプリント基板
の基材より発生される極めて微弱な蛍光光像に基づいて
超高感度TVカメラにより残像の影響を受けることなく配
線パターンに存在する欠陥を高速に、しかも高信頼性を
以て検査し得るプリント基板の配線パターン欠陥検査方
法を供するにある。
線パターンを有するプリント基板を連続的に移動させて
プリント基板に励起光をストロボ照明してプリント基板
の基材より発生される極めて微弱な蛍光光像に基づいて
超高感度TVカメラにより残像の影響を受けることなく配
線パターンに存在する欠陥を高速に、しかも高信頼性を
以て検査し得るプリント基板の配線パターン欠陥検査方
法を供するにある。
本発明は、上記目的を達成するために、連続的に走行移
動される配線パターンを有するプリント基板に対して励
起光をストロボ照明し、該ストロボ聡明に同期して前記
プリント基板の基材から発生される極めて微弱な蛍光光
像を超高感度TVカメラで順次走査して検出して画像信号
に変換し、該TVカメラから順次走査して変換された画像
信号をA/D変換によりA/D変換して多値ディジタル画像信
号に変換し、該A/D変換手段により変換された多値ディ
ジタル画像信号に対して予め設定された残像減衰率ｋを
乗算して得られる残像多値ディジタル画像信号を順次記
憶手段に記憶させ、前記A/D変換手段により変換された
今回フレーム走査時における多値ディジタル画像信号か
ら、前記記憶手段から順次読出して得られる前回フレー
ム走査時から残像相当分減衰させた残像多値ディジタル
画像信号を減算して前記配線パターンを示す多値ディジ
タル画像信号を算出し、該算出された多値ディジタル画
像信号に基づいて前記配線パターンの欠陥検査を行なう
ことを特徴とするプリント基板の配線パターン欠陥検査
方法である。
動される配線パターンを有するプリント基板に対して励
起光をストロボ照明し、該ストロボ聡明に同期して前記
プリント基板の基材から発生される極めて微弱な蛍光光
像を超高感度TVカメラで順次走査して検出して画像信号
に変換し、該TVカメラから順次走査して変換された画像
信号をA/D変換によりA/D変換して多値ディジタル画像信
号に変換し、該A/D変換手段により変換された多値ディ
ジタル画像信号に対して予め設定された残像減衰率ｋを
乗算して得られる残像多値ディジタル画像信号を順次記
憶手段に記憶させ、前記A/D変換手段により変換された
今回フレーム走査時における多値ディジタル画像信号か
ら、前記記憶手段から順次読出して得られる前回フレー
ム走査時から残像相当分減衰させた残像多値ディジタル
画像信号を減算して前記配線パターンを示す多値ディジ
タル画像信号を算出し、該算出された多値ディジタル画
像信号に基づいて前記配線パターンの欠陥検査を行なう
ことを特徴とするプリント基板の配線パターン欠陥検査
方法である。
以下、本発明を説明するが、その前にその論理的背景に
ついて説明すれば以下のようである。
ついて説明すれば以下のようである。
即ち、第３図（ａ）に示すようにXYステージ２によって
パターンが形成されているプリント板１を走査する一
方、ストロボ光源３からの励起ストロボ光を集光レンズ
６によって平行光束としたうえハーフミラー４を介し配
線パターンを有するプリント板１に照射し、これにより
プリント板１の基材から発生する微弱な蛍光像は結像レ
ンズ５を介しTVカメラ７で検出されるが、あるフレーム
走査時でのパターン検出信号SNは第３図（ｂ）に示す如
くに得られるところとなる。第３図（ｂ）は前フレーム
走査時でのパターン位置状態 が今回フレーム走査時には のパターン位置状態に変化することによって、今回フレ
ーム走査時での主走査線Ｌ上の信号、即ち、パターン検
出信号が如何に得られるかを示したものである。第３図
（ｂ）中VNは今回フレーム走査時に本来的に検出される
べき検出信号部分を、また、VN-1は前フレーム走査時で
のそれであり、今回フレーム走査時でのパターン検出信
号SN中に残像成分として含まれるものとなっている。
パターンが形成されているプリント板１を走査する一
方、ストロボ光源３からの励起ストロボ光を集光レンズ
６によって平行光束としたうえハーフミラー４を介し配
線パターンを有するプリント板１に照射し、これにより
プリント板１の基材から発生する微弱な蛍光像は結像レ
ンズ５を介しTVカメラ７で検出されるが、あるフレーム
走査時でのパターン検出信号SNは第３図（ｂ）に示す如
くに得られるところとなる。第３図（ｂ）は前フレーム
走査時でのパターン位置状態 が今回フレーム走査時には のパターン位置状態に変化することによって、今回フレ
ーム走査時での主走査線Ｌ上の信号、即ち、パターン検
出信号が如何に得られるかを示したものである。第３図
（ｂ）中VNは今回フレーム走査時に本来的に検出される
べき検出信号部分を、また、VN-1は前フレーム走査時で
のそれであり、今回フレーム走査時でのパターン検出信
号SN中に残像成分として含まれるものとなっている。
このようにパターン検出信号には前フレーム走査時での
残像成分が含まれているが、これを一般的に説明すれば
第４図に示すようである。第４図に示すようにあるフレ
ーム走査時に特定走査線上で検出されるパターン検出信
号SNには、前フレーム以前の主走査で検出されたパター
ン検出信号SN-1,SN-2が残像成分として含まれているこ
とが判る。次回フレーム走査時に検出されるパターン検
出信号SN+1にはまた前フレーム走査時に検出されたパタ
ーン検出信号SNが残像成分として含まれるようになるも
のである。
残像成分が含まれているが、これを一般的に説明すれば
第４図に示すようである。第４図に示すようにあるフレ
ーム走査時に特定走査線上で検出されるパターン検出信
号SNには、前フレーム以前の主走査で検出されたパター
ン検出信号SN-1,SN-2が残像成分として含まれているこ
とが判る。次回フレーム走査時に検出されるパターン検
出信号SN+1にはまた前フレーム走査時に検出されたパタ
ーン検出信号SNが残像成分として含まれるようになるも
のである。
したがって、残像の減衰率をｋ（０＜ｋ＜１）としてパ
ターン検出信号SN,SN+1を示せば以下のようになる。
ターン検出信号SN,SN+1を示せば以下のようになる。
SN＝VN＋kVN-1＋k2VN-2＋… （１） SN+1＝VN+1＋kVN＋k2VN-1＋… （２） 式（２）は更に式（３）のように変形され得ることにな
る。
る。
SN+1＝VN+1＋ｋ（VN＋kVN-1＋…） ＝VN+1＋kSN ……（３） よってVN+1は式（４）によって求められることが判る。
VN+1＝SN+1−kSN ……（４） 即ち、あるフレーム走査時での真のパターン検出信号は
そのフレーム走査時に実際に検出されたパターン検出信
号より、前フレーム時でのそれに減衰率ｋを乗じたもの
を差し引くことによって得られるものである。
そのフレーム走査時に実際に検出されたパターン検出信
号より、前フレーム時でのそれに減衰率ｋを乗じたもの
を差し引くことによって得られるものである。
さて、本発明を具体的に説明すれば、第１図は本発明に
係る残像消去パターン検出器の一例での概要構成を示し
たものである。
係る残像消去パターン検出器の一例での概要構成を示し
たものである。
これによるとTVカメラ７よりパターン検出信号が得られ
るまでは第３図（ａ）に示すものに同様となっている
が、パターン検出信号はこの後以下のように処理される
ものとなっている。
るまでは第３図（ａ）に示すものに同様となっている
が、パターン検出信号はこの後以下のように処理される
ものとなっている。
即ち、TVカメラ７によるＮ＋１回目走査によって検出さ
れたパターン検出信号SN+1はA/D変換器８で多値ディジ
タル信号に変換されたうえこれに残像減衰率ｋ（この値
はレジスタ９に予め設定されている）が乗算器10で乗じ
られるようになっている。この後はレジスタ11を介し多
段階の画像バッファメモリ12に順次所定アドレス順に格
納されるようになっている。一方、このバッファメモリ
12には既にTVカメラ７によるＮ回目走査によって得られ
たパターン検出信号SNに減衰率ｋが乗じられたもの（kS
N）が格納されていることから、パターン検出信号SN+1
に同期してバッファメモリ12より対応するkSNをSN+1格
納前に読み出したうえ差分器13で差分を求めるようにす
れば、残像の影響のないＮ＋１回目走査時での真のパタ
ーン検出信号VN+1（＝SN+1−kSN）が得られるものであ
る。
れたパターン検出信号SN+1はA/D変換器８で多値ディジ
タル信号に変換されたうえこれに残像減衰率ｋ（この値
はレジスタ９に予め設定されている）が乗算器10で乗じ
られるようになっている。この後はレジスタ11を介し多
段階の画像バッファメモリ12に順次所定アドレス順に格
納されるようになっている。一方、このバッファメモリ
12には既にTVカメラ７によるＮ回目走査によって得られ
たパターン検出信号SNに減衰率ｋが乗じられたもの（kS
N）が格納されていることから、パターン検出信号SN+1
に同期してバッファメモリ12より対応するkSNをSN+1格
納前に読み出したうえ差分器13で差分を求めるようにす
れば、残像の影響のないＮ＋１回目走査時での真のパタ
ーン検出信号VN+1（＝SN+1−kSN）が得られるものであ
る。
第２図は以上述べた処理過程を説明するためのものであ
るが、これについては特に説明を要しない。
るが、これについては特に説明を要しない。
このように本発明は、一般にTVカメラ等の残像の影響の
あるパターン検出器を用いた場合に、残像の影響をなく
す目的に使用し得る。特に回路パターンを高速に検出す
る目的に対して用い得、ストロボ照明でパターンを映し
止め検出する場合に残像の影響を避け得ることから、毎
回でのTV走査検出信号をパターン検出に利用し得ること
になる。前記の如く、プリント板１に対して励起光をス
トロボ照明してプリント板１の基材から発生される極め
て微弱な蛍光像を検出する場合には超高感度のTVカメラ
を使用せざるを得ないが、超高感度TVカメラは一般に残
像が大きくその使用は困難となっている。しかしなが
ら、本発明によれば、超高感度のTVカメラとストロボと
の組合せで毎回でのTV走査信号を利用し得、プリント板
１を搭載したXYステージ２を連続走行移動を可能にして
高速に蛍光像に基づいて超高感度TVカメラにより残像の
影響を受けることなく配線パターンの多値ディジタル画
像信号を検出可能となり、したがって、配線パターンに
存在する欠陥の検査を高速に、しかも高信頼性を以て検
査し得ることになる。
あるパターン検出器を用いた場合に、残像の影響をなく
す目的に使用し得る。特に回路パターンを高速に検出す
る目的に対して用い得、ストロボ照明でパターンを映し
止め検出する場合に残像の影響を避け得ることから、毎
回でのTV走査検出信号をパターン検出に利用し得ること
になる。前記の如く、プリント板１に対して励起光をス
トロボ照明してプリント板１の基材から発生される極め
て微弱な蛍光像を検出する場合には超高感度のTVカメラ
を使用せざるを得ないが、超高感度TVカメラは一般に残
像が大きくその使用は困難となっている。しかしなが
ら、本発明によれば、超高感度のTVカメラとストロボと
の組合せで毎回でのTV走査信号を利用し得、プリント板
１を搭載したXYステージ２を連続走行移動を可能にして
高速に蛍光像に基づいて超高感度TVカメラにより残像の
影響を受けることなく配線パターンの多値ディジタル画
像信号を検出可能となり、したがって、配線パターンに
存在する欠陥の検査を高速に、しかも高信頼性を以て検
査し得ることになる。
本発明によれば、配線パターンを有するプリント基板を
連続的に移動させてプリント基板に励起光をストロボ照
明してプリント基板の基材より発生される極めて微弱な
蛍光光像に基づいて超高感度TVカメラにより残像の影響
を受けることなく配線パターンに存在する欠陥を高速
に、しかも高信頼性を以て検査し得るという効果があ
る。
連続的に移動させてプリント基板に励起光をストロボ照
明してプリント基板の基材より発生される極めて微弱な
蛍光光像に基づいて超高感度TVカメラにより残像の影響
を受けることなく配線パターンに存在する欠陥を高速
に、しかも高信頼性を以て検査し得るという効果があ
る。
第１図は、本発明に係る残像消去パターン検出器の一例
での概要構成を示す図、第２図は、本発明に係るパター
ン検出信号の処理を説明するための図、第３図（ａ），
（ｂ）および第４図は、本発明の理論的背景を説明する
ための図である。 １……プリント板（検出対象パターン）、２……XYステ
ージ、３……ストロボ光源、７……TVカメラ、８……A/
D変換器、10……乗算器、12……画像バッファメモリ、1
3……差分器。
での概要構成を示す図、第２図は、本発明に係るパター
ン検出信号の処理を説明するための図、第３図（ａ），
（ｂ）および第４図は、本発明の理論的背景を説明する
ための図である。 １……プリント板（検出対象パターン）、２……XYステ
ージ、３……ストロボ光源、７……TVカメラ、８……A/
D変換器、10……乗算器、12……画像バッファメモリ、1
3……差分器。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐瀬 昭 茨城県勝田市市毛882番地 株式会社日立 製作所那珂工場内 (56)参考文献 特開 昭60−152189（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】連続的に走行移動される、配線パターンを
有するプリント基板に対して励起光をストロボ照明し、
該ストロボ照明に同期して前記プリント基板の基材から
発生される極めて微弱な蛍光光像を超高感度TVカメラで
順次走査して検出して画像信号に変換し、該TVカメラか
ら順次走査して変換された画像信号をA/D変換によりA/D
変換して多値ディジタル画像信号に変換し、該A/D変換
手段により変換された多値ディジタル画像信号に対して
予め設定された残像減衰率ｋを乗算して得られる残像多
値ディジタル画像信号を順次記憶手段に記憶させ、前記
A/D変換手段により変換された今回フレーム走査時にお
ける多値ディジタル画像信号から、前記記憶手段から順
次読出して得られる前回フレーム走査時から残像相当分
減衰させた残像多値ディジタル画像信号を減算して前記
配線パターンを示す多値ディジタル画像信号を算出し、
該算出された多値ディジタル画像信号に基づいて前記配
線パターンの欠陥検査を行なうことを特徴とするプリン
ト基板の配線パターン欠陥検査方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60218112A JPH0762868B2 (ja) | 1985-10-02 | 1985-10-02 | プリント基板の配線パターン欠陥検査方法 |
| DE19863626061 DE3626061A1 (de) | 1985-10-02 | 1986-08-01 | Verfahren und vorrichtung zur pruefung eines musters auf einer gedruckten schaltungsplatte |
| KR1019860007707A KR900002578B1 (ko) | 1985-10-02 | 1986-09-13 | 프린트 기판 페턴 검사방법 및 그 장치 |
| US06/913,242 US4700225A (en) | 1985-10-02 | 1986-09-30 | Method and apparatus for testing pattern of a printed circuit board |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60218112A JPH0762868B2 (ja) | 1985-10-02 | 1985-10-02 | プリント基板の配線パターン欠陥検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6278687A JPS6278687A (ja) | 1987-04-10 |
| JPH0762868B2 true JPH0762868B2 (ja) | 1995-07-05 |
Family
ID=16714815
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60218112A Expired - Lifetime JPH0762868B2 (ja) | 1985-10-02 | 1985-10-02 | プリント基板の配線パターン欠陥検査方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4700225A (ja) |
| JP (1) | JPH0762868B2 (ja) |
| KR (1) | KR900002578B1 (ja) |
| DE (1) | DE3626061A1 (ja) |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3422395A1 (de) * | 1983-06-16 | 1985-01-17 | Hitachi, Ltd., Tokio/Tokyo | Verfahren und vorrichtung zum ermitteln von verdrahtungsmustern |
| JPH0623999B2 (ja) * | 1986-07-28 | 1994-03-30 | 株式会社日立製作所 | パタ−ン欠陥検出方法 |
| US4953100A (en) * | 1986-10-03 | 1990-08-28 | Omron Tateisi Electronics Co. | Apparatus for inspecting packaged electronic device |
| US4872052A (en) * | 1986-12-03 | 1989-10-03 | View Engineering, Inc. | Semiconductor device inspection system |
| US4998207A (en) * | 1988-02-01 | 1991-03-05 | Cooper Industries, Inc. | Method of manufacture of circuit boards |
| US4854039A (en) * | 1988-05-04 | 1989-08-08 | The Technology Congress, Ltd. | Prototype circuit board and method of testing |
| US4975972A (en) * | 1988-10-18 | 1990-12-04 | At&T Bell Laboratories | Method and apparatus for surface inspection |
| US5040228A (en) * | 1989-08-28 | 1991-08-13 | At&T Bell Laboratories | Method and apparatus for automatically focusing an image-acquisition device |
| IL99823A0 (en) * | 1990-11-16 | 1992-08-18 | Orbot Instr Ltd | Optical inspection method and apparatus |
| DE4318956A1 (de) * | 1993-06-14 | 1994-12-15 | Grundig Emv | Verfahren und Anordnung zur Überprüfung von Leiterplatten |
| JP3617547B2 (ja) * | 1995-02-14 | 2005-02-09 | 富士通株式会社 | 配線パターンを観察する方法および加工装置 |
| JPH10260190A (ja) * | 1997-03-17 | 1998-09-29 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型蛍光プローブ顕微鏡 |
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