JPH0682919B2 - 導体ペ−スト充填方法 - Google Patents
導体ペ−スト充填方法Info
- Publication number
- JPH0682919B2 JPH0682919B2 JP11880387A JP11880387A JPH0682919B2 JP H0682919 B2 JPH0682919 B2 JP H0682919B2 JP 11880387 A JP11880387 A JP 11880387A JP 11880387 A JP11880387 A JP 11880387A JP H0682919 B2 JPH0682919 B2 JP H0682919B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- green sheet
- conductor paste
- sheet
- hole
- regenerated cellulose
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
- Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、セラミック多層配線基板の製造に際し、グリ
ーンシートのスルーホールに導体ペーストを充填するの
に好適な方法に関する。
ーンシートのスルーホールに導体ペーストを充填するの
に好適な方法に関する。
半導体部品を高密度に塔載するための基板として、20〜
30層の多層配線を施したセラミック多層配線基板が注目
されている。この基板の層間の電気的接続は、グリーン
シートに形成したスルーホールに導体ペーストを充填す
ることによって行なわれる。
30層の多層配線を施したセラミック多層配線基板が注目
されている。この基板の層間の電気的接続は、グリーン
シートに形成したスルーホールに導体ペーストを充填す
ることによって行なわれる。
スルーホールへの導体ペースト充填には、スクリーン印
刷法が一般的に用いられるが、特公昭56-25789号でも述
べられるているように、パターン寸法、位置合わせ精度
の面で非常にきびしい制限があり、特殊な印刷機が必要
である。
刷法が一般的に用いられるが、特公昭56-25789号でも述
べられるているように、パターン寸法、位置合わせ精度
の面で非常にきびしい制限があり、特殊な印刷機が必要
である。
上記公知例には、ペースト組成、印刷条件については記
載されていないが、第２図に示すようにグリーンシート
３のスルーホール４に導体ペースト８を充填する場合、
一般的には第３図に示すような印刷法、すなわちグリー
ンシートを載せる台１の多数の吸着穴９を設けた上面部
１′にグリーンシート３を置き、これを固定するために
台１の排気口10から排気し真空吸着させた後、スクリー
ン版５を用いてスルーホール４に導体ペーストを充填す
る方法がとられている。しかし、この場合、特殊なペー
ストを用いなければ、第４図に示すように、スルーホー
ル４に充填した導体ペースト８がグリーンシートを載せ
る台１の上面部１′に付着し、充填後、グリーンシート
を取り出すときに充填した導体ペーストの一部12が台側
に残ってしまう。このため、スルーホール内の導体ペー
ストに凹み11が発生し、後工程の積層、めっき、半導体
部品の実装で接続不良やめっき不良の原因となる。この
問題を解決する方法として、第５図に示すように、グリ
ーンシートを載せる台１のグリーンシート３に形成した
スルーホール４と対応する位置にスルーホールより大き
い径の穴９′を設け、スルーホール４に充填した導体ペ
ースト８が台の上面部１′に付着しないようにする方法
もある。しかし、この場合には、スクリーンおよびグリ
ーンシートに形成したスルーホールの径の違い、印刷圧
力のむら、導体ペーストの粘度変化等により、スルーホ
ールから押し出される導体ペーストの量に違いがあるた
め、積層時のホットプレスによるつぶれによって、第６
図に示すように、押し出される側（台側）のスルーホー
ルパターン（８′,8″）の大きさに著しいバラツキが生
じやすいという問題点があった。
載されていないが、第２図に示すようにグリーンシート
３のスルーホール４に導体ペースト８を充填する場合、
一般的には第３図に示すような印刷法、すなわちグリー
ンシートを載せる台１の多数の吸着穴９を設けた上面部
１′にグリーンシート３を置き、これを固定するために
台１の排気口10から排気し真空吸着させた後、スクリー
ン版５を用いてスルーホール４に導体ペーストを充填す
る方法がとられている。しかし、この場合、特殊なペー
ストを用いなければ、第４図に示すように、スルーホー
ル４に充填した導体ペースト８がグリーンシートを載せ
る台１の上面部１′に付着し、充填後、グリーンシート
を取り出すときに充填した導体ペーストの一部12が台側
に残ってしまう。このため、スルーホール内の導体ペー
ストに凹み11が発生し、後工程の積層、めっき、半導体
部品の実装で接続不良やめっき不良の原因となる。この
問題を解決する方法として、第５図に示すように、グリ
ーンシートを載せる台１のグリーンシート３に形成した
スルーホール４と対応する位置にスルーホールより大き
い径の穴９′を設け、スルーホール４に充填した導体ペ
ースト８が台の上面部１′に付着しないようにする方法
もある。しかし、この場合には、スクリーンおよびグリ
ーンシートに形成したスルーホールの径の違い、印刷圧
力のむら、導体ペーストの粘度変化等により、スルーホ
ールから押し出される導体ペーストの量に違いがあるた
め、積層時のホットプレスによるつぶれによって、第６
図に示すように、押し出される側（台側）のスルーホー
ルパターン（８′,8″）の大きさに著しいバラツキが生
じやすいという問題点があった。
本発明の目的は、上記問題点を解決した導体ペースト充
填方法を提供することにある。
填方法を提供することにある。
上記目的は、グリーンシートに形成したスルーホールに
スクリーン印刷により導体ペーストを充填する方法にお
いて、グリーンシートとグリーンシートを載せる台との
間に、再生セルロースを付着させたプラスチックシート
を挟みこみ、その再生セルロース付着面をグリーンシー
トのスルーホール部に対面させた状態で導体ペーストの
充填を行なうことにより達成される。
スクリーン印刷により導体ペーストを充填する方法にお
いて、グリーンシートとグリーンシートを載せる台との
間に、再生セルロースを付着させたプラスチックシート
を挟みこみ、その再生セルロース付着面をグリーンシー
トのスルーホール部に対面させた状態で導体ペーストの
充填を行なうことにより達成される。
本発明者らは、グリーンシートとグリーンシートを載せ
る台との間に、導体ペースト中の溶剤を吸収し、かつ導
体ペーストとの離型性の良い材料を介在させることで従
来技術の問題点を解決できるのではないかと考え、その
方法を検討した結果、材料の交換性も考慮し、再生セル
ロースをプラスチックシートに付着させて平坦なシート
状にしたものを挟みこむことにした。すなわち、吸収性
の良い再生セルロースで印刷時に導体ペースト中の溶剤
を吸収させることによって、スルーホール内の導体ペー
ストの充填密度が高まり、また再生セルロースは導体ペ
ーストとの離型性が良いので、充填後、グリーンシート
を取り出すときに導体ペーストの一部が台側に残り、ス
ルーホール導体に凹みが生じるようなことがない。その
上、再生セルロース付着面は平滑で、グリーンシートと
の密着性が良いので、充填した導体ペーストが再生セル
ロース付着面とグリーンシートの間ににじみ出ることも
なく、これにより、スルーホール内に寸法精度良く導体
ペーストを充填することができる。プラスチックシート
は再生セルロースを保持し、再生セルロースが部分的に
破壊されてスルーホール導体の表面に付着することを防
ぐ補強材として役立つ。また、プラスチックシートとし
て、気体、液体を通過させる多孔質体、いわゆるフィル
タを用い、印刷時に再生セルロースで吸収された溶剤
を、さらに排気ポンプにより吸引させることもできる。
る台との間に、導体ペースト中の溶剤を吸収し、かつ導
体ペーストとの離型性の良い材料を介在させることで従
来技術の問題点を解決できるのではないかと考え、その
方法を検討した結果、材料の交換性も考慮し、再生セル
ロースをプラスチックシートに付着させて平坦なシート
状にしたものを挟みこむことにした。すなわち、吸収性
の良い再生セルロースで印刷時に導体ペースト中の溶剤
を吸収させることによって、スルーホール内の導体ペー
ストの充填密度が高まり、また再生セルロースは導体ペ
ーストとの離型性が良いので、充填後、グリーンシート
を取り出すときに導体ペーストの一部が台側に残り、ス
ルーホール導体に凹みが生じるようなことがない。その
上、再生セルロース付着面は平滑で、グリーンシートと
の密着性が良いので、充填した導体ペーストが再生セル
ロース付着面とグリーンシートの間ににじみ出ることも
なく、これにより、スルーホール内に寸法精度良く導体
ペーストを充填することができる。プラスチックシート
は再生セルロースを保持し、再生セルロースが部分的に
破壊されてスルーホール導体の表面に付着することを防
ぐ補強材として役立つ。また、プラスチックシートとし
て、気体、液体を通過させる多孔質体、いわゆるフィル
タを用い、印刷時に再生セルロースで吸収された溶剤
を、さらに排気ポンプにより吸引させることもできる。
以下、本発明の実施例を詳細に説明する。
第１図に本発明を実施するための装置の概要を示す。一
般的に用いられているスクリーン印刷機と同様に、グリ
ーンシートを載せる台１の上面部１′には、グリーンシ
ートを固定するためにボール盤や放電加工でφ１〜2mm
の吸着穴９を多数形成するか、または通気性のある焼結
金属板が設けられる。この台の上面部１′にグリーンシ
ートより10〜30mm外形寸法の小さい、再生セルロースを
付着させたプラスチックシート２を載せ、その上にφ0.
13〜0.15mmのスルーホール４をNC穴明け機で１〜５万穴
形成した、厚さ0.23〜0.27mm、外形寸法200×200mmのグ
リーンシート３を、そのスルーホール部がプラスチック
シート２の再生セルロース付着面に重なるようにガイド
ピン（図示せず）で正確に位置決めしてから、台１の排
気口10に接続した排気ポンプにより真空吸引してグリー
ンシート３を固定する。次いで、グリーンシート３のス
ルーホール４と対応する位置にφ0.1〜0.13mmのパター
ン穴６をホトエッチングで形成したスクリーン版５を正
確に位置合わせした後、下記配合の導体ペースト８をス
キージ７を用いて下記の印刷条件で充填した。
般的に用いられているスクリーン印刷機と同様に、グリ
ーンシートを載せる台１の上面部１′には、グリーンシ
ートを固定するためにボール盤や放電加工でφ１〜2mm
の吸着穴９を多数形成するか、または通気性のある焼結
金属板が設けられる。この台の上面部１′にグリーンシ
ートより10〜30mm外形寸法の小さい、再生セルロースを
付着させたプラスチックシート２を載せ、その上にφ0.
13〜0.15mmのスルーホール４をNC穴明け機で１〜５万穴
形成した、厚さ0.23〜0.27mm、外形寸法200×200mmのグ
リーンシート３を、そのスルーホール部がプラスチック
シート２の再生セルロース付着面に重なるようにガイド
ピン（図示せず）で正確に位置決めしてから、台１の排
気口10に接続した排気ポンプにより真空吸引してグリー
ンシート３を固定する。次いで、グリーンシート３のス
ルーホール４と対応する位置にφ0.1〜0.13mmのパター
ン穴６をホトエッチングで形成したスクリーン版５を正
確に位置合わせした後、下記配合の導体ペースト８をス
キージ７を用いて下記の印刷条件で充填した。
ペースト配合 タングステン粉末 ……100g 焼結助剤 ……2g ビヒクル ……15g ゲル化剤 ……1.5g 印刷条件 スキージアタック角 ……30〜45° スキージ速度 ……30mm/秒 スキージ荷重 ……10kg/140mm （スキージ長さ） このようにしてスルーホールに導体ペーストを充填した
グリーンシート10〜30枚をホットプレスにより圧力120k
g/cm2、温度150℃で積層した後、1580〜1660℃、１時
間、水素還元雰囲気炉で焼結し、セラミック多層配線基
板を製作した。その結果、焼成後のスルーホール寸法精
度は110±３μｍと良好で、スルーホールの接続、めっ
き、半導体部品の実装の歩留りは非常に良好であった。
グリーンシート10〜30枚をホットプレスにより圧力120k
g/cm2、温度150℃で積層した後、1580〜1660℃、１時
間、水素還元雰囲気炉で焼結し、セラミック多層配線基
板を製作した。その結果、焼成後のスルーホール寸法精
度は110±３μｍと良好で、スルーホールの接続、めっ
き、半導体部品の実装の歩留りは非常に良好であった。
なお、グリーンシートはグリーンシートを載せる台の間
に挟みこむプラスチックシートは、第７図に示す種々の
材料の中から選定した。すなわち、通気性材料（種々の
濾過用材料）と離型しやすい材料（シリコン樹脂を塗布
したポリエステルシート、テフロンシート）を含む種々
の材料を評価対象とし、この中から再生セルロースを付
着させたプラスチックシート（フィルムを含む）を選定
した。
に挟みこむプラスチックシートは、第７図に示す種々の
材料の中から選定した。すなわち、通気性材料（種々の
濾過用材料）と離型しやすい材料（シリコン樹脂を塗布
したポリエステルシート、テフロンシート）を含む種々
の材料を評価対象とし、この中から再生セルロースを付
着させたプラスチックシート（フィルムを含む）を選定
した。
評価結果によれば、濾紙、和紙およびテフロン製フィル
タは、表面の凹凸が大きいため、これらの材料とグリー
ンシートの間に導体ペーストがにじみ出て、スルーホー
ル寸法のバラツキが非常に大きく、形状も悪い。ポリエ
ステルシート、塩化ビニール製フィルタでは、これらの
材料の表面に導体ペーストが付着し、充填後、スルーホ
ール部の導体ペーストに凹みが生じる。
タは、表面の凹凸が大きいため、これらの材料とグリー
ンシートの間に導体ペーストがにじみ出て、スルーホー
ル寸法のバラツキが非常に大きく、形状も悪い。ポリエ
ステルシート、塩化ビニール製フィルタでは、これらの
材料の表面に導体ペーストが付着し、充填後、スルーホ
ール部の導体ペーストに凹みが生じる。
再生セルロースだけのフィルタは、機械的強度が乏し
く、スルーホールに面した部分が破壊されてスルーホー
ル導体の面に付着する。また、テフロンシートとシリコ
ン樹脂を塗布したポリエステルシートは、φ150μｍの
スルーホールの充填には使用できるが、φ130μｍのス
ルーホールでは、導体ペーストを十分に充填できなかっ
た。すなわち溶剤に対する吸収性が悪い。
く、スルーホールに面した部分が破壊されてスルーホー
ル導体の面に付着する。また、テフロンシートとシリコ
ン樹脂を塗布したポリエステルシートは、φ150μｍの
スルーホールの充填には使用できるが、φ130μｍのス
ルーホールでは、導体ペーストを十分に充填できなかっ
た。すなわち溶剤に対する吸収性が悪い。
これに対して、プラスチックシート（フィルタを含む）
で補強した再生セルロースは、吸収性、離型性に優れ、
スルーホール部で破壊されることもなく、φ130μｍお
よびφ150μｍのスルーホールの充填を良好に行なうこ
とができた。ここで、再生セルロースはプラスチックシ
ート（フィルタを含む）に厚さ0.03〜0.1mmに塗布して
用いる。基材としては、厚さ0.05〜0.1mmのポリエステ
ル、ナイロン、ビニロン等の各種プラスチックシート
（フィルタを含む）を使用できる。
で補強した再生セルロースは、吸収性、離型性に優れ、
スルーホール部で破壊されることもなく、φ130μｍお
よびφ150μｍのスルーホールの充填を良好に行なうこ
とができた。ここで、再生セルロースはプラスチックシ
ート（フィルタを含む）に厚さ0.03〜0.1mmに塗布して
用いる。基材としては、厚さ0.05〜0.1mmのポリエステ
ル、ナイロン、ビニロン等の各種プラスチックシート
（フィルタを含む）を使用できる。
以上説明したように本発明によれば、特殊な印刷機や特
殊なペーストを用いなくても、寸法精度良く高歩留りで
グリーンシートのスルーホールに導体ペーストを充填す
ることができる。
殊なペーストを用いなくても、寸法精度良く高歩留りで
グリーンシートのスルーホールに導体ペーストを充填す
ることができる。
第１図は本発明の実施態様を示す模式断面図、第２図
（ａ），（ｂ）は導体ペーストを充填したグリーンシー
トの典型的な平面図およびそのＡ−Ａ′断面図、第３図
は従来技術の一例を示す模式断面図、第４図は第３図の
従来技術における導体ペーストの充填状態を示す模式断
面図、第５図は従来技術の他の例を示す模式断面図、第
６図（ａ），（ｂ）は第５図の従来技術により導体ペー
ストを充填したグリーンシートの積層後の状態を示す平
面図およびそのＢ−Ｂ′断面図、第７図は本発明を説明
するための各種シート材料の評価結果を示す図である。 符号の説明 １……グリーンシートを載せる台 ２……再生セルロースを付着させたプラスチックシート ３……グリーンシート ４……スルーホール ５……スクリーン版 ６……スクリーンのパターン穴 ７……スキージ ８……導体ペースト ９……グリーンシート吸着穴 10……排気穴
（ａ），（ｂ）は導体ペーストを充填したグリーンシー
トの典型的な平面図およびそのＡ−Ａ′断面図、第３図
は従来技術の一例を示す模式断面図、第４図は第３図の
従来技術における導体ペーストの充填状態を示す模式断
面図、第５図は従来技術の他の例を示す模式断面図、第
６図（ａ），（ｂ）は第５図の従来技術により導体ペー
ストを充填したグリーンシートの積層後の状態を示す平
面図およびそのＢ−Ｂ′断面図、第７図は本発明を説明
するための各種シート材料の評価結果を示す図である。 符号の説明 １……グリーンシートを載せる台 ２……再生セルロースを付着させたプラスチックシート ３……グリーンシート ４……スルーホール ５……スクリーン版 ６……スクリーンのパターン穴 ７……スキージ ８……導体ペースト ９……グリーンシート吸着穴 10……排気穴
フロントページの続き (72)発明者 槌田 誠一 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 野間 辰次 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内
Claims (2)
- 【請求項１】グリーンシートに形成したスルーホールに
スクリーン印刷により導体ペーストを充填する方法にお
いて、グリーンシートとグリーンシートを載せる台との
間に、再生セルロースを付着させたプラスチックシート
を挟みこみ、その再生セルロース付着面をグリーンシー
トのスルーホール部に対面させた状態で導体ペーストの
充填を行なうことを特徴とする導体ペースト充填方法。 - 【請求項２】前記プラスチックシートが気体、液体を通
過させる多孔質体であることを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載の導体ペースト充填方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11880387A JPH0682919B2 (ja) | 1987-05-18 | 1987-05-18 | 導体ペ−スト充填方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11880387A JPH0682919B2 (ja) | 1987-05-18 | 1987-05-18 | 導体ペ−スト充填方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63284893A JPS63284893A (ja) | 1988-11-22 |
| JPH0682919B2 true JPH0682919B2 (ja) | 1994-10-19 |
Family
ID=14745508
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11880387A Expired - Lifetime JPH0682919B2 (ja) | 1987-05-18 | 1987-05-18 | 導体ペ−スト充填方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0682919B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0777296B2 (ja) * | 1989-05-16 | 1995-08-16 | 富士通株式会社 | ビアの形成方法 |
| JP2504643B2 (ja) * | 1991-08-23 | 1996-06-05 | 株式会社日立製作所 | 導電性ペ―スト充填装置 |
| KR100558448B1 (ko) | 2003-12-05 | 2006-03-10 | 삼성전기주식회사 | 적층 세라믹 캐패시터 제조방법 |
| JP4961926B2 (ja) * | 2006-09-20 | 2012-06-27 | パナソニック株式会社 | 貫通孔へのペースト充填方法および装置 |
| JP6295560B2 (ja) * | 2013-09-13 | 2018-03-20 | 株式会社デンソー | 導電材料の充填方法および導電材料充填装置 |
-
1987
- 1987-05-18 JP JP11880387A patent/JPH0682919B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63284893A (ja) | 1988-11-22 |
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