JPH07136855A - ワイヤ放電加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ワイヤ放電加工における被加工物の切落とし
加工前の寸法測定を可能とする。 【構成】 被加工物８はＸ軸駆動モータ６及びＹ軸駆動
モータ７で移動されるＸ軸−Ｙ軸クロステーブル５に固
設された加工テーブル４上に取付けられている。制御手
段９によりワイヤ放電加工に必要な形状加工プログラム
の加工経路で測定指令位置入力手段１０により予め指定
された測定位置にワイヤ電極１が移動され、ワイヤ電極
１と被加工物８とが接触されて位置決めを行うワイヤ位
置決め手段１１を用いて被加工物８の寸法測定が実施さ
れる。これにより、被加工物８は切落とし加工前に寸法
測定が完了するため、その状態で補正加工等の追加工が
実施できると共に、切落とし加工後における寸法測定の
工数が削減される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ワイヤ放電加工装置に
関するもので、特に、被加工物に対する寸法測定可能な
ワイヤ放電加工装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図６は従来のワイヤ放電加工装置の概略
構成を示す斜視図である。図６において、１はワイヤ電
極、２はワイヤ電極１を支持する上部ワイヤガイド、３
は下部ワイヤガイド、４は加工テーブル、５はＸ軸−Ｙ
軸クロステーブル、６はＸ軸駆動モータ、７はＹ軸駆動
モータ、８は加工テーブル４上に取付けられた被加工
物、９は制御手段、１２はＣＲＴ表示手段、１３はキー
ボードである。制御手段９は、主として、ＣＰＵ９ａ、
制御プログラムを記憶するＲＯＭ９ｂ、各種データを記
憶するＲＡＭ９ｃ、Ｘ軸駆動モータ用ドライバ９ｄ、Ｙ
軸駆動モータ用ドライバ９ｅ及びインタフェース９ｆ等
から構成されている。そして、制御手段９はワイヤ放電
加工のための所定の形状プログラムに基づきドライバ９
ｄ及びドライバ９ｅを介してＸ軸駆動モータ６及びＹ軸
駆動モータ７を駆動しＸ軸−Ｙ軸クロステーブル５を任
意の方向に移動させる。

【０００３】次に、製品形状を形成するため、一例とし
て、同一経路で加工条件及びオフセット値を変更し、１
ｓｔ加工、２ｎｄ加工、３ｒｄ加工と形状加工を３回実
施する場合のワイヤ放電加工及び寸法測定について説明
する。ワイヤ放電加工に必要な形状プログラムとして
は、形状加工用プログラムと切落とし加工用プログラム
との２種類が最低必要となる。これらのプログラムは制
御手段９内のＲＯＭ９ｂに予め記憶されている。

【０００４】図７のフローチャートに基づいて従来のワ
イヤ放電加工における手順を説明する。まず、ステップ
Ｓ３０１では形状加工が実行される。制御手段９内のＲ
ＯＭ９ｂに記憶されている形状加工用プログラムに従っ
て、Ｘ軸駆動モータ６及びＹ軸駆動モータ７が駆動さ
れ、加工テーブル４がＸ軸−Ｙ軸方向に移動される。そ
して、上下部分をワイヤガイド２，３で支持されたワイ
ヤ電極１と加工テーブル４に取付けられた被加工物８と
の間に放電を発生させワイヤ放電加工が実施される。形
状加工は同一経路で加工条件とオフセット値を変更して
１ｓｔ加工、２ｎｄ加工、３ｒｄ加工と３回加工が実施
される。次に、ステップＳ３０２で、切落とし加工が実
行される。ステップＳ３０１の形状加工が終了したの
ち、制御手段９内のＲＯＭ９ｂに記憶されている切落と
し加工用プログラムに従って、切落とし加工が実施さ
れ、製品８ａ形状が被加工物８から切落とされ分離され
る。そして、ステップＳ３０３で、寸法測定が実行され
る。切落とされた製品８ａに対してマイクロメータや三
次元測定機等を利用して測定が実施される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】このように、従来にお
いては、製品８ａの仕上がり寸法測定は被加工物８から
切落としたのちマイクロメータや三次元測定機等を利用
し、人手を介して実施されているため形状加工とは別工
程となり手間がかかる。また、寸法測定の結果、製品８
ａの寸法が目標値に達していないと判定された場合で
も、製品８ａは既に被加工物８から切落とされてしまっ
ており、ワイヤ放電加工装置による補正加工等の追加工
を実施することは不可能であった。

【０００６】そこで、この発明は、かかる不具合を解決
するためになされたもので、被加工物に対する形状加工
終了後で切落とし加工前に寸法測定可能なワイヤ放電加
工装置の提供を課題としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１にかかるワイヤ
放電加工装置は、ワイヤ電極と被加工物との間に放電を
発生させ、加工テーブル上に取付けられた前記被加工物
を前記ワイヤ電極でワイヤ放電加工する際の形状プログ
ラムに従って前記被加工物に対して、前記ワイヤ電極を
移動させ、前記ワイヤ電極に前記被加工物を接触させる
ことにより前記被加工物を位置決めし、前記被加工物の
寸法を測定するものである。

【０００８】また、請求項２にかかるワイヤ放電加工装
置は、請求項１に加えて、前記形状プログラムに従って
ワイヤ放電加工されたのちの切落とし加工前の前記被加
工物に対して前記ワイヤ電極を移動させ、予め指定され
た測定位置に対応する前記形状プログラムの加工経路上
の座標値と前記ワイヤ位置決め手段による位置決め動作
完了後に前記寸法測定手段で測定された座標値との座標
値差を算出するものである。

【０００９】また、請求項３にかかるワイヤ放電加工装
置は、請求項１及び請求項２に加えて、前記座標値差と
予め設定された許容値とを比較し、前記座標値差が前記
許容値を越えているときには前記被加工物に対して再
度、前記ワイヤ電極によるワイヤ放電加工を実施するも
のである。

【００１０】

【作用】請求項１においては、被加工物をワイヤ放電加
工する際の形状プログラムに従って被加工物に対してワ
イヤ電極を移動させることにより、被加工物の寸法測定
に際して、ワイヤ電極は形状加工後の狭いスリット状部
分にも接触することなく進入できる。このため、被加工
物（製品）寸法を切落とし以前に測定できる。

【００１１】請求項２のワイヤ放電加工装置は、請求項
１の作用に加えて、ワイヤ放電加工されたのちの切落と
し加工前の被加工物に対して、ワイヤ電極が予め指定さ
れた測定位置に形状プログラムに従って移動される。そ
の測定位置における形状プログラムの加工経路上の座標
値と被加工物に接触して測定された座標値とから座標値
差が算出され、被加工物（製品）の必要寸法が切落とし
以前に測定される。

【００１２】請求項３のワイヤ放電加工装置は、請求項
１及び請求項２の作用に加えて、算出された座標値差が
予め設定された許容値と比較され、その許容値を越えて
大きいときには、再度、被加工物（製品）がワイヤ放電
加工されることとなる。即ち、被加工物（製品）は切落
とし以前に補正加工等される。

【００１３】

【実施例】以下、本発明を具体的な実施例に基づいて説
明する。図１は本発明の一実施例にかかるワイヤ放電加
工装置の概略構成を示す斜視図である。図中、従来例と
同一符号及び記号は従来例の構成部分と同一または相当
する構成部分を示すものである。図１において、１はワ
イヤ電極、２はワイヤ電極１を支持する上部ワイヤガイ
ド、３は下部ワイヤガイド、４は加工テーブル、５はＸ
軸−Ｙ軸クロステーブル、６，７はＸ軸−Ｙ軸クロステ
ーブル５を任意の方向に移動させるＸ軸駆動モータ及び
Ｙ軸駆動モータ、８は加工テーブル４上に取付けられた
被加工物、９は制御手段、１０は測定箇所を指定するた
めの測定指令位置入力手段、１１はワイヤ位置決め手段
である。また、１２はＣＲＴ表示手段、１３はキーボー
ドである。制御手段９は、主として、ＣＰＵ９ａ、制御
プログラムを記憶するＲＯＭ９ｂ、各種データを記憶す
るＲＡＭ９ｃ、Ｘ軸駆動モータ６用ドライバ９ｄ、Ｙ軸
駆動モータ７用ドライバ９ｅ及びインタフェース９ｆ等
から構成されている。

【００１４】図４は本実施例のワイヤ放電加工装置にお
ける寸法測定の一例を示す拡大傾斜図である。測定箇所
の指定は、加工を開始する前に予め寸法測定位置の指定
を行うためのものである。図４に示すように、被加工物
８に対してワイヤ電極１のＹ軸方向の座標値がＹ１とな
るようにワイヤ位置決めを実行したいときには、測定箇
所を指定するための測定指令位置入力手段１０にてＹ＝
Ｙ１と指定すればよい。

【００１５】ワイヤ位置決め手段１１は、ワイヤ電極１
と被加工物８とが非接触の状態からＸ軸駆動モータ６及
びＹ軸駆動モータ７を駆動させ、ワイヤ電極１と被加工
物８の間隙が０になる位置まで自動的に加工テーブル４
を移動させ、その位置に達した時点で一旦停止され各軸
の座標値を制御手段９にて読取り記憶する。そして、そ
の後再びＸ軸駆動モータ６及びＹ軸駆動モータ７を駆動
し、ワイヤ電極１と被加工物８が非接触の状態であった
最初の位置まで自動的に加工テーブル４を移動させるも
のである。

【００１６】次に、図２のワイヤ放電加工制御のフロー
チャート及び図３の寸法測定処理のフローチャートを参
照して、本実施例の装置における制御について説明す
る。 《ワイヤ放電加工制御：図２参照》図２のステップＳ１
０１で、測定箇所を指定するための測定指令位置入力手
段１０により、形状加工の開始以前に測定箇所が予め指
定される。次に、ステップＳ１０２に移行して、制御手
段９内のＲＯＭ９ｂに記憶されている形状加工用プログ
ラムに従って、Ｘ軸駆動モータ６及びＹ軸駆動モータ７
が駆動され加工テーブル４がＸ軸−Ｙ軸方向に移動され
る。そして、上下部分をワイヤガイド２，３で支持され
たワイヤ電極１と加工テーブル４上に取付けられた被加
工物８との間に放電を発生させ、ワイヤ放電加工され
る。形状加工は同一経路で加工条件とオフセット値を変
更して１ｓｔ加工、２ｎｄ加工、３ｒｄ加工と３回加工
される。

【００１７】次に、ステップＳ１０３に移行して、この
時点では被加工物８と一体的な製品８ａの寸法が測定さ
れる。形状加工が終了した後、制御手段９内のＲＯＭ９
ｂに記憶されている形状加工用プログラムに従って測定
位置にワイヤ電極１を到達させたのち、ワイヤ位置決め
手段１１にてワイヤ電極１と被加工物８とを接触させ位
置決めし、製品８ａの寸法測定を行う。そして、ステッ
プＳ１０４に移行し、後述するように、寸法測定された
寸法値が許容値以内となると、制御手段９内のＲＯＭ９
ｂに記憶されている切落とし加工用プログラムに従っ
て、切落とし加工され、製品８ａ形状が被加工物８から
切落とされ分離される。

【００１８】《寸法測定処理：図３参照》図２のステッ
プＳ１０３の詳細を図３のフローチャートに基づいて説
明する。ステップＳ２０１で、制御手段９内のＲＯＭ９
ｂに記憶されている形状加工用プログラムに従ってＸ軸
駆動モータ６及びＹ軸駆動モータ７が駆動されＸ軸−Ｙ
軸クロステーブル５上に取付けられた加工テーブル４が
移動される。このとき、ワイヤ電極１と被加工物８とを
非接触の状態で移動させるため、例えば、１ｓｔ加工時
に使用したオフセット値Ｈ１が設定される。

【００１９】次に、ステップＳ２０２に移行して、測定
指令位置、即ち、Ｙ＝Ｙ１となる位置に達した状態で停
止される。ワイヤ位置決め手段１１による位置決め動作
開始の前に一旦、各軸の座標値が読取られ現在位置Ｘ１
として制御手段９内のＲＡＭ９ｃに記憶される。ステッ
プＳ２０３で加工テーブル４が移動される。この時の移
動は、オフセット方向と逆方向でワイヤ電極１が被加工
物８と一体的な製品８ａに接近する方向である。ステッ
プＳ２０４で、ワイヤ電極１と製品８ａとが接触状態
（間隙が０）となり、その間隙が０となる位置に達した
時点でワイヤ電極１に対して被加工物８は停止される。
そして、一旦、各軸の座標値が読取られ現在位置Ｘ２と
して制御手段９内のＲＡＭ９ｃに記憶される。

【００２０】次に、ステップＳ２０５に移行して、加工
テーブル４が制御手段９内のＲＡＭ９ｃに記憶されてい
るステップＳ２０２の位置決め動作開始前の座標位置ま
で移動される。ステップＳ２０６で加工テーブル４がス
テップＳ２０２の位置決め動作開始前の座標位置で停止
される。この時点でワイヤ位置決め手段１１による位置
決め動作は終了となる。また、記憶された２つの座標値
から｜Ｘ１−Ｘ２｜が算出され、この算出結果である座
標値差が記憶され、ＣＲＴ表示画面に表示される。ステ
ップＳ２０７で次の測定指令位置があるときには、ステ
ップＳ２０１〜ステップＳ２０７までの処理が繰返され
る。次の、測定指令位置として読込まれる座標値をＸ
３，Ｘ４とする。測定指令位置がない場合は、制御手段
９内のＲＯＭ９ｂに記憶されている形状加工用プログラ
ムの最後まで、Ｘ軸駆動モータ６及びＹ軸駆動モータ７
を駆動し、加工テーブル４を移動させる。被加工物８と
一体的な製品８ａの寸法は、ステップＳ２０４で制御手
段９内のＲＡＭ９ｃに記憶された座標値から算出され、
ＣＲＴ表示画面に表示される。

【００２１】次に、ステップＳ２０９に移行して、測定
結果と目標値との比較が実行される。即ち、ワイヤ電極
の半径Ｄを用いて、Ｋ１＝｜Ｈ１−Ｄ｜−｜Ｘ１−Ｘ２
｜，Ｋ２＝｜Ｈ１−Ｄ｜−｜Ｘ３−Ｘ４｜が算出され、
Ｋ１，Ｋ２と許容値とがそれぞれ比較される。Ｋ１，Ｋ
２のいずれかが許容値より小さいときには測定終了とさ
れる。ステップＳ２０９でＫ１，Ｋ２が両方共に許容値
より大きいときにはステップＳ２１０に移行し、補正加
工等の追加工が実行される。形状加工に用いたと同じ形
状加工用プログラムを用い、オフセット値を補正して追
加工を行う。但し、追加工のし過ぎを防止するため、補
正量はＫ１，Ｋ２のうち、小さい方が用いられる。追加
工後は、再度、寸法測定を行いＫ１，Ｋ２のいずれかが
許容値内に入れば測定終了とされる。

【００２２】測定箇所を指定するための画面の一例を図
５に示す。この画面に基づき形状加工用プログラムに対
応する加工形状における各測定位置とステップＳ２０９
の比較で用いる許容値とが予め指定され入力される。例
えば、１つめの形状においてＹ＝Ｙ１の位置で測定を実
施したいときには、形状の項目に「１」、測定箇所Ｙの
項目に「Ｙ１」を入力し、許容値の項目に任意の許容値
「Ａ」を設定する。また、同一画面には、測定結果とし
てステップＳ２０６で算出した座標値差と、ステップＳ
２０８で算出した被加工物８内の製品８ａの測定寸法と
が表示される。

【００２３】このように、本発明の一実施例のワイヤ放
電加工装置は、ワイヤ電極１と被加工物８との間に放電
を発生させ、加工テーブル４上に取付けられた被加工物
８をワイヤ電極１でワイヤ放電加工する際の形状プログ
ラムを記憶する制御手段９内のＲＯＭ９ｂからなる記憶
手段と、ワイヤ電極１に被加工物８を接触させることに
よりワイヤ電極１に対して被加工物８を位置決めするワ
イヤ位置決め手段１１と、前記記憶手段に記憶された前
記形状プログラムに従って被加工物８に対してワイヤ電
極１を移動させ、ワイヤ位置決め手段１１を用いて被加
工物８の寸法を測定する制御手段９内のＣＰＵ９ａから
なる寸法測定手段とを具備するものであり、これを請求
項１の実施例とすることができる。したがって、被加工
物８に対する形状加工後に切落とし加工をすることな
く、被加工物８と一体的な製品の寸法測定を行うことが
できる。

【００２４】また、前記記憶手段に記憶された前記形状
プログラムに従ってワイヤ放電加工されたのちの切落と
し加工前の被加工物８に対してワイヤ電極１を移動さ
せ、予め指定された測定位置に対応する前記形状プログ
ラムの加工経路上の座標値とワイヤ位置決め手段１１に
よる位置決め動作完了後に前記寸法測定手段で測定され
た座標値との座標値差を算出する制御手段９内のＣＰＵ
９ａからなる座標値差演算手段を具備するものであり、
これを請求項２の実施例とすることができる。したがっ
て、測定位置を予め指定するだけで、その位置に対応す
る形状プログラムの加工経路上の座標値とワイヤ位置決
め手段１１による位置決め動作完了後に測定された座標
値との座標値差が算出され、被加工物８をワイヤ放電加
工した製品の指定位置に対する寸法測定が完了する。

【００２５】更に、前記座標値差演算手段で算出された
前記座標値差と予め設定された許容値とを比較し、前記
座標値差が前記許容値を越えているときには被加工物８
に対して再度、ワイヤ電極１によるワイヤ放電加工を実
施する制御手段９内のＣＰＵ９ａからなる追加工手段を
具備するものであり、これを請求項３の実施例とするこ
とができる。したがって、被加工物８をワイヤ放電加工
した製品は切落とし加工前に、必要に応じて補正加工等
の追加工が施され指定位置における寸法精度が保証され
る。

【００２６】このように、形状プログラムに基づきワイ
ヤ電極１で放電加工された被加工物８は、切落とし加工
前の加工テーブル４上に取付けられた状態で、指定され
た測定位置に対応する形状プログラムの加工経路上の座
標値と寸法測定された被加工物８の端面の座標値との座
標値差が算出される。この座標値差がその許容値を越え
ているときには、切落とし加工前の被加工物８に対して
再度、ワイヤ電極１による追加工ができる。故に、本実
施例装置によるワイヤ放電加工で被加工物８から切落と
された製品８ａにおいては、こののちに寸法測定をする
必要がなく、指定された測定位置の寸法が所定の寸法公
差内となるため、追加工の必要も生じない。

【００２７】ところで、上記実施例の記憶手段は、ワイ
ヤ電極１と被加工物８との間に放電を発生させ、加工テ
ーブル４上に取付けられた前記被加工物８を前記ワイヤ
電極１でワイヤ放電加工する際の形状プログラムを記憶
するものであるが、本発明を実施する場合には、加工条
件プログラム等の他のプログラムを付加することもでき
る。

【００２８】また、上記実施例のワイヤ位置決め手段１
１は、ワイヤ電極１に被加工物８を接触させることによ
りワイヤ電極１に対して被加工物８を位置決めするもの
であるが、本発明を実施する場合には、ワイヤ電極１と
被加工物８の相対位置が決定できればよい。

【００２９】そして、上記実施例の寸法測定手段は、記
憶手段に記憶された形状プログラムに従って被加工物８
に対してワイヤ電極１を移動させ、ワイヤ位置決め手段
１１を用いて被加工物８の寸法を測定するものである
が、本発明を実施する場合には、ワイヤ電極１と被加工
物８の相対位置により被加工物８の寸法を測定すること
ができる。

【００３０】更に、上記実施例の座標値差演算手段は、
記憶手段に記憶された形状プログラムに従ってワイヤ放
電加工されたのちの切落とし加工前の被加工物８に対し
てワイヤ電極１を移動させ、予め指定された測定位置に
対応する形状プログラムの加工経路上の座標値とワイヤ
位置決め手段１１による位置決め動作完了後に寸法測定
手段で測定された座標値との座標値差を算出する制御手
段９内のＣＰＵ９ａからなるものであるが、本発明を実
施する場合には、予め指定された測定位置に対応する形
状プログラムの加工経路上の座標値とワイヤ位置決め手
段１１による位置決め動作完了後に寸法測定手段で測定
された座標値との座標値差を算出するものであればよ
い。

【００３１】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１のワイヤ
放電加工装置は、ワイヤ電極と被加工物との間に放電を
発生させ、加工テーブル上に取付けられた被加工物をワ
イヤ電極でワイヤ放電加工する際の形状プログラムを記
憶する記憶手段と、ワイヤ電極に被加工物を接触させる
ことにより被加工物の位置決めするワイヤ位置決め手段
と、記憶された形状プログラムに従って被加工物に対し
てワイヤ電極を移動させ、ワイヤ位置決め手段を用いて
被加工物の寸法を測定する寸法測定手段とを具備してお
り、被加工物に対する形状加工後に切落とし加工をする
ことなく、被加工物と一体的な製品の寸法測定を行うこ
とができるという効果がある。

【００３２】請求項２のワイヤ放電加工装置は、請求項
１の効果に加えて、記憶された形状プログラムに従って
ワイヤ放電加工されたのちの切落とし加工前の被加工物
に対してワイヤ電極を移動させ、予め指定された測定位
置に対応する形状プログラムの加工経路上の座標値とワ
イヤ位置決め手段による位置決め動作完了後に寸法測定
手段で測定された座標値との座標値差を算出する座標値
差演算手段を具備しており、測定位置を予め指定するだ
けで、その位置に対応する形状プログラムの加工経路上
の座標値とワイヤ位置決め手段による位置決め動作完了
後に測定された座標値との座標値差が算出され、被加工
物をワイヤ放電加工した製品の指定位置に対する寸法測
定が完了するという効果がある。

【００３３】請求項３のワイヤ放電加工装置は、請求項
１及び請求項２の効果に加えて、算出された座標値差と
予め設定された許容値とを比較し、座標値差が許容値を
越えているときには被加工物に対して再度、ワイヤ電極
によるワイヤ放電加工を実施する追加工手段を具備して
おり、被加工物をワイヤ放電加工した製品は切落とし加
工前に、必要に応じて補正加工等の追加工が施され指定
位置における寸法精度が保証されるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本発明の一実施例にかかるワイヤ放電加
工装置の概略構成を示す斜視図である。

【図２】図２は本発明の一実施例にかかるワイヤ放電加
工装置のワイヤ放電加工制御手順を示すフローチャート
である。

【図３】図３は本発明の一実施例にかかるワイヤ放電加
工装置の寸法測定処理手順を示すフローチャートであ
る。

【図４】図４は本発明の一実施例にかかるワイヤ放電加
工装置における被加工物の製品の切落とし加工前の寸法
測定状況を示す拡大斜視図である。

【図５】図５は本発明の一実施例にかかるワイヤ放電加
工装置の寸法測定における画面を示す図である。

【図６】図６は従来のワイヤ放電加工装置の概略構成を
示す斜視図である。

【図７】図７は従来のワイヤ放電加工の手順を示すフロ
ーチャートである。

【符号の説明】

１ ワイヤ電極 ４ 加工テーブル ５ Ｘ軸−Ｙ軸クロステーブル ６ Ｘ軸駆動モータ ７ Ｙ軸駆動モータ ８ 被加工物 ９ 制御手段 ９ａ ＣＰＵ ９ｂ ＲＯＭ ９ｃ ＲＡＭ １０ 測定指令位置入力手段 １１ ワイヤ位置決め手段

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワイヤ電極と被加工物との間に放電を発
   生させ、加工テーブル上に取付けられた前記被加工物を
   前記ワイヤ電極でワイヤ放電加工する際の形状プログラ
   ムを記憶する記憶手段と、 前記ワイヤ電極に前記被加工物を接触させることによ
   り、前記被加工物を位置決めするワイヤ位置決め手段
   と、 前記記憶手段に記憶された前記形状プログラムに従って
   前記被加工物に対して前記ワイヤ電極を移動させ、前記
   ワイヤ位置決め手段を用いて前記被加工物の寸法を測定
   する寸法測定手段とを具備することを特徴とするワイヤ
   放電加工装置。
2. 【請求項２】 前記記憶手段に記憶された前記形状プロ
   グラムに従ってワイヤ放電加工されたのちの切落とし加
   工前の前記被加工物に対して、前記ワイヤ電極を移動さ
   せ、予め指定された測定位置に対応する前記形状プログ
   ラムの加工経路上の座標値と前記ワイヤ位置決め手段に
   よる位置決め動作完了後に、前記寸法測定手段で測定さ
   れた座標値との座標値差を算出する座標値差演算手段と
   を具備することを特徴とする請求項１に記載のワイヤ放
   電加工装置。
3. 【請求項３】 前記座標値差演算手段で算出された前記
   座標値差と予め設定された許容値とを比較し、前記座標
   値差が前記許容値を越えているときには前記被加工物に
   対して再度、前記ワイヤ電極によるワイヤ放電加工を実
   施する追加工手段を具備することを特徴とする請求項１
   又は請求項２に記載のワイヤ放電加工装置。