JPH069266B2 - ガスレ−ザ−用直流高電圧パルス発生回路 - Google Patents
ガスレ−ザ−用直流高電圧パルス発生回路Info
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- JPH069266B2 JPH069266B2 JP17454386A JP17454386A JPH069266B2 JP H069266 B2 JPH069266 B2 JP H069266B2 JP 17454386 A JP17454386 A JP 17454386A JP 17454386 A JP17454386 A JP 17454386A JP H069266 B2 JPH069266 B2 JP H069266B2
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- gas laser
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/09705—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser with particular means for stabilising the discharge
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Description
【発明の詳細な説明】 本発明はガスレーザー用直流高電圧パルス発生回路に関
するものである。従来、直流高電圧パルスを必要とする
ガルレーザー装置においては第１図に示すように出力電
のコントロールは可飽和リアクトルＳＲで行い、可飽和
リアクトルＳＲによる制御交流を昇圧トランスＴで電圧
を上昇させ、整流平滑した出力をフロートした真空管Ｖ
Ｔを開閉することにより直流高電圧パルスを得ていた。
従来回路では動作周波数が商用電源周波ＡＣのため制御
回路応答が遅くなり、トランスＴの大型可が避けられ
ず、又スイッチとして真空管ＶＴを使用していることか
ら運転寿命が短く不経済であった。これらを解決しよう
とするのが、本発明の目的である。第２図は本発明の基
本回路ブロク図で図中(a)は直流電源(b)は主パルス発生
回路部、(c)は補助パルス発生回路部、(d)はガスレーザ
ー管を負担抵抗領域で安定制御するためのバラスト抵
抗、(e)は負荷ラインの浮遊容量あるいは平滑用のコン
デンサー(f)はガスレーザー管負荷である。なお、主パ
ルス発生回路部(b)において、１はインバータ回路部、
２は昇圧トランス、３は高電圧整流回路であり、又、補
助回路部(c)において、４はＤＣ−ＤＣコンバータ、５
は放電用コンデンサーとサイリスタスイッチとダイオー
ドにより構成されるスイッチ部、６は昇圧トランス、７
は高電圧整流回路である。更にインバータ回路部１は第
５図(a)フルブリッジ構成(b)ハーフブリッジ構成(c)プ
ッシュプル構成が適用でき、その他第３図のようにＤＣ
−ＤＣコンバータ（ＣＯＮＶ１）とインバータ回路いＩ
Ｖ１）の組み合せにより構成することもできる。この場
合（ＣＯＮＶ１）の例として第４図の降圧型コンバータ
が考えられる。第６図、第７図は本発明の一実施例回路
図及びその各部動作波形図で図中(a)は直流電源、主パ
ルス発生回路部(b)のインバータ回路部１は降圧型コン
バータＣＯＮＶ１とフリブリッジスイッチ構成ＩＮＶ１
との組み合せからなり、制御回路ＣＯＮＴにより所望の
負荷電流出力が得られるように降圧型コンバータＣＯＮ
Ｖ１の出力電圧を制御する。フルブリッジスイッチＩＮ
Ｖ１は直流電圧を高周波交流キャリアに変換する。この
フルブリッジスイッチＩＮＶ１を所望の時間間隔で運転
停止を繰返せば昇圧トランス２と高電圧整流回路３との
コンデンサーｅにより方形波状の電流パルスが得られ
る。主パルス発生回路部(ロ)の出力は補助パルス発生回
路部(ハ)と並列に接続されている。補助パルス発生回路
部ｃのＤＣ−ＤＣコンバータ部４は降圧型コンバータを
採用しており、放電用コンデンサーＣを充電する。サイ
リスタスイッチＴＨＹは主パルス回路部(b)が運転停止
に同期して、運転時にトリガーされると放電用コンデン
サーＣの電荷がＣ−ＴＨＹ−昇圧トランス６の１次コイ
ルｎ１の順に放電して昇圧トランス６の２次側ｎ２に高
電圧パルスを発生する。高電圧パルスは高電圧整流回路
を通して主パルス発生回路部ｂの方形波状パルスの立ち
上がり部分に重畳される。第７図に出力波形の例が示さ
れている。Ｉ０２は補助パルス電流（ａ図）Ｉ０１は主
パルス電流（ｂ図）ＩはＩ０１とＩ０２との合成電流波
形（ｃ図）である。出力電流波形Ｉ０１（ｄ図）はフィ
ルターコンデンサー(e)によりキャリア周波数成分が平
滑化され、ガスレーザーに必要な波形が得られる。本発
明によりガスレーザー用直流高電圧パルス電流高電圧電
源回路の変換周波数をあげることができることから、応
答スピードがあがり、又小型化がはかれる。さらに、半
導体スイッチの採用により寿命もながくなる。パルサー
モード運転用直流高電圧パルスを昇圧トランスの１次
側、つまり低圧側で制御していることから、比較的容易
に低廉な部品で直流高電圧パルス発生回路を実現でき、
しかもパルサーモードからＣＷモードまで連続的に出力
できる。
するものである。従来、直流高電圧パルスを必要とする
ガルレーザー装置においては第１図に示すように出力電
のコントロールは可飽和リアクトルＳＲで行い、可飽和
リアクトルＳＲによる制御交流を昇圧トランスＴで電圧
を上昇させ、整流平滑した出力をフロートした真空管Ｖ
Ｔを開閉することにより直流高電圧パルスを得ていた。
従来回路では動作周波数が商用電源周波ＡＣのため制御
回路応答が遅くなり、トランスＴの大型可が避けられ
ず、又スイッチとして真空管ＶＴを使用していることか
ら運転寿命が短く不経済であった。これらを解決しよう
とするのが、本発明の目的である。第２図は本発明の基
本回路ブロク図で図中(a)は直流電源(b)は主パルス発生
回路部、(c)は補助パルス発生回路部、(d)はガスレーザ
ー管を負担抵抗領域で安定制御するためのバラスト抵
抗、(e)は負荷ラインの浮遊容量あるいは平滑用のコン
デンサー(f)はガスレーザー管負荷である。なお、主パ
ルス発生回路部(b)において、１はインバータ回路部、
２は昇圧トランス、３は高電圧整流回路であり、又、補
助回路部(c)において、４はＤＣ−ＤＣコンバータ、５
は放電用コンデンサーとサイリスタスイッチとダイオー
ドにより構成されるスイッチ部、６は昇圧トランス、７
は高電圧整流回路である。更にインバータ回路部１は第
５図(a)フルブリッジ構成(b)ハーフブリッジ構成(c)プ
ッシュプル構成が適用でき、その他第３図のようにＤＣ
−ＤＣコンバータ（ＣＯＮＶ１）とインバータ回路いＩ
Ｖ１）の組み合せにより構成することもできる。この場
合（ＣＯＮＶ１）の例として第４図の降圧型コンバータ
が考えられる。第６図、第７図は本発明の一実施例回路
図及びその各部動作波形図で図中(a)は直流電源、主パ
ルス発生回路部(b)のインバータ回路部１は降圧型コン
バータＣＯＮＶ１とフリブリッジスイッチ構成ＩＮＶ１
との組み合せからなり、制御回路ＣＯＮＴにより所望の
負荷電流出力が得られるように降圧型コンバータＣＯＮ
Ｖ１の出力電圧を制御する。フルブリッジスイッチＩＮ
Ｖ１は直流電圧を高周波交流キャリアに変換する。この
フルブリッジスイッチＩＮＶ１を所望の時間間隔で運転
停止を繰返せば昇圧トランス２と高電圧整流回路３との
コンデンサーｅにより方形波状の電流パルスが得られ
る。主パルス発生回路部(ロ)の出力は補助パルス発生回
路部(ハ)と並列に接続されている。補助パルス発生回路
部ｃのＤＣ−ＤＣコンバータ部４は降圧型コンバータを
採用しており、放電用コンデンサーＣを充電する。サイ
リスタスイッチＴＨＹは主パルス回路部(b)が運転停止
に同期して、運転時にトリガーされると放電用コンデン
サーＣの電荷がＣ−ＴＨＹ−昇圧トランス６の１次コイ
ルｎ１の順に放電して昇圧トランス６の２次側ｎ２に高
電圧パルスを発生する。高電圧パルスは高電圧整流回路
を通して主パルス発生回路部ｂの方形波状パルスの立ち
上がり部分に重畳される。第７図に出力波形の例が示さ
れている。Ｉ０２は補助パルス電流（ａ図）Ｉ０１は主
パルス電流（ｂ図）ＩはＩ０１とＩ０２との合成電流波
形（ｃ図）である。出力電流波形Ｉ０１（ｄ図）はフィ
ルターコンデンサー(e)によりキャリア周波数成分が平
滑化され、ガスレーザーに必要な波形が得られる。本発
明によりガスレーザー用直流高電圧パルス電流高電圧電
源回路の変換周波数をあげることができることから、応
答スピードがあがり、又小型化がはかれる。さらに、半
導体スイッチの採用により寿命もながくなる。パルサー
モード運転用直流高電圧パルスを昇圧トランスの１次
側、つまり低圧側で制御していることから、比較的容易
に低廉な部品で直流高電圧パルス発生回路を実現でき、
しかもパルサーモードからＣＷモードまで連続的に出力
できる。
第１図は従来回路図、第２図は本発明の基本的ブロック
図、第３図乃至第５図は本発明に適用される各部回路
図、第６図、第７図は本発明の一実施例回路図及び各部
動作波形図である。図において１はインバータ回路部、
２、６は昇圧トランス、３、７は高圧整流回路部、４は
コンバータ部、５はスイッチ部、(a)は直流電源、(b)は
主パルス発生回路部、(c)は補助パルス発生回路部、(d)
はバラスト抵抗、(e)はコンデンサ、(f)はガスレーザ管
（負荷）である。
図、第３図乃至第５図は本発明に適用される各部回路
図、第６図、第７図は本発明の一実施例回路図及び各部
動作波形図である。図において１はインバータ回路部、
２、６は昇圧トランス、３、７は高圧整流回路部、４は
コンバータ部、５はスイッチ部、(a)は直流電源、(b)は
主パルス発生回路部、(c)は補助パルス発生回路部、(d)
はバラスト抵抗、(e)はコンデンサ、(f)はガスレーザ管
（負荷）である。
Claims (1)
- 【請求項１】直流電源回路とその直流出力を高周波交流
に変換するインバータ回路部と昇圧トランスと高電圧整
流回路からなる直流電源回路において、昇圧トランスの
１次側でインバータ回路部を制御して、直流高電圧を発
生させる主パルス発生回路部及び前期直流電源回路から
の直流入力を任意な直流電圧に変換するＤＣ−ＤＣコン
バータと前記コンバータの出力を充電するコンデンサー
と前記コンデンサーの電荷を急速に放電するサイリスタ
ースイッチと昇圧トランスと高電圧整流回路部からなる
補助パルス発生回路を並列に接続して高電圧出力を発生
させることを特徴とするガスレーザー用直流高電圧パル
ス発生回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17454386A JPH069266B2 (ja) | 1986-07-24 | 1986-07-24 | ガスレ−ザ−用直流高電圧パルス発生回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17454386A JPH069266B2 (ja) | 1986-07-24 | 1986-07-24 | ガスレ−ザ−用直流高電圧パルス発生回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6331184A JPS6331184A (ja) | 1988-02-09 |
| JPH069266B2 true JPH069266B2 (ja) | 1994-02-02 |
Family
ID=15980383
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17454386A Expired - Fee Related JPH069266B2 (ja) | 1986-07-24 | 1986-07-24 | ガスレ−ザ−用直流高電圧パルス発生回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH069266B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4975924A (en) * | 1987-08-13 | 1990-12-04 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Metallic vapor laser apparatus |
| US5048033A (en) * | 1990-09-04 | 1991-09-10 | Coherent, Inc. | Method and apparatus for controlling the power supply of a laser operating in a pulse mode |
-
1986
- 1986-07-24 JP JP17454386A patent/JPH069266B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6331184A (ja) | 1988-02-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |