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JPH0755472A - 角速度センサ - Google Patents

角速度センサ

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Publication number
JPH0755472A
JPH0755472A JP3006545A JP654591A JPH0755472A JP H0755472 A JPH0755472 A JP H0755472A JP 3006545 A JP3006545 A JP 3006545A JP 654591 A JP654591 A JP 654591A JP H0755472 A JPH0755472 A JP H0755472A
Authority
JP
Japan
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angular velocity
magnetic field
velocity sensor
electrode
sensor according
Prior art date
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Pending
Application number
JP3006545A
Other languages
English (en)
Inventor
Petrus J Rademakers
ペトラス ヨハネス ラデマーカース イル
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Datawell BV
Original Assignee
Datawell BV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Datawell BV filed Critical Datawell BV
Publication of JPH0755472A publication Critical patent/JPH0755472A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
    • G01R33/025—Compensating stray fields
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/02—Rotary gyroscopes
    • G01C19/04—Details
    • G01C19/06—Rotors
    • G01C19/14—Fluid rotors
    • G—PHYSICS
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    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/006—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of fluid seismic masses
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    • G01P5/08—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft by measuring variation of an electric variable directly affected by the flow, e.g. by using dynamo-electric effect
    • G01P5/086—Measuring speed of fluids, e.g. of air stream; Measuring speed of bodies relative to fluids, e.g. of ship, of aircraft by measuring variation of an electric variable directly affected by the flow, e.g. by using dynamo-electric effect by using special arrangements and constructions for measuring the dynamo-electric effect
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  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 角速度センサの使用を簡単にしかつ正確な角
度位置の決定の結果を得ることにある。 【構成】 角速度センサにはそれが収容される容器に対
して回転することができる好ましくは水銀からなる液体
不活性質量（１）と、前記不活性質量を通過する磁界
と、電極対（４，２；３７，３８，３９）とを備え、不
活性質量を球状にし、電圧がそれらの間で測定される各
対の電極の一方の電極（４）を球の中心に配置させ、磁
界の方向を空間において不変にしたものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ほぼ均一な磁界がそれ
を貫通する導電性慣性質量を備え、その質量が可動装置
に対して回転可能であるがそれにたいして並進して固定
して接続され、それとともに少なくとも１対の電極が前
記質量に接触し、それらの電極が前記可動装置に固定し
て接続されかつ距離、電極ベクトルによって離して置か
れそして導体によって受信装置に接続される可動装置用
の角速度センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】かかる角速度センサは、アメリカ合衆
国、ニュージャージー州 ０７００６、フェアフィール
ドに所在のザ・シンガー・カンパニー、キアフォット・
デイビジョンのアール・イー・ウエーバー氏の「契約番
号ＤＮＡ００２−７８−Ｃ−０１２６，１９７８年２月
２０日から１９７８年１２月３０日までの期間の最終報
告書」から知られている。
【０００３】この公知の角速度センサにおいて磁界は装
置に固定して接続される磁石によって発生される。その
うえ、この角速度センサにより装置が固定して接続され
る１つの軸のまわりの角速度のみが決定できる。これは
多数の欠点を導く。
【０００４】
【発明が解決すべき課題】上記従来技術の欠点は、かか
る角速度センサの使用が例えば３つの垂直な軸のまわり
の空間の角速度を決定することにより非常に複雑になる
ということであり、そのうえこの明細書においてさらに
説明されるように、装置に沿って動く軸のまわりの角速
度から角度位置を決定することにより異なる結果が異な
る角速度のシーケンスに依存して得られることができる
という欠点があった。
【０００５】本発明の目的は、種々の実施例において上
述した２つの欠点の両方でないならば少なくとも一方を
除去し、それらを少なくともかなり減少することにあ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の１つの態様によ
れば、したがって磁界が空間における装置の角度位置に
関係なしに空間内の方向を有することが提供される。こ
の特徴を適用することによりこの明細書においてさらに
示されるように、装置の方向付けから独立して、この独
立方向のまわりの装置の角速度が決定され、それはより
低いサンプリング速度で十分であるという利点を有す
る。
【０００７】ジャイロスコープを備えた永久磁石のごと
き磁界を発生するための手段を結合することにより空間
内に一定方向を有する磁界を得ることができる。
【０００８】しかしながら、本発明のこの実施例は比較
的複雑でありかつ海洋学研究用ブイを測定することにお
いて決定する位置および方向のごとき幾つかの用途によ
り、多年の間調整またはサービスなしに運転するジャイ
ロスコープを維持することが困難であり、それによりと
くにかかる長時間経過においてドリフトの発生は、例え
ば米国特許第４，２７０，３８７号明細書から知られる
ようなドリフト補正ジャイロスコープによっても回避さ
れることができない。
【０００９】本発明のさらに他の詳細によれば、ともに
３次元空間の基部を形成する３つまたはそれ以上の電極
対を含むことが提案されている。さらに示されるように
３つの電極対により空間内の磁界の方向のまわりの角速
度に存する結果がえらえることができる。
【００１０】３つの電極対は明白な角速度決定が十分で
あるけれども３つの電極対以上を使用する利点を有する
ことができ、それにより冗長の発生が利点を有する。
【００１１】比較的簡単である本発明の好適な実施例は
互いに垂直である３つの電極ベクトルが存在し、それに
より慣性質量が球状容器内の液体に存することができ、
それにより上記報告と一致して液体として水銀が使用さ
れることができる。水銀はその大きな導電度およびその
非常に小さい運動速度により本発明の型の角速度センサ
に適用されるとき重要な利点を有する。
【００１２】すでに説明した米国特許第４，２７０，３
８７号明細書においては液体慣性質量が使用される。し
かしながら、これは管状空間内に含まれそしてジャイロ
質量として役立つことができるために電磁手段により迅
速に回転されるようにしてある。
【００１３】英国特許第１，２１９，８９０号明細書は
ジャイロスコープ慣性体として役立つことができるため
に球状容器内で回転する液体、とくに水銀を含んでいる
本体を備えたジャイロスコープを説明している。
【００１４】本発明のさらに他の詳細によれば、各対の
電極の一方が球の中心の近くにありかつ他方が球の壁の
近くにあることが提案されている。
【００１５】この方法において、簡単な検査可能な構造
を有する角速度センサが得られる。
【００１６】その方向が既知である磁界の方向のまわり
の回転により、この方向のまわりの装置の回転は３つの
対の電極間に発生する電圧のスカラ合計によって付与さ
れる。
【００１７】空間内の装置の角度位置に依存しない磁
界、アース磁界の方向に使用するように本発明を適用す
るとき欲するならば、可動装置がアース磁界の３つの互
いに垂直な成分を測定するための磁気ピックアップに固
定して接続されそして角速度センサがアース磁界と同一
の方向を有する慣性質量に磁界を発生する磁気付勢手段
を備えている。このこととは、アース磁界が増幅される
かまたは交番磁界に変化されることができるという利点
だけでなく、さらに磁界の考え得る妨害が制限される、
例えば船のマストの頂部のごとき位置においてアース磁
界を測定することができる。
【００１８】米国特許第３，６１４，８１６号明細書か
ら電磁液体速度測定によって得られる速度成分の正確な
方向を決定するために２つの互いに垂直な方向において
磁界を測定すること自体は知られている。
【００１９】しかしながら、装置に関係なく軸のまわり
の測定角速度が重要でない場合が発生する。その場合に
導電性液体質量を備え、その質量が可動装置に対して回
転可能であるがそれにたいして並進して固定して接続さ
れ、そして前記可動装置におよび少なくとも１つの電極
対に固定して接続される磁界を発生するための部材を備
え、前記電極対の電極が距離、電極ベクトルによって空
間において離して置かれる角速度センサにおいて、前記
液体質量が球の形状であり、少なくとも３つの電極対が
存在しそして各対について一方の電極が球の中心近くに
かつ他方が球の壁の近くにあることを提供することによ
りアール・イー・ウエーバーの前記論文から知られる技
術に対してかなりの改良を提供する。
【００２０】さらに、本発明の両実施例によれば、発生
された磁界が交番磁界であるならば好都合であることが
明らかになった。
【００２１】その場合に比較的簡単な方法において電極
インピーダンスは、変圧器によって測定装置に、該測定
装置についての雑音の最小の影響が得られるような方法
において適合させられる。その場合に装置により移動す
る種々の軸のまわりの回転を別個に測定することが望ま
れるならば、異なる付勢器に交番磁界の種々の周波数を
使用することができる。
【００２２】磁界およびとくに交番磁界が発生される場
合には、電極から受信装置および／または測定装置に延
在する導体によって形成されるループが測定信号として
得られるほとんど比較的弱い信号に対して無視されるこ
とができない信号をピックアップすることができる可能
性が存在する。
【００２３】したがって、本発明のさらに他の詳細によ
れば、測定装置の補助変圧器と電極対を接続する導体か
つまたこの変圧器の１次巻線自体は同軸に実施されるこ
とができ、それにより最小の磁気的に誘起された妨害電
圧が得られる。
【００２４】以下に本発明を添付図面に基づいてさらに
説明する。
【００２５】
【実施例】図１には軸装置の回転、即ちまずｚ軸を中心
に９０°の回転とその後のｘ軸を中心に９０°の回転と
示されている。
【００２６】図２には同一の回転が逆の連続において適
用される。最終の結果は図１の結果とは完全に異なって
いる。
【００２７】△ｔ中にｚ，ｘおよびｙを中心に行なわれ
る完全な回転のみが知られている場合に、最終の結果は
未知である。そのため時間の関数として軸を中心に行な
われる角度的回転を知る必要がある。
【００２８】△ｔ中に一定の角速度により角度的回転が
発生したという仮定は△ｔが最高の角度的回転周波数の
期間に対して小さい場合にのみ正当化される。したがっ
て信頼し得る結果のためには△ｔの非常に小さい値が必
要であり、それは非常に高いサンプル速度周波数を意味
する。
【００２９】以下に図３により説明すると、角速度に依
存して予め定めた磁界により電圧信号が得られる。
【００３０】負荷Ｑが該負荷の支持体上の磁界Ｂを通っ
てかなりの速度Ｖにより移動する場合に、積ＱＢｓｉｎ
φに比例する力Ｋが働かされ、そこでφは負荷速度とＢ
との間の角度であり、そしてこの力はベクトル表記にお
いてＢおよびＶに垂直である。
【００３１】Ｋ＝ＱＢ×Ｖ 電界強度Ｆ、クーロンによる力はＦ＝Ｂ×Ｖである。
【００３２】図３に示した軸装置ｘ，ｙ，ｚを検討す
る。この装置の角速度がベクトルｗによって示されると
仮定する。磁界はベクトルＢで示される。
【００３３】ｘ，ｙ，ｚとともに回転する位置ベクトル
１に配置される負荷支持体上に働かされるクーロンあた
りの力はその場合に Ｆ＝Ｂ×（ｗ×１） である。
【００３４】位置ベクトルの始めと終わりとの間の電圧
差は等しい。
【００３５】Ｖ＝∫0 1［Ｂ×（ｗ×１）］．ｄｉ ＝∫0 1［（ｗ×１）×ｄｉ］．Ｂ ＝∫0 1Ｂ．ｌ ｗ．ｄｉ−Ｂ．ｗ ｄｉ．ｌ いまそれぞれｘ，ｙおよびｚと一致する３つの位置ベク
トルｌｘｍ，ｌｙｍ及びｌｚｍにわたって電圧差の合計
を検討する。
【００３６】それぞれがｘ，ｙおよびｚの添え字を有す
るｘ，ｙ及びｚ軸の方向においてＢおよびｗの成分を示
す場合に、そこで合計電圧Ｖｓを得る。
【００３７】Ｖｓ＝Ｖｌｘｍ＋Ｖｌｙｍ＋Ｖｌｚｍ ＝∫0 1ｘｍ Ｂｘｌｘωｄｉｘ ＋∫0 1ｙｍ Ｂｙｌｙωｙｄｉｙ ＋∫0 1ｚｍ Ｂｚｌｚωｚｄｉｚ ＝∫0 1ｘｍ Ｂ．ｗ ｌｘｄｉｘ −∫0 1ｙｍ Ｂ．ｗ ｌｙｄｉｙ −∫0 1ｚｍ ｌｚｄｉｚ 磁界Ｂが均一ならば、Ｂｘ，ＢｙおよびＢｚがｘ，ｙ，
ｚおよびｌｘｍ＝ｌｙｍ＝ｌｚｍ＝１から独立する。
【００３８】Ｖｓ＝（Ｂｘωｘ＋Ｂｙωｙ＋Ｂｚωｚ）
０．５１2−Ｂ・ｗ３１2／２＝−Ｂ・ｗ１2 したがってＶｓは磁界ベクトルＢのまわりの角速度−Ｂ
１2倍に等しい。
【００３９】要約すると、垂直座標装置系ｘ，ｙおよび
ｚにおいて原点に対して点１，０，０，１，０および
０，０，１の電圧が付加される（スカラー的に）場合
に、これは（均一な）磁界Ｂ、長さ１2および磁界ベク
トルＢの角速度ωの値に比例する合計値を付与する。
【００４０】信号を付与するために導電性質量が装置に
沿って移動しないことを調べねばならない。そのためそ
れは図４に関連する。そこに示した容器１が液体、好ま
しくは水銀で完全に充満されている場合に、その液体は
装置に対して並進運動を行なうことができない。
【００４１】しかしながら、容器が中心線のまわりに振
動する場合に、壁のすぐ近くの液体は完全に追随する
が、質量の慣性により液体の振動は内側限界方向におけ
る壁に対する距離の関数として迅速に減少する。
【００４２】球の壁が角周波数δにより振動する場合
に、減少の関数は に等しい。
【００４３】ここでＲ＝球壁の半径 ｒ＝球の中心から考慮された点の距離 δ＝貫通深さ δ＝＋γ（２ν／σ） ここでγは液体の運動速度である。エッチ・ランブ著
「ハイドロダイナミクス」、第６改訂版、第３５４章、
（ニューヨーク州、１９４５年）参照。
【００４４】液体が水銀を選定した場合に、貫通深さは （νｋｗｉｋは０．１１４‐１０‐6ｍ2／ｓｅｃ） δ＝γ（０．２２８／σ）ｍｍ となる。
【００４５】０．１Ｈｚの周波数についての表現を得る
ためにはδは０．６ｍｍである。所望の周波数領域およ
び所望の精度に依存して壁に対する距離△は、Ｒ−△４
内で液体が止まっているとみなすことができるように決
定することができる。
【００４６】図５には水銀で満たされている球状容器１
内に電極対の好適な取り付けが略図的に示めされてい
る。ｘ軸に沿って導電性外側被覆体２と、絶縁被覆体３
と、導電性ワイヤ４のコアとから成る同軸ケーブルが走
行している。外側被覆体２は外部から小さな距離△を介
して球内に突出している。中心ワイヤ４は球の中心近く
にまで進み、そこでその側部において、少量の絶縁体が
除去され、その結果その位置において内側ワイヤ４が水
銀に接触する。外側被覆体２はまた小さな距離△にわた
って水銀に接触し、その結果回路（４−水銀−２）が非
移動水銀を経て閉止される。本装置、即ち球１が回転す
ると、導体４は球を貫通する磁界内で移動し、したがっ
て起電力を発生する。これは磁界がｚ軸の方向に走行し
かつ装置が角速度ωによりこのまわりを回転する場合に
０．５Ｂωｌ2に等しい。
【００４７】完全な装置においてユニット２，３，４と
同様なユニットがｙ軸およびｚ軸に取り付けられてい
る。信号の合計はその場合に、ｘ−ｙ−ｚ系におけるＢ
ベクトルの方向付けに関係なく、Ｂωｌ2に等しい。
【００４８】図６は磁界を同一方向を有する交番磁界に
変換することができる略図を示す。互いに垂直な軸ｘ，
ｙおよびｚにより示したピックアップ要素は変調器５，
６および７を介して増幅器８，９，１０を制御し、そし
て水銀質量を通過する磁界を発生させるためのｘ′，
ｙ′およびｚ′で示されるコイルを付勢する。
【００４９】最後に図７には本発明による完全な装置が
略示されている。符号１６は磁気ピックアップを示し、
該ピックアップ１６は可動系に固定して結合され、好ま
しくは指向性磁界、通常アース磁界が装置それ自体の部
品によって妨害されない位置に配置されている。さら
に、交流電流発生器１７が存在し、３つの異なる座標方
向にピックアップ１６によって確かめられる磁界強度に
依存して交流電流を変調する複数の変調器５，６および
７が存在する。
【００５０】変調器５，６および７の励磁電流は、増幅
後に、３つの互いに垂直な励磁巻線１８，１９および２
０に供給され、そしてそれらに比例する電流が補正巻線
２１，２２および２３に供給される。
【００５１】水銀１内に突出するセンサ３７，３８およ
び３９は補正巻線２１，２２および２３の球の外部まで
の領域にまっすぐな同軸ケーブルを介して接続される。
これからそれらは上方に変圧する補助変圧器２７，２８
および２９の１次コイル２４，２５および２６に接続さ
れ、その２次巻線はその巻線がほとんど１巻きのみを含
んでいる環状変圧器として好ましくは実施される付加変
圧器３３の１次巻線３０，３１および３２と接続されて
いる。
【００５２】帯域フィルタ３４を介して付加変圧器の２
次巻線は位相敏感復調器３５に接続され、該復調器３５
はその位相指示を励磁電流から引き出された電圧がそれ
に供給される部材３６から受信する。
【００５３】回転によって発生される測定電圧が磁界の
強さに比例しかつ導体の考え得るピックアップ電圧が磁
界の第１導関数に比例するため、位相敏感復調器３５は
発生された交番磁界からピックアップされた妨害信号を
除去するために非常に有効な手段である。
【００５４】異なる周波数を有する付勢磁界の使用は、
磁界が明細書の前文に記載されたアール・イー・ウエー
バーの報告により公知の技術による場合であるような装
置に固定して接続される本発明の用途が使用される場合
に重要である。その場合に３つの別個の互いに垂直な信
号間で識別することができそして前記報告に記載された
ような３つの別個の互いに垂直に取り付けられた装置よ
り全体においてかなり簡単である装置により移動する３
つの軸のまわりの角速度を測定する装置が得られる。
【００５５】励磁コイル１８，１９，２０および補正コ
イル２１，２２，２３の組み合わせは励磁巻線の内部に
かつ補正巻線の外部に均一磁界、磁界ゼロの獲得を可能
にする。これは励磁巻線によって発生される磁界から導
き、補正巻線が存在しないならば、とくに測定されるべ
き角速度の低い周波数において、重大な妨害を形成する
かも知れない電圧のピックアップを阻止する。
【００５６】
【発明の効果】以上のごとく、本発明は、ほぼ均一な磁
界がそれを貫通する導電性慣性質量を備え、その質量が
可動装置に対して回転可能であるがそれにたいして並進
して固定して接続され、それとともに少なくとも１対の
電極が前記質量に接触し、それらの電極が前記可動装置
に固定して接続されかつ距離、電極ベクトルによって離
して置かれそして導体によって受信装置に接続される可
動装置用の角速度センサにおいて、前記磁界が前記可動
装置の空間における角度位置に関係なしに空間において
方向を有するようにしたので、装置の方向付けから独立
して、この独立方向のまわりの装置のつの角度が決定さ
れ、それはより低いサンプリング速度で十分でるという
利点を有する角速度センサを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】回転を説明する略図。
【図２】回転を説明する略図。
【図３】ベクトル図。
【図４】振動球内の液体の速度分布を示す略図。
【図５】単一電極対の位置を示す略図。
【図６】外部磁界の方向による磁界の発生を説明する略
図。
【図７】本発明による完全な装置を示す略図。
【符号の説明】
１ 液体慣性質量 ２ 電極 ４ 電極 ３４ 帯域フィルタ ３５ 位相感知復調器 ３６ 要素 ３７ センサ（電極） ３８ センサ（電極） ３９ センサ（電極） ｘ，ｙ，ｚ 磁気プローブ ｘ，′ｙ′，ｚ′ 磁気付勢手段

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 可動装置にはほぼ均一な磁界が貫通する
    導電性慣性質量（１）を備え、その質量を可動装置に対
    して回転可能としてあるが、それにたいして並進的に接
    続させ、少なくとも１対の電極（４，２）を質量に接触
    し、それらの電極を可動装置に固定して接続し且つ一定
    の距離だけ電極ベクトルから離して配置し、そして導体
    によって受信装置に接続させ、磁界には可動装置の空間
    における角度位置に関係なしに空間において方向を備え
    たことを特徴とする角速度センサ。
  2. 【請求項２】 ともに３次元空間の基部を形成する３つ
    またはそれ以上の電極対（３７，３８，３９）を含むこ
    とを特徴とする請求項１に記載の角速度センサ。
  3. 【請求項３】 ３つの電極対があり、それらのベクトル
    が互いに垂直であることを特徴とする請求項２に記載の
    角速度センサ。
  4. 【請求項４】 慣性質量が球状容器内の液体からなるこ
    とを特徴とする請求項１，２または３のいずれか１項に
    記載の角速度センサ。
  5. 【請求項５】 液体を水銀としたことを特徴とする請求
    項４に記載の角速度センサ。
  6. 【請求項６】 各対の電極の一方（４）を球の中心の近
    くに位置させ、他方を球の壁の近くに位置させたことを
    特徴とする請求項３，４または５のいずれか１項に記載
    の角速度センサ。
  7. 【請求項７】 導電性液体質量を備え、その質量を可動
    装置に対して回転可能にしてあるがそれにたいして並進
    的に接続し、磁界を発生するための部材（ｘ′，ｙ′，
    ｚ′）を可動装置と少なくとも１つの電極対に固定し、
    電極対の電極を一定の距離だけ電極ベクトルから空間に
    おいて離して配置し、液体質量を球の形状にし、少なく
    とも３つの電極対（３７，３８，３９）を存在させ、各
    対について一方の電極を球の中心近くに且つ他方を球の
    壁の近くに配置したことを特徴とする角速度センサ。
  8. 【請求項８】 電極が同一形状を有しそして手段（３
    ３，３４，３５，３６）が各電極対の電極間の電位差を
    スカラー的に付加するように設けられることを特徴とす
    る請求項３乃至請求項７のいずれか１項に記載の角速度
    センサ。
  9. 【請求項９】 磁界がアース磁界の方向を有することを
    特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載
    の角速度センサ。
  10. 【請求項１０】 可動装置がアース磁界の３つの互いに
    垂直な成分を測定するための磁気プローブ（ｘ，ｙ，
    ｚ）に固定して接続されそして角速度センサがアース磁
    界と同一の方向を有する慣性質量に磁界を発生するため
    の磁気付勢手段（ｘ′，ｙ′，ｚ′）を備えることを特
    徴とする請求項９に記載の角速度センサ。
  11. 【請求項１１】 発生された磁界が交番磁界であること
    を特徴とする請求項７または請求項１０に記載の角速度
    センサ。
  12. 【請求項１２】 変圧器の１次巻線に電極を接続する導
    体は測定装置ならびにこの１次巻線において同軸に実現
    されることを特徴とする請求項１乃至請求項１１のいず
    れか１項に記載の角速度センサ。
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