JPH06996A - 液滴吐出器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は望みの液体を液滴状に吐出させる液
滴吐出器に関するもので、これを用いて記録装置、マイ
クロディスペンサ、直接描画装置などを構成しようとす
るものである。 【構成】 金属薄膜５によって密閉し、その内部に発熱
抵抗体８を持つ加圧室６を液体流路の吐出口１近傍に設
け、該吐出器の動作温度よりも高い沸点を持つ耐熱性液
体９を該加圧室に封入し、上記発熱抵抗体８にパルス通
電することによって液滴を吐出できる。また、前記液体
流路並びに加圧室を持つ吐出口は、フォトエッチ加工さ
れた複数のガラス板と、これより小さな線膨張係数を持
つ耐食性金属薄膜を用い、これらをガラス封着、アノー
ディックボンディングによって組み立てられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、望みの液体を液滴状に
吐出させる液滴吐出器に関するもので、記録装置、ディ
スペンサ、直接描画装置などに応用することができるも
のである。

【０００２】

【従来の技術】液滴吐出器として最も良く知られている
ものの一つに、インクジェット記録装置用インク吐出器
が挙げられるので、以下これについて説明する。

【０００３】該吐出器としては特開昭４８−９６２２号
公報に記載のように、インク流路内のインクをパルス的
に加圧して、吐出口から吐出させる方法が一般的であ
る。このパルス的な加圧方法としては、圧電素子を用い
る方法、またはインクの一部を急激にパルス的に加熱
し、その発泡による断熱膨張と急激な気泡の収縮によっ
てインクを繰り返し吐出させる方法（これをバブルジェ
ットと呼ぶことにする）がある。更に今一つの方法とし
て、特開昭６１−６９４６７号公報に記載のように、前
記圧電素子の代りにバブルジェットの圧力を利用して加
圧するものがある。この方法は、その一平面が弾性に富
む圧力伝達板で形成されている加圧室に密封されている
被加熱液体をパルス的に加熱し、これによって圧力伝達
板が変形すると、インク流路内のインクがパルス的に加
圧されて吐出口から吐出するというものである。なお、
この方法に用いられる被加熱液体としてアルコール系、
もしくは水性、有機溶剤等の沸点の低い液体を使用する
ことがうたわれている。以下、前記方法（特開昭６１−
６９４６７号）を「隔壁付きバブル加圧型液滴吐出器」
とし、隔壁を圧電素子で加圧する方法を「圧電素子加圧
型液滴吐出器」と呼んで区別することにする。

【０００４】前記２つの外部から加圧する方式の液滴吐
出器はバブルジェットと異なり、吐出させる液体は吐出
圧力が加わるだけで加熱されないので、液状のものであ
れば粘度が高過ぎない限り何でも吐出させることが可能
である。従って、室温では固体であって加熱溶融して使
用する固体インクを前記液滴吐出器に導いて液滴として
吐出させることも可能で、実際に、固体インクジェット
プリンタとして製品化されている。但し、液滴吐出器と
して実用化されているのは、上記２つの液滴吐出器のう
ち「圧電素子加圧型液滴吐出器」のみであって、固体イ
ンクを用いた「隔壁付きバブル加圧型液滴吐出器」は特
開平２−１１１５４９号公報で開示されているものの、
製品化されていない。なお、このバブル加圧に用いられ
る被加熱液体も水がよいとうたわれている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記「隔壁付きバブル
加圧型液滴吐出器」を用いたプリンタの公知例（特開昭
６１−６９４６７号、特開平２−１１１５４９）には具
体的な構造や動作特性が開示されておらず、実用化例の
発表も見られない。そこで、実験的評価結果などを加
え、本発明の目的を明らかにする。

【０００６】固体インクジェットプリンタに使用されて
いる固体インクの融点は、通常６０℃前後である。この
理由は記録紙に印字された後の保存性などを考えると高
い方がよく、逆に液状にして印字する点からは低い方が
取り扱い易いので、その妥協点として選ばれた値であ
る。該固体インクを加熱溶融し、インクジェットプリン
トヘッドから液滴状で吐出させるには、インク粘度を１
０〜２０ｍｐａ、あるいはこれより低くすることが必要
で、このためには吐出前のインク温度を１３０〜１５０
℃に加熱保持することとなる。そして、該液状の固体イ
ンクを「圧電素子加圧型液滴吐出器」で吐出させるに
は、少なくとも吐出器のインク流路の全てが１３０〜１
５０℃に保持されていることが不可欠であり、製品化さ
れている吐出器の全てがこの条件を満たしているのは言
うまでもない。

【０００７】勿論、「隔壁付きバブル加圧型液滴吐出
器」を用いて固体インクジェットプリンタを構成する場
合も全く同様の条件を満足させることが不可欠である。
すなわち、隔壁のインク側温度は１３０〜１５０℃に保
持することが必要となる。更に、前記隔壁は弾性に富む
圧力伝達板でなければならず、金属薄膜か耐熱性樹脂の
薄膜で、数μｍ〜数１０μｍの範囲の厚さから選択され
ることが必要である。すなわち、該隔壁で密閉された加
圧室内の温度は加熱されたインク温度に近い温度にする
必要があり、最も都合のよいのはインクと同一温度に保
持することである。

【０００８】特開平２−１１１５４９号で開示されてい
る「隔壁付きバブル加圧型液滴吐出器」を用いた固体イ
ンクジェットプリンタでは、上記加圧室内の被加熱液体
は水がよいとされている。しかし、上述のように、何ら
かの断熱的対策を行なわない限り、被加熱液体は１３０
〜１５０℃に保持せざるを得ず、加圧室内の水の圧力は
常時３〜５気圧の高圧力状態となる。一方、インク側の
圧力は吐出口からのボタ落ち防止の点から外気圧と同一
とすることが必要で、ほぼ１気圧を保たなくてはならな
い。従って、前記隔壁は常にインク流路側に膨張した状
態となり、バブル加圧によって、この膨張状態から更に
隔壁を動かしてインクに吐出圧力を加えることは不可能
である。

【０００９】本発明の目的は、被加熱液体の吐出の場合
においても上記のような問題点を解消させると共に、試
薬などを含む種々の液体を定量性良く吐出させることの
可能な液滴吐出器を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的は、金属薄膜に
よって密閉され、その内部に発熱抵抗体を有する加圧室
を液体流路の液滴吐出口近傍に設け、被加熱液体として
該液滴吐出器のヘッドの駆動温度（以下動作温度とす
る）よりも高い沸点を持つ耐熱性液体を該加圧室内に封
入し、上記発熱抵抗体にパルス通電することによって、
該液体流路に満たされている液体を上記金属薄膜を通し
て加圧することにより達成される。

【００１１】また、この液滴吐出器は、フォトエッチ加
工した複数個のガラス板と、これより小さな線膨張係数
を持つ耐食性金属薄膜を用い、これらをガラス封着、ま
たはアノーディックボンディングによって組み立てるこ
とによって製作される。

【００１２】

【作用】上記のように構成された液滴吐出器では、その
動作温度に保持しても加圧室内の圧力は１気圧以下に保
持されることになる。従って、液滴を吐出しようとして
いる空間の圧力が１気圧程度であれば、加圧室と液体流
路を隔てる金属薄膜は加圧室側に窪んでおり、加圧室内
の発熱抵抗体にパルス通電する時のみ加圧室内が１気圧
以上に昇圧し、液体流路側へ加圧することが可能とな
り、安定した液滴吐出が容易にできるようになる。ま
た、本発明に用いられている発熱抵抗体は後述するよう
に、耐酸化性と耐キャビテーション性に優れているので
単層膜とすることができ、従来の保護層が必要な発熱抵
抗体の場合に比較して３〜５倍の加熱効率（投入電力の
１／３〜１／５化）となる。この大幅な熱効率の向上
は、加圧室への投入エネルギーの削減となり、加圧室内
の温度調節を容易にする効果をも果たし得る。

【００１３】更に、本液滴吐出器の構成材料が例えばガ
ラスとＴａ薄膜、及びＣｒ−Ｓｉ−ＳｉＯ薄膜抵抗体／
Ｎｉ薄膜導体からなり、これらをガラス封着やアノーデ
ィックボンディングによって組み立て、何ら他の材料を
使用することがないということは、対象となり得る被吐
出液体の種類を非常に広範囲に拡張できることを示して
いる。

【００１４】

【実施例】

〔実施例１〕図１は本発明の液滴吐出器の縦断面図であ
る。本実施例では、吐出用液体として固体インクを用い
たケースについて説明する。従って、図１に示す液滴吐
出器はインク供給パイプ１２と固体インク溶融タンク
（図示せず）も含めて１３０℃程度に加熱され、特に液
滴吐出器だけはＰＴＣヒータ（図示せず）を用いて１２
８±３℃に保持されている。

【００１５】ここで本実施例の液滴吐出器の製造方法に
ついて説明する。厚さ０．７ｍｍで線膨張係数が８×１
０~⁶／℃のガラス基板１０の上に、厚さ約１０００Åの
Ｃｒ−Ｓｉ−ＳｉＯ合金薄膜抵抗体層をスパッタ法によ
って形成し、同じスパッタ装置で直ちに厚さ約２μｍの
Ｎｉ薄膜導体層を形成した。該Ｃｒ−Ｓｉ−ＳｉＯ合金
薄膜抵抗体層については、特開昭５８−８４４１０１号
公報記載の方法を用いている。その後、導体パターン用
マスクを用いてこの２層膜のうちＮｉ薄膜のみをフォト
エッチングし、次いで抵抗体パターン用マスクを用いて
Ｃｒ−Ｓｉ−ＳｉＯ抵抗体膜をフォトエッチングして発
熱抵抗体８を形成した。該発熱抵抗体８の発熱部は約５
０μｍ□で、抵抗値は約１ｋΩである。なお、前記ガラ
ス基板１０にはインク流路４への接続貫通穴と耐熱性被
加熱液体９の封入穴を各々１ヶづつ、フォトエッチング
によって形成した。このガラスエッチングによる貫通穴
にはテーパがついているが、性能的にも組立ての上でも
支障とならないので図１には明示していない。

【００１６】次に、前記ガラス基板１０と同一材料のガ
ラス基板７の厚さを０．３ｍｍとして、液体流路４の長
穴、加圧室６、及び加圧室６とガラス基板１０の耐熱性
被加熱液体９の封入穴との連結溝をフォトエッチングに
よって形成した。加圧室６の発熱抵抗体８側は約１５０
μｍΦ、隔壁５側は約２５０μｍΦであり、図１の紙面
の垂直方向に３５０μｍピッチで複数個（本実施例の場
合は４８個）形成した。

【００１７】隔壁となる金属薄膜５には厚さ１０μｍの
厚延Ｔａ薄膜を用い、液体流路４の長穴に当接する部分
には約２５μｍФの穴からなるフィルタ１１を形成し
た。

【００１８】更に、前記ガラス基板１０、７と同一材料
のガラス基板３の厚さを０．２ｍｍとして、ガラス基板
７上に形成された加圧室６と対向した位置に４８個の吐
出室２、及び該吐出室２と液体流路４との連結溝をフォ
トエッチングにて形成した。なお、吐出口１は吐出口側
から予めフォトエッチングすることによって、その穴径
４０μｍФの寸法公差を±４μｍ以下とすることができ
るようになっている。

【００１９】次に、前述した各基板を組み立てるのであ
るが、本実施例においては、まずガラス基板１０にその
線膨張係数よりも５〜１０％小さい封着ガラスを印刷
し、バインダを仮焼成で飛ばしてからガラス基板７と位
置合わせして重ね、約５００℃で加圧接着した。

【００２０】次に、ガラス接着したガラス基板（１０、
７）にＴａ薄膜５とガラス基板３を位置合わせして重
ね、ステンレス電極板で挟み、電気絶縁体で固定した。
そして電気炉中で４５０℃に加熱し、Ｔａ薄膜５を正極
として一方のステンレス電極との間に１０００〜１５０
０Ｖの電圧を印加し、１０分後にはもう一方のステンレ
ス電極との間に同様の電圧を１０分間印加した。これは
アノーディックボンディングと呼ばれている接着法（Ｕ
ＳＰ３、３９７、２７８号）であるが、これとガラス接
着によって３枚のガラス基板と１枚のＴａ薄膜が、これ
ら以外の材料を用いることなく気密接着することができ
るのである。

【００２１】以上の作業は図１の液滴吐出器を複数個一
括して組み立て、その後切断して図１の吐出器としたこ
とはいうまでもない。なお、発熱抵抗体８と接続されて
いる４８本の導体と１本の共通導体はガラス基板１０の
上に設けられているので、これらの外部接続端子部に対
向する部分のその他のガラス基板７と３、及び金属薄膜
５は、夫々のフォトエッチング工程の中でエッチング加
工されて除去されていることはいうまでもない。

【００２２】このようにして組み立て、切断分割されて
できた図１の液滴吐出器に接続用インク供給パイプ１２
をガラス接着する。そして、該液滴吐出器を真空室内に
入れて排気し、耐熱性被加熱液体としてパーフロロデカ
リン（Perfluorodecalin、Ｃ₁₀Ｆ₁₈）を封入口１４上に
滴下し、その後、真空室内に窒素ガスを徐々に導入して
０．１〜０．２気圧まで戻し、余分なパーフロロデカリ
ンを拭きとった。そして封入口１４上に封止蓋１５を置
き、この上から超音波を印加しながら、溶解しているＳ
ｎ又はＳｎ−Ａｕはんだで封止した。この場合、吐出器
を１００℃程度に加熱してはんだ封止すると作業性がよ
い。あるいは封入口１４のまわりに円環状に薄い銅薄、
またはＮｉ薄膜をアノーディックボンディングで接着
し、これにはんだ付けして封止してもよい。いずれにし
ても封止後、真空室内から取り出せば加圧室内は減圧状
態であり、この減圧状態はこの吐出器を１３５〜１４０
℃に加熱しても維持されている。なお、ここに封入した
パーフロロデカリンの沸点は１４２℃であり、耐熱性に
優れた被加熱液体である。

【００２３】さてここで、本吐出器の材料の組み合わせ
であるガラスとＴａ薄膜について述べる。先ず、ガラス
材料についてはその線膨張係数が使用する金属薄膜より
も１０〜２０％以上大きいことが重要である。次に、Ｔ
ａ薄膜であるが、これは耐食性とか耐熱性、バネ性、吐
出液体と被加熱液体との無反応性、ガラスとのアノーデ
ィックボンディング性などの他、前述のように１００〜
４００℃の温度範囲でガラスの線膨張係数より小さいと
いうことも重要な選択条件である。このような組み合わ
せで図１の吐出器を組み立てた場合のみ、加圧室６と吐
出室２を隔てる金属薄膜にたるみを作ることができ、加
圧室への動きの大きな加圧力を発生させることが可能と
なるのである。この観点からＴａ薄膜に代わる材料とし
ては、Ｍｏ、Ｎｂ、Ｗ、Ｚｒまたはインバー合金薄膜が
挙げられ、これらを用いて吐出器を作ることも可能であ
る。

【００２４】次に、加圧室に封入される被加熱液体につ
いて説明する。本実施例の吐出器の場合、その動作温度
は１２８±３℃であるので、これよりも高い沸点を持つ
被加熱液体で、分解温度が動作温度よりも充分高く、毒
性のないものであればよい。従って、上記したパーフロ
ロデカリンの他に、例えばジメチルポリシロキサン構造
を持つシリコーンオイルの中で、（株）信越シリコーン
の製品名ＫＦ９６Ｌ−１（沸点＝１５３℃）、ＫＦ９６
Ｌ−１．５（沸点＝１９５℃）、ＫＦ９６Ｌ−２（沸点
＝２３０℃）などを利用することも可能である。また、
本実施例の動作温度よりも高い温度で動作させる吐出器
の場合、例えば２００℃で動作させる場合は、上記ＫＦ
９６Ｌ−２（沸点＝２３０℃）を利用すればよい。

【００２５】発熱抵抗体の加熱温度は被加熱液体の沸点
よりも充分高くすることが必要であるが、高過ぎる沸点
を持つ被加熱液体を利用することは熱効率の点で損する
ことになる。更に、この過剰な投入エネルギーによる温
度上昇を抑えるための温度制御が複雑化するという欠点
をも有することとなる。従って、動作時の圧力室の圧力
がパルス加熱時以外は減圧状態を保持できる範囲である
限り、できるだけ低い沸点の被加熱液体を封入するのが
最もよいことになり、それは動作温度より１０〜５０℃
程度高目を目安とすればよい。

【００２６】以上、説明した方法で製作した図１に示す
液滴吐出器を１２８±３℃に加熱保持し、これに約１３
０℃に加熱された液状固体インクを供給、この吐出口か
ら１．２ｍｍ離れた前方にステップ送りさせる記録紙を
置いて印字させた。発熱抵抗体には５Ｖ、１０μｓのパ
ルス電圧を５ＫＨｚの繰り返し周期で印加したところ、
きれいなオンデマンド記録を行うことができた。この繰
り返し周期を更に高速化して記録したところ、７〜８Ｋ
Ｈｚ以上で記録品質が劣化した。これは溶融した固体イ
ンクの物性も含めインク流路側の設計の問題であり、加
圧室側の上限周波数はもっと高いところにあるので、イ
ンク流路等の改善を行えば上限周波数は向上する。

【００２７】〔実施例２〕実施例１と同じ構成で薄膜抵
抗体をＴａ−Ｓｉ−ＳｉＯにしたもの、あるいは導体材
料をＮｉからＣｒ、Ｍｏ、ＷまたはＴａに代えた発熱抵
抗体を用いた液滴吐出器が実施例１と同様の組立性と性
能を有することは説明するまでもないことであろう。本
実施例では被加熱液体をエチルアルコールとして液滴吐
出器を製作し、常温で液体のインクを吐出させたとこ
ろ、従来のバブルジェットと同様のプリンタを構成する
ことができ、印字速度も吐出周波数で５〜７ＫＨｚと高
速化させることができた。この吐出器では液体インクを
全く加熱する必要がないので基本的にはどんなインクで
も利用することが可能で、プリンタを構成する上で非常
に大きな特徴とすることができた。

【００２８】〔実施例３〕本発明では液体試薬を吐出さ
せるマイクロピペッタ（マイクロディスペンサ）を作る
ことができる。すなわち、本発明の液滴吐出器が液体を
常に一定量吐出すると共に、液体を加熱する必要のない
ことに着目すれば、液体インクの代りに液体試薬を供給
することも可能である。

【００２９】例えば、本発明の液滴吐出器を血液分析試
薬のマイクロピペッタとして用いる場合、該液滴吐出器
に１パルスで約４５μｍ³の液滴を供給できる液滴吐出
口を１つ設けると共に、吐出した液滴が落下する位置に
血液の入った試験管等の容器を配置する。そして、ホス
トコンピュータ等から指令を送り必要な試薬量にあわせ
て印加パルスを制御すると、パルス数によって定量的な
試薬の供給をすることができる。勿論、複数の液滴吐出
口を設けて複数の薬品を夫々の液滴吐出口に供給すれ
ば、適宜に望みの薬品を吐出することが可能なマイクロ
ピペッタとなることはいうまでもない。また、試薬によ
っては必要量がもう少し多いものもあるが、それには加
圧室と吐出室をそれに見合った大きさにすればよい。但
し、この場合の稼動周波数は少し遅くなる。

【００３０】〔実施例４〕本発明の液滴吐出器を用いて
フォトエッチング用エマルジョンマスクを直接描画によ
って作成することができることはいうまでもない。更
に、厚膜印刷用ペーストを供給することによって厚膜回
路をセラミックス基板上に直接描画し、これを焼成する
ことによって電子回路基板を形成させることも可能であ
る。

【００３１】例えば、回路基板を作成する場合、本発明
の複数個の液滴吐出口を有する液滴吐出器に銀ペースト
を供給し、これをセラミックス上に吐出させるだけでよ
いのである。量産するのであればマスクを作成すれば事
足りるが、試作する場合にいちいちマスクを作成するこ
とは容易なことではない。しかし、本実施例によれば、
ホストコンピュータと接続された液滴吐出器が印刷用ペ
ーストを吐出して、自由自在に回路基板を作成すること
ができるのである。但し、従来の印刷法で使われている
印刷用ペーストは若干粘度が高いという問題点がある
が、低い粘度の溶剤を用いたペーストを用いることによ
って解消できる。

【００３２】また抵抗体作成用として使用する場合に
は、複数の液滴吐出口に抵抗の大きさが異なる材料を夫
々供給することにより、必要な抵抗材料を必要量だけセ
ラミックス等の基板に載せることができるようになる。

【００３３】〔実施例５〕実施例１のように製作された
液滴吐出器で、望みの数と配列を有する加圧室と吐出室
につながる液体供給パイプの複数の組み合わせを１個の
液滴吐出器で作ることが可能であることは説明するまで
もない。例えば図２に示すように、インクの液滴吐出口
をヘッド走査方向に対して傾けて２列に配列し、上列の
吐出口にはシアン２０ｃ、マゼンタ２０ｍ、イエロー２
０ｙの３色インクの配し、下列の吐出口にはブラックイ
ンク２０ｂを配して、４色のフルカラーインクジェット
プリンタ用ヘッドを１個の液滴吐出器として作成するこ
とができるのである。特に固体インクジェットプリンタ
用ヘッドは、吐出口側のヘッド面をバブルジェットのよ
うに印字動作途中でクリーニングすることが不要なの
で、一体化ヘッドとしても混色の心配がなく、ヘッドを
簡素化できる優位さがある。

【００３４】

【発明の効果】本発明によれば、粘度があまり高くない
液体であればどんな液体でも、小さな液滴状で、指示さ
れたタイミングで、必要な数だけ、１次元的な液滴列で
も２次元的な液滴列でも複数種の液体を同時に吐出させ
ることができる。しかも、この吐出器では液体インクを
直接加熱する必要がないので、インクの品質を低下させ
ることなく印字することができる。更に、吐出液体を直
接加熱する必要がないので、液滴吐出器としてインクジ
ェット以外にも幅広い応用ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施例となる液滴吐出器の縦断面図
である。

【図２】 本発明の他の実施例の液滴吐出器を示す正面
図である。

【符号の説明】

１は吐出口、２は吐出室、５は金属薄膜、６は加圧室、
８は発熱抵抗体、９は被加熱液体である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０４Ｎ 1/034 9070−5Ｃ 1/23 １０１ Ｚ 9186−5Ｃ

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 金属薄膜によって密閉され、その内部に
   は発熱抵抗体があり、被加熱液体が封入されてなる加圧
   室を液体流路の液滴吐出口近傍に設け、前記発熱抵抗体
   にパルス通電して、前記液体流路に満たされている液体
   を前記金属薄板を通して加圧することにより前記液滴吐
   出口より吐出させる液滴吐出器であって、前記被加熱液
   体の沸点が液滴吐出器のヘッドの駆動温度よりも高いこ
   とを特徴とする液滴吐出器。
2. 【請求項２】 前記発熱抵抗体がＣｒ−Ｓｉ−ＳｉＯ又
   はＴａ−Ｓｉ−ＳｉＯ合金薄膜抵抗体とＮｉ、Ｃｒ、Ｍ
   ｏ、ＷまたはＴａ薄膜導体からなることを特徴とする請
   求項１記載の液滴吐出器。
3. 【請求項３】 前記液体流路並びに加圧室等を形成する
   ガラス基板同志は、これらのガラス基板よりも小さな線
   膨張係数である封着ガラスで加圧接着されていることを
   特徴とする請求項１記載の液滴吐出器。
4. 【請求項４】 前記液体流路並びに加圧室等を形成する
   ガラス基板はこれらのガラス基板の間に、これらのガラ
   ス基板よりも小さな線膨張係数を有する金属薄膜を挾ん
   でアノーディックボンディングすることによって接合さ
   れていることを特徴とする請求項１記載の液滴吐出器。
5. 【請求項５】 前記液滴吐出器の液滴吐出口を複数個配
   列し、該液滴吐出口を複数のグループに分け、夫々のグ
   ループごとに異なる液体を供給して液滴を吐出させるこ
   とを特徴とする請求項１記載の液滴吐出器。
6. 【請求項６】 少なくとも１つの液滴吐出口を有する請
   求項１記載の液滴吐出器に少なくとも１種の薬液を供給
   し、パルス通電によって所定量の薬液を吐出させること
   を特徴とするディスペンサ装置。
7. 【請求項７】 請求項１記載の液滴吐出器に基板印刷用
   のペーストを供給し、基板上に該ペーストを吐出させる
   ことによって、回路を描画することを特徴とする直接描
   画装置。