JPH0669404U - 流体圧シリンダ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 クリーンルームに設置される生産設備の一構
成要素として用いられる流体圧シリンダについて、発埃
や流体漏れがあった場合にこれらを速やかに回収できる
ようにする。 【構成】 シリンダ本体１に長孔４を設け、シリンダ本
体１の内部に配置したピストン５，６とシリンダ本体１
の外部に配置したテーブル１８を長孔４内に配置したロ
ッド７を介して接続し、長孔４をシリンダ本体１の設置
面１ａ側に開口して真空吸引ポート４’とした。この真
空吸引ポート４’を真空引き装置に接続してこの真空引
き装置を作動させると、真空吸引ポート４’から真空引
き装置へ当該流体圧シリンダの作動により発生した粉埃
や当該流体圧シリンダから洩れた作動流体を回収するこ
とができる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、流体圧シリンダの改良に関する。本考案の流体圧シリンダは各種の 生産設備にその一構成要素として用いられる。

【０００２】

【従来の技術】

生産設備がクリーンルームに設置される場合、この生産設備の一構成要素とし て用いられる流体圧シリンダも、発埃や流体漏れがあった場合にこれらを速やか に回収できるものであることが望ましい。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら従来の流体圧シリンダは発埃や流体漏れを速やかに回収し得る構 造とはなっておらず、この点について改良が要求されている。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

本考案は以上の点に鑑み、上記従来技術にみられる問題を解消すべく案出され たものであって、この目的を達成するため、シリンダ本体に長孔を設け、前記シ リンダ本体の内部に配置したピストンと前記シリンダ本体の外部に配置したテー ブルを前記長孔内に配置したロッドを介して接続し、前記長孔を前記シリンダ本 体の設置面側に開口して真空吸引ポートとした流体圧シリンダを提供する。

【０００５】

【作用】

上記構成を有する本考案の流体圧シリンダは、真空吸引ポートを真空引き装置 に接続してこの真空引き装置を作動させ、これにより真空吸引ポートから真空引 き装置へ当該流体圧シリンダの作動により発生した粉埃や当該流体圧シリンダか ら洩れた作動流体を回収する。

【０００６】

【実施例】 つぎに本考案の実施例を図面にしたがって説明する。

【０００７】 図１ないし図４に示すように、箱形のシリンダ本体１の内部に一対のシリンダ 室２，３が水平にかつ直列に並べて設けられ、このシリンダ室２，３の間にシリ ンダ本体１の設置面（下面）１ａおよび反設置面（上面）１ｂに開口し、開口の 長手方向をシリンダ室２，３が並べられた方向と同一の方向に向けた長孔４が設 けられている。シリンダ室２，３と長孔４は互いに連通しており、長孔４は下方 に向けて真空吸引ポート４’とされている。シリンダ室２，３に一対のピストン ５，６が往復動自在に挿入され、このピストン５，６の間に中心線を垂直な方向 に向けたロッド７がピストン５，６に対して非接着のまま挟持されている。８は 長エンドカバー、９は短エンドカバー、１０と１１はＣリング、１２と１３はパ ッキン、１４と１５は圧力室である。

【０００８】 シリンダ本体１の側壁に圧力室１４，１５に連通する一対の圧力供給ポート１ ６，１７が設けられている。シリンダ本体１の上方にロッド７の上端に接続され てこのロッド７に従動するテーブル１８が配置されている。テーブル１８の下面 にその全長（図３の左右方向）に亙ってシリンダ本体１に突設した突部１ｃと嵌 合する凹部１８ａが設けられており、凹部１８ａの側壁に当該テーブル１８に組 み込まれた無限軌道式の循環ボールベアリング１９，２０の係合列が露出し、突 部１ｃの側壁に循環ボールベアリング１９，２０の係合列を転動自在に係合する 軌道溝２１，２２が設けられている。循環ボールベアリング１９，２０と軌道溝 ２１，２２は図４の方向からみて左右に一対ずつ設けられている。

【０００９】 上記構成を有する流体圧シリンダは、テーブル１８に図示しない工作機械等を 載置してこの工作機械等を直線的に往復動させる。すなわち、図３において左側 の一方の圧力室１４に空気圧等の流体圧を供給して右側の他方の圧力室１５から 流体圧を排出すると、ピストン５，６、ロッド７およびテーブル１８の四部品が 同時に右方向へ移動し、他方の圧力室１５に流体圧を供給して一方の圧力室１４ から流体圧を排出すると四部品が同時に左方向へ移動する。移動は循環ボールベ アリング１９，２０のボールが軌道溝２１，２２を転動することによって円滑に 案内され、移動は両方向ともロッド７が長孔４の内壁に当接することによって停 止せしめられる。

【００１０】 また図５に示すように、当該流体圧シリンダを設置する配管ブロック２３に予 め回収流路２４を設けておき、この回収流路２４を介して真空吸引ポート４’を 図示しない真空引き装置に接続する。そしてこの状態で真空引き装置を作動させ ることによって、当該流体圧シリンダの作動により発生した粉埃や当該流体圧シ リンダから洩れた作動流体を回収し、これらがクリーンルームを汚損するのを防 止する。尚、粉埃は主にベアリング１９，２０やピストン５，６の摺動によって 発生するものである。

【００１１】 シリンダ本体１の側面に設けられた一対の圧力ポート１６，１７は図示しない 継手に接続され、この継手を介して図示しない圧力供給源に接続されるが、シリ ンダ本体１の底面に今一組の圧力供給ポート２５，２６を設けておき、この二組 の圧力供給ポート１６，１７、２５，２６を選択的に使用するようにすると便利 である。この二組目の圧力供給ポート２５，２６は、図６ないし図８に示すよう に、シリンダ本体１を設置する配管ブロック２３の供給流路２７，２８に接続さ れ、この供給流路２７，２８を介して図示しない圧力供給源に接続される。使用 しない方の圧力供給ポート１６、１７、２５、２６にはボール式またネジ式のブ ランク栓２９，３０を詰めておく。３１と３２はシール用のパッキンである。

【００１２】

【考案の効果】

本考案は次の効果を奏する。すなわち、シリンダ本体に長孔を設け、シリンダ 本体の内部に配置したピストンとシリンダ本体の外部に配置したテーブルを長孔 内に配置したロッドを介して接続し、長孔をシリンダ本体の設置面側に開口して 真空吸引ポートとしたために、当該流体圧シリンダの作動により発生した粉埃や 当該流体圧シリンダから洩れた作動流体を回収し、これらがクリーンルームを汚 損するのを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例に係る流体圧シリンダの平面図

【図２】同流体圧シリンダの正面図

【図３】図１におけるＸ−Ｘ線断面図

【図４】図２におけるＹ−Ｙ線断面図

【図５】同流体圧シリンダと配管ブロックの断面図

【図６】同流体圧シリンダの他の使用例を示す断面図

【図７】同流体圧シリンダの底面図

【図８】同流体圧シリンダと配管ブロックの断面図

【符号の説明】

１ シリンダ本体 １ａ 設置面 １ｂ 反設置面 １ｃ 突部 ２，３ シリンダ室 ４ 長孔 ４’ 真空吸引ポート ５，６ ピストン ７ ロッド ８ 長エンドカバー ９ 短エンドカバー １０，１１ Ｃリング １２，１３，３１，３２ パッキン １４，１５ 圧力室 １６，１７，２５，２６ 圧力供給ポート １８ テーブル １８ａ 凹部 １９，２０ 循環ボールベアリング ２１，２２ 軌道溝 ２３ 配管ブロック ２４ 回収流路 ２７，２８ 供給流路 ２９，３０ ブランク栓

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 シリンダ本体（１）に長孔（４）を設
   け、前記シリンダ本体（１）の内部に配置したピストン
   （５）（６）と前記シリンダ本体（１）の外部に配置し
   たテーブル（１８）を前記長孔（４）内に配置したロッ
   ド（７）を介して接続し、前記長孔（４）を前記シリン
   ダ本体（１）の設置面（１ａ）側に開口して真空吸引ポ
   ート（４’）とした流体圧シリンダ。