JPH07110014A - サーボシリンダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】電磁切換弁とシリンダ室等とを結ぶ流体通路を
短縮して応答時間を可及的に小さくすることを可能とす
るサーボシリンダを提供すること。 【構成】シリンダ本体１６に電−空レギュレータ１３、
電磁切換弁１４、３４を一体的に装着したため、ロッド
カバー４４側の第１室６４ａと電磁切換弁１４との通路
が短縮されてシリンダの応答速度が向上するとともに、
ディスクブレーキ機構３６の空間１０８と電磁切換弁３
４との通路が短縮されて反応速度が向上し、迅速にボー
ルねじ軸２２の回動を制動できるため、ピストン２０を
所望の停止位置で精度良く停止できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、圧力流体とモータの双
方によってピストンを変位させることにより、小型のモ
ータでピストンを精度良く所定位置に停止させるシリン
ダに関し、一層詳細には前記シリンダにバルブを一体的
に取り付けることにより、精度良くピストンを制御する
ことを可能としたサーボシリンダに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、ロッドの先端に固着されたテ
ーブル等によってワークを変位させるアクチュエータに
おいて、前記ロッドをシリンダ内のピストンに係合さ
せ、このピストンを空気圧で変位させる方法と、該ロッ
ドをボールねじに固着し、このボールねじを介してモー
タ等によって変位させる方法がある。

【０００３】空気圧によってピストンを変位させる方法
は、出力が大きく、負荷の大きいワークを変位させるこ
とができるが、空気自体が圧縮性流体であるため、当該
ワークを精度よく位置決めすることは、実質的に困難で
あった。

【０００４】一方、モータによってワークを変位させる
方法は、電気的制御であるために停止位置を厳密に求め
ることは可能であるが、重量のあるワークを移送して位
置決めしようとするとき、出力が大きいモータを選択せ
ざるを得ず、この結果、モータ自体が大型化するという
欠点があった。

【０００５】そこで、ワークを停止位置近傍まで空気圧
を利用してシリンダによって移送し、その停止位置近傍
からモータでワークを所望の位置に精度良く停止させる
アクチュエータが提案されている。このような構成をと
ることにより、モータが小型のもので済み、アクチュエ
ータ全体を小型化させることができるとともに、所望の
位置に精度良くワークを停止させることが可能になっ
た。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
アクチュエータにおいては、シリンダに空気圧を供給、
あるいはシリンダから空気圧を排出するための電磁切換
弁が流体通路に介装されている。一方、前記ワークを停
止する制動機構が空気圧で駆動される場合には、前記制
動機構に対しても電磁切換弁が備えられている。しかし
ながら、前記シリンダあるいは制動機構と電磁切換弁と
の距離が長い程、前記電磁切換弁による開閉作用の効果
がシリンダあるいは制動機構に伝達されるのに時間がか
かる。この結果、前記アクチュエータでは、シリンダの
応答時間が過分に長くなるという不都合がある。また、
制動機構を空気圧で作動させる場合には、応答時間がか
かることからピストンの制動に時間を要し、前記ピスト
ンの停止位置の精度が低下するおそれがある。

【０００７】本発明は、この種の問題を解決するために
なされたものであって、電磁切換弁とシリンダ室等とを
結ぶ流体通路を短くして応答時間を可及的に小さくする
ことを可能とするサーボシリンダを提供することを目的
とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、シリンダと、前記シリンダに画成され
たシリンダ室内を変位するピストンとを有し、前記シリ
ンダ室に供給される流体圧によって停止位置近傍まで前
記ピストンを変位させ、その後、当該ピストンに係合さ
れたボールねじ軸をモータによって回動することにより
停止位置までピストンを微小変位させ、前記ピストンを
停止させるシリンダであって、前記シリンダに一体的に
装着され、シリンダ室に流体を供給する第１の電磁切換
弁と、シリンダ内に設けられ、前記ピストンを停止さ
せ、所定位置に保持する制動機構と、を含み、前記制動
機構は、流体圧によって作動し、前記ピストンを制動す
る制動手段と、前記制動手段に流体圧を供給する第２の
電磁切換弁と、を備え、前記第２電磁切換弁を前記シリ
ンダに一体的に装着したことを特徴とする。

【０００９】

【作用】本発明に係るサーボシリンダでは、シリンダ内
に設けられた制動機構に流体を供給する第２電磁切換弁
をシリンダに一体的に装着することにより、前記第２電
磁切換弁から前記制動機構までの流体通路が可及的に短
縮され、制御信号に対する制動機構の応答速度が向上す
る。したがって、流体圧とモータによってピストンを変
位させるシリンダにおいて、応答速度が向上した制動機
構によって所定位置に精度良くピストンを停止させる。

【００１０】

【実施例】本発明に係るサーボシリンダについて、好適
な実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に
説明する。

【００１１】図１を参照して、サーボシリンダ装置１０
を概略説明する。先ず、圧縮空気供給源１２から前記圧
縮空気を所定圧力に制御する電−空レギュレータ１３、
ノーマルクローズ型の電磁切換弁１４を介してシリンダ
本体１６に圧縮空気を供給する。あるいは、電磁切換弁
１４を介してシリンダ本体１６から圧縮空気を大気開放
することにより、ワークＷを係合しているピストンロッ
ド１８とともにピストン２０を上下方向に変位させる。
前記ピストン２０の上下動によってピストン２０と係合
しているボールねじ軸２２が回転し、タイミングベルト
２４、モータ２６の駆動軸２８を介してエンコーダ３０
の出力を得、該エンコーダ３０の信号でピストン２０の
変位量を検出する。ピストン２０が所定位置に到達した
ところでコントローラ３２から電−空レギュレータ１３
の設定値をワークＷの静荷重のみを支持する圧力値に変
更するように変更信号が伝送されるとともに、モータ２
６に駆動信号が伝送される。この結果、空気圧に換えて
モータ２６の駆動力によってボールねじ軸２２を介して
ピストン２０が変位するに至る。コントローラ３２は、
エンコーダ３０の出力に基づいてピストン２０が所定位
置まで到達したことを確認した時点で、コントローラ３
２からの信号によりノーマルクローズ型の電磁切換弁３
４が滅勢されてディスクブレーキ機構３６を付勢し、ピ
ストン２０が停止される。

【００１２】このように動作するサーボシリンダ装置１
０のシリンダ本体１６の構成並びにその動作について詳
細に説明する。

【００１３】シリンダ本体１６は、図２に示すように、
ヘッドカバー４０とシリンダチューブ４２とロッドカバ
ー４４とワークＷに係合するテーブル４６から基本的に
構成される。前記シリンダ本体１６の内部には、図３に
示すように、シリンダチューブ４２内に空気を供給する
空気圧供給機構４８と、ボールねじ軸回転機構５０と、
ボールねじ軸２２を制動してピストン２０の変位を停止
させるディスクブレーキ機構３６と、テーブル４６の回
転を防止する回り止め機構５２が設けられている。

【００１４】前記空気圧供給機構４８は、圧縮空気供給
源１２に連通された電−空レギュレータ１３、前記電−
空レギュレータ１３に連通する電磁切換弁１４がヘッド
カバー４０内に内蔵され、前記電磁切換弁１４から接続
プレート６０、シリンダチューブ４２の通路６２を介し
てシリンダ室６４のロッドカバー４４側端部に連通され
ている。前記シリンダ室６４のヘッドカバー４０の側端
部には、シリンダチューブ４２の外部に連通する通路６
６が画成されている。

【００１５】前記ボールねじ軸回転機構５０では、図３
に示すように、ヘッドカバー４０においてボールねじ軸
２２がアンギュラ玉軸受７０を介して軸方向に変位自在
かつ回動自在に軸支されている。前記ボールねじ軸２２
は、前記シリンダ室６４内に相当する部分にのみ、ねじ
溝７２が刻設されているとともに、前記シリンダ室６４
のヘッドカバー４０側端部で一旦拡径した後、段々に縮
径し、その端部にプーリ７４が設けられている。前記ボ
ールねじ軸２２は、ピストン２０に嵌合されたボデイ７
８と図示しないボールを介して係合する。前記ピストン
２０には、図４に示すように、ロッドカバー４４側端部
およびヘッドカバー４０側端部に緩衝部材８０ａ、８０
ｂが設けられるとともに、シリンダ室６４の内周面と摺
動する部分には、磁石８２とピストンパッキン８４が嵌
合されている。前記磁石８２は、シリンダチューブ４２
の外側面の所定位置に設けられたセンサによってピスト
ン２０の位置の異常を検出するために用いられる。

【００１６】前記ヘッドカバー４０の内部には、前記ボ
ールねじ軸２２に平行にモータ２６が配設され、その駆
動軸２８の端部にプーリ８６が設けられるとともに、前
記駆動軸２８の回転角度を検出するエンコーダ３０が固
着されている。さらに、前記プーリ７４、８６間には、
タイミングベルト２４が懸架されている。

【００１７】ディスクブレーキ機構３６は、図５に示す
ように、前記アンギュラ玉軸受７０が設けられているヘ
ッドカバー４０の孔部１００に配設された部材により構
成されている。前記孔部１００は、ボールねじ軸２２の
プーリ７４側から前記アンギュラ玉軸受７０を指向して
二段に縮径している。前記孔部１００の一段目の底面
に、半径方向の断面がＬ字状のブレーキ用シリンダ１０
２が膨出部１０２ａをボールねじ軸２２側に指向させて
固着されている。前記ブレーキ用シリンダ１０２の内周
面に当接するようにして半径方向の断面が略Ｌ字状のピ
ストン１０４が配設される。前記ピストン１０４は、プ
ーリ７４側に固着された制動部材１０６と当該ピストン
１０４の膨出部１０４ａによって前記ブレーキ用シリン
ダ１０２の膨出部１０２ａを挟み込むようにして配置さ
れ、前記ピストン１０４の膨出部１０４ａあるいは制動
部材１０６が前記ブレーキ用シリンダ１０２の膨出部１
０２ａに当接することによって前記ピストン１０４の軸
方向の可動範囲を規制している。さらに、前記ピストン
１０４とブレーキ用シリンダ１０２の間には空間１０８
が画成され、ブレーキ用シリンダ１０２の内周面と摺動
する前記ピストン１０４の外周面に嵌着されたピストン
パッキン１１４ａ、１１４ｂによって前記空間１０８が
気密に保持されている。圧縮空気供給源１２と連通して
いる電磁切換弁３４と前記空間１０８とは、ヘッドカバ
ー４０およびブレーキ用シリンダ１０２の内部に画成さ
れた通路１１０、１１２を介して連通されている。前記
孔部１００の２段目の底面には、軸受押さえ部材１１６
が固着されており、前記軸受押さえ部材１１６とピスト
ン１０４の間にコイルスプリング１１８が挿入されてい
る。したがって、前記ピストン１０４は、コイルスプリ
ング１１８によってＺ１方向に常時付勢されている。さ
らに、前記ブレーキ用シリンダ１０２は、支持部材１２
０を介してドーナツ状の円板体である制動部材１２２を
支持している。

【００１８】一方、前記ボールねじ軸２２は、前記プー
リ７４近傍においてコマ用キー１２４、コマ１２６を介
してブレーキディスク１２８を装着している。前記ブレ
ーキディスク１２８は、制動部材１２２近傍で回転する
ように構成されている。

【００１９】回り止め機構５２は、ピストンロッド１８
を介して変位されるテーブル４６が前記ピストンロッド
１８とともに回動することを阻止する機構である。

【００２０】前記ピストンロッド１８は、図３に示すよ
うに円筒形状であり、ピストン２０のロッドカバー４４
側に螺着されている。前記ピストンロッド１８の内部の
孔部１３０には、ボールねじ軸２２が前記孔部１３０の
壁面に当接することなく、前記ピストンロッド１８と軸
芯を一致させて挿入されている。前記ピストンロッド１
８のロッドカバー４４側端部には軸体１３２が螺着さ
れ、前記軸体１３２が図示しないボルト等によってテー
ブル４６と固着されている。前記テーブル４６の両端部
には、ガイドロッド１３４ａ、１３４ｂが図示しないボ
ルトによって固着されている。前記ガイドロッド１３４
ａ、１３４ｂは、ロッドカバー４４の両側面に設けられ
たボールブッシュ１３６ａ、１３６ｂによって軸方向に
摺動自在に支持され、前記ロッドカバー４４の端面に装
着されたフランジ１３８の孔部１４０ａ、１４０ｂに挿
入されている。

【００２１】なお、ヘッドカバー４０には、コントロー
ラ３２からの制御信号および電源信号を接続する端子１
４２、１４４が設けられた端子台１４６が設けられてい
る。

【００２２】次に、このように構成されるサーボシリン
ダ装置１０の動作説明を行う。ここでは、ワークＷを上
方向に変位させる（シリンダ室６４内において、位置Ｘ
１から位置Ｘ２にピストン２０を変位させる）場合につ
いて図６を参照して説明する。

【００２３】ピストンが位置Ｘ１で停止状態（時間０〜
ｔ１）にある場合、電−空レギュレータ１３は、ワーク
Ｗ、ピストンロッド１８、ピストン２０等の静荷重のみ
を支持する圧力Ｐ０に設定されるとともに、電磁切換弁
１４が付勢され、電磁切換弁３４が滅勢されている。こ
の結果、シリンダ本体１６のシリンダ室６４のロッドカ
バー４４側の第１室６４ａの圧力がＰ０となり、ワーク
Ｗ、ピストン２０等を確実に支持する一方、ディスクブ
レーキ機構３６の空間１０８が大気開放されているた
め、ピストン１０４がコイルスプリング１１８の弾発力
のもとにＺ１方向に変位されて制動部材１０６がブレー
キディスク１２８に圧接される。このように、当該ブレ
ーキディスク１２８が制動部材１０６、１２２で挟持さ
れることによりボールねじ軸２２の回動が阻止され、ピ
ストン２０を停止させている。

【００２４】ピストン２０を位置Ｘ２に変位させる場合
には、先ず、コントローラ３２から電−空レギュレータ
１３に、設定圧力をＰ１（＞Ｐ０）に変更させる変更信
号が伝送されるとともに、電磁切換弁３４に付勢信号が
伝送される。この結果、圧縮空気供給源１２とディスク
ブレーキ機構３６の空間１０８とが連通し、空間１０８
に圧縮空気が供給され、図５において二点鎖線で示すよ
うに、コイルスプリング１１８の弾発力に逆らってピス
トン１０４がＺ２方向に変位し、ボールねじ軸２２のブ
レーキディスク１２８から制動部材１０６を離間させて
ディスクブレーキ機構３６を非作動状態にする。すなわ
ち、ピストン２０は変位自在の状態になる。この状態で
電−空レギュレータ１３、電磁切換弁１４から圧力Ｐ１
の圧縮空気がシリンダ本体１６の前記第１室６４ａに導
入されることにより、ピストン２０がＺ１方向に変位す
る。

【００２５】この際、ボールねじ軸２２とボデイ７８が
係合しているため、ピストン２０に回転モーメントが作
用する。しかしながら、ピストンロッド１８を介してピ
ストン２０に接続しているテーブル４６に装着された回
り止め用のガイドロッド１３４ａ、１３４ｂがフランジ
１３８の孔部１４０ａ、１４０ｂに挿入されているた
め、ピストン２０が回転することはない。したがって、
ピストン２０の変位動作に伴いボールねじ軸２２が回転
するに至る。前記回転は、前記ボールねじ軸２２のヘッ
ドカバー４０側端部に設けられたプーリ７４、タイミン
グベルト２４、プーリ８６を介してモータ２６の駆動軸
２８に伝達される。結局、駆動軸２８の回転量がエンコ
ーダ３０を介してコントローラ３２に伝送され、ピスト
ン２０の変位量として検出される。

【００２６】コントローラ３２において、ピストン２０
が停止位置Ｘ２から距離ε１の切換位置に到達したこと
を検出する（時間ｔ２）と、設定圧力をＰ１からＰ０に
変更させる変更信号が電−空レギュレータ１３に伝送さ
れるとともに、モータ２６に付勢信号が伝送される。こ
の結果、シリンダ本体１６の第１室６４ａの圧力がＰ０
となってピストン２０、ワークＷ等の静荷重のみを支持
するだけとなるが、モータ２６が駆動されるため、プー
リ８６、タイミングベルト２４、プーリ７４、ボールね
じ軸２２を介してピストン２０が低速で距離ε１変位す
る。

【００２７】エンコーダ３０の出力に基づきコントロー
ラ３２においてピストン２０が停止位置Ｘ２に到達した
ことが検出される（時間ｔ３）と、モータ２６と電磁切
換弁３４に滅勢信号が伝送される。

【００２８】この結果、空間１０８に供給されていた圧
縮空気が通路１１２、１１０を介して電磁切換弁３４か
ら大気開放される。したがって、ピストン１０４がコイ
ルスプリング１１８の弾発力によりＺ１方向に変位され
（二点鎖線位置→実線位置）、制動部材１０６がブレー
キディスク１２８に圧接され、制動部材１０６、１２２
でブレーキディスク１２８を挟持することになる。した
がって、ボールねじ軸２２の回転動作が停止され、ピス
トン２０が停止位置Ｘ２で精度良く停止される。

【００２９】一方、ピストン２０を位置Ｘ２からＸ１に
変位させる場合には、先ず、時間ｔ４において、コント
ローラ３２から電磁切換弁１４に滅勢信号が伝送される
とともに、電磁切換弁３４に付勢信号が伝送される。こ
の結果、ディスクブレーキ機構３６は、空間１０８に圧
縮空気が導入され、制動部材１０６がボールねじ軸２２
のブレーキディスク１２８から離間させられる。したが
って、ブレーキが非作動状態になる。そこで、シリンダ
本体１６の第１室６４ａの圧力が大気開放によりＰ０か
らＰ２に低下し、ピストン２０がワークＷ等の負荷によ
りＺ２方向に変位する。

【００３０】エンコーダ３０からの出力に基づきコント
ローラ３２でピストン２０が停止位置Ｘ１から距離ε１
に到達したことを検出した（時間ｔ５）場合には、電磁
切換弁１４に付勢信号を伝送するとともに、モータ２６
に付勢信号を伝送する。この結果、シリンダ本体１６の
第１室６４ａの圧力は、再びＰ０に回復し、ワークＷ等
の静荷重を支持する。そこで、モータ２６の駆動力によ
りピストン２０がＺ２方向に変位される。

【００３１】エンコーダ３０の出力に基づいてコントロ
ーラ３２によってピストン２０が停止位置Ｘ１に到達し
たと検出される（時間ｔ６）と、モータ２６と電磁切換
弁３４に滅勢信号が伝送される。したがって、ディスク
ブレーキ機構３６の空間１０８の圧縮空気が大気開放さ
れ、コイルスプリング１１８の弾発力の作用下に制動部
材１０６、１２２によってブレーキディスク１２８が挟
持されてボールねじ軸２２の回動動作を制動するため、
停止位置Ｘ１でピストン２０が精度良く停止する。

【００３２】このように、本実施例に係るサーボシリン
ダ装置１０では、電−空レギュレータ１３、電磁切換弁
１４、３４をヘッドカバー４０に装着している。このた
め、電磁切換弁１４から通路６２を介するのみでシリン
ダチューブ４２の第１室６４ａに連通しており、電−空
レギュレータ１３あるいは電磁切換弁１４による圧力変
化をピストン２０に迅速に伝達できる。また、電磁切換
弁３４をヘッドカバー４０のディスクブレーキ機構３６
近傍に設けたため、電磁切換弁３４を切り換えて空間１
０８に圧縮空気を供給あるいは排出する作用が迅速に行
われ、結果としてピストン２０を所定位置で精度良く停
止させることができる。

【００３３】第２実施例として、さらに電磁切換弁１４
と第１室６４ａとの距離を一層短縮したサーボシリンダ
装置１０のシリンダ本体１６ａを図７に示す。なお、第
１実施例と同一の構成要素には同一の参照符号を付し、
その詳細な説明を省略する。

【００３４】すなわち、電−空レギュレータ１３と前記
電磁切換弁１４をロッドカバー４４に装着し、通路１５
２によって電磁切換弁１４と第１室６４ａを連通してい
るため、シリンダチューブ４２内部に画成されていた通
路が不要となり、電磁切換弁１４と第１室６４ａとの通
路を一層短縮させることができる。したがって、電磁切
換弁１４の切換に対するピストン２０の応答速度が一層
向上する。

【００３５】なお、第１および第２実施例に係るシリン
ダ本体１６の回り止め機構５２では、ガイドロッド１３
４ａ、１３４ｂによってピストン２０およびテーブル４
６の回り止めを行っているが、ピストンロッド１８にス
プライン状の凸条を設け、ロッドカバー４４側に前記凸
条が嵌合する孔部を画成することによっても回り止め機
能が達成できる。

【００３６】また、ワークＷが重量の軽い場合には、自
重で落下（Ｚ２方向）しないおそれがあるため、図１に
破線で示すように、シリンダ室６４のヘッドカバー４０
側の第２室６４ｂと圧縮空気供給源１２とを通路６６、
減圧弁１５０を介して連通させる構成が考えられる。こ
の場合、ピストン２０をＺ２方向に変位させる際に、電
磁切換弁１４が滅勢されて第１室６４ａが大気開放され
た場合、前記第２室６４ｂには常時、圧力が付与されい
るため、前記第１室６４ａと第２室６４ｂとの圧力差に
基づいてピストン２０をＺ２方向に変位させることがで
きる。

【００３７】

【発明の効果】本発明に係るサーボシリンダによれば、
以下の効果が得られる。

【００３８】すなわち、シリンダ内に設けられた制動機
構に流体を供給する第２電磁切換弁をシリンダに一体的
に装着することにより、前記第２電磁切換弁から前記制
動機構までの流体通路が可及的に短縮され、制御信号に
対する制動機構の応答速度が向上する。したがって、流
体圧とモータによってピストンを変位させるシリンダに
おいて、制動機構によるピストンの停止精度を一層向上
させることができる。

【００３９】また、シリンダ室に流体を供給する第１電
磁切換弁をシリンダに一体的に装着することにより、前
記第１電磁切換弁から前記シリンダ室までの流体通路が
可及的に短縮され、制御信号に対するシリンダの応答速
度が向上する。なお、ロッドカバー側シリンダ室に流体
圧を供給する第１電磁切換弁はロッドカバーに、ヘッド
カバー側シリンダ室に流体圧を供給する第１電磁切換弁
はヘッドカバーに一体的に装着することにより、一層、
シリンダの応答速度が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例に係るサーボシリンダの全
体構成図である。

【図２】本発明の第１実施例に係るサーボシリンダのシ
リンダ本体の斜視説明図である。

【図３】本発明の第１実施例に係るサーボシリンダのシ
リンダ本体の一部断面説明図である。

【図４】本発明の第１実施例に係るサーボシリンダのシ
リンダ本体におけるピストン部分の断面説明図である。

【図５】本発明の第１実施例に係るサーボシリンダのシ
リンダ本体におけるディスクブレーキ機構の一部断面説
明図である。

【図６】本発明の第１実施例に係るサーボシリンダのタ
イミングチャートである。

【図７】本発明の第２実施例に係るサーボシリンダのシ
リンダ本体の一部断面説明図である。

【符号の説明】

１０…サーボシリンダ装置 １３…電−空レ
ギュレータ １４、３４…電磁切換弁 １６…シリンダ
本体 ２０、１０４…ピストン ２２…ボールね
じ軸 ２４…タイミングベルト ２６…モータ ２８…駆動軸 ３０…エンコー
ダ ３２…コントローラ ３６…ディスク
ブレーキ機構 ７４、８６…プーリ １０６、１２２
…制動部材 １０８…空間 １１８…コイル
スプリング １２８…ブレーキディスク

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】シリンダと、前記シリンダに画成されたシ
   リンダ室内を変位するピストンとを有し、前記シリンダ
   室に供給される流体圧によって停止位置近傍まで前記ピ
   ストンを変位させ、その後、当該ピストンに係合された
   ボールねじ軸をモータによって回動することにより停止
   位置までピストンを微小変位させ、前記ピストンを停止
   させるシリンダであって、 前記シリンダに一体的に装着され、シリンダ室に流体を
   供給する第１の電磁切換弁と、 シリンダ内に設けられ、前記ピストンを停止させ、所定
   位置に保持する制動機構と、 を含み、前記制動機構は、 流体圧によって作動し、前記ピストンを制動する制動手
   段と、 前記制動手段に流体圧を供給する第２の電磁切換弁と、 を備え、前記第２電磁切換弁を前記シリンダに一体的に
   装着したことを特徴とするサーボシリンダ。
2. 【請求項２】請求項１記載のサーボシリンダにおいて、 シリンダ室に流体圧を供給する第１電磁切換弁は、ロッ
   ドカバーまたはヘッドカバーに一体的に装着されること
   を特徴とするサーボシリンダ。
3. 【請求項３】請求項２記載のサーボシリンダにおいて、 ロッドカバー側シリンダ室に流体圧を供給、または遮断
   する第１電磁切換弁はロッドカバーに一体的に装着され
   ることを特徴とするサーボシリンダ。
4. 【請求項４】請求項２記載のサーボシリンダにおいて、 へッドカバー側シリンダ室に流体圧を供給、または遮断
   する第１電磁切換弁はヘッドカバーに一体的に装着され
   ることを特徴とするサーボシリンダ。
5. 【請求項５】請求項１乃至３のいずれかに記載のサーボ
   シリンダにおいて、 制動機構はヘッドカバー側に設けられるとともに、前記
   ヘッドカバーに第２電磁切換弁が設けられ、一方、第１
   電磁切換弁はロッドカバーに設けられていることを特徴
   とするサーボシリンダ。