JPH07265771A

JPH07265771A - 流体供給装置及びそれを使用した粘性流体塗布方法、並びにそれらを使用した部品装着装置

Info

Publication number: JPH07265771A
Application number: JP6057146A
Authority: JP
Inventors: Takahiro Goto; 隆弘後藤; Hiroaki Mizutani; 浩章水谷
Original assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Current assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Priority date: 1994-03-28
Filing date: 1994-03-28
Publication date: 1995-10-17

Abstract

(57)【要約】【目的】部品装着装置で、フラックス等も塗布できる
ようにする。【構成】一方の端面にスクリーンマスク４５を固着す
るとともに、他方の端面からピストンロッド４３を突出
させ、側面に流体注入口４７を有したシリンジ４２と、
そのロッドを自身の先端に固着し、装着ヘッドの吸着ノ
ズル着脱部に着脱可能なダミーノズル４１を設け、装着
ヘッドの移動範囲内に、各ノズルを一時保持するノズル
保管台５１と、シリンジ内に粘性流体を供給する流体供
給装置６を配置する。粘性流体の液面を被うようにフロ
ート４６を浮かべ、基板上の所定の個所に粘性流体を塗
布する際には、スクリーンマスクを基板上の所定個所に
接触させ、フロートを介して粘性流体を加圧し、所定量
にじみ出させる。また、フロートの位置検出手段６１の
検出結果に基づいて、流体注入口に流体吐出ノズル６２
を押し付け、粘性流体を補充させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は容器内に流体を供給する
装置と、その装置を使用して基板上にフラックス等の粘
性流体を塗布する方法、並びに基板上に電子部品を表面
実装する装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】基板上のランド部に半田メッキなどの半
田プリコートが施されている場合、その上に部品を表面
実装する前に、フラックスを塗布する必要がある。この
フラックスの塗布を部品装着装置内で実施する例とし
て、特開平２−８４０００号公報を掲げることができ
る。すなわち、フラットＩＣを基板上へ移動させる途
中、仮置センタリング部に仮置きしてセンタリングを行
う際、フラックスを浸したフラックス塗布部によりＩＣ
リードにフラックスを塗布し、それから基板上の所定位
置にフラットＩＣを搭載するといった、部品側にフラッ
クスを塗布する方式の自動フラットＩＣ搭載機が開示さ
れている。一方、基板側にフラックスを塗布する方法と
しては、ディスペンサ（粘性流体吐出装置）によるもの
が一般的であり、部品装着装置にディスペンスノズルを
備えさせたものとして、特開平１−２４９１６３号公報
に記載されたダイボンダーを掲げることができる。その
ダイボンダーに備えられたディスペンスノズルは、吐出
面を平面にして、多数の穴をあけた構造としており、ス
クリーン印刷と同等の細密な吐出状態を実現させてい
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】前者のような自動フラ
ットＩＣ搭載機では、ＩＣリードにフラックスを塗布す
る際にリードの変形を生じさせることがある。また、フ
ラックスの塗布量によっては、基板上に移動する間に、
余剰フラックスが飛散することも考えられる。後者のダ
イボンダーでは、ボンディングヘッドとは別にディスペ
ンスノズル用のヘッドを装備しなければならず、装置が
大型化する。本発明は、このような問題を考慮して、部
品装着装置の装着ヘッドに部品装着機能とフラックス塗
布機能を兼ね備えさせて小型化し、基板にフラックスを
スクリーン印刷状に、かつ塗布量を調整可能に塗布で
き、しかも、フラックスを自動供給する部品装着装置を
提供しようとするものである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明では、容器の側面
に設けた流体注入口に押し付けられる流体吐出ノズル
と、流体吐出ノズルに対向して配置され、流体吐出ノズ
ルとともに容器を挟み付ける挟持板と、流体吐出ノズル
と挟持板とを連動させて容器へ押し付け、またはそこか
ら引き離す駆動手段と、流体吐出ノズルに接続され、流
体吐出ノズルから所望量の粘性流体を吐出させる粘性流
体供給手段とを備える流体供給装置を用意する。そし
て、３次元移動する塗布ヘッドの先端に、下端にスクリ
−ンマスクを固着して側面に流体注入口を備えたシリン
ジの、流体押し出しピストンのロッドを連結し、この塗
布ヘッドの移動範囲内に前記流体供給装置を配置する。
基板表面に粘性流体を塗布する際には、基板表面の所定
位置にスクリーンマスクを接触させ、その位置で、塗布
ヘッドを所定の速度で基板方向へ所定量移動させてロッ
ドをシリンジに対して相対移動させることにより、粘性
流体を加圧し、スクリーンマスクから粘性流体を所定量
にじみ出させる。粘性流体の基板への塗布動作が所定の
回数に達したときには、シリンジの流体注入口に流体吐
出ノズルを押し付けさせ、流体供給装置に粘性流体を補
充させる。また、シリンジ内の粘性流体量を検出する液
量検出手段、あるいは前記ピストンがシリンジ内の下降
端に達したかどうかを検出する下限位置検出手段を設
け、各検出手段の検出結果に基づいて、シリンジの流体
注入口に流体吐出ノズルを押し付けさせ、流体供給装置
に粘性流体を補充させる。

【０００５】次に本発明では、先端に吸着ノズル着脱部
を有した装着ヘッドで吸着ノズルを保持し、部品をピッ
クアップして基板に表面実装する部品装着装置に、一方
の端面にスクリーンマスクを固着するとともに、他方の
端面からピストンのロッドを突出させ、側面に流体注入
口を有したシリンジと、そのロッドを自身の先端に固着
し、装着ヘッドの吸着ノズル着脱部に着脱可能なダミー
ノズルを設け、装着ヘッドの移動範囲内に、ダミーノズ
ルと吸着ノズルを一時保持するノズル保管台と、シリン
ジ内に粘性流体を供給する流体供給装置を配置する。シ
リンジ内の粘性流体液面とピストン間には、粘性流体の
液面を被うようにフロートを浮かべる。そして、あらか
じめ入力された装着プログラムにより、基板上の所定の
個所に粘性流体を塗布する際、装着ヘッドに装着された
吸着ノズルをダミーノズルに交換させ、それからスクリ
ーンマスクを基板上の所定個所に接触させ、さらに装着
ヘッドを所定の速度で基板方向へ一定量移動させてロッ
ドをシリンジに対して相対移動させることにより、フロ
ートを介して粘性流体を加圧させ、スクリーンマスクか
ら粘性流体を所定量にじみ出させ、かつダミーノズルに
よる塗布動作が所定の回数に達したとき、シリンジの流
体注入口に前記流体吐出ノズルを押し付けさせ、流体供
給装置に粘性流体を補充させる。また、フロートの位置
検出手段を設け、位置検出手段の検出結果に基づいて、
シリンジの流体注入口に流体吐出ノズルを押し付けさ
せ、流体供給装置に粘性流体を補充させる。

【０００６】さらに本発明では、流体供給装置をノズル
保管台のダミーノズル保管場所に対応して配置し、その
ダミーノズルが保管場所に保持されている状態下で、流
体供給装置に粘性流体を補充させる。

【０００７】

【作用】シリンジを基板上の所定個所に接触した状態で
保持し、ロッドをシリンジのスクリーンマスク側へ所定
の速度で一定量相対移動させると、粘性流体は基板方向
へ加圧され、スクリーンマスクから粘性流体が所定量に
じみ出て、基板上に付着する。シリンジ内の粘性流体が
残り少なくなれば、シリンジの流体注入口に流体吐出ノ
ズルが押し付けられ、流体供給装置が粘性流体を補充す
る。

【０００８】

【実施例】図に基づき一実施例を説明する。図１に示す
部品装着装置１０は、電子回路基板に電子部品を装着す
る作業を行うものであって、ベ−ス１１を有し、その上
面のテ−ブル部１２に様々な構成要素を配置している。
１３はテ−ブル部１２の中央を通るコンベアで、基板１
の送り込み及び送り出しと、作業位置における基板１の
位置決めの役割を担う。１４は、コンベア１３の基板送
り方向の下流側に向かって、左側に配置された第１部品
配置ステ−ジ、１５は同じく右側に配置された第２部品
配置ステ−ジで、それぞれコンベア１３の両側に所定の
位置を占めている。

【０００９】第１部品配置ステ−ジ１４には、各々部品
供給装置２０が複数個づつ、コンベア１３の送り方向に
横１列に並んだ状態で配置されている。部品供給装置２
０は傾斜したスティック状マガジンから部品を送り出す
ものであるが、この種供給装置は文献例も多く（例：米
国特許第４，７３１，９２３号）、周知のものであるか
ら詳細な説明は省略する。第２部品配置ステ−ジ１５
も、各々複数個づつの部品供給装置２１を、コンベア１
３の送り方向に横１列に並べて配置している。部品供給
装置２１は、部品を一定ピッチで収納した部品テ−プを
もって部品供給を行うタイプのものであり、これまた文
献例も多く（例：米国特許第４，７３５，３４１号）、
周知であるから詳細な説明を省略する。

【００１０】テ−ブル部１２の両端には、水平、かつコ
ンベア１３と直角に延びる支持梁２２、２３を、テ−ブ
ル面から所定高さ持ち上げて設置する。支持梁２２、２
３は互いに平行であり、図示しないレールとスライダの
組み合わせによって、ビーム２４を自身の長さ方向と直
角の方向に移動可能に支持している。また、ビ−ム２４
は、互いに平行な１対のボールねじに嵌合された、図示
しない各ボールナットに両端部を連結し、パルスモ−タ
２５、２６の回転により移動する。その移動方向は自身
の長さ方向あるいはコンベア１３の基板送り方向と直角
であり、この場合これをＹ方向とする。ビ−ム２４の下
面にはスライダ２７を取り付ける。スライダ２７を移動
させるのも図示しないボ−ルねじで、ビ−ム２４下面に
取り付けられたパルスモ−タ２８によって回転を与えら
れる。ボールねじが回転するとスライダ２７はビ−ム２
４の長さ方向に移動し、これがＸ方向となる。

【００１１】スライダ２７は装着ヘッド３を昇降可能に
支持し、装着ヘッド３は交換可能な吸着ノズル４を保持
する。図２は、装着ヘッド部分を示す一部破断側面図で
あり、詳細な構造については本出願人が出願した特開平
５−２１８６８９号公報に開示されているが、ここで
は、本実施例に係わる部分についてのみ説明する。３０
は、アーム３１を介して装着ヘッド３を垂直下向きに支
持し、これに高さ変位（Ｚ方向変位）を与える昇降装置
で、スライダ２７の側面に固定される。３２はアーム３
１に支持されるスピンドルハウジングで、スピンドル３
３を回転自在に垂直支持する。スピンドル３３はシリン
ジ状に形成されており、上端開口部がカップリングを介
してパルスモータ３４の回転軸３４１に連結され、下方
がスピンドルハウジング３２の下面から突出する。パル
スモータ３４の回転によりＺ方向回りの角度変位（θ変
位）が与えられる。

【００１２】３５は、スピンドル３３の内部に、その軸
方向中心と同心に上下移動可能かつ回転不能に組み込ま
れるロッドで、下端がスピンドル３３の下面より突出す
る。ロッド３５の上端部外周面とスピンドル３３の内周
面はシール手段３３０でシールされ、スピンドル３３の
中空空間をその位置で分断しているが、ロッド３５の上
下移動を妨げるものではない。３５１は、ロッド３５の
下端部側面に張り出した凸部３５０に揺動可能に支持さ
れる一対のレバーで、先端のローラ３５２を吸着ノズル
のネック部（図３における４１０）に係合させて、吸着
ノズルの脱落を防止する。一対のレバー３５１間には、
図示しない引っ張りコイルばねが張り渡され、これによ
ってレバー３５１には、ローラ３５２を吸着ノズル４に
押圧させる力が生じている。装着された吸着ノズル４
は、自身の吸引路がロッド３５の図示しないエア吸引路
に連通することになり、部品の吸着を可能としている。
また、吸着ノズル４は、後述するノズルストッカ５０、
５１に用意する他の種類のものと交換可能である。３３
１は、スピンドル３３とロッド３５間に挿入されるばね
で、スピンドル３３の下端に設ける図示しない下降スト
ッパに向け、ロッド３５を下降方向に押し下げるもので
ある。

【００１３】パルスモータ３４の回転軸３４１は中空
で、下端部がカップリングを介してスピンドル３３の中
空部と連通しており、上端部にはエア配管用のロータリ
ージョイント３４２を取り付け、これに空気圧調整手段
３６を介して空気圧源３７を接続する。空気圧調整手段
は、例えば電空変換レギュレータのように、指定した電
圧あるいは電流値によって空気圧を設定するもので、後
述する制御部８に接続されている。従って、制御部８が
指定する値の空気圧で、ロータリージョイント３４２か
ら回転軸３４１を経由して、スピンドル３３の中空部に
エアが供給される。

【００１４】図３は、本発明の主旨であるダミーノズル
４１及びこれに装着される樹脂製のシリンジ４２の構成
を示す一部破断正面図である。ダミーノズル４１の、装
着ヘッド３のロッド３５へ装着される部分は、他の吸着
ノズルと同様の形状で、画像認識のための背景板４１２
も有するが、部品を吸着する吸引路は有していない。背
景板４１２から下方へ延びるダミーノズルの先端部は、
ピストンロッド４３の軸心に開けられた嵌合穴にはめ込
まれて固定される。ピストンロッド４３は、主部側面に
軸方向に平行な溝４３１を有し、先端に主部より張り出
したフランジ部を設けている。４４は、ピストンロッド
４３がシリンジ４２から抜け出さないように、シリンジ
４２の端面に固定する抜け止めリングで、内周面に溝４
３１に係合する図示しない凸部を有する。抜け止めリン
グ４４の内径は、ピストンロッド４３の主部が軸方向摺
動可能な寸法とされ、フランジ部４３０をシリンジ内部
に位置させることで、ピストンロッド４３のシリンジ４
２からの抜け出しを防止する。こうして、シリンジ４２
の軸方向中心は、ダミーノズルさらには装着ヘッド３の
軸線の延長線上に位置し、抜け止めリング４４の凸部に
よって、シリンジ４２は、軸方向摺動可能かつ軸線回り
回転不能に、ダミーノズル４１に吊り下げられる。

【００１５】シリンジ４２のもう一方の端面には、スク
リーンマスク４５を貼り付け固定する。スクリーンマス
ク４５は、スクリーン印刷におけるものと同じ機能を持
ち、シリンジ４２の内部に充填されたフラックス等の粘
性流体Ｌが、マスクされていない開口部に押し付けられ
ると、そこから粘性流体Ｌをにじみ出させるものであ
る。本実施例では、例えば図４に示すように、４方向に
リードを有するフラットパッケージ（ＱＦＰ）型ＩＣの
ランドに対応して、スリット状の開口部４５１を４ケ所
設けたスクリーンマスクを、シリンジ４２に貼り付け
る。４６は、粘性流体Ｌの液面を被うように浮かべる金
属製のフロートで、シリンジ４２内の粘性流体とピスト
ンロッドのフランジ部４３０間に介在させ、粘性流体内
に気泡を発生させることを防止するものである。このフ
ロート４６を介して、ピストンロッド４３の加圧力が粘
性流体Ｌに伝わる。

【００１６】４７は、シリンジ４２の側壁下部に開けら
れた穴にねじ込んだ逆止弁であり、シリンジ４２に粘性
流体が注入される方向にのみ流路を開き、流れ出る方向
には閉ざして、シリンジ４２の流体注入口となるもので
ある。４８は、粘性流体Ｌが減少してフロート４６が下
降したとき、後述する近接センサ６１にフロート４６が
下限位置に達したことを検出させるための凹部で、シリ
ンジ４２の側壁に設けられる。凹部４８の上下方向の位
置は、逆止弁４７の位置よりやや高い位置に配置し、フ
ロート４６が下がり切らない内に逆止弁４７から粘性流
体Ｌを注入させ、シリンジ内の粘性流体に気泡が発生す
ることを防止しようとしている。（図５参照）

【００１７】５０、５１は第２部品配置ステ−ジ１５と
コンベア１３の間に配置されたノズルストッカである。
ノズルストッカ５０は小型の部品を保持する吸着ノズル
をストックし、ノズルストッカ５１は大型の部品を保持
する吸着ノズルをストックする。また、ノズルストッカ
５１は、ダミーノズル４１をストックする場所も有して
いる。各ノズルのストック位置には、そこにストックさ
れるノズルに対し、ノズルのフランジ部（図３における
４１１）の上方空間に進入して、一旦ノズルの上昇を制
止する図示しないノズル係止手段が配置されている。

【００１８】６は流体供給装置で、ノズルストッカ５１
のダミーノズル保管場所の下方に配置される。流体供給
装置６は、図５ないし図６に示すように、挟持ハンド６
０、近接センサ６１、流体吐出ノズル６２、ディスペン
サ６３からなる。挟持ハンド６０は、本体のエア駆動部
６００がテ−ブル部１２に図示しないポスト等で支持さ
れ、そこから互いに並行な左右一対の挟持板６０１と６
０２を、シリンジ４２の下部に向けて水平に突出させて
いる。挟持板６０１と６０２は、ダミーノズル４１から
吊り下げられたシリンジ４２の外形に対応する湾曲凹部
を、それぞれ対向する側面に有しており、挟持板６０１
の湾曲凹部にはシリンジの凹部４８に対応する位置に近
接センサ６１が、挟持板６０２の湾曲凹部にはシリンジ
の逆止弁４７に対応する位置に流体吐出ノズル６２がそ
れぞれ取り付けられる。

【００１９】挟持板６０１と６０２は、エア駆動部６０
０により、並行状態を保って互いに近付き（図６の状
態）あるいは遠ざかる（図５の状態）開閉動作を行う
（このような構造の把持ハンドは、株式会社小金井製作
所ではエアハンド、ＳＭＣ株式会社ではエアチャックと
云った名称で市販されており、ここでは詳細な説明を省
略する）。近接センサ６１は、挟持板６０１の湾曲凹部
の中心部分に開けた段付き穴に、先端の検出部がやや突
出するようにねじ込まれる。挟持板６０１の湾曲凹部が
シリンジ４２に接したとき、凹部４８に、その突出した
検出部が進入することになる。流体吐出ノズル６２は、
挟持板６０２の湾曲凹部の中心部分に開けた段付き穴に
ねじ込まれ、穴の段差部から先端の吐出部分を内向きに
突出させている。挟持板６０２の湾曲凹部がシリンジ４
２に接したとき、逆止弁４７の突出部分が段付き穴の径
大部に進入すると共に、逆止弁内に流体吐出ノズル６２
の先端部が入り込み、ドッキングすることになる。（図
６の状態）ディスペンサ６３は、流体吐出ノズル６２へ
図示しないホースによって接続され、後述する制御部８
の指令により、所定量の粘性流体を流体吐出ノズルから
吐出させるものである。

【００２０】７は部品配置ステ−ジ１４の横に配置され
た、固定の部品認識用カメラである。これは部品の位置
ずれ量を測定する視覚認識装置の一環を構成する。８は
ベ−ス１１の内部に配置した制御部である。制御部８
は、あらかじめ入力された装着プログラムにより、ビー
ム２４のＹ方向移動、装着ヘッド３のＸ方向とＺ方向の
移動、ロッド３５のＺ軸回りのθ回転、空気圧調整手段
３６の空気圧設定、吸着ノズル４の交換、流体供給装置
６による粘性流体供給などを制御する。

【００２１】部品装着装置１０の動きは次のようにな
る。まずコンベア１３が一方の側から基板１を運び込
み、所定位置に位置決めする。この基板１の、部品を装
着されるべき個所には既に接着剤が塗布されている。こ
こで制御部８は、あらかじめ入力された装着プログラム
により、ビーム２４のＹ方向移動、装着ヘッド３のＸ方
向とＺ方向の移動を制御し、吸着ノズル４を所定の部品
供給装置の上に位置させ、装着ヘッド３の吸着ノズル４
を降下させ、部品をピックアップさせる。その後基板１
の上に移動し、ピックアップした部品に応じて装着ヘッ
ド３にＺ軸回りのθ回転を与えて部品を装着する。装着
する部品によっては、吸着ノズルの交換を行わせて装着
動作を続行させ、あるいは空気圧調整手段３６に指令し
て、所定の空気圧でスピンドル３３内のロッド３５を押
圧させ、基板上に所定の加圧力で部品を装着させる。

【００２２】通常の部品は、装着ヘッド３に装着したミ
ラ−装置と部品認識用カメラ（図示せず）によって撮像
し、位置ずれ量を計測し、その計測結果に基づき、ＸＹ
方向の移動量、またθ角度に補正を加えた上で基板１に
装着する。ＱＦＰ型ＩＣ等、装着ヘッド３側のカメラの
視野には収まりきらない大型部品については、ピックア
ップ後、部品認識用カメラ７の上に装着ヘッド３を位置
させ、部品の位置ずれ量を計測する。その計測結果に基
づきＸＹ方向の移動量、またθ角度に補正を加えた上で
部品を基板１に装着する。

【００２３】ＱＦＰ型ＩＣ等の装着において、基板１の
ランド部に半田メッキが施されている場合の、当該個所
にフラックスを塗布する動作について詳述する。制御部
８は、装着ヘッド３を移動させ現在装着しているノズル
を、ノズルストッカ５０又は５１の所定位置に載置させ
る。その位置に配置されている図示しないノズル係止手
段を駆動してノズルの上昇を制止させ、それから装着ヘ
ッド３を上昇させて一対のローラ３５２をノズルのネッ
ク部から強制離脱させ、ノズルのみをストック位置に留
まらせる。その後、ノズル未装着の装着ヘッド３をノズ
ルストッカのダミーノズル４１のストック場所上に移動
させ、下降させて一対のローラ３５２をダミーノズル４
１のネック部４１０に係合させる。この位置の図示しな
いノズル係止手段は開放状態にあり、装着ヘッド３を上
昇させることによりダミーノズル４１が装着ヘッドに装
着されることになる。

【００２４】制御部８は、ダミーノズルを装着した装着
ヘッド３を、基板１の所定のランドパターン上に移動の
うえ下降させ、シリンジ４２の下面に貼られた前記ラン
ドパターンに対応する形状のスクリーンマスク４５を、
基板に接触させる。その位置で制御部８は、さらに、装
着ヘッド３を所定の速度で一定量下降させ、ピストンロ
ッド４３をシリンジ４２に対して相対移動させる。ピス
トンロッド４３が相対的に下降すると、フロート４６を
下方へ押圧し、粘性流体Ｌが基板に向けて加圧され、ス
クリーンマスク４５の開口部４５１から粘性流体Ｌがに
じみ出して、基板のランド上に付着する。その後、装着
ヘッド３を上昇のうえ移動させて、ダミーノズルをノズ
ルストッカに収納させ、それに代えてＱＦＰ型ＩＣ用の
大型吸着ノズルを装着ヘッドに装着させて、前述の装着
動作で、粘性流体Ｌが塗布されたランド部上に、所定の
ＱＦＰ型ＩＣリードを載置させる。

【００２５】基板上に付着させる粘性流体の量を加減し
たい場合には、部品装着時の加圧力調整機構を利用し
て、ダミーノズルを加圧すればよい。すなわち、スクリ
ーンマスク４５を基板上に接触させたのち、制御部８
は、空気圧調整手段３６にその旨の指令を出し、空気圧
源３７からの圧縮空気を指令値に応じて調圧させ、スピ
ンドル３３内にその圧縮空気を送り込むのである。スク
リーンマスクが基板に接触したときのロッド３５は、接
触時のオーバーストロークにより、スピンドル３３の図
示しない下降ストッパから上方に移動してばね３３１を
圧縮しており、シリンジ４２のフロート４６上には、ロ
ッド３５とダミーノズル４１とピストンロッド４３の各
自重と、ばね３３１のばね圧が加わっている。この状態
でスピンドル内に所望の圧力でエアが流入してロッド３
５の上端部を押し下げるため、フロート４６に加わる圧
力は、前述の定常圧値から、圧縮空気の最大空気圧値の
範囲で調整できる。従って、スクリーンマスクの開口部
４５１からにじみ出す粘性流体の量は、制御部８が空気
圧調整手段３６に指令を出すことにより、加減すること
ができる。

【００２６】また、粘性流体Ｌを基板上に精度良く付着
させたい場合には、例えば、スクリーンマスク４５の下
面に、４つの開口部４５１の位置を表す画像認識用マー
クを形成しておく。そして、部品認識用カメラ６の上に
装着ヘッド３を位置させ、前記マークを認識して開口部
の位置ずれ量を計測し、その計測結果に基づきＸＹ方向
の移動量、またθ角度に補正を加えた上でスクリーンマ
スク４５を基板１に接触させればよい。

【００２７】粘性流体Ｌの基板上への塗布作業が繰り返
されると、シリンジ４２内の粘性流体量が減少して行く
ため、制御部８は、まず、所定の塗布回数間隔で把持ハ
ンド６０のエア駆動部６００に圧縮空気を送り込んで、
挟持板６０１と６０２を閉じさせ、シリンジ４２を挟み
付けさせる。すると、近接センサ６１はシリンジの凹部
４８に進入し、フロート４６が自身の前方に存在する場
合には、検出信号を制御部８に出力する。一方、流体吐
出ノズル６２はシリンジの逆止弁４７にドッキングして
おり、制御部８が、近接センサ６１から検出信号を受け
取ったときのみディスペンサ６３に指令を発し、所定量
の粘性流体を吐出させる。流体吐出ノズル６２から吐出
される粘性流体は、逆止弁４７を介してシリンジ内に注
入され、フロート４６を押し上げることになる。

【００２８】本実施例では、ＸＹ移動する装着ヘッド
に、粘性流体塗布用のダミーノズルを交換装着して、基
板上に粘性流体を塗布する場合について述べたが、ロー
タリーインデックステーブルの周縁に等間隔に装着ヘッ
ドを配置し、基板側をＸＹ移動させる方式の部品装着装
置においても、ノズル交換機構とノズルストッカを装備
させることにより適用可能である。また、本実施例で
は、シリンジ内のフロートの下限位置を検出し、流体供
給装置に一定量の粘性流体を補充させることとしたが、
保管位置にあるシリンジの側方に、フロートの上下方向
の位置を検出する磁気式リニアセンサを配置して、フロ
ートの位置が示唆する残液量に応じて流体供給装置から
の吐出量を決定し、粘性流体量の減少分だけ補充しても
よい。さらに、本実施例では流体供給装置６をダミーノ
ズル保管場所の下方に位置させたが、ノズルストッカか
ら離れた装着ヘッド３の移動範囲内に配置し、装着ヘッ
ド３を所定量下降させ、把持ハンド６０にシリンジ４２
を挟み付けさせてもよい。

【００２９】

【発明の効果】本発明によれば、部品装着プログラムの
実行途中に、装着ヘッドの吸着ノズルをフラックス等の
粘性流体塗布用ノズルに交換し、意図する形状パターン
に応じ、粘性流体を基板に付着させることができるた
め、装着ヘッドと別個に塗布ヘッドを設ける必要がな
く、装置の小型化に効果大である。また、粘性流体塗布
用ノズルに装着されたシリンジ内の粘性流体が残り少な
くなれば、自動的に補充されるので、多数回の塗布作業
を連続して行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す部品装着装置の斜視図
である。

【図２】同部品装着装置の装着ヘッド部分を示す一部破
断側面図である。

【図３】同部品装着装置に備えるダミーノズル及びこれ
に装着されるシリンジの構成を示す一部破断正面図であ
る。

【図４】図３の状態を下方から見た図である。

【図５】ダミーノズルに装着されたシリンジと流体供給
装置の関係を説明する一部破断正面図である。

【図６】図５の構成を下方から見、かつ流体供給装置が
異なる態様を現した場合を説明する図である。

【符号の説明】

１基板３装着ヘッド３６空気圧調整手段４吸着ノズル４１ダミーノズル４２シリンジ４３ピストンロッド４５スクリーンマスク４６フロート４７逆止弁（流体注入口）５０、５１ノズルストッカ（ノズル保管台）６流体供給装置６００エア駆動部（駆動手段）６０１、６０２挟持板６１近接センサ（位置検出手段）６２流体吐出ノズル７部品認識用カメラ８制御部Ｌ粘性流体

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｈ０５Ｋ 13/04 Ａ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】側面に流体注入口を備えた容器に、粘性
流体を注入するものであって、前記容器の流体注入口に押し付けられる流体吐出ノズル
と、前記流体吐出ノズルに対向して配置され、流体吐出ノズ
ルとともに容器を挟み付ける挟持板と、前記流体吐出ノズルと挟持板とを連動させて容器へ押し
付け、またはそこから引き離す駆動手段と、前記流体吐出ノズルに接続され、流体吐出ノズルから所
望量の粘性流体を吐出させる粘性流体供給手段とを備え
ることを特徴とする流体供給装置。
【請求項２】請求項１に記載の流体供給装置を使用
し、基板表面に粘性流体を塗布する際、下端にスクリ−ンマスクを固着すると共に、側面に流体
注入口を備えたシリンジの流体押し出しピストンのロッ
ドを３次元移動する塗布ヘッドの先端に連結し、前記流体供給装置を塗布ヘッドの移動範囲内に配置し、基板表面の所定位置に前記スクリーンマスクを接触さ
せ、その位置で、塗布ヘッドを所定の速度で基板方向へ
所定量移動させて前記ロッドをシリンジに対して相対移
動させることにより、前記粘性流体を加圧し、スクリー
ンマスクから粘性流体を所定量にじみ出させ、粘性流体の基板への塗布動作が所定の回数に達したと
き、シリンジの流体注入口に前記流体吐出ノズルを押し
付けさせ、流体供給装置に粘性流体を補充させることを
特徴とする粘性流体塗布方法。
【請求項３】請求項２に記載の粘性流体塗布方法にお
いて、前記シリンジ内の粘性流体量を検出する液量検出
手段を設け、シリンジ内に粘性流体を補充する際に、前記液量検出手段の検出結果に基づいて、シリンジの流
体注入口に前記流体吐出ノズルを押し付けさせ、流体供
給装置に粘性流体を補充させることを特徴とする粘性流
体塗布方法。
【請求項４】請求項２に記載の粘性流体塗布方法にお
いて、前記ピストンがシリンジ内の下降端に達したかど
うかを検出する下限位置検出手段を設け、シリンジ内に粘性流体を補充する際に、前記下限位置検出手段の検出結果に基づいて、シリンジ
の流体注入口に前記流体吐出ノズルを押し付けさせ、流
体供給装置に粘性流体を補充させることを特徴とする粘
性流体塗布方法。
【請求項５】先端に吸着ノズル着脱部を有した装着ヘ
ッドで吸着ノズルを保持し、部品をピックアップして基
板に表面実装するものにおいて、次の構成を備えたこと
を特徴とする部品装着装置。ａ．一方の端面にスクリーンマスクを固着するととも
に、他方の端面からピストンのロッドを突出させ、側面
に流体注入口を有したシリンジ。ｂ．前記装着ヘッドの移動範囲内に配置され、前記シリ
ンジ内に粘性流体を注入する請求項１に記載の流体供給
装置。ｃ．自身の先端に前記ロッドを固着し、前記装着ヘッド
の吸着ノズル着脱部に着脱可能なダミーノズル。ｄ．前記シリンジ内の粘性流体液面とピストン間に介在
させ、かつ粘性流体の液面を被うように浮かべて、粘性
流体内に気泡が発生することを防止するフロート。ｅ．前記装着ヘッドの移動範囲内に配置され、前記ダミ
ーノズル及び吸着ノズルを一時保持するノズル保管台。ｆ．あらかじめ入力された装着プログラムにより、基板
上の所定の個所に粘性流体を塗布する際、前記装着ヘッ
ドに装着された吸着ノズルをダミーノズルに交換させ、
それから前記スクリーンマスクを基板上の所定個所に接
触させ、さらに装着ヘッドを所定の速度で基板方向へ一
定量移動させてロッドをシリンジに対して相対移動させ
ることにより、前記フロートを介して粘性流体を加圧さ
せ、スクリーンマスクから粘性流体を所定量にじみ出さ
せ、かつダミーノズルによる塗布動作が所定の回数に達した
とき、シリンジの流体注入口に前記流体吐出ノズルを押
し付けさせ、流体供給装置に粘性流体を補充させる制御
部。
【請求項６】請求項５に記載のものにおいて、前記シリンジ内のフロート位置を検出する位置検出手段
を設け、前記制御部に、前記位置検出手段の検出結果に基づい
て、シリンジの流体注入口に前記流体吐出ノズルを押し
付けさせ、流体供給装置に粘性流体を補充させることを
特徴とする部品装着装置。
【請求項７】請求項５、６に記載のものにおいて、前記流体供給装置を、前記ノズル保管台のダミーノズル
保管場所に対応して配置し、前記制御部に、そのダミー
ノズルが保管場所に保持されている状態下で、流体供給
装置に粘性流体を補充させることを特徴とする部品装着
装置。
【請求項８】請求項５、６、７に記載のものにおい
て、前記粘性流体をフラックスとすることを特徴とする部品
装着装置。