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JPH0691482A - Feed control device - Google Patents

Feed control device

Info

Publication number
JPH0691482A
JPH0691482A JP27238892A JP27238892A JPH0691482A JP H0691482 A JPH0691482 A JP H0691482A JP 27238892 A JP27238892 A JP 27238892A JP 27238892 A JP27238892 A JP 27238892A JP H0691482 A JPH0691482 A JP H0691482A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
current
acceleration
slider
feedback
value
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP27238892A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hirohide Suzuki
博英 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toyoda Koki KK
Original Assignee
Toyoda Koki KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toyoda Koki KK filed Critical Toyoda Koki KK
Priority to JP27238892A priority Critical patent/JPH0691482A/en
Publication of JPH0691482A publication Critical patent/JPH0691482A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Control Of Position Or Direction (AREA)
  • Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)

Abstract

PURPOSE:To suppress the vibration of a slider generated by the vibration of a ball screw in the acceleration or the deceleration of the slider, by providing an acceleration feedback loop to subtract the signal from an acceleration sensor from the current instruction of the current feedback. CONSTITUTION:An acceleration sensor 7 installed to a slider 5 and to detect the acceleration of the slider 5, and an acceleration feedback loop to subtract the signal from the acceleration sensor 7 from the current instruction of the current feedback are provided. The acceleration of the slider 5 operates to follow the current instruction. When a vibration of the slider 5 is generated by the elasticity of a feed screw 3, the vibration component of the acceleration signal of the slider 5 is made as an error to the current instruction, and thereby, the signal from the acceleration sensor 7 is regulated by an acceleration feedback gain Ka, and the current is fed to a servomotor 1 so as to suppress the vibration.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は送り制御装置の制御系に
関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a control system for a feed control device.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のこの種の装置は、サーボモータに
電流検出器、速度検出器、位置検出器を取り付け、三重
のフィードバックループを組んでいた。サーボモータに
より送りねじが回転駆動され、送りナットが固定された
砥石台等のスライダが位置決めされるものであった。送
りねじにはボールねじが多く用いられていた。
2. Description of the Related Art In a conventional device of this type, a current detector, a velocity detector, and a position detector are attached to a servomotor to form a triple feedback loop. The feed screw is rotationally driven by the servo motor, and the slider such as a grindstone base to which the feed nut is fixed is positioned. Ball screws were often used as feed screws.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の装置はサーボモータの角加速度が急激に変化する際
に、スライダ(砥石台)に振動が生じることがあるとい
う問題点があった。この振動はスライダが摩擦の小さい
リニアウエイ等の案内で支持されている場合に特に顕著
であった。この原因はサーボモータとスライダ間のボー
ルねじの弾性により、スライダ(砥石台)が振動するこ
とによる。ボールねじ単独の減衰定数は大きくないの
で、この振動(固有振動)はすぐには減衰しなかった。
本発明は上記の問題点を解決するためなされたものであ
り、その目的とするところは、加減速時のスライダの振
動を抑制することができる送り制御装置を提供すること
にある。
However, the above-mentioned conventional device has a problem that vibration may occur in the slider (stone head) when the angular acceleration of the servo motor changes abruptly. This vibration was particularly remarkable when the slider was supported by a guide such as a linear way with low friction. This is because the slider (grind head) vibrates due to the elasticity of the ball screw between the servo motor and the slider. Since the damping constant of the ball screw alone is not large, this vibration (natural vibration) was not immediately damped.
The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a feed control device capable of suppressing vibration of a slider during acceleration / deceleration.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明では、サーボモータと、そのサーボモータに
より回転駆動される送りねじと、その送りねじに螺合す
る送りナットと、その送りナットに固定されたスライダ
と、スライダの位置を検出する位置検出手段と、スライ
ダの速度を検出する速度検出手段と、前記サーボモータ
の電流を検出する電流検出手段と、位置フィードバッ
ク、速度フィードバック、電流フィードバックの三重の
フィードバックループを有する送り制御装置において、
前記スライダに取り付けられスライダの加速度を検出す
る加速度センサと、その加速度センサからの信号を前記
電流フィードバックの電流指令から差し引く加速度フィ
ードバックループとを備えることを特徴とする送り制御
装置が提供される。
In order to achieve the above object, in the present invention, a servomotor, a feed screw rotationally driven by the servomotor, a feed nut screwed to the feed screw, and a feed nut thereof. A slider fixed to the nut, position detecting means for detecting the position of the slider, speed detecting means for detecting the speed of the slider, current detecting means for detecting the current of the servo motor, position feedback, speed feedback, and current In a feed controller having a triple feedback loop of feedback,
There is provided a feed control device comprising an acceleration sensor attached to the slider for detecting the acceleration of the slider, and an acceleration feedback loop for subtracting a signal from the acceleration sensor from a current command of the current feedback.

【0005】[0005]

【作用】サーボモータでは電流とトルク及び角加速度は
比例するので、電流と角加速度は同種の信号と見做せ
る。上記のように構成された送り制御装置ではスライダ
の加速度が電流指令に追従するように働く。そして、送
りねじ(ボールねじ)の弾性によりスライダに振動が発
生すると、スライダの加速度信号中の振動成分は電流指
令に対して誤差となるので、この誤差がなくなるように
サーボモータに電流を流し振動を抑制する。
In the servo motor, the electric current is proportional to the torque and the angular acceleration, so that the electric current and the angular acceleration can be regarded as the same kind of signal. In the feed control device configured as described above, the acceleration of the slider works so as to follow the current command. Then, when the slider vibrates due to the elasticity of the feed screw (ball screw), the vibration component in the acceleration signal of the slider causes an error with respect to the current command. Suppress.

【0006】[0006]

【実施例】本発明の実施例について図面を参照し説明す
る。図1は本発明に係る送り制御装置のサーボ構成を示
すブロックダイヤグラムである。サーボモータ1にはイ
ンクリメンタル型のロータリエンコーダ2が直結されて
いる。サーボモータ1の出力軸にはボールねじ3が連結
され、ボールねじ3には砥石台5に固定された送りナッ
ト4が螺合している。砥石台5には砥石車6が回転可能
に搭載されている。また、砥石台5には加速度センサ7
が固定されている。位置指令からは積算カウンタΣの出
力たる位置フィードバック値が減算され、位置ループゲ
インKp で増幅されて速度指令となる。速度指令からは
ロータリエンコーダ2からの速度フィードバック値が減
算され、速度ループ比例ゲインKvpで増幅され、速度ル
ープ積分ゲインKviで積分されて電流指令となる。電流
指令からは加速度フィードバックゲインKa の出力であ
る加速度フィードバック値が減算され、さらに、電流フ
ィードバック値が減算されて後、電流ループゲインKi
で増幅されてサーボモータ1が駆動される。加速度セン
サ7からの信号を加速度フィードバックゲインKa で調
整し電流ループに返すようにした点が本発明の特徴部分
である。
Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing a servo configuration of a feed control device according to the present invention. An incremental rotary encoder 2 is directly connected to the servomotor 1. A ball screw 3 is connected to the output shaft of the servomotor 1, and a feed nut 4 fixed to a grindstone 5 is screwed onto the ball screw 3. A grinding wheel 6 is rotatably mounted on the grinding wheel base 5. In addition, the grindstone 5 has an acceleration sensor 7
Is fixed. The position feedback value, which is the output of the integration counter Σ, is subtracted from the position command and is amplified by the position loop gain Kp to become the speed command. The speed feedback value from the rotary encoder 2 is subtracted from the speed command, amplified by the speed loop proportional gain Kvp, and integrated by the speed loop integral gain Kvi to become a current command. The acceleration feedback value, which is the output of the acceleration feedback gain Ka, is subtracted from the current command, and further, the current feedback value is subtracted, and then the current loop gain Ki
The servo motor 1 is driven by being amplified by. The characteristic of the present invention is that the signal from the acceleration sensor 7 is adjusted by the acceleration feedback gain Ka and is returned to the current loop.

【0007】図2は上記のサーボ構成を実現する送り制
御装置のハード構成を示すブロック図である。ディジタ
ルサーボ制御装置10は主として、CPU11、ROM
12、RAM13、ディジタルシグナルプロセッサ14
(以下DSP14という)、共通RAM17、A/D変
換器15a、15b及び現在位値カウンタ16から構成
されている。CPU11にはインタフェース19を介し
てキーボード21及びCRT表示装置22が接続されて
いる。DSP14の出力はインバータ25に入力され、
そのインバータ25はDSP14の出力信号に応じてサ
ーボモータ1を駆動する。サーボモータ1には同期モー
タが用いられ、インバータ25のPWM電圧制御により
サーボモータ1の負荷電流が制御され、その結果、出力
トルクが制御される。
FIG. 2 is a block diagram showing a hardware structure of a feed control device for realizing the above servo structure. The digital servo control device 10 mainly includes a CPU 11 and a ROM.
12, RAM 13, digital signal processor 14
It is composed of a common RAM 17, A / D converters 15a and 15b, and a current value counter 16 (hereinafter referred to as DSP 14). A keyboard 21 and a CRT display device 22 are connected to the CPU 11 via an interface 19. The output of the DSP 14 is input to the inverter 25,
The inverter 25 drives the servo motor 1 according to the output signal of the DSP 14. A synchronous motor is used as the servo motor 1, and the load voltage of the servo motor 1 is controlled by the PWM voltage control of the inverter 25, and as a result, the output torque is controlled.

【0008】サーボモータ1のU相及びV相の負荷電流
は変流器(CT)32a、32bにより検出され、増幅
器18a、18bにより増幅される。その増幅器18
a、18bの出力は、A/D変換器15a、15bに入
力され、所定の周期でサンプリングされ、ディジタル値
に変換される。そのサンプリングされた値は、瞬時負荷
電流のフィードバック値として、DSP14に入力す
る。また、サーボモータ1にはロータリエンコーダ2が
接続され、その現在位置が検出される。ロータリエンコ
ーダ2の出力は波形整形・方向判別回路34を介して現
在値カウンタ16に接続されている。さらに、砥石台5
に固定された加速度センサ7の出力は、A/D変換器1
5cに入力され、所定の周期でサンプリングされ、ディ
ジタル値に変換される。そのサンプリングされた値は、
加速度のフィードバック値として、DSP14に入力す
る。
The U-phase and V-phase load currents of the servomotor 1 are detected by the current transformers (CT) 32a, 32b and amplified by the amplifiers 18a, 18b. The amplifier 18
The outputs of a and 18b are input to A / D converters 15a and 15b, sampled at a predetermined cycle, and converted into digital values. The sampled value is input to the DSP 14 as a feedback value of the instantaneous load current. Further, a rotary encoder 2 is connected to the servo motor 1 and its current position is detected. The output of the rotary encoder 2 is connected to the current value counter 16 via a waveform shaping / direction discriminating circuit 34. Furthermore, grinding wheel stand 5
The output of the acceleration sensor 7 fixed to the A / D converter 1 is
5c is input, sampled at a predetermined cycle, and converted into a digital value. Its sampled value is
It is input to the DSP 14 as a feedback value of acceleration.

【0009】波形整形・方向判別回路34を介して現在
位値カウンタ16に入力されるロータリエンコーダ2の
出力信号は現在位置カウンタ16の値を加減させる。D
SP14により、現在位置カウンタ16の値は現在位置
フィードバック値として読み込まれ、DSP14により
CPU11から出力された目標値と比較され位置偏差が
算出される。そして、DSP14により、その位置偏差
に基づいて速度指令値が算出される。また、DSP14
に入力された現在位置フィードバック値は微分され、速
度フィードバック値が算出される。DSP14により、
位置偏差に応じて決定される速度指令値と速度フィード
バック値とが比較され速度偏差が算出され、その速度偏
差に基づいて電流指令値が算出される。
The output signal of the rotary encoder 2 input to the current position counter 16 via the waveform shaping / direction discrimination circuit 34 adjusts the value of the current position counter 16. D
The value of the current position counter 16 is read by the SP 14 as a current position feedback value, and the position deviation is calculated by comparing with the target value output from the CPU 11 by the DSP 14. Then, the DSP 14 calculates the speed command value based on the position deviation. In addition, DSP14
The current position feedback value input to is differentiated to calculate the speed feedback value. By DSP14,
The speed command value determined according to the position deviation is compared with the speed feedback value to calculate the speed deviation, and the current command value is calculated based on the speed deviation.

【0010】一方、加速度センサ7にて検出された砥石
台5の加速度はA/D変換器15cを介してDSP14
に入力する。そして、加速度フィードバックゲインKa
を乗じた値が加速度フィードバック値として演算され
る。また、変流器(CT)32a、32bにて検出され
た負荷電流は、増幅器18a、18b及びA/D変換器
15a、15bを介してDSP14に入力する。そし
て、電流サンプリング時刻における検出電流値に基づい
て電流制御時刻における電流値が電流フィードバック値
として演算される。そして、DSP14により、電流指
令値と加速度フィードバック値及び電流フィードバック
値とが比較され、電流偏差が算出される。その電流偏差
に基づいて電圧指令値が演算され、電圧指令値は高周波
の三角波と比較され、インバータ25の各相のトランジ
スタのオンオフを制御する電圧制御PWM信号が生成さ
れる。その電圧制御PWM信号は、インバータ25に出
力され、そのインバータ25の各相のトランジスタがそ
れぞれ駆動される。このインバータ25のスイッチング
により、各相の負荷電流が電流目標値に制御されること
になる。
On the other hand, the acceleration of the grindstone 5 detected by the acceleration sensor 7 is sent to the DSP 14 via the A / D converter 15c.
To enter. Then, the acceleration feedback gain Ka
A value obtained by multiplying by is calculated as an acceleration feedback value. The load currents detected by the current transformers (CT) 32a and 32b are input to the DSP 14 via the amplifiers 18a and 18b and the A / D converters 15a and 15b. Then, the current value at the current control time is calculated as the current feedback value based on the detected current value at the current sampling time. Then, the DSP 14 compares the current command value with the acceleration feedback value and the current feedback value to calculate the current deviation. A voltage command value is calculated based on the current deviation, the voltage command value is compared with a high frequency triangular wave, and a voltage control PWM signal for controlling on / off of the transistors of each phase of the inverter 25 is generated. The voltage control PWM signal is output to the inverter 25, and the transistors of each phase of the inverter 25 are driven. By the switching of the inverter 25, the load current of each phase is controlled to the current target value.

【0011】尚、サーボモータ1の位置決めは、CPU
11により、現在位値カウンタ16の出力値が位置の指
令値に等しくなったと判定された時に完了される。ま
た、A/D変換器15a、15bによってサンプリング
されたU相、V相の負荷電流値は、DSP14によりd
q変換される。
The positioning of the servo motor 1 is performed by the CPU
According to 11, the process is completed when it is determined that the output value of the current position value counter 16 becomes equal to the position command value. Further, the U-phase and V-phase load current values sampled by the A / D converters 15a and 15b are d by the DSP 14.
q converted.

【0012】本実施例の送り制御装置は、上述したよう
に、位置、速度、電流の3つのフィードバックループに
加えて、加速度のフィードバックループが付加されてい
る。より下位のフィードバックループには、より高い応
答性が要求され、例えば、最下位の電流フィードバック
ループ及び加速度フィードバックループは100μS毎
に、速度フィードバックループはその数倍、位置フィー
ドバックループは更にその数倍の時間間隔で同期を取っ
てデータのサンプリングが実行され、それぞれのフィー
ドバックループの処理が実行される。
As described above, the feed control device of this embodiment has an acceleration feedback loop in addition to the three feedback loops of position, velocity and current. Higher responsiveness is required for the lower feedback loops. For example, the lowest current feedback loop and the acceleration feedback loop are every 100 μS, the velocity feedback loop is several times that, and the position feedback loop is several times that multiple. Data sampling is performed in synchronization at time intervals, and the processing of each feedback loop is performed.

【0013】上記の構成に基づき作動について説明す
る。図3は、DSP14によって、所定の最小周期毎に
繰り返し実行される処理を示すフローチャートである。
まず処理が開始されると、ステップ100で、現実行サ
イクルが位置偏差演算タイミングか否かが判定され、位
置偏差演算タイミングであれば、ステップ102に進
み、現在位値カウンタ16に保持された位置の現在位値
が読み込まれ、目標値に対する位置偏差が演算される。
次に、ステップ104では、位置偏差に応じた速度指令
値が演算される。
The operation will be described based on the above configuration. FIG. 3 is a flowchart showing a process repeatedly executed by the DSP 14 at each predetermined minimum cycle.
First, when the process is started, it is determined in step 100 whether or not the current execution cycle is the position deviation calculation timing. If it is the position deviation calculation timing, the process proceeds to step 102 and the position held in the current position value counter 16 is determined. The current position value of is read and the position deviation with respect to the target value is calculated.
Next, at step 104, a speed command value according to the position deviation is calculated.

【0014】次に、ステップ106では、現実行サイク
ルが速度偏差演算タイミングか否かが判定される。現実
行サイクルが第p速度制御周期における速度偏差演算タ
イミングであれば、次のステップ108で、現在位値カ
ウンタ16に保持された位置の現在値(電気角)θ
(p)が読み込まれる。次に、ステップ110におい
て、前回第p−1速度制御周期における速度偏差演算タ
イミング時に読み込まれた位置の現在値(電気角)θ
(p−1)と、速度制御周期Dとから、現速度制御期間
における電気角速度の現在値ω(p)が次式によって演
算される。
Next, at step 106, it is judged if the current execution cycle is the speed deviation calculation timing. If the current execution cycle is the speed deviation calculation timing in the p-th speed control cycle, in the next step 108, the current value (electrical angle) θ of the position held in the current position value counter 16
(P) is read. Next, at step 110, the current value (electrical angle) θ of the position read at the time of the speed deviation calculation timing in the p−1-th speed control cycle last time.
From (p-1) and the speed control period D, the current value ω (p) of the electrical angular speed in the current speed control period is calculated by the following equation.

【数1】 ω(p)=〔θ(p)−θ(p−1)〕/D …(1) そして、ステップ104で演算された速度指令値からの
偏差、即ち、速度偏差が演算される。
Ω (p) = [θ (p) −θ (p−1)] / D (1) Then, the deviation from the speed command value calculated in step 104, that is, the speed deviation is calculated. It

【0015】次のステップ112では、その速度偏差に
応じて、d軸成分とq軸成分の電流目標値Idc(p),Iqc
(p) が演算される。次にステップ114において、前回
の速度制御周期において検出された角速度ω(p−1)
と、今回の速度制御周期において検出された角速度ω
(p)とを用いて、今回の電気角加速度A(p)が次式
により演算される。
In the next step 112, the current target values Idc (p), Iqc of the d-axis component and the q-axis component are calculated according to the speed deviation.
(p) is calculated. Next, at step 114, the angular velocity ω (p-1) detected in the previous velocity control cycle.
And the angular velocity ω detected in this velocity control cycle
Using (p), the current electrical angular acceleration A (p) is calculated by the following equation.

【数2】 A(p)=〔ω(p)−ω(p−1)〕/D …(2)## EQU00002 ## A (p) = [. Omega. (P)-. Omega. (P-1)] / D (2)

【0016】次に、ステップ116に移行して、現実行
サイクルが第n電流制御周期における電流偏差演算タイ
ミングであるか否かが判定される。尚、nは1つの速度
制御周期において、1、2、…と変化する値であり、電
流検出及び電流制御の時刻に関連している。電流偏差演
算タイミングであれば、ステップ118へ移行する。ス
テップ118以下では電流及び加速度フィードバック制
御が実行される。
Next, the routine proceeds to step 116, where it is judged if the current execution cycle is the current deviation calculation timing in the nth current control cycle. Note that n is a value that changes to 1, 2, ... In one speed control cycle, and is related to the time of current detection and current control. If it is the current deviation calculation timing, the routine proceeds to step 118. In step 118 and subsequent steps, current and acceleration feedback control is executed.

【0017】ステップ118では、第p速度制御周期に
おける第n電流制御周期の電流検出時の電気角θ(n)
が次式により演算される。
In step 118, the electrical angle θ (n) at the time of current detection in the nth current control cycle in the pth speed control cycle.
Is calculated by the following equation.

【数3】 θ(n)=θ(p)+ω(p)nT …(3) 但し、Tは電流制御周期である。また、電流検出時刻に
おける電気角速度ω(n)が次式により補完演算され
る。
## EQU3 ## θ (n) = θ (p) + ω (p) nT (3) where T is the current control period. Further, the electrical angular velocity ω (n) at the current detection time is complemented by the following equation.

【数4】 ω(n)=ω(p)+A(p)nT …(4)Ω (n) = ω (p) + A (p) nT (4)

【0018】次にステップ120では、u相、v相の瞬
時負荷電流の現在値Iu(n),Iv(n)がA/D変換器15
a、15bから読み込まれる。なお、w相の瞬時負荷電
流の現在値Iw(n)は、Iw(n)=−〔Iu(n)+Iv(n)〕に
より演算される。ステップ122においては、砥石台5
の加速度Asp(n)がA/D変換器15cから読み込
まれる。
Next, at step 120, the current values Iu (n) and Iv (n) of the u-phase and v-phase instantaneous load currents are calculated by the A / D converter 15.
It is read from a and 15b. The current value Iw (n) of the w-phase instantaneous load current is calculated by Iw (n) =-[Iu (n) + Iv (n)]. In step 122, the grindstone 5
The acceleration Asp (n) is read from the A / D converter 15c.

【0019】次に、ステップ124において、電流の現
在値Iu(n),Iv(n),Iw(n)はdq変換されて、電流検
出時刻におけるd軸成分Id(n)とq軸成分Iq(n)とが次
式により演算される。
Next, at step 124, the current values Iu (n), Iv (n), and Iw (n) of the current are dq-converted to obtain the d-axis component Id (n) and the q-axis component Iq at the current detection time. (n) is calculated by the following equation.

【数5】 [Equation 5]

【0020】なお、dq座標系は、ベクトル制御で良く
知られているように、d軸は励磁磁場と同相にとられ、
q軸は励磁磁場と電気角で90°の位相差にとられた座
標系である。d軸成分は無効成分を、q軸成分は有効成
分を表す。
In the dq coordinate system, the d axis is in phase with the exciting magnetic field, as is well known in vector control.
The q-axis is a coordinate system with a phase difference of 90 ° in electrical angle from the exciting magnetic field. The d-axis component represents the ineffective component, and the q-axis component represents the effective component.

【0021】次に、ステップ126において、電流指令
値Idc(p),Iqc(p) 電流値Id(n),Iq(n)、砥石加速度
Asp(n) 加速度フィードバックゲインKa、電流ループ
ゲインKiから電圧指令値Vd(n), Vq(n)を次式により
算出する。
Next, in step 126, from the current command values Idc (p), Iqc (p) current values Id (n), Iq (n), the grindstone acceleration Asp (n) acceleration feedback gain Ka, and the current loop gain Ki. The voltage command values Vd (n) and Vq (n) are calculated by the following equation.

【数6】 Vd(n)=Ki〔Idc(p) −Id(n)〕 …(6)## EQU00006 ## Vd (n) = Ki [Idc (p) -Id (n)] (6)

【数7】 Vq(n)=Ki〔Iqc(p) −Iq(n)−KaAsp(n) 〕…(7)## EQU7 ## Vq (n) = Ki [Iqc (p) -Iq (n) -KaAsp (n)] (7)

【0022】次に、ステップ128において、次式によ
り電圧指令Vd(n)、Vq(n)を逆dq変換して、電圧制御
時刻(n)における各相電圧指令値Vu(n)、Vv(n)、V
w(n)が演算される。
Next, at step 128, the voltage commands Vd (n) and Vq (n) are inversely dq-converted by the following equations, and the voltage command values Vu (n) and Vv (for each phase at the voltage control time (n) are converted. n), V
w (n) is calculated.

【数8】 [Equation 8]

【0023】次に、ステップ130では、各相電圧指令
値Vu(n)、Vv(n)、Vw(n)と高周波数の三角波とのレベ
ル関係を利用して、即ち、平均電圧法を用いて、各相の
PWM信号のオン時間が演算される。そして、ステップ
132において、DSP14に内在された各タイマにそ
のオン時間を設定することで、その設定された時間だけ
高レベルとなる各相のPWM信号がインバータ25に出
力される。なお、明示していないが、各相のPWM信号
を生成する時、同相の2つのトランジスタが同時にオン
しないようにデッドタイム処理が施されている。
Next, in step 130, the level relationship between each phase voltage command value Vu (n), Vv (n), Vw (n) and the high frequency triangular wave is utilized, that is, the average voltage method is used. Then, the ON time of the PWM signal of each phase is calculated. Then, in step 132, the on-time is set in each timer incorporated in the DSP 14, so that the PWM signal of each phase which becomes high level for the set time is output to the inverter 25. Although not explicitly shown, dead time processing is performed so that two transistors in the same phase do not turn on at the same time when the PWM signal for each phase is generated.

【0024】このようにして、1つの実行サイクルの処
理が完了する。この実行サイクルは最小の制御周期で実
行されており、その整数倍で電流フィードバックループ
及び加速度フィードバックループが制御され、更にその
整数倍で速度フィードバックループが制御され、更にそ
の整数倍で位置フィードバックループが制御されるよう
に、ステップ100、106、116で判定の基準とな
る回数が設定されている。上記のサイクルが繰り返し実
行されることで、位置、速度、電流及び加速度のフィー
ドバック制御が行われる。
In this way, the processing of one execution cycle is completed. This execution cycle is executed with the minimum control period, the current feedback loop and the acceleration feedback loop are controlled by an integral multiple thereof, the velocity feedback loop is controlled by an integral multiple thereof, and the position feedback loop is further multiplied by the integral multiple thereof. In order to be controlled, the number of times to be the reference for determination is set in steps 100, 106 and 116. By repeatedly executing the above cycle, feedback control of position, velocity, current and acceleration is performed.

【0025】[0025]

【発明の効果】本発明は、上記の構成を有し加速度セン
サによりスライダの加速度を検出し電流にフィードバッ
クするものであるから、送りねじ(ボールねじ)の弾性
によりスライダに振動が発生すると、スライダの加速度
信号中の振動成分は電流指令に対して誤差となるので、
この誤差がなくなるようにサーボモータに電流を流し送
りねじの振動を抑制するという優れた効果がある。
Since the present invention has the above-mentioned construction and detects the acceleration of the slider by the acceleration sensor and feeds it back to the current, when the slider vibrates due to the elasticity of the feed screw (ball screw), the slider is moved. Since the vibration component in the acceleration signal of becomes an error with respect to the current command,
There is an excellent effect that a current is passed through the servo motor so as to eliminate this error and vibration of the feed screw is suppressed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 実施例のサーボ構成を示すブロックダイヤグ
ラム
FIG. 1 is a block diagram showing a servo configuration of an embodiment.

【図2】 実施例のハード構成を示すブロック図FIG. 2 is a block diagram showing a hardware configuration of the embodiment.

【図3】 処理手順を示すフローチャートFIG. 3 is a flowchart showing a processing procedure.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 サーボモータ 2 ロータリエンコーダ 3 送りねじ(ボールねじ) 4 送りナット 5 砥石台(スライダ) 7 加速度センサ 10 ディジタルサーボ制御装置 11 CPU 14 DSP(ディジタルシグナルプロセッサ) 1 Servo Motor 2 Rotary Encoder 3 Feed Screw (Ball Screw) 4 Feed Nut 5 Grindstone (Slider) 7 Accelerometer 10 Digital Servo Controller 11 CPU 14 DSP (Digital Signal Processor)

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 サーボモータと、そのサーボモータによ
り回転駆動される送りねじと、その送りねじに螺合する
送りナットと、その送りナットに固定されたスライダ
と、スライダの位置を検出する位置検出手段と、スライ
ダの速度を検出する速度検出手段と、前記サーボモータ
の電流を検出する電流検出手段と、位置フィードバッ
ク、速度フィードバック、電流フィードバックの三重の
フィードバックループを有する送り制御装置において、 前記スライダに取り付けられスライダの加速度を検出す
る加速度センサと、その加速度センサからの信号を前記
電流フィードバックの電流指令から差し引く加速度フィ
ードバックループとを備えることを特徴とする送り制御
装置。
1. A servo motor, a feed screw rotationally driven by the servo motor, a feed nut screwed to the feed screw, a slider fixed to the feed nut, and position detection for detecting the position of the slider. Means, a speed detecting means for detecting the speed of the slider, a current detecting means for detecting the current of the servo motor, and a feed control device having a triple feedback loop of position feedback, speed feedback, and current feedback, wherein the slider is A feed control device comprising: an acceleration sensor that detects the acceleration of a slider that is attached; and an acceleration feedback loop that subtracts a signal from the acceleration sensor from a current command of the current feedback.
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