JPH07211035A - 磁気記録再生装置。 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ＮＣＳＳ動作を行ない高密度記録が容易な磁
気記録再生装置を提供する。 【構成】 第１の支持アーム４にジンバルばね３で支え
られている浮上型磁気ヘッドＨの浮上面２ａ側と反対側
の面の中央部付近に設けた回動支点５を介してスライダ
部２に押圧力を印加させ、第１の支持アーム４に間隔を
隔てて並設されており、磁気記録媒体円盤面の面振れと
無関係に所定の空間位置に固定されるように制御される
バイモルフ形態の圧電素子により構成された第２の支持
アーム１０と、第１の支持アーム４との間に押圧力伝達
部材１６を設け、スライダ部２に押圧力を伝達させる。
第１，第２の支持アームは浮上型磁気ヘッドの機械的振
動に対して両端支持形態の支持体として浮上型磁気ヘッ
ドの機械的振動を低減させる。バイモルフ形態の圧電素
子によって構成されている第２の支持アームに対して、
磁気記録媒体円盤の回転運転状態と対応して所定の大き
さ及び極性を有する電圧を供給する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は高密度磁気記録再生に適
する浮上型磁気ヘッドを備えて、ノン・コンタクト・ス
タート・ストップ（ＮＣＳＳ）方式で動作するのに適し
た構成態様とした磁気記録再生装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】磁気記録媒体円盤(磁気ディスク）の記
録再生装置において、磁気記録媒体円盤面を傷付けるこ
となく、安定に信号の記録再生ができるようにするため
に、磁気ディスクに対する情報信号の記録動作時と磁気
ディスクからの情報信号の再生動作時とに、磁気記録媒
体円盤面に対して磁気ヘッドの磁気空隙部が、所定の微
小な間隔を隔てて浮上した状態で記録再生動作を行なう
浮上型磁気ヘッドが用いられることがある。そして、磁
気ヘッドとして浮上型磁気ヘッドが用いられている磁気
記録再生装置では、面振れのある状態で駆動回転されて
いる磁気ディスクにおける磁気記録媒体円盤面上におけ
る磁気ヘッドの安定走行動作と、浮上型磁気ヘッドの支
持機構における機械的共振の除去などの観点に立って装
置の機能の向上を計るとともに、近年、特に高密度記録
再生を達成するために、浮上型磁気ヘッドのスライダ部
を磁気ディスクの磁気記録媒体円盤面上に、例えば０.
０５μｍというように極めて近接させた状態で、安定に
浮上させようというような試みもなされるようになっ
た。

【０００３】さて、磁気記録媒体円盤面からある程度離
れた位置に磁気ヘッドの磁気空隙面が位置するようにし
て記録再生が行われるようにした場合には、磁気へッド
の磁気空隙と記録媒体円盤面との距離が大になると、磁
気へッドの磁気空隙からの記録用の磁束が拡がってしま
って高密度記録が困難になる他、高密度記録のために大
きな抗磁力を有する磁気記録媒体が使用される際に、そ
の磁気記録媒体に磁気記録を行うことができるような磁
束を発生させるために、磁気ヘッドに大きな記録電流を
流すことが必要とされたり、再生時に浮上のためのギャ
ップ損失が大きくなったりするので、磁気記録媒体円盤
面から離れた位置に磁気ヘッドの磁気空隙面が位置する
ようにして記録再生動作を行なう浮上型磁気ヘッドによ
って高密度記録再生を実現することは困難なのであり、
浮上型磁気ヘッドによって高密度記録再生を実現するた
めには、磁気記録媒体円盤面から浮上している磁気ヘッ
ドの磁気空隙面と磁気記録媒体円盤面とが極めて接近し
た状態になされるように浮上型磁気ヘッドのスライダ部
を浮上させることが必要とされる。

【０００４】ところで、浮上型磁気ヘッドのスライダ部
の浮上面を磁気ディスクの磁気記録媒体円盤面に極めて
近接した状態で安定に浮上させるのには、高速回転する
磁気記録媒体円盤面と浮上型磁気ヘッドのスライダ部の
浮上面との間の薄層気体流によってスライダの浮上面に
生じる揚力に対して、浮上型磁気ヘッドの支持構造を介
して浮上型磁気ヘッドのスライダ部に印加する押圧力
が、常に適正な関係の値となるようにされることが必要
である他に、浮上型磁気ヘッドとそれの支持構造の部分
で生じる機械的共振が悪影響を及ぼさないようにしなけ
ればならない。そして、浮上型磁気ヘッドを使用した磁
気記録再生装置では、磁気ディスクが停止状態におい
て、浮上型磁気ヘッドのスライダ部の浮上面が磁気ディ
スク面に接触状態とされるコンタクト・スタート・ストッ
プ（ＣＳＳ）方式と、磁気ディスクの停止状態において
も浮上型磁気ヘッドのスライダ部の浮上面が磁気ディス
ク面に非接触状態とされるノン・コンタクト・スタート
・ストップ（ＮＣＳＳ）方式との何れかの方式が採用さ
れる。

【０００５】磁気記録再生装置に前記のＣＳＳ方式が採
用された場合には、磁気記録媒体円盤面と浮上型磁気ヘ
ッドのスライダ部の浮上面とが吸着して、磁気記録媒体
円盤面や浮上型磁気ヘッドのスライダ部の浮上面などが
破壊するようなことがないようにするために、例えば、
磁気記録媒体円盤面に微小な凹凸を設けるようにした
り、あるいは、磁気記録媒体円盤面に薄い潤滑剤の塗膜
を構成させるようにしたりする等の磁気記録媒体円盤面
や浮上型磁気ヘッドのスライダ部の浮上面の破壊防止の
ための解決手段が適用されるが、前記のような解決手段
が施された場合には、高密度記録再生を達成するため
に、浮上型磁気ヘッドのスライダ部を磁気ディスクの磁
気記録媒体円盤面上に、例えば０.０５μｍというよう
な極めて近接させた状態で、安定に浮上させることがで
きないから、前記のように浮上型磁気ヘッドのスライダ
部を磁気ディスクの磁気記録媒体円盤面上に、例えば
０.０５μｍというような極めて近接させた状態で、安
定に浮上させるようにする際には、鏡面状の表面を備え
た磁気記録媒体が使用されることになるから、当然のこ
とながらＣＳＳ方式は採用できないことになる。

【０００６】それで、浮上型磁気ヘッドのスライダ部を
磁気ディスクの磁気記録媒体円盤面上に極めて近接させ
た状態で、安定に浮上さて記録再生動作を行なうため
に、鏡面状の表面を備えた磁気記録媒体を使用した場合
には、ＮＣＳＳ方式を採用することになる。そして、Ｎ
ＣＳＳ方式においては、磁気ディスクの停止状態の際
に、浮上型磁気ヘッドのスライダ部の浮上面が、磁気記
録媒体円盤面から離隔された位置に保持されるようにし
ておき、磁気ディスクが所定の回転数で回転している状
態において、前記の浮上型磁気ヘッドのスライダ部の浮
上面が磁気記録媒体円盤面上に所定の態様で浮上してい
る状態になるようにさせるが、前記した磁気ディスクの
回転時と非回転時とにおける浮上型磁気ヘッドの変位動
作を、例えばバイモルフ形態の圧電素子を用いた駆動機
構などによって行なうようにすることも、例えば特開昭
６０ー８３２８０号公報、特開昭６０ー１３３５７５号
公報、特開昭６１ー１４８６８１号公報、特開昭６２ー
８９２８５号公報、特開昭６３ー８３９７９号公報、特
開昭６３ー２７５０８３号公報、特開平３ー８８１８５
号公報、特開平３ー１７８７８５号公報、特開平４ー２
８１２７５号公報、その他により従来から提案されてい
る。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところが、前記した公
開公報等によって開示されている従来技術において、動
圧ヘッドを動作させるだけの押圧力と抗圧力とを得るこ
とができない変位量や押圧力しか発生できない圧電素子
を使用して、負圧浮動浮上型磁気ヘッド型を変位させる
ようにしているものでは、磁気ディスクの面上に所定の
微小な距離に浮上型磁気ヘッド型を浮上させた状態に制
御することが困難であったり、ヘッドの離間時に離間用
の高周波を供給したりすることが必要とされたり、また
は、動圧ヘッドを動作させるだけの押圧力と抗圧力とを
得ることができない変位量や押圧力しか発生できない圧
電素子を使用して浮上型磁気ヘッドを動作させるため
に、倍力機構やカム等の複雑な機構が用いられていた
り、もしくは、支持アームに取付けられた浮上型磁気ヘ
ッドに対して所定の押圧力を供給することが困難であっ
たり、浮上型磁気ヘッドを含む支持アーム部分の機械的
共振系の特性に基づいて、浮上型磁気ヘッドのスライダ
部を磁気ディスクの磁気記録媒体円盤面上に、例えば
０.０５μｍというような極めて近接させて安定に浮上
させた状態として高密度記録再生を良好に行なわせるこ
とができなかったりしていたので、ＮＣＳＳ方式を適用
して良好に動作する磁気記録再生装置を構成することが
困難であったので、前記の諸問題の解決策が求められ
た。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は浮上型磁気ヘッ
ドが取付けてあるジンバルばねを、先端部付近に固着さ
せてある第１の支持アームの基部と、前記した第１の支
持アームに対して間隔を隔てて並設されているととも
に、バイモルフ形態の圧電素子によって構成してある第
２の支持アームの基部とを共通の取付部材に互いに電気
的に絶縁された状態で固着し、浮上型磁気ヘッドのスラ
イダ部における浮上面側とは反対側の面の中央部付近に
設けた回動支点の先端部を、前記したジンバルばねの弾
力によって第１の支持アームに当接させて、前記した回
動支点を介して浮上型磁気ヘッドのスライダ部に押圧力
を印加させ、また、前記した第１の支持アームの基部付
近に設けられているばねにより、第１の支持アームと第
２の支持アームとの間隔が小さくなる方向に第１の支持
アームを付勢させ、さらに前記の回動支点の位置付近に
おける第１の支持アームと第２の支持アームとの間に、
前記した第１の支持アームと第２の支持アームとの間隔
を大にさせる方向に付勢する押圧力伝達部材とを設け、
さらにまた第２の支持アームと第１の支持アームとの間
隔の最大値を制限する部材を第２の支持アームに設けて
なる浮上型磁気ヘッドの支持部と、前記した浮上型磁気
ヘッドの支持部における第２の支持アームの所定の空間
中での設定位置を、磁気記録媒体円盤の回転運転状態と
対応して変化させるように、前記した第２の支持アーム
を構成しているバイモルフ形態の圧電素子に供給する電
圧の大きさと極性とを制御する手段とを備えてなる磁気
記録再生装置、及び前記した磁気記録再生装置において
浮上型磁気ヘッドの支持部における第２の支持アームの
所定の空間中での設定位置を、浮上型磁気ヘッドのロー
ドオン時と待機状態における浮上型磁気ヘッドのロード
オフ時との動作状態の変更時に、浮上型磁気ヘッドの支
持部における第２の支持アーム部分の機械的振動系にお
ける１次共振周波数値と対応する周期の少なくとも１／
８の時間をかけて、前記した浮上型磁気ヘッドの支持部
における第２の支持アームの２つの空間位置間での変位
動作が行なわれるように前記した第２の支持アームを構
成しているバイモルフ形態の圧電素子に供給する電圧の
大きさと極性とを制御する手段とを備えてなる磁気記録
再生装置を提供する。

【０００９】

【作用】磁気記録媒体円盤面と浮上型磁気ヘッドのスラ
イダ部の浮上面との間の薄層気体流によりスライダ部の
浮上面に生じた揚力によって、磁気記録媒体円盤面上に
浮上状態にされる浮上型磁気ヘッドは、第１の支持アー
ムの先端部付近に設けられているジンバルばねに支えら
れており、浮上型磁気ヘッドのスライダ部における浮上
面側とは反対側の面の中央部付近に設けた回動支点の先
端部が当接している第１の支持アームから、前記した回
動支点を介して浮上型磁気ヘッドのスライダ部に押圧力
が印加される。前記した第１の支持アームに対して間隔
を隔てて並設されているとともに、記録再生動作時に磁
気記録媒体円盤面の面振れとは無関係に所定の空間位置
に固定されるように制御されるバイモルフ形態の圧電素
子によって構成されている第２の支持アームに対して、
第２の支持アームとの間隔が小さくされるようにばねで
付勢されている第１の支持アームと、前記の回動支点の
位置付近における第１の支持アームと第２の支持アーム
との間に、前記した第１の支持アームと第２の支持アー
ムとの間隔を大にさせる方向に付勢されていて、第２の
支持アームとの接触点が第１の支持アームと第２の支持
アームとの間隔に従って変化するようなものとして設け
られており小型で小さな曲げ量を大きな押圧力にできる
押圧力伝達部材と、回動支点とを介して浮上型磁気ヘッ
ドのスライダ部に印加する押圧力が伝達される。前記し
た第１の支持アームと第２の支持アームとは、浮上型磁
気ヘッドの機械的振動に対して両端支持形態の支持体と
して機能するために、浮上型磁気ヘッドの機械的振動を
低減できる。

【００１０】第１の支持アームに対して間隔を隔てて並
設されているとともに、記録再生動作時に磁気記録媒体
円盤面の面振れとは無関係に所定の空間位置に固定され
るように制御されるバイモルフ形態の圧電素子によって
構成されている第２の支持アームに対して、磁気記録媒
体円盤の回転運転状態と対応して所定の大きさ及び極性
を有する電圧をバイモルフ形態の圧電素子に供給するこ
とにより、磁気記録媒体円盤面から浮上型磁気ヘッドま
での距離を、それぞれ所定のように容易に変化でき、ま
た、前記の距離の変化に際して部材の変位が行なわれる
時間を、第２の支持アーム部分の機械的振動系における
１次共振周波数値と対応する周期の少なくとも１／８の
時間をかけて、前記した浮上型磁気ヘッドの支持部にお
ける第２の支持アームの２つの空間位置間での変位動作
が行なわれるようにしたり、さらに、第２の支持アーム
と第１の支持アームとの間隔の最大値を制限する部材が
第２の支持アームに設けてあるために、ＮＣＳＳ方式の
動作を安定確実に行なうことができる。

【００１１】

【実施例】以下、添付図面を参照して本発明の磁気記録
再生装置の具体的な内容を詳細に説明する。図１及び図
２はそれぞれ本発明の磁気記録再生装置の側面図、図３
乃至図６はそれぞれ本発明の磁気記録再生装置の動作を
説明するための一部の側面図、図７は本発明の磁気記録
再生装置の動作を説明するための波形例図、図８は本発
明の磁気記録再生装置の一部の動作状態を示す平面図、
図９は本発明の磁気記録再生装置の一部の動作説明用の
特性曲線例図、図１０はバイモルフ形態の圧電素子の特
性曲線例図である。各図において、Ｄは磁気記録媒体円
盤（磁気ディスク）であり、この磁気ディスクＤは例え
ばガラスあるいはアルミニウムの基板における鏡面研磨
された表面に、磁性膜を付着形成させて磁気記録媒体円
盤面１を構成させたものであり、前記の磁気ディスクＤ
は記録再生動作の開始に先立って、図示されていない回
転駆動機構によって所定の回転数で駆動回転される。

【００１２】また、Ｈは浮上型磁気ヘッドであり、この
浮上型磁気ヘッドＨは、磁気ディスクＤにおける磁気記
録媒体円盤面１と浮上型磁気ヘッドＨのスライダ部２の
浮上面２ａとの間の薄層気体流によって浮上面２ａに生
じる揚力により磁気記録媒体円盤面１に対して浮上状態
にされて記録再生動作を行なうが、磁気記録媒体円盤面
１と浮上型磁気ヘッドＨのスライダ部２の浮上面２ａと
の距離（浮上量…浮上高さ）は、前記した磁気ディスク
Ｄにおける磁気記録媒体円盤面１と浮上型磁気ヘッドＨ
のスライダ部２の浮上面２ａとの間の薄層気体流によっ
て浮上面２ａに生じる揚力と、浮上型磁気ヘッドＨのス
ライダ部２に印加される後述の押圧力とによって決定さ
れる。なお浮上型磁気ヘッドＨには、記録再生の対象と
される情報信号を磁気ディスクＤに記録したり、磁気デ
ィスクＤに記録された情報信号を再生する際に使用され
る磁気記録再生部が設けられていることは周知のとおり
である。前記した磁気記録再生部としては、所定の微小
寸法の磁気空隙を構成させた強磁性体材料によるコア
と、導電性材料によるコイルとを有する薄膜ヘッドを使
用することができる。なお、添付の各図中には図示を簡
略化するために、前記した磁気記録再生部や磁気記録再
生部のコイルに対する配線等に関する図示説明は省略し
てある。

【００１３】前記した浮上型磁気ヘッドＨのスライダ部
２の上面には、例えば接着剤によってジンバルばね３の
一方の端部付近が固着させてあり、前記のジンバルばね
３の他端３ａは第１の支持アーム４の先端部近くに、例
えば溶着のような手段によって固着されている。浮上型
磁気ヘッドＨのスライダ部２の上面の中心部付近には突
起５が設けられているが、前記のジンバルばね３によ
り、浮上型磁気ヘッドＨのスライダ部２が、前記した第
１の支持アーム４の方に付勢されていることによって、
前記の突起５の先端部は第１の支持アーム４の下面に当
接し、それにより前記した突起５は回動支点として機能
することになる。前記した突起５は、例えば前記したジ
ンバルばね３に、プレス加工（ポンチ）を施して構成さ
せたものであってもよい。なお、浮上型磁気ヘッドＨに
おけるスライダ部２が、静電容量値の変化検出用電極を
も備えたものとして構成されるような場合には、スライ
ダ部２の上面に、例えば薄いガラス板を介してジンバル
ばね３を固着するなどして、スライダ部２と第１の支持
アーム４とが電気的に絶縁されているようにする。

【００１４】前記した第１の支持アーム４は、それの基
部４ａに導電物質製の薄板７と絶縁物製のスペーサ８と
を接着または溶着等の手段によって固着させてあり、そ
の第１の支持アーム４の基部４ａには、後述する第２の
支持アーム１０の基部１０ａに固着させた導電物質製の
薄板９を、前記のスペーサ８に接着または溶着等の手段
によって固着させた状態で、第１の支持アーム４と第２
の支持アーム１０とが間隔を隔てて並設されるようにし
て一体化し、前記の第１の支持アーム４の基部４ａと第
２の支持アーム１０の基部１０ａとは、共通の取付部材
６にねじ１１によって取付けられる。取付部材６に取付
けられた第１の支持アーム４の基部４ａに続く部分４ｂ
は、前記した第１の支持アーム４と第２の支持アーム１
０との間隔が小さくなる方向に第１の支持アームを付勢
させるばねとして機能するようにされており、また、第
１の支持アーム４における４ｃの部分は、機械的な強度
を高めるための折曲げ部である。そして、前記した第１
の支持アーム４は、薄い弾性物質の板、例えば薄いステ
ンレススチール板を打抜き加工して作ることができる。

【００１５】図１中に示されている第２の支持アーム１
０は、薄い導電性の弾性薄板で作られているシム１２の
両面に、それぞれ薄い圧電素子１３，１４を貼着してな
るバイモルフ形態の圧電素子によって構成させた場合の
構成例を示している。そして、前記のバイモルフ形態の
圧電素子によって構成されている第２の支持アーム１０
は、バイモルフ形態の圧電素子に印加する電圧の極性を
変えることにより、図１の(ａ)に示されている状態と図
１の（ｂ）に示されている状態とに変化する。既述した
回動支点５の先端部が当接している第１の支持アーム４
の先端部付近には、押圧力伝達部材１６の端部の取付部
２０が、例えば接着剤によって第１の支持アーム４に固
着されたり、あるいは押圧力伝達部材１６の端部の取付
部２０が溶着によって第１の支持アーム４に固着されて
おり、また第２の支持アーム１０の先端部にはガラスの
薄板１５が、例えば接着剤によって固着されている。

【００１６】そして前記した押圧力伝達部材１６の端部
の取付部２０には、弾性体で構成させてある押圧力伝達
部材１６の基端部が例えば、溶着または接着等の固着手
段によって固着されている。また前記の押圧力伝達部材
１６の先端部には半円形状の折曲部１６ａが構成されて
おり、前記の折曲部１６ａは前記してガラスの薄板１５
の面に摺動自在に当接されていて、前記の押圧力伝達部
材１６は、前記した第１の支持アーム４と第２の支持ア
ーム１０との間隔を大にする方向に付勢するばねとして
機能する。前記の押圧力伝達部材１６による第１の支持
アーム４と第２の支持アーム１０との間隔を大にする方
向に付勢するばねの弾力の大きさは、第１の支持アーム
４と第２の支持アーム１０との間隔を小にする方向に付
勢する第１の支持アーム４における４ｂの部分のばねの
弾力の大きさよりも大きい。前記したガラスの薄板１５
は、押圧力伝達部材１６の先端部に構成させた半円形状
の折曲部１６ａを、その表面上で容易に滑らせるととも
に、押圧力伝達部材１６の先端部の半円形状の折曲部１
６ａの摺動によっても摩耗しないような機能を備えてい
る部材として用いられているものである。

【００１７】第１の支持アーム４は例えば厚さが２５μ
ｍのステンレススチールの薄板で構成されており、第１
の支持アーム４と第２の支持アーム１０との間隔が小さ
くなる方向に第１の支持アーム４の基部付近４ｂの弱い
ばねの弾力によって付勢されているが、この第１の支持
アーム４に一端部が固着されたジンバルばね３に取付け
られている浮上型磁気ヘッドＨは、回動支点５によって
第１の支持アーム４に当接しているから、磁気ディスク
Ｄの面振れに応じて浮上型磁気ヘッドＨが上下方向に変
位すると、それにつれて第１の支持アーム４も上下方向
に変位する。ところで、第２の支持アーム１０は、浮上
型磁気ヘッドＨが磁気ディスクＤの面振れに応じて上下
方向に変位しても一定の空間位置に保持されているか
ら、前記のように浮上型磁気ヘッドＨが、磁気ディスク
Ｄの面振れに応じて上下方向に変位するのにつれて第１
の支持アーム４が上下方向に変位した際には、第１の支
持アーム４と第２の支持アーム１０との間に設けられて
いる前記の押圧力伝達部材１６が変形して、前記した面
振れによる浮上型磁気ヘッドＨの上下方向での変位に応
答する。

【００１８】ところで、前記した第２の支持アーム１０
には、第１の支持アーム４と第２の支持アーム１０との
間隔の最大値を制限するための部材１７が取付けられて
いるから、第２の支持アーム１０が磁気記録媒体円盤面
１から大きく離隔した状態の空間位置を占める状態とな
るように変位されたとしても、第１の支持アーム４は第
２の支持アーム１０に取付けられている第１の支持アー
ム４と第２の支持アーム１０との間隔の最大値を制限す
るための部材１７によってその位置が、例えば図１の
（ｂ）に例示されているような状態に規制される。ま
た、前記の部材１７は第１の支持アーム４にジンバルば
ね３を介して取付けられている浮上型磁気ヘッドＨにお
けるスライダ部２の浮上面２ａの最下方位置も、前記の
部材１７に第１の支持アーム４が係合した状態によって
定められることになる。

【００１９】前記した第１の支持アーム４や第２の支持
アーム１０に比べて、非常に小さい寸法形状のもの（例
えば、幅が０．８７ｍｍ、長さが１.５ｍｍ、厚さが２
５μｍのステンレススチール）で、極めて軽量であると
ともに大きなスティフネスを有している前記した押圧力
伝達部材１６は、第１の支持アーム４と第２の支持アー
ム１０との自由端側付近で、押圧力伝達部材１６自体の
弾力による変形によって、前記した第１の支持アーム４
と第２の支持アーム１０とを実質的に連絡している状態
にして、前記した第１の支持アーム４と第２の支持アー
ム１０とがあたかも両支持梁のような構成形態のものと
して動作するので、前述のような構成態様を備えている
浮上型磁気ヘッドの支持部は、前記のように高い周波数
帯域まで良好な応答特性を示すものとなる。

【００２０】すなわち、前述のように構成されている浮
上型磁気ヘッドの支持部は、第２の支持アーム１０の空
間的な位置が、一定に保持されている状態において、面
振れにより浮上型磁気ヘッドＨの上下方向での加速度変
化に対して、第１の支持アーム４と第２の支持アーム１
０との間に設けられている押圧力伝達部材１６の先端部
の半円形状の折曲部１６ａが第２の支持アーム１０に固
着されているガラスの薄板１５上を微小量だけ摺動しな
がら変形し、浮上型磁気ヘッドＨが高い周波数成分につ
いても上下方向で変位して良好に応答することができ、
浮上型磁気ヘッドＨは前記の押圧力伝達部材１６と回動
支点５とを介して印加される押圧力と、前記した浮上型
磁気ヘッドＨのスライダ部の浮上面へ薄層気体流によっ
て与えられる揚力とがバランスする状態となる浮上量、
例えば０.０４μｍ〜０.０８μｍで浮上する。

【００２１】前記のような構成の浮上型磁気ヘッドの支
持部により支持された浮上型磁気ヘッドＨを用いて、磁
気ディスクに記録再生動作を行なった実験例、すなわ
ち、毎分３６００回転させている磁気ディスクにおける
５５ｍｍの直径位置で、ヘッド巾２.３μｍ、磁気空隙
長０.２６μｍの薄膜ヘッドを備えた浮上型磁気ヘッド
Ｈと磁気ディスクとの相対線速度が１０.３７ｍ／ｓ
で、磁気ディスクの磁性膜のＨｃが約２０００Ｏｅ、浮
上型磁気ヘッドＨの浮上高さが０.０５μｍで、２５.５
ＭＨｚの記録信号を記録したところ、Ｄ50が１２５Ｋビ
ット／インチであり、Ｃ／Ｎが３７ｄＢであり、エンベ
ロープが安定な再生信号波形を有する再生信号が得られ
た。

【００２２】前記した浮上型磁気ヘッドの支持部におけ
る第２の支持アーム１０において１２はシム、１３，１
４は圧電素子（圧電セラミック）、１５は薄いガラス板
（絶縁物製で表面が滑り易く、かつ耐摩耗性の板）、１
８，１９は接続線である。前記の第２の支持アーム１０
は、シム１２と圧電素子１３，１４とによりバイモルフ
形態のものとして構成されており、接続線１８，１９に
対して外部の制御回路から所定の極性と大きさの電圧を
与えることにより、第２の支持アーム１０は図１の
（ａ）のようにロードオンの状態にされたり、あるいは
図１の（ｂ）のようにロードオフの状態にされたりす
る。

【００２３】さて、磁気記録媒体円盤面１上の空間中に
存在している浮上型磁気ヘッドの支持部における第２の
支持アーム１０の空間位置は、磁気ディスクＤの面振れ
に応じて浮上型磁気ヘッドＨが上下方向に変位している
場合でも変化しないようにされているのであり、このよ
うに第２の支持アーム１０の空間的な位置が、一定に保
持されている状態において、面振れにより浮上型磁気ヘ
ッドＨが上下方向に変位すると、第１の支持アーム４と
第２の支持アーム１０との間に設けられている押圧力伝
達部材１６の先端部の半円形状の折曲部１６ａが、第２
の支持アーム１０に固着されているガラスの薄板１５上
を微小量だけ摺動しながら変形して、前記の伝達部材１
６の弾力が回動支点５とを介して浮上型磁気ヘッドＨに
押圧力として印加される。そして、前記のように浮上型
磁気ヘッドＨのスライダ部２に印加された押圧力と、浮
上型磁気ヘッドＨのスライダ部２の浮上面２ａへ薄層気
体流によって与えられる揚力とがバランスする状態によ
って、浮上型磁気ヘッドＨのスライダ部２の浮上面２ａ
と磁気記録媒体円盤面１との距離、すなわち、浮上型磁
気ヘッドＨの浮上量が定まる。

【００２４】例えば、前記した第２の支持アーム１０の
空間位置が磁気記録媒体円盤面１に近付けば、前記した
浮上型磁気ヘッドＨに印加される押圧力が増加して浮上
型磁気ヘッドＨの浮上量が減少し、また前記した第２の
支持アーム１０の空間位置が磁気記録媒体円盤面１から
遠のけば、前記した浮上型磁気ヘッドＨに印加される押
圧力が増加して浮上型磁気ヘッドＨの浮上量が減少する
ことになる。図１の（ｂ）は、第２の支持アーム１０を
構成しているバイモルフ形態の圧電素子１３，１４に対
して、第２の支持アーム１０が磁気記録媒体円盤面１か
ら離間する方向で、大きく変位するような極性と大きさ
とを有する電圧を、接続線１８，１９を介して供給した
場合における第１の支持アーム４と第２の支持アーム１
０との状態を示している。

【００２５】ところで、第１の支持アーム４と第２の支
持アーム１０との間に設けられている押圧力伝達部材１
６の弾力と、第１の支持アーム４の基部４ａ付近に設け
られているばね４ｂの弾力とは、前記の押圧力伝達部材
１６の弾力の方が、ばね４ｂの弾力の方が小さく、か
つ、前記した押圧力伝達部材１６の弾力は、第１の支持
アーム４と第２の支持アーム１０との間隔を大にする向
きで、第１の支持アーム４と第２の支持アーム１０とを
付勢し、また、ばね４ｂの弾力は、第１の支持アーム４
と第２の支持アーム１０との間隔を小にする向きで、第
１の支持アーム４と第２の支持アーム１０とを付勢して
いるが、前記のように、第１の支持アーム４と第２の支
持アーム１０とが、図１の（ｂ）に示されているような
状態において、浮上型磁気ヘッドＨのスライダ部２の浮
上面２ａは、磁気記録媒体円盤面１から大きく離隔して
いて、浮上型磁気ヘッドＨのスライダ部２の浮上面２ａ
に気体流によって生じる揚力は無視できる程に小さい場
合には、第１の支持アーム４と第２の支持アーム１０と
の間隔が、前記した押圧力伝達部材１６の弾力によっ
て、第１の支持アーム４と第２の支持アーム１０との間
隔の最大値を制限するための部材１７に第１の支持アー
ム４が衝当る状態の最大間隔まで拡がる。

【００２６】前記した第２の支持アーム１０は、それを
構成しているバイモルフ形態の圧電素子１３，１４に対
して、接続線１８，１９を介して印加される電圧値の大
きさと極性とに従って変形するが、加えられた外力によ
っては変形し難い剛性を備えているから、浮上型磁気ヘ
ッドの支持部に外力が印加された場合に、その外力によ
って第１の支持アーム４にジンバルばね３を介して支持
されている浮上型磁気ヘッドＨが起振されても、その振
動は第１の支持アーム４と第２の支持アーム１０との間
に設けられている押圧力伝達部材１６によって吸収され
るので、浮上型磁気ヘッドＨが磁気記録媒体円盤面１に
衝突して、浮上型磁気ヘッドＨや磁気記録媒体円盤面１
が破壊されるような事態は生じない。

【００２７】次に、図２に示す磁気記録再生装置につい
て説明する。浮上型磁気ヘッドＨがＮＣＳＳ方式を適用
して使用される場合には、磁気記録媒体円盤Ｄが定常回
転状態に入った後に浮上型磁気ヘッドＨを磁気記録媒体
円盤Ｄの表面上に近接させて、浮上型磁気ヘッドＨにお
けるスライダ部２の浮上面２ａに対して薄層気体流によ
って与えられる揚力と、押圧力伝達部材１６と回動支点
５とを介して浮上型磁気ヘッドＨに印加される押圧力と
がバランスする状態の浮上量で、浮上型磁気ヘッドＨが
浮上した状態にされるのであるが、浮上型磁気ヘッドＨ
を磁気記録媒体円盤Ｄの表面上に近接させる動作の始め
においては、押圧力伝達部材１６と回動支点５とを介し
て浮上型磁気ヘッドＨに印加される押圧力が小さいの
で、浮上型磁気ヘッドＨは高い浮上位置で、浮上型磁気
ヘッドＨにおけるスライダ部２の浮上面２ａに対して薄
層気体流によって与えられる小さな揚力との間でバラン
スしているが、前記した押圧力伝達部材１６と回動支点
５とを介して浮上型磁気ヘッドＨに印加される押圧力が
増大して行くのにつれて、浮上型磁気ヘッドＨは磁気記
録媒体円盤Ｄの表面上に一層近接した位置で、浮上型磁
気ヘッドＨにおけるスライダ部２の浮上面２ａに対して
薄層気体流によって与えられる揚力と、押圧力伝達部材
１６と回動支点５とを介して浮上型磁気ヘッドＨに印加
される押圧力とがバランスする。

【００２８】図９は押圧力伝達部材１６と回動支点５と
を介して浮上型磁気ヘッドＨに印加される押圧力と、浮
上型磁気ヘッドＨにおけるスライダ部２の浮上面２ａの
浮上量との関係を得た実験結果を示す図表である。この
図９に示されている図表は、毎分２４００回転している
磁気記録媒体円盤Ｄにおいて、相対線速度が毎秒６.９
メートルとなる直径が５５ｍｍの位置で、スライダ部２
の面積が０.９０６平方ミリメートルで、それぞれ巾０.
１６７ｍｍで長さが２.７１３ｍｍの２個の浮上面２ａ
を備えている浮上型磁気ヘッドＨを使用して得た押圧力
と、浮上型磁気ヘッドＨにおけるスライダ部２の浮上面
２ａの浮上量との関係を示している図である。この図９
を参照すると、浮上型磁気ヘッドＨの押圧力が０.７ｇ
ｒの場合の浮上量は１.７μｍであり、また浮上型磁気
ヘッドＨの押圧力が１.０ｇｒの場合の浮上量は０.２μ
ｍ、さらに浮上型磁気ヘッドＨの押圧力が３.０ｇｒの
場合の浮上量は０.０６７μｍであり、また浮上型磁気
ヘッドＨの押圧力が６.８ｇｒの場合の浮上量は０.０４
９μｍとなっていることが判かる。

【００２９】浮上型磁気ヘッドＨにおけるスライダ部２
の浮上面２ａに対して薄層気体流によって与えられる揚
力と、押圧力伝達部材１６と回動支点５とを介して浮上
型磁気ヘッドＨに印加される押圧力とはバランスしてい
るから、図９中の押圧力は浮上型磁気ヘッドＨにおける
スライダ部２の浮上面２ａに対して薄層気体流によって
与えられる揚力であるとしてもよい。そして、前記した
図９を参照すると、浮上型磁気ヘッドＨにおけるスライ
ダ部２の浮上面２ａに対して薄層気体流によって与えら
れる揚力は、磁気記録媒体円盤Ｄの面１の極めて表層で
しか生じないことが判かる。

【００３０】浮上型磁気ヘッドＨがＮＣＳＳ方式を適用
して使用される場合には、定常回転状態の磁気記録媒体
円盤Ｄの表面上に近接させさせたり、磁気記録媒体円盤
Ｄの表面から離隔させる場合には、浮上型磁気ヘッドＨ
におけるスライダ部２の浮上面２ａが、図２に例示され
ているように磁気記録媒体円盤Ｄの表面と平行な状態
で、近接または離隔されることが重要である。特に、浮
上型磁気ヘッドＨにおけるスライダ部２の浮上面２ａ
が、磁気記録媒体円盤Ｄの表面に対して数μｍの距離に
まで近接した状態においては、スライダ部２の浮上面２
ａの長さ方向及び巾方向における磁気記録媒体円盤Ｄの
表面に対する傾斜度が２〜３μｍ以内にされることが必
要である。すなわち、浮上型磁気ヘッドＨにおけるスラ
イダ部２の浮上面２ａと磁気記録媒体円盤Ｄの表面とが
平行でない場合には、浮上型磁気ヘッドＨが磁気記録媒
体円盤Ｄの表面に近付く際に、浮上型磁気ヘッドＨにお
けるスライダ部２の浮上面２ａの全体が磁気記録媒体円
盤Ｄの表面に一様に接近するのではなく、浮上型磁気ヘ
ッドＨにおけるスライダ部２の浮上面２ａの一部だけが
先に磁気記録媒体円盤Ｄの表面に接近するが、前記のよ
うに浮上型磁気ヘッドＨにおけるスライダ部２の浮上面
２ａの一部だけの実効面積が小さな状態で、浮上型磁気
ヘッドＨにおけるスライダ部２の浮上面２ａが磁気記録
媒体円盤Ｄの表面に接近した場合におけるその部分に生
じている揚力は、浮上型磁気ヘッドＨにおけるスライダ
部２の浮上面２ａの全体が磁気記録媒体円盤Ｄの表面に
一様に接近している場合に生じる揚力に比較して小さい
が、押圧力伝達部材１６と回動支点５とを介して浮上型
磁気ヘッドＨに印加される押圧力は、浮上型磁気ヘッド
Ｈにおけるスライダ部２の浮上面２ａが磁気記録媒体円
盤Ｄの表面に平行な状態でも非平行な状態でも変わりが
ないから、浮上型磁気ヘッドＨにおけるスライダ部２の
浮上面２ａが磁気記録媒体円盤Ｄの表面に非平行な状態
における浮上型磁気ヘッドＨにおけるスライダ部２の浮
上面２ａの浮上量が小さくなり、浮上型磁気ヘッドＨに
おけるスライダ部２の浮上面２ａの一部が瞬間的に磁気
記録媒体円盤Ｄの表面に接触することも生じる。

【００３１】ところで、浮上型磁気ヘッドＨにおけるス
ライダ部２の浮上面２ａの一部が、磁気記録媒体円盤Ｄ
の表面に瞬間的に接触することがあっても、通常は、回
動支点５とジンバルばね３との動作によって、浮上型磁
気ヘッドＨにおけるスライダ部２の浮上面２ａが、磁気
記録媒体円盤Ｄの表面に平行な状態になるようにして正
常な浮上走行状態に入るのであるが、前記した浮上型磁
気ヘッドＨにおけるスライダ部２の首振り現象によっ
て、浮上型磁気ヘッドＨにおけるスライダ部２の浮上面
２ａの一部と、磁気記録媒体円盤Ｄの表面との間で生じ
る一瞬の接触動作は、浮上型磁気ヘッドＨにおけるスラ
イダ部２の浮上面２ａの一部と、磁気記録媒体円盤Ｄの
表面とを傷めるために、それが将来クラッシュ現象を生
じさせる原因となる。

【００３２】前記の原因によって、浮上型磁気ヘッドＨ
や磁気記録媒体円盤Ｄに生じる損傷の程度は、従来装置
で使用されている片持梁形式の浮上型磁気ヘッドＨの支
持アームによって浮上型磁気ヘッドが支持されている場
合に著るしい。すなわち、従来装置で使用されている片
持梁形式の浮上型磁気ヘッドＨの支持アームでは、大き
なスティフネスを有するものとして構成されるから、浮
上型磁気ヘッドＨを磁気記録媒体円盤Ｄの表面に接近さ
せる動作が行なわれる際に浮上型磁気ヘッドＨのスライ
ダ部に印加される押圧力は、１０ｇｒ程度の単位である
が、前記の押圧力とバランスする揚力が浮上型磁気ヘッ
ドＨにおけるスライダ部の浮上面に発生させうる浮上型
磁気ヘッドＨのスライダ部の浮上量は、磁気記録媒体円
盤Ｄの表面から０.１μｍ前後の値となる。前記のよう
に、浮上型磁気ヘッドＨのスライダ部の浮上量が０.１
μｍ前後であるということは、浮上型磁気ヘッドＨを接
近させる動作が行なわれる際に、磁気記録媒体円盤Ｄの
表面に対して許される浮上型磁気ヘッドＨのスライダ部
の浮上面の傾斜度は、０.１μｍ前後の値というように
極めて微小なものとなり、サブミクロンのオーダの精度
で、各構成部分の製作が行なわれることが必要となる
が、そのような精度での構成部分の製作は実際上困難で
ある。

【００３３】したがって、従来装置で使用されている片
持梁形式の構成形態を採用している浮上型磁気ヘッドＨ
の支持アームでは、各構成部分が所要の精度で製作でき
ないことから、ロードオン時とロードオフ時とにおける
浮上型磁気ヘッドＨのスライダ部２の首振り現象によっ
て、浮上型磁気ヘッドＨにおけるスライダ部２の浮上面
２ａの一部と、磁気記録媒体円盤Ｄの表面との間で生じ
る一瞬の接触動作を防止することができない。それで、
長期間の使用中に浮上型磁気ヘッドＨや磁気記録媒体円
盤Ｄに塵埃が付着したり、磁気記録媒体円盤Ｄに傷が発
生したりすることが起こる。それで、片持梁形式の浮上
型磁気ヘッドＨの支持アームを採用している従来装置で
は、機構的にはＮＣＳＳとした積りでも、実際の動作上
ではロードオン時とロードオフ時とに浮上型磁気ヘッド
Ｈと磁気記録媒体円盤Ｄとが接触動作を行なっているの
で、ＮＣＳＳ方式の効果が得られないのである。

【００３４】ところが、既述したように第１の支持アー
ム４と第２の支持アーム１０とが、あたかも両支持梁の
ような構成形態のものとして動作するような構成態様を
備えている浮上型磁気ヘッドの支持部が用いられている
場合には、前記のように浮上型磁気ヘッドＨにおけるス
ライダ部２の浮上面２ａが、磁気記録媒体円盤Ｄの表面
に非平行な状態で磁気記録媒体円盤Ｄの表面に接近する
ことによる浮上型磁気ヘッドＨにおけるスライダ部２の
浮上面２ａの一部と、磁気記録媒体円盤Ｄの表面との間
で一瞬の接触動作が生じることを防止する手段として
は、浮上型磁気ヘッドＨを磁気記録媒体円盤Ｄの表面に
接近させる際に、浮上型磁気ヘッドＨにおけるスライダ
部２の浮上面２ａを磁気記録媒体円盤Ｄの表面に平行な
状態にさせることができるような取付け精度のものとし
て浮上型磁気ヘッドＨの支持部を構成したり、あるい
は、浮上型磁気ヘッドＨにおけるスライダ部２の浮上面
２ａが、磁気記録媒体円盤Ｄの表面から数μｍだけ浮上
している状態のときに、薄層気体流によって前記した浮
上型磁気ヘッドＨのスライダ部の浮上面２ａへ与えられ
る揚力は、既述した図９の図表を参照すると０.６ｇｒ
程度であることから、浮上型磁気ヘッドＨにおけるスラ
イダ部２の浮上面２ａが、磁気記録媒体円盤Ｄの表面か
ら数μｍだけ浮上している状態のときには、押圧力伝達
部材１６と回動支点５とを介して浮上型磁気ヘッドＨに
おけるスライダ部２に印加される押圧力が、０.６ｇｒ
程度になるようにすればよい。

【００３５】そして、浮上型磁気ヘッドＨにおけるスラ
イダ部２に印加される押圧力は、第１の支持アーム４と
第２の支持アーム１０とがあたかも両支持梁のような構
成形態のものとして動作するような構成態様を備えてい
る浮上型磁気ヘッドの支持部における第２の支持アーム
１０を構成しているバイモルフ形態の圧電素子に対し
て、所定の極性と大きさとを有する電圧を供給すること
によって、所定の値に設定することができることは、既
述したところから明らかである。すなわち、磁気記録媒
体円盤面１上の空間中に存在している浮上型磁気ヘッド
の支持部における第２の支持アーム１０の空間位置は、
第２の支持アーム１０を構成しているバイモルフ形態の
圧電素子に対して、所定の極性と大きさとを有する電圧
を供給することにより所定の値に設定することができる
が、第２の支持アーム１０の空間的な位置が、ある空間
位置に一定に保持されている状態において第１の支持ア
ーム４と第２の支持アーム１０との間に設けられている
押圧力伝達部材１６の弾力が回動支点５を介して浮上型
磁気ヘッドＨに押圧力として印加される。

【００３６】そして、前記のように浮上型磁気ヘッドＨ
のスライダ部２に印加された押圧力と、浮上型磁気ヘッ
ドＨのスライダ部２の浮上面２ａへ薄層気体流によって
与えられる揚力とがバランスする状態によって、浮上型
磁気ヘッドＨのスライダ部２の浮上面２ａと磁気記録媒
体円盤面１との距離、すなわち、浮上型磁気ヘッドＨの
浮上量が定まるから、前記した第２の支持アーム１０の
空間位置を、第２の支持アーム１０を構成しているバイ
モルフ形態の圧電素子に対して供給する電圧を調節設定
することにより、例えば、前記の浮上型磁気ヘッドＨの
スライダ部２に印加する押圧力の値を７ｇｒ〜０.６ｇ
ｒのような範囲で変化させて、前記の浮上型磁気ヘッド
Ｈのスライダ部２の浮上面２ａの浮上量を０.０５μｍ
〜数μｍのようにすることが容易にできる。このよう
に、本発明の磁気記録再生装置では揚力を超える押圧力
が浮上型磁気ヘッドＨのスライダ部２に加わることがな
いから、ロードオン動作時及びロードオフ動作時にも浮
上型磁気ヘッドＨのスライダ部２が磁気記録媒体円盤面
１に接触するようなことは起こらない。

【００３７】既述のように、浮上型磁気ヘッドＨにおけ
るスライダ部２の浮上面２ａが、磁気記録媒体円盤Ｄの
表面に対して数μｍの距離にまで近接した状態において
は、スライダ部２の浮上面２ａの長さ方向及び巾方向に
おける磁気記録媒体円盤Ｄの表面に対する傾斜度が２〜
３μｍ以内にされることが必要であるが、傾斜度が２〜
３μｍ以内という数値は、既述した従来装置で使用され
ている片持梁形式の浮上型磁気ヘッドＨの支持アームを
使用して、浮上型磁気ヘッドＨを磁気記録媒体円盤Ｄの
表面に接近させる動作が行なわれる際における浮上型磁
気ヘッドＨのスライダ部の浮上面と磁気記録媒体円盤面
１とが平行の状態から外れている不平行度の許容値が
０.１μｍ前後の値であるというのに比べて、はるかに
大きな数値であるから、本発明の磁気記録再生装置で使
用される浮上型磁気ヘッドＨの支持アームは、多量生産
にも適合できる機械精度で製作可能なものである。

【００３８】図２において、第１の支持アーム４と第２
の支持アーム１０との間隔の最大値を制限するために、
第２の支持アーム１０に取付けられている部材１７は、
第１の支持アーム４を保持している状態になっており、
この状態で前記の第１の支持アーム４に対して、ジンバ
ルばね３を介して取付けられている浮上型磁気ヘッドＨ
におけるスライダ部２の浮上面２ａは、停止状態の磁気
記録媒体円盤面１の数μｍ上方に磁気記録媒体円盤面１
と平行な状態になるが、前述した図２に示されている各
部の状態は、図６に示してあるように第２の支持アーム
１０を構成しているバイモルフ形態の圧電素子に対して
供給する電圧を０とし、圧電素子への接続線を１８，１
９を短絡した状態で得られるのである。

【００３９】そして、図２に示されている浮上型磁気ヘ
ッドの支持部では、図１に示されている浮上型磁気ヘッ
ドの支持部における第２の支持アーム１０と同様に、浮
上型磁気ヘッドの支持部における第２の支持アーム１０
を構成しているバイモルフ形態の圧電素子に対して、供
給電圧が０とされ、圧電素子への接続線が１８，１９が
短絡された状態で、第１の支持アーム４にジンバルばね
３を介して取付けられている浮上型磁気ヘッドＨにおけ
るスライダ部２の浮上面２ａが、停止状態の磁気記録媒
体円盤面１の数μｍ上方に磁気記録媒体円盤面１と平行
な状態にさせるために、第２の支持アーム１０の先端部
の方が基部に比べて上向きに傾斜するような取付態様と
なるようにして、第２の支持アーム１０の基部１０ａが
取付部材６Ａに対してねじ１１により取付けられてい
る。この図２に示す浮上型磁気ヘッドの支持部では、第
２の支持アーム１０を構成しているバイモルフ形態の圧
電素子に対する制御電圧に対して支持アームの作動態様
が単純で製作し易い長所はあるが、押圧力の発生はバイ
モルフ形態の圧電素子に対して供給させる制御電圧が０
Ｖから＋方向の電圧か、または０Ｖから−方向の電圧か
の何れかの一方となるために、もともとバイモルフ形態
の圧電素子では、０Ｖから＋方向の電圧と、０Ｖから−
方向の電圧との双方にについて変位できる点から考える
と、効率が悪いという欠点がある。

【００４０】ところで図１に示されている浮上型磁気ヘ
ッドの支持部では、第２の支持アーム１０を構成してい
るバイモルフ形態の圧電素子に対する供給電圧が０とさ
れ、前記の圧電素子への接続線が１８，１９が短絡され
た状態で、第２の支持アーム１０が、磁気記録再生媒体
円盤面１と略々平行な状態となるようにして、基部１０
ａが取付部材６に対してねじ１１により取付けられてい
る。したがって、前記の状態において、仮に、磁気記録
媒体円盤Ｄが存在しないとした場合には、浮上型磁気ヘ
ッドの支持部における第１の支持アーム４は、第１の支
持アーム４と第２の支持アーム１０との間隔の最大値を
制限するために第２の支持アーム１０に取付けられてい
る部材１７によって保持された状態で、それの先端側に
かけて下方に傾斜するような状態となり、浮上型磁気ヘ
ッドの支持部における第１の支持アーム４にジンバルば
ね３を介して取付けられている浮上型磁気ヘッドＨは、
図３に例示されているように、磁気記録媒体円盤面１よ
りも下方に位置している状態になる。

【００４１】それで、図１に示されているような構成態
様の浮上型磁気ヘッドの支持部が用いられる場合には、
磁気記録媒体円盤面１に浮上型磁気ヘッドＨを近接させ
る際に、浮上型磁気ヘッドＨにおけるスライダ部２の浮
上面２ａが磁気記録媒体円盤面１に平行な状態になるよ
うに、第２の支持アーム１０を構成しているバイモルフ
形態の圧電素子に対して所定の極性と大きさとを有する
電圧を供給して、第２の支持アーム１０が、それの基部
１０ａから先端部にかけて上向き方向に傾斜するように
し、かつ、前記した浮上型磁気ヘッドＨにおけるスライ
ダ部２の浮上面２ａが磁気記録媒体円盤面１に平行な状
態になっていることを確認することが必要とされる。こ
のように、図１に示されているような構成態様の浮上型
磁気ヘッドの支持部が用いられた場合には、既述した図
２に示されているような構成態様の浮上型磁気ヘッドの
支持部が用いられた場合に比べて、煩わしい操作が必要
とされるが、第２の支持アーム１０を構成しているバイ
モルフ形態の圧電素子を効率的に動作させるように電圧
を供給することが可能であるために、図２に示されてい
るような構成態様の浮上型磁気ヘッドの支持部における
第２の支持アーム１０に使用されている圧電素子よりも
小型のものを使用することができる。

【００４２】図１に示されている浮上型磁気ヘッドの支
持部における第２の支持アーム１０を構成しているバイ
モルフ形態の圧電素子に対する供給電圧を０とし、前記
の圧電素子への接続線が１８，１９が短絡された状態に
おいては、第１の支持アーム４にジンバルばね３を介し
て取付けられている浮上型磁気ヘッドＨが、図３に例示
されているように、磁気記録媒体円盤面１よりも下方に
位置している状態になるために、保管状態のときに第２
の支持アーム１０を構成しているバイモルフ形態の圧電
素子に対する供給電圧が０とされる場合には、保管状態
時に浮上型磁気ヘッドＨが磁気記録媒体円盤面１に接触
してしまうことになる。

【００４３】前記の問題は、保管状態時に磁気記録媒体
円盤Ｄの側方の領域へ図８に例示するように浮上型磁気
ヘッドＨを移動して退避できるように、磁気記録再生装
置を構成すれば良好に解決できる。図８は磁気記録再生
装置の平面図であり、図８においてＤは磁気記録媒体円
盤である。２１はキャリッジであって、前記のキャリッ
ジ２１は回動軸２２を回動中心にして、浮上型磁気ヘッ
ドＨを磁気記録媒体円盤Ｄにおける記録再生領域上で回
動移動させる他に、前記した磁気記録媒体円盤Ｄの側方
の領域に浮上型磁気ヘッドＨを回動移動して退避させる
ようにする。前記したキャリッジ２１に設けられている
取付部材６には、既述したように第２の支持アーム１０
と第１の支持アーム（図８中では第２の支持アーム１０
によって邪魔されるので図中には示されない）とが、ね
じ１１によって取付けられている。

【００４４】そして、図８中に示されている浮上型磁気
ヘッドの支持部は、図１を参照して既述したような構成
態様のものであって、その側面図が図１の（ａ），
（ｂ）と同様なものとして図示されるのであり、第２の
支持アーム１０は、図１を参照して既述したように薄い
導電性の弾性薄板で作られているシム１２の両面に、そ
れぞれ薄い圧電素子１３，１４を貼着してなるバイモル
フ形態の圧電素子によって構成されており、この第２の
支持アーム１０はバイモルフ形態の圧電素子に印加する
電圧の極性を変えることによって、図３乃至図５にそれ
ぞれ例示されている状態に変化する。図８に示す磁気記
録再生装置が不作動状態の場合には、キャリッジ２１が
浮上型磁気ヘッドＨを磁気記録媒体円盤Ｄの側方の領域
に位置させ、第２の支持アーム１０を構成しているバイ
モルフ形態の圧電素子に印加する電圧を０にして、第２
の支持アーム１０を水平な状態とし、ジンバルばね３を
介して浮上型磁気ヘッドＨを支持している第１の支持ア
ーム４が、第１の支持アーム４と第２の支持アーム１０
との間隔の最大値を制限するために、第２の支持アーム
１０に取付けられている部材１７によって支持された状
態にされる。

【００４５】また、磁気記録再生装置が動作動状態にさ
れた場合には、磁気記録媒体円盤Ｄを図示されていない
回転駆動機構によって所定の回転数に回転させ、また、
磁気記録再生装置の不作動状態時に、磁気記録媒体円盤
Ｄの側方の領域中で、磁気記録媒体円盤面１よりもスラ
イダ部２の浮上面２ａが下方に位置している浮上型磁気
ヘッドＨを、第２の支持アーム１０を構成しているバイ
モルフ形態の圧電素子に、図４中に示すような極性の電
圧を印加して、第２の支持アーム１０を基部から先端部
にかけて上向くような傾斜状態としてから、磁気記録媒
体円盤Ｄの上方に浮上型磁気ヘッドＨが位置するよう
に、図示されていない駆動機構によりキャリッジ２１を
回動させ、次いで、第２の支持アーム１０を構成してい
るバイモルフ形態の圧電素子に供給する電圧を０にす
る。

【００４６】既述のように第２の支持アーム１０は、そ
れを構成しているバイモルフ形態の圧電素子に対する供
給電圧が０とされた状態において、磁気記録再生媒体円
盤面１と略々平行な状態となるように、基部１０ａが取
付部材６に対してねじ１１により取付けられており、仮
に磁気記録媒体円盤Ｄが存在しないとした場合には、浮
上型磁気ヘッドの支持部における第１の支持アーム４
が、図３に示すように、第１の支持アーム４と第２の支
持アーム１０との間隔の最大値を制限するために第２の
支持アーム１０に取付けられている部材１７によって保
持された状態で、それの先端側にかけて下方に傾斜する
ような状態となるのであるが、所定の回転数で高速回転
している磁気記録媒体円盤Ｄの上方に、浮上型磁気ヘッ
ドＨが位置する状態となるように、図４のように第２の
支持アーム１０が基部から先端部にかけて上向くような
傾斜状態にされている場合に、第２の支持アーム１０を
構成しているバイモルフ形態の圧電素子に供給する電圧
を、図３に示されているように０にした場合には、第２
の支持アーム１０が磁気記録再生媒体円盤面１と略々平
行な位置となるとともに、前記の部材１７から離れた状
態になる第１の支持アーム４に対して、ジンバルばね３
を介して取付けられている浮上型磁気ヘッドＨにおける
スライダ部２の浮上面２ａに対して、定速回転状態の磁
気記録媒体円盤Ｄの面１上の薄層空気流による揚力が与
えられ、かつ、押圧力伝達部材１６と回動支点とを介し
て、前記のスライダ部２に押圧力が印加されることによ
って、浮上型磁気ヘッドＨはそれのスライダ部２の浮上
面２ａが磁気記録媒体円盤面１上に浮上状態になる。

【００４７】ところで、浮上型磁気ヘッドの支持部の第
２の支持アーム１０を構成しているバイモルフ形態の圧
電素子は、大きな静電容量（例えば６００ｎＦ）を有す
るコンデンサとして動作する。それで、図３乃至図６に
示されているように圧電素子に動作電圧を供給するため
の電源回路との接続線の途中に抵抗器Ｒを接続しておく
と、圧電素子の動作はそれの静電容量（例えば６００ｎ
Ｆ）と、前記した抵抗器Ｒの抵抗値Ｒとによって定まる
時定数τ＝ＲＣに従った速度で第２の支持アーム１０が
変位動作を行なう。バイモルフ形態の圧電素子の静電容
量が、例えば６００ｎＦであるときに、前記した抵抗器
Ｒの抵抗値を６００ＫΩとすると、前記の時定数は０.
３６秒となり、前記の例の場合には浮上型磁気ヘッドの
支持部の第２の支持アーム１０は、それに駆動用の制御
電圧を供給したときに０.３６秒の時定数に応じた変位
速度で変位することになる。

【００４８】前記のように、駆動用の制御電圧が供給さ
れることによって駆動変位される浮上型磁気ヘッドの支
持部における第２の支持アーム１０は、それの質量、ス
ティフネス、機械的な抵抗分等によって機械的な振動系
を構成しているから、その機械的な振動系に固有な機械
的な共振周波数によって共振現象を起こす。そして、前
記した第２の支持アーム１０を構成しているバイモルフ
形態の圧電素子を変位させるための駆動電圧を供給する
際に、前記した抵抗器Ｒを介在させると、バイモルフ形
態の圧電素子に印加される電圧値が、前記の時定数に従
って上昇するために、バイモルフ形態の圧電素子の変位
も時間軸上で緩やかに生じるので、第２の支持アーム１
０の機械的な振動系に大きな起振力を与えることがな
く、したがって、第２の支持アーム１０の機械的な振動
系の共振現象を抑圧した状態で第２の支持アーム１０を
変位させることができる。

【００４９】前記のように第２の支持アーム１０の機械
的な振動系の共振現象を抑圧した状態で第２の支持アー
ム１０を変位させることができるということは、ロード
オン動作時とロードオフ動作時との動作の切換えに当っ
て、浮上型磁気ヘッドの支持部の各構成部分に、不要な
機械的振動を発生させずに動作させることができるとい
うことになるから、ロードオン動作時とロードオフ動作
時との動作の切換え時に、浮上型磁気ヘッドＨと磁気記
録媒体円盤面１との衝突により、前記の両者を損傷させ
るなどの事故が起こらないようにできる。そして、浮上
型磁気ヘッドの支持部の第２の支持アーム１０を構成し
ているバイモルフ形態の圧電素子の有する静電容量値Ｃ
と、圧電素子に動作電圧を供給するための電源回路との
接続線の途中に接続する抵抗器の抵抗値Ｒとによって定
まる時定数τ＝ＲＣの値を、浮上型磁気ヘッドの支持部
における第２の支持アーム１０の機械的振動系の１次共
振周波数値と対応する周期の１／８以上に設定すると好
結果が得られることを実験の結果により知ることができ
た。

【００５０】図３乃至図６において２３は切換スイッチ
であり、ｖは可動接点、Ｐは正極性の電圧が供給されて
いる固定接点、Ｍは負極性の電圧が供給されている固定
接点、Ｚはゼロ電圧（接地電位）が接続されている固定
接点であり、図３乃至図６には切換スイッチ２３におけ
る可動接点ｖが、前記した各固定接点Ｐ，Ｍ，Ｚに切換
え接続された場合における第２の支持アーム１０の変位
態様を示している。なお、図３乃至図５は浮上型磁気ヘ
ッドの支持部が図１に示されている構成態様の場合につ
いての動作を示しており、また、図６は浮上型磁気ヘッ
ドの支持部が図２に示されている構成態様の場合につい
ての動作を示している。図５は第２の支持アーム１０が
磁気記録媒体円盤Ｄの存在しない部分で、下方に傾斜す
る向きで変位された場合を示しており、この場合におけ
る第２の支持アーム１０は、浮上型磁気ヘッドの支持部
における第１の支持アーム４が、第１の支持アーム４と
第２の支持アーム１０との間隔の最大値を制限するため
に第２の支持アーム１０に取付けられている部材１７に
よって保持された状態で、それの先端側にかけて下方に
傾斜するような状態となる。

【００５１】また、所定の回転数で高速回転している磁
気記録媒体円盤Ｄの上方に、浮上型磁気ヘッドＨが位置
する状態から、図５のように第２の支持アーム１０が基
部から先端部にかけて下向くような傾斜状態にされた場
合には、第１の支持アーム４にジンバルばね３を介して
取付けられている浮上型磁気ヘッドＨにおけるスライダ
部２の浮上面２ａに対して、定速回転状態の磁気記録媒
体円盤Ｄの面１上の薄層空気流によって与えられている
揚力と、押圧力伝達部材１６と回動支点とを介してスラ
イダ部２に印加される押圧力が印加されることによっ
て、浮上型磁気ヘッドＨはそれのスライダ部２の浮上面
２ａが磁気記録媒体円盤面１上に浮上状態になる。そし
て、前記した第２の支持アーム１０における基部から先
端部にかけて下向くような傾斜状態の程度を変化させる
ことにより、磁気記録媒体円盤面１と浮上型磁気ヘッド
Ｈにおけるスライダ部２の浮上面２ａとの距離（浮上
量）が変化できることになる。

【００５２】図７は本発明の磁気記録再生装置における
ロードオン動作時とロードオフ動作時とにおける磁気記
録再生装置の出力信号のエンベロープの状態を示す図で
あって、図７において横軸は時間、縦軸は再生信号出力
を示している。図７の（ａ）はロードオン時に浮上型磁
気ヘッドＨが磁気記録再生円盤面１に近付く際における
再生信号出力の変化状態を示しており、また図７の
（ｂ）はロードオフ時に浮上型磁気ヘッドＨが磁気記録
再生円盤面１から次第に離れる際の再生信号出力の変化
状態を示しているが、図７の（ａ），（ｂ）に示されて
いる少しのあばれも認められない波形図からも判かると
おり、本発明の磁気記録再生装置におけるロードオン動
作時とロードオフ動作時とにおいては、浮上型磁気ヘッ
ドＨが磁気記録再生円盤面１に衝突するような状態を生
じていないが、これは本発明の磁気記録再生装置では浮
上型磁気ヘッドＨの浮上量と対応した押圧力がスライダ
部２に印加されて安定な浮上状態が実現されているこ
と、及び磁気記録再生円盤面１への浮上型磁気ヘッドＨ
の近接時における磁気記録媒体円盤面１と浮上型磁気ヘ
ッドＨにおけるスライダ部２の浮上面２ａの不平行度の
許容値も大きいことを表わしている。

【００５３】図６は図２に示してある浮上型磁気ヘッド
の支持部、すなわち、浮上型磁気ヘッドの支持部におけ
る第２の支持アーム１０を構成しているバイモルフ形態
の圧電素子に対する供給電圧が０とされた状態で、第１
の支持アーム４にジンバルばね３を介して取付けられて
いる浮上型磁気ヘッドＨにおけるスライダ部２の浮上面
２ａが、停止状態の磁気記録媒体円盤面１の数μｍ上方
に磁気記録媒体円盤面１と平行な状態にさせるために、
第２の支持アーム１０の先端部の方が基部に比べて上向
きに傾斜するような取付態様となるようにして、第２の
支持アーム１０の基部１０ａが取付部材６Ａに対してね
じ１１により取付けて構成した浮上型磁気ヘッドの支持
部の第２の支持アーム１０を構成しているバイモルフ形
態の圧電素子に対して、切換スイッチ２３の可動接点ｖ
と固定接点Ｚとを介して０Ｖを与えている状態を示して
いる。

【００５４】図１０は、図２に示してある浮上型磁気ヘ
ッドの支持部における第２の支持アーム１０を構成して
いるバイモルフ形態の圧電素子に対して、図６に示され
ているように０Ｖを供給して、浮上型磁気ヘッドＨにお
けるスライダ部２の浮上面２ａが、磁気記録媒体円盤面
の近接位置にある場合に、圧電素子への印加電圧と、ス
ライダ部２に生じる押圧力との関係の実測値を示すＡ曲
線と、図１に示してある浮上型磁気ヘッドの支持部のよ
うに第２の支持アーム１０を構成しているバイモルフ形
態の圧電素子に対して、図３に示されているように０Ｖ
を供給して、浮上型磁気ヘッドＨにおけるスライダ部２
の浮上面２ａが、磁気記録媒体円盤面よりも下の位置に
ある場合に、圧電素子への印加電圧と、スライダ部２に
生じる押圧力との関係の実測値を示すＢ曲線とを示した
図である。

【００５５】図１０に示されているＡ曲線を見ると、図
２に示してある浮上型磁気ヘッドの支持部における第２
の支持アーム１０を構成しているバイモルフ形態の圧電
素子に０Ｖを供給した場合には、浮上型磁気ヘッドＨに
おけるスライダ部２への押圧力は０であり、また、図２
に示してある浮上型磁気ヘッドの支持部における第２の
支持アーム１０を構成しているバイモルフ形態の圧電素
子に＋１６Ｖを供給した場合には、浮上型磁気ヘッドＨ
におけるスライダ部２への押圧力は約５ｇｒであり、さ
らに、図１０に示されているＢ曲線を見ると、図１に示
してある浮上型磁気ヘッドの支持部のように第２の支持
アーム１０を構成しているバイモルフ形態の圧電素子に
０Ｖを供給した場合には、浮上型磁気ヘッドＨにおける
スライダ部２への押圧力は３ｇｒであり、さらにまた、
図１に示してある浮上型磁気ヘッドの支持部における第
２の支持アーム１０を構成しているバイモルフ形態の圧
電素子に＋１６Ｖを供給した場合には、浮上型磁気ヘッ
ドＨにおけるスライダ部２への押圧力は約８ｇｒであ
る。

【００５６】図１０のＢ曲線を参照すると、図１に示し
てある浮上型磁気ヘッドの支持部における第２の支持ア
ーム１０を構成しているバイモルフ形態の圧電素子に所
定の電圧を供給することにより、浮上型磁気ヘッドＨの
動きの加速度変動を充分に押え込むのに必要とされる押
圧力が得られていることが判かる。また、図１に示して
ある浮上型磁気ヘッドの支持部を用いている場合には、
浮上型磁気ヘッドＨにおけるスライダ部２の浮上面２ａ
を磁気記録媒体円盤面１から離すためには、第２の支持
アーム１０を構成しているバイモルフ形態の圧電素子に
−９Ｖ以上の電圧を供給することが必要なことが判か
る。

【００５７】ところで、浮上型磁気ヘッドの支持部にお
ける第２の支持アーム１０を構成しているバイモルフ形
態の圧電素子に所定の電圧を供給して、浮上型磁気ヘッ
ドＨにおけるスライダ部２に対して印加される押圧力を
再現性良く得るためには、前記したバイモルフ形態の圧
電素子にある特定な電圧を印加して、第２の支持アーム
１０にある特定な空間的な位置を占めた状態にした後
に、第２の支持アーム１０が別の特定な空間的な位置を
占める状態にするために、別のある特定な電圧を第２の
支持アーム１０を構成しているバイモルフ形態の圧電素
子に印加する際には、一旦、図３及び図６に示されてい
るように、バイモルフ形態の圧電素子を抵抗器Ｒで短絡
し、次いで、図４に示されているように第２の支持アー
ム１０が磁気記録媒体円盤面１から最も離隔した状態に
なるように第２の支持アーム１０を変位させるように図
４に示されているように負の電圧を印加してホールドさ
せ、前記の負の電圧のホールド点を基準として、浮上型
磁気ヘッドＨにおけるスライダ部２の浮上面２ａを、磁
気記録媒体円盤面に近接させうるような電圧を印加して
行くことが必要とされる。

【００５８】すなわち、第２の支持アーム１０が図３，
図６に示されているような空間的な位置を占めた状態か
ら、第２の支持アーム１０が図４に示されているような
空間的な位置を占めた状態にしないで、直ちに、第２の
支持アーム１０が図５に示されているような空間的な位
置を占めている状態となるような、ある特定な電圧を第
２の支持アーム１０を構成しているバイモルフ形態の圧
電素子に印加しても、浮上型磁気ヘッドＨにおけるスラ
イダ部２へ印加される押圧力は、図１０に示されている
押圧力の値よりも小さなものになる。それは、第２の支
持アーム１０を構成しているバイモルフ形態の圧電素子
の動きと、第２の支持アーム１０と磁気記録媒体円盤面
１との距離との関係にはヒステリシス特性があり、第２
の支持アーム１０を構成しているバイモルフ形態の圧電
素子に対して、以前に印加されていた電圧の状況によっ
て第２の支持アーム１０と磁気記録媒体円盤面１との距
離が左右されるために、新らしく印加された電圧によっ
て第２の支持アーム１０と磁気記録媒体円盤面１との距
離位置が定まらないからである。

【００５９】それで、第２の支持アーム１０を構成して
いるバイモルフ形態の圧電素子に、それまでに印加され
ていた電圧と異なる電圧を印加する際には、一旦、図３
及び図６に示されているように、バイモルフ形態の圧電
素子を抵抗器Ｒで短絡することにより、新らしく印加さ
れた電圧によって第２の支持アーム１０と磁気記録媒体
円盤面１との距離位置が、以前に印加されていた電圧の
状態によって左右されないようにできる。なお、図１０
では図４における負側の基準電圧を−１６Ｖとしている
が、前記の基準電圧を−１０Ｖあるいは−１２Ｖに変更
すると、図１０における曲線Ａ，Ｂの状態は、当然に変
化するのである。

【００６０】これまでの説明から明らかなように本発明
の磁気記録再生装置では、浮上型磁気ヘッドＨにおける
スライダ部２の浮上面２ａを、磁気記録媒体円盤面１に
接触させることなく、ＮＣＳＳ方式によりロードオン，
ロードオフすることが可能となったので、磁気記録媒体
面が鏡面とされている磁気記録媒体円盤Ｄを使用するこ
とができるようになった。すなわち、通常の従来の磁気
記録再生装置では、動作停止時に磁気記録媒体円盤面１
に、浮上型磁気ヘッドＨにおけるスライダ部の浮上面を
接触させておくので、磁気記録媒体面が鏡面とされてい
る磁気記録媒体円盤を使用した場合には、浮上型磁気ヘ
ッドＨにおけるスライダ部の浮上面が、鏡面状の磁気記
録媒体面と吸着するために、次に装置を使用することが
できなくなるために、従来装置では磁気記録媒体面にテ
クスチャーを施した磁気記録媒体円盤を使用して、磁気
記録媒体円盤面と、浮上型磁気ヘッドＨにおけるスライ
ダ部の浮上面との間に空気層が形成されるようにして、
浮上型磁気ヘッドＨにおけるスライダ部の浮上面と、磁
気記録媒体面とが吸着しないようにしていた。

【００６１】しかしながら、磁気記録媒体面にテクスチ
ャーを施した磁気記録媒体円盤を使用した場合には、磁
気記録媒体円盤面上に、浮上型磁気ヘッドＨにおけるス
ライダ部の浮上面を近接した状態で浮上させることがで
きず、多くの場合、例えば０.０８μｍ以上の浮上量と
して動作させていたので、磁気記録再生損失が大きく、
そのために高密度記録再生の実現を困難にしていた。一
方、前述のように本発明の磁気記録再生装置では、浮上
型磁気ヘッドＨにおけるスライダ部２の浮上面２ａが、
磁気記録媒体円盤面１に接触しない状態で動作するの
で、磁気記録媒体面が鏡面とされている磁気記録媒体円
盤Ｄを使用しても、浮上型磁気ヘッドＨにおけるスライ
ダ部の浮上面と、鏡面状の磁気記録媒体面とが吸着する
ことがないから、磁気記録媒体面にテクスチャーを施し
た磁気記録媒体円盤を使用する必要がなく、また、磁気
記録媒体面にオイルを塗布したオイルコートを行なう必
要がない。

【００６２】このように、磁気記録媒体面にテクスチャ
ーを施した磁気記録媒体円盤を使用せず、鏡面状の磁気
記録媒体円盤面１を有する磁気記録媒体円盤Ｄを用いて
いる本発明の磁気記録再生装置では、浮上型磁気ヘッド
Ｈを、一層、低浮上化走行させて高密度記録再生動作を
行なうことが可能となった。また、鏡面状の磁気記録媒
体円盤面１を有する磁気記録媒体円盤Ｄを用いて、浮上
型磁気ヘッドに０.０５μｍ台の浮上走行を行なわせる
場合に、鏡面状の磁気記録媒体円盤面１にオイルコート
を施してあると、鏡面状の磁気記録媒体円盤面１上のオ
イルが、浮上型磁気ヘッドＨにおけるスライダ部２の浮
上面間にオイルがしみ込んで、最終的には浮上面２ａを
よごす作用があるので、鏡面状の磁気記録媒体円盤面１
上にオイルを塗布しない状態の磁気記録媒体円盤を使用
する。また、磁気ヘッドＨにおけるスライダ部２をアル
チック材で構成した場合に、０.０５μｍの浮上量で安
定な浮上走行が実現でき、かつ、ＮＣＳＳ方式でロード
オン，ロードオフを繰返して走行運転を行なっても、浮
上型磁気ヘッドＨにおけるスライダ部２の浮上面２ａに
塵埃が付いたり、磁気記録媒体円盤面１を損傷させたり
することがなく、安定な記録再生動作を行なうことがで
きた。なお、磁気記録媒体円盤Ｄの磁性膜として、Ｈｃ
が２０００Ｏｅの磁性膜を用い、浮上型磁気ヘッドに
０.０５μｍ台の浮上走行を行なわせた場合に、Ｈｃが
２０００Ｏｅの磁性膜を充分に飽和記録させ得たが、Ｈ
ｃが２０００Ｏｅ以上の磁性膜を備えた磁気記録媒体円
盤Ｄについての記録再生の可能性もある。

【００６３】

【発明の効果】以上、詳細に説明したところから明らか
なように、本発明の磁気記録再生装置は、磁気記録媒体
円盤面と浮上型磁気ヘッドのスライダ部の浮上面との間
の薄層気体流によりスライダ部の浮上面に生じた揚力に
よって、磁気記録媒体円盤面上に浮上状態にされる浮上
型磁気ヘッドが、第１の支持アームの先端部付近に設け
られているジンバルばねに支えられており、浮上型磁気
ヘッドのスライダ部における浮上面側とは反対側の面の
中央部付近に設けた回動支点の先端部が当接している第
１の支持アームから、前記した回動支点を介して浮上型
磁気ヘッドのスライダ部に押圧力が印加され、また、前
記した第１の支持アームに対して間隔を隔てて並設され
ているとともに、記録再生動作時に磁気記録媒体円盤面
の面振れとは無関係に所定の空間位置に固定されるよう
に制御されるバイモルフ形態の圧電素子によって構成さ
れている第２の支持アームに対して、第２の支持アーム
との間隔が小さくされるようにばねで付勢されている第
１の支持アームと、前記の回動支点の位置付近における
第１の支持アームと第２の支持アームとの間に、前記し
た第１の支持アームと第２の支持アームとの間隔を大に
させる方向に付勢されていて、第２の支持アームとの接
触点が第１の支持アームと第２の支持アームとの間隔に
従って変化するようなものとして設けられており小型で
小さな曲げ量を大きな押圧力にできる押圧力伝達部材
と、回動支点とを介して浮上型磁気ヘッドのスライダ部
に印加する押圧力が伝達される。前記した第１の支持ア
ームと第２の支持アームとは、浮上型磁気ヘッドの機械
的振動に対して両端支持形態の支持体として機能するた
めに、浮上型磁気ヘッドの機械的振動を低減でき、前記
の第１の支持アームに対して間隔を隔てて並設されてい
るとともに、記録再生動作時に磁気記録媒体円盤面の面
振れとは無関係に所定の空間位置に固定されるように制
御されるバイモルフ形態の圧電素子によって構成されて
いる第２の支持アームに対して、磁気記録媒体円盤の回
転運転状態と対応して所定の大きさ及び極性を有する電
圧をバイモルフ形態の圧電素子に供給することにより、
磁気記録媒体円盤面から浮上型磁気ヘッドまでの距離
を、それぞれ所定のように容易に変化でき、また、前記
の距離の変化に際して部材の変位が行なわれる時間を、
浮上型磁気ヘッドと第１の支持アーム部分との機械的振
動系における１次共振周波数値と対応する周期の少なく
とも１／８の時間をかけて、前記した浮上型磁気ヘッド
の支持部における第２の支持アームの２つの空間位置間
での変位動作が行なわれるようにしたり、さらに、第２
の支持アームと第１の支持アームとの間隔の最大値を制
限する部材が第２の支持アームに設けてあるために、Ｎ
ＣＳＳ方式の動作を安定確実に行なうことができるので
あり、本発明によれば既述の従来技術における諸欠点を
解決できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の磁気記録再生装置の側面図である。

【図２】本発明の磁気記録再生装置の側面図である。

【図３】本発明の磁気記録再生装置の動作を説明するた
めの一部の側面図である。

【図４】本発明の磁気記録再生装置の動作を説明するた
めの一部の側面図である。

【図５】本発明の磁気記録再生装置の動作を説明するた
めの一部の側面図である。

【図６】本発明の磁気記録再生装置の動作を説明するた
めの一部の側面図である。

【図７】本発明の磁気記録再生装置の動作を説明するた
めの波形例図である。

【図８】本発明の磁気記録再生装置の一部の動作状態を
示す平面図である。

【図９】本発明の磁気記録再生装置の一部の動作説明用
の特性曲線例図である。

【図１０】バイモルフ形態の圧電素子の特性曲線例図で
ある。

【符号の説明】

Ｄ…磁気記録媒体円盤（磁気ディスク）、Ｈ…浮上型磁
気ヘッド、２…浮上型磁気ヘッドＨのスライダ部、２ａ
…浮上面、３…ジンバルばね、４…第１の支持アーム、
５…回動支点、６…取付部材、８…スペーサ、１０…第
２の支持アーム、１２…シム、１３，１４…圧電素子、
１５…ガラスの薄板、１６…押圧力伝達部材、１６ａ…
半円形状の折曲部、１８，１９…接続線、２３…切換ス
イッチ、

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成６年３月１１日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２４

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２４】例えば、前記した第２の支持アーム１０の
空間位置が磁気記録媒体円盤面１に近付けば、前記した
浮上型磁気ヘッドＨに印加される押圧力が増加して浮上
型磁気ヘッドＨの浮上量が減少し、また前記した第２の
支持アーム１０の空間位置が磁気記録媒体円盤面１から
遠のけば、前記した浮上型磁気ヘッドＨに印加される押
圧力が減少して浮上型磁気ヘッドＨの浮上量が増加する
ことになる。図１の（ｂ）は、第２の支持アーム１０を
構成しているバイモルフ形態の圧電素子１３，１４に対
して、第２の支持アーム１０が磁気記録媒体円盤面１か
ら離間する方向で、大きく変位するような極性と大きさ
とを有する電圧を、接続線１８，１９を介して供給した
場合における第１の支持アーム４と第２の支持アーム１
０との状態を示している。

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２５

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２５】ところで、第１の支持アーム４と第２の支
持アーム１０との間に設けられている押圧力伝達部材１
６の弾力と、第１の支持アーム４の基部４ａ付近に設け
られているばね４ｂの弾力とは、前記の押圧力伝達部材
１６の弾力の方が、ばね４ｂの弾力よりも大きく、か
つ、前記した押圧力伝達部材１６の弾力は、第１の支持
アーム４と第２の支持アーム１０との間隔を大にする向
きで、第１の支持アーム４と第２の支持アーム１０とを
付勢し、また、ばね４ｂの弾力は、第１の支持アーム４
と第２の支持アーム１０との間隔を小にする向きで、第
１の支持アーム４と第２の支持アーム１０とを付勢して
いるが、前記のように、第１の支持アーム４と第２の支
持アーム１０とが、図１の（ｂ）に示されているような
状態において、浮上型磁気ヘッドＨのスライダ部２の浮
上面２ａは、磁気記録媒体円盤面１から大きく離隔して
いて、浮上型磁気ヘッドＨのスライダ部２の浮上面２ａ
に気体流によって生じる揚力は無視できる程に小さい場
合には、第１の支持アーム４と第２の支持アーム１０と
の間隔が、前記した押圧力伝達部材１６の弾力によっ
て、第１の支持アーム４と第２の支持アーム１０との間
隔の最大値を制限するための部材１７に第１の支持アー
ム４が衝当る状態の最大間隔まで拡がる。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 浮上型磁気ヘッドが取付けてあるジンバ
   ルばねを、先端部付近に固着させてある第１の支持アー
   ムの基部と、前記した第１の支持アームに対して間隔を
   隔てて並設されているとともに、バイモルフ形態の圧電
   素子によって構成してある第２の支持アームの基部とを
   共通の取付部材に互いに電気的に絶縁された状態で固着
   し、浮上型磁気ヘッドのスライダ部における浮上面側と
   は反対側の面の中央部付近に設けた回動支点の先端部
   を、前記したジンバルばねの弾力によって第１の支持ア
   ームに当接させて、前記した回動支点を介して浮上型磁
   気ヘッドのスライダ部に押圧力を印加させ、また、前記
   した第１の支持アームの基部付近に設けられているばね
   により、第１の支持アームと第２の支持アームとの間隔
   が小さくなる方向に第１の支持アームを付勢させ、さら
   に、前記の回動支点の位置付近における第１の支持アー
   ムと第２の支持アームとの間に、前記した第１の支持ア
   ームと第２の支持アームとの間隔を大にさせる方向に付
   勢する押圧力伝達部材とを設け、さらにまた、第２の支
   持アームと第１の支持アームとの間隔の最大値を制限す
   る部材を、第２の支持アームに設けてなる浮上型磁気ヘ
   ッドの支持部と、前記した浮上型磁気ヘッドの支持部に
   おける第２の支持アームの所定の空間中での設定位置
   を、磁気記録媒体円盤の回転運転状態と対応して変化さ
   せるように、前記した第２の支持アームを構成している
   バイモルフ形態の圧電素子に供給する電圧の大きさと極
   性とを制御する手段とを備えてなる磁気記録再生装置。
2. 【請求項２】 浮上型磁気ヘッドが取付けてあるジンバ
   ルばねを、先端部付近に固着させてある第１の支持アー
   ムの基部と、前記した第１の支持アームに対して間隔を
   隔てて並設されているとともに、バイモルフ形態の圧電
   素子によって構成してある第２の支持アームの基部とを
   共通の取付部材に互いに電気的に絶縁された状態で固着
   し、浮上型磁気ヘッドのスライダ部における浮上面側と
   は反対側の面の中央部付近に設けた回動支点の先端部
   を、前記したジンバルばねの弾力によって第１の支持ア
   ームに当接させて、前記した回動支点を介して浮上型磁
   気ヘッドのスライダ部に押圧力を印加させ、また、前記
   した第１の支持アームの基部付近に設けられているばね
   により、第１の支持アームと第２の支持アームとの間隔
   が小さくなる方向に第１の支持アームを付勢させ、さら
   に前記の回動支点の位置付近における第１の支持アーム
   と第２の支持アームとの間に、前記した第１の支持アー
   ムと第２の支持アームとの間隔を大にさせる方向に付勢
   する押圧力伝達部材とを設け、さらにまた第２の支持ア
   ームと第１の支持アームとの間隔の最大値を制限する部
   材を第２の支持アームに設けてなる浮上型磁気ヘッドの
   支持部と、前記した浮上型磁気ヘッドの支持部における
   第２の支持アームの所定の空間中での設定位置を、浮上
   型磁気ヘッドのロードオン時と待機状態における浮上型
   磁気ヘッドのロードオフ時との動作状態の変更時に、浮
   上型磁気ヘッドの支持部における第２の支持アーム部分
   の機械的振動系における１次共振周波数値と対応する周
   期の少なくとも１／８の時間をかけて、前記した浮上型
   磁気ヘッドの支持部における第２の支持アームの２つの
   空間位置間での変位動作が行なわれるように前記した第
   ２の支持アームを構成しているバイモルフ形態の圧電素
   子に供給する電圧の大きさと極性とを制御する手段とを
   備えてなる磁気記録再生装置。