JPH07253276A - 熱処理炉及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 作業性の向上及び製造時間の短縮が図れると
共に、発熱抵抗体の配列ピッチの精度の向上が図れる熱
処理炉及びその製造方法を提供する。 【構成】 筒状の断熱材１０の内壁面に沿って螺旋状の
発熱抵抗体９を備えた熱処理炉１であり、前記断熱材１
０の軸方向に複数に分割されて前記発熱抵抗体９を支持
する支持体１８を有する。各支持体１８は前記発熱抵抗
体９の内側に位置する基部１９にその発熱抵抗体９のピ
ッチ間を通って径方向外方へ延出する複数本の支持片２
０を形成してなり、これら支持片２０の先端部が前記断
熱材１０に埋設されている。これにより構造の簡素化が
図れるため、製造が容易で作業性の向上及び製造時間の
短縮が図れると共に、発熱抵抗体９の配列ピッチの精度
の向上が図れる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、熱処理炉及びその製造
方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】被処理体である例えば半導体ウエハの製
造においては、酸化、拡散、ＣＶＤ（Chemical Vapor D
eposition）などの処理を行うために、各種の熱処理装
置が用いられている。そして、その一般的な熱処理装置
は、半導体ウエハを収容して処理するための処理室を形
成するプロセスチューブと、このプロセスチューブの周
囲に設けられた発熱抵抗体からなるヒータと、このヒー
タの周囲に設けられた断熱材とで熱処理炉を構成し、そ
の断熱材の内壁面に前記発熱抵抗体が設置されている。

【０００３】前記発熱抵抗体としては、例えばバッチ処
理が可能な熱処理装置の場合でいうと、筒状の断熱材の
内壁面に沿って螺旋状に設けられるヒータ線が用いら
れ、炉室内を例えば１２００℃程度まで高温加熱するよ
うになっている。また、前記断熱材としては、例えばセ
ラミックファイバ等が用いられ、輻射熱及び伝導熱とし
て奪われる熱量を減少させて効率のよい加熱を助長でき
るようになっている。

【０００４】ところで、前記断熱材に発熱抵抗体を設置
する場合の方法としては、例えば特開昭６０−２４６５
８２号公報に記載された方法がある。この方法は、発熱
抵抗体としてコイル状のヒータ線を用い、このヒータ線
に熱収縮チューブを被覆して熱収縮させることでヒータ
線の配列ピッチを固定した後、円柱状の中心型に窓型を
螺旋状に巻き付けると共にこの窓型上に沿って前記ヒー
タ線を巻き付ける。

【０００５】次いで、前記中心型に底型及び外型を配置
する型枠の組立を行い、この型枠内にモルタル状の断熱
材を充填する。そして、その断熱材を硬化させた後、離
型、乾燥及び焼成を順次行うことにより、熱収縮チュー
ブが溶解したヒータ線が断熱材の内壁面の放熱窓から臨
んだ状態で埋め込まれた断熱材を得る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た方法では、ヒータ線に対する熱収縮チューブの被覆、
中心型に対する窓型及び前記ヒータ線の巻き付け、型枠
の組立及び離型、断熱材の硬化、乾燥及び焼成等、作業
工程を多く必要とし、作業性が悪く、製造時間が多くか
かるという問題がある。また、ヒータ線を所定の配列ピ
ッチで螺旋状に形成するに際しては、作業者の経験に頼
るところが多いため、高い精度を得ることが難しい。

【０００７】そこで、本発明の目的は、前記問題点を解
決し、作業性の向上及び製造時間の短縮が図れると共
に、発熱抵抗体の配列ピッチの精度の向上が図れる熱処
理炉及びその製造方法を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１記載の発明は、筒状の断熱材の内壁面に沿っ
て螺旋状の発熱抵抗体を備えた熱処理炉であって、前記
断熱材の軸方向に複数に分割されて前記発熱抵抗体を支
持する支持体を有し、各支持体は前記発熱抵抗体の内側
に位置する基部にその発熱抵抗体のピッチ間を通って径
方向外方へ延出する複数本の支持片を形成してなり、こ
れら支持片の先端部が前記断熱材に埋設されていること
を特徴とする。

【０００９】また、請求項２記載の発明は、請求項１記
載における前記発熱抵抗体が、前記断熱材を貫通して外
部に延出された端子板を断熱材の軸方向に適宜間隔で有
し、且つこれら端子板の板面が前記断熱材の軸方向に沿
って配置されていることを特徴とする。

【００１０】更に、請求項３記載の発明は、筒状の断熱
材の内壁面に螺旋状の発熱抵抗体を備えた熱処理炉の製
造方法であって、外側に軸方向に適宜間隔で且つ板面が
軸方向に沿って配置された端子板を有する螺旋状の発熱
抵抗体と、この発熱抵抗体の内側に位置する基部にその
発熱抵抗体のピッチ間を通って径方向外方へ延出する複
数本の支持片を形成してなる支持体及びこの支持体を発
熱抵抗体の周方向で所定位置に位置決めして軸方向に整
列させる治具とを準備し、この治具を回転させながら治
具上に前記支持体を介して前記発熱抵抗体を装着する工
程と、前記発熱抵抗体の外周に前記端子板及び支持体の
支持片を避けてろ過材を配置し、このろ過材上に前記発
熱抵抗体の軸方向に沿う細径の棒材を周方向に適宜間隔
で配置する工程と、前記発熱抵抗体を断熱材料をなす無
機質繊維を含む懸濁液中に浸漬させて発熱抵抗体の内側
からの吸引により前記ろ過材上に前記断熱材料を堆積さ
せる工程と、この堆積した断熱材料を乾燥させる工程
と、乾燥後に断熱材と前記ろ過材との間から前記棒材を
抜き取り、更に断熱材と前記発熱抵抗体との間から前記
ろ過材を抜き取る工程と、前記治具を前記支持体から除
去する工程とを備えたことを特徴とする。

【００１１】

【作用】請求項１記載の発明によれば、筒状の断熱材の
内壁面に螺旋状の発熱抵抗体のピッチ間を通って径方向
外方へ延出する複数本の支持片を有する支持体をその支
持片の先端部が断熱材に埋設する状態で断熱材の軸方向
に配列して発熱抵抗体を支持する簡単な構造となり、前
記支持体の複数の支持片が発熱抵抗体の配列ピッチを設
定する。このため、製造が容易で作業性の向上及び製造
時間の短縮が図れると共に、発熱抵抗体の配列ピッチの
精度の向上が図れる。また、前記支持片は個々に独立し
ているのではなく、支持体の基部に複数本ずつ形成され
ているため、強度の向上が図れると共に形崩れすること
もなく、発熱抵抗体を安定して支持することが可能とな
り、また、隣り合う支持片間の隙間で発熱抵抗体の径方
向への熱膨張及び熱収縮を許容することが可能となる。

【００１２】請求項２記載の発明によれば、発熱抵抗体
に設けられた端子板の板面が断熱材の軸方向に沿って配
置されているため、製造工程で発熱抵抗体と断熱材との
間に介設されたろ過材を抜き取る際に、ろ過材が端子板
に引っ掛かることがなく、ろ過材を容易に抜き取ること
が可能となり、作業性が更に向上する。

【００１３】請求項３記載の発明によれば、発熱抵抗体
が予め螺旋状に形成されており、この発熱抵抗体の内側
に位置する基部にその発熱抵抗体のピッチ間を通って径
方向外方へ延出する複数本の支持片を形成してなる支持
体及びこの支持体を発熱抵抗体の周方向で所定位置に位
置決めして軸方向に整列させる治具を用い、この治具を
回転させながらこの治具に前記支持体を介して前記発熱
抵抗体を装着するため、発熱抵抗体を螺旋状に巻き付け
る手間が省け、しかも、前記支持片によって発熱抵抗体
の配列ピッチが自動的に設定されることから配列の手間
も省ける。

【００１４】また、発熱抵抗体の外側に断熱材を設ける
場合には、単に懸濁液中に浸漬された発熱抵抗体の内側
からの吸引のみで発熱抵抗体の外側に断熱材料を堆積さ
せることにより断熱材を形成することができるので、型
枠の組立や離型作業が不要であり、しかも、断熱材は乾
燥するだけでよく、焼成工程が不要であることから、短
時間で形成することが可能となる。更に、発熱抵抗体と
断熱材との間に介設されたろ過材を抜き取る場合には、
ろ過材と断熱材との間に介設された棒材を抜き取ること
によりろ過材と断熱材との間に隙間が生じること、及び
端子板の板面が断熱材の軸方向に配置されていてろ過材
が端子板に引っ掛かり難いことから、ろ過材を容易に抜
き取ることが可能となる。以上により熱処理炉を製造す
る場合における作業性の向上及び製造時間の短縮が図れ
ると共に、発熱抵抗体の配列ピッチの精度の向上が図れ
る。

【００１５】

【実施例】以下に、本発明の実施例を添付図面に基づい
て詳述する。

【００１６】図１は本発明の一実施例である熱処理炉の
全体構成を示す縦断面図である。この熱処理炉１は、被
処理体である半導体ウエハＷに減圧ＣＶＤによる成膜処
理を施すのに適するように構成された縦型炉であり、中
央部に円形の開口部２ａを有する例えばステンレススチ
ール製のベースプレート２を水平に備えている。

【００１７】このベースプレート２の下部には耐熱性金
属例えばステンレススチール製の短い筒状のマニホール
ド３が前記開口部２ａと軸心を一致させてボルト止めに
より着脱可能に取付けられ、このマニホールド３上には
処理室を形成する耐熱性材料例えば石英からなる円筒状
のプロセスチューブ４が設けられている。このプロセス
チューブ４は、本実施例の場合、上下両端部が開放され
た内管５と、上端部が閉塞された外管６とを同心円状に
配した二重管構造になっているが、外管のみからなって
いてもよい。

【００１８】このマニホールド３にはプロセスチューブ
４内に図示しない処理ガス供給源からの処理ガスを導入
するための入口ポート７と、プロセスチューブ４内を図
示しない減圧手段により排気して例えば１０〜１０^-8Ｔ
ｏｒｒ程度に真空引きするための出口ポート８が設けら
れている。前記プロセスチューブ４の周囲にはプロセス
チューブ４内を高温例えば８００〜１２００℃程度に加
熱するヒータとして後述の発熱抵抗体９及びこれを包囲
する円筒状の断熱材１０が設けられ、この断熱材１０の
外側は例えばステンレススチール製の図示しないアウタ
ーシェルで覆われている。なお、これら断熱材１０及び
アウターシェルは前記ベースプレート２上に支持されて
いる。

【００１９】前記マニホールド３の下方にはその下面開
口（炉口）を開閉する例えばステンレススチール製の蓋
体１１が昇降機構１２により昇降可能に設けられ、この
蓋体１１上には多数枚例えば１５０枚程度の半導体ウエ
ハＷを水平状態で上下方向に間隔をおいて多段に保持す
るウエハボート１３が保温筒１４を介して載置されてい
る。なお、蓋体１１には保温筒１４を回転駆動する回転
機構１５等が設けられている。

【００２０】一方、前記発熱抵抗体９は、例えば鉄（Ｆ
ｅ）、クロム（Ｃｒ）及びアルミニウム（Ａｌ）の合金
線であるカンタル線からなり、その太さは熱処理炉１の
仕様によっても異なるが、本実施例では例えば直径が
３．５ｍｍ程度のものが用いられている。この発熱抵抗
体９は、図２に示すように前記断熱材１０の内壁面に沿
って所要のピッチで螺旋状に形成されており、この螺旋
状の発熱抵抗体９には前記断熱材１０を貫通して外部に
延出された電極接続用の端子板１６が断熱材１０の軸方
向に適宜間隔で設けられ、熱処理炉１内を上下方向に複
数のゾーンに分けて温度制御ができるように構成されて
いる。この端子板１６は発熱抵抗体９と同じ材質からな
り、溶断防止と放熱量の抑制の観点から所要断面積の板
状に形成されている。

【００２１】また、前記端子板１６は、その板面が断熱
材１０の軸方向に沿うようにして配置されている。これ
は後述の製造工程で発熱抵抗体９と断熱材１０との間に
介設されたろ過材１７（図６参照）を抜き取る際に、ろ
過材１７が端子板１６に引っ掛かることがなく、ろ過材
１７を容易に抜き取ることを可能とするためである。こ
のような配置構成とするために、発熱抵抗体９は例えば
図７ないし図８に示すようにその中間位置においては端
子板１６の取付部分で切断され、切断した両端部９ａ，
９ｂが径方向外方に折り曲げられ、折り曲げた両端部９
ａ，９ｂ間に端子板１６の一端の両面が挟持されて溶接
等で固定されている（なお、発熱抵抗体の両端位置にお
いてはその端部を折り曲げ、これに端子板の片面を溶接
等で固定する。）。

【００２２】そして、前記発熱抵抗体９は、図２〜図４
に示すように耐熱性及び電気絶縁性材料例えばセラミッ
クからなる支持体１８を介して所要熱量が確保できる配
列ピッチが設定された状態で前記断熱材１０の内壁面に
所要の隙間Ｇを隔てて取付けられている。この支持体１
８は断熱材１０の軸方向に複数に分割されており、各支
持体１８は図５にも示すように発熱体抵抗体９の内側に
位置される基部１９に発熱抵抗体９の隣り合うピッチ間
を通って径方向外方へ延出する複数本（実施例では４
本）の支持片２０を一体形成してなり、いわゆる櫛歯状
に形成されている。

【００２３】前記支持片２０の先端部は断熱材１０中に
埋設支持されるが、その場合の支持強度を得るために長
さの長いものが適宜形成されている。実施例では、隣り
合うもの同士の長さが異なるよう、長さの長い支持片２
０ａと短い支持片２０ｂが交互に形成され、隣り合う支
持片２０ａ，２０ｂ間には発熱抵抗体９を収容するスリ
ット状の隙間Ｓが設けられている。また、長い支持片２
０ａの先端部には断熱材１０からの抜け止めのための突
起部２１が形成されている。この突起部２１は製造時の
型抜きを容易にするために支持片２０ａの片面に形成さ
れているが、両面に形成されていてもよい。

【００２４】このように形成された支持体１８は支持片
２０の先端部を断熱材１０に埋設させた状態で断熱材１
０の軸方向に直列に配置されると共に、周方向に等間隔
例えば円周角が３０度程度の間隔で配置されている。な
お、断熱材１０による支持片２０の支持強度が十分得ら
れる場合は、支持片２０の長さは同じでもよく、また、
突起部２１が設けられていなくてもよい。

【００２５】以上のように構成された熱処理炉１によれ
ば、筒状の断熱材１０の内壁面に螺旋状の発熱抵抗体９
のピッチ間を通って径方向外方へ延出する複数本の支持
片２０を有する支持体１８をその支持片２０の先端部が
断熱材１０に埋設する状態で断熱材１０の軸方向に配列
して発熱抵抗体９を支持する簡単な構造となり、前記支
持体１８の複数の支持片２０が発熱抵抗体の配列ピッチ
を設定するため、製造が容易で作業性の向上及び製造時
間の短縮が図れると共に、発熱抵抗体９の配列ピッチの
精度の向上が図れる。

【００２６】また、前記支持片２０は個々に独立してい
るのではなく、支持体１８の基部１９に複数本ずつ形成
されているため、強度の向上が図れると共に形崩れする
こともなく、発熱抵抗体９を安定して支持することがで
きる。そして、隣り合う支持片２０間にはスリット状の
隙間Ｓが形成され、且つ発熱抵抗体９と断熱材１０の内
壁面との間には隙間Ｇが形成されているため、発熱抵抗
体９の径方向への熱膨張及び熱収縮を許容することがで
きる。

【００２７】また、発熱抵抗体９に設けられた端子板１
６の板面が断熱材１０の軸方向に沿って配置されている
ため、製造工程で発熱抵抗体９と断熱材１０との間に介
設されたろ過材１７を断熱材１０の軸方向から抜き取る
際に、ろ過材１７が端子板１６に引っ掛かることがな
く、ろ過材１７を容易に抜き取ることが可能となり、作
業性が更に向上する。

【００２８】次に、このような構成からなる熱処理炉１
の製造方法について説明する。この製造方法は、主とし
て、（１）治具への発熱抵抗体の装着工程、（２）発熱
抵抗体へのろ過材及び棒材の配置工程、（３）発熱抵抗
体への断熱材料の堆積工程、（４）断熱材料の乾燥工
程、（５）ろ過材及び棒材の抜取工程、（６）治具の除
去工程からなり、これらの各工程を以下に説明する。

【００２９】（１）治具への発熱抵抗体の装着工程 先ず、図７ないし図８に示すように外側に軸方向に適宜
間隔で且つ板面が軸方向に沿って配置された端子板１６
を有する螺旋状の前記発熱抵抗体９と、図６に示すよう
にこの発熱抵抗体９の内側に位置する基部１９にその発
熱抵抗体９のピッチ間を通って径方向外方へ延出する複
数本の支持片２０（２０ａ，２０ｂ）を形成してなる支
持体１８及びこの支持体１８を発熱抵抗体９の周方向で
所定位置に位置決めして軸方向に整列させる治具２２と
を準備する。

【００３０】この治具２２は、中空状の支軸２３上に放
射状のスポーク２４を介して円環状の基盤２５を軸方向
に沿って適宜間隔で設け、これら基盤２５の外周に外向
きに開放したチャンネル形状のガイド部材２６を軸方向
に掛け渡すと共に周方向に等間隔で配置することによ
り、ドラム状に形成されている。この治具２２のガイド
部材２６内に前記支持体１８が取付けられる。また、前
記支軸２３の周面には複数の吸引孔２７が設けられてい
る。

【００３１】そして、このように構成された治具２２を
回転させながらこの治具２２上にその一端から前記螺旋
状の発熱抵抗体９を支持体１８の支持片２０間の隙間Ｓ
に通して螺合させるようにして装着する。

【００３２】（２）発熱抵抗体へのろ過材及び棒材の配
置工程 前記発熱抵抗体９の外周に前記端子板１６及び支持体１
８の支持片２０を避けてろ過材１７を配置し、このろ過
材１７上に前記発熱抵抗体９の軸方向に沿う細径の棒材
２８を周方向に適宜間隔で配置する。前記ろ過材１７と
しては、例えば網目の細かいアルミニウム製のメッシュ
等が好適であり、また、前記棒材２８としては、例えば
直径が１〜２ｍｍ程度のステンレススチール製の丸棒が
好適である。前記ろ過材１７を前記発熱抵抗体９の外周
全面に前記支持片２０及び端子板１６を避けるようにし
て、且つ軸方向から抜取可能にして所定の厚さで配置
し、そのろ過材１７上に前記棒材２８を配置して糸等で
固定する。

【００３３】（３）発熱抵抗体への断熱材料の堆積工程 前記発熱抵抗体９を断熱材料をなす無機質繊維を含む懸
濁液２９中に浸漬させて発熱抵抗体９の内側からの吸引
により前記ろ過材１７上に前記断熱材料を堆積させる。
この場合、図９に示すように発熱抵抗体９における治具
２２の軸方向両端部を塞いだ状態にして発熱抵抗体９を
治具２２ごと懸濁液槽３０内に浸漬する。前記懸濁液２
９としては、例えばシリカ、アルミナ或いは珪酸アルミ
ナを含む無機質繊維と、水及びバインダからなるスラリ
ー状のものが用いられる。

【００３４】前記治具２２の中空状の支軸２３に吸引ポ
ンプ３１を接続することにより、支軸２３の吸引孔２７
を介して発熱抵抗体９の内部を減圧すると、懸濁液２９
がろ過材１７の表面に吸い寄せられてろ過材１７を透過
しない断熱材料である繊維質成分がろ過材１７上に積層
される。なお、ろ過材１７を透過した水分並びに繊維質
成分は吸引ポンプ３１の吐出パイプ３２を介して回収さ
れるが、再度懸濁液槽３０内に循環させるようにしても
よい。

【００３５】また、この場合、支軸２３を介して治具２
２を回転させることにより、懸濁液槽３０内の懸濁液２
９を攪拌することができると共に、ろ過材１７上に均一
な厚さで断熱材料を堆積させることができる。このよう
にしてろ過材１７上に断熱材料が堆積されることによ
り、所望の層厚の断熱材１０が形成され、支持体１８の
支持片２０先端部が断熱材１０中に埋設されることにな
る。

【００３６】この工程においては、懸濁液２９の密度を
変えることにより図３に示すように断熱材１０を内側の
高密度層１０Ａと外側の低密度層１０Ｂの二層構造或い
は複数層構造とすることが可能であるが、単一層構造で
あっても勿論構わない。実施例の場合、高密度層１０Ａ
により支持体２０の支持強度の向上が図れ、低密度層１
０Ｂにより断熱性の向上及び軽量化が図れる。

【００３７】（４）断熱材料の乾燥工程 前記工程でろ過材１７上に所望の厚さの断熱材１０が形
成されたなら、これを治具２２ごと懸濁液槽３０から引
き上げ、ろ過材１７上に堆積した断熱材料を自然或いは
強制的に乾燥させる。これにより円筒状の断熱材１０が
得られる。

【００３８】（５）ろ過材及び棒材の抜取工程 乾燥後に、前記断熱材１０と前記ろ過材１７との間から
前記棒材２８を軸方向から抜き取り、更に断熱材１０と
前記発熱抵抗体９との間から前記ろ過材１７を抜き取
る。棒材２８は細径で断熱材１０との接触面積が小さい
ため容易に抜き取ることができ、また、棒材２８を抜き
取ることで断熱材１０とろ過材１７との間に多少の隙間
が生じるので、ろ過材１７を比較的容易に抜き取ること
ができる。このろ過材１７を抜き取ることにより、断熱
材１０と発熱抵抗体９との間には隙間Ｇが形成され、こ
の隙間Ｇにより発熱抵抗体９の熱膨張による径方向外方
への変位を許容することができる。

【００３９】（６）治具の除去工程 この工程では、支持体１８を支えている治具２２を断熱
材１０の軸方向から引き抜くことにより、治具２２を前
記支持体１８から除去する。そして、前記断熱材１０の
表面処理等を行うことにより、円筒状の断熱材１０の内
壁面に支持体１８を介して発熱抵抗体９が設置された状
態の熱処理炉１が得られる。

【００４０】このような工程からなる熱処理炉１の製造
方法によれば、発熱抵抗体９が予め螺旋状に形成されて
おり、この発熱抵抗体９の内側に位置する基部１９にそ
の発熱抵抗体９のピッチ間を通って径方向外方へ延出す
る複数本の支持片２０を形成してなる支持体１８及びこ
の支持体１８を発熱抵抗体９の周方向で所定位置に位置
決めして軸方向に整列させる治具２２を用い、この治具
２２を回転させながらこの治具２２上に前記支持体１８
を介して前記発熱抵抗体９を装着するため、発熱抵抗体
９を螺旋状に巻き付ける手間が省け、しかも、前記支持
体１８の複数本の支持片２０によって発熱抵抗体９の配
列ピッチが自動的に設定されることから配列の手間も省
ける。

【００４１】また、発熱抵抗体９の外側に断熱材１０を
設ける場合には、単に懸濁液２９中に浸漬された発熱抵
抗体９の内側からの吸引のみで発熱抵抗体９の外側にろ
過材１７を介して断熱材料を堆積させることにより断熱
材１０を形成することができるので、型枠の組立や離型
作業が不要であり、しかも、断熱材１０は乾燥するだけ
でよく、焼成工程が不要であることから、短時間で形成
することが可能となる。更に、発熱抵抗体９と断熱材１
０との間に介設されたろ過材１７を抜取る場合には、ろ
過材１７と断熱材１０との間に介設された棒材２８を抜
取ることによりろ過材１７と断熱材１０との間に隙間が
できること、及び端子板１６の板面が断熱材１０の軸方
向に配置されていてろ過材１７が端子板１６に引っ掛か
り難いことから、ろ過材１７を容易に抜取ることが可能
となる。以上により熱処理炉１を製造する場合における
作業性の向上及び製造時間の短縮が図れると共に、発熱
抵抗体９の配列ピッチの精度の向上が図れる。

【００４２】なお、本発明は、前記実施例に限定される
ものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施
が可能である。例えば、前記実施例のように断熱材を二
層に形成する場合、その高密度層１０Ａと低密度層１０
Ｂの間に例えばアルミニウム製等のメッシュ材を設けて
もよく、これにより発熱抵抗体９からの輻射熱の反射や
断熱材１０の強度の向上が図れる。また、発熱抵抗体９
から断熱材に向う輻射熱を反射させるために、断熱材１
０の内壁面に例えばシリカ製のクロス材を張設するよう
にしてもよい。

【００４３】更に、本発明が適用される熱処理炉によっ
て熱処理される被処理体としては、少なくとも面状の被
処理体であればよく、半導体ウエハＷ以外に、例えばＬ
ＣＤ基板等が適用可能である。また、本発明が適用され
る熱処理炉としては、減圧ＣＤＶ以外に、例えば酸化、
拡散、アニール等の処理に適するものであってもよい。

【００４４】

【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果が得られる。

【００４５】（１）請求項１記載の発明によれば、筒状
の断熱材の内壁面に螺旋状の発熱抵抗体のピッチ間を通
って径方向外方へ延出する複数本の支持片を有する支持
体をその支持片の先端部が断熱材に埋設する状態で断熱
材の軸方向に配列して発熱抵抗体を支持する簡単な構造
となり、前記支持体の複数の支持片が発熱抵抗体の配列
ピッチを設定するため、製造が容易で作業性の向上及び
製造時間の短縮が図れると共に、発熱抵抗体の配列ピッ
チの精度の向上が図れる。

【００４６】（２）請求項２記載の発明によれば、発熱
抵抗体に設けられた端子板の板面が断熱材の軸方向に沿
って配置されているため、製造工程で発熱抵抗体と断熱
材との間に介設されたろ過材を抜き取る際に、ろ過材が
端子板に引っ掛かることがなく、ろ過材を容易に抜き取
ることが可能となり、作業性が更に向上する。

【００４７】（３）請求項３記載の発明によれば、支持
体を配列した治具を回転させるだけで螺旋状の発熱抵抗
体を前記支持体を介して治具に装着させることができ、
前記支持体の支持片によって発熱抵抗体の配列ピッチが
設定され、発熱抵抗体を懸濁液中に浸漬させて発熱抵抗
体の内側から吸引するだけで発熱抵抗体の外側に断熱材
料を堆積させて断熱材を短時間で形成することができ、
発熱抵抗体と断熱材との間に介設されたろ過材を抜き取
る場合には、ろ過材と断熱材との間に介設された棒材を
抜き取ることによりろ過材と断熱材との間に隙間が生じ
ること、及び、端子板の板面が断熱材の軸方向に配置さ
れていてろ過材が端子板に引っ掛かり難いことから、ろ
過材を容易に抜き取ることができる。従って、熱処理炉
を製造する場合における作業性の向上及び製造時間の短
縮が図れると共に、発熱抵抗体の配列ピッチの精度の向
上が図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例である熱処理炉の全体構成を
示す縦断面図である。

【図２】同熱処理炉の一部を示す斜視図である。

【図３】同熱処理炉の部分的拡大平面断面図である。

【図４】同熱処理炉の部分的拡大側面断面図である。

【図５】支持体の拡大斜視図である。

【図６】本発明を適用した熱処理炉の製造方法において
用いられる治具の構成を説明するための斜視図である。

【図７】端子板を有する発熱抵抗体を示す側面図であ
る。

【図８】同発熱抵抗体における端子板の取付状態を部分
的に示す平面図である。

【図９】熱処理炉の製造方法においてろ過材上に断熱材
料を堆積させる工程を説明するための模式図である。

【符号の説明】

１ 熱処理炉 ９ 発熱抵抗体 １０ 断熱材 １６ 端子板 １７ ろ過材 １８ 支持体 １９ 基部 ２０ 支持片 ２２ 治具 ２８ 棒材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/22 ５１１ Ａ 21/324 Ｈ Ｈ０５Ｂ 3/06 Ａ 7512−3Ｋ (72)発明者 三浦 恭彰 神奈川県津久井群城山町町屋１丁目２番41 号 東京エレクトロン東北株式会社相模事 業所内 (72)発明者 横川 修 神奈川県津久井群城山町町屋１丁目２番41 号 東京エレクトロン東北株式会社相模事 業所内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 筒状の断熱材の内壁面に沿って螺旋状の
   発熱抵抗体を備えた熱処理炉であって、前記断熱材の軸
   方向に複数に分割されて前記発熱抵抗体を支持する支持
   体を有し、各支持体は前記発熱抵抗体の内側に位置する
   基部にその発熱抵抗体のピッチ間を通って径方向外方へ
   延出する複数本の支持片を形成してなり、これら支持片
   の先端部が前記断熱材に埋設されていることを特徴とす
   る熱処理炉。
2. 【請求項２】 前記発熱抵抗体が、前記断熱材を貫通し
   て外部に延出された端子板を断熱材の軸方向に適宜間隔
   で有し、且つこれら端子板の板面が前記断熱材の軸方向
   に沿って配置されていることを特徴とする請求項１記載
   の熱処理炉。
3. 【請求項３】 筒状の断熱材の内壁面に螺旋状の発熱抵
   抗体を備えた熱処理炉の製造方法であって、外側に軸方
   向に適宜間隔で且つ板面が軸方向に沿って配置された端
   子板を有する螺旋状の発熱抵抗体と、この発熱抵抗体の
   内側に位置する基部にその発熱抵抗体のピッチ間を通っ
   て径方向外方へ延出する複数本の支持片を形成してなる
   支持体及びこの支持体を発熱抵抗体の周方向で所定位置
   に位置決めして軸方向に整列させる治具とを準備し、こ
   の治具を回転させながら治具上に前記支持体を介して前
   記発熱抵抗体を装着する工程と、前記発熱抵抗体の外周
   に前記端子板及び支持体の支持片を避けてろ過材を配置
   し、このろ過材上に前記発熱抵抗体の軸方向に沿う細径
   の棒材を周方向に適宜間隔で配置する工程と、前記発熱
   抵抗体を断熱材料をなす無機質繊維を含む懸濁液中に浸
   漬させて発熱抵抗体の内側からの吸引により前記ろ過材
   上に前記断熱材料を堆積させる工程と、この堆積した断
   熱材料を乾燥させる工程と、乾燥後に断熱材と前記ろ過
   材との間から前記棒材を抜き取り、更に断熱材と前記発
   熱抵抗体との間から前記ろ過材を抜き取る工程と、前記
   治具を前記支持体から除去する工程とを備えたことを特
   徴とする熱処理炉の製造方法。