JPH065472Y2 - 除振免震両用ダンパ - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、除振免震両用ダンパに関するものである。

〔従来の技術〕 地震から装置を守る従来の免震ダンパは、たとえは、第
２図に示すような構造のものが知られている。

第２図において、１１は建物などの固定床、１２は該固
定床１１の上面に固定されたベースプレート、１３は該
ベースプレート１２を底板とする容器に入れられた数万
ポイズの高粘性体、１４は該高粘性体１３に埋入された
スライディングプレート、１５は前記固定床１１に対向
して設けられた免震床、１６は該免震床１５に固定され
た金属製の外筒、１７は該外筒１６に挿入されて下部に
前記スライディングプレート１４を固定している内筒で
ある。そして、図示はしていないが、免震床１５は、地
震から保護する装置等を載置していて、適当な弾性装置
等を介して固定床１１に連結されている。

〔考案が解決しようとする課題〕

前述のように、従来の免震タンパは、地震のように振幅
の大きな振動に対しては有効であるが、外筒１６と内筒
１７の間の摺動は金属接触であるため、微振動に対して
は有効でないという問題点がある。

本考案は、このような問題点を解決しようとするもので
ある。すなわち、本考案は、免震ばかりでなく、微振動
を嫌う半導体製造装置等に対して除振も可能なダンパを
提供することを目的とするものである。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するため、本考案の除振免震両用ダンパ
は、固定床に固定されて高粘性体が入っている容器のベ
ースプレートと、前記高粘性体に埋入されたスライディ
ングプレートとを備え、かつ、前記固定床に対向して設
けられた除振免震両用床に固定された外筒と、この外筒
の内径よりも小さい外径を有して該外筒に非接触状態で
挿入されている内筒とを備え、しかも、前記外筒と内筒
の間に設けられて該外筒と内筒にゆるく接している非金
属製の弾性緩衝物を備え、さらに、前記スライディング
プレートと内筒を連結している球面ジョイントを備えて
いるものとした。

〔作用〕

本考案によれば、内筒が外筒に非接触状態で挿入されて
おり、かつ、外筒と内筒の間で非金属製の弾性緩衝物
が、ゆるく接しているため、固定床に微振動が生じた場
合に、前記弾性緩衝物の所で除振がなされ、またスライ
ディングプレートと内筒は球面ジョイントによって連結
されているため、地震時には、スライディングプレート
は水平移動のみで、傾いたりしないので、高粘性体のせ
ん断抵抗を有効に利用して免震が十分になされる。

〔実施例〕

第１図は本考案の一実施例を示している。

第１図において、１は建物などの固定床、２は該固定床
１の上面に固定されたベースプレート、３は該ベースプ
レート２を底板とする容器に入れられた数万ポイズの高
粘性体、４は該高粘性体３に埋入されたスライディング
プレート、５は前記固定床１に対向して設けられた除振
免震両用床、６は該除振免震両用床５に固定された金属
製の外筒、７は該外筒６の内径よりも小さな外径を有し
て該外筒６に非接触状態で挿入されている金属製の内
筒、８は該外筒６と内筒７の間に設けられて該外筒６と
内筒７にゆるく接しているゴムまたは合成樹脂製のＯリ
ングなどの非金属製の弾性緩衝物、９は前記スライディ
ングプレート４と内筒７を連結している公知の球面ジョ
イントである。そして、除振免震両用床５は、微振動と
地震から保護する装置等を載置していて、適当な弾性装
置等を介して固定床１に連結されている。

第１図に示すように構成された除振免震両用ダンパにお
いては、内筒７が外筒６に非接触状態で挿入されてお
り、かつ、外筒６と内筒７の間には非金属製の弾性緩衝
物８を有して該弾性緩衝物８が外筒６の内周面と内筒７
の外周面にゆるく接しているため、固定床１に微振動が
生じた場合に、外筒６と内筒７は接触することなく、弾
性緩衝物８の所で除振がなされ、微振動を嫌う半導体製
造装置等が保護される。またスライディングプレート４
と内筒７は球面ジョイント９を介して連結されているた
め、地震時に固定床１が横ゆれしたときに、スライディ
ングプレート４は水平移動のみで、傾いたりしないの
で、高粘性体３のせん断抵抗を有効に利用して免震が十
分になされる。

第３図は本考案のように、スライディングプレート４と
内筒７が球面ジョイント９で連結されている場合の作用
の説明図であり、第４図はスライディングプレート４と
内筒７が直接連結されている場合の作用の説明図であ
る。

図１に示したタイプのダンパの地震時の減衰力発生のメ
カニズムはスライディングプレート４とベースプレート
２の間のすきまの粘性体の抵抗によるものである。した
がって、スライディングプレート４が傾いた場合には有
効な粘性抵抗が発生しないことになるので、スライディ
ングプレート４を傾かないようにしなければならない。
しかし、本考案の場合、外筒６と内筒７の間に柔らかい
弾性緩衝物８をはさんでいるため、この間はガタがある
ような構造になっている。このため、地震時にはスライ
ディングプレート４部分が傾くことが考えられる。そこ
で、球面ジョイント９を用いることによって、傾けよう
とする力を下部のスライディング部に伝えない構造とし
ている。つまり、第４図ではスライディングプレート４
は傾くが、第３図では傾かない。

なおゴム製のＯリングなどからなる弾性緩衝物８は、地
震時以外のときに、外筒６と内筒７の径方向の間隔を維
持するためのもので、スライディングプレート４の静的
摩擦力より大きい復元力をもたせるようにしてある。

〔考案の効果〕

以上説明したように、本考案によれば、内筒が外筒に非
接触状態で挿入されており、かつ、外筒と内筒の間で非
金属製の弾性緩衝物が、ゆるく接して間隔を保持してい
るため、固定床に外部からの微振動が伝達された場合
に、前記弾性緩衝物の所で除振がなされ、またスライデ
ィングプレートと内筒は球面ジョイントを介して連結さ
れているため、地震時の横ゆれに対しては、スライディ
ングプレートは水平移動のみで傾いたりしないので、高
粘性体のせん断抵抗を有効に利用して免震が十分になさ
れる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示した一部切欠断面正面
図、第２図は従来の技術の一例を示した一部切欠断面正
面図、第３図はスライディングプレートと内筒が球面ジ
ョイントで連結されている場合の作用の説明図、第４図
はそれが球面ジョイントで連結されていない場合の作用
の説明図である。 １……固定床、２……ベースプレート、３……高粘性
体、４……スライディングプレート、５……除振免震両
用床、６……外筒、７……内筒、８……弾性緩衝物、９
……球面ジョイント。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】固定床に固定されて高粘性体が入っている
   容器のベースプレートと、前記高粘性体に埋入されたス
   ライディングプレートとを備え、かつ、前記固定床に対
   向して設けられた除振免震両用床に固定された外筒と、
   この外筒の内径よりも小さい外径を有して該外筒に非接
   触状態で挿入されている内筒とを備え、しかも、前記外
   筒と内筒の間に設けられて該外筒と内筒にゆるく接して
   いる非金属製の弾性緩衝物を備え、さらに、前記スライ
   ディングプレートと内筒を連結している球面ジョイント
   を備えていることを特徴とする、除振免震両用ダンパ。