JPH0724959Y2 - 超音波アクチュエータ - Google Patents
超音波アクチュエータInfo
- Publication number
- JPH0724959Y2 JPH0724959Y2 JP1989057630U JP5763089U JPH0724959Y2 JP H0724959 Y2 JPH0724959 Y2 JP H0724959Y2 JP 1989057630 U JP1989057630 U JP 1989057630U JP 5763089 U JP5763089 U JP 5763089U JP H0724959 Y2 JPH0724959 Y2 JP H0724959Y2
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- JP
- Japan
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- elastic
- rotating member
- ultrasonic
- actuator
- vibration
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- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Description
【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本考案は回転型の超音波アクチュエータに関する。
「従来の技術」 従来のいわゆるスラスト振動片駆動方式の超音波アクチ
ュエータの斜視図を第４図に示す。
ュエータの斜視図を第４図に示す。
図において４は回転自在に設けられた円盤である。30は
振動片であり、円盤４の周縁部に当接されている。31は
縦振動子であり、その端面が振動片30に接合されるとと
もに一定の圧力で抑えられている。
振動片であり、円盤４の周縁部に当接されている。31は
縦振動子であり、その端面が振動片30に接合されるとと
もに一定の圧力で抑えられている。
上記構成において縦振動子31に交流電圧e7を印加する
と、縦振動子31は交流電圧e7に同期して縦振動する。こ
の結果、その縦振動が振動片30に伝達され、振動片30が
楕円軌道を描くように振動する。その詳細を第５図を参
照し説明する。
と、縦振動子31は交流電圧e7に同期して縦振動する。こ
の結果、その縦振動が振動片30に伝達され、振動片30が
楕円軌道を描くように振動する。その詳細を第５図を参
照し説明する。
図においてＰは振動片30の端部30aの描く左回りの楕円
軌道である。第５図によれば、端部30aの軌跡は点Ｐ1な
いしＰ2の区間で円盤４と交差する。したがって、この
区間内では端部30aが円盤４を右に蹴るような運動をす
る。円盤４は回動自在に設けられているので、この運動
により右に移動する。すなわち円盤４は左回りに回転す
る。
軌道である。第５図によれば、端部30aの軌跡は点Ｐ1な
いしＰ2の区間で円盤４と交差する。したがって、この
区間内では端部30aが円盤４を右に蹴るような運動をす
る。円盤４は回動自在に設けられているので、この運動
により右に移動する。すなわち円盤４は左回りに回転す
る。
なお、上記構成のアクチュエータの駆動力は楕円軌道Ｐ
によって決定される。すなわち、楕円軌道Ｐの振動振幅
が大きければ大きな駆動力が得られる。また、楕円軌道
Ｐの形状が円に近ければ近いほど、大きな駆動力を得る
ことができる。楕円軌道Ｐの形状および振動振幅の大き
さは電圧e7の振幅値と周波数とによって決定される。
によって決定される。すなわち、楕円軌道Ｐの振動振幅
が大きければ大きな駆動力が得られる。また、楕円軌道
Ｐの形状が円に近ければ近いほど、大きな駆動力を得る
ことができる。楕円軌道Ｐの形状および振動振幅の大き
さは電圧e7の振幅値と周波数とによって決定される。
「考案が解決しようとする課題」 ところで上記構成によれば、縦振動のみによる回転駆動
であるため、全体として大きな駆動力が得られないとと
もに一方向のみしか回転しないという問題があった。
であるため、全体として大きな駆動力が得られないとと
もに一方向のみしか回転しないという問題があった。
本考案の目的は、大きな駆動力が得られるとともに左右
両方向に回転させることができる超音波アクチュエータ
を提供することである。
両方向に回転させることができる超音波アクチュエータ
を提供することである。
「課題を解決するための手段」 本考案は上記課題を解決するために、周まわりに回転自
在に設けられた板状または盤状の回転部材と、この回転
部材の一面に回転部材の回転方向に沿って互いに離間し
て設けられた一対の超音波リニアアクチュエータと、前
記一対の超音波リニアアクチュエータどうしを結合した
弾性梁部材とを具備して構成され、前記超音波リニアア
クチュエータが、直方体状の弾性部材とこの弾性部材の
一部に取り付けられた縦振動子を具備して構成されると
ともに、前記弾性部材の一部に前記回転部材の一面に対
して傾斜する斜面が、前記回転部材の回転方向前方側と
後方側のいずれか一方に向いて形成され、前記斜面に前
記斜面に垂直な方向に縦振動して弾性体と弾性梁部材と
を相互関連ねじり振動させて弾性部材の基端部に楕円振
動を生じさせる縦振動子が取り付けられ、前記弾性部材
が、その基端部を回転部材の一面に当接させ、縦振動子
を回転部材の回転方向前方側あるいは後方側に向けて設
置されてなる構造としたものである。
在に設けられた板状または盤状の回転部材と、この回転
部材の一面に回転部材の回転方向に沿って互いに離間し
て設けられた一対の超音波リニアアクチュエータと、前
記一対の超音波リニアアクチュエータどうしを結合した
弾性梁部材とを具備して構成され、前記超音波リニアア
クチュエータが、直方体状の弾性部材とこの弾性部材の
一部に取り付けられた縦振動子を具備して構成されると
ともに、前記弾性部材の一部に前記回転部材の一面に対
して傾斜する斜面が、前記回転部材の回転方向前方側と
後方側のいずれか一方に向いて形成され、前記斜面に前
記斜面に垂直な方向に縦振動して弾性体と弾性梁部材と
を相互関連ねじり振動させて弾性部材の基端部に楕円振
動を生じさせる縦振動子が取り付けられ、前記弾性部材
が、その基端部を回転部材の一面に当接させ、縦振動子
を回転部材の回転方向前方側あるいは後方側に向けて設
置されてなる構造としたものである。
また、本発明の他の１つは、周まわりに回転自在に設け
られた板状または盤状の回転部材と、この回転部材の一
面に回転部材の回転方向に沿って互いに離間して設けら
れた一対の超音波リニアアクチュエータと、前記一対の
超音波リニアアクチュエータどうしを結合した弾性梁部
材とを具備して構成され、前記超音波リニアアクチュエ
ータが、直方体状の弾性部材とこの弾性部材の一部に取
り付けられた縦振動子を具備して構成されるとともに、
前記弾性部材の一部に前記回転部材の一面に対して傾斜
する２つの斜面が、前記回転部材の回転方向前方側と後
方側に向いて形成され、前記各斜面に前記斜面に垂直な
方向に縦振動して弾性体と弾性梁部材とを相互関連ねじ
り振動させて弾性部材の基端部に楕円振動を生じさせる
縦振動子が取り付けられ、前記弾性部材が、その基端部
を回転部材の一面に当接させ、縦振動子を回転部材の回
転方向前方側と後方側に向けて設置されてなるものであ
る。
られた板状または盤状の回転部材と、この回転部材の一
面に回転部材の回転方向に沿って互いに離間して設けら
れた一対の超音波リニアアクチュエータと、前記一対の
超音波リニアアクチュエータどうしを結合した弾性梁部
材とを具備して構成され、前記超音波リニアアクチュエ
ータが、直方体状の弾性部材とこの弾性部材の一部に取
り付けられた縦振動子を具備して構成されるとともに、
前記弾性部材の一部に前記回転部材の一面に対して傾斜
する２つの斜面が、前記回転部材の回転方向前方側と後
方側に向いて形成され、前記各斜面に前記斜面に垂直な
方向に縦振動して弾性体と弾性梁部材とを相互関連ねじ
り振動させて弾性部材の基端部に楕円振動を生じさせる
縦振動子が取り付けられ、前記弾性部材が、その基端部
を回転部材の一面に当接させ、縦振動子を回転部材の回
転方向前方側と後方側に向けて設置されてなるものであ
る。
更に、本発明の他の１つは、前記弾性梁部材を短尺部材
から構成したものである。
から構成したものである。
「作用」 各超音波リニアアクチュエータの振動素子に駆動電圧を
供給すると、これらの縦振動によるねじり振動が各超音
波アクチュエータの弾性体と弾性梁部材に発生し、それ
らが相互に関連しあって弾性体の基端部に楕円振動が発
生する。また、駆動電圧の周波数、位相差、弾性梁部材
の材質および寸法等を適切に設定するならば、超音波ア
クチュエータの駆動力を正逆両方向に回転部材に伝える
ことができるとともに、超音波アクチュエータの駆動力
を増加するように、縦振動とねじり振動を発生させるこ
とができる。
供給すると、これらの縦振動によるねじり振動が各超音
波アクチュエータの弾性体と弾性梁部材に発生し、それ
らが相互に関連しあって弾性体の基端部に楕円振動が発
生する。また、駆動電圧の周波数、位相差、弾性梁部材
の材質および寸法等を適切に設定するならば、超音波ア
クチュエータの駆動力を正逆両方向に回転部材に伝える
ことができるとともに、超音波アクチュエータの駆動力
を増加するように、縦振動とねじり振動を発生させるこ
とができる。
また、弾性体に２つの斜面を形成し、各斜面に振動素子
を設け、各振動素子を回転部材の回転方向前方側と後方
側に向ける構成にすると、駆動電圧の周波数と位相差を
適宜設定することで容易に回転部材を正逆両方向に回転
駆動することができる。更に、弾性梁部材を短尺部材に
することで、駆動電圧の位相差を調節することにより容
易に回転部材を正逆両方向に回転駆動できる。
を設け、各振動素子を回転部材の回転方向前方側と後方
側に向ける構成にすると、駆動電圧の周波数と位相差を
適宜設定することで容易に回転部材を正逆両方向に回転
駆動することができる。更に、弾性梁部材を短尺部材に
することで、駆動電圧の位相差を調節することにより容
易に回転部材を正逆両方向に回転駆動できる。
「実施例」 次に本考案の第１の実施例を説明する。
第１図は本考案の第１の実施例の斜視図である。なお、
図において第４図および第５図の各部に対応する部分に
は同一の符号を付し、その説明を省略する。
図において第４図および第５図の各部に対応する部分に
は同一の符号を付し、その説明を省略する。
図において１および２は超音波リニアアクチュエータで
あり、円盤（回転部材）４の上面（一面）の周縁部に設
けられるとともに一定の圧力で円盤４に当接されてい
る。９は超音波リニアアクチュエータ１を構成する弾性
体であり、直方体下部の基端部をそのままとし、直方体
上部の一陵を約45°切り欠いて斜面9aとした形状になっ
ている。８は直方体状に形成された縦振動子であり、そ
の底面が斜面9aに接合されている。なお、上記構成によ
る超音波リニアアクチュエータは、例えば特願昭63−31
8245号に記載されている。次に、６および７はそれぞれ
超音波リニアアクチュエータ２を構成する縦振動子およ
び弾性体であり、上記と同様に構成されている。10は直
方体状の弾性梁部材であり、その両端面が弾性体７、９
の上部に接合されている。
あり、円盤（回転部材）４の上面（一面）の周縁部に設
けられるとともに一定の圧力で円盤４に当接されてい
る。９は超音波リニアアクチュエータ１を構成する弾性
体であり、直方体下部の基端部をそのままとし、直方体
上部の一陵を約45°切り欠いて斜面9aとした形状になっ
ている。８は直方体状に形成された縦振動子であり、そ
の底面が斜面9aに接合されている。なお、上記構成によ
る超音波リニアアクチュエータは、例えば特願昭63−31
8245号に記載されている。次に、６および７はそれぞれ
超音波リニアアクチュエータ２を構成する縦振動子およ
び弾性体であり、上記と同様に構成されている。10は直
方体状の弾性梁部材であり、その両端面が弾性体７、９
の上部に接合されている。
上記構成において縦振動子８に交流電圧e1を印加する
と、縦振動子８は交流電圧e1に同期してＡ−Ａ′方向に
縦振動する。この結果、その縦振動が弾性体９に伝達さ
れ、弾性体９が振動する。超音波リニアアクチュエータ
２も交流電圧e2が印加されると、上記と同様に動作す
る。ここで、交流電圧e1およびe2の周波数を同一にする
と、弾性体７、９に発生する振動が同期する。これらの
振動は弾性梁部材10に伝達され、弾性梁部材10にこれら
の振動と同期する捩り振動が発生する。この結果、弾性
体７、９の振動と、弾性梁部材10のねじり振動とが相互
に関係し、弾性体７、９の隅部（基端部）7b、9bは軌跡
が左回りの楕円軌道になるように運動する。したがっ
て、第５図と同様に隅部9bが円盤４を右に蹴るような運
動をする。円盤４は回動自在に設けられているので、こ
れらの運動により左回りに回転する。また、交流電圧
e1、e2の周波数を適宜変更すると、楕円軌道が右回りに
なり、上記動作と逆に円盤４は右回りに回転する。
と、縦振動子８は交流電圧e1に同期してＡ−Ａ′方向に
縦振動する。この結果、その縦振動が弾性体９に伝達さ
れ、弾性体９が振動する。超音波リニアアクチュエータ
２も交流電圧e2が印加されると、上記と同様に動作す
る。ここで、交流電圧e1およびe2の周波数を同一にする
と、弾性体７、９に発生する振動が同期する。これらの
振動は弾性梁部材10に伝達され、弾性梁部材10にこれら
の振動と同期する捩り振動が発生する。この結果、弾性
体７、９の振動と、弾性梁部材10のねじり振動とが相互
に関係し、弾性体７、９の隅部（基端部）7b、9bは軌跡
が左回りの楕円軌道になるように運動する。したがっ
て、第５図と同様に隅部9bが円盤４を右に蹴るような運
動をする。円盤４は回動自在に設けられているので、こ
れらの運動により左回りに回転する。また、交流電圧
e1、e2の周波数を適宜変更すると、楕円軌道が右回りに
なり、上記動作と逆に円盤４は右回りに回転する。
次に本考案の第２の実施例を説明する。
第２図は本考案の第２の実施例の斜視図である。なお、
図において第１図、第４図および第５図の各部に対応す
る部分には同一の符号を付け、その説明を省略する。
図において第１図、第４図および第５図の各部に対応す
る部分には同一の符号を付け、その説明を省略する。
図において11、12は超音波リニアアクチュエータであ
る。超音波リニアアクチュエータ11は、略直方体の上面
の対向する二陵を切り欠いて斜面を設けた弾性体13と、
その両斜面に底面が接合された直方体状の縦振動子14、
15とにより構成されている。なお、上記構成による超音
波リニアアクチュエータは、例えば平成元年４月13日
付、本出願人による実用新案登録願「超音波リニアモー
タ」に記載されている。次に、16および17、18はそれぞ
れ超音波リニアアクチュエータ12の弾性体および縦振動
子であり、上記と同様に構成されている。
る。超音波リニアアクチュエータ11は、略直方体の上面
の対向する二陵を切り欠いて斜面を設けた弾性体13と、
その両斜面に底面が接合された直方体状の縦振動子14、
15とにより構成されている。なお、上記構成による超音
波リニアアクチュエータは、例えば平成元年４月13日
付、本出願人による実用新案登録願「超音波リニアモー
タ」に記載されている。次に、16および17、18はそれぞ
れ超音波リニアアクチュエータ12の弾性体および縦振動
子であり、上記と同様に構成されている。
上記構成において縦振動子14、18に e3＝V3sinωｔ ……（１） （ただしV3は交流電圧e3の振幅値、ωは角周波数）なる
交流電圧e3を印加するとともに縦振動子15、17に e4＝V4sin（ωｔ＋θ1） ……（２） （ただしV4は交流電圧e4の振幅値、θ1は交流電圧e3、e4
の位相差）なる交流電圧e4を印加し、位相差θ1をπ/2
に設定すると、第１図と同様に弾性体13、16の振動と弾
性梁部材10の振動とが相互に関係し、隅部13b、16bが楕
円軌道を描くように振動する。これにより、円盤４が左
回りに回転する。
交流電圧e3を印加するとともに縦振動子15、17に e4＝V4sin（ωｔ＋θ1） ……（２） （ただしV4は交流電圧e4の振幅値、θ1は交流電圧e3、e4
の位相差）なる交流電圧e4を印加し、位相差θ1をπ/2
に設定すると、第１図と同様に弾性体13、16の振動と弾
性梁部材10の振動とが相互に関係し、隅部13b、16bが楕
円軌道を描くように振動する。これにより、円盤４が左
回りに回転する。
また、（２）式においてθ1を−π/2に設定すると、楕
円軌道が右回りに回転し、円盤４が右回りに回転する。
円軌道が右回りに回転し、円盤４が右回りに回転する。
以上説明したように第２の実施例によれば、第１の実施
例と比較して円盤４を容易に（交流電圧e3、e4の周波数
を変更せずに）逆回転させることができる。
例と比較して円盤４を容易に（交流電圧e3、e4の周波数
を変更せずに）逆回転させることができる。
次に本考案の第３の実施例を説明する。
第３図（イ）は本考案の第３の実施例の斜視図である。
また、同図（ロ）、（ハ）にその正面図、側面図を示
す。なおこれらの図において第１図、第２図、第４図お
よび第５図の各部に対応する部分には同一の符号を付
け、その説明を省略する。
また、同図（ロ）、（ハ）にその正面図、側面図を示
す。なおこれらの図において第１図、第２図、第４図お
よび第５図の各部に対応する部分には同一の符号を付
け、その説明を省略する。
これらの図において21は直方体状の弾性梁部材であり、
弾性体７、９の相互間に接合されている。弾性梁部材21
は第１図における弾性梁部材10と比較して、きわめて短
くなっている。上記以外の構成は、第１図と同様であ
る。
弾性体７、９の相互間に接合されている。弾性梁部材21
は第１図における弾性梁部材10と比較して、きわめて短
くなっている。上記以外の構成は、第１図と同様であ
る。
上記構成において縦振動子８に e5＝V5sinωｔ ……（３） （ただしV5は交流電圧e5の振幅値、ωは角周波数）なる
交流電圧e5を印加するとともに縦振動子６に e6＝V6sin（ωｔ＋θ2） ……（４） （ただしV6は交流電圧e6の振幅値、θ2は交流電圧e5、e6
の位相差）なる交流電圧e6を印加し、位相差θ2をπ/2
に設定すると、第１図と同様に弾性体７、９がそれぞれ
振動する。また、これらの振動は弾性梁部材21にねじり
振動を発生させるとともに弾性梁部材21を介して相互に
関係する。これにより、隅部7b、9bが左回りの楕円軌道
を描くように振動し、円盤４が左回りに回転する。
交流電圧e5を印加するとともに縦振動子６に e6＝V6sin（ωｔ＋θ2） ……（４） （ただしV6は交流電圧e6の振幅値、θ2は交流電圧e5、e6
の位相差）なる交流電圧e6を印加し、位相差θ2をπ/2
に設定すると、第１図と同様に弾性体７、９がそれぞれ
振動する。また、これらの振動は弾性梁部材21にねじり
振動を発生させるとともに弾性梁部材21を介して相互に
関係する。これにより、隅部7b、9bが左回りの楕円軌道
を描くように振動し、円盤４が左回りに回転する。
また、（４）式においてθ2を−π/2に設定すると、両
者の楕円軌道が右回りに回転し、円盤４が右回りに回転
する。
者の楕円軌道が右回りに回転し、円盤４が右回りに回転
する。
以上説明したように第３の実施例によれば、第２の実施
例と同様に円盤４を容易に逆回転させることができると
ともに、第２の実施例と比較して構成が簡単である。
例と同様に円盤４を容易に逆回転させることができると
ともに、第２の実施例と比較して構成が簡単である。
「考案の効果」 以上説明したように本考案によれば、各超音波リニアア
クチュエータの振動素子に適切な駆動電圧を供給するこ
とで、これらの縦振動によるねじり振動を各超音波アク
チュエータの弾性体と弾性梁部材に発生させ、それらを
相互に関連しあうようにすることができ、これによって
弾性体の基端部に楕円振動を発生させることができる。
また、駆動電圧の周波数、位相差、弾性梁部材の材質お
よび寸法等を適切に設定するならば、超音波アクチュエ
ータの駆動力を正逆両方向に回転部材に伝えることがで
きるとともに、超音波アクチュエータの駆動力を増加す
るように、縦振動とねじり振動を発生させることができ
る。
クチュエータの振動素子に適切な駆動電圧を供給するこ
とで、これらの縦振動によるねじり振動を各超音波アク
チュエータの弾性体と弾性梁部材に発生させ、それらを
相互に関連しあうようにすることができ、これによって
弾性体の基端部に楕円振動を発生させることができる。
また、駆動電圧の周波数、位相差、弾性梁部材の材質お
よび寸法等を適切に設定するならば、超音波アクチュエ
ータの駆動力を正逆両方向に回転部材に伝えることがで
きるとともに、超音波アクチュエータの駆動力を増加す
るように、縦振動とねじり振動を発生させることができ
る。
また、１つの弾性体に２つの斜面を形成し、各斜面に振
動素子を設け、各振動素子を回転部材の回転方向前方側
と後方側に向ける構成にすると、駆動電圧の周波数と位
相差を適宜設定することで容易に回転部材を正逆両方向
に回転駆動することができる。
動素子を設け、各振動素子を回転部材の回転方向前方側
と後方側に向ける構成にすると、駆動電圧の周波数と位
相差を適宜設定することで容易に回転部材を正逆両方向
に回転駆動することができる。
更に、弾性梁部材を短尺部材にすることで、駆動電圧の
位相差を調節することにより容易に回転部材を正逆両方
向に回転駆動できるようになる。
位相差を調節することにより容易に回転部材を正逆両方
向に回転駆動できるようになる。
第１図は本考案の第１の実施例の斜視図、第２図は本考
案の第２の実施例の斜視図、第３図（イ）は本考案の第
３の実施例の斜視図、同図（ロ）（ハ）はその正面図お
よび側面図、第４図は従来の超音波アクチュエータの斜
視図、第５図は第４図の要部の拡大図である。 １、２、11、12……超音波リニアアクチュエータ、４…
…円盤（回転部材）、６、８、14、15、17、18……縦振
動子、７、９、13、16……弾性体、7a、9a、13a、16a…
…斜面、7b、9b、13b、16b……隅部（基端部）、10、21
……弾性梁部材、
案の第２の実施例の斜視図、第３図（イ）は本考案の第
３の実施例の斜視図、同図（ロ）（ハ）はその正面図お
よび側面図、第４図は従来の超音波アクチュエータの斜
視図、第５図は第４図の要部の拡大図である。 １、２、11、12……超音波リニアアクチュエータ、４…
…円盤（回転部材）、６、８、14、15、17、18……縦振
動子、７、９、13、16……弾性体、7a、9a、13a、16a…
…斜面、7b、9b、13b、16b……隅部（基端部）、10、21
……弾性梁部材、
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−125179（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−1486（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−262068（ＪＰ，Ａ)
Claims (3)
- 【請求項１】周まわりに回転自在に設けられた板状また
は盤状の回転部材と、この回転部材の一面に回転部材の
回転方向に沿って互いに離間して設けられた一対の超音
波リニアアクチュエータと、前記一対の超音波リニアア
クチュエータどうしを結合した弾性梁部材とを具備して
構成され、 前記超音波リニアアクチュエータが、直方体状の弾性部
材とこの弾性部材の一部に取り付けられた縦振動子を具
備して構成されるとともに、前記弾性部材の一部に前記
回転部材の一面に対して傾斜する斜面が、前記回転部材
の回転方向前方側と後方側のいずれか一方に向いて形成
され、前記斜面に前記斜面に垂直な方向に縦振動して弾
性体と弾性梁部材とを相互関連ねじり振動させて弾性部
材の基端部に楕円振動を生じさせる縦振動子が取り付け
られ、前記弾性部材が、その基端部を回転部材の一面に
当接させ、縦振動子を回転部材の回転方向前方側あるい
は後方側に向けて設置されてなることを特徴とする超音
波アクチュエータ。 - 【請求項２】周まわりに回転自在に設けられた板状また
は盤状の回転部材と、この回転部材の一面に回転部材の
回転方向に沿って互いに離間して設けられた一対の超音
波リニアアクチュエータと、前記一対の超音波リニアア
クチュエータどうしを結合した弾性梁部材とを具備して
構成され、 前記超音波リニアアクチュエータが、直方体状の弾性部
材とこの弾性部材の一部に取り付けられた縦振動子を具
備して構成されるとともに、前記弾性部材の一部に前記
回転部材の一面に対して傾斜する２つの斜面が、前記回
転部材の回転方向前方側と後方側に向いて形成され、前
記各斜面に前記斜面に垂直な方向に縦振動して弾性体と
弾性梁部材とを相互関連ねじり振動させて弾性部材の基
端部に楕円振動を生じさせる縦振動子が取り付けられ、
前記弾性部材が、その基端部を回転部材の一面に当接さ
せ、縦振動子を回転部材の回転方向前方側と後方側に向
けて設置されてなることを特徴とする超音波アクチュエ
ータ。 - 【請求項３】前記弾性梁部材が短尺部材からなることを
特徴とする請求項１記載の超音波アクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989057630U JPH0724959Y2 (ja) | 1989-05-19 | 1989-05-19 | 超音波アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989057630U JPH0724959Y2 (ja) | 1989-05-19 | 1989-05-19 | 超音波アクチュエータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH031692U JPH031692U (ja) | 1991-01-09 |
| JPH0724959Y2 true JPH0724959Y2 (ja) | 1995-06-05 |
Family
ID=31582514
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989057630U Expired - Lifetime JPH0724959Y2 (ja) | 1989-05-19 | 1989-05-19 | 超音波アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0724959Y2 (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60125179A (ja) * | 1983-12-10 | 1985-07-04 | Hitachi Maxell Ltd | 物体に進行波を発生させる方法 |
| JP2652546B2 (ja) * | 1987-03-24 | 1997-09-10 | 日本特殊陶業株式会社 | 超音波モータ |
| JPS63262068A (ja) * | 1987-04-15 | 1988-10-28 | Canon Inc | 振動波モ−ター |
-
1989
- 1989-05-19 JP JP1989057630U patent/JPH0724959Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH031692U (ja) | 1991-01-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |