JPH07192630A

JPH07192630A - ガス放電表示パネル及びその保護膜形成方法

Info

Publication number: JPH07192630A
Application number: JP5331334A
Authority: JP
Inventors: Ichiro Koiwa; 一郎小岩; Mitsuro Mita; 充郎見田; Katsuaki Sakamoto; 勝昭坂本; Takao Kanehara; 隆雄金原; Shigeru Takasaki; 茂高崎
Original assignee: Oki Electric Industry Co Ltd
Current assignee: Oki Electric Industry Co Ltd
Priority date: 1993-12-27
Filing date: 1993-12-27
Publication date: 1995-07-28

Abstract

(57)【要約】【目的】交流型ＰＤＰにおいて量産に適ししかもより
良好なパネル特性の得られる保護膜を提供する。【構成】ソーダライムガラス基板18上に順次に電極1
0、壁電荷蓄積用誘電体14及び保護膜16を設ける。保護
膜16を、粒径の異なる MgO粒子16a、16b と MgOバインダ
ー16c とから成る燒結体とする。焼成によりMgO となる
液相の前駆体を用いてバインダー16c を形成する。これ
により保護膜16を量産し易くする。ソーダライムガラス
が変質しないような580 ℃以下の温度で前駆体を焼成し
た場合、バインダー16c の結晶粒密度を高めることは難
しい。しかしながら粒子16a、16b の粒径が異なるので保
護膜16におけるこれら粒子の分布密度を高めることがで
きる。従ってこれら粒子を単結晶粒子とすることによ
り、保護膜16の結晶粒密度を高めることができるので目
的を達成できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明はガス放電表示パネル特
に交流型のガス放電表示パネルとその保護膜の形成方法
とに関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、パネル厚を薄くしかつ大面積な表
示画面を形成できるガス放電表示パネルが注目されてい
る。ガス放電表示パネルは、その駆動方法に応じて直流
型のものと交流型のものとに大別される。交流型のひと
つとして、例えば文献１：テレビジョン学会技術報告
ＩＤＹ９３−２（１９９３年１月）に開示されている面
放電型ガス放電表示パネルがある。

【０００３】文献１のガス放電表示パネルにあっては、
二本のサステイン電極を一対として複数対のサステイン
電極を一方の基板上に並列配置し、これらサステイン電
極上に順次に壁電荷蓄積用誘電体及び保護膜を設ける。
他方の基板上には、複数のアドレス電極を並列配置し、
各アドレス電極の間に隔壁を設けると共に各アドレス電
極上に蛍光体層を設ける。そして一方及び他方の基板の
電極形成面を向き合わせた状態で、これら基板を封着
し、封着した基板間に放電ガスを封入する。保護膜は、
壁電荷蓄積用誘電体をガス放電による損傷から守りこれ
によりパネル寿命を長くするためのものである。パネル
の長寿命化のみならず放電開始電圧の低減にも適してい
るＭｇＯ膜を保護膜として用いる。

【０００４】この従来パネルでは、ＭｇＯ保護膜を薄膜
形成技術により形成しており、従って薄膜形成用の真空
容器を必要とする。薄膜形成技術によれば、結晶粒密度
が高くしかも膜厚方向に結晶性が均一なＭｇＯ保護膜を
形成できる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ガス放
電表示パネルの表示画面を大きくする場合は、大面積の
基板が必要でありこの基板を収納できる大型の真空容器
が必要となる。このため、真空装置のコストが非常に割
高になる。

【０００６】そこでＭｇＯ粉末と焼成によりＭｇＯ固相
バインダーとなる液相前駆体とを含むペーストを調製
し、このペーストを焼成してＭｇＯ燒結体保護膜を形成
する方法が考えられる。この保護膜は、その形成におい
て真空容器が不要でありまたガス放電表示パネルを量産
するのに適しているという利点を有する。保護膜をＭｇ
Ｏ燒結体とした場合、長寿命化や放電維持電圧の低減と
いったパネル特性を向上するためには、ＭｇＯ燒結体保
護膜の結晶粒密度を高めることが重要となる。

【０００７】ところでガス放電表示パネルの基板として
一般にはソーダライムガラスを使用しており、従って基
板の変形や変質を避けるためにはペーストの焼成温度を
５８０℃程度以下に抑えることが必要となる。しかしな
がら、現状においては、液相前駆体に適していると考え
られる物質を５８０℃以下で焼成すると、焼成温度が低
いために結晶粒密度の充分に高いＭｇＯバインダーを形
成することは難しい。これに対し結晶粒密度の高い粒子
特に単結晶の粒子を作成することは比較的容易である。

【０００８】この発明はこのような点に鑑みて成された
ものであり、量産に適ししかもより良好なパネル特性の
得られるガス放電表示パネルとその保護膜の形成方法と
を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、この発明のガス放電表示パネルは、表示用ガス放電
を形成するための第一及び第二電極と、第一及び第二電
極を覆う壁電荷蓄積用誘電体と、壁電荷蓄積用誘電体上
に設けた保護膜とを備えて成る交流型ガス放電表示パネ
ルにおいて、保護膜は粒径の大きな粒子と粒径の小さな
粒子とこれら粒子を互いに結合するためのバインダーと
を含んで成る燒結体であることを特徴とする。

【００１０】この発明のガス放電表示パネルの保護膜形
成方法は、交流型ガス放電表示パネルの電極を覆う壁電
荷蓄積用誘電体上に保護膜を形成するに当り、粒径の大
きな粒子と粒径の小さな粒子と焼成により固相バインダ
ーとなる液相前駆体とを含んで成るペーストを調製し、
ペーストを壁電荷蓄積用誘電体上に積層した後に焼成し
て保護膜を形成することを特徴とする。

【００１１】

【作用】この発明のガス放電表示パネルによれば、保護
膜は粒径の大きな粒子と粒径の小さな粒子とを含む燒結
体であるので、当該保護膜における粒子の分布密度を高
めることができる。従ってこれら粒子の間を埋め込むバ
インダーの結晶粒密度を高めることが難しい場合であっ
ても、粒子の分布密度を高めることによって、保護膜全
体にわたって結晶粒密度を高めることができる。

【００１２】またこのガス放電表示パネルの保護膜形成
方法によれば、前駆体は液相であるので、この前駆体と
粒子とを混合することにより、粒子を、保護膜形成用の
ペースト中において凝集しないようにほぼ均一に分散さ
せることができる。従ってこのペーストを焼成して保護
膜を形成することにより、保護膜全体にわたって粒子が
均一に分散した保護膜を形成できる。しかもペーストは
粒径の大きな粒子と粒径の小さな粒子とを含むので、保
護膜における粒子の分布密度を高めることができる。従
って前駆体を焼成して形成した固相バインダーの結晶粒
密度を高めることが難しい場合であっても、保護膜全体
にわたって結晶粒密度を高くすることができる。

【００１３】

【実施例】以下、図面を参照し、発明の実施例につき説
明する。尚、図面は発明が理解できる程度に概略的に示
してあるにすぎず、従って発明を図示例に限定するもの
ではない。

【００１４】図１はガス放電表示パネルの実施例の要部
構成を概略的に示す斜視図であって、この図において
は、一方及び他方の基板を封着しないでこれらの電極形
成面を対向させた状態を示す。また図２はこの実施例の
要部構成を拡大して概略的に示す断面図である。

【００１５】この実施例のガス放電表示パネルは、図１
にも示すように、表示用ガス放電を形成するための第一
電極１０及び第二電極１２と、これら電極１０及び１２
を覆う壁電荷蓄積用誘電体１４と、この誘電体１４上に
設けた保護膜１６とを備えて成る。保護膜１６は、図２
にも示すように、粒径の大きな粒子１６ａと粒径の小さ
な粒子１６ｂとこれら粒子１６ａ、１６ｂとを互いに結
合するためのバインダー１６ｃとを含んで成る燒結体で
ある。

【００１６】この実施例では、交流型のうち面放電型の
ガス放電表示パネルを構成するものであって、第一電極
１０及び第二電極１２を並列させて一方の基板１８例え
ば背面板上に設け、これら電極１０及び１２をそれぞれ
第一の方向Ｐに延在させる。第一電極１０と第二電極１
２とを隣接配置して一対の電極対Ｔと成し、複数対の電
極対Ｔを並列させて設ける。これら電極対Ｔ上に順次
に、壁電荷蓄積用誘電体１４及び保護膜１６を設ける。
第一及び第二電極１０及び１２を例えばストライプ状の
電極とする。

【００１７】さらに第三電極２０とバリアリブ２２と
を、他方の基板２４例えば前面板上に設ける。第三電極
２０を、平面的に見て第一の方向Ｐと交差する第二の方
向Ｑ、ここでは第一の方向Ｐと直交する第二の方向Ｑに
延在させる。そして複数個の第三電極２０を並列配置
し、隣接する第三電極２０の間にバリアリブ２２を配置
する。第三電極２０を例えばストライプ状の電極、また
バリアリブ２２を例えばストライプ状のリブとする。さ
らに蛍光体２６を各第三電極２０毎に分離して第三電極
２０上に設ける。赤、緑及び青色の蛍光を発する３種類
の蛍光体２６を所定の配置関係で配置する。

【００１８】一方の基板１８と他方の基板２２とを、図
１に示すように電極形成面を向き合わせ、これら基板１
８、２２の周辺部分を図示しない封止材で封着する。封
着した基板１８、２２間の放電空間に放電ガスを封入す
る。

【００１９】第一電極１０及び第二電極１２はサステイ
ン電極である。これら電極１０及び１２を介して放電ガ
スに交流を流して表示発光のためのプラズマ放電を発生
させ或は維持する。対を成す電極１０及び１２の間に電
位差を与えると、壁電荷蓄積用誘電体１４の作用により
保護膜１６上に壁電荷が生じ、この壁電荷が交流となっ
て放電ガスを流れる。プラズマ放電で生じた紫外線によ
り蛍光体２６を励起発光させる。第三電極２０はアドレ
ス電極であって、この電極２０を利用することにより表
示発光用のプラズマ放電を画素毎に選択的に形成する。
バリアリブ２２は各画素毎に放電空間を分離して誤放電
を防止するためのものである。

【００２０】保護膜１６は壁電荷蓄積用誘電体１４のス
パッタを防止するためのものである。ここでは、保護膜
１６の粒子１６ａ、１６ｂをＭｇＯ粒子とする。これ
は、ＭｇＯが耐スパッタ性に優れるのみならず放電開始
電圧をも低減でき、現状では、ＭｇＯが最適であると考
えられるからである。耐スパッタ性のある保護膜１６を
構成できるのであれば保護膜１６の粒子１６ａ、１６ｂ
の構成元素とバインダ−１６ｃの構成元素とは種類が異
なっても良いが、ここでは、バインダー１６ｃの構成元
素を粒子の構成元素と同じ種類とし従ってバインダー１
６ｃをＭｇＯバインダーとする。尚、粒子１６ａ、１６
ｂ及びバインダー１６ｃをＭｇＯ以外のものとしても良
い。

【００２１】焼成によりＭｇＯバインダー１６ｃを生成
するＭｇＯ前駆体としては、例えば、マグネシウムジエ
トキシド、ナフテン酸マグネシウム、オクチル酸マグネ
シウム、マグネシウムジメトキシド、マグネシウムジｎ
−プロポキシド、マグネシウムジｉ−プロポキシド、或
はマグネシウムジｎ−ブトキシドを含む前駆体が考えら
れる。このほか市販のＭｇＯ前駆体もある。これら現状
において考えられるＭｇＯ前駆体は、５８０℃以下の焼
成温度で焼成した場合、結晶粒密度の高いＭｇＯバイン
ダー１６ｃを生成することが難しい。しかし基板１８、
２４として一般に用いられるソーダライムガラスの変質
等を考慮すると焼成温度は５８０℃以下とすることが望
まれる。

【００２２】これに対し、保護膜１６は粒径の大きな粒
子１６ａと粒径の小さな粒子１６ｂとを含むので、保護
膜１６における粒子１６ａ、１６ｂの分布密度を高める
ことができる（例えば文献：「粉体理論と応用」久保
喜一郎他編改訂二版丸善株式会社ｐ３３８〜３４
０参照）。従って結晶粒密度の高い粒子、特に単結晶
粒子を保護膜１６の粒子１６ａ、１６ｂとして用いるこ
とにより、バインダー１６ｃの結晶粒密度を高めること
が難しくても、保護膜１６の結晶粒密度を高めることが
できる。

【００２３】そして単結晶粒子のＭｇＯ粒子１６ａ、１
６ｂを手に入れることは比較的に容易である。例えば、
マグネシウム（Ｍｇ）蒸気と酸素（Ｏ₂）との気相酸化
反応により、それぞれ独立した単結晶のＭｇＯ粒子を生
成できる。この方法は気相法と称され、気相法によれ
ば、粒子径を１００〜２５００オングストローム（以
下、オングストロームを符号Ａ°で表す）の範囲で任意
好適に調製できる。ここでは例えば粒径１０００Ａ°の
ＭｇＯ粒子１６ａと粒径５００Ａ°のＭｇＯ粒子１６ｂ
とを用い従って粒径の異なる２種類の粒子１６ａ、１６
ｂを用いるが、保護膜１６を構成する粒子として、互い
に粒径の異なる３種類以上の粒子を用いるようにしても
良い。従って互いに粒径の異なる３種類以上の粒子を用
いる場合に、これら粒子のなかから選んだ２種の粒子に
おいて一方の粒径が大きく他方の粒径が小さければ良
い。

【００２４】図３はガス放電表示パネルの保護膜形成方
法の実施例の説明に供する工程図である。この実施例で
は、図１のガス放電表示パネルが備える保護膜１６を作
成する例につき説明する。

【００２５】まず、交流型ガス放電表示パネルの一方の
基板１８上に表示発光用のガス放電を形成するための電
極１０、１２を形成し、然る後、これら電極１０、１２
を被覆する壁電荷蓄積用誘電体１４を形成する。

【００２６】この実施例では、基板１８としてソーダラ
イムガラスを用意する。そして基板１８上にＡｇ−Ｐｄ
合金の粒子と鉛ガラスバインダーとを含んで成る厚膜ペ
ースト（Ａｇ−Ｐｄ合金厚膜ペースト）を積層し、然る
後、このペーストを焼成して電極１０、１２を形成す
る。ペーストの積層は、例えばスクリーン印刷技術或は
コーターを用いた積層技術を用いて行なう。次いで、電
極１０、１２上にガラス厚膜ペースト（日本電気硝子社
製ＡＰ５２７０）を積層し、然る後、このペーストを焼
成して壁電荷蓄積用誘電体１４を形成する（図３
（Ａ））。

【００２７】次に、粒径の大きな粒子１６ａと粒径の小
さな粒子１６ｂと焼成により固相バインダー１６ｃとな
る液相前駆体２８とを含んで成るペースト３０を調製す
る。

【００２８】この実施例では、粒子１６ａ、１６ｂを気
相法により形成した単結晶のＭｇＯ粒子（宇部興産製、
純度９９．９８％のＭｇＯ粒子）とする。また固相バイ
ンダー１６ｃの構成元素と粒子１６ａ、１６ｂの構成元
素とを同じ種類とする。従ってペースト３０は、焼成に
よりＭｇＯ固相バインダー１６ｃとなる液相前駆体２８
を含む。このような液相前駆体２８としては、マグネシ
ウムジエトキシド、ナフテン酸マグネシウム、オクチル
酸マグネシウム、マグネシウムジメトキシド、マグネシ
ウムジｎ−プロポキシド、マグネシウムジｉ−プロポキ
シド及びマグネシウムジｎ−ブトキシドのなかから選択
した１又は複数の物質を含んで成る前駆体を挙げること
ができる。これら例示したマグネシウムジエトキシド等
の物質それ自体を液相の前駆体２８として用い、或はこ
れら例示した物質を溶媒と混合して液相の前駆体２８と
して用いても良い。

【００２９】ここでは粒子１６ａ、１６ｂとしてＭｇＯ
粉末を２５ｗｔ％、液相前駆体２８としてマグネシウム
ジエトキシドを２５ｗｔ％、有機樹脂としてエチルセル
ロースを５ｗｔ％、及び、溶媒としてカルビトールアセ
テートを４５ｗｔ％混合してペースト３０を調製する。
ＭｇＯ粉末としては、粒径１０００Ａ°の粒子１６ａ及
び粒径５００Ａ°の粒子１６ｂを３０ｗｔ％及び７０ｗ
ｔ％の割合で混合したものを用いる。尚、有機樹脂及び
溶媒はペースト３０の粘度を調製するためのものであ
る。

【００３０】次に、ペースト３０を壁電荷蓄積用誘電体
１４上に積層した後に焼成して保護膜１６を形成する。

【００３１】この実施例では、スクリーン印刷法そのほ
かの積層技術によりペースト３０を積層し（図３
（Ｂ））、然る後、ペースト３０を焼成してＭｇＯ保護
膜１６を形成する（図２）。前駆体２８は液相であるの
で、粒子１６ａ、１６ｂが凝集せずにペースト３０全体
にわたってほぼ均一に分散した状態の、ペースト３０を
形成できる。従ってこのペースト３０を積層し焼成する
ことにより、粒子１６ａ、１６ｂが保護膜３０全体にほ
ぼ均一に分散した状態の保護膜３０を形成できる。しか
も粒子１６ａの粒径は大きく、粒子１６ｂの粒径は小さ
いので、これら粒子１６ａ、１６ｂの分布密度を高める
ことができる。一方、液相前駆体２８の焼成温度を、基
板１８の変質を生じないような温度例えば５８０℃以下
の温度とした場合は、結晶粒密度の充分に高いバインダ
ー１６ｃを形成するのは難しい。しかし粒子１６ａ、１
６ｂの分布密度が高くしかもこれら粒子を単結晶粒子と
しているので、保護膜１６の結晶粒密度を高めることが
できる。

【００３２】次に、保護膜１６を構成する粒子の粒径を
１種類及び２種類とした場合の交流型ガス放電表示パネ
ルに関して、パネル特性を調べた実験につき説明する。

【００３３】図４は実験に供した交流型ガス放電表示パ
ネルの要部構成を概略的に示す斜視図である。同図に示
す実験パネルにおいては、他方の基板２４をソーダライ
ムガラスとし、ガラス厚膜ペースト（デュポン社製９
７４１）を用いてバリアリブ２２を形成し、緑色蛍光体
粒子（化成オプトニクス社製Ｐ１−Ｇ１）及びスクリ
ーンオイルを混合したペーストを用いて緑色の蛍光体２
６を形成した。蛍光体２６は緑色の１種のみである。第
三電極２０は設けない。セルピッチを１ｍｍとして３２
×３２セル形成し、放電ガスとしてＨｅ−５％Ｘｅガス
を封入圧力が５００Ｔｏｒｒとなるように封入した。そ
して保護膜１６を構成する粒子の粒径及び膜厚を種々に
変化させた実験パネルを用意し、個々の実験パネルにつ
きパネル特性を調べる。そのほかの構成は図１の実施例
と同様である。

【００３４】実験パネルの保護膜１６を構成する粒子の
諸特性を、後掲の表１に示す。粒子は気相法で形成した
純度９９．９８％のＭｇＯ粒子（宇部興産製）であっ
て、商品カタログ上の粒径を粒径Ｃで表す。粒径Ｃを１
００、５００、１０００及び２０００Ａ°の４種類と
し、各粒径ＣのＭｇＯ粒子につき、ＢＥＴ値（ｍ²／
ｇ）、ＢＥＴ値から算出した粒径（μｍ）、電子顕微鏡
により計測した粒径（μｍ）、かさ密度（ｇ／ｃｍ²）
及びタップ密度（ｇ／ｃｍ²）を示した。

【００３５】表１から理解できるように、電子顕微鏡に
より計測した粒径はいくらかばらつきはあるものの、こ
の計測した粒径とカタログ上の粒径Ｃとはおおむね一致
している。またＭｇＯのバルク密度はほぼ３．６５ｇ／
ｃｍ²でありこれと比較すると各粒径Ｃのかさ密度及び
タップ密度は非常に小さいことがわかる。粒径Ｃが大き
くなるにしたがって、かさ密度及びタップ密度はともに
大きくなるが、かさ密度の増加量よりもタップ密度の増
加量のほうが大きい。タップが粒子の分布密度を高める
ための手段として有効であることがわかる。

【００３６】保護膜１６の形成においてタップに代わる
手段は液相の前駆体２８である。ところが、粒径Ｃの大
きな粒子はその比表面積が小さいので（ＢＥＴ値参照）
吸油量が小さくなり、その結果、焼成時の焼き縮みによ
り保護膜１６にクラックを生じ易い。クラックの発生は
パネル寿命を非常に短くするものであり、従って粒径Ｃ
を大きくした場合にこのクラックの発生を防止するため
には、ペースト３０における前駆体２８の混合量を少な
くする必要がある。しかし前駆体２８の混合量を少なく
するとバインダー１６ｃの不在領域を生じて粒子をバイ
ンダー１６ｃで結合することができなくなる。この出願
の発明者の実験によればクラックの発生及びバインダー
１６ｃの不在領域の発生を防止するためには、粒径Ｃを
２０００〜２５００Ａ°以下とした方が良いことを確認
した。また粒径Ｃが小さくなりすぎるとペースト３０の
粘度が低くなって非常に流動しやすくなりペースト３０
の積層が難しくなる。この出願の発明者の実験によれ
ば、ペースト３０の積層をし易くするためには、粒径Ｃ
を５００Ａ°以上とした方が良いことを確認した。

【００３７】後掲の表２には、実験パネルのガス放電に
関わる特性を示す。実験においては、対を成す第一電極
１０及び第二電極１２の一方の電極に周波数２０ＫＨｚ
の矩形パルスを印加すると共に他方の電極にこの印加タ
イミングから半波長ずらした（２５μｓずらした）タイ
ミングで周波数２０ＫＨｚの矩形パルスを印加して表示
発光のためのプラズマ放電を形成する。そしてこのとき
の最大放電維持電圧Ｖ_Smax（Ｖ）と、電極１０、１２間
を流れるセル電流（表示セル１セル当りに流れるセル電
流）（μＡ／ｃｅｌｌ）と、発光効率（ｌ_m／Ｗ）とを
各実験パネル毎に調べた。表２には、これらの特性を各
実験パネル毎に示すと共に各実験パネルの保護膜１６を
構成する粒子の粒径と保護膜１６の厚さ（μｍ）とを示
す。試料番号７５２、７５５、１１００及び１１０１の
各実験パネルにおいては、保護膜１６を構成する粒子の
粒径を１種類としてそれぞれの粒径を表２に示す。また
試料番号１３０３、１３０４、１３０５及び１３０６の
実験パネルにおいては保護膜１６を構成する粒子の粒径
（Ａ°）をＥ及びＦの２種類とし、これら粒径Ｅ及びＦ
の粒子の混合比ｅ／ｆをそれぞれＥ／Ｆ＝ｅ／ｆの形で
表２に示す。ｅ及びｆは粒径Ｅ及びＦの粒子の混合量
（ｗｔ％）である。

【００３８】表２からも理解できるように、粒子の粒径
を１種類としている場合には、保護膜１６の厚さを厚く
することによりセル電流を小さくしまた発光効率を高め
ることができるが、最高放電維持電圧Ｖ_Smaxは高くな
る。この場合に、セル電流を１０μＡ／ｃｅｌｌ程度に
制限するためには保護膜１６の膜厚を４〜５μｍ程度と
する必要があり、膜厚を厚くした分だけ最高放電維持電
圧Ｖ_Smaxは２８８〜３１２Ｖ程度の高い電圧になってし
まう。

【００３９】これに対し粒子の粒径を２種類としている
場合には、保護膜１６の厚さを薄くしても、セル電流を
小さくしまた発光効率を高めることができる。しかも保
護膜１６の厚さを薄くすることにより最高放電維持電圧
Ｖ_Smaxを低く抑えることができる。粒子の粒径を２種類
とした場合は保護膜１６の結晶粒密度を高めることがで
きるので、保護膜１６の厚さを薄くしてもセル電流を制
限することができ、その結果、最高放電維持電圧Ｖ_Smax
を低く抑えることができると考えられる。この場合に
は、保護膜１６の膜厚は２．５〜３．０μｍ程度に薄く
してもセル電流を１０μＡ／ｃｅｌｌ程度に制限でき、
しかも膜厚を薄くした分だけ最高放電維持電圧Ｖ_Smaxを
２４９〜２５４Ｖ程度にまで低減できる。

【００４０】この出願の発明者の実験によれば、粒子の
粒径を２種類としている場合に保護膜１６の結晶粒密度
を高めるためには、粒子の粒径Ｅ及びＦを２倍以上異な
らせると共に、ｅ＋ｆ＝１００ｗｔ％としてｅ＝２５〜
７５ｗｔ％とするのが好ましいことを確認した。

【００４１】図５はガス放電表示パネルの他の実施例の
要部構成を概略的に示す斜視図である。この実施例で
は、一方の基板１８上に順次に、第三電極２０及び多層
配線用の誘電体３２を設ける。そして多層配線用誘電体
３２上に、第一及び第二電極１０及び１２を設ける。そ
のほかは上述した実施例と同様である。

【００４２】この場合も、複数の第三電極２０を並列配
置しており、平面的に見て、バリアリブ２２を隣接する
第三電極２０の間に配置する。また蛍光体２６を、各第
三電極２０毎に分離して隣接するバリアリブ２２の間に
配置する。

【００４３】発明は上述した実施例にのみ限定されるも
のではなく、従って各構成成分の形状、配設位置、形成
材料、数値的条件及びそのほかを任意好適に変更でき
る。

【００４４】例えば、上述した実施例では面放電型のガ
ス放電表示パネルにつき説明したが、第三電極を設けず
に第一電極を一方の基板上に及び第二電極を他方の基板
上に設け、これら第一及び第二電極を平面的に見て交差
させて単純Ｘ−Ｙマトリクス型のガス放電表示パネルを
構成しても良い。この場合、一方の基板の第一電極上順
次に壁電荷蓄積用誘電体及び保護膜を設け、他方の基板
の第二電極上に順次に覆う壁電荷蓄積用誘電体及び保護
膜を設ける。

【００４５】

【表１】

【００４６】

【表２】

【００４７】

【発明の効果】上述した説明からも明らかなように、こ
の発明のガス放電表示パネルによれば、保護膜は燒結体
であるので量産に適す。しかも保護膜を構成する粒子の
間を埋め込むバインダーの結晶粒密度を高めることが難
しい場合であっても、粒子の分布密度を高めることによ
って、保護膜全体にわたって結晶粒密度を高めることが
できる。これがため、ガス放電表示パネルのパネル特性
を向上させることのできる保護膜を形成できる。

【００４８】またこのガス放電表示パネルの保護膜形成
方法によれば、保護膜を形成するための粒子を、保護膜
形成用のペースト中において凝集しないようにほぼ均一
に分散させることができ、従ってこのペーストを焼成し
て保護膜を形成することにより、保護膜全体にわたって
粒子が均一に分散した保護膜を形成できる。しかも保護
膜における粒子の分布密度を高めることができるので、
バインダーの結晶粒密度を高めることが難しい場合であ
っても、保護膜全体にわたって結晶粒密度を高くするこ
とができる。これがため、ガス放電表示パネルのパネル
特性を向上させることのできる保護膜を形成できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】ガス放電表示パネルの実施例の要部構成を概略
的に示す斜視図である。

【図２】ガス放電表示パネルの実施例の要部構成を概略
的に示す断面図である。

【図３】（Ａ）〜（Ｂ）はガス放電表示パネルの保護膜
形成方法の実施例の説明に供する工程図である。

【図４】実験に供したガス放電表示パネルの要部構成を
概略的に示す斜視図である。

【図５】ガス放電表示パネルの他の実施例の要部構成を
概略的に示す斜視図である。

【符号の説明】

１０：第一電極１２：第二電極１４：壁電荷蓄積用誘電体１６：保護膜１６ａ：粒径の大きな粒子１６ｂ：粒径の小さな粒子１６ｃ：バインダー１８、２４：基板２８：液相前駆体３０：ペースト

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者金原隆雄東京都港区虎ノ門１丁目７番12号沖電気工業株式会社内 (72)発明者高崎茂東京都港区虎ノ門１丁目７番12号沖電気工業株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】表示用ガス放電を形成するための第一及
び第二電極と、前記第一及び第二電極を覆う壁電荷蓄積
用誘電体と、該壁電荷蓄積用誘電体上に設けた保護膜と
を備えて成る交流型ガス放電表示パネルにおいて、保護膜は粒径の大きな粒子と粒径の小さな粒子とこれら
粒子を互いに結合するためのバインダーとを含んで成る
燒結体であることを特徴とするガス放電表示パネル。
【請求項２】請求項１記載のガス放電表示パネルにお
いて、バインダーは粒子の構成元素と同じ種類の構成元
素から成ることを特徴とするガス放電表示パネル。
【請求項３】請求項１記載のガス放電表示パネルにお
いて、粒子は単結晶粒子であることを特徴とするガス放
電表示パネル。
【請求項４】請求項１記載のガス放電表示パネルにお
いて、粒子をＭｇＯ粒子及びバインダーをＭｇＯバイン
ダーとしたことを特徴とするガス放電表示パネル。
【請求項５】交流型ガス放電表示パネルの電極を覆う
壁電荷蓄積用誘電体上に保護膜を形成するに当り、粒径の大きな粒子と粒径の小さな粒子と焼成により固相
バインダーとなる液相前駆体とを含んで成るペーストを
調製し、該ペーストを壁電荷蓄積用誘電体上に積層した後に焼成
して保護膜を形成することを特徴とするガス放電表示パ
ネルの保護膜形成方法。
【請求項６】請求項５記載のガス放電表示パネルの保
護膜形成方法において、固相バインダーは粒子の構成元
素と同じ種類の構成元素から成ることを特徴とするガス
放電表示パネルの保護膜形成方法。
【請求項７】請求項５記載のガス放電表示パネルの保
護膜形成方法において、粒子は単結晶粒子であることを
特徴とするガス放電表示パネルの保護膜形成方法。
【請求項８】請求項５記載のガス放電表示パネルの保
護膜形成方法において、ペーストはＭｇＯ粒子と焼成に
よりＭｇＯ固相バインダーとなる液相前駆体とを含んで
成ることを特徴とするガス放電表示パネルの保護膜形成
方法。
【請求項９】請求項８記載のガス放電表示パネルの保
護膜形成方法において、液相前駆体は、マグネシウムジエトキシド、ナフテン酸
マグネシウム、オクチル酸マグネシウム、マグネシウム
ジメトキシド、マグネシウムジｎ−プロポキシド、マグ
ネシウムジｉ−プロポキシド及びマグネシウムジｎ−ブ
トキシドのなかから選択した１又は複数の物質を含んで
成ることを特徴とするガス放電表示パネルの保護膜形成
方法。