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JPH07176663A - リードレスダイオード - Google Patents

リードレスダイオード

Info

Publication number
JPH07176663A
JPH07176663A JP32268693A JP32268693A JPH07176663A JP H07176663 A JPH07176663 A JP H07176663A JP 32268693 A JP32268693 A JP 32268693A JP 32268693 A JP32268693 A JP 32268693A JP H07176663 A JPH07176663 A JP H07176663A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
semiconductor element
tubular insulator
bend
electrode
slag
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP32268693A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2546178B2 (ja
Inventor
Akira Sato
朗 佐藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP5322686A priority Critical patent/JP2546178B2/ja
Publication of JPH07176663A publication Critical patent/JPH07176663A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2546178B2 publication Critical patent/JP2546178B2/ja
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  • Die Bonding (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 組立時に半導体素子に加わる機械的応力や熱
応力の影響を少なくして特性劣化を防止する。 【構成】 筒状絶縁体1の内部に配置される半導体素子
4の電極4a側に位置するフランジ3bに固定されたス
ラグ2bの端面に、導電性弾力材で形成されたCベンド
5を設け、筒状絶縁体1をフランジ3aおよび3bで封
止したときに、電極4aとCベンド5とを所定の圧力を
もって接触させる。 【効果】 電極とCベンドとの接触が最も適した押圧力
の範囲内で行われるので、機械的応力あるいは各固定部
をろう付けする際の温度変化により生じる熱応力の影響
を少なくすることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はリードレスダイオードの
構造の改良に関する。
【0002】
【従来の技術】図2および図3は、従来例におけるケー
ス材質にガラス管を用い、外部電極としてスラグリード
を用いたリードレスダイオードの構成を示す断面図であ
る。ガラス管11内に半導体素子4が封止されたこの種
のダイオードは、スラグ2aおよび2bとフランジ3a
および3bとにより構成された一対のスラグリードを使
用して半導体素子4をガラス管11内に保持し、スラグ
リードのスラグ2aおよび2bの外周面をガラス管11
に溶着させて、半導体素子4をガラス管11内に封止し
て構成されている。
【0003】このリードレスダイオードは、封止治具1
2に設けた孔にフランジ3bを下にしてスラグリードを
挿入し、次にガラス管11および半導体素子4を挿入
し、さらにフランジ3aを上にしてスラグ2aを挿入し
封止される。続いてガラス管11内で半導体素子4を両
スラグリードのスラグ2aおよび2bの端面にて狭持し
た状態で封止治具を加熱し、ガラス管11をスラグ2a
および2bの外周部に溶着させて作成されている(特公
昭58−168269号公報)。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】マイクロ波ダイオード
は半導体素子の構造上アクティブエリア開口部がφ10
μm〜φ20μmと比較的小さく、電極構造も平面電極
とバンプ形状電極との2種類に大別される。
【0005】この中でバンプ形状電極品は、一般的にガ
ラスパッケージ品に使用される。このバンプ形状電極品
の場合、アクティブエリア開口部が小さいためバンプ形
状電極との接続部での密着強度が30〜60grと弱
く、かつ接合部の深さも浅いため機械的応力に弱く、特
性劣化などを引きおこし易い。
【0006】また、特性面ではショットキダイオードの
場合、その性質上熱応力によるショットキ性劣化モード
があるので熱に対する考慮が必要である。前述した従来
例の場合、スラグ部とフランジ部とからなる一対のスラ
グリードを使用してスラグリードをケースに挿入し、ス
ラグ部を直接半導体素子のバンプ形状電極上面に圧接
し、ガラスとスラグリードを高温(500〜600℃程
度)で溶着封止する方法がとられている。
【0007】この方法では、上述したようにマイクロ波
ダイオードは半導体素子の構造上スラグ部が直接圧接さ
れた場合に、バンプ形状電極に過大な荷重が加わり、機
械的応力による接合部の破壊やバンプ形状電極の破損な
どによって特性劣化を起こす問題がある。
【0008】本発明はこのような問題を解決するもの
で、組立時に半導体素子に加わる機械的応力あるいは熱
応力による影響を少くし、特性劣化を防止することがで
きるリードレスダイオードを提供することを目的とす
る。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、筒状絶縁体
と、導電材料からなりこの筒状絶縁体の内部に両側の開
口部からそれぞれ挿入されこの筒状絶縁体に固着される
二つのスラグと、前記筒状絶縁体の内部に配置され前記
二つのスラグの間に圧接される半導体素子とを備えたリ
ードレスダイオードにおいて、前記半導体素子の電極と
前記スラグの端面との間に導電性弾性材料によりC形に
形成されたCベンドが介挿されたことを特徴とする。
【0010】前記筒状絶縁体は、角柱状セラミック材に
より形成され、前記スラグにそれぞれ固定され前記筒状
絶縁体の両側の開口部を封止するフランジを備えること
が望ましい。
【0011】
【作用】半導体素子が弾力性のあるCベンドを介在して
スラグおよびフランジにより構成されたスラグリードに
より筒状絶縁体内に封止されるので、構成部品の寸法ば
らつきが吸収され、かつ半導体素子への応圧力を所定範
囲内に設定することが可能となる。したがって半導体素
子に加えられる機械的応力は適した値に保たれ、接合部
の破壊や電極の破損がなくなり、特性劣化が防止され
る。
【0012】また、筒状絶縁体をガラス管に代えてセラ
ミック材を使用することにより、各接合部をろう付けす
る際の加熱温度を低下させることができるので、熱応力
が小さくなるとともに、半導体素子が高温を受けずにす
むため加工時の加熱による劣化を避けることができる。
【0013】
【実施例】次に、本発明実施例を図面に基づいて説明す
る。図1は本発明実施例の構成を示す図である。
【0014】本発明実施例は、筒状絶縁体1と、導電材
料からなりこの筒状絶縁体1の内部に両側の開口部から
それぞれ挿入され筒状絶縁体1に固着される二つのスラ
グ2a、2bと、筒状絶縁体1の内部に配置され二つの
スラグ2a、2bの間に圧接される半導体素子4とを備
え、さらに、本発明の特徴として、半導体素子4の電極
とスラグ2a、2bの端面との間に導電性弾性材料によ
りC形に形成されたCベンド5が介挿され、筒状絶縁体
1は、角柱状セラミック材により形成され、スラグ2
a、2bにそれぞれ固定され筒状絶縁体1の両側の開口
部を封止するフランジ3a、3bを備える。
【0015】ここで、本発明実施例の製造工程について
図面を参照して説明する。
【0016】スラグ2aおよびフランジ3aにより構成
されたスラグリードのダイマウント部にバンプ形状の電
極4aを備えた半導体素子4を銀錫合金などのろう材に
より接着固定し、これを角柱状セラミックにより形成さ
れた筒状絶縁体1の一方の端面側から挿入する。このと
き筒状絶縁体の端面とフランジ3aの当り面とはAu、
Snを主成分とするろう材によりろう付けされる。
【0017】また、筒状絶縁体1の他方の端面側から
は、スラグ2b、フランジ3b、およびCベンド5によ
り構成されたスラグリードを挿入し、筒状絶縁体1の端
面とフランジ3bの当り面とを同様にろう材によりろう
付けする。
【0018】このように、スラグリードのスラグ3bの
先端に弾力を有する金属板材(本実施例では幅100μ
m、厚さ75μm)に形成されたCベンド5からろう付
けされているので、このCベンド5と半導体素子4のバ
ンプ形状の電極4aとが所定の押圧力をもって接触す
る。フランジ3bはその上方から封止加重として10〜
15gr程度の加重が加えられ、ろう材が用いられて3
00〜350℃の温度にて加熱され、筒状絶縁体1がフ
ランジ3bにより封止される。
【0019】このときの加重は7gr以下程度であると
Cベンド5と電極4aとの接触圧力が弱くなり電気的オ
ープンになりやすく、また、18gr以上であると加重
が大きすぎてCベンド5の形状を変形させ、あるいは破
損を生じさせるので前述の10〜15grに設定される
ことが望ましい。
【0020】なお、筒状絶縁体1をセラミックにより形
成することによって、従来フランジを溶着するのに50
0〜600℃での加熱を要したのに対し、セラミック材
へのろう付けは300〜350℃の温度があればよく、
高温による特性劣化が防止され、さらに、その形状を角
柱状にすることによって実装時の安定性が得られる。
【0021】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、半
導体素子を筒状絶縁体内に挿入し封止したときに、弾力
性のあるCベンドと電極とが接触するために、各構成部
品に無理な機械的応力が加わることが緩和され、破壊や
破損による特性劣化を生じることを防止することがで
き、また、筒状絶縁体にセラミック材を用いることによ
って、フランジを封止するときの加熱温度が従来の半分
程度にすることが可能となり、熱およびその熱による応
力の影響を受けて生じる特性劣化を避けることができる
効果がある。さらに、筒状絶縁体を角柱状に形成するこ
とが容易であり、基板などへの実装時の安定性を得るこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明実施例の構成を示す断面図。
【図2】従来例の構成を示す断面図。
【図3】従来例における組立工程を説明する断面図。
【符号の説明】
1 筒状絶縁体 2a、2b スラグ 3a、3b フランジ 4 半導体素子 4a 電極 5 Cベンド 11 ガラス管 12 封止治具

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 筒状絶縁体と、導電材料からなりこの筒
    状絶縁体の内部に両側の開口部からそれぞれ挿入されこ
    の筒状絶縁体に固着される二つのスラグと、前記筒状絶
    縁体の内部に配置され前記二つのスラグの間に圧接され
    る半導体素子とを備えたリードレスダイオードにおい
    て、 前記半導体素子の電極と前記スラグの端面との間に導電
    性弾性材料によりC形に形成されたCベンドが介挿され
    たことを特徴とするリードレスダイオード。
  2. 【請求項2】 前記筒状絶縁体は、角柱状セラミック材
    により形成された請求項1記載のリードレスダイオー
    ド。
  3. 【請求項3】 前記スラグにそれぞれ固定され前記筒状
    絶縁体の両側の開口部を封止するフランジを備えた請求
    項1記載のリードレスダイオード。
JP5322686A 1993-12-21 1993-12-21 リードレスダイオード Expired - Fee Related JP2546178B2 (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008034782A (ja) * 2006-06-29 2008-02-14 Kyocera Corp 電子部品収納用パッケージおよび電子装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2008034782A (ja) * 2006-06-29 2008-02-14 Kyocera Corp 電子部品収納用パッケージおよび電子装置

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JP2546178B2 (ja) 1996-10-23

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