JPH07210833A

JPH07210833A - 磁気センサ装置

Info

Publication number: JPH07210833A
Application number: JP6001343A
Authority: JP
Inventors: Noboru Masuda; 昇増田
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1994-01-11
Filing date: 1994-01-11
Publication date: 1995-08-11
Also published as: DE69523348T2; US5512822A; DE69523348D1; EP0662667B1; EP0662667A2; EP0662667A3

Abstract

(57)【要約】【目的】磁気検出素子を有する磁気センサ装置の分解
能を高める。【構成】磁性体ヨーク１２を磁石１１の上方に配置す
る。磁性体ヨーク１２の磁脚部１２ａは、磁石１１の磁
束の発散を抑制する形状磁気異方性を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は紙葉状媒体上に構成され
た微小磁性パターンを検出する磁気センサ装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】最近、紙葉状媒体、例えば、紙幣の真偽
を識別するために、紙幣上の微小磁性パターンを検出す
る半導体磁気センサを用いた紙幣識別装置が多用されて
いる。このような紙幣識別装置では、被検出体の走行速
度が早くなり、センサ表面との摩擦を避けるために、被
検出体とセンサ表面との非接触化を図り、また、センサ
表面と被検出体間の空隙を大きく取る傾向がある。この
ような要請に答えるため高分解能化の磁気センサが求め
られている。

【０００３】従来の半導体磁気センサ装置は、図９に示
すように、永久磁石１の磁極の上に一対の磁気抵抗素子
２，３を直接取り付け、この磁気抵抗素子２，３を筺体
４の中に収納している。そして、磁気抵抗素子２，３
は、図１０に示すように、分圧回路を構成するように直
列に接続されて直流電圧が与えられ、一対の磁気抵抗素
子２，３の接続点から出力を取り出すようになってい
る。この構成の磁気抵抗素子２，３の上を交互に被検出
体に構成されている磁性体等のパターンが通過すること
によって、出力変化が得られる。

【０００４】このような磁気センサ装置の分解能は、磁
気抵抗素子２，３の被検出体６の磁性パターンに対する
幅と磁気抵抗素子２，３に作用する磁界の広がりによっ
て定まる。磁石１の磁束が発散していなければ分解能は
磁気抵抗素子自身の幅となるが、実際には磁石１による
磁束は発散しており、分解能は磁気抵抗素子２，３の幅
で定められるよりも低くなる。また、このような磁気セ
ンサ装置の検出感度は、磁気抵抗素子２，３から被検出
体６までの距離によって左右される。即ち、距離が大き
いと磁気抵抗素子２，３による磁性パターンの検出感度
は低下し、距離が一定でないと読取りの信頼性が低下す
る。

【０００５】上述のような磁気バイアス法は発散磁界を
形成するものであり、磁気センサ装置の分解能を向上さ
せるには限界がある。そこで、本発明者は、特願平４−
１７１３７５号に新しい概念の磁気センサを提案した。
即ち、図１１に示すように、被検出体６が走行する空間
Ｓを介して磁石１と向い合って形状磁気異方性を有する
対向磁性片７を設け、走行空間Ｓに於ける磁束の発散を
抑制するものである。対向磁性片７は、被検出体６の走
行方向に対して垂直に配置され、その寸法は磁石１に対
向する面より走行方向に対して垂直な面が大きい寸法で
ある。また、対向磁性片７は、パーマロイ、純鉄、珪素
硬板等の高い透磁率の軟磁性材料から形成されている。

【０００６】ここで形状磁気異方性とは、図１２の対向
磁性片７を参照して、磁束の方向に沿った長さＬと磁束
の方向と垂直な方向の断面積Ａの比によって反磁場係数
の値が変化する性質である。この提案例では、対向磁性
片７が有する形状磁気異方性は、走行空間Ｓに於ける磁
石１からの磁束の発散を抑制するという意味での異方性
である。対向磁性片７は磁気抵抗素子２と３の間を区分
する平面上に位置し、長手方向が図面上の上下方向とな
るよう配置されている。ホルダ５は磁石１と対向磁性片
７を一定の空間Ｓを介して保持している。

【０００７】上述の構成によると、図１２に示すよう
に、磁気抵抗素子２，３が配置される磁石１の磁極面の
中央部から発生する磁束は、対向磁性片７に収束され
る。このため、被検出体６が通過するときの分解能や検
出感度を向上させることが出来る。

【０００８】この装置を実際に設計する場合は、対向磁
性片７の寸法を飽和磁束密度や反磁場係数等を考慮して
決定する。飽和磁束密度は、対向磁性片７に使用する磁
性材料の種類や形状により決まり、その値が大きいほど
磁束の収束の効果は大きい。また、反磁場係数は、形
状、具体的には、対向磁性片７の断面積Ａと対向磁性片
７の長さＬの比で決まる。対向磁性片７の厚みは、磁気
抵抗素子２，３の幅と同じか或は少し小さくしている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図１２
において、矢印８の位置を被検出体が通過すると仮定す
ると、磁極面の中央部分から発生した磁束は、磁性片７
に収束されるにも拘らず、並行の空間磁路を通るのでは
なく、樽型のように湾曲した磁路９，１０を通る。つま
り、被検出体の検出位置で磁路が広がっている。これら
の磁束は、磁気抵抗素子に作用する磁束であり、広がっ
た外側の磁路を通る磁束が磁気センサの分解能を与える
点であり、対向磁性片７に本来期待した効果が得られな
い。即ち、対向磁性片７の幅を狭めても、さら成る分解
能の向上が図れない。

【００１０】本発明は、上述のような課題を解決するた
めなされたもので、より一層高い分解能の磁気センサ装
置を提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るため、本発明は次のように構成されている。即ち、第
一に、形状磁気異方性を持つ磁脚部と低レラクタンス部
を一体で構成した磁性体ヨ−クと、磁脚部の先端近傍に
少なくとも１個の磁気検出素子を配置し、被検出媒体が
走向する空間を介して磁気検出素子に磁界を印加する手
段を配置するものである。

【００１２】また、第２には、所定の磁束密度の磁束を
発生する磁界印加手段と、該磁界印加手段の１つの磁極
面と被検出媒体が走向する空間を介して配設した磁性体
ヨークとを備え、該磁性体ヨークを、磁気抵抗の小さい
低レラクタンス部と磁界印加手段の磁極面と並行な方向
に磁気抵抗の高い磁脚部とから一体に構成し、該磁脚面
の先端近傍に少なくとも１個の磁気検出素子を配置する
ものである。

【００１３】更に、第３には、磁性体ヨークの磁脚部を
切欠部で２つに分割して構成すると共に各磁脚部の先端
近傍に夫々少なくとも１個の磁気検出素子を配置するも
であり、第４には、磁界印加手段と磁性体ヨークから構
成する磁路以外の磁路の一部又は全部を磁性体部材で構
成するもであり、第５には、磁性体ヨークに、被検出体
の検出すべき複数のチャネルに対応して複数の磁脚区分
を設け、該磁脚区分を形状磁気異方性を持つ磁脚部とし
て構成するものである。

【００１４】

【作用】磁界印加手段の磁極面から発生する磁束は、磁
性体ヨークの凸形をした磁脚部の先端部分に集中し、磁
脚部に集中した磁束は低い磁気抵抗となる低レラクタン
ス部の方向に進み、この低レラクタンス部から空間磁路
に発散する。一方、磁脚部の側面部分には、磁界印加手
段の磁極面と並行な方向の磁気抵抗が高いので進入する
磁束は少ない。一方、磁脚部は、磁界印加手段の磁極面
と垂直な方向の磁気抵抗が低いので磁束の通路となる。
また、磁界印加手段と向い合う磁脚部の背後に低レラク
タンス部が設けてあるので、磁脚部の部分の断面積が狭
いままで延長するよりも、この断面と垂直な方向の磁気
抵抗は小さくなり、磁脚部への磁束の集中は一層促進さ
れる。磁脚部の先端近傍に配置した磁気検出素子には、
磁脚部に収束した磁束が作用する。磁界印加手段の表面
磁束密度は、磁気検出素子の抵抗値が磁界に対して大き
く変化する値に定められる。

【００１５】磁性体ヨークの磁脚部を２つに分割して構
成した場合は、形状磁気異方性の効果が増大し、磁気検
出素子に作用する磁束の磁束密度が大きくなり分解能が
高くなる。磁界印加手段と磁性体ヨーク以外の磁路の一
部又は全部に磁性体部材を設置する場合は、全体の磁路
の磁気抵抗が小さくなり、磁界印加手段から発生する磁
束密度を小さく構成でき、従って、磁界印加手段を小型
化できる等磁路の磁気効率が向上する。

【００１６】このような動作は、被検出体の検出すべき
複数のチャネルを検出する場合にも用いることができ、
分解能の高い磁気センサ装置となる。

【００１７】

【実施例】

（実施例１）以下、本発明の好適な実施例を図１乃至図
３を用いて詳細に説明する。１１は永久磁石である。等
方性磁石よりも異方性磁石が用いられ、また、希土類系
磁石やストロンチューム系フェライト磁石が用いられ
る。磁石の磁極の表面磁束密度は０．２〜０．３テラス
程度である。

【００１８】１２は磁性体ヨークで、パーマロイ、純
鉄、珪素硬板等で代表される一連の高い透磁率の軟磁性
材料から作られる。磁性体ヨーク１１は、凸形の形状を
した磁脚部１２ａと低レラクタンス部１２ｂとこれらを
繋ぐ傾斜部１２ｃから構成される凸形の形状である。磁
脚部１２ａは、その先端部分の端面の面積は狭く、これ
により端面に並行な方向の磁気抵抗は高く、先端部は形
状磁気異方性を示し、先端面に磁束が集中するように構
成されている。低レラクタンス部１２ｂは、幅も広く肉
厚もあり、如何なる方向からも低い磁気抵抗の磁路を形
成する。形状磁気異方性を持つ磁脚部１２ａと低レラク
タンス部１２ｂは、傾斜部１２ｃで結合されている。こ
の傾斜部１２ｃの磁気抵抗は，低レラクタンス部１２ｂ
より僅かに高い。この構成により、磁性体ヨーク１２の
磁脚部１２ａから低レラクタンス部１２ｂ方向の磁路の
磁気抵抗は低くなっている。磁性体ヨーク１２の具体的
寸法例を述べると、磁脚部先端の幅は１．７ｍｍ、低レ
ラクタンス部の幅は４．８ｍｍ、高さは２．４〜４．８
ｍｍ、奥行は４．５ｍｍ程度である。

【００１９】１３は磁気検出素子である。磁気検出素子
１３は、半導体材料であるシリコン（Ｓｉ）、又は、イ
ンジュムアンチモン（ＩｎＳｂ）、インジュムアセン
（ＩｎＡｓ）、ガリウムアセン（ＧａＡｓ）等の移動度
の大きな半導体から作られた磁気抵抗素子、或は強磁性
材料から作られた磁性薄膜磁気抵抗素子として構成され
る。なお、１４はフエライトやガラスで作られたサブス
トレートである。磁気検出素子１３ａ，１３ｂは、この
サブストレート１４の上に形成される。

【００２０】磁石１１の磁極面と磁性体ヨーク１２の磁
脚部１２ａの端面は、一定幅の空隙Ｇを介して向い合う
ように配置されている。また、磁性体ヨークの磁脚部１
２ａの端面には一対の磁気検出素子１３ａ，１３ｂが並
行に配列されて固定されている。磁気検出素子１３ａ，
１３ｂの接続は図２に示す接続と同じである。空隙の部
分は、紙葉状の被検出体が通過する通路となる。この空
隙Ｇは、２ｍｍ程度であることが望ましいが、５ｍｍ程
度まで広げてもよい。

【００２１】動作について説明する。定常状態では、磁
石１１の磁極、例えばＮ極から発生した磁束Φは、磁性
体ヨーク１２の凸部１２ａの端面部分に集中する。即
ち、磁脚部１２ａの磁気検出素子１３ａ，１３ｂを取付
けてある端面の表面積を低レラクタンス部１２ｂの端面
の表面積に比べて、図１のように、大幅に狭めているの
で、磁脚部１２ａ部分が形状磁気異方性を有し、磁脚部
１２ａの端面を通る磁束に対しては低い磁気抵抗の磁路
となり、磁束の収束を促進する。

【００２２】また、磁気検出素子１３ａ，１３ｂが、Ｉ
ｎＳｂ等で作られた半導体磁気抵抗素子である場合に
は、制約条件がある。即ち、このような半導体磁気抵抗
素子は、低い磁界では磁界変化に対して２乗特性を持
ち、一方、強い磁界では線形特性となる。詳言すれば、
磁気抵抗素子の感度が線形領域になる０．１５テラス以
下の磁束密度では感度が低く、１．５テラス以上の磁束
密度では一定な感度が得られる。従って、感度が損なわ
れることのない磁界強度の磁石と磁気抵抗素子の設定位
置を選定する。

【００２３】更に、上述した磁気検出素子１３ａ，１３
ｂの配置では、磁石１１の表面積で分解能が悪化すこと
がないので、磁性体ヨ−ク１２の表面磁束密度が上記条
件を満足するように寸法の大きな永久磁石を用いること
ができる。

【００２４】上述した磁石１１と磁性体ヨーク１２の配
置関係は、磁石１１がもつエネルギ−（発生する磁界の
強さ）と磁極面の表面積、磁性体ヨ−ク１２の表面積と
磁石１１と磁性体ヨーク１２間の空隙Ｇとの関係として
理論上容易に算出することができる。従って、設定条件
が満足すれば、対向する磁性体ヨ−ク１２の磁界集束性
が十分に発揮され、磁気感度を損なうことなく磁気セン
サの高分解化が達成できる。

【００２５】図２は、本発明磁気センサ装置の一層具体
的な構成を示す。１５は磁石１１の筺体部である。筺体
部１５は、周知な方法を用いて磁石１１を収納する有底
室を形成したケースで、樹脂や非磁性体金属で構成す
る。樹脂を用いる場合は磁石１１をインサートモールド
してもよい。この筺体部１５には、磁石１１の磁極の部
分に非磁性材料の肉厚部１５ａを設けてある。磁性体ヨ
ーク１２は、磁石１１と同様の材料で作った筺体部１６
に収納されている。筺体部１６は、磁性体ヨーク１２の
凸形の磁脚部１２ａから挿入する室を備えたケースで、
磁脚部１２ａの先端部分が貫通している。貫通孔の部分
には、ケース１６の外表面と磁気検出素子１３ａ，１３
ｂとの間に一定の空隙１７が設けられている。１８は磁
性補助板で、磁石１１のもう一つの磁極面（Ｓ極）に接
触している。磁性補助板１８は、磁性体ヨーク１２と同
じ種類の磁性材料で構成する。

【００２６】上述の空隙１７は、被検出体１９が非接触
で低速走行する場合は必ずしも必要としないが、被検出
体１９が高速で走行するときは、被検出体１９が磁気検
出素子取付部分に衝突することがある。この衝突が生じ
ると、磁気検出素子１３ａ，１３ｂはピエゾ雑音を発生
するので、その防止のための緩衝空隙である。この目的
から、ケース１６の表面をタングステンやチタン等の非
磁性金属板で覆ても良い。

【００２７】被検出体１９は、図面の１点破線上を走行
するように、図示していない駆動機構によって駆動する
が、可能な限り磁石１１の磁極面から離れた位置、換言
すれば、磁気検出素子１３ａ，１３ｂの取付側に近い所
を走行させる。これは、磁石１１の近傍では、発散磁界
が残存し、この影響によって磁気検出素子１３ａ，１３
ｂからの検出信号波形の前縁や後縁にダンピング、所謂
バックシグナルが発生し、信号の品質を低下させるから
である。このようなことから、磁石１１の磁極面部分に
ケース１５の肉厚部１５ａを設けて、被検出体１９を磁
気検出素子側に近いところを強制的に走行させる。図２
に於ては、ケース１６の被検出体走行表面からの空隙１
７の深さＬ１に比べてケース１５の肉厚Ｌ２を厚くして
いる。

【００２８】図３は、図２を更に発展させたもので、ケ
ース１５，１６の外側に、磁性体ヨーク１２と同様の磁
性体材料で作った磁性補助板２０を設けても良い。磁性
補助板２０は、その両端部分で磁石１１と磁性体ヨーク
１２に接して高透磁率の閉磁路を形成している。磁石１
１から発生した磁束は、被検出体１９の走行空間Ｓを通
って磁性体ヨーク１２に達した後、磁性補助板２０を通
って磁石に戻る。図１と図２の実施例では、磁性体ヨー
ク１２を通った磁束が空間磁路を通って磁石１１に戻る
ことから開磁路型磁路を形成しているが、図３の実施例
では閉磁路型磁路のため、磁石１１からの発散磁界が減
少し、磁気効率が増大し、磁石１１の小形化ができる。

【００２９】（実施例２）図４を用いて本発明の他の実
施例を説明する。磁気検出素子２３ａ，２３ｂは、図１
の磁気検出素子１３と同じであり、同様に、磁石２１
は、磁石１１と、またサブストレート２４は、サブスト
レート１４と同じ構成であるので、その説明を省略す
る。

【００３０】磁気検出素子２３ａ，２３ｂは、図１の場
合と同様に、直列に接続され、分圧回路を構成してい
る。また、磁界を与える永久磁石２１と磁性体ヨーク２
２は、被検出体１９が通る通路Ｓを挟んで相対する状態
に配置されている。磁性体ヨーク２２は、図１の磁性体
ヨーク１２と同じ軟磁性体の材質で作られており、磁石
２１と対抗する側には、磁石２１の磁極面に垂直な方向
に幅０．２ｍｍ程度の切欠部２８が切込まれている。換
言すれば、磁性体ヨーク２２は、幅狭な２つの磁脚部２
２ａ，２２ｂに枝別れした構成であり、磁脚部２２ａの
端面に磁気検出素子２３ａが配置され、磁脚部２２ｂの
端面に磁気検出素子２３ｂが配置される。磁脚部２２
ａ，２２ｂは、磁石２１の磁極面と垂直な方向に形状磁
気異方性を有する。磁気検出素子２３ａ，２３ｂは、磁
石２１により、その磁気抵抗変化が線形になる領域に磁
気バイアスされる。

【００３１】ケース２５は、図２のケース１５と同様で
あり、相違しているのは被検出体１９が通過する側が平
坦になっていることである。また、ケース２６は、図２
の材質と同じ材質であり、また、図４では断面として示
しているが、必要に応じて磁気検出素子２３ａ，２３ｂ
のリード線や磁気検出素子２３ａ，２３ｂで作る分圧回
路から得られた電気信号を増幅する増幅回路等が組込ま
れる。なお、２７は図２の空隙１７と同じ理由で設けら
れた空隙である。

【００３２】こように構成した磁気センサ装置に、被検
出体１９が図示した矢印方向に移動すると、被検出体１
９に構成した磁気コ−ドや微少磁性パターンが磁性体ヨ
−ク２２の磁脚部２２ａ，２２ｂに集中している磁界に
変化を生じさせ、この変化が磁気検出素子２３ａ，２３
ｂに交互に加えられる。ここで用いている磁気検出素子
２３ａ，２３ｂは、磁界が増減するとその抵抗値が増減
する特性を持つので、磁界変化に従った信号が磁気検出
素子２３ａ，２３ｂの分圧回路から時系列電圧信号変化
として取り出される。

【００３３】この実施例では、磁性体ヨ−ク２２に切欠
部２８を磁気検出素子２３ａと２３ｂの中間部に形成し
ている。従って、磁性体ヨーク２２の磁気検出素子２３
ａ，２３ｂの取付端面の部分は、形状磁気異方性を持ち
磁束密度は向上するが、磁性体ヨ−ク２２の切欠部２８
のない部分は、低レラクタンス部として低い磁気抵抗を
持ち磁気効率が向上する。この様に、低レラクタンス部
分と形状磁気異方性部分を一体化することで一段と分解
能が向上する。

【００３４】図５は、被検出体１９上の検出すべき磁性
パターンが２列（チャネル）ある場合の磁性体ヨーク３
０の構成を示す。磁脚区分３１と３２の部分は、それぞ
れ磁性パターンのチャネルに対応しており、磁脚区分３
１と３２の間に切削溝３４で区分した補助磁脚部３３を
設けてチャネル間のクロスト−クを低減している。磁脚
区分３１と３２の幅は、４．５ｍｍ、補助磁脚部３３の
幅は１ｍｍ程度である。

【００３５】また、図６は、図５のＸ−Ｘ断面を示すも
ので、磁性体ヨーク３０の磁石と向い合う磁脚区分３
１，３２の側は、切欠部３５を設けた幅狭の磁脚部３２
ａ，３２ｂとして構成し、形状磁気異方性を強化すると
共に２つの磁気検出素子に加えられる磁界を分離する構
造としている。この磁性体ヨーク３０では、切欠部３５
と相対するごとく磁性体ヨーク３０の低レラクタンス部
分３０ａに背面切欠部３６を設けている。この構成で
は、磁脚部３２ａ，３２ｂの先端に集中した磁束は２つ
の切欠部３５，３６により分離された磁路を通ることに
なる。

【００３６】図７は、磁性体ヨークの他の実施例を示す
もので、図６と相違する点は磁脚区分３１，３２が先端
から離れるほど幅広に構成されていることである。この
構造では磁気検出素子を取付ける部分の形状磁気異方性
の効果が図６の場合より低下するが、切欠部３５を設け
てあるため形状磁気異方性の効果が大きく、磁性体ヨ−
ク３０の磁脚部先端に磁界が集中する。

【００３７】なお、上述では、主に、被検出体１９の検
出すべき磁性パターンが１列（チャネル）の場合につい
て説明したが、被検出体１９の検出すべき磁性パターン
が複数列（多チャネル）の場合は、図８（Ａ）のよう
に、複数の磁石３９ａ，３９ｂ，３９ｃ，３９ｄを同じ
磁極が同じ方向を向くように配列する。また、磁石４０
の磁性体ヨークに向い合う側の磁極を、図８（Ｂ）に示
すように、チャネルごとに突出して構成し、突出部分４
０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄを同じ磁極とする。この
場合、各突出部分が検出すべき各チャネルに該当する。
勿論、磁性体ヨークもチャネルの数に応じて、図１のよ
うな磁性体ヨーク１２、または、図４に示すような磁性
体ヨーク２２を併設する。或は、図５に示すように、１
つの磁性体ヨーク３０をチャネルごとに磁脚区分を設け
てもよく、この場合は、磁脚区分の間には補助磁脚部３
３が設けられる。

【００３８】また、上記何れの実施例でも磁界印加手段
として永久磁石につして説明したが、軟磁性磁性体に電
磁コイルを巻線した電磁石でも良い。この場合、電磁コ
イルには、直流電流、交流電流、パルス電流の何れでも
磁気センサ装置の用途に応じて用いることができ、電磁
コイルに流す電流は被検出体が磁気検出素子の位置を通
過する時間のみに流すこともできる。

【００３９】

【発明の効果】上述のように、磁性体ヨークの形状磁気
異方性を有する磁脚部附近に磁気検出素子を配置するこ
とによって、磁界印加手段から発生した磁束が磁性体ヨ
ークの磁脚部の先端部分に向けて収束する磁束を受け、
被検出体の通過によって生じる磁界の微少変化を、高い
分解能で検出することができる。また、磁脚部を２つの
分割して形成してある場合は、形状磁気異方性の効果が
更に促進され、磁気検出素子に作用する磁界の切れが良
くなり、分解能の一層の向上を図ることができる。

【００４０】磁気検出素子は磁性体ヨーク側に配置され
ているから、磁界印加手段、特に永久磁石の寸法が分解
能に影響を与えることがないので、永久磁石の選定が容
易になり安価な磁気センサ装置が得られ、また、磁気検
出素子のサブストレ−トが磁性体で構成されていても磁
界の作用による吸着を受けず、磁気検出素子の安定した
装着装着が可能となり、バラツキの少ない磁気センサ装
置が得られる。また、空間磁路の一部又は全部を磁性体
部材で満たすと、磁路全体の磁気効率が向上し、磁界印
加手段から発生する磁界を軽減することができる。

【００４１】また、磁界印加手段から発生する磁界強度
を選ぶことによって、磁界印加手段の磁極面と磁気検出
素子の間に２ｍｍ以上の空隙があっても高異分解能の磁
気センサ装置が得られる。また、被検出体と磁気検出素
子の間にケースによって空隙を作ったので、被検出体の
衝突によるピエゾ雑音の発生を抑圧でき、Ｓ／Ｎの良い
磁気センサ装置が得られる。

【００４２】本発明の磁気センサ装置を多チャネルの磁
気センサ装置として構成する場合でも、磁石の同磁極配
列や磁性体ヨークの構成によって、チャネル間クロスト
−クの少ない多チャネル磁気センサ装置が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例に係る磁気センサ装置の概
略構成を示す断面図である。

【図２】本発明の第１実施例に係る磁気センサ装置のよ
り具体的な構成を示す断面図である。

【図３】図２の実施例に係る磁気センサ装置の変形例を
示す側面断面図である。

【図４】本発明の第２実施例に係る磁気センサ装置の概
略構成を示す断面図である。

【図５】本発明の多チャネル用の磁気センサ装置に於け
る磁性体ヨークの形状を示す側面図である。

【図６】図５の線Ｘ−Ｘに於ける第１の実施例を示す断
面図である。

【図７】図５の線Ｘ−Ｘに於ける第２の実施例を示す断
面図である。

【図８】本発明の多チャネル用の磁気センサ装置に於け
る磁界印加手段で、（Ａ）は複数の磁石を配列した実施
例を示し、（Ｂ）は１つの磁石で構成した実施例を示
す。

【図９】従来の磁気センサ装置の概略構成を示す断面図
である。

【図１０】一対の磁気検出素子を用いて構成した分圧回
路を示す。

【図１１】従来の磁気センサ装置の他の実施例の概略構
成を示す断面図である。

【図１２】図１２の磁気センサ装置の動作を説明するた
めの概略斜視図である。

【符号の説明】

１１，２１は磁石１２，２２，３０磁性体ヨーク１２ａ，２２ａ，２２ｂ，３２ａ，３２ｂ，３２ｃ，３
２ｄは磁脚部１３ａ０１３ｂ，２３ａ，２３ｂは磁気検出素子１５，１６，２５，２６はケース３１，３２は磁脚区分

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】形状磁気異方性を持つ磁脚部と低レラクタ
ンス部を一体で構成した磁性体ヨ−クと、前記磁脚部の
先端近傍に少なくとも１個の磁気検出素子を配置し、被
検出媒体が走向する空間を介して前記磁気検出素子に磁
界を印加する手段を配置して構成したことを特徴とする
磁気センサ装置。
【請求項２】所定の磁束密度の磁束を発生する磁界印加
手段と、該磁界印加手段の１つの磁極面と被検出媒体が
走向する空間を介して配設した磁性体ヨークとを備え、
該磁性体ヨークを、磁気抵抗の小さい低レラクタンス部
と前記磁界印加手段の磁極面と並行な方向に磁気抵抗の
高い磁脚部とから一体に構成し、該磁脚面の先端近傍に
少なくとも１個の磁気検出素子を配置して構成したこと
を特徴とする磁気センサ装置。
【請求項３】磁性体ヨークの磁脚部を切欠部で２つに分
割して構成すると共に各磁脚部の先端近傍に夫々少なく
とも１個の磁気検出素子を配置したことを特徴とする請
求項１又は請求項２記載の磁気センサ装置。
【請求項４】磁界印加手段と磁性体ヨークから構成する
磁路以外の磁路の一部又は全部を磁性体部材で構成した
ことを特徴とする請求項１又は請求項２又は請求項３記
載の磁気センサ装置。
【請求項５】磁性体ヨークに、被検出体の検出すべき複
数のチャネルに対応して複数の磁脚区分を設け、該磁脚
区分を形状磁気異方性を持つ磁脚部として構成したこと
を特徴とする請求項１又は請求項２記載の磁気センサ装
置。