JPH07204547A - 薄板部材の液処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 ワークをコンベアで搬送する間に、ワークに
対して洗浄液やその他の液を供給して行う液処理を行う
に当って、ワークの表面に液膜が形成されるのを防止す
る。 【構成】 洗浄チャンバ１０内には、ワーク１を搬送す
るコンベア１１が設けられ、コンベアの途中の上部位置
に、液流通パイプ１２ａと、複数箇所設けた液噴射部材
１２ｂとからなる噴射ノズル１２はワークの搬送方向に
複数本設けられている。コンベアは、所定のピッチ間隔
で配置した回転軸１３に一対のローラ１４を装着し、回
転軸の端部にプーリ１５を装着し、プーリにはモータ１
６により駆動されるベルト１７が巻回されている。各回
転軸の両側部を回転自在に支承する支持プレート１８，
１８は、ワークの搬送方向と直交する方向に角度θ傾斜
した傾斜基台１９に固定して設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ガラス基板等のよう
に、平板状の薄板部材からなるワークを洗浄したり、そ
の他の処理を行ったりするために、このワークに向けて
液を噴射することによって、シャワリングを行う薄板部
材の液処理装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】例えば、ガラス基板に配線パターンを形
成するには、まずこのガラス基板を洗浄し、次いでフォ
トレジスト膜をコーティングして、このフォトレジスト
膜を露光・硬化させ、その後に余分のフォトレジスト膜
を溶剤で洗い流すようにして除去し、さらに再び洗浄を
行う等といったプロセスを経る必要がある。ここで、ガ
ラス基板の洗浄及びフォトレジスト膜の剥離の各プロセ
スは、洗浄液や溶剤に浸漬させて行う場合もあるが、近
年においては、処理効率の向上及び完全自動化を図るた
め等の観点から連続方式が採用されるようになってきて
いる。この連続方式は、前述したガラス基板等のワーク
をコンベアからなる搬送手段に載置して所定の方向に搬
送する間に、噴射ノズルによって洗浄液や溶剤等の液体
をシャワリングする方式である。

【０００３】従来技術においては、ワークはコンベア上
で水平に載置して搬送するようになし、このコンベアに
よるワークの搬送路の上部位置に複数本の噴射ノズルを
配置することによって、所定の区間にわたって連続的に
洗浄液等をワークの表面に向けて噴射するように構成し
たものが用いられている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前述したよ
うに、ワークを水平状態に配置した状態で、上方から洗
浄液等を噴射させると、ワークの表面に液が滞留して、
液膜が形成されることになる。このように液膜が形成さ
れると、その上から液を噴射させてもワークには噴射圧
が直接作用せず、このために噴射ノズルを配置した区間
を長く取ったとしても、あまり洗浄効果を向上させるこ
とはできない。しかも、次の工程に移行する際に、ワー
ク上に滞留した液がこの次工程に持ち込まれることにな
り、次工程における処理に対して悪影響を及ぼすと共
に、当該の工程において、液を回収して再利用する場合
において、液損が生じることになる等といった欠点があ
る。従って、次工程に液を持ち込まないようにするため
には、当該の処理工程と次工程との間にワークの表面に
溜った液を排出するための機構を設けなければならず、
このために装置構成が大型化すると共に、処理ラインが
長くなってしまう等という不都合が生じる。

【０００５】本発明は以上の点に鑑みてなされたもので
あって、その目的とするところは、ワークに液処理を行
うに当って、ワークの表面に液膜が形成されるのを防止
できるようにすることにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明は、平板状の薄板部材からなるワークを
搬送手段に沿って搬送する間に、上方位置に設けた噴射
ノズルから液を噴射させて、ワークに対してシャワリン
グすることにより所定の処理を行うものであって、その
搬送手段をワークの搬送方向と直交する方向に一定の角
度傾斜させることによって、ワークが傾いた状態で搬送
する構成としたことをその特徴とするものである。

【０００７】

【作用】ワークを傾斜させることによって、ワークに向
けて液をシャワリングを行った時に、この液はワークに
接触した後に、速やかにその傾斜に沿って流下する。従
って、ワークの表面には常に新たな液が所定の噴射圧を
もって供給されるようになり、洗浄等の処理を極めて高
い効率で行うことができる。そして、液供給部を通過し
て、液の供給が断たれた直後には、ワーク上に液は殆ど
残らないようになり、そのまま次の工程に搬入しても、
液が次工程に持ち込まれることはなく、この次工程で処
理を行うに当って、液の持ち込みによる悪影響が及ぶの
を防止できる。また、液を回収して再利用する場合にお
いて、液損が生じるのを防止できるようになる。

【０００８】

【実施例】以下、図面に基づいて本発明の実施例を説明
する。まず、図１において、１はガラス基板等のよう
に、平板状の薄板部材からなるワークであって、このワ
ーク１は、その表面に洗浄液をシャワリングすることに
より洗浄する処理が行われる。このために、洗浄チャン
バ１０が設けられており、この洗浄チャンバ１０内に
は、ワーク１を搬送するコンベア１１が設けられると共
に、このコンベア１１の途中における上部位置に、液流
通パイプ１２ａと、この液流通パイプ１２ａの軸線方向
に複数箇所設けた液噴射部材１２ｂとからなる噴射ノズ
ル１２はワーク１の搬送方向に複数本設けられている。

【０００９】コンベア１１は、図２及び図３に示したよ
うに、所定のピッチ間隔をもって配置した回転軸１３に
一対のローラ１４を装着すると共に、この回転軸１３の
端部にプーリ１５を装着してなるものであって、このプ
ーリ１５にはモータ１６により駆動されるベルト１７が
巻回されており、このモータ１６によって全てのローラ
１４が回転駆動されるようになっている。そして、ロー
ラ１４は円形の本体部１４ａの片側に鍔部１４ａが連設
されており、ワーク１の端部はこの鍔部１４ａにガイド
されるようになっている。また、本体部１４ａには摩擦
力の大きなゴムリング１４ｃが装着されており、ワーク
１はこのゴムリング１４ｃに係合して、図２の矢印方向
に送られるようになっている。

【００１０】ここで、各回転軸１３の両側部は支持プレ
ート１８，１８に回転自在に支承されるが、この左右の
支持プレート１８，１８は傾斜基台１９に固定して設け
られている。この傾斜基台１９はワーク１の搬送方向と
直交する方向に角度θ傾斜しており、このためにワーク
１は左右に傾いた状態で搬送されることになる。このよ
うにワーク１が傾いた状態で搬送される際に、このワー
ク１の位置ずれを防止するために、傾斜における下方側
に位置する前後のローラ１４，１４間の位置にはガイド
ローラ２０が回転自在に設けられており、ワーク１をこ
のガイドローラ２０にガイドさせることによって、安定
した状態で真直ぐに搬送されるようになる。

【００１１】また、ワーク１の搬送経路において、噴射
ノズル１２の液噴射部材１２ｂからの洗浄液が供給され
る部位では、表面に洗浄液が供給されて、滑り易くなっ
ているので、ローラ１４のみでは必ずしも円滑に搬送で
きない。そこで、ワーク１の上面に当接する押えローラ
２１，２１がローラ１４，１４に対面するように配置さ
れており、この押えローラ２１にもゴムリング２２が装
着されている。これによって、ワーク１はローラ１４の
ゴムリング１４ｃと押えリング２１のゴムリング２２と
に挾持されることになって、十分な摩擦力が発揮され
て、安定した駆動力を発揮させるようになる。ローラ１
４と押えローラ２１とは、同期して相互に反対方向に回
転させる必要があり、このためにこれらローラ１４及び
押えローラ２１にはそれぞれギア２３，２４を連設し、
これら両ギア２３，２４を噛合させることによって、ロ
ーラ１４側のギア２３から押えローラ２１側のギア２４
に回転力を伝達するようにしている。

【００１２】さらに、噴射ノズル１２から噴射された洗
浄液を回収して、再利用するようになっており、このた
めに傾斜基台１９の下方の端部には樋２５が設けられて
おり、この樋２５には洗浄液回収配管２６が接続されて
いる。そして、この洗浄液回収配管２６の途中にはフィ
ルタ２７が設けられており、このフィルタ２７によって
異物その他の汚損物質が除去されるようになっており、
また洗浄液回収配管２６の他端には貯留タンク２８が接
続されている。さらに、この貯留タンク２８と噴射ノズ
ル１２の液流通パイプ１２ａとの間には、ポンプ２９を
設けた洗浄液供給配管３０が接続されている。

【００１３】本実施例は以上のように構成されるもので
あって、ワーク１はコンベア１１におけるローラ１４上
に載置されて、モータ１６を作動させることによって、
ワーク１は傾斜した状態で搬送され、洗浄チャンバ１０
内に送り込まれる。そして、この洗浄チャンバ１０内に
設けた噴射ノズル１２の配設位置まで到達すると、噴射
ノズル１２から噴射される洗浄液がワーク１に供給され
て、このワーク１の表面がシャワー洗浄される。ここ
で、ワーク１は傾斜しているために、ワーク１に供給さ
れた洗浄液は、直ちにこのワーク１の傾斜に沿うように
流下することになる。この結果、ワーク１の上に液が溜
ることがないので、噴射ノズル１２を設けた洗浄区間の
全体において、ワーク１の表面には常に新たな洗浄液が
所定の噴射圧をもって供給されることになり、洗浄効率
は極めて良好となる。

【００１４】噴射ノズル１２から供給される洗浄液によ
る洗浄が終了すると、直ちにワーク１の表面から洗浄液
が排出されることになるから、ワーク１が洗浄チャンバ
１０から出る時には、このワーク１上には殆ど洗浄液が
付着していない状態となる。従って、ワーク１が次工程
に移行する前の段階で、ワーク１には洗浄液が排出され
るので、次工程に入る前にワーク１上に溜った洗浄液を
排出するための操作を行う機構を設ける必要がなくな
り、装置構成が簡略化されると共に、この洗浄工程から
次工程への間隔を極めて短くすることができる。

【００１５】また、洗浄液はワーク１に供給した後に、
洗浄液を貯留タンク２８に回収して再利用するようにな
っているが、洗浄液が洗浄チャンバ１０から外部に持ち
出されると、その再利用が不能になる。しかしながら、
洗浄液は、ワーク１に供給された後に、その殆どがワー
ク１の傾斜に沿って流下して樋２５内に回収される。そ
して、このようにして回収された洗浄液は、フィルタ２
７を経て貯留タンク２８に送り込まれて、再び噴射ノズ
ル１２に循環されることから、洗浄液の消費量が少なく
なり、効率的な再利用が可能となる。

【００１６】ここで、前述したように、ワーク１は角度
θ傾斜させているが、噴射ノズル１２はこのワーク１の
傾斜角に応じた角度に傾斜させておくと、ワーク１の全
面に対して均一に洗浄液を供給できるようになる。ただ
し、洗浄液はワーク１の傾斜面に沿って流れるので、ワ
ーク１の表面全体を見ると、下方側の部位は上方側より
洗浄液の供給量が多くなる。そこで、噴射ノズル１２を
図１に仮想線で示したように、水平に配設しておけば、
洗浄液の供給量が少ない上方側に位置する部位における
洗浄液の噴射圧力は、供給量の多い下方側より高くなる
ことから、ワーク１の表面における洗浄液の噴射圧力と
供給量とのバランスが良好となる。

【００１７】なお、以上の実施例においては、ワーク１
の洗浄を行うために、噴射ノズル１２から洗浄液をワー
ク１の表面にシャワリングするように構成したものとし
て説明したが、これ以外でも、溶剤を噴射させて、フォ
トレジスト膜の除去その他ワークに対して所望の液処理
を行う装置として構成することもできる。

【００１８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、搬送手
段をワークの搬送方向と直交する方向に一定の角度傾斜
させることによって、ワークを傾斜させた状態で搬送す
るように構成したので、ワークに対して洗浄等の液処理
を行うに当って、ワークの表面に液が溜るのを防止でき
ることから、ワークに液を供給した時に、その表面には
常に新たな液が所定の噴射圧で供給されるようになり、
洗浄等の処理効率を高めることができ、また液の供給を
停止した後には、ワーク上には液は殆ど残らず、この工
程の直後に次の工程に搬入しても、液が次工程に持ち込
まれることがなくなり、この次工程で処理を行うに当っ
て、持ち込まれた液により悪影響が及ぶのを防止でき、
当該の工程と次工程との間において、別途ワーク上に溜
っている液を排出する機構を備える必要がなくなるだけ
でなく、液を回収して再利用する場合において、液損が
生じるのを防止できる等の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す液処理装置の構成説明
図である。

【図２】図１の平面図である。

【図３】図１の要部拡大図である。

【符号の説明】

１ ワーク １０ 洗浄チャンバ １１ コンベア １２ 噴射ノズル １４ ローラ １８ 支持プレート １９ 傾斜基台

フロントページの続き (72)発明者 森田 宣夫 東京都千代田区大手町二丁目６番２号 日 立電子エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 市川 久賀 東京都千代田区大手町二丁目６番２号 日 立電子エンジニアリング株式会社内

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 平板状の薄板部材からなるワークを搬送
   手段に沿って搬送する間に、上方位置に設けた噴射ノズ
   ルから液を噴射させて、ワークに対してシャワリングす
   ることにより所定の処理を行うものにおいて、前記搬送
   手段をワークの搬送方向と直交する方向に一定の角度傾
   斜させることによって、前記ワークが傾いた状態で搬送
   する構成としたことを特徴とする薄板部材の液処理装
   置。