JPH07122201A - シャドウマスク材及びシャドウマスク材連結部除去方法 - Google Patents
シャドウマスク材及びシャドウマスク材連結部除去方法Info
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- JPH07122201A JPH07122201A JP5266112A JP26611293A JPH07122201A JP H07122201 A JPH07122201 A JP H07122201A JP 5266112 A JP5266112 A JP 5266112A JP 26611293 A JP26611293 A JP 26611293A JP H07122201 A JPH07122201 A JP H07122201A
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Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】パターンエッチングされた後に所定枚数を集積
して仕上げ加工処理工程や出荷処理工程に搬送する中間
製品としてのシャドウマスク材エッチング形成されてい
る微細なストライプ状金属薄板部の変形や折損を防止す
ることにある。 【構成】金属薄板1にエッチング抜き加工により形成し
た多数本のストライプ状スリット部2とストライプ状金
属薄板部3とを備え、その外周に外周金属薄板部4を備
えたシャドウマスクの互いに隣接するストライプ状金属
薄板部3を繋ぐ連結部5を備え、外周金属薄板部4に位
置決め用ピン孔6が穿設されているシャドウマスク材、
及び前記シャドウマスク材に備えた前記連結部5を、熱
レーザーを用い切断除去してシャドウマスクを得るシャ
ドウマスク材連結部除去方法。
して仕上げ加工処理工程や出荷処理工程に搬送する中間
製品としてのシャドウマスク材エッチング形成されてい
る微細なストライプ状金属薄板部の変形や折損を防止す
ることにある。 【構成】金属薄板1にエッチング抜き加工により形成し
た多数本のストライプ状スリット部2とストライプ状金
属薄板部3とを備え、その外周に外周金属薄板部4を備
えたシャドウマスクの互いに隣接するストライプ状金属
薄板部3を繋ぐ連結部5を備え、外周金属薄板部4に位
置決め用ピン孔6が穿設されているシャドウマスク材、
及び前記シャドウマスク材に備えた前記連結部5を、熱
レーザーを用い切断除去してシャドウマスクを得るシャ
ドウマスク材連結部除去方法。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、金属薄板にストライプ
状スリット部を備えたシャドウマスクの製造における中
間製品としてのシャドウマスク材及び該シャドウマスク
材に備えるストライプ状金属薄板部を互いに連結する連
結部を除去してシャドウマスクを得るためのシャドウマ
スク材連結部除去方法に関する。
状スリット部を備えたシャドウマスクの製造における中
間製品としてのシャドウマスク材及び該シャドウマスク
材に備えるストライプ状金属薄板部を互いに連結する連
結部を除去してシャドウマスクを得るためのシャドウマ
スク材連結部除去方法に関する。
【0002】
【従来の技術】図3(a)は、従来の金属薄板にストラ
イプ状スリット部を備えたシャドウマスクSであり、
鉄、又は鉄−ニッケル合金等の金属薄板1に、パターン
エッチング(ウエットエッチング)にてエッチング抜き
したストライプ状スリット部2を設け、該スリット部2
を設けることによって、該スリット部2に隣接してスト
ライプ状金属薄板部3が設けられ、そのストライプ状ス
リット部2及びストライプ状金属薄板部3の外周に外周
金属薄板部4を備えたものである。
イプ状スリット部を備えたシャドウマスクSであり、
鉄、又は鉄−ニッケル合金等の金属薄板1に、パターン
エッチング(ウエットエッチング)にてエッチング抜き
したストライプ状スリット部2を設け、該スリット部2
を設けることによって、該スリット部2に隣接してスト
ライプ状金属薄板部3が設けられ、そのストライプ状ス
リット部2及びストライプ状金属薄板部3の外周に外周
金属薄板部4を備えたものである。
【0003】上記従来のシャドウマスクSの金属薄板1
は、図3(b)に示すように、金属薄板1用の薄板素材
Aに矩形状(若しくは図示しないが円形状等)のハーフ
エッチングによるハーフカッティングされたカッティン
グライン1a(若しくはエッチング抜きされたカッティ
ングライン)を設け、該ライン1aに沿って該ライン1
a外側の素材Aを切除して得られるものであり、また、
図3(b)に示すようにハーフカッティングライン1a
から素材Aの端縁まで直線状に延長した延長ハーフカッ
ティングライン1bを設け、該ライン1a,1bに沿っ
てその外側の素材Aを繰り返し折り曲げることによって
切除して得られるものである。
は、図3(b)に示すように、金属薄板1用の薄板素材
Aに矩形状(若しくは図示しないが円形状等)のハーフ
エッチングによるハーフカッティングされたカッティン
グライン1a(若しくはエッチング抜きされたカッティ
ングライン)を設け、該ライン1aに沿って該ライン1
a外側の素材Aを切除して得られるものであり、また、
図3(b)に示すようにハーフカッティングライン1a
から素材Aの端縁まで直線状に延長した延長ハーフカッ
ティングライン1bを設け、該ライン1a,1bに沿っ
てその外側の素材Aを繰り返し折り曲げることによって
切除して得られるものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記シャド
ウマスクSは、所定枚数を集積してその後の仕上げ加工
処理工程や出荷工程に搬送されるものであるが、搬送の
際にシャドウマスクSのエッチング抜きされたストライ
プ状金属薄板部3の1本の金属薄板部3の幅はかなり細
く、しかも薄いため慎重に処理しないと変形や折損を生
じ易い。
ウマスクSは、所定枚数を集積してその後の仕上げ加工
処理工程や出荷工程に搬送されるものであるが、搬送の
際にシャドウマスクSのエッチング抜きされたストライ
プ状金属薄板部3の1本の金属薄板部3の幅はかなり細
く、しかも薄いため慎重に処理しないと変形や折損を生
じ易い。
【0005】本発明は、パターンエッチングされた後に
所定枚数を集積して仕上げ加工処理工程や出荷処理工程
に搬送する中間製品としてのシャドウマスク材であっ
て、エッチング形成されている微細なストライプ状金属
薄板部の変形や折損を防止するとともに、前記シャドウ
マスク材から良好な品質のシャドウマスクを得ることに
ある。
所定枚数を集積して仕上げ加工処理工程や出荷処理工程
に搬送する中間製品としてのシャドウマスク材であっ
て、エッチング形成されている微細なストライプ状金属
薄板部の変形や折損を防止するとともに、前記シャドウ
マスク材から良好な品質のシャドウマスクを得ることに
ある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の第1発明は、金
属薄板1にエッチング抜き加工により形成された多数本
のストライプ状スリット部2と、ストライプ状金属薄板
部3とを備え、その外周に外周金属薄板部4を備えたシ
ャドウマスクにおいて、互いに隣接するストライプ状金
属薄板部3を繋ぐ連結部5を備え、外周金属薄板部4の
少なくとも2個所に位置決め用ピン孔6が穿設されてい
ることを特徴とするシャドウマスク材である。
属薄板1にエッチング抜き加工により形成された多数本
のストライプ状スリット部2と、ストライプ状金属薄板
部3とを備え、その外周に外周金属薄板部4を備えたシ
ャドウマスクにおいて、互いに隣接するストライプ状金
属薄板部3を繋ぐ連結部5を備え、外周金属薄板部4の
少なくとも2個所に位置決め用ピン孔6が穿設されてい
ることを特徴とするシャドウマスク材である。
【0007】また、本発明の第2発明は、金属薄板1に
エッチング抜き加工により形成した多数本のストライプ
状スリット部2と、ストライプ状金属薄板部3とを備
え、その外周に外周金属薄板部4を備えたシャドウマス
クにおいて、互いに隣接するストライプ状金属薄板部3
を繋ぐ連結部5を備え、外周金属薄板部4の外端縁の少
なくとも2個所若しくは4個所に位置決め用切欠部7が
設けられていることを特徴とするシャドウマスク材であ
る。
エッチング抜き加工により形成した多数本のストライプ
状スリット部2と、ストライプ状金属薄板部3とを備
え、その外周に外周金属薄板部4を備えたシャドウマス
クにおいて、互いに隣接するストライプ状金属薄板部3
を繋ぐ連結部5を備え、外周金属薄板部4の外端縁の少
なくとも2個所若しくは4個所に位置決め用切欠部7が
設けられていることを特徴とするシャドウマスク材であ
る。
【0008】また、本発明の第3発明は、前記シャドウ
マスク材に備えた前記連結部5を、熱レーザーを用い切
断除去してシャドウマスクを得ることを特徴とするシャ
ドウマスク材連結部除去方法である。
マスク材に備えた前記連結部5を、熱レーザーを用い切
断除去してシャドウマスクを得ることを特徴とするシャ
ドウマスク材連結部除去方法である。
【0009】
【実施例】本発明の第1発明のシャドウマスク材の一実
施例を、図1(a)に従って詳細に説明すれば、鉄又は
鉄−ニッケル合金等の金属薄板1(例えば板厚;0.0
5mm〜1.00mmの範囲のいずれか)に、エッチン
グレジストを用いたパターンエッチング(表裏ウエット
エッチング等)方式によってエッチング抜きした多数本
のストライプ状スリット部2(例えばスリット幅;0.
05mm〜1.00mmの範囲のいずれか)が設けられ
ている。
施例を、図1(a)に従って詳細に説明すれば、鉄又は
鉄−ニッケル合金等の金属薄板1(例えば板厚;0.0
5mm〜1.00mmの範囲のいずれか)に、エッチン
グレジストを用いたパターンエッチング(表裏ウエット
エッチング等)方式によってエッチング抜きした多数本
のストライプ状スリット部2(例えばスリット幅;0.
05mm〜1.00mmの範囲のいずれか)が設けられ
ている。
【0010】該金属薄板1には、前記ストライプ状スリ
ット部2を設けることによって形成される多数本のスト
ライプ状金属薄板部3(例えばストライプ幅;0.25
mm〜1.00mmの範囲のいずれか)と、該ストライ
プ状スリット部2とストライプ状金属薄板部3との周囲
に外周金属薄板部4が設けられている。
ット部2を設けることによって形成される多数本のスト
ライプ状金属薄板部3(例えばストライプ幅;0.25
mm〜1.00mmの範囲のいずれか)と、該ストライ
プ状スリット部2とストライプ状金属薄板部3との周囲
に外周金属薄板部4が設けられている。
【0011】上記多数本のストライプ状金属薄板部にお
ける隣接するストライプ状金属薄板部3は、そのほぼ中
央部にて互いに連結部5によって一体的に繋がれてい
る。
ける隣接するストライプ状金属薄板部3は、そのほぼ中
央部にて互いに連結部5によって一体的に繋がれてい
る。
【0012】前記連結部5の幅は、各ストライプ状金属
薄板部3と同程度の幅、若しくはそれより細いことが適
当であるが、特に限定はされないし、またストライプ状
スリット部2の1本当たりの上記連結部5の設置数は1
個所乃至2個所程度が適当であるが、特に限定はされな
いものである。なお一般用と高精細用のそれぞれシャド
ウマスクにおける金属薄板1の板厚、スリット部2のス
リット幅、ストライプ状金属薄板部3のストライプ幅、
ピッチの一例を下記に示す。(単位;mm) シャドウマスク 一般用 高精細用 板 厚 0.10 0.08 スリット幅 0.10 0.05 金属薄板部 0.50 0.35 ピ ッ チ 0.60 0.40
薄板部3と同程度の幅、若しくはそれより細いことが適
当であるが、特に限定はされないし、またストライプ状
スリット部2の1本当たりの上記連結部5の設置数は1
個所乃至2個所程度が適当であるが、特に限定はされな
いものである。なお一般用と高精細用のそれぞれシャド
ウマスクにおける金属薄板1の板厚、スリット部2のス
リット幅、ストライプ状金属薄板部3のストライプ幅、
ピッチの一例を下記に示す。(単位;mm) シャドウマスク 一般用 高精細用 板 厚 0.10 0.08 スリット幅 0.10 0.05 金属薄板部 0.50 0.35 ピ ッ チ 0.60 0.40
【0013】図1(a)に示すように上記外周金属薄板
部4の矩形状の対角線方向の二角隅部には、それぞれ位
置決め用ピン孔6,6が穿設され、該ピン孔6は、後に
おいて前記連結部5を切断除去するための熱レーザー方
式のカッティング装置に設けられた位置決め用ピン(後
述)に該ピン孔6を嵌合することによって、シャドウマ
スク材S1 をカッティング装置の所定位置に位置決めす
るためのものである。
部4の矩形状の対角線方向の二角隅部には、それぞれ位
置決め用ピン孔6,6が穿設され、該ピン孔6は、後に
おいて前記連結部5を切断除去するための熱レーザー方
式のカッティング装置に設けられた位置決め用ピン(後
述)に該ピン孔6を嵌合することによって、シャドウマ
スク材S1 をカッティング装置の所定位置に位置決めす
るためのものである。
【0014】次に、第2発明のシャドウマスク材の一実
施例を、図1(b)に従って詳細に説明すれば、鉄又は
鉄−ニッケル合金等の金属薄板1にエッチングレジスト
を用いたパターンエッチング(表裏ウエットエッチング
等)方式によってエッチング抜きした多数本のストライ
プ状スリット部2が設けられ、前記ストライプ状スリッ
ト部2を設けることによって形成される多数本のストラ
イプ状金属薄板部3が設けられ、該ストライプ状スリッ
ト部2とストライプ状金属薄板部3との周囲に外周金属
薄板部4が設けられている。
施例を、図1(b)に従って詳細に説明すれば、鉄又は
鉄−ニッケル合金等の金属薄板1にエッチングレジスト
を用いたパターンエッチング(表裏ウエットエッチング
等)方式によってエッチング抜きした多数本のストライ
プ状スリット部2が設けられ、前記ストライプ状スリッ
ト部2を設けることによって形成される多数本のストラ
イプ状金属薄板部3が設けられ、該ストライプ状スリッ
ト部2とストライプ状金属薄板部3との周囲に外周金属
薄板部4が設けられている。
【0015】図1(b)に示すように上記多数本のスト
ライプ状金属薄板部における隣接するストライプ状金属
薄板部3は、そのほぼ中央部と、中央部より右側と左側
とにて互いに連結部5によって一体的に繋がれている。
なお、上記第2発明の他の実施例としては、図示しない
が上記多数本のストライプ状金属薄板部における隣接す
るストライプ状金属薄板部3は、そのほぼ中央部にて互
いに連結部5によって一体的に繋がれているものであ
る。
ライプ状金属薄板部における隣接するストライプ状金属
薄板部3は、そのほぼ中央部と、中央部より右側と左側
とにて互いに連結部5によって一体的に繋がれている。
なお、上記第2発明の他の実施例としては、図示しない
が上記多数本のストライプ状金属薄板部における隣接す
るストライプ状金属薄板部3は、そのほぼ中央部にて互
いに連結部5によって一体的に繋がれているものであ
る。
【0016】また、上記外周金属薄板部4の矩形状二辺
の対向する外端縁には、それぞれ少なくとも1個所ずつ
計2個所に切欠部7,7、若しくは少なくともそれぞれ
2個所ずつ計4個所に切欠部7,7,7,7が設けられ
ている。なお、前述した一実施例と同様に、上記外周金
属薄板部4の矩形状の対角線方向の少なくとも二角隅部
に位置決め用ピン孔6,6を穿設するようにしてもよ
い。
の対向する外端縁には、それぞれ少なくとも1個所ずつ
計2個所に切欠部7,7、若しくは少なくともそれぞれ
2個所ずつ計4個所に切欠部7,7,7,7が設けられ
ている。なお、前述した一実施例と同様に、上記外周金
属薄板部4の矩形状の対角線方向の少なくとも二角隅部
に位置決め用ピン孔6,6を穿設するようにしてもよ
い。
【0017】上記第1発明の両実施例ともに、上記連結
部5の幅は、各ストライプ状金属薄板部3と同程度の
幅、若しくはそれより細いことが適当であるが、特に限
定はされないし、またストライプ状スリット部2の1本
当たりの上記連結部5の設置数は1個所乃至2個所程度
が適当であるが、特に限定はされないものである。
部5の幅は、各ストライプ状金属薄板部3と同程度の
幅、若しくはそれより細いことが適当であるが、特に限
定はされないし、またストライプ状スリット部2の1本
当たりの上記連結部5の設置数は1個所乃至2個所程度
が適当であるが、特に限定はされないものである。
【0018】次に、本発明の第3発明のシャドウマスク
材連結部除去方法を、図2に示す実施例に従って詳細に
説明する。図2は、YAGレーザー、炭酸ガスレーザー
等の金属を溶融切断可能な熱レーザー方式によるレーザ
ーカッティング装置の概要側面図であり、Lはレーザー
光源部、Pは適宜二次元平面内を自動若しくは手動にて
前記レーザー光源部Lに対して相対的に移動可能な可動
式カッティング定盤である。
材連結部除去方法を、図2に示す実施例に従って詳細に
説明する。図2は、YAGレーザー、炭酸ガスレーザー
等の金属を溶融切断可能な熱レーザー方式によるレーザ
ーカッティング装置の概要側面図であり、Lはレーザー
光源部、Pは適宜二次元平面内を自動若しくは手動にて
前記レーザー光源部Lに対して相対的に移動可能な可動
式カッティング定盤である。
【0019】前記可動式カッティング定盤P上に、少な
くとも2本若しくは4本の位置決め用ピン8が立設固定
され、第1発明又は第2発明にて説明したシャドウマス
ク材S1 をその位置決め用ピン孔6若しくは位置決め用
切欠部7を前記ピン8に嵌合することによって位置決め
固定する。
くとも2本若しくは4本の位置決め用ピン8が立設固定
され、第1発明又は第2発明にて説明したシャドウマス
ク材S1 をその位置決め用ピン孔6若しくは位置決め用
切欠部7を前記ピン8に嵌合することによって位置決め
固定する。
【0020】その後、レーザー光源部Lより熱レーザー
をシャドウマスク材S1 に照射し、可動カッティング定
盤Pをレーザー光源部Lに対して相対的に移動させて、
熱レーザーを、ストライプ状金属薄板部3若しくは外周
金属薄板4と、それぞれ連結部5との連結相当部の境界
線に沿って走査させ、前記連結部5をストライプ状金属
薄板部3より溶融切断して除去することによって、スト
ライプ状スリット部2とストライプ状金属薄板部3とに
よる図3(a)又は図3(b)に示すような連結部5の
無いストライプパターンのシャドウマスクSが得られる
ものである。
をシャドウマスク材S1 に照射し、可動カッティング定
盤Pをレーザー光源部Lに対して相対的に移動させて、
熱レーザーを、ストライプ状金属薄板部3若しくは外周
金属薄板4と、それぞれ連結部5との連結相当部の境界
線に沿って走査させ、前記連結部5をストライプ状金属
薄板部3より溶融切断して除去することによって、スト
ライプ状スリット部2とストライプ状金属薄板部3とに
よる図3(a)又は図3(b)に示すような連結部5の
無いストライプパターンのシャドウマスクSが得られる
ものである。
【0021】
【作用】本発明は、互いに隣接するストライプ状金属薄
板部3を繋ぐ連結部5を備え、外周金属薄板部4若しく
は該外周金属薄板4外端縁に位置決め用ピン孔6若しく
は切欠部を設けたシャドウマスクの中間製品としてのシ
ャドウマスク材S1 であり、補強材としての連結部5を
備えているので、ストライプ状にパターンエッチング抜
きされた後のシャドウマスク材S1 の後処理加工におけ
る集積運搬における変形や折損が発生し難くなる。
板部3を繋ぐ連結部5を備え、外周金属薄板部4若しく
は該外周金属薄板4外端縁に位置決め用ピン孔6若しく
は切欠部を設けたシャドウマスクの中間製品としてのシ
ャドウマスク材S1 であり、補強材としての連結部5を
備えているので、ストライプ状にパターンエッチング抜
きされた後のシャドウマスク材S1 の後処理加工におけ
る集積運搬における変形や折損が発生し難くなる。
【0022】また、本発明のシャドウマスク材S1 は、
カッティング定盤P上に位置決めピン8を用いて所定位
置に正確に位置決め固定できる。
カッティング定盤P上に位置決めピン8を用いて所定位
置に正確に位置決め固定できる。
【0023】また、上記シャドウマスク材S1 の連結部
5を、熱レーザーを用いてカッティング定盤P上で切断
除去するようにしたので、前記連結部5がストライプ状
スリット部2の端縁に沿って直線的に正確にカッティン
グ処理でき、したがって上記シャドウマスク材S1 から
は、綺麗なストライプ状スリット部2を備えたシャドウ
マスクを得ることができる。
5を、熱レーザーを用いてカッティング定盤P上で切断
除去するようにしたので、前記連結部5がストライプ状
スリット部2の端縁に沿って直線的に正確にカッティン
グ処理でき、したがって上記シャドウマスク材S1 から
は、綺麗なストライプ状スリット部2を備えたシャドウ
マスクを得ることができる。
【0024】
【発明の効果】本発明のシャドウマスク材は、所定枚数
を集積してその後の仕上げ加工処理工程や出荷工程に搬
送される際にシャドウマスクのエッチング抜きされたス
トライプ状金属薄板部に変形や折損を生じ難いため、良
好な品質のシャドウマスクの製造が可能となる。
を集積してその後の仕上げ加工処理工程や出荷工程に搬
送される際にシャドウマスクのエッチング抜きされたス
トライプ状金属薄板部に変形や折損を生じ難いため、良
好な品質のシャドウマスクの製造が可能となる。
【図1】(a)は本発明のシャドウマスク材の一実施例
の平面図、(b)は本発明のシャドウマスク材の他の実
施例の平面図である。
の平面図、(b)は本発明のシャドウマスク材の他の実
施例の平面図である。
【図2】本発明のシャドウマスク材連結部除去方法を説
明する概要側面図である。
明する概要側面図である。
【図3】(a)〜(b)は従来のシャドウマスクを説明
する平面図である。
する平面図である。
1…金属薄板 1a…カッティングライン 1b…延長
カッティングライン 2…ストライプ状スリット部 3…ストライプ状金属薄
板部 4…外周金属薄板部 5…連結部 6…位置決め用ピン
孔 7…位置決め用切欠部 8…位置決め用ピン A…金属薄板素材 S…シャドウマスク S1 …シャド
ウマスク材 L…熱レーザー光源部 P…可動カッティング定盤
カッティングライン 2…ストライプ状スリット部 3…ストライプ状金属薄
板部 4…外周金属薄板部 5…連結部 6…位置決め用ピン
孔 7…位置決め用切欠部 8…位置決め用ピン A…金属薄板素材 S…シャドウマスク S1 …シャド
ウマスク材 L…熱レーザー光源部 P…可動カッティング定盤
Claims (3)
- 【請求項1】金属薄板1にエッチング抜き加工により形
成した多数本のストライプ状スリット部2と、ストライ
プ状金属薄板部3とを備え、その外周に外周金属薄板部
4を備えたシャドウマスクにおいて、互いに隣接するス
トライプ状金属薄板部3を繋ぐ連結部5を備え、外周金
属薄板部4の少なくとも2個所に位置決め用ピン孔6が
穿設されていることを特徴とするシャドウマスク材。 - 【請求項2】金属薄板1にエッチング抜き加工により形
成した多数本のストライプ状スリット部2と、ストライ
プ状金属薄板部3とを備え、その外周に外周金属薄板部
4を備えたシャドウマスクにおいて、互いに隣接するス
トライプ状金属薄板部3を繋ぐ連結部5を備え、外周金
属薄板部4の外端縁の少なくとも2個所若しくは4個所
に位置決め用切欠部7が設けられていることを特徴とす
るシャドウマスク材。 - 【請求項3】前記シャドウマスク材に備えた前記連結部
5を、熱レーザーを用い切断除去してシャドウマスクを
得ることを特徴とするシャドウマスク材連結部除去方
法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5266112A JPH07122201A (ja) | 1993-10-25 | 1993-10-25 | シャドウマスク材及びシャドウマスク材連結部除去方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5266112A JPH07122201A (ja) | 1993-10-25 | 1993-10-25 | シャドウマスク材及びシャドウマスク材連結部除去方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07122201A true JPH07122201A (ja) | 1995-05-12 |
Family
ID=17426494
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5266112A Pending JPH07122201A (ja) | 1993-10-25 | 1993-10-25 | シャドウマスク材及びシャドウマスク材連結部除去方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07122201A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003068456A (ja) * | 2001-08-29 | 2003-03-07 | Dainippon Printing Co Ltd | 有機el素子製造に用いる真空蒸着用金属マスク |
JP2012509177A (ja) * | 2008-11-18 | 2012-04-19 | レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード | 高速レーザ材料取り用支持テーブル架台 |
-
1993
- 1993-10-25 JP JP5266112A patent/JPH07122201A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003068456A (ja) * | 2001-08-29 | 2003-03-07 | Dainippon Printing Co Ltd | 有機el素子製造に用いる真空蒸着用金属マスク |
JP4662661B2 (ja) * | 2001-08-29 | 2011-03-30 | 大日本印刷株式会社 | 有機el素子製造に用いる真空蒸着用金属マスク |
JP2012509177A (ja) * | 2008-11-18 | 2012-04-19 | レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード | 高速レーザ材料取り用支持テーブル架台 |
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