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JPH07128566A - Moving quantity detector - Google Patents

Moving quantity detector

Info

Publication number
JPH07128566A
JPH07128566A JP27091493A JP27091493A JPH07128566A JP H07128566 A JPH07128566 A JP H07128566A JP 27091493 A JP27091493 A JP 27091493A JP 27091493 A JP27091493 A JP 27091493A JP H07128566 A JPH07128566 A JP H07128566A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic
magnetic member
moving
fixed
magnetized
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP27091493A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Sumio Kawai
澄夫 川合
Atsushi Hirayama
淳 平山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Optical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Olympus Optical Co Ltd filed Critical Olympus Optical Co Ltd
Priority to JP27091493A priority Critical patent/JPH07128566A/en
Publication of JPH07128566A publication Critical patent/JPH07128566A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Lens Barrels (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide the moving quantity detector which permits easy working, magnetizing and assembling of a magnetic member disposed on a moving body and is small in size and low in the cost. CONSTITUTION:The moving quantity detector for detecting the moving quantity of a turning barrel 2 disposed freely movably relative to a stationary barrel 1 includes the planar magnetic member 6 which is elastically deformed and fixed to the turning cylinder 2 after magnetization with predetermined magnetic patterns and is formed to have a flexible surface and to plane and a magneto- resistance element 9 which is held by having a predetermined spacing so as to face the magnetic patterns of the magnetic member 6 and detects the movement of the magnetic member 6 according to the movement of the turning barrel 2.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、移動量検出装置、詳し
くは、固定部材に対して相対的に移動自在に設けられた
移動部材の移動量を検出する移動量検出装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a moving amount detecting device, and more particularly to a moving amount detecting device for detecting the moving amount of a moving member provided so as to be movable relative to a fixed member.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、移動体の位置あるいは速度を精密
かつ安定に検出する技術手段は種々提案されていて、た
とえば、移動体に設けられたピッチの細かい光学的パタ
ーンの変位を発光素子を有する光検出器で検出して該移
動体の位置あるいは速度を求める光学的検出手段が知ら
れている。
2. Description of the Related Art Conventionally, various technical means for accurately and stably detecting the position or speed of a moving body have been proposed. For example, a displacement of an optical pattern with a fine pitch provided on the moving body has a light emitting element. There is known an optical detection means for detecting the position or speed of the moving body by detecting with a photodetector.

【0003】また、特開平1−148078号公報に
は、移動体の形状に応じて所定のパターンを着磁した剛
性のある磁気部材を該移動体に固着し、該磁気パターン
の変位を固定体に設けたMR素子で検知する、磁気的検
出機構が開示されている。このほかに磁気的検出機構に
よるものは、磁気誘導効果,ホール効果等を利用した磁
気感用素子で磁気パターンを検出する技術手段が種々提
案されている。
Further, in Japanese Patent Laid-Open No. 1-148078, a rigid magnetic member magnetized with a predetermined pattern according to the shape of the moving body is fixed to the moving body, and the displacement of the magnetic pattern is fixed. There is disclosed a magnetic detection mechanism for detecting with an MR element provided in. In addition to the above, as the magnetic detection mechanism, various technical means for detecting a magnetic pattern by a magnetic sensing element utilizing a magnetic induction effect, a Hall effect, etc. have been proposed.

【0004】一方、上記磁気パターンを有する磁気部材
の製造方法は以下に示す技術手段が知られている。
On the other hand, the following technical means are known as a method for manufacturing a magnetic member having the above magnetic pattern.

【0005】第1の手段は、移動体表面に、鉄,コバル
ト,ニッケル等の強磁性体粉末をバインダー中に分散さ
せた磁性材料を直接コーティングし、着磁装置を用いて
所定の磁気パターンを着磁するものである。
The first means is to directly coat the surface of the moving body with a magnetic material in which a ferromagnetic powder such as iron, cobalt, nickel or the like is dispersed in a binder, and use a magnetizing device to form a predetermined magnetic pattern. It is magnetized.

【0006】第2の手段としては、移動体における微小
磁気パターン設置部の形状に合わせて型成形あるいは機
械加工された金属マグネット材あるいはプラスチックマ
グネット材等に、着磁装置により所定の磁気パターンを
着磁して該磁気パターンを移動体における上記微小磁気
パターン設置部に固着していた。
As a second means, a predetermined magnetic pattern is attached by a magnetizing device to a metal magnet material or a plastic magnet material which is molded or machined according to the shape of the minute magnetic pattern installation portion in the moving body. It was magnetized to fix the magnetic pattern to the minute magnetic pattern installation portion of the moving body.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記技
術手段においては、数μm〜数100μmレベルの微小
ピッチの磁気パターンを構成する場合、該パターンを有
する磁気的検出機構の製造は非常に手間のかかるものと
なる。すなわち、移動体に磁性材料を直接コーティング
する場合には、該移動体のコーティング面は磁気パター
ンの微小ピッチと同等の表面精度(円筒面の場合は真円
度,同軸度,表面あらさなど)を必要とする。また、上
記コーティングを行うために移動体を治具に取り付ける
際には、該取り付け基準面に対しても同等の精度が必要
となる。
However, in the above technical means, when a magnetic pattern having a fine pitch of several μm to several 100 μm is formed, it is very troublesome to manufacture a magnetic detection mechanism having the pattern. Will be things. That is, when the moving body is directly coated with a magnetic material, the coating surface of the moving body has a surface accuracy equivalent to the fine pitch of the magnetic pattern (roundness, concentricity, surface roughness, etc. in the case of a cylindrical surface). I need. Further, when the moving body is attached to the jig for performing the above-mentioned coating, the same accuracy is required for the attachment reference plane.

【0008】さらに、上記コーティング面も、膜厚が数
μmの膜を数層にわたって重ねる必要があり、装置が複
雑になる。また、上記コーティング面は移動体面上にお
いて突出した面で形成されなければならず、移動体の形
状および大きさの自由度を制限している。
Further, on the above-mentioned coating surface, it is necessary to stack several films each having a film thickness of several μm, which complicates the apparatus. Further, the coating surface has to be formed as a projecting surface on the surface of the moving body, which limits the flexibility of the shape and size of the moving body.

【0009】さらに、磁性材料をコーティングした後
も、着磁面を数μm研磨して微小磁気パターンを着磁す
る際、着磁ヘッドと着磁面との間隔を高精度に制御して
保つ必要がある。
Further, even after the magnetic material is coated, when the magnetized surface is polished by several μm to magnetize the minute magnetic pattern, it is necessary to control the space between the magnetized head and the magnetized surface with high precision. There is.

【0010】また、上述したように、金属マグネット材
およびプラスチックマグネット材を磁気部材として用い
る場合も、磁気部材の着磁面および移動体への取り付け
面はコーティングの場合と同様に着磁ピッチに応じた加
工精度を必要とする。さらに、たとえば、型成形で作っ
た場合においては高精度に該型を製造する必要があり、
該型の製造に非常に手間がかかったり、場合によっては
型を製造できない場合もある。さらに、これらの磁気部
材は、加工精度を保つ必要性から薄く(厚さ1mm以下
になると非常に難しい)作ることが困難であり、結果と
して位置検出機構として大きなものとなっていた。
Further, as described above, also when the metal magnet material and the plastic magnet material are used as the magnetic member, the magnetized surface of the magnetic member and the surface to be attached to the moving body depend on the magnetized pitch as in the case of coating. It requires high processing accuracy. Furthermore, for example, in the case of molding, it is necessary to manufacture the mold with high precision,
It takes a lot of time to manufacture the mold, and in some cases, the mold cannot be manufactured. Further, it is difficult to make these magnetic members thin (very difficult when the thickness is 1 mm or less) because of the necessity of maintaining the processing accuracy, and as a result, they have become large as a position detecting mechanism.

【0011】これに加えて、上記2つの方法とも移動体
の形状に応じて、高精度の加工治具や、着磁の治具を必
要としコストの増大を招いていた。
In addition to these, both of the above two methods require a highly accurate processing jig and a magnetizing jig depending on the shape of the moving body, which causes an increase in cost.

【0012】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであり、移動体上に設けられた磁気部材の加工,着
磁,組み立てが簡単であり、小型で低コストの移動量検
出装置を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above problems, and provides a small-sized and low-cost movement amount detecting device in which the magnetic member provided on the moving body can be easily processed, magnetized, and assembled. The purpose is to do.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明による移動量検出装置は、固定部材に対して
相対的に移動自在に設けられた移動部材の移動量を検出
する、移動量検出装置において、予め定められた磁気パ
ターンを着磁された後に上記移動部材に弾性変形して固
着される、可撓性を有し表面が平滑に形成された板状の
磁気部材と、上記固定部材上に、上記磁気部材の磁気パ
ターンに対向するよう予め定められた間隙を有して保持
され、上記移動部材の移動に併なった上記磁気部材の移
動を検出する磁気検出素子とを具備する。
In order to achieve the above object, a movement amount detecting device according to the present invention detects a movement amount of a moving member provided so as to be movable relative to a fixed member. In the quantity detecting device, a plate-shaped magnetic member having a smooth surface and being elastically deformed and fixed to the moving member after being magnetized with a predetermined magnetic pattern, A magnetic detection element that is held on the fixed member with a predetermined gap facing the magnetic pattern of the magnetic member and that detects the movement of the magnetic member that accompanies the movement of the moving member. To do.

【0014】[0014]

【作用】本発明による移動量検出装置は、磁気部材が予
め定められた磁気パターンを着磁された後に移動部材に
弾性変形して固着される。また、磁気検出素子が固定部
材上に、上記磁気部材の磁気パターンに対向するよう予
め定められた間隙を有して保持され、上記移動部材の移
動に併なった上記磁気部材の移動を検出する。
In the movement amount detecting apparatus according to the present invention, the magnetic member is magnetized with a predetermined magnetic pattern and then elastically deformed and fixed to the moving member. Further, the magnetic detection element is held on the fixed member with a predetermined gap so as to face the magnetic pattern of the magnetic member, and detects the movement of the magnetic member that accompanies the movement of the moving member. .

【0015】[0015]

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0016】図1は、本発明の第1実施例を示す移動量
検出装置の外観斜視図である。また、図2は、上記移動
量検出装置の要部を詳細に示した断面図である。
FIG. 1 is an external perspective view of a movement amount detecting device showing a first embodiment of the present invention. Further, FIG. 2 is a sectional view showing in detail a main part of the movement amount detecting device.

【0017】図に示すように、この移動量検出装置は、
光軸0を中心にもつ固定筒1の外周には、回動筒2が該
光軸0を中心に回動可能に嵌合されている。この回動筒
2は、押元3により光軸0方向には不動に保持されてい
る。
As shown in the figure, this movement amount detecting device is
On the outer periphery of the fixed barrel 1 having the optical axis 0 as the center, a rotary barrel 2 is fitted so as to be rotatable about the optical axis 0. The rotary cylinder 2 is held immovably in the optical axis 0 direction by the pusher 3.

【0018】上記回動筒2の外周部には円周方向に部分
ギヤー2aが配設されており、該部分ギヤー2aは図示
しない固定部に設けられた減速ギヤー列4を介して、モ
ータ5の出力軸に固着されたピニオンギヤー5aに接続
されている。これにより、上記モータ5の回転で回動筒
2が回転するようになっている。
A partial gear 2a is circumferentially arranged on the outer peripheral portion of the rotary cylinder 2, and the partial gear 2a is connected to a motor 5 via a reduction gear train 4 provided on a fixed portion (not shown). Is connected to the pinion gear 5a fixed to the output shaft of the. As a result, the rotation cylinder 2 is rotated by the rotation of the motor 5.

【0019】また、上記回動筒2の外周には円周方向に
周溝2bが刻設されており、さらに、該周溝2bの所定
位置には突起2cが突設されている。
A circumferential groove 2b is formed in the outer circumference of the rotary cylinder 2 in the circumferential direction, and a projection 2c is provided at a predetermined position of the circumferential groove 2b.

【0020】一方、長手方向にS極部とN極部とが交互
に着磁されていると共に弾性を有する磁気材料からなる
板状の磁気部材6が、上記周溝2bに沿って固着されて
いる。上記磁気部材6の一端部には、上記突起2cに対
応する孔6aが穿設されており、該磁気部材6は、該孔
6aを突起2cに嵌合して周方向の位置が決められ、さ
らに、該磁気部材6の着磁面の裏面に接着剤7が塗布さ
れ、周溝2bに沿って貼着されている。上記磁気部材6
は周溝2bよりわずかに幅が狭く形成されている。これ
により、該磁気部材6の光軸方向の位置は精密に決ま
る。
On the other hand, a plate-shaped magnetic member 6 made of a magnetic material having elasticity, in which the S pole portions and the N pole portions are alternately magnetized in the longitudinal direction, is fixed along the circumferential groove 2b. There is. A hole 6a corresponding to the protrusion 2c is formed at one end of the magnetic member 6, and the magnetic member 6 is fitted into the protrusion 2c to determine the circumferential position. Further, an adhesive 7 is applied to the back surface of the magnetized surface of the magnetic member 6 and is adhered along the circumferential groove 2b. The magnetic member 6
Is slightly narrower than the circumferential groove 2b. As a result, the position of the magnetic member 6 in the optical axis direction is precisely determined.

【0021】上記磁気部材6の着磁面に対向する位置に
は、ホルダ8に保持された磁気抵抗素子9が配置されて
いる。この磁気抵抗素子9と上記磁気部材6との間隔は
該磁気抵抗素子9に固着されたスペーサ10によって決
められている。さらに、上記ホルダ8をネジ11で固定
枠1と一体の外枠12に固定することで、バネ部8aに
より押圧力が上記磁気抵抗素子9と磁気部材6との間に
作用し、該間隔は常に一定に保たれている。
A magnetoresistive element 9 held by a holder 8 is arranged at a position facing the magnetized surface of the magnetic member 6. The distance between the magnetoresistive element 9 and the magnetic member 6 is determined by a spacer 10 fixed to the magnetoresistive element 9. Further, by fixing the holder 8 to the outer frame 12 integrated with the fixed frame 1 with the screw 11, the pressing force acts between the magnetic resistance element 9 and the magnetic member 6 by the spring portion 8a, and the gap is It is always kept constant.

【0022】上記磁気抵抗素子9と上記ホルダ8との間
には、フレキシブルプリント基板13の一端部が挟設さ
れており、該フレキシブルプリント基板13の端部に設
けられた電気端子13a(図4参照)と上記磁気抵抗素
子9の電気端子とが接合している。上記フレキシブルプ
リント基板13の他端は外部の所定回路に接続されてお
り、上記磁気抵抗素子9は、該フレキシブルプリント基
板13を介して図示しない電源から電源電圧が供給され
るとともに、その出力信号を上記所定回路に伝送するよ
うになっている。
Between the magnetoresistive element 9 and the holder 8, one end of a flexible printed circuit board 13 is sandwiched, and an electric terminal 13a provided on the end of the flexible printed circuit board 13 (see FIG. 4). (See) and the electric terminal of the magnetoresistive element 9 are joined. The other end of the flexible printed board 13 is connected to an external predetermined circuit, and the magnetoresistive element 9 is supplied with a power supply voltage from a power source (not shown) through the flexible printed board 13 and outputs its output signal. It is adapted to be transmitted to the predetermined circuit.

【0023】上記磁気抵抗素子9には、上述したように
上記フレキシブルプリント基板13を介して図示しない
電源が接続されており、上記磁気部材6の磁気パターン
に対応した電気信号を生成するとともに、外部の所定回
路に対して電気信号を出力するようになっている。
A power source (not shown) is connected to the magnetoresistive element 9 via the flexible printed circuit board 13 as described above, and generates an electric signal corresponding to the magnetic pattern of the magnetic member 6 as well as externally. An electric signal is output to a predetermined circuit of the above.

【0024】図3は、上記磁気部材6と回動筒2との接
着状態を示す要部断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view of an essential part showing a bonded state of the magnetic member 6 and the rotary cylinder 2.

【0025】図3(a)に示すように、磁気部材6の着
磁ピッチPは通常40μm〜200μm程度に設定され
る。これに対して磁気抵抗素子9の素子面と磁気部材6
の着磁面とは、着磁ピッチの50%程度の間隔x(図2
参照)を保つと最も高い感度をもつようになる。さら
に、上記間隔の変動は、最適間隔(感度が最も高いとき
の間隔)の±20%程度に保たれることが要求される。
これは、上記間隔が上述した変動範囲を越えて変動した
場合、上記磁気抵抗素子9は磁力線6bの方向の変化に
よってその抵抗値が変化するため、磁気パターンに対応
した正確な電気信号を出力できなくなる虞があることに
よる。
As shown in FIG. 3A, the magnetizing pitch P of the magnetic member 6 is usually set to about 40 μm to 200 μm. On the other hand, the element surface of the magnetoresistive element 9 and the magnetic member 6
The magnetized surface of No. 2 is the interval x (Fig. 2) of about 50% of the magnetized pitch.
If you keep the value), you will have the highest sensitivity. Further, it is required that the variation of the above-mentioned interval is kept within about ± 20% of the optimum interval (the interval when the sensitivity is highest).
This is because when the distance fluctuates beyond the fluctuation range described above, the resistance value of the magnetoresistive element 9 changes due to the change in the direction of the magnetic force lines 6b, so that an accurate electric signal corresponding to the magnetic pattern can be output. Because it may disappear.

【0026】ここで、着磁ピッチが200μmである場
合を考えると、上述した理由により上記間隔の変動は±
20μm程度が要求されることになる。この精度を保つ
ためには上記スペーサ10の寸法精度、表面精度を保つ
ことはもちろんであるが、磁気部材6の表面精度も高く
保つ必要がある。
Here, considering the case where the magnetizing pitch is 200 μm, the variation of the interval is ± due to the reason described above.
About 20 μm is required. In order to maintain this accuracy, it is needless to say that the dimensional accuracy and surface accuracy of the spacer 10 are maintained, but the surface accuracy of the magnetic member 6 must also be maintained high.

【0027】ところが、図3(b)に示すように回動筒
2における磁気部材6の取り付け部の加工精度があまり
高くなく、さらに磁気部材6自体の剛性が低い場合を想
定すると、該磁気部材6がたわみ、間隔xが変動してし
まう。これにより、磁力線6bが乱れ、上述したように
磁気抵抗素子9から、磁気パターンに対応した正しい出
力が出力されなくなってしまう。
However, as shown in FIG. 3 (b), assuming that the processing accuracy of the mounting portion of the magnetic member 6 in the rotary cylinder 2 is not very high and the rigidity of the magnetic member 6 itself is low, the magnetic member 6 is not processed. 6 bends, and the interval x changes. As a result, the magnetic force lines 6b are disturbed, and as described above, the magnetoresistive element 9 cannot output a correct output corresponding to the magnetic pattern.

【0028】この事情を鑑みると、上記磁気部材6の表
面粗さは数μm以下、厚さ方向の変化は数10μm以下
に抑えることが望ましく、本実施例では、プラスチック
ベースのフィルムに磁性材料をコーティングした材料が
用いられている。なお、該磁気部材6の形状は、その剛
性を考えると回動筒2の表面あらさの2倍以上のベース
厚みを有する形状が望ましい(図3(a),(b)参
照)。
In view of this situation, it is desirable to suppress the surface roughness of the magnetic member 6 to several μm or less and the change in the thickness direction to several tens of μm or less. In this embodiment, a magnetic material is used for the plastic-based film. A coated material is used. The shape of the magnetic member 6 is preferably a shape having a base thickness that is at least twice the surface roughness of the rotary cylinder 2 in consideration of its rigidity (see FIGS. 3A and 3B).

【0029】さらに詳述すると、本実施例において上記
磁気部材6は、0.1〜0.2mmの厚さの塩化ビニー
ル,PET(ポリエチレンテレフタレート)樹脂等から
なるベース材にバリウムフェライト系の磁性材料をコー
ティングして構成されている。これにより、該磁気部材
6は、剛性および保持力が高い点で優れている。
More specifically, in the present embodiment, the magnetic member 6 has a base material made of vinyl chloride, PET (polyethylene terephthalate) resin or the like having a thickness of 0.1 to 0.2 mm, and a barium ferrite magnetic material. It is configured by coating. As a result, the magnetic member 6 is excellent in rigidity and holding power.

【0030】なお、着磁強度を高くするために、上記材
質の代わりに金属のマグネット材料の薄板、たとえばS
PINEX(ヤマハ株式会社の商標)等のFe−Cr−
Co系合金を用いてもよい。このような剛性を有する磁
気部材を両面粘着テープで回動筒2に固着した場合も、
磁気部材の着磁面がうねることがなく、確実な磁気パタ
ーンの信号出力が得られる。
In order to increase the magnetizing strength, a thin plate of a metal magnet material, such as S, is used instead of the above material.
Fe-Cr- such as PINEX (trademark of Yamaha Corporation)
You may use Co type alloy. Even when a magnetic member having such rigidity is fixed to the rotary cylinder 2 with a double-sided adhesive tape,
The magnetized surface of the magnetic member does not undulate, and a reliable magnetic pattern signal output can be obtained.

【0031】磁気部材は表面の平滑性があり可撓性があ
るので、事前の高精度な磁気パターンの着磁は磁気テー
プ着磁装置あるいは磁気カード着磁装置などを用いて簡
単に行うことが可能である。着磁後に所定の形状にプレ
ス装置によって切断すれば精度の高い磁気部材を効率的
に製造することができる。また、磁気部材の位置決め孔
もプレス装置によって穿設すれば高い精度を保つことが
できる。さらに、磁気部材の貼着面に接着剤を事前に塗
布し、裏紙を貼っておけば、移動部材への貼着作業は極
めて行いやすくなる。
Since the magnetic member has a smooth surface and is flexible, a highly accurate magnetic pattern can be easily magnetized in advance by using a magnetic tape magnetizing device or a magnetic card magnetizing device. It is possible. A highly accurate magnetic member can be efficiently manufactured by cutting into a predetermined shape by a pressing device after magnetized. Further, if the positioning hole of the magnetic member is also formed by the pressing device, high accuracy can be maintained. Furthermore, if an adhesive is applied in advance to the sticking surface of the magnetic member and a backing paper is stuck, the sticking work to the moving member becomes extremely easy.

【0032】本実施例では、上記スペーサ10は低摩擦
で耐摩耗性のある樹脂シートを用いている。該樹脂シー
トは非磁性であり磁気パターンの磁気出力を乱すことも
なく、また絶縁体なので磁気抵抗素子の結線部を短絡さ
せる恐れがない。具体的な材質としては、ポリイミド,
ポリエステル,塩化ビニール等のテープを使用してい
る。
In this embodiment, the spacer 10 is made of a resin sheet having low friction and abrasion resistance. Since the resin sheet is non-magnetic, it does not disturb the magnetic output of the magnetic pattern, and since it is an insulator, there is no risk of short-circuiting the wire connection portion of the magnetoresistive element. Specific materials include polyimide,
Tapes such as polyester and vinyl chloride are used.

【0033】さらに、上記スペーサ10として、非磁性
の金属材料であるリン青銅板,アルミニウム板等に絶縁
性のコーティングを施したものを用いてもよい。また、
磁気部材との接触面には、たとえばフッ素樹脂,テフロ
ン(デュポン社登録商標),二硫化モリブデン等の乾燥
潤滑剤、あるいはグリス,油をコーティングして摩擦力
を低減することもできる。
Further, as the spacer 10, a phosphor bronze plate, an aluminum plate or the like, which is a non-magnetic metal material, may be coated with an insulating coating. Also,
The contact surface with the magnetic member may be coated with a dry lubricant such as fluororesin, Teflon (registered trademark of DuPont), molybdenum disulfide, or grease or oil to reduce the frictional force.

【0034】図4は、本第1実施例における上記磁気抵
抗素子9を詳細に示した斜視図である。
FIG. 4 is a detailed perspective view of the magnetoresistive element 9 in the first embodiment.

【0035】この磁気抵抗素子9は、本実施例ではセラ
ミック基板9dにおけるスペーサ10との貼着面側に4
つの磁気抵抗体9aが形成されている。この磁気抵抗体
9aにはそれぞれ所定の結線9bが接続され、スルーホ
ール9cを通してセラミック基板9dにおけるフレキシ
ブルプリント基板13との接続面側に素子端子が引き出
されている。さらに、該素子端子は、該フレキシブルプ
リント基板13の端子13aと接続されている。なお、
本実施例では該磁気抵抗素子9の基板の材質としてセラ
ミックを採用したがこれに限ることなく、ガラス基板を
用いてもよい。またフレキシブルプリント基板13との
接続を磁気抵抗素子9を形成した側の面で行ってもよ
い。
In the present embodiment, the magnetoresistive element 9 is formed on the ceramic substrate 9d on the side where the spacer 10 is attached.
Two magnetic resistors 9a are formed. Predetermined connection lines 9b are connected to the magnetic resistors 9a, and element terminals are drawn out through the through holes 9c to the connection surface side of the ceramic substrate 9d with the flexible printed board 13. Further, the element terminal is connected to the terminal 13a of the flexible printed board 13. In addition,
In this embodiment, ceramic is used as the material of the substrate of the magnetoresistive element 9, but the material is not limited to this, and a glass substrate may be used. Further, the connection with the flexible printed board 13 may be made on the surface on which the magnetoresistive element 9 is formed.

【0036】図5は、本発明の第2実施例の移動量検出
装置を示す要部断面図である。
FIG. 5 is a cross-sectional view of essential parts showing a movement amount detecting device of a second embodiment of the present invention.

【0037】この第2実施例は、上記第1実施例におい
て磁気抵抗素子9の素子面と磁気部材6の着磁面との間
隔を決定していたスペーサ10を省略した実施例であ
る。
The second embodiment is an embodiment in which the spacer 10 which determines the distance between the element surface of the magnetoresistive element 9 and the magnetized surface of the magnetic member 6 in the first embodiment is omitted.

【0038】図に示すように本実施例では、上記第1実
施例に比較して、磁性部材6が回動筒2の周溝2bの深
さよりわずかに厚く作られている。さらに、該回動筒2
の外周面と、該外周面よりわずかに突出した上記磁性部
材6の着磁面とに跨って、接着剤16が塗布された低摩
擦テープ15が貼着されており、これにより、該磁気部
材6が回動筒2に固着されている。
As shown in the figure, in this embodiment, the magnetic member 6 is made slightly thicker than the depth of the circumferential groove 2b of the rotary cylinder 2 as compared with the first embodiment. Further, the rotating cylinder 2
The low-friction tape 15 coated with the adhesive 16 is adhered across the outer peripheral surface of the magnetic member 6 and the magnetized surface of the magnetic member 6 that slightly protrudes from the outer peripheral surface. 6 is fixed to the rotary cylinder 2.

【0039】上記低摩擦テープ15表面には、上記磁気
抵抗素子9の素子面が直接当接している。すなわち、本
実施例では、上記磁気抵抗素子9の素子面と磁気部材6
の着磁面との間には上記低摩擦テープ15のみが存在
し、上記第1実施例におけるスペーサ10は省略されて
いる。
The element surface of the magnetoresistive element 9 is in direct contact with the surface of the low friction tape 15. That is, in this embodiment, the element surface of the magnetoresistive element 9 and the magnetic member 6 are arranged.
Only the low-friction tape 15 is present between the magnetized surface and the spacer 10, and the spacer 10 in the first embodiment is omitted.

【0040】上記低摩擦テープ15の厚さは、磁気抵抗
素子9の素子面と磁気部材6の着磁面との間隔が最適に
なるように設定されている。これにより、該低摩擦テー
プ15は、上記磁性部材6を固着保護するとともに上記
第1実施例におけるスペーサ10と同様な役目を果たし
ている。なお、本実施例では、上記低摩擦テープ15と
して、強度,耐摩耗性,低摩擦性の点で優れているポリ
イミドテープを使用している。
The thickness of the low friction tape 15 is set so that the distance between the element surface of the magnetoresistive element 9 and the magnetized surface of the magnetic member 6 is optimum. As a result, the low-friction tape 15 protects and fixes the magnetic member 6 and also plays the same role as the spacer 10 in the first embodiment. In this embodiment, as the low friction tape 15, a polyimide tape excellent in strength, abrasion resistance and low friction is used.

【0041】そのほかの構成は上記第1実施例と同様で
あるので、ここでの説明は省略する。
The other structure is the same as that of the first embodiment, and the description thereof is omitted here.

【0042】このように、本第2実施例では、上記第1
実施例におけるスペーサ10が不要となるとともに、回
動筒2への磁気部材6の接着も不要となり、より簡単な
構成となる。
As described above, in the second embodiment, the first
In addition to the need for the spacer 10 in the embodiment, the magnetic member 6 need not be adhered to the rotating cylinder 2 either, resulting in a simpler configuration.

【0043】図6は、本発明の第3実施例の移動量検出
装置を示す要部正面図である。
FIG. 6 is a front view of essential parts showing a movement amount detecting device according to a third embodiment of the present invention.

【0044】この第3実施例は、上記磁気部材6をプラ
スチックベース16bに磁性材料からなる磁性層16a
をコーティングして構成した実施例である。
In the third embodiment, the magnetic member 6 is formed on a plastic base 16b and a magnetic layer 16a made of a magnetic material.
It is an example which was configured by coating.

【0045】該磁性部材6は磁性層16a側を回動筒2
側にして接着剤等で固着している。さらに、上記プラス
チックベース16bの表面には、上記磁気抵抗素子9が
当接しており、上記第2実施例と同様にスペーサ10が
省略されている。
The magnetic member 6 has a rotating cylinder 2 on the side of the magnetic layer 16a.
It is fixed to the side with an adhesive or the like. Further, the magnetoresistive element 9 is in contact with the surface of the plastic base 16b, and the spacer 10 is omitted as in the second embodiment.

【0046】なお、上記プラスチックベース16bの厚
さは磁気抵抗素子9の素子面と磁性層16aとが適切な
間隔となるように設定してある。
The thickness of the plastic base 16b is set so that the element surface of the magnetoresistive element 9 and the magnetic layer 16a have an appropriate distance.

【0047】このような構成をなす本第3実施例による
と、上記第2実施例よりさらに簡単な構成とすることが
できる。
According to the third embodiment having such a structure, the structure can be simpler than that of the second embodiment.

【0048】図7は、本発明の第4実施例の移動量検出
装置を示す外観斜視図であり、また、図8は、該第4実
施例の要部を示す要部拡大断面図である。
FIG. 7 is an external perspective view showing a movement amount detecting device of a fourth embodiment of the present invention, and FIG. 8 is an enlarged sectional view of an essential part showing an essential part of the fourth embodiment. .

【0049】この第4実施例は、本発明を線形のカムで
駆動されるレンズ鏡筒の位置検出に適用した場合の実施
例である。
The fourth embodiment is an embodiment in which the present invention is applied to position detection of a lens barrel driven by a linear cam.

【0050】図に示すように、本実施例のレンズ鏡筒は
公知の固定枠21および該固定枠21の内周に移動可能
に内設された移動枠22を備えており、該固定枠21の
外周面にはカム溝21aが形成されている。また、該カ
ム溝21aには、上記移動枠の外周面にローラビス24
で固定されたローラ23が係合しており、該カム溝21
aに沿って移動するようになっている。これにより、上
記移動枠22を固定枠21に対し所定方向に回転させる
と、同方向に回転しながら光軸方向に進退する。なお、
上記移動枠22にはレンズ20が固定されており、該レ
ンズ20は光軸方向に進退する。
As shown in the figure, the lens barrel of the present embodiment is provided with a known fixed frame 21 and a movable frame 22 movably installed inside the fixed frame 21. A cam groove 21a is formed on the outer peripheral surface of the. The cam groove 21a has a roller screw 24 on the outer peripheral surface of the moving frame.
The roller 23 fixed by means of is engaged with the cam groove 21.
It is designed to move along a. Accordingly, when the movable frame 22 is rotated in a predetermined direction with respect to the fixed frame 21, the movable frame 22 is moved in the optical axis direction while rotating in the same direction. In addition,
The lens 20 is fixed to the moving frame 22, and the lens 20 moves back and forth in the optical axis direction.

【0051】上記移動枠22の外周面には、上記固定枠
21aにおけるカム溝21aに沿った方向に溝(図示せ
ず)が設けられ、さらに、該溝に光軸方向にそう縞が並
んだ磁気パターンを有する帯状の磁気部材26が接着固
定されている。
A groove (not shown) is provided on the outer peripheral surface of the moving frame 22 in a direction along the cam groove 21a of the fixed frame 21a, and stripes are arranged in the groove in the optical axis direction. A strip-shaped magnetic member 26 having a magnetic pattern is adhesively fixed.

【0052】一方、固定枠21における、上記磁気部材
26の着磁面に対向する位置には窓部21bが穿設され
ている。さらに、該窓部21bには、上記第1実施例と
同様なホルダ8に保持された磁気抵抗素子9がスペーサ
10を介して上記磁気部材26の着磁面に押圧されて保
持されている。
On the other hand, a window portion 21b is formed in the fixed frame 21 at a position facing the magnetized surface of the magnetic member 26. Further, in the window portion 21b, the magnetoresistive element 9 held by the holder 8 similar to that of the first embodiment is held by being pressed against the magnetized surface of the magnetic member 26 via the spacer 10.

【0053】このように構成された第4実施例は、上記
第1実施例と同様にして、固定枠21に対して回転進退
される移動枠22の位置を検出する。
The fourth embodiment thus constructed detects the position of the moving frame 22 which is moved forward and backward relative to the fixed frame 21 in the same manner as the first embodiment.

【0054】従来の技術手段では、このような回転進退
する移動枠の位置検出機構を行うことは著しく困難であ
ったが、本第4実施例によれば簡単に実現することがで
きる。
Although it has been extremely difficult for the conventional technical means to perform such a position detecting mechanism for the moving frame which moves forward and backward, it can be easily realized according to the fourth embodiment.

【0055】なお、上記各実施例では、磁気部材の移動
検出素子として磁気検出素子を採用したが、他の電磁効
果による通常の磁気ヘッドやホール素子を用いてもよ
い。また、本発明は、回転移動体の位置検出のみに適用
されるものではなく、直進移動体に対しても有効である
ことはいうまでもない。
In each of the above-mentioned embodiments, the magnetic detecting element is used as the movement detecting element of the magnetic member, but a normal magnetic head or hall element due to other electromagnetic effect may be used. Further, it goes without saying that the present invention is not applied only to the position detection of the rotary moving body, but is also effective for the straight moving body.

【0056】このように、上記各実施例によると、平滑
性のある板状磁気部材には事前に磁気パターンを精密に
着磁でき、また、特別な着磁治具を用いなくても高精度
で確実に着磁できる。さらに、磁気部材は可撓性を有し
ているので移動体が曲面形状を呈していても簡単に取り
付けることが可能で、薄い板で構成できるためスペース
もとらない。
As described above, according to each of the above-mentioned embodiments, the magnetic pattern can be precisely magnetized in advance on the flat plate-shaped magnetic member, and high accuracy can be obtained without using a special magnetizing jig. You can magnetize with certainty. Further, since the magnetic member has flexibility, it can be easily attached even if the moving body has a curved shape, and it does not take up space because it can be configured with a thin plate.

【0057】また、磁気部材が破損した場合でも磁気部
材の変換はきわめて容易であり、着磁や組み立ての製造
がきわめて簡単で、低価格でスペースも小さく、かつ高
精度の位置検出が可能となる。
Further, even if the magnetic member is damaged, it is extremely easy to convert the magnetic member, magnetizing and assembly are extremely easy to manufacture, and the cost is low, the space is small, and the position can be detected with high accuracy. .

【0058】[0058]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、移
動体上に設けられた磁気部材の加工,着磁,組み立てが
簡単であり、小型で低コストの移動量検出装置を提供で
きる。
As described above, according to the present invention, it is possible to provide a small-sized and low-cost movement amount detecting device in which the magnetic member provided on the moving body can be easily processed, magnetized and assembled.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1実施例を示す移動量検出装置の外
観斜視図である。
FIG. 1 is an external perspective view of a movement amount detection device showing a first embodiment of the present invention.

【図2】上記第1実施例の移動量検出装置の要部を詳細
に示した断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing in detail a main part of the movement amount detection device of the first embodiment.

【図3】上記第1実施例の移動量検出装置における磁気
部材と回動筒との接着状態を示す要部断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view of essential parts showing a bonded state of a magnetic member and a rotary cylinder in the movement amount detecting device of the first embodiment.

【図4】上記第1実施例の移動量検出装置における磁気
抵抗素子を詳細に示した斜視図である。
FIG. 4 is a detailed perspective view of a magnetoresistive element in the movement amount detecting device of the first embodiment.

【図5】本発明の第2実施例の移動量検出装置を示す要
部断面図である。
FIG. 5 is a cross-sectional view of essential parts showing a movement amount detection device according to a second embodiment of the present invention.

【図6】本発明の第3実施例の移動量検出装置を示す要
部正面図である。
FIG. 6 is a front view of essential parts showing a movement amount detecting device according to a third embodiment of the present invention.

【図7】本発明の第4実施例の移動量検出装置を示す外
観斜視図である。
FIG. 7 is an external perspective view showing a movement amount detection device according to a fourth embodiment of the present invention.

【図8】上記第4実施例の移動量検出装置の要部を示す
要部拡大断面図である。
FIG. 8 is an enlarged sectional view of an essential part showing an essential part of the movement amount detecting device of the fourth embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…固定筒 2…回動筒 5…モータ 6…磁気部材 7…接着剤 8…ホルダ 9…磁気抵抗素子 10…スペーサ 12…固定部 13…フレキシブルプリント基板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Fixed cylinder 2 ... Rotation cylinder 5 ... Motor 6 ... Magnetic member 7 ... Adhesive 8 ... Holder 9 ... Magnetoresistive element 10 ... Spacer 12 ... Fixed part 13 ... Flexible printed circuit board

─────────────────────────────────────────────────────
─────────────────────────────────────────────────── ───

【手続補正書】[Procedure amendment]

【提出日】平成7年1月25日[Submission date] January 25, 1995

【手続補正1】[Procedure Amendment 1]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0017[Correction target item name] 0017

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0017】図に示すように、この移動量検出装置は、
光軸0を中心にもつ固定筒1の外周には、回動筒2が該
光軸0を中心に回動可能に嵌合されている。この回動筒
2は、押さえ3により光軸0方向には不動に保持されて
いる。
As shown in the figure, this movement amount detecting device is
On the outer periphery of the fixed barrel 1 having the optical axis 0 as the center, a rotary barrel 2 is fitted so as to be rotatable about the optical axis 0. The rotating barrel 2 is held immovably in the optical axis 0 direction by a presser 3.

【手続補正2】[Procedure Amendment 2]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0022[Name of item to be corrected] 0022

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0022】上記磁気抵抗素子9の電気素子は、フレキ
シブルプリント基板13の端部に設けられた電気端子1
3a(図4参照)と半田、あるいは導電接着剤によって
接合されている。一方該フレキシブルプリント基板13
は上記ホルダ8の所定位置に設置されて接着固定されて
おり、該磁気抵抗素子9はホルダ8の所定位置に固定さ
れている。上記フレキシブルプリント基板13の他端は
外部の所定回路に接続されており、上記磁気抵抗素子9
は、該フレキシブルプリント基板13を介して図示しな
い電源から電源電圧が供給されるとともに、その出力信
号を上記所定回路に伝送するようになっている。
The electric element of the magnetoresistive element 9 is a flexible element.
Electric terminal 1 provided at the end of the printed circuit board 13
3a (see Fig. 4) and solder or conductive adhesive
It is joined. On the other hand, the flexible printed circuit board 13
Is installed at a predetermined position of the holder 8 and is fixed by adhesion.
The magnetic resistance element 9 is fixed at a predetermined position of the holder 8.
Has been. The other end of the flexible printed board 13 is connected to an external predetermined circuit, and the magnetoresistive element 9 is connected.
Is supplied with a power source voltage from a power source (not shown) via the flexible printed circuit board 13 and transmits its output signal to the predetermined circuit.

【手続補正3】[Procedure 3]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0029[Name of item to be corrected] 0029

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0029】さらに詳述すると、本実施例において上記
磁気部材6は、0.1〜0.2mmの厚さの塩化ビニー
ル,PET(ポリエチレンテレフタレート)樹脂等から
なるベース材にバリウムフェライト系の磁性材料をコー
ティングして構成されている。これにより、該磁気部材
6は、剛性および保力が高い点で優れている。
More specifically, in the present embodiment, the magnetic member 6 has a base material made of vinyl chloride, PET (polyethylene terephthalate) resin or the like having a thickness of 0.1 to 0.2 mm, and a barium ferrite magnetic material. It is configured by coating. Accordingly, the magnetic member 6, the rigidity and the coercive magnetic force is superior in high points.

【手続補正4】[Procedure amendment 4]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0051[Correction target item name] 0051

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0051】上記移動枠22の外周面には、上記固定枠
21aにおけるカム溝21aに沿った方向に溝(図示せ
ず)が設けられ、さらに、該溝に光軸方向に沿う縞状の
磁圧が並んだ磁気パターンを有する帯状の磁気部材26
が接着固定されている。
A groove (not shown) is provided on the outer peripheral surface of the moving frame 22 in the direction along the cam groove 21a of the fixed frame 21a, and the groove has a striped shape along the optical axis direction.
A strip-shaped magnetic member 26 having a magnetic pattern in which magnetic pressure is aligned
Are glued and fixed.

【手続補正5】[Procedure Amendment 5]

【補正対象書類名】図面[Document name to be corrected] Drawing

【補正対象項目名】図1[Name of item to be corrected] Figure 1

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【図1】 [Figure 1]

【手続補正6】[Procedure correction 6]

【補正対象書類名】図面[Document name to be corrected] Drawing

【補正対象項目名】図4[Name of item to be corrected] Fig. 4

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【図4】 [Figure 4]

【手続補正7】[Procedure Amendment 7]

【補正対象書類名】図面[Document name to be corrected] Drawing

【補正対象項目名】図8[Correction target item name] Figure 8

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【図8】 [Figure 8]

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】固定部材に対して相対的に移動自在に設け
られた移動部材の移動量を検出する、移動量検出装置に
おいて、 予め定められた磁気パターンを着磁された後に上記移動
部材に弾性変形して固着される、可撓性を有し表面が平
滑に形成された板状の磁気部材と、 上記固定部材上に、上記磁気部材の磁気パターンに対向
するよう予め定められた間隙を有して保持され、上記移
動部材の移動に併なった上記磁気部材の移動を検出する
磁気検出素子と、 を具備したことを特徴とする移動量検出装置。
1. A moving amount detecting device for detecting a moving amount of a moving member provided so as to be relatively movable with respect to a fixed member, wherein the moving member is magnetized with a predetermined magnetic pattern. A plate-shaped magnetic member that is elastically deformed and fixed and has a smooth surface, and a predetermined gap on the fixed member that faces the magnetic pattern of the magnetic member. And a magnetic detection element that is held and held, and that detects the movement of the magnetic member that accompanies the movement of the moving member.
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