JPH06508930A - コリオリ式計器及び測定回路 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 コリオリ式計器及びコリオリ式計器における測定方法並びに測定回路及び測定回 路における測定方法 本発明は、実例を挙げると、温度による測定誤差を実質的に除去するコリオリ式 質量流量計に係る装置及び方法に関するものであり、かかる質量流量計に設けら れる２つの別個の入力チャンネル回路間の特性の相違によって生じ得る測定誤差 を実質的に除去するものである。

２、従来技術の説明 現在、コリオリ式質量流量計は、種々のプロセス流体の質量流量率の正確な計測 手段として、種々の幅広い商業的用途に益々使用されてきている。

一般に、（１９８５年１月１日付けでジエー・イー・スミス（Ｊ、　Ｅ。

Ｓｍ１ｔｈ）ほかに発行され、本願の譲受人の所有に係る）合衆国特許第号第４ ．４９１．０２５号（以下、′　０２５スミス特許という）に述べられているよ うなコリオリ式質量流量計は、１または２の平行管路を備えている。各管路は、 典型的には、Ｕ字状の流路若しくは流管からなる。゛０２５スミス特許に示され ているように、各流路を作動すると、軸を中心とした振幅が生じ、基準回転フレ ーム（ｒｏｔａｔｉｏｎａｌ　ｆｒａｍｅ　ｏｆ　ｒｅｆｅｒｅｎｃｅ）を形成 する。Ｕ字状の流路にとって、この軸は、曲げ軸（ｂｅｎｄｉｎｇ　ａｘｉｓ） と呼ぶことができる。プロセス流体が振幅する流路の各々を流れるとき、流体の 移動により、流体速度及び流路の角速度の両方と直交するコリオリの力が反応的 に発生する。これらの反応的なコリオリの力は、流路を駆動する力と比べて非常 に小さなものであるが、なお、Ｕ字状の流路の曲げ軸に対して垂直なねじり軸を 中心として、前記流路にねじりを引き起こす。各流路に加えられるねじり量は、 流路を流れるプロセス流体の質量流量率に関係する。このねじりは、各流路が移 動する際の他の流路または固定基準点に対する完全な速度プロフィールを提供す べく、流路の一方または両方に取付けられた磁気的速度センサから得られる速度 信号を使用して、頻繁に測定される。別々の２つの管路からなるコリオリ式質量 流量計においては、各流路が音叉の分割された枝部のように振動するよう、両流 路は反対方向に作動される。この“音叉”動作は、有利なことに、さもなければ コリオリの力を遮断するであろう好ましくない振動の全てを実質的に消滅させる 。

かかるコリオリ式計器では、計器を通過する流体の質量流量率は、一般的に、流 路の一方の側方脚部に位置する一方の点が所定の位置（例えば、その振幅の中間 平面）を横切る瞬間から、流路の反対側の側方脚部に位置する対応する他方の点 がその対応する位置（例えば、その他方の点についての振幅の中間平面）を横切 る瞬間までに経過する時間間隔（いわゆる“Δビの値）に比例する。平行な２つ の流路（管路）からなるコリオリ式質量流量計にとって、この間隔は、一般に、 これらの流路を駆動する基本（共振）周波数において両流路に発生する速度信号 間の位相差に等しい。更に、各流路が振幅する共振周波数は、その流路の全質量 、即ち、空の流路自体の質量とその流路を流れる全流体の質量との和に依存する 。前記全質量は、流路を流れる流体の密度の変化に応じて変化するので、共振周 波数は、流体密度のあらゆる変化に伴い同様に変化し、これにより、流体密度の 変化の跡を追うために使用することができる。

これまで、業界では、両速度信号を少な（とも何らかのアナログ回路を介して処 理し、プロセス流体の質量流量に比例する出方信号を発生することが開示されて きた。特に、各速度センサに関する出方信号は、通常は、例えば、ゼロ（零位） 交差検出器（ｚｅｒｏ　ｃｒｏｓｓｉｎｇ　ｄｅｔｅｃｔｏｒ）　（比較器）を 後段に接続する積分器のような、別個の対応する入力チャンネル内に備えたアナ ログ回路を介して加えられる。この点に関しては、具体的には、合衆国特許第４ ．８７９．９１１号（１９８９年１１月１４日、エム・ジエー・ゾロツク（Ｉｌ 、　Ｊ、　Ｚｏｌｏｃｋ）に発行）、第４．８７２゜３５１号（１９８９年１０ 月１０８、ジェー・アールールエシ、＝Ｌ（Ｊ、　Ｒ。

Ｒｕｅｓｃｈ）に発行）、第４．８４３，８９０号（１９８９年７月４日、ニー ・エル・サムソン（Ａ、　Ｌ、　５ａＩｌｌｓｏｎ）に発行）、及び第４．　４ ２２．　３３８号（１９８３年１２月２７日、シｘ−ψイー・スミス（Ｊ、　Ｅ 、　５ｗ１ｔｈ）に発行）を参照されたい。なお、これら全ての特許は、また、 本願の譲受人の所有にかかるものである。これらの特許に示される種々のアプロ ーチにより、広範囲の用途において十分に正確な結果が得られる一方、これらの 文献に開示される計器は、公知のコリオリ式計器と同様に、やはり、その使用を 困難にする共通の欠点を有している。

具体的には、コリオリ式質量流量計は、両速度センサから発生される信号間にお ける非常に小さな相互チャンネル位相差（ｉｎｔｅｒ−ｃｈａｎｎｅｌ　ｐｈａ ｓｅ　ｄｅｆｆｅｒｅｎｃｅ）と実質上等しいΔｔの値を検出し、この差を質量 流量率に比例する信号に変換すべ（動作する。表面上は、Δｔの値は、時間差測 定により得られるものであるが、この値は、実際は、位相測定でもある。このよ うな時間差測定の使用は、速度センサ信号間に表れる位相差を正確に測定する方 法を提供するのに便利である。本願の譲受人により現在製造されているコリオリ 式質量流量計においては、この差は、最大流量で約１３Ｑｌｓｅｃに達する傾向 にある。コリオリ式質量流量計における各入力チャンネルは、その入力信号に対 しいくらかの内部位相遅延（ｉｎｔｅｒｎａｌ　ｐｈａｓｅ　ｄｅｌａｙ）を付 与する。この遅延量は、一般に非常に小さいものであるが、検出中の前記小さな 相互チャンネル位相差、即ち１３０１ｓｅｃ以下の位相差と比較した場合に、し ばしば重要な意味を持つことがある。現在利用可能なコリオリ式質量流量計は、 各入力チャンネルが、対応する速度信号に対し有限かつ一定量の位相遅延を付与 するという想定に基づくものである。これにより、これらのコリオリ式質量流量 計は、一般に、計器校正中に生じる真のゼロ流動（ｔｒｕｅ　ｚｅｒｏ　ｆｌｏ ｗｃｏｎｄｉｉｔｉｏｎ）条件で、相互チャンネル位相差（Δｔ）または指示さ れた質量流量のいずれかをまず測定する。その後、実際の流量を測定する一方、 これらの計器は、その結果得られる値を、何らかの方法で、測定されたΔｔまた は質量流量率の値のいずれかから適宜減算し、その後計器を流れるプロセス流体 について、表面上は正確な質量流量率値を発生する。

残念なことに、実用上、かかる想定は不正確であることが証明されている。まず 、各入力チャンネルは、しばしば、他方の入力チャンネルに対し、異なる量の内 部位相遅延を生じるばかりでなく、また、各入力チャンネルにより発生される位 相遅延は、温度に依存し、対応する温度変化にともない、一方の人力チャンネル と他方の入力チャンネルとの間で異なる変化をする。この温度変動性は、温度に よる相互チャンネル位相差を引き起こす。計器を通って流れる実際の流動の結果 束じる測定位相差（Δｔ）は比較的小さいので、温度誘発された相互チャンネル 位相差に起因する速度信号間の測定位相差における誤差は、ある場合は、重大な ものとなり得る。この誤差は、一般に、現在利用されているコリオリ式質量流量 計では考慮されていない。ある状況下では、この誤差は、顕著な温度依存誤差を 質量流量率測定に引き起こし、測定にある程度悪影響を与える。

この誤差を防止すべく、業界で周知の解決方法の一つとして、据付パイプ式（ｉ ｎｓｔａｌｌｅｄ　ｐｉｐｅｄ）のコリオリ式質量流量計を、その電気的構成を 含めて、温度制御された遮蔽手段（ｅｎｃｌｏｓｕｒｅ）で覆うものがある。こ の方法は、計器が外部の温度変化に晒されることを防止し、計器をその動作中に 相対的に一定温度に維持するものであるが、計器の据付コストを大いに増加する ため、全ての用途に適しているとはいえない。よって、据付コストに関心がおか れるような用途では、この方法は一般に採用されない。具体的には、特に、計器 が室内に置かれ、広範な温度変化に晒されないような用途乃至場所では、温度誘 発された相互チャンネル位相差が引き起こす測定誤差は、一般的には予期される ものの、非常に小さく、かつ、比較的一定となる傾向にある。したがって、この 誤差は、通常は使用者にとって許容範囲にある。残念なことに、計器が温度制御 された遮蔽手段に収容されないような用途、例えば、計器が動作温度において広 範な変動を被ることが予想される室外据付のような場合は、かかる誤差は、一般 に異なるものとなり、重大なものとなり得るため、考慮に入れる必要がある。

温度誘発された相互チャンネル位相差から生じる誤差以外にも、多くの現在利用 可能なコリオリ式質量流量計には、不具合なことに、温度に関係して測定を不正 確にする他の原因がある。特に、コリオリ式質量流量計は、一般に、流路の温度 を測定すると共に、温度によって流路の弾性が変化することから、流路の現在温 度に基づき、計器因子の値を補正する。この計器因子は、補正された後、引続い て、相互チャンネル位相差（Δｔ）の値を質量流量に比例的に関係付けるために 使用される。流路温度は、流路の外部表面に取り付けられる、白金ＲＴＤ　（抵 抗温度検出器）のような適当なアナログ式温度センサの出力をデジタル化するこ とにより測定される。デジタル出力は、通常は、しばしば電圧周波数（Ｖ／Ｆ） 変換器から発生される周波数信号の形を取り、かかる周波数信号は、所定のタイ ミング時間にわたって合計（計数）され、流路温度に比例する累積デジタル値を 発生する。残念なことに、実用上、Ｖ／Ｆ変換器は、流路温度測定において、通 常は、周囲温度の変化の度合によって、数度程度の流路温度の測定誤差に至る可 能性のある温度ドリフト（ｄｒｉｆｔ）をなにがしか呈する。この誤差は、今度 は、質量流量率に悪影響を与える。

コリオリ式質量流量計の入力チャンネルの特性の温度依存変化を表面上取扱うべ （、業界で提案される解決方法として、合州国特許第４，８１７．４４８号（１ ９８９年４月４日、ジエー・ダブリュ・バーガートン０．１．　Ｈａｒｇａｒｔ ｅｎ）に発行され、かつ、本願の譲受人により所有されるものであり、以下“　 ４４８バーガートンほか特許という）に開示されるものがある。この特許には、 コリオリ式質量流量計に使用される２チャンネル切換入力回路が開示されている 。特に、この回路は、２極２連（ｔｗｏ−ｐｏｌａｒ　ｔｗｏ−ｔｈｒｏｗ）　 Ｆ　Ｅ　Ｔ　（電界効果トランジスタ）スイッチを、速度センサの出力と両チャ ンネルへの入力との間に配置している。一方の位置で、ＦＥＴスイッチは、左右 の速度センサを左右のチャンネルの対応する入力へとそれぞれ接続すると共に、 他方の位置では、これらの接続が反転される。このＦＥＴスイッチは、流路の運 動の連続する各サイクル毎に、その位置を変更すべく動作される。このようにし て、各速度センサの出力は、両チャンネルに交互に連続して加えられる。２サイ クルの時間の間、両チャンネルに加えられる速度波形に関して適正な時間間隔が 測定され、その後、それらの時間間隔が平均化されて、各個別のチャンネルに起 因する誤差を除去した単一の時間間隔値が発生される。

この結果得られる時間間隔値は、その後、計器を流れる質量流量率を決定する際 に使用される。

この解決方法は、確かに、相互チャンネル位相差を実質的に除去するが、その使 い勝手がなにがしか制限されるという欠点を有する。特に、。

４４８バーガートンほか特許に開示される装置の入力回路は、積分器を備えてい ない。かかる積分器により提供されるはずの低域フィルタ機能が全くないために 、これらの入力回路はノイズの影響を受け易い。残念なことに、この特許に開示 されるスイッチングの構成は、入力回路のスイッチ部分に積分器を備えることを 許容していないため、ノイズ防護のため、積分器をＦＥＴスイッチの後段に置く 必要がある。残念なことに、かかる場所では、積分器に固有の位相遅延の補償は 、多少は可能だとしても、容易に行えるものではない。積分器は、不具合なこと に、入力回路における位相遅延の最も大きな原因となる傾向にあるため、かよう な積分器を設けることは、測定されたΔを値に、誤差成分、即ち、補償されない 位相遅延を付加することになる。よって、その結果としての測定流量率の値は、 誤差成分を含むことになる。したがって、＋　４４８バーガートンほか特許にあ る解決方法は、比較的ノイズを免れた環境に限定的に適用できるものである。

よって、業界では、周囲温度の変化に対し実質的に感度が低く、温度による好ま しくない影響を顕著に示さず、かつ、顕著なノイズ防護性を示すことができる正 確な流量及び流量率の出力値を供給するコリオリ式質量流量計に対する要求があ る。かかる計器は、周囲温度のかなり広範な変化に対し、もしあるにしても、無 視できる程度の温度誘発された測定誤差しか示さない。その結果、かかる計器は 、広範囲の用途において、高度に正確な流量測定に使用でき、特に、温度制御さ れた遮蔽手段内に収容する必要なしに使用できる。有利なことに、かかる計器に より提供されるより高い測定精度、及び、これに付随する据付コストの削減によ り、計器の利用範囲が広がるものと思われる。

発明の概要 本発明の目的は、周囲温度の変化に対し実質的に感度が低く、正確な出力測定を 可能にするコリオリ式買置流量計を提供することにある。

具体的な目的は、全くではないにせよ、温度制御された遮蔽手段の必要性を実質 的に無くしたコリオリ式質量流量計を提供することにある。

別の具体的な目的は、測定流量及び流量率の値が、さもなくばスイッチング過渡 現象から生しるような顕著な誤差を、多少はあるにしても、含むことのないコリ オリ式質量流量計を提供することにある。

上記及び他の目的は、本発明の開示に従い、各チャンネルを、特に比較的短い間 隔で、（ａ）当該チャンネルの内部位相遅延の測定と、（ｂ）未処理の流動ベー スのΔを値（単数または複数）の測定との間で、周期動作させることにより達成 される。前記未処理のΔを値は、その後、典型的には位相遅延の測定値をそこか ら減算することにより補償され、補正Δを値を発生する。質量流量率の現在値は 、その後、従来のように未処理のΔを値を使用するのではなく、補正Δを値を使 用することにより決定される。

具体的には、従来のコリオリ式買置流量計で一般に使用されるものと同様の、２ つの同一の入力チャンネル（即ち、左側及び右側のチャンネル）を、２対の入力 チャンネル（即ち、対Ａ−Ｃ及びＢ−Ｃ）により置換え、各チャンネル対により 示される現在の内部位相遅延を測定するようにする。両チャンネル対の各々は、 自らの内部位相遅延の測定、即ち、“ゼロ（ｔｌ、”モードと、実際の流動条件 下でのΔを値の測定、即ち、“測定”モードとの間で周期動作される。周期時間 が短い場合、現在の位相遅延値は、その時に各チャンネル対の特性に生じている いかなる温度誘発変化をも正確に反映する。一旦、各対についての現在の内部位 相遅延値が分かると、その値は、その後、当該対により当該対についての次回の 測定モード中に順次発生される流動ベースのΔを値を補正するのに使用される。

各チャンネル対により提供される流動ベースのΔを測定値は、当該固有の対に伴 う現在の内部位相遅延について補正されるので、これらのΔを値は、計器の周囲 温度及びその変化にかかわらず、いかなる顕著な温度誘発誤差成分をも含まない 。よって、本発明に従い構成されたコリオリ式計器は、有利にも、広範な温度変 化を伴う環境において、基本的に温度変化による精度低下を伴うことなく使用で きる。

本発明の好適実施例の開示によれば、本発明の流量測定回路は、３つの同様の別 個の入力チャンネル（即ち、チャンネルＡ、Ｂ及びＣ）を利用する。これら３つ のチャンネルのうちの２対の各々、即ち、対Ａ−Ｃ及びＢ−Ｃについて、相互チ ャンネル位相差測定値が、連続的、かつ、交互に取られる。チャンネルＣは、基 準チャンネルとして機能し、２つの速度波形センサ信号のうちの一つ（好適実施 例用に特定すると、左側の速度センサ信号）を、その入力信号として継続的に供 給される。ゼロモード及び測定モードの両方が、１対のチャンネルにおける相互 チャンネル位相差の測定を含む一方、これらのモード間の主要な相違は、以下の 通りである。即ち、ゼロモードでは、同一の速度センサ信号が当該対の両チャン ネルに印加され、結果的な相互チャンネル位相差測定値は、当該対の内部位相遅 延の測定値となる。一方、測定モードでは、左右の速度信号が当該対の異なる対 応するチャンネルに印加され、補正はされていないものの、現在の流動ベースの Δを測定値を提供し、それ以降、現在の質量流量及び質量流量率の値を決定する 際に使用する。相互チャンネル位相差（Δｔ）の測定値は、両モードの間に取ら れるが、説明を簡単にして混乱を避けるため、これらの値をその発生により区別 する。

ゼロモードの間に発生する位相測定値は、相互チャンネル位相差測定値といい、 測定モードの間に発生するものは、Δを値という。

具体的には、ゼロモードで動作するいかなるチャンネル対、例えば、対Ａ−Ｃに ついても、同一の、即ち、左側の速度センサ信号が当該対の両チャンネルの入力 に印加される。相互チャンネル位相差測定値は、その後、いわゆる“ゼロ化”時 間の間、連続的、かつ、反復的に取られ、かかる時間中に平均化される。理論的 には、当該対の両チャンネルが同一の位相遅延を呈する場合、即ち、チャンネル Ａの位相遅延が基準チャンネルＣのそれと同一の場合、結果的な相互チャンネル 位相差測定値は、全てゼロと等しくなる。しかし、実際には、いかなるときにも 、全て３つのチャンネルは、通常は、異なる内部位相遅延を有する。にもかかわ らず、各対の位相遅延は、同一の基準チャンネル、即ち、チャンネルＣに関して 測定されるので、２つの対の間の位相遅延におけるいかなる差も、チャンネルＡ 及び８間に発生する内部位相遅延における差により引起こされる。一旦、“ゼロ 化”時間が終了すると、当該対の非基準チャンネルへの入力は、他の速度センサ 信号、即ち、右側の速度センサ信号に切換えられる。その後、当該対が、流動ベ ースのΔを値を測定する“測定”モードで動作する前に、有限な時間、即ち、い わゆる°切換”時間を含む時間の経過が許容される。切換時間は、全ての結果的 な切換過渡現象が安定するよう、十分長いものとされる。

１対のチャンネル、例えば、Ａ−Ｃがそのゼロモードで動作する間、他方の対、 例えば、Ｂ−Ｃは、その測定モードで動作して、継続的な流量計測を提供する。

いかなるチャンネル対についても、その測定モード中に得られる連続する流動ベ ースのΔを値の個々のものが、典型的には減算により、前回のゼロモードの間に 当該チャンネル対について測定された内部位相遅延の最も最近の値によって補償 される。

一方のチャンネル対が測定モードで動作する時間、即ち、測定時間は、他方の対 がゼロモードで動作する時間の全体と等しい。この後者の時間は、後者のチャン ネルが、その非基準チャンネルの入力を右側から左側の速度センサ信号に切換え ると共に、最終的に、左側から再度右側の速度センサ信号に切換える時間を含む 。

測定時間の終了時に、チャンネル対は、単純に、そのモードを切換える。例えば 、チャンネル対Ｂ−Ｃは、最初は、その非基準チャンネルの入力を、右側から左 側の速度センサ信号に切換え、チャンネル対Ａ−Ｃは、流動ベースのΔｔの測定 を開始する。一旦、この入力切換が完了すると、チャンネル対Ｂ−Ｃは、その後 、ゼロ化を受持ち、続いて、チャンネルが反対方向に切り替えられる。なお、こ のとき、チャンネル対Ａ−Ｃは、測定モード等を維持して、以降の周期動作を行 う。

更に、本発明の開示によれば、抵抗温度検出器（ＲＴ　Ｄ）により提供される流 路温度の測定値における温度誘発誤差、特に、Ｖ／Ｆ変換器における温度ドリフ トに伴う誤差も、有利なことに、除去される。具体的には、これらの誤差を除去 するために、ＲＴＤ電圧に加えて、２つの基準電圧が、Ｖ／Ｆ変換器を介して、 選択的、かつ、継続的に、計数の形で周波数値に変換され、その後、計数周波数 値と測定流路温度との関係を示す線形関係、特に、比例因子を画定するために使 用される。そして、ＲＴＤ電圧についての計数種は数値をこの因子で単純に乗算 することにより、対応する測定流路温度値が得られる。基準電圧は、もしあるに しても、温度変動に伴い顕著には変化せず、各々が、Ｖ／Ｆ変換器を介して、比 較的短い周期（例えば、０．　８秒のオーダ）で反復的に変換されるため、Ｖ／ Ｆ変換器により発生する温度ドリフトのいかなるものも、これらの基準電圧自身 についての計数周波数値に正確に反映される。温度ドリフトは、側基準電圧及び ＲＴＤ電圧についての計数値に等しく影響を与えるが、それらの間の関係は変え ないので、比例因子は、ＲＴＤ電圧についての計数周波数値で乗算した場合、Ｖ ／Ｆ変換器により発生するいかなる温度ドリフトからも実質的に独立した真の温 度値となる。

測定温度における温度誘発誤差を除去することにより、計器因子は、流路温度の 変化を正確に反映するよう、適宜補正される。

更に、本発明の計器は、計器構成中に得られる非流動Δを測定値の数に基づき機 械的零位の現在値（即ち、計器のゼロ流動オフセット値）を決定する一方、本発 明の特徴は、これらの非流動Δを測定値のノイズが十分に低い場合のみ、前記機 械的零位の現在値を使用し、その他の場合はその値を無視することにある。非流 動Δを測定値の数は、３つの因子のいずれかにより管理される。即ち、（ａ）こ れらの測定値の標準偏差が収束限界末滴となる全てのとき、（ｂ）ユーザが機械 的零位処理を手動により終了する全てのとき、及び、（ｃ）かかる測定値が、所 定の最大数取られた場合、である。

図面の簡単な説明 本発明の開示は、後述する詳細な説明を、添付図面と共に考慮することにより明 瞭に理解されるであろう。図において、図１は本発明の一実施例のコリオリ式質 量流量計測装置５を示す全体図である。

図２は図１に示す周知の計器回路２０を詳細に示すブロック図である。

図３は図３Ａ及び３Ｂの図面用紙の正しい配置状態を示す。

図３Ａは及び３Ｂは本発明の一実施例による流量測定回路３０の好適事例の詳細 なブロック図を共同して示す。

図４は図４Ａ及び４Ｂの図面用紙の正しい配置状態を示す。

図４Ａ及び４Ｂは図３Ａ及び３Ｂに示す流量測定回路３０におけるチャンネル対 Ａ−Ｃ及びＢ−Ｃにより遂行される動作のタイミング図を共同して示す。

図５は図３Ａ及び３Ｂに示す流量測定回路３０内に設けられる回路７０の状態表 （ｓｔａｔｅ　ｔａｂｌｅ）を示す。

図６は図３Ａ及び３Ｂに示す流量測定回路３０内に設けたマイクロプロセッサ８ ０により実行される流量測定基本メインループ６００の簡略化フローチャートを 示す。

図７は図７Ａ及び７Ｂの図面用紙の正しい配置状態を示す。

図７Ａ及び７Ｂは図６Ａ及び６Ｂに示すメインループ６００の一部として実行さ れる零位（ゼロ）決定（ｚｅｒｏ　ｄｅｔｅｒｍｉｎｉｎｇ）ルーチン７００の フローチャートを共同して示す。

図８は図８Ａ及び８Ｂの図面用紙の正しい配置状態を示す。

図８Ａ及び８Ｂは図７Ａ及び７Ｂに示す零位決定ルーチン７００の一部として実 行さｔする機械的零位（ＭＥＣＨＡＮＩＣＡＬ　ＺＥＲＯ）ルーチン８００のフ ローチャートを共同して示す。

図９は、機械的零位（ゼロ）処理中に得られる測定Δを値の標準偏差、即ちσΔ ｔにおいて、各対応する範囲で行われる零位（ゼロ化）動作を概略的に示す。

図１０は機械的零位（ゼロ）値として許容可能な範囲及び許容不能な範囲を概略 的に示す。

図１１は、図３Ａ及び３Ｂに示す本発明の流量測定回路３０内に設けたマイクロ プロセッサ８０により、周期的割込ベースで実行されるＲＴＤ温度処理ルーチン １１００を示すフローチャートである。

理解を容易にすべく、適切な場合は、各図について共通な同一要素を示すため同 一の参照番号を使用する。

詳細な説明 以下の説明を読めば、当業者であれば、本発明の技術が、多重アナログ入力チャ ンネルを利用して多重入力を測定する広範囲の回路に具体化できることを、容易 に理解するであろう。有利なことに、本発明を使用すれば、さもなくば個々のチ ャンネル間で生じると共に、例えば、内部のアナログ回路に異なる悪影響を及ぼ す温度、時間の経過及び／または他の現象に起因する特性の差から生じるような 誤差は、全てではないにせよ、実質的に除去される。勿論、計器が、流量、流量 率、密度または他のパラメータを計測するかどうかにかかわらず、どのようなコ リオリ式質量流量計をもかかる目的に使用できる。にもかかわらず、説明を簡明 にすべく、本発明の入力回路は、具体的には質量流量率（ＩＩｌａｓｓ　ｆｌｏ ｗ　ｒａｔｅ）及び合計質量流量（ｔｏｔａｌｉｚｅｄ　ｌｌ１ａｓｓ　ｆｌｏ ｗ）を測定する２流路（管路）コリオリ式質量流量計に関連して説明する。

図１はコリオリ式質量流量計測装置５を示す全体図である。

図に示すように、装置５は、２つの基本要素、即ち、コリオリ式計器アセンブリ ー０及び計器回路２０からなる。計器アセンブリー０は、所望のプロセス流体の 質量流量率を測定する。計器回路２０は、リード線１００を介して計器アセンブ リー０に接続され、図示の例では、質量流量率及び合計質量流量に関する情報を 提供する。質量流量率情報は、周波数の形で、かつ、目盛化パルス（ｓｃａｌｅ ｄ　ｐｕｌｓｅ）の形で、リード線２６を介して供給される。更に、質量流量率 情報は、また、下流のプロセス制御及び／または計測装置への接続を容易にすべ く、４−４−２Ｏのアナログ信号の形で、リード線２６を介して供給される。

コリオリ式計器アセンブリー０は、図に示すように、一対のマニホルド１１０及 び１１０゛　と、管状部材１５０と、一対の平行な流路（チューブ）１３０及び １３０°　と、駆動機構１８０と、一対の速度検出コイル１６０　及び１６０Ｒ と、一対の永久磁石１７０Ｌ及び１７０Ｒとを具備する。流路１３０及び１３０ ′は、略し字状をなし、その端部を流路取付ブロック１２０及び１２０゛に取付 けている。流路取付ブロック１２０．１２０’　は、それぞれマニホルド１１０ ．１１０’　に固定されている。両流路１３０．１３０’　には、感圧継手（ｐ ｒｅｓｓｕｒｅ　５ｅｎｓｉｔｉｖｅｊｏｉｎｔ）は設けられていない。

図１に示すように、流路１３０及び１３０′の側方脚部１３１．１３１′、１３ ４及び１３４′は、流路取付ブロック１２０及び１２０′に固定して取付けられ ると共に、これらの流路取付ブロック１２０及び１２０′　は、マニホルド１１ ０及び１１ｏ゛に固定して取付けられている。

これにより、コリオリ式計器アセンブリ１ｏを通過する連続的な閉流路が形成さ れる。具体的には、計器アセンブリ１ｏを、入口端１０１及び出口端１０１′を 介して、計測中のプロセス流体を移送する流路システム（図示路）に接続する場 合、流体は、マニホルド１１０の入口端１゜１内のオリフィスを介して計器内に 流入し、その内部の断面を徐々に変化させる通路を介して、流路取付ブロック１ ２０へ導入される。流体は、ここで分割されて、流路１３０及び１３ｏ゛により 連絡される。プロセス流体は、流路１３０及び１３ｏ゛を出るときに、流路取付 ブロック１２０’内で単一の流れとなるよう再合流され、その後、マニホルド１ １０′へと連絡される。点線１０５で示すように、マニホルド１１ｏ°内におい て、流体は、マニホルド１１０内の通路と同様に断面を徐々に変化させる通路を 介して、出口端１０１′内のオリフィスへと流動する。

流体は、出口端１０１°で前記流路システムへと再流入する。管状部材１５０は 、いかなる流体の通路となることもない。その代わり、管状部材１５０は、マニ ホルド１１０及び１１０′を軸方向に整合させると共に、マニホルド１１０及び １１０°への流路取付ブロック１２０及び１２０゛並びに流路１３０及び１３ｏ °の取付を容易にすべく、マニホルド１１０及び１１０′の間隔を所定量に維持 すべく機能する。

Ｕ字状の流路１３０及び１３０’　は、曲げ軸ｗ−ｗ及ヒｗ’　−ｗ’　＋、： 関する慣性モーメント及びばね定数がそれぞれ実質的に同一となるよう、適宜選 択して、流路取り付はブロック１２０及び１２ｏ°に適切に取付ける。これらの 曲げ軸Ｗ−Ｗ及びｗ’　−ｗ’　は、Ｕ字状の流路１３０及び１３０′の側方脚 部１３１．１３１’、１３４及び１３４”に対して直交して配向され、各流路取 付ブロック１．２０及び１２０′の近傍に配置されている。Ｕ字状の流路１３０ 及び１３ｏ°は、流路取付ブロック１２０及び１２０°から基本的に平行に外方 へと延び、それらの曲げ軸Ｗ−Ｗ及びｗ’　−ｗ’　に関し実質的に同一の慣性 モーメント及び同一のばね定数を有している。流路１３０及び１３ｏ°のばね定 数は温度と共に変化するため、抵抗温度検出器（ＲＴＤ）１９０　（典型的には 白金ＲＴＤ装置）が、流路１３０及び１３０’　の一方１．：、、：テハ流路１ ３ｏ。

に取付けられ、その流路１３ｏ゛の温度を継続して測定する。流路１３０゛の温 度、ひいては、内部を流れる所定の電流により抵抗温度検出器（ＲＴＤ）１９０ に現れる電圧は、流路１３０′を通過する流体の温度により左右される。抵抗温 度検出器（ＲＴＤ）１９０に現れる温度依存電圧は、周知の方法で、流路温度の いがなる変化に対してもばね定数の値を適正に補償するよう計器回路２０により 使用される。抵抗温度検出器（ＲＴＤ）１９０は、リード線１９５を介して計器 回路２ｏに接続されている。

これらの両流路１３０及び１３０′は、典型的には正弦波で、各々の曲げ紬Ｗ− Ｗ及びｗ’　−ｗ’　を中心として、反対方向に、がっ、基本的にそれらに同一 の共振周波数で駆動される。このように、両流路１３０及び１３０゛は、音叉の 分岐部（ｔｉｎｅｓ）と同様にして振動する。駆動機構１８０は、流路１３０及 び１３０゛に振動駆動力を付与する。この駆動機構１８０は、両流路１３０及び １３０°　に同一周波数の正弦波振動を付与する多くの周知の装置の一つより構 成することができ、例えば、図示の流路１３０°に取付けられた磁石と、図示の 流路１３０に取付けられ、交流電流が通過する対向コイルより構成することがで きる。駆動機構１８０には、リード線１８５を介して計器回路２ｏより適当な駆 動信号が印加される。

これらの流路１３０及び１３０′を反対方向に駆動する間、流体が両流路１３０ 及び１３０°を通って流れると、コリオリの力が各流路１３０、　１３０’の隣 接する側方脚部１３１及び１３１°または１３４及び１３４′に沿って、かつ、 反対方向に発生する。即ち、側方脚部１３１に発生するコリオリの力は、側方脚 部１３１′に発生するコリオリのカと反対方向となる。流体が流路１３ｏ及び１ ３ｏ゛内を基本的に同一方向に平行して流れるにもかかわらず、（所定の振幅で ）振動する流路１３０及び１３０゛の角速度ベクトルは、基本的に平行方向にで はあるが、反対方向に位置するということにより、かかる現象が発生する。した がって、コリオリの力の結果として、両流路１３０及び１３０′の２分の１の振 動サイクルの間、側方脚部１３１及び１３１′は、駆動機構１８０から流路１３ ０及び１３０′に発生する振動運動のみによって側方脚部１３１及び１３１゛間 の距離が最小となる場合よりも、更に互いに接近するようねじりを加えられる。

次の２分の１サイクルの間、上記のように発生したコリオリの力は、駆動機構１ ８ｏから流路１３０及び１３０′に発生する振動運動のみによって側方脚部１３ １及び１３１゛間の距離が最大となる場合よりも、更に互いに離間するよう側方 脚部１３１及び１３１°にねじりを加える。

流路１３０及び１３０′の振動中、他方の対の側方脚部より一層互いに接近する よう付勢される一方の対の隣接する側方脚部は、他方の対の側方脚部の速度がゼ ロ交差する前、その速度がゼロ交差したときに、移動終点に到達する。一方の対 の隣接する側方脚部が移動終点に達する瞬間から、他方の対の側方脚部、即ち、 更に離間するよう付勢される対の側方脚部がその移動終点に到達する瞬間まで継 続する時間間隔（本文中では、相互チャンネル位相差、時間差または単に“Δｔ ”値という）は、実質的に、計器アセンブリー０を通って流れる流体の質量流量 率に比例する。平行通路型コリオリ式質量流量計の動作原理についての、上記の ものより一層詳細な説明については、合衆国特許第４．４９１．０２５号（１９ ８５年１月１日、ジエー・イー・スミス（Ｊ、　Ｅ、　Ｓ＋ｏｉｔｈ）に発行） を参照されたい。

時間間隔、Ｖｔを計測すべく、流路１３０及び１３０°のいずれか一方の自由端 近傍には、速度検出コイル１６０　及び１６０，７＞（取付けられると共に、他 方の流路１３０，１３０’　の自由端近傍には永久磁石１７０、及び１７０−（ 取付けられている。永久磁石１７０．及び１７０、は、各永久磁石１７０Ｌ、１ ７０Ｒを取巻くと共に、磁界が本質的に均一である体積空間中に、前記速度検出 コイル１６０Ｌ、１６０Ｒを位置させるよう配置される。この構成により、速度 検出コイル１６０Ｌ及び１６０Ｒから発生される電気信号出力により、流路１３ ０及び１３０゜の移動行程全体の速度プロフィールが得られ、また、前記電気信 号出力は、多くの周知の方法のいずれかにより、前記時間間隔及び計器を通過す る流体の質量流量率を決定すべく処理可能である。特に、速度検出コイル１６０ 　及び１６０Ｒは左右の速度信号を発生し、それらの速度信り 号はリード線１６５．及び１６５Ｒにそれぞれ現れる。こうして、速度検出コイ ル１６０　及び１６０Ｒ並びに対応する永久磁石１７０．及び１７０Ｒは、それ ぞれ、左右の速度センサを構成する。前記時間間隔Ｖｔは、表面上は時差測定に より得られるけれども、時間間隔Ｖｔは、実際は位相測定である。こうした時差 測定の利用により、左右の速度センサ信号間で生じている筈の位相差を正確に測 定する方法が提供される。

注記のように、計器回路２０は、リード線１９５に現れるＲＴＤ　（抵抗温度検 出器）信号、並びに、リード線１６５　及び１６５Ｒに現れるし 左右の速度信号を入力として受取る。計器回路２０は、また、注記のように、リ ード線１８５への駆動信号を発生する。リード線１６５２．１６５　１８５及び １９５は、集合的にリード線１００という。計器口Ｒゝ 路２０は、左右の速度信号の両方及びＲＴＤ信号を処理して、計器アセンブリー ０を通って流れる流体の質量流量率及び合計質量流量を決定する。この質量流量 率は、計器回路２０により、４〜２０＋＋＋Ａのアナログ信号の形で、リード線 ２６内の関連回線に供給される。質量流量率の情報は、また、下流の装置へ接続 するリード線２６内の適当な回線に、周波数の形で（典型的には、最大０〜１Ｑ ＫＨｚの範囲で）供給される。

公知の計器回路２０のブロック図を図２に示す。ここで、図示のように、計器回 路２０は、流量測定回路２３と、流路（流管）駆動回路２７と、ディスプレイ２ ９より構成される。

図２に示すように、流路駆動回路２７は、リード線１８５を介して、駆動機構１ ８０に、適正に交互に反復された、または、パルス化された駆動信号を供給する 。この流路駆動回路２７は、駆動信号をリード線１６５　及び２５に現れる左側 の速度信号と同期させる。流路駆動回路２７は、動作中に、両流路（流管）を、 基本共振周波数で反対方向へ正弦波振動運動するよう維持する。業界で知られる ように、この周波数は、流路自身の種々の特徴及び流路を流れるプロセス流体の 密度を含む数々の因子に左右される。流路駆動回路２７は、業界で周知であり、 その具体的な実施は、本発明のいかなる部分をも構成しないので、この流路駆動 回路２７は、ここでは、これ以上詳細に説明しない。この点に関しては、合衆国 特許第５．００９，１０９号（１９９１年４月２３日、ピー・カロティ（ｐ、［ ａｌｏｔａｙ）ほかに発行）、第４，９３４．１９６号（１９９０年６月１９日 、ピー６０７−）（Ｐ、　Ｒｏｍａｎｏ）に発行）、及び、第４゜８７６．８７ ９号（１９８９年１０月３１日、ジエー・ルエシ−Ｌ（Ｊ、　Ｒｕｅｓｃｈ）に 発行）を参照されたい。これらは全て、本願の譲受人により所有され、流路駆動 回路に関する異なる実施例について記述するものである。

流量測定回路２３は、リード線１９５に現れるＲＴＤ信号と共に、リード線１６ ５　及び１６５Ｒに現れる左右の速度信号を、周知の方法により、それぞれ処理 して、計器アセンブリー０を通過するプロセス流体の質量流量率及び合計質量流 量を決定する。結果として得られる質量流量率情報は、その他の下流のプロセス 制御装置（図示路）への接続を容易にするために、４〜２０ｍＡの出力信号とし てリード線２６３を介して供給されると共に、遠隔積算計（ｒｅｍｏｔｅ　ｔｏ ｔａｌｉｚｅｒ）　（図示路）への接続を容易にするために、目盛化（ｓｃａｌ ｅｄ）周波数信号としてリード線２６２を介して供給される。リード線２６２及 び２６３に現れる信号は、図１に示すリード線２６に集合的に現れるプロセス信 号の一部を構成する。

リード線２６内の他のリード線（特に図示しない）は、他のプロセスパラメータ と同様に、合計流量情報を、適当なディスプレイ、遠隔測定装置及び／または下 流の処理装置への接続用に、デジタル信号の形で供給する。

流量測定回路２３が質量流量率及び合計流量情報を発生するための方法は、当業 者にとって周知であるので、本発明と密接な関係のある回路構成部分についての み、以下に説明する。この点に関し、流量測定回路２３は、２つの別個の入力チ ャンネル、即ち、左側のチャンネル２０２及び右側のチャンネル２１２を備える 。各チャンネル２０２．２１２は、積分器２０６，２１．６と、２つのゼロ交差 検出器（ｚｅｒｏ　ｃｒｏｓｓｉｎｇ　ｄｅｔｅｃｔｏｒ）　２０８．２１８と を備える。両チャンネル２０２．２１２内では、左右の速度信号が、実際には低 域フィルタを構成する積分器２０６及び２１６にそれぞれ印加される。その結果 これらの積分器２０６及び２１６から得られる出力は、ゼロ交差検出器（実際に は比較器）２０８及び２１８に印加される。各ゼロ交差検出器２０８，２１８は 、対応する積分速度信号が、所定の小さな正または負の電圧レベル、例えば±Ｖ により表される電圧ウィンド（ｖｏｌｔａｇｅ　ｗｉｎｄｏｗ）を超えたときは 、常に、レベル変更を行う。両ゼロ交差検出器２０８及び２１８の出力は、これ らの出力における対応する変化間で生じるタイミング間隔を、クロックパルスの 計数により測定すべく、カウンタ２２０に制御信号として供給される。この間隔 は、周知のΔを値であり、プロセス流体の質量流量率と共に変化する。計数して 得られた値は、処理回路２３５に入力データとして並列に印加される。更に、抵 抗温度検出器（ＲＴＤ）１９０は、ＲＴＤ入力回路２２４の入力に接続されてい る。ＲＴＤ入力回路２２４は、一定の駆動電流を抵抗温度検出器（ＲＴＤ）１９ ０に供給すると共に、抵抗温度検出器（ＲＴＤ）１９０に現れる電圧を線形化し 、この電圧を、電圧周波数ｆｖ／Ｆ）変換器２２６を使用して、ＲＴＤ電圧にお けるいかなる変化に対しても比例して変化する目盛化周波数（ｓｃａｌｅｄ　ｆ ｒｅｑｕｅｎｃｙ）を有する一連のパルスに変換する。その結果としてＲＴＤ入 力回路２２４から得られる一連のパルスは、カウンタ２２８に入力として印加さ れる。カウンタ２２８は、前記一連のパルスを周期的に計数し、かつ、測定温度 に比例する値を計数の形で発生する。カウンタ２２８の内容は、また、処理回路 ２３５に、入力データとして並列に印加される。典型的にはマイクロプロセッサ をベースとしたシステムからなる処理回路２３５は、そこに印加されるデジタル 化したΔを値及び温度値から、現在の質量流量率を決定する。この点に関し、デ ジタル化した温度値は、流路の現在温度に基づき計器因子の値を補正するため、 及び、そうすることにより、温度による流路の弾性の変化を補償するために使用 される。補正された計器因子（即ち、温度補償された計器因子ＲＦ）は、続いて 、現在の測定Δを値から質量流量率を比例的に決定するために使用される。

質量流量率を決定したら、処理回路２３５は、合計質量流量を更新すると共に、 例えば、局所のディスプレイ２９及び／または下流のプロセス制御装置に接続す るリード線２６を介して、適切な質量流量率出力信号を供給する。

左右のチャンネル２０２．２１２内に備えられたアナログ回路は、不利なことに 、処理回路２３５から発生する結果的な質量流量及び質量流量率の値に、いくら かの誤差を投入することが明らかとなっている。具体的には、積分器２０６，２ １６の入力及びゼロ交差検出器２０８．２１８の出力間で測定した場合に、各入 力チャンネル２０２．２１２が、他方のチャンネル２０２，２１２に対し、異な る量の位相遅延を有するのみならず、各チャンネル２０２．２１２内部に発生す る位相遅延が、温度に依存し、かつ、温度の対応する変化に伴い、一方のチャン ネル２０２．２１２と他方のチャンネル２０２．２１２との間でしばしば異なる 変化をする。すると、例えば、左側のチャンネル２０２は、右側のチャンネル２ １２が呈する位相遅延とは異なる温度依存変化をする位相遅延を呈する。かかる 変化の結果、自ら測定Δを値における誤差成分となる温度誘発された相互チャン ネル位相遅延が生じる。計器を通過する実際の流量自身の結果生じるΔを値は、 比較的小さいので、かかる誤差成分は、ある場合には、重要な意味を持つ。この 誤差は、一般に、現在利用可能なコリオリ式質量流量計では考慮されていない。

ある状況下では、特に、計器が室外環境に置かれ、広範な温度変動を受ける場合 は、かかる誤差により、質量流量率測定には顕著な温度依存誤差が生じ、測定に 何らかの悪影響を与える。

ここで、測定Δを値における温度依存誤差とは別に、温度測定回路２３自体が、 処理回路２３５により得られる質量流量及び流量率の値における温度誘発測定誤 差の原因を付加する。この点に関し、ＲＴＤ入力回路２２４内に設けたＶ／Ｆ変 換器２２６は、かかる全ての変換器と同様に、温度ドリフトを呈する。この温度 ドリフトは、周囲温度の変化の大きさに基づくものであり、流路温度の測定にお いて、数度程度に達する誤差となる可能性がある。この誤差は、また、質量流量 率及び合計質量流量の値を損なう補正計器因子中の誤差ともなる。

公知のコリオリ式計器、特に、流量測定回路２３を典型とする回路を備えるもの に伴う欠点を除去すべく、出願人は、コリオリ式計器の流量測定回路に使用され 、計器により得られる質量流量及び質量流量率の値の温度変化に対する感度を実 質的に低くして、その全体の精度を向上する技術を開発した。

具体的には、本発明の開示によれば、従来技術の測定回路で通常使用される２つ の同一の入力チャンネル（即ち、左側及び右側のチャンネル）が、２つの対の入 力チャンネル（即ち、対Ａ−Ｃ及びＢ−Ｃ）により置き換えられ、それらの２対 のチャンネルにより、各チャンネル対が呈する位相遅延の測定が許容されるよう になっている。位相遅延の現在値を各チャンネル対が検出すると、その値は、順 次、そのチャンネル対により続いて測定される流動ベースのΔを値の補正に使用 される。チャンネル対の各々は、自身の内部位相遅延の測定、即ち、“ゼロ化（ 零位）”モードと、実際の流動条件についてのΔを値の測定、即ち、“測定”モ ードとの間を、比較的短い間隔で周期動作するため、位相遅延の現在値は、各チ ャンネル対の特性にその後生じるいかなる温度誘発変化をも正確に反映する。各 チャンネル対により供給される流動ベースのΔｔの測定値が、当該対に伴う現在 の内部位相遅延について補正されるので、これらのΔを値には、計器の周囲温度 及びその変化にかかわらず、いかなる重要な温度誘発誤差成分も含まれない。よ って、本発明に従い構成されたコリオリ式計器は、広範に温度が変化する環境に おいて有利に使用可能であり、基本的に温度変化による精度の低下を伴わない。

特に、本発明の流量測定回路は、３つの別個、かつ、同様の入力チャンネル（即 ち、チャンネルＡ、Ｂ及びＣ）を利用し、それらのチャンネルを介して、３つの チャンネルについての２対、即ち、対Ａ−Ｃ及びＢ−Ｃについて、連続して交互 に、相互チャンネル位相遅延の測定値を取る。チャンネル対Ａ−Ｃはチャンネル Ａ及びＣからなり、チャンネル対Ｂ−ＣはチャンネルＢ及びＣからなる。チャン ネルＣは、基準チャンネルとして機能し、その入力信号として、前記２つの速度 波形センサ信号のうちの一つ、好適事例用に具体的に示すならば前記左側の速度 センサ信号が、連続的に供給される。左右の速度センサ信号のいずれかが、チャ ンネルＡ及びＢへの入力となる。ゼロ化モード（ゼロモード）及び測定モードの 両方とも、一対のチャンネルにおける相互チャンネル位相差の測定を含む一方、 両モード間の主要な相違点は以下の点にある。即ち、ゼロモードでは、前記（左 側の）速度センサ信号が前記対の両チャンネルに印加され、結果として得られる 相互チャンネル位相差の測定値により、当該対についての内部位相遅延の測定値 を提供するようになっている。一方、測定モードでは、左右の速度信号が、前記 対における異なるチャンネルに対応して印加され、現在の質量流量及び質量流量 率の値を決定するために次段で使用する現在の流動ベースのΔを値についての測 定値を、補正はしないものの、提供する。相互チャンネル位相差（Δｔ）の測定 値は、両モードの間中得られるが、問題を簡略化して混乱を避けるため、これら の値を、その発生により区別する。以後、ゼロモードの間に発生する位相測定値 は、相互チャンネル位相差測定値といい、測定モードの間に発生するものは、Δ を値という。また、全てのチャンネル対についての相互チャンネル位相差測定値 及びΔを値の両者は、以後、集合的にタイミング測定値という。

具体的には、ゼロモードで動作する全てのチャンネル対、例えば対Ａ−Ｃに対し 、前記（左側の）速度センサ信号が当該対の両チャンネルの入力に印加される。

その後、いわゆる“ゼロイシ時間（ｚｅｒｏｉｎｇ　１ｎｔｅｒｖａｌ）の間、 相互チャンネル位相差測定値が連続的、カリ、反復的に取られ、その結果がこの 時間の間に平均化される。理論的には、この対のチャンネルの両者が同一の内部 位相遅延を呈する場合、即ち、チャンネルＡを介した位相遅延が基準チャンネル Ｃの位相遅延と同一である場合、結果としての相互チャンネル位相差測定値は、 全てゼロと等しくなる。しかし、実際には、いかなるときでも、３つのチャンネ ルの全てが、通常は、異なる内部位相遅延を有している。にもかかわらず、各対 についての位相遅延は、前記基準チャンネル、即ち、チャンネルＣに関して測定 されるので、２つの対の間での位相遅延におけるいかなる差も、チャンネルＡ及 び８間に発生する内部位相遅延における差により引き起こされることになる。′ ゼロ化”時間が終了すると、前記対における非基準チャンネルへの入力は、もう 一方の速度センサ信号、即ち、右側の速度センサ信号に切換えられる。その後、 流動ベースのΔを値を測定する“測定”モードで前記チャンネル対が動作される 前に、いわゆる“切換（スイ・ソチング）”時間を含む有限な時間の終了が許容 される。切換時間は、全ての結果的に生じる切換過渡現象（ｓｗｉｔｃｈｉｎｇ 　ｔｒａｎｓｉｅｎｔｓ）が安定可能なよう、即ち、その振幅が所定レベル以下 となることができるよう十分に長いものとされる。

一方の対のチャンネル、例えば、Ａ−Ｃは、そのゼロモードで動作する一方、他 方の対、例えば、Ｂ−Ｃは、その測定モードで動作する。各チャンネル対につい て、その測定モードの間に得られる連続して測定される流動ベースのΔを値の各 々は、典型的には減算により、その前のゼロモードの間に当該チャンネル対につ いて測定された内部位相遅延の最も最近の値により補償される。

一方のチャンネル対が測定モードで動作する時間、即ち、前記測定時間は、他方 の対がゼロモードで動作する時間の全体に等い）。後者の時間（即ち、前記“ゼ ロ化”時間）は、後者のチャンネルがその非基準チャンネルの入力を右側から左 側の速度センサ信号に切換える時間（即ち、前記“切換え”時間）を含み、（い わゆる゛ゼロ化”時間の間）ゼロイヒを遂行し、最終的に、その非基準チャンネ ルの入力を左側から再度右側の速度センサ信号に切換える。前記ゼロ化時間は、 ２つの切換時間及び１つのゼロ化時間の両方を含むことに注意されたい。

測定時間の終了時に、前記チャンネル対は、単純にモードを切換える。

即ち、図示の例では、チャンネル対Ｂ−Ｃは、最初はその非基準チャンネルの入 力を右側から左側の速度センサ信号に切換え、チャンネル対Ａ−Ｃは、流動ベー スのΔｔの測定を開始する。この入力切換が終了すると、チャンネル対Ｂ−Ｃは 、次に、ゼロ化を受持ち、その後、チャンネルが反対方向に切換えられる。一方 、チャンネル対Ａ−Ｃは、測定モード等を、連続的周期動作の間維持する。チャ ンネル対が、後者の切換動作を終了した後で、カリ、その測定モードでの動作を 開始する前に、そのチャンネルは、所望であれば、構成の簡略化のために１ゼロ 化”時間と同一時間継続する所定時間（以下、“活動中（ａｃｔｉｖｅ）”の時 間という）の間、流動ベースのΔを値の測定を受持つ。両チャンネルは、前記“ 活動中”の時間中、両速度センサ信号から、流動ベースのΔを値を同時に供給す るため、理論的には、ノイズ、隔離摂動（ｉｓｏｌａｔｅｄ　ｐｅｒｔｕｒｂａ ｔｉｏｎ）、または、前記両射のチャンネルに関連する内部位相遅延間の差が全 くないときは、同一のΔを値が、両チャンネルから発生される筈である。

よって、追加的チェックとして、“活動中”の時間中に各チャンネル対から得ら れる１以上の流動ベースの測定Δを値は、当該対の測定位相遅延についての最も 最近の値により補償して、対応する対の補正Δを値を発生することができる。か かる各対における２つの値は、その後、互いに比較することができる。これらの 対のいずれにおいても、それらの値開で十分な不一致があるときは、一般に、誤 差（エラー）状態を意味する。

チャンネル切換は、流動ベースの測定値を供給するために使用中のチャンネル対 とは反対側のチャンネル対についてのみ生じるので、いかなる切換過渡現象（及 びそれに伴うノイズ）も、流量及び流量率の測定値から効果的に隔離され、有利 なことに、その測定値を損なうことはない。

また、適切な長さの切換時間をゼロ化開始前であっても終了させるようにすると 、切換過渡現象は、有利なことに、ゼロ化中のチャンネル対についての内部位相 遅延の測定値に悪影響を与えない。よって、本発明を利用するコリオリ式計器の 特性は、全てではないにせよ、実質的に入力切換過渡現象等を免れる。

ゼロ化時間及び切換時間の具体的長さは、決定的なものではない。しかし、切換 過渡現象は、かなり早く消滅し、また、平均化を追加すると、一般に、内部位相 遅延の測定の精度が向上するため、前記切換時間は、典型的には、ゼロ化時間よ りかなり短く設定される。この点に関し、流路サイクル（管路周期）で測定され る切換時間は、例示的には、１６乃至３２の流路サイクル（ｔｕｂｅ　ｃｙｃｌ ｅ）の間継続してもよく、一方、ゼロ化時間は、例示的には、２０４８以上の流 路サイクルを消費するよう設定してもよい。

更に、本発明の開示によれば、前記抵抗温度検出器（ＲＴＤ）を介して供給され る流管（流路）温度の測定値における温度誘発誤差、具体的には、Ｖ／Ｆ変換器 における温度ドリフトに伴う温度誘発誤差もまた、有利なことに、除去される。

具体的には、これらの誤差を除去するために、ＲＴＤ電圧に加え、２つの基準電 圧が、Ｖ／Ｆ変換器を介して、選択的、かつ、連続的に、計数の形で、周波数値 に変換され、その後、前記計数周波数値と測定流管温度との関係を示す線形関係 、具体的には比例因子を画定するために使用される。よって、ＲＴＤ電圧につい ての計数周波数値をこの因子で単純に乗算すると、対応する流管温度の測定値が 出てくる。前記基準電圧は、温度変動によっては、あるにしても顕著には変化せ ず、また、各々が、Ｖ／Ｆ変換器を介して、比較的短い周期で、例えば０．８秒 のオーダで、反復的に変換されるので、ｖ／Ｆ変換器により生じるいかなる温度 ドリフトも、基準電圧自身についての周波数値の計数結果に正確に反映される。

温度ドリフトは、両基準電圧についての計数値及びＲＴＤ電圧に等しく影響を与 えるが、それらの関係は変えないので、前記比例因子は、ＲＴＤ電圧についての 計数周波数値で乗算すると、Ｖ／Ｆ変換器から生じるいかなる温度ドリフトにも 実質的に依存しない真の温度値を発生する。測定温度における温度誘発誤差を除 去することにより、計器因子は、流管温度の変化を正確に反映するよう、適正に 補正される。

Ａ、ハードウェアの説明 この説明を念頭に置き、発明に係る流量測定回路３０の好適事例のより詳細なブ ロック図を、図３Ａ及び３Ｂに集合的に示し、これらの図の図面用紙の正確な配 置を、図３に示す。

基本的に、流量測定回路３０は、入力マルチプレクサと、その一つを基準チャン ネルＣとした３つの同様の入力チャンネルと、タイミングカウンタを含む有限状 態機械（ｆｉｎｉｔｅ　５ｔａｔｅ　ｍａｃｈｉｎｅ）と、マイクロコンピュー タ装置とを備えている。２つの非基準チャンネルＡ及びＢへの人力は、マルチプ レクサを介して、有限状態機械により、有限状態機械がその種々の状態を循環す る際に選択される。３つのチャンネルからの出力は、２つのチャンネル対Ａ−Ｃ 及びＢ−Ｃのそれぞれについてのタイミング測定値、即ち、相互チャンネル位相 差測定値及びΔを値を発生すべく、前記カウンタに印加される。これらのカウン タから供給されるタイミング測定値は、有限状態機械からの状態情報と共に、対 応する質量流量率の現在値を決定するマイクロコンピュータに供給される。更に 、ＲＴＤ出力及び前記２つの基準電圧は、適当な入力スイッチ、Ｖ／Ｆ変換器及 び関連回路を介して、連続的に、対応する周波数値に変換されると共に、有限状 態機械に備えられたタイミングカウンタにより計数される。

その結果としての計数値は、その後、このカウンタからマイクロコンピュータへ 供給され、計器因子を適宜補正する際に使用される。

具体的には、図示のように、流量測定回路３０は、３つの同様の入力チャンネル ４４．５４及び６４を備えている。これらは、本文中では、それぞれチャンネル Ａ、Ｃ及びＢともいう。更に、この流量測定回路３０は、マルチプレクサ３１、 回路７０、アナログスイッチ３５、基準電圧発生器３９、ＲＴＤ入力回路４２、 マイクロコンピュータ８０、出力回路９０及び入力回路９５を具備する。

ＲＴＤ入力回路４２は、図３Ａ及び３Ｂに示すように、図２Ａ及び２Ｂに図示の ＲＴＤ入力回路２２４と同一の機能を遂行し、基本的に同一の回路構成を備えて いる。

チャンネルＡ及びＢの各々は、アナログ入力回路を備える。なお、アナログ入力 回路は、単に、レベル検出器に接続される増幅器として現されている。なお、チ ャンネルＢは、チャンネルＡの増幅器４６及びレベル検出器４８と同様の増幅器 ６６及びレベル検出器６８を備えるため、そのうちチャンネルＡについて以下説 明する。チャンネルＡに関し、増幅器４６は、左側の速度センサ信号について適 宜入力フィルタリング（濾波）動作を行うと共に、レベルシフト動作を行い、結 果的にシフトされた信号の増幅を行う。レベル検出器４８は、実際にはウィンド 比較器（ｗｉｎｄｏｖｉｎｇ　ｃｏａ＋ｐａｒａｔｏｒ）であり、増幅器４６が 発生する出力信号が、小さな所定の正または負の電圧から上下に増減するときは 、常に、自らの出力信号のレベルを変化させる。この点に関し、これらのチャン ネルの各々は、図２に示す流量測定回路２３における対応する回路と、基本的に 同一の機能を果たす。図３Ａ及び３Ｂに示すチャンネルＣは、増幅器５６及びレ ベル検出器５８により表される。基準チャンネルＣは、増幅器５６からの出力信 号が小さな正の電圧レベルを超えた場合を常に検出するために、レベル検出器５ ８が、ウィンド比較器ではなく、単一のレベル検出器からなるという点を除いて 、チャンネルＡ及びＢと全く同様である。マルチプレクサ３１は、図示の例では ３つの別個の２対１マルチプレクサからなり、リード線１６５Ｌに現れる左側の 速度センサ信号またはリード線１６５Ｒに現れる右側の速度センサ信号のいずれ かを、３つのチャンネルの各入力に選択的に連絡する。この点に関し、左右の速 度センサ信号は、マルチプレクサ３１の第１の入力（Ａ　ｏ　、Ｂ　ｏ及びＣ） 並びに第２の入力（Ａ　Ｂ　及びＣ１）にそれぞれ印加され０　１゛　１゜ る。選択信号Ｓ　Ｓ　及びＳ２の状態により、左右いずれの速度セン０°　１ す信号がマルチプレクサ３１の３つの別個の出力（ＯＡ、ＯＢ及びＯｃ）のいず れに印加されるかが特定される。選択信号３３は、選択人力Ｓ。

及びＳｌに接続される信号ＲＰＯＡ及びＲＰＯＢより構成され、マルチプレクサ ３１が、左右いずれかの速度センサ信号をチャンネルＡ及びＢへの入力として、 リード線４５または６５を介して、それぞれ別個に連絡するようにする。一方、 接地選択信号Ｓ２は、マルチプレクサ３１が、リード線１６５Ｌに現れる左側の 速度センサ信号を基準チャンネルＣの入力に、リード線５５を介して、継続的に 連絡するようにする。

選択信号３３は、回路７０内の制御ロジック７２により、適宜入力切換を遂行す るよう設定される。

回路７０は、制御ロジック７２と、タイミングカウンタ７４．７６及び７８とを 備える。回路７０は、好ましくは単一アプリケーション特定集積回路からなり、 基本的には、周期的な、かつ、反復的に発生する一連のタイミング時間及びそれ に伴う状態を画定する有限状態機械である。

かかる各タイミング時間の間に、外部から印加される入力信号によって、適当な タイミングカウンタを開始及び停止することができる。かかるタイミング時間の 終了時に、そのタイミングカウンタの内容は、以降の使用に供するため、並列形 式で読取ることができる。この回路を流量測定回路３０に適用した場合、カウン タ７５として共にグループ化されるタイミングカウンタ７４及び７６は、それぞ れ、チャンネル対Ａ−Ｃ及びＢ−Ｃについてのタイミング測定値を、リード線４ ９．５９及び６９を介して入力して、判断及び決定するために使用される。タイ ミングカウンタ７８は、アナログスイッチ３５からリード線３７を介してＲＴＤ 入力回路４２に印加された選択アナログ入力信号に対してＲＴＤ入力回路４２が 発生する周波数値を、リード線４３を介して入力して計数するために使用される 。このカウンタ７８は、変換時間（ｃｏｎｖｅｒｓｉｏｎ　１ｎｔｅｒｖａｌ） の前に、制御ロジック７２によって、リード線７９に印加されている適当な信号 を、リード線７３を介して印加することにより、リセットされる。制御ロジック ７２は、周知の組合わせの、または、他のロジックより構成される。流路（管路 ）サイクルにおいて、ゼロ化（零位化）時間及び切換（スイッチング）時間か経 過して初期化された後、制御ロジック７２は、選択信号をリード線３３に発生し 、マルチプレクサ３１を動作して、固有の波形のセンサ信号をチャンネルＡまた はＢのいずれかの人力に、適宜選択して連絡し、それらのチャンネル対が、その ゼロモード及び測定モードの間中、反復的、かつ、反対方向に周期動作するよう にしている。更に、制御ロジック７２は、また、リード線７７及び７９を介して 印加された場合に、カウンタ７６及び７４を各タイミング時間用に適宜初期化す る適当な制御信号を発生する。加えて、制御ロジック７２は、リード線３４を介 して、アナログスイッチ３５の制御入力（Ｃ）へ適当な選択信号を発生する。前 記選択信号は、アナログスイッチ３５が、その入力電圧の特定の一つ、即ち、リ ード線１９５に現れるＲＴＤ電圧または２つの基準電圧（図示の例では、それぞ れ１．９ボルト及びぜロボルトであるＶ　及びＶ　）のうちの一つを、リードｒ ｅｆｌ　ｒｅｆ２ 線１９５．３６または３８を介してＲＴＤ入力回路４２の入力へ連絡し、その内 部のＶ／Ｆ変換器４１による以降の変換に供するようにしている。

基準電圧■　は、リード線３８を介して、基準電圧発生器３９かｅｆｌ ら供給される。基準電圧発生器３９は、自身に、温度変動に対し無視できる程度 のドリフトしか示さない周知の高安定電圧源を備えている。以下、特に、ＲＴＤ 温度処理ルーチン１１００（図１１と共に説明）に関１、説明するように、前記 Ｖ／Ｆ変換器４１は、対応する周波数値への変換を行うべく、０．８秒毎に、時 間スタガベース（ｔｉｍｅ　ｓｔａｇｇｅｒｅｄ　ｂａｓｉＳ）で、選択された アナログスイッチ３５の入力（図示する前記３つの電圧について旧。、■１及び ！２）に印加される８つの電圧（そのうち、ここに具体的に提示及び説明する本 発明に関連する３つの電圧のみ図示）の各々について、０．１秒毎に変換を遂行 する。制御ロジック７２は、任意の時間に、どの入力電圧がアナログスイッチ３ ５への入力電圧として選択されるべきかを画定する。回路７０の状態を、それぞ れ図４及び図５に示すタイミング図４００及び状態表５００と共に、以下により 詳細に説明する。

回路７０が、その異なる（合計８つの）状態間を周期動作するとき、この回路７ ０は、その現在の状態の値を内部レジスタ（図示略）に書込み、内部レジスタは 、マイクロコンピュータ８ｏによりアクセスした場合に、前記値をリード線８５ に印加する。マイクロコンピュータ８ｏは、その後、前記値を読取る。前記値に より、マイクロコンピュータ８ｏは、カウンタ７５及び７８から供給される計数 値を、対応する内部レジスタ（図示略）並びにリード線８７及び８８を介して、 適宜処理することを許容される。リード線８７は、ＲＡＷ　ＲＡＴＥ　Ａ及びＲ ＡＷ　ＲＡＴＥ　Ｂで示す、チャンネル対Ａ−Ｃ及びＢ−Ｃのそれぞれについて の未処理のタイミング測定値を、マイクロコンピュータ８ｏに供給する。

各チャンネル対の動作モードに応じ、ＲＡＷ　ＲＡＴＥ　Ａ及びＲＡＷＲＡＴＥ 　Ｂは、それぞれ、計数の形で、各チャンネル対についての、単一の相互チャン ネル位相差測定値または単一のΔを値を供給する。リード線８８は、マイクロコ ンピュータ８ｏに、ＲＴＤ電圧及び基準電圧についての計数周波数測定データを 供給する。更に、制御ロジック７２は、また、他の内部レジスタ（特に図示せず ）に、ＲＴＤ入カ入路回路４２る変換用に、アナログスイッチ３５によってどの アナログ電圧が選択中であるかを特定する値を書込む。この値は、また、リード 線８５を介して、マイクロコンピュータ８ｏに読取られる。

更に、マイクロコンピュータ８ｏは、適当な信号をリード線８４に印加し、回路 ７０の全体動作を制御する。マイクロコンピュータ８ｏは、また、リード線８２ を介して、適当なアドレス信号を供給し、マイクロコンピュータ８０がデータを 読取ることになる、または、データを書込むことになる特定の内部レジスタを、 制御ロジック７２に対し指定する。

マイクロコンピュータ８０は、また、リード線９１及び９３を介して、周知の出 力回路９０及び周知の入力回路９５に接続されている。出力回路９０は、多数の 標準出力（例示するとすれば、ディスプレイインタフェース、通信ボート、４〜 ２０ｍＡの出力リード線２６３、及び、目盛化周波数出力リード線２６２等）を 、リード線２６に提供する。入力回路９５は、計器に、多数の周知の入力装置（ スイッチ、ユーザ用キーボード、通信ポート等）へのインタフェースを提供する 。

マイクロコンピュータ８０は、多くの周知の商業的に利用可能なマイクロプロセ ッサ（特に図示せず）のいずれか一つを、データ記憶用の等速呼出記憶装置（Ｒ ＡＭ）８３並びにプログラム及び定数（ｃｏｎｓｔａｎｔ）記憶用の固定記憶装 置（ＲＯＭ）８６と共に利用している。このプログラムは、事象駆動（ｅｖｅｔ −ｄｒｉｖｅｎ）されるタスクアーキテクチャを利用するため、マイクロコンピ ュータ８０内にはデータベースが設置され、種々のタスク間で、測定及び計算さ れたデータの容易な転送及び共用（ｓｈａｒｉｎｇ）を促進する。各対のチャン ネルＡ−Ｃ，Ｂ−Ｃについての相互チャンネル位相差測定値及びΔを値、並びに 、計数周波数データ及び状態情報（それらの全てが回路７０から供給される）を 含むその入力情報、具体的には前記タイミング測定値に基づき、マイクロコンピ ュータ８０は、各チャンネル対Ａ−Ｃ，Ｂ−Ｃから得られた測定Δを値を適宜補 正して、その測定内部位相遅延を補償し、正確な温度補償された計器因子を決定 して、その後、補正Δを値及び前記因子を使用して、現在の質量流量及び質量流 量率の値を決定する。上記の全てにつき、図６Ａ及び６Ｂに示す流量測定基本メ インループ６００、図７Ａ及び７Ｂに示す零位（ゼロ）決定ルーチン７００、図 ８Ａ及び８Ｂに示す機械的零位ルーチン８０ｏ１及び、図１１に示すＲＴＤ温度 処理ルーチン１１００と共に、以下により詳細に説明する。

回路７０及びマイクロコンピュータ８０間の相互作用を、全体を通じて理解する ため、図４Ａ、４Ｂ及び図５に示すタイミング図４００及び状態表５００につい て、まず、説明する。これらは、回路７０により提供される機能及びその時間的 関係について共同して詳述するものである。

理解を容易にするため、以下の説明全体を通して、図４Ａ、４Ｂ及び図５を同時 に参照されたい。

図４Ａ及び４Ｂに示すタイミング図は、チャンネル対の各々についての通常の順 次モード動作（ｓｅｑｕｅｎｔｉａｌ　ｍｏｄａｌ　ｏｐｅｒａｔｉｏｎ）及び それらの間の時間的関係を説明している。

上記のように、チャンネル対の各々、Ａ−Ｃ及びＢ−Ｃは、測定モードまたはゼ ロモードのいずれかで動作する。一方のチャンネル対が測定モードで動作する間 、他方の対は、ゼロモードで動作し、これらの動作は、それらのモードの終了時 に反転する。これらのモードの各々の継続時間（前記“モード”時間）は、常に 同一、即ち、時間“ｔ”である。

この点に関し、チャンネル対Ａ−Ｃについてのゼロモード４１０及びチャンネル 対Ｂ−Ｃについての測定モード４２０は、チャンネル対Ａ−Ｃ及びＢ−Ｃのそれ ぞれについての、測定モード４４０及びゼロモード４５０並びにゼロモード４７ ０及び測定モード４８０と同様、同時に動作する。矢印４３０，４６０及び４９ ０は、３つの連続するモード時間の終了時におけるチャンネル対Ａ−Ｃ及びＢ− Ｃ間でのモード反転を表す。

チャンネルＣは、左側（Ｌ）の速度センサ信号を連続的に供給されて、基準チャ ンネルとして機能し、がかる基準チャンネルに関して、残りの２つのチャンネル の各々の内部位相遅延が連続的に測定される。しがし、非基準チャンネルＡ及び Ｂに印加される入力信号は、対応するチャンネル対Ａ−Ｃ及びＢ−Ｃのモードに 応じて、左側及び右側（Ｒ）の速度センサ信号間で切換えられ、各々の異なる大 刀構成について位相差測定が行われて、相互チャンネル位相差測定値またはΔを 値を各対について発生する。

特に、一方のチャンネル対が測定モードで動作する間、当該対における非基準チ ャンネル、例えば、対Ａ−ＣのチャンネルＡは、右側の速度センサ信号を供給さ れ、その対に生じる相互チャンネル位相差について測定が行われる。これらの測 定により、未処理の流動ベースのΔを値が得られる。これらの測定は、前記チャ ンネルが測定モードにある時間“ｔ”の全体を通じて行われる。この時間の間、 これらの測定値は、対応する質量流量率値への以降の処理のため、マイクロコン ピュータ８゜に供給される。

これと対照的に、４つの別個の機能が、全てのチャンネル対、例えば、対Ｂ−Ｃ について、そのゼロモードの間、以降のシーケンスで行われる。

かかる４つの機能は、（ａ）当該対における非基準チャンネルについての入力を 、切換（スイッチング）時間の間に、右側がら左側の速度センサ信号に切換える 機能、（ｂ）ゼロ化時間の間に、当該（即ち、“ゼロ化′）チャンネル対につい ての内部位相遅延の測定値を提供する機能、（ｃ）非基準チャンネルの入力を、 切換時間の間に、再度、右側の速度センサ信号に切換復帰する機能、及び、（ｄ ）別のゼロ化時間の間、当該対が“活動中”となり、その時間中に流動ベースの Δを測定値を得ることができるようにする機能からなる。チャンネル対Ｂ−Ｃが 活動中となる一方、反対側のチャンネル対、例えば、対Ａ−Ｃは、その測定時間 の間に、流動ベースのΔを値を活動的に測定することとなるため、両チャンネル は、この“活動中”の時間の間、同一の速度センサ信号についての流動ベースの Δを値を同時に供給することができる。追加の誤差（エラー）チェックが必要な 場合、マイクロコンピュータは、“活動中”のチャンネル対から供給される測定 値を処理し、結果として得られる補正Δを値を、他方のチャンネル対を使用して 得られるものと比較することができる。それらの間に十分な不一致があれば、一 般に、誤差（エラー）状態にあることを示す。

図４Ａ及び４Ｂに例示するように、各切換時間の継続時間は１６流路（管路）サ イクルであり、各ゼロ化時間は、２０４８流路サイクルにわたって連続する。し たがって、２つの交互に配置された切換（スイッチング）時間及びゼロ化時間よ りなる時間“ビは、４１２８流路サイクルの間、継続する。計器の初期設定の間 、図３Ａ及び３Ｂに示すマイクロコンピュータ８０は、切換時間及びゼロ化時間 からなる継続時間を、流路サイクルの形で、前記回路７０、特に、回路７０内の 制御ロジック７２にロードする。

回路７０についての図５に示す状態表５００に示すように、この回路７０は、定 常動作では、連続する８つの状態、図示の例では、状態２６゜４６．２６．６６ ．６Ａ、６Ｃ，６Ａ及び６Ｅを通じて継続的に周期動作し、これらの状態のうち 、２つの状態、即ち、状態２６及び６Ａが繰返される。

これらの状態の各々は、一定時間（切換時間またはゼロ化時間のいずれか）の間 継続する。全ての８つの状態の間、左側の速度センサ信号が、基準チャンネルＣ の入力に継続して印加される。

最初の４つの状態（状態２６，４６．２６及び６６）の間、チャンネル対Ａ−Ｃ は、測定モード（以後、チャンネルＡ測定モードと言う）で動作し、一方、チャ ンネル対Ｂ−Ｃは、そのゼロモード（以後、“チャンネルＢ”ゼロモードと言う ）で同時に動作する。チャンネルＡ測定モードの間中、回路７０は、マルチプレ クサ選択信号ＲＰＯＡに関し低レベルのものを発生し、右側の速度センサ信号が 、チャンネルへの入力に継続して印加されるようにする。このモードの間、文字 “Ｘ”で示すように、チャンネル対Ａ−Ｃは、流動ベースのΔを値を供給し、こ れにより、測定チャンネル対として機能する。更に、状態２６の開始時に、回路 ７０は、マルチプレクサ選択信号ＲＰＯＢを高レベルとすることにより、チャン ネルＢゼロモードを開始させ、チャンネルＢの入力を右側から左側の速度センサ 信号にまず切換える。これにより、“チャンネルＢ切換（スイッチング）”状態 ２６が開始し、その間、チャンネル対Ｂ−Ｃは、測定を行わず、チャンネルＢに ついての全ての切換過渡現象及び同様の摂動が安定するのに十分な時間、即ち、 切換時間ｔ　を設Ｗ ける。この状態が終了すると、回路７０は、“チャンネル対Ｂ−Ｃゼロ化”状態 ４６を呼出す。ゼロ化時間ｔＺＥＲＯの間継続する状態４６の間に、回路７０に より、チャンネル対Ｂ−Ｃについて、相互チャンネル位相差測定が継続して行わ れる。これらの測定値は、マイクロコンピュータ（マイクロプロセッサ）８０に より読取られて平均化され、計数の形で、当該チャンネル対Ｂ−Ｃについての内 部位相遅延の測定値が供給される。ゼロ化時間の終了時に、“チャンネルＢ切換 （スイ・ソチング）”状態２６が再度発生し、チャンネルＢの入力を左側の速度 センサ信号から、再度、右側の速度センサ信号へと切換える。そうするため、回 路７０は、低レベルのマルチプレクサ選択信号ＲＰＯＢを発生する。また、この 状態の間、チャンネル対Ｂ−Ｃについて測定は行われず、この状態は、チャンネ ルＢについての全ての切換過渡現象等が落着くことができるよう、切換時間ｔ　 の間継続する。状態２６の終了時に、“両チャ　Ｗ ンネル活動”状態６６が、ゼロ化時間ｔ　の間発生し、その間、ｚｅｒ。

両チャンネルが“活動中”となり、所望であれば、チャンネル対Ｂ−Ｃを介して 、流動ベースのΔｔの測定が行われる。このとき、それらの測定は、また、チャ ンネル対Ａ−Ｃを介しても、同時に行われている。状態６６が終了すると、状態 ６Ａ、６Ｃ，６Ａ及び６Ｅが順次発生する。

これらの状態は、単純に、同一の動作を提供するが、反対側のチャンネル対Ａ− Ｃについて行われる。前記全ての状態が、その後、順次引続０て繰返される。

Ｂ、ソフトウェアの説明 上記の理解を念頭に置いて、図３Ａ及び３Ｂに示すマイクロコンピュータに８０ により実行される種々の態様のソフトウェアについて説明する。マイクロコンピ ュータ８０は、本発明に関係のない周知の数々の管理及び制御機能を遂行し、例 えば、データベース管理プログラム及びタスクベースアプリケーションプログラ ム用の適当なオペレーティングシステムを提供するが、以下の説明を簡単にする ため、これらの機能の全て及びこれに伴うソフトウェアは、説明から省略する。

図６は、流量測定基本メインループ（ルーチン）６００の簡略化フローチャート を示す。このルーチン６００は、基本流量測定機能を提供する。

ルーチン６００を開始すると、ブロック６１０が実行され、現在の未処理の位相 差測定データ（ＲＡＷ　ＲＡＴＥ　Ａ及びＲＡＷ　ＲＡＴＥＢ）並びに状態情報 を回路７０から読取る。各チャンネル対の現在モードに応じて、ＲＡＷ　ＲＡＴ Ｅ　Ａ及びＲＡＷ　ＲＡＴＥ　Ｂは、それぞれ、単一の相互チャンネル位相差測 定値または単一のΔを値のいずれかを、計数の形で提供する。ブロック６１０の 実行後、ブロック６２０が実行される。このブロック６２０は、零位（ゼロ）決 定ルーチン７００を実行し、未処理の位相差測定値及び状態情報に応答して、以 下に詳述するように、現在測定モードで動作中のチャンネル対についての位相差 データを、流動ベースのΔを値として処理し、他方のチャンネル対についての位 相差データを相互チャンネル位相差測定値として処理する。

この測定値は、このルーチンにより、後者のチャンネル対の電子的零位（ゼロ） 値を決定するために使用される。前記電子的零位値は、２つの値、即ち、Δｔと 同一の計数で表現され、２つのチャンネル対の各々に伴う内部位相差から構成さ れる。その後、ルーチン７００は、コリオリ式計器についての機械的零位を決定 する。機械的零位は、下記のように、計器構成中に生じるゼロ流動条件の間に得 られるΔを測定値における残留偏差（オフセット）値である。これらの動作が終 了した後、ルーチン７００は、測定モードで動作するチャンネル対について測定 された現在のΔを値を、計器についての機械的零位及び当該対についての最も最 近の電子的零位値により補正する。なお、当該対がそのゼロモードで最後に動作 中となる一方、前記電子的零位値が予め決定される。

ルーチン７００が完全に実行された後、処理は、ブロック６２０からブロック６ ３０へと移る。後者のブロック６３０は、実行されると、ブロック６２０により 得られた補正Δを値を、二極ソフトウェアフィルタ（ｄｏｕｂｌｅ　ｐｏｌｅ　 ｓｏｆｔｗａｒｅ　ｆｉｌｔｅｒ）を介して濾波（フィルタリング）し、ノイズ 等を除去して、現在の濾波済み（フィルタリングした）Δを値を発生する。その 後、ブロック６４０が実行され、現在の濾波済み（フィルタリングした）Δを値 及び温度補正された率因子（ｒａｔｅ　ｆａｃｔｏｒ）を使用して、現在の容積 流量率及び質量流量率を計算する。この温度因子は、以下に詳述するように、割 込みベースで実行されるＲＴＤ温度処理ルーチン１１００を介して、周期的ベー スで更新される。

ブロック６４０が終了すると、ブロック６５０が実行される。この後者のブロッ ク６５０は、容積流量率値及び質量流量率値を、対応する低流量カットオフ（限 界条件）と対照して試験すると共に、これらの条件が合致した場合、容積流量率 及び質量流量率を一時的にゼロに設定する。

その後、ブロック６６０の実行に移り、ブロック６６０は、実行されると、容積 流量率及び質量流量率を、ディスプレイの定期的更新、合計流量の読取り及び／ または計器出力等の、以後の使用のため、データベースに記憶する。その後、処 理は、ブロック６１０等に戻る。

零位（ゼロ）決定ルーチン７００のフローチャートは、図７Ａ及び７Ｂに集合的 に示すと共に、図７Ａ及び７Ｂの図面用紙の正確な配置は図７に示す。このルー チン７００は、４つの別個のセクション、即ち、電子的零位（ゼロ）決定ルーチ ン７１０、電子的零位補償ルーチン７６ｏ１機械的零位決定ルーチン７８０、及 び機械的零位補償ルーチン７９０を備える。一般的に上述したように、ルーチン ７００は、特にルーチン７１０を介して、現在測定モードで動作中のチャンネル 対についての現在の流動ベースのΔを値を決定すると共に、ゼロモードで動作す る他方のチャンネル対についての現在の電子的零位（ゼロ）値を決定する。ルー チン７６０は、測定モードで動作中のチャンネル対からの現在の測定Δを値の各 々を、当該チャンネルについての最も最近の電子的零位値により補償する。ルー チン７８０は、計器についての機械的零位を判断乃至決定する。最後に、ルーチ ン７９０は、測定モードで動作中の現在のチャンネル対についての流動ベースの Δを値を、計器についての機械的零位値により補正する。

具体的には、ルーチン７００、特にルーチン７１０を開始すると、まず、決定ブ ロック７０３の実行に移る。このブロック７０３は、変数５ＴＡＴＥＯ値が、チ ャンネル対Ａ−Ｃがゼロ化中であること（即ち、回路７０の状態が値“６Ｃ”　 （図５参照）により与えられていること）を示すかどうかを判断する。この値は 、マイクロコンピュータ（マイクロプロセッサ）８０による照会に応じて回路７ ０から供給される（図３Ａ及び３Ｂ参照）。この状態が現在束じている場合、処 理は、図７Ａ及び７Ｂに示すように、ブロック７０３から出る“イエス（ＹＥＳ ）″経路を介して、ブロック７０６へと移る。この後者のブロック７０６は、実 行されると、合計事変数（ｔｏｔａｌｉｚｅｄ　ｒａｔｅ　ｖａｒｉａｂｌｅ） 　（Ｔ　ＯＴ　Ａ　Ｌ　ＲＡＴＥ）の値を、ＲＡＷ　ＲＡＴＥ　Ａの現在値によ り更新する。ゼロ化時間の終了時に見られるように、この合計率の値ＴＯＴＡＬ 　ＲＡＴＥは零位（ゼロ）と等しく設定される。次に、ブロック７０９が実行さ れ、一時フラグの状態（ＴＥＭＰ　５ＴＡＴＥ）を、前記チャンネル対Ａ−Ｃが 現在ゼロ化中であることを示す値（ＺＥＲＯＩＮＧ　ＣＨＡＮＮＥＬ　Ａ）に設 定する。すると、処理は、ブロック７１２に移り、単純に、ループカウンタの値 （ＣＯＵＮＴＥＲ）を−っだけ増加する。処理は、その後、決定ブロック７３０ に移る。若しくは、変数５ＴＡＴＥの現在値が、チャンネル対Ａ−Ｃがゼロ化中 でないことを示す場合、処理は、決定ブロック７０３から出るノー（ＮＯ）経路 を介して、決定ブロック７１５に移る。後者の決定ブロック７１５は、一時フラ グの状態ＴＥＭＰ　５ＴＡＴＥを試験し、チャンネル対Ａ−Ｃについてゼロ化が ちょうど終了したかどうか、即ち、このフラグの値ＴＥＭＰ　５ＴＡＴＥが未だ ＺＥＲＯＩＮＧ　ＣＨＡＮＮＮＥＬ　Ａ！：等しいかどうかを判断する。このチ ャンネル対Ａ−Ｃについてゼロ化がちょうど終了している場合、決定ブロック７ １５は、そのイエス（ＹＥＳ）経路を介して、ブロック７１８へと処理を移す。

この後者のブロック７１８は、実行されると、チャンネル対Ａ−Ｃについての電 子的零位値、即ち、ＥＬＥＣＴ　ＺＥＲＯＡを、別個の測定値の合計の単純な平 均値として、特に、変数ＴＯＴＡＬ　ＲＡＴＥをループカウンタの内容Ｃ０ＵＴ ＥＲにより除算した値として、計算する。すると、処理はブロック７２１に移り 、一時フラグの値ＴＥＭＰ　５ＴＡＴＥを、チャンネル対Ａ−Ｃがゼロ化中でな いことを示す別の値、ここではＮＯＴ　ＺＥＲＯＩＮＧ　ＣＨＡＮＮＥＬＡへと 設定する。その後、処理は、ブロック７２４へと移り、単純に、ループカウンタ 及び合計事変数の両方の値ＴＯＴＡＬ　ＲＡＴＥ及びＣ０ＵＮＴＥＲをゼロにリ セットする。若しくは、チャンネル対Ａ−Ｃがゼロ化されず、及び、ゼロ化を終 了していない場合は、処理は、また、決定ブロック７１５から出るＮｏ経路を介 して、前記決定ブロック７３０に移る。

ブロック７３０から７５１までは、ブロック７０３〜７２４と同一の動作を行う が、チャンネル対Ｂ−Ｃについての電子的零位値、即ち、ＥＬＥＣＴ　ＺＥＲＯ Ｂを決定する。特に、決定ブロック７３０は、変数５ＴＡＴＥの値が、チャンネ ル対Ｂ−Ｃがゼロ化中であることを示すかどうか、即ち、回路７０の状態が、前 記値“４６”　（図５参照）により与えられているかどうかを判断する。この状 態が生じているときは、処理は、図７Ａ及び７Ｂに示す決定ブロック７３０から 出るＹＥＳ経路を介して、ブロック７３３に移る。後者のブロック７３３は、実 行されると、合計事変数ＴＯＴＡＬ　ＲＡＴＥの値を、ＲＡＷ　ＲＡＴＥ　Ｂの 現在値により更新する。このゼロ化時間の終了時に見られるように、この合計事 変数ＴＯＴＡＬ　ＲＡＴＥは、零位（ゼロ）に等しく設定される。次に、ブロッ ク７３６が実行され、一時フラグの状態ＴＥＭＰ−３ＴＡＴＥを、チャンネル対 Ｂ−Ｃが現在ゼロ化中であることを示す値（ＺＥＲＯＩＮＧ　ＣＨＡＮＮＥＬ　 Ｂ）ｊ：設定する。すると、処理はブロック７３９へき移り、単純に、ループカ ウンタの値Ｃ０ＵＮＴＥＲを一つだけ増加する。その後、処理は、ルーチン７６ ０に移る。若しくは、変数５ＴＡＴＥの現在値が、チャンネル対Ｂ−Ｃがゼロ化 中でないことを示す場合は、処理は、決定ブロック７３０から出るＮｏ経路を介 して、決定ブロック７４２に移る。この後者のブロック７４２は、一時フラグの 状態ＴＥＭＰ　５ＴＡＴＥを試験し、チャンネル対Ｂ−Ｃについてゼロ化が終了 したかどうか、即ち、このフラグの値ＴＥＭＰ　５ＴＡＴＥが、未だ、ＺＥＲＯ ＩＮＧ　ＣＨＡＮＮＥＬ　Ｂに等しいかどうか判断する。このチャンネル対Ｂ− Ｃについてゼロ化がちょうど終了している場合、決定ブロック７４２は、そのＹ ＥＳ経路を介して、処理をブロック７４５に移す。この後者のブロック７４５は 、実行されると、チャンネル対Ｂ−Ｃについての電子的零位値、即ち、ＥＬＥＣ Ｔ　ＺＥＲＯＢを、別個の測定値の合計の単純な平均値として、特に、変数ＴＯ ＴＡＬ　ＲＡＴＥをループカウンタの内容Ｃ０ＵＮＴＥＲにより除算した値とし て計算する。すると、処理は、ブロック７４８に移り、一時フラグの値ＴＥＭＰ 　５ＴＡＴＥを、チャンネル対Ｂ−Ｃがゼロ化中でなイコとを示す他の値、ココ テはＮＯＴ　ＺＥＲＯＩＮＧ　ＣＨＡＮＮＥＬ　Ｂへと設定する。その後、処理 はブロック７５１に移り、単に、ループカウンタ及び合計率変数の両方の値Ｃ０ ＵＮＴＥＲ及びＴＯＴＡＬ　ＲＡＴＥをゼロにリセットする。処理は、次に、ル ーチン７６０に移る。若しくは、チャンネル対Ｂ−Ｃが、ゼロ化されていない、 及び、ゼロ化を終了していない場合、即ち、決定ブロック７４２から出る前記Ｎ ｏ経路を介して、このルーチン７６０に移る。この時点で、ルーチン７１０は実 行を完了している。前記両チャンネル対の一方の対が、いかなる時であるかを問 わず、ゼロモードで動作している限り、対応する変数ＥＬＥＣＴ　ＺＥＲＯＡま たはＥＬＥＣＴ　ＺＥＲＯＢの現在値は、上記のように、そのために実行中であ る適当なステップ時に、決定中である。

電子的零位補償ルーチン７６０は、単純に、現在のΔｔの測定値を、かかる測定 値を発生した当該チャンネル対についての電子的零位値により補正（補償）する 。特に、このルーチン７６０を開始すると、処理は決定ブロック７６３に移り、 チャンネル対Ｂ−Ｃまたはチャンネル対Ａ−Ｃが、現在、その測定モードで動作 中であるかどうかに基づき、それぞれブロック７６７または７６９に処理を移す 。処理がブロック７６７に移る場合、このブロック７６７は、実行されると、チ ャンネル対Ｂ−Ｃについての電子的零位値ＥＬＥＣＴ　ＺＥＲＯＢを、ＲＡＷ　 ＲＡＴＥ　Ｂから減算し、その結果を変数Δｔに記憶する。若しくは、処理がブ ロック７６９に移った場合、このブロック７６９は、実行されて、チャンネル対 Ａ−Ｃについての電子的零位値ＥＬＥＣＴ　ＺＥＲＯＡを、ＲＡＷ　ＲＡＴＥ　 Ａから減算し、その結果を変数Δｔに記憶する。

いずれかのブロック７６７または７６９が実行された後、処理は、機械的零位決 定ルーチン７８０に移る。

ルーチン７８０は、計器についての機械的零位値の現在値を決定する。

特に、ルーチン７８０を開始すると、処理は、決定ブロック７８１に移る。この ブロック７８１は、実行されると、現在の機械的零位値を発見すべきかどうかを 判断する。上記のように、機械的零位は、計器校正中の非流動条件下で決定され る。計器校正が現在遂行されており、かつ、ユーザが、計器回路に関する適当な 押しボタンを押すことにより、流動が生じないよう指示した場合、決定ブロック ７８１は、そのＹＥＳ経路を介して、ブロック７８４に処理を移す。この後者の ブロック７８４は、以下に詳述するように、機械的零位（ゼロ）ルーチン８００ を実行し、計器についての現在の機械的零位（ゼロ）値（ＭＥＣＨＺＥＲＯ）を 決定する。この値が決定されると、処理は機械的零位補償ルーチン７９０に移る 。計器校正が生じておらず、または、ユーザが流動が生じないように特定してい ない場合、処理は、また、決定ブロック７８１から出るＮｏ経路を介して、ルー チン７９０に移る。

機械的零位補償ルーチン７９０は、ブロック７９２を含み、ブロック７９２は、 実行されると、単純に、変数Δｔの値から、現在の機械的零位値Ｍ　Ｅ　ＣＨＺ 　Ｅ　ＲＯを減算し、その結果が、それ以後にメインループ６００（特に、図６ Ａ及び６Ｂに示すように、メインループ６００内のブロック６３０及び６４０） により、質量流量率の現在値を決定するために濾波（フィルタリング）されると 共に使用される補正Δを測定値となる。ブロック７９２が実行されると、図７Ａ 及び７Ｂに示すように、処理はルーチン７９０及び７００を脱し、流量測定基本 メインループ６００に戻る。

ソフトウェアを簡単にするために、ルーチン７００は、各“活動”時間中に両チ ャンネル対について対応する補正Δを値を決定すると共に、上記のように、その 結果を比較して、それらの間での十分な不一致及びそれに伴うシステムエラー（ 誤差）を検出するための適当なソフトウェアを備えていない。ルーチン７００は 、かかるソフトウェアを備えるよう、当業者により容易に変更可能である。

図８Ａ及び８Ｂは、機械的零位（ゼロ）ルーチン８００のフローチャートを集合 的に示す。これらの図面の図面用紙の正確な配置は図８に示す。上記のように、 ルーチン８００は、計器の機械的零位の現在値を決定する。基本的には、上記の ように、かかる零位の現在値は、まず、計器校正中の非流動条件の間に得られる Δを値の標準偏差σΔｔを計算することにより決定される。この標準偏差は、非 流動条件下のΔを測定の際に現れるノイズの尺度となる。ノイズが十分に低い場 合のみ、即ち、標準偏差の値が、最小閾値以下である場合のみ、機械的零位の最 も最近の値は、その現在値を反映すべく更新される。さもなければ、この現在値 は単純に無視される。標準偏差の決定に使用される測定Δを値の数は、３つの基 準のいずれか一つにより制御される。かかる３つの基準は、（ａ）　“現在の” 標準偏差が収束限界以下に低下する時、（ｂ）ユーザが、適当な押しボタンを押 すことにより、機械的零位処理（ゼロ化）を終了すること、または、（Ｃ）所定 の数のΔを値が測定されたこと、である。更に、機械的零位の現在値が所定の限 界内にあることを確認するために、その最も最近の値を現在値で置換するに先だ ち、適当な限界チェックがなされる。

具体的には、ルーチン８００を開始すると、処理は決定ブロック８０３に移る。

このブロック８０３は、実行されると、フラグの状態（ＺＥＲＯ５ＴＡＴＥ）を 試験し、機械的零位を決定する処理が、現在行われているかどうか特定する。こ のフラグは、適当なソフトウェア（図示路）により、かかる処理を開始すべく設 定される。かかる処理が進行中の場合、決定ブロック８０３は、そのＹＥＳ経路 を介して、ブロック８０６に処理を移す。この後者のブロック８０６は、実行さ れると、合計変数の値（ＺＥＲＯＴＯＴＡＬ）を現在のΔを値により更新する。

後に見るように、この合計値ＺＥＲＯＴＯＴＡＬは、ゼロ化時間の終了時に、ゼ ロと等しく設定される。ブロック８０６が実行されると、処理は、ブロック８０ ９へ移り、ループカウンタの内容ＺＥＲＯＣ０ＵＮＴを一つだけ増加する。その 後、処理は決定ブロック８２０に移る。若しくは、機械的零位値を、現在、決定 中でない場合は、即ち、フラグの状態ＺＥＲＯ５ＴＡＴＥが現在活動中でない場 合は、処理は、決定ブロック８０３から出るＮｏ経路を介して、ブロック８１２ に移る。この後者のブロック８１２は、フラグの状態ＺＥＲＯ５ＴＡＴＥを活動 中にリセットし、合計変数ＺＥＲＯＴＯＴＡＬ及びループカウンタの内容ＺＥＲ ＯＣ０ＵＮＴの両方の値をゼロに設定し、変数ＭＩＮ　ＳＴＤ　ＤＥＶの値を大 きな所定の数（その正確な値は、それが標準偏差の期待値を十分超える限りにお いては重要ではない）に設定する。その後、ブロック８１６が実行され、機械的 零位処理に伴うエラー（誤差）フラグの全てをリセットする。その後、処理は、 決定ブロック８２０に移る。

決定ブロック８２０は、実行されると、機械的零位値を決定するために必要な最 小数の測定Δを値が発生したかどうか、即ち、特に、ループカウンタの内容ＺＥ ＲＯＣ０ＵＮＴの現在値が、典型的には十進値１１００″と等しい所定の最小値 ＭＩＮ　ＺＥＲＯＣ０ＵＮＴを超えたかどうかを判断する。発生したΔを値の数 が不十分な場合、処理は、経路８７２及び決定ブロック８２０から出るＮｏ経路 ８２２を介して、ルーチン８００を脱する。若しくは、最小数のΔを値が発生し た場合は、決定ブロック８２０は、そのＹＥＳ経路を介して、ブロック８２３に 処理を移す。この後者のブロック８２３は、実行されると、機械的零位値を決定 するためにそれまで測定中であったΔを値の標準偏差σを更新し、その結果を変 数ＳＴＤ　ＤＥＶに記憶する。すると、処理は、決定ブロック８２６へと移り、 結果として得られた標準偏差値ＳＴＤ　ＤＥＶをその最小値ＭＩＮ　ＳＴＤ　Ｄ ＥＶと対照して試験する。結果として得られた標準偏差ＳＴＤ　ＤＥＶが、前記 最小値ＭＩＮ　ＳＴＤ　ＤＥＶ未満である場合は、決定ブロック８２６は、その ＹＥＳ経路を介して、処理をブロック８２９へ移す。この後者のブロック８２９ は、機械的零位の一時的な現在値（ＭＥＣＨＺＥＲＯＴＥＭＰ）を、現在の機械 的零位処理中に得られた合計Δを値の平均として、即ち、合計変数ＺＥＲＯＴＯ ＴＡＬをループカウンタの内容ＺＥＲＯＣ０ＵＮＴにより除算した値として、計 算する。すると、ブロック８２９は、最小標準偏差値ＭＩＮ　ＳＴＤ　ＤＥＶを 、標準偏差ＳＴＤ　ＤＥＶ（７）現在値と等しく設定する。そうすることにより 、かかる現在の機械的零位処理のためにそれまで決定された標準偏差の最小値は 、下記の方法で、機械的零位の現在値に余りにノイズが多く、受容不能であるか どうかを決定するために、常に使用されることとなる。ブロック８２９が完全に 実行されると、処理は決定ブロック８３２に移る。若しくは、標準偏差５ＴＤ− ＤＥＶの現在値が、現在、ソノ最小値ＭＩＮ　ＳＴＤ　ＤＥＶと等しい、または 、最小値ＭＩＮ　ＳＴＤ　ＤＥＶを超える場合、処理は、決定ブロック８２６か ら出るＮｏ経路を介して、前記決定ブロック８３２に移る。

この時点で、機械的零位の現在値を決定するために、十分な数のΔを値が測定さ れたかどうかを判断するため、決定ブロック８３２．８３６及び８４０により、 別個の試験が３つまで順次行われる。十分な数となるまで、かかる測定が引き続 き行われる。特に、決定ブロック８３２は、標準偏差ＳＴＤ　ＤＥＶの現在値が 収束限界未満であるかどうか判断するものである。この場合、標準偏差ＳＴＤ　 ＤＥＶが、連続するΔを値に従って低下し、所定の限界値以下となったときは、 いくら追加測定を行っても、機械的零位値が影響を受けるということはまず有り 得ない。

したがって、標準偏差ＳＴＤ　ＤＥＶがこのように低下した場合は、決定ブロッ ク８３２は、そのＹＥＳ経路を介して、決定ブロック８４３へ処理を移す。若し くは、標準偏差ＳＴＤ　ＤＥＶの現在値が、未だ、収束限界以上の場合は、処理 は、決定ブロック８３２から出るＮｏ経路を介して、決定ブロック８３６へと移 る。この後者の決定ブロック８３６は、ユーザが押しボタンを押したかどうか、 または、計器に現在の機械的零位（ゼロ化）処理を終了させるための適当な指示 を送ったかどうかを判断する。ユーザがかかる処理を終了した場合、決定ブロッ ク８３６は、そのＹＥＳ経路を介して、決定ブロック８４３へ処理を移す。若し くは、ユーザが現在の機械的零位（ゼロ化）処理を終了していない場合、決定ブ ロック８３６は、そのＮｏ経路を介して、決定ブロック８４０へ処理を移す。決 定ブロック８４０は、実行されると、測定Δを値の数ＺＥＲＯＣ０ＵＮＴがちょ うど最大数ＭＡＸ　Ｃ０ＵＮＴとなったかどうか判断する。かかる測定値の数Ｚ ＥＲＯＣ０ＵＮＴが、最大数ＭＡＸ　Ｃ０ＵＮＴ、例えば、２０００測定値数と なった場合、決定ブロック８４０は、そのＹＥＳ経路を介して、その処理を決定 ブロック８４３に移す。若しくは、測定値数ＺＥＲＯＣ０ＵＮＴが最大数ＭＡＸ 　Ｃ０ＵＮＴとならない場合は、次の連続するΔｔを適切に処理すべく、処理は 、決定ブロック８４０から出るＮｏ経路８４１及び経路８７２を介して、ルーチ ン８００を脱する。

ルーチン８００のこの時点で、機械的零位の現在値は、一時的ではあるが、十分 な数の連続するΔｔの測定値に基づき決定される。さて、決定ブロック８４３． ８４６及び８５１は、かかる機械的零位値が所定限界、例えば、図示の例では± ３μｓｅｃの範囲内にあるかどうか、並びに、かかる機械的零位値が比較的ノイ ズを免れたものであるかどうかを判断する。具体的には、決定ブロック８４３は 、現在の一時的な機械的零位（ゼロ）値ＭＥＣＨＺＥＲＯＴＥＭＰが、下限、即 ち、図示の例では一３μｓｅｃ未満であるかどうか判断する。かかる限界を負方 向に超える場合、決定ブロック８４３は、そのＹＥＳ経路を介して、処理をブロ ック８５４に移す。これは、エラー（誤差）状態を意味するので、ブロック８５ ４は、実行されると、適当なエラー（誤差）フラグの値、即ち、ＭＥＣＨＡＮＩ ＣＡＬ　ＺＥＲＯＴＯＯＬＯＷ（機械的零位低すぎ）を、真に設定する。一方、 下限を負方向に超えない場合、決定ブロック８４３は、そのＮｏ経路を介して、 決定ブロック８４６に処理を移す。この後者のブロック８４６は、現在の一時的 な機械的零位値ＭＥＣＨＺＥＲＯＴＥＭＰが、上限、即ち、図示の例では、＋３ μｓｅＣより大きいかどうか判断する。かかる限界を正方向に超える場合、決定 ブロック８４６は、そのＹＥＳ経路を介して、処理をブロック８５９に移す。こ れは、エラー（誤差）状態を意味するので、ブロック８５９は、実行されると、 適当なエラー（誤差）フラグの値、即ち、ＭＥＣＨＡＮＩＣＡＬ　ＺＥＲＯＴｏ ｏ　ＨＩＧＨ（機械的零位高すぎ）を、真に設定する。前記上限値及び下限値± ３μｓｅｃは、本願の譲受人により現在製造される計器について、全ての非流動 ベースのΔを値がかかる範囲内に入るであろうとして、経験的に決定されたもの である。一方、これらの限界のいずれをも超えない場合は、決定ブロック８４６ は、そのＮｏ経路を介して、決定ブロック８５１に移る。この後者のブロック８ ５１は、一時的な機械的零位値が、十分にノイズを免れたものであるかどうか、 即ち、かかる値を得るために利用される連続するΔを値の全てのものが、所定未 満の変動性を有するかどうかを、現在の最小標準偏差値ＭＩＮ　ＳＴＤ　ＤＥＶ を、予め設定された収束限界の整数倍数（“ｎ”）、典型的にはその２倍と等し い限界と比較することにより、判断する。

この点に関し、機械的零位について最も再現可能な値は、標準偏差がその最小値 に達した時に生じる傾向にある。このことは、前記標本化（サンプリング）率の 速度センサ信号に対してうなりを発しく即ち、カウンタ７５は、各流路（管路） サイクル毎に読取られる）、測定Δを値内に現れるうなり周波数を生じる６０Ｈ ｚのハム及びその調波のような周期的ノイズにより、測定Δを値が悪影響を受け るためであると思われる。

定常動作では、かかるタイプのいくらかのノイズは、その振幅は一方の取付部（ ｉｎｓｔａｌ　１ａｔｉｏｎ）から他方の取付部へと通常は変化するものの、常 に発生することが予期される。本願の譲受人により製造される範囲の計器につい ては、前記速度信号は、３０〜１８０Ｈｚの基本周波数を有している。うなり周 波数の振幅は、ノイズがこの標本化率と同相となるとき、最も小さいものとなり 、ノイズが標本化率に対し段々と位相外れとなるにつれ、増大して、測定した非 流動Δを値における変動性及び誤差を増大するようになる。よって、標準偏差の 最小値は、結果的な機械的（零位）値に余りにノイズが大きいかどうかを判断す るために使用される。

具体的には、決定ブロック８５１が、最小標準偏差ＭＩＮ　ＳＴＤ　ＤＥＶが収 束限界の“ｎ”倍の限界を超えたと判断した場合、現在の一時的な機械的零位値 は、単純に、あまりにノイズが大きいことになり、無視される。このことは、エ ラー（誤差）状態を意味するので、決定ブロック８５１は、そのＹＥＳ経路を介 して、処理をブロック８６２に移す。

この後者のブロック８６２は、実行されると、適当なエラー（誤差）フラグの値 、即ち、ＭＥＣＨＡＮＩＣＡＬ　ＺＥＲＯＴｏｏ　Ｎ０ＩＺＹ（機械的零位ノイ ズ大きすぎ）を真に設定する。一方、最小標準偏差ＭＩＮ　ＳＴＤ　ＤＥＶが十 分小さく、一時的な機械的零位値が比較的ノイズを免れていることを示す場合は 、決定ブロック８５１は、そのＮＯ経路を介して、処理をブロック８６５に移す 。この後者のブロック８６５は、機械的零位値ＭＥＣＨＺＥＲＯを、一時的な機 械的零位値ＭＥＣＨＺＥＲＯＴＥＭＰに等しいものとして更新する。ブロック８ ５４．８５９，８６２または８６５が実行されると、処理は、今度は、ブロック ８７０に移り、機械的零位処理が終了して、今は進行中でないことを示すべく、 フラグの状態ＺＥＲＯ５ＴＡＴＥを非活動中に設定する。すると、処理は、ルー チン８００を脱する。

機械的零位（ゼロ化）処理について説明してきたが、図９は、かかる零位（ゼロ 化）処理の間に得ることのできる標準偏差σΔｔにおいて、各対応する範囲につ いて生じる関連する零位動作を概略的に示す。具体的には、σΔｔの値が、範囲 ９１０内にあり、収束限界（１）未満にあるときは、常に、零位処理（ゼロ化） は即座に停止され、その結果得られる機械的零位（ゼロ）値が受容される。σΔ ｔの値が、範囲９２０内にあり、収束限界より大きい一方、収束限界の“ｎ”倍 よりは小さいときは、常に、零位処理は、変数ＭＡＸ　Ｃ０ＵＮＴの値で示され る最大数のΔｔの測定値が得られるまで継続される。流路（管路）サイクルであ るこの数は、最大零位（ゼロ化）時間を画定するものである。σΔｔが、範囲９ ３０内にあり、収束限界の“ｎ″倍を超えるときは、常に、零位（ゼロ化）処理 は即座に停止される。これに伴う現在の機械的零位値は、単純に無視され、その 最も最近の値が代わりに選択される。

図１０は、受容可能及び受容不能な機械的零位値の範囲を概略的に示す。図示の ように、誤差のある機械的零位値とは、範囲１０２０内にあり、負方向の限界− ３μｓｅｃより負方向に大きいもの、または、範囲１０３０内にあり、正方向の 限界３μｓｅｃより正方向に大きいものを言う。機械的零位が、これらの値のい ずれかを含むと判断された場合、その値は単純に無視される。範囲１０１０内に あり、負方向の限界及び正方向の限界間に位置する機械的零位の値のみが、受容 される。

図１１は、ＲＴＤ温度処理ルーチン１１００のフローチャートを示す。

上記のように、このルーチン１１００は、周期的割込みベースで、０゜８秒毎に 動作し、抵抗温度検出器（ＲＴＤ）１９０の温度ドリフト１こ対して基本的に感 度の低いデジタル化流路（管路）温度値を提供すると共に、その温度値を使用し て、温度補償された計器因子（ＲＦ）についての現在値を計算する。この現在値 は、マイクロコンピュータ（マイクロプロセッサ）８０内のデータベースに記憶 され、それ以降、現在の質量流量率値を判断乃至決定する際に、前記ルーチン６ ００で使用される。

ルーチン１１００を開始すると、処理はブロック１１１０に移る。このブロック １１１０は、実行されると、アナログスイ・ノチ３５により、ＲＴＤ電圧を、以 後の変換のため、Ｖ／Ｆ変換器４１（図３Ａ及び３Ｂ参照）に入力する。これを 正確に遂行するため、マイクロコンピュータ８０は、適当なアドレス信号及び制 御信号を、リード線８２及び８４を介して、回路７０、特に、その内部にある制 御ロジ・ツク７２に印加する。

これらの信号は、制御ロジック７２に対し適当な選択信号をリード線３４を介し てアナログスイッチ３５に印加するよう指示する。この後、適当な計数時間が経 過すると、図１１に示すブロック１１１０は、周波数変換されたアナログＲＴＤ 電圧に比例する計数値を含むカウンタ７８（図３Ａ及び３Ｂ参照）の内容を読取 る。その後、図１１に示すように、処理はブロック１１２０に移る。このブロッ ク１１２０は、実行されると、カウンタ７８から読取られた内容を、二極ソフト ウェアフィルタを介して濾波（フィルタリング）し、その結果得られる濾波後の （フィルタリングされた）値を一時的変数Ｖ　Ｔｏ　Ｆに記憶する。

この後、ブロック１１３０が実行され、濾波後の値から零位残留偏差（ゼロオフ セット）の値を除去し、現在周波数値ＣＵＲＲＥＮＴ　ＦＲＥＱを発生する。こ の零位残留偏差値ＦＲＥＱ　ＡＴ　ＯＶは、零位１から発生される、非零位（ゼ ロ）の濾波（フィルタリング）された計数周波数出力の値である。その後、ブロ ック１１４０が実行され、温度数Ｃ当たりの計数値を示す比例因子ＦＲＥＱ　Ｐ ＥＲＣを計算する。

この因子は、単純に、２つの基準電圧（図示の例では、それぞれ、接地電位及び １．９ｖであるＶ　及びＶ　）についての濾波後ｒｅｆｔ　ｒｅｆ２ の計数値における差を、十進数”３８０”で除算することにより与えられる。同 基準電圧についての計数周波数値は、基本的に、流路（流管）温度の全ての変化 と同時発生で得られるため、Ｖ／Ｆ変換器４１から生じるあらゆる温度ドリフト は、基本的に等しい誤差成分をこれらの計数値の両方に投入する。比例因子が、 いずれか一つのみの値の大きさではなく、これらの計数値間の差を利用して計算 されるため、比例因子の値は、基本的に、温度ドリフトに起因して計数Ｖ／Ｆ出 力に発生するいかなる偏移（シフト）によっても悪影響を受けない。零位残留偏 差値（ＦＲＥＱ　ＡＴ　ＯＶ）、並びに、１．９ｖの電圧を濾波及び計数して得 た基準値（ＦＲＥＱ　ＡＴ　１．９Ｖ）は、両方とも、周期的割り込みベースで 、やはり０．８秒毎に、図示しない他のルーチンによって判断乃至決定される。

当業者にとって容易に理解されるであろうこのルーチンは、回路７０により、適 当な選択信号をアナログスイッチ３５に印加し、最初に、時間スタガベース（ｔ ｆｍｅ　ｓｔａｇｇｅｒｅｄ　ｂａｓｉｓ）で、接地電位（Ｖ　）の電圧または １．９Ｖ（Ｖ　）の電圧のいずれかｒｅｆｌ　ｒｅｆ２ を、Ｖ／Ｆ変換器４１の入力に連絡し、続いて、そこから生じる周波数値を計数 して、その後、この値を読取って濾波し、その濾波した結果を記憶するものであ る。

比例因子がブロック１１４０により決定されると、処理は、ブロック１１５０に 移る。このブロック１１５０は、現在の周波数値ＣＵＲＲＥＮＴ　ＦＲＥＱを比 例因子ＦＲＥＱ　ＰＥＲＣで除算することにより、抵抗温度検出器（ＲＴＤ）１ ９０で検出された現在温度（ＴＥＭＰ）を計算する。その後、処理はブロック１ １６０に移り、計器因子の値及び現在温度の値を使用して、温度補償された計器 因子ＲＦを計算する。コリオリ式計器にとって、前記計器因子は、製造中に経験 的に決定される公知の定数である。前記温度補償された計器因子ＲＦが計算され ると、その計器因子ＲＦは、データベースに記憶され、以後、質量流量率を決定 する際に使用される。その後、処理は、ルーチン１１００を脱する。

一方のチャンネル対が零位（ゼロ）モードで動作する一方、他方のチャンネル対 が測定モードで動作するよう、両チャンネル対は並列的に動作されるが、これら のチャンネル対は順次動作することもできることを、当業者であれば、今や確実 に理解するであろう。この場合、動作中のチャンネル対は、他方のチャンネル対 が待機状態にあるときに、そのゼロモード及び／または測定モードで機能するで あろう。これらのチャンネル対は、その後、各モードの終了時、または、動作中 のチャンネル対がゼロモード及び測定モードの両方を順次行った後、周期的に動 作状態から待機状態に切り換えられる。順次動作では、一方のチャンネル対は、 いかなる時においても常に待機状態にあるため、回路を簡略化するために、２つ よりもむしろ１つのチャンネル対を使用して、その１つの対を常に動作させ、測 定モードとゼロモードとの間で継続的に循環させることができる。実際に動作中 の一方のチャンネル対がゼロモードにある場合においては、いかなる流量測定も 行われていないであろう。したがって、実際の流量測定の代わりに、その時間中 に生じている流量に関し、ある仮定を行うことが必要となるであろう。よって、 継続的流量測定を省略することにより、コリオリ式質量流量計において、いかな るときにも唯一実際に動作するチャンネル対を使用すると、計器が、２つのモー ド間で周期動作する唯一の有形のチャンネル対を備えるかどうか、または、その ような１つの対をいかなるときにも非活動中とする２つの対を備えるかどうかに かかわらず、多少不正確な流量測定を行うことになる。

対照的に、本発明の流量測定回路３０は、通常の流量計測動作の間、一方のチャ ンネル対が、いかなるときにも実際の流量を実際に測定中となるため、回路が若 干複雑となる代わりに、非常に正確な流量測定が可能となる。

更に、“活動中”の時間は、いずれのチャンネル対についても、ゼロモード内に 設けられ、かかるゼロモードの間、例えば、二重の流量測定及びその相互チャン ネル対の比較を行うことが可能であるが、かかる時間は、必要であれば、計器精 度には何の悪影響もなしに、省略することができる。実際、ゼロモードの継続時 間を、１つのゼロ化時間（即ち、それ以外の場合には、前記チャンネル対が“活 動中”の時間として動作する時間）の分だけ短縮するため、または、そのチャン ネル対が、その後採取される内部位相遅延の測定値の数を適宜増加することによ り、実際に零位処理をしている時間を延長するため、上記のような省略を行うこ とができる。

また、開示された実施例は、Ｕ字状の流路を使用しているが、流路が軸を中心と して振動して、基準となる非慣性フレーム（ｎｏｎ−ｉｎｅｒｔｉａｌ　ｆｒａ ｍｅ）を形成する限りにおいて、殆どどんな寸法及び形状の流路（流管）を使用 してもよいことを、当業者であれば理解する。例えば、これらの流路は、限定的 ではないが、直線状の管路、Ｓ字状の流路または環状の流路を含んでもよい。更 に、計器は、２つの平行な流路（流管）を備えるよう示されているが、単一の流 管または３以上（例えば、３．４若しくはそれ以上）の平行な流管を備える実施 例を、必要であれば、使用してもよい。

本発明の単一の実施例を、ここに詳細に図示及び説明したが、本発明の開示をや はり具体化する他の種々の実施例を、当業者であれば容易に製造することができ る。

図３ 図３Ｂ Ｍ　７ 流量測定基本メインルーブ 図７Ｂ 図８ 図８Ｂ 口 Ｒより温度処理ルーチン 補正書の翻訳文の提出書（特許法第１８４条の８）平成６年　１月１１日

Claims (42)

【特許請求の範囲】
1. １．内部を流れるプロセス流体の流量率を測定するためのコリオリ式計器（５） であって、 少なくとも一つの流路（１３０）と、 前記流路を所定の振幅で振動させる振幅手段（１８０）と、前記プロセス流体が 前記流路を通過することによって誘発される反対方向のコリオリの力により発生 する前記流路の移動を検出して、前記流路の前記検出された移動に対応する第１ 及び第２の信号を発生する移動検出手段（１６０Ｒ，１６０Ｌ）と、 前記第１及び第２の信号に応答して、前記プロセス流体の流量率値を提供する回 路手段（３０）とを具備し、前記回路手段は、 第１及び第２の入力（４４，６４）を有すると共に、前記第１及び第２の信号に 応答し、前記プロセス流体が前記計器を通って流れる際に、前記第１及び第２の 信号の対応する時点間に生じる時間差（Δｔ）を連続的に測定して、測定Δｔ値 を発生する入力手段（４４，６４，７０）と、 前記入力手段と協働して動作し、前記入力手段に関する内部位相遅延を測定して 、その測定位相遅延値を発生する内部位相遅延測定手段（６１０）と、 前記内部位相遅延測定手段及び前記測定Δｔ値に応答し、前記測定Δｔ値を前記 測定位相遅延値で補償して、補償Δｔ値を発生する補償手段（６２０）と、 前記補償手段に応答し、流量率値を前記補償Δｔ値の所定の関数として決定する 手段（６４０）とを備える コリオリ式計器。
2. ２．内部を流れるプロセス流体の流量率を測定するためのコリオリ式計器（５） であって、 少なくとも一つの流路（１３０）と、 前記流路を所定の振幅で振動させる振幅手段（１８０）と、前記プロセス流体が 前記流路を通過することによって誘発される反対方向のコリオリの力により発生 する前記流路の移動を検出して、前記流路の前記検出された移動に対応する第１ 及び第２のセンサ信号を発生する移動検出手段（１６０Ｒ，１６０Ｌ）と、前記 第１及び第２のセンサ信号に応答して、前記プロセス流体の流量率値を提供する 回路手段（３０）とを具備し、前記回路手段は、 各々が第１、第２及び第３のチャンネル出力信号を発生する第１、第２及び第３ の入力チャンネル（４４，５４，６４）と、前記第１、第２及び第３のチャンネ ル出力信号に応答し、第１及び第２の対の前記入力チャンネルの各々に関して第 １及び第２の内部位相遅延値を決定すると共に、前記第１及び第２の対の前記入 力チャンネルについて第１及び第２の時間差（Δｔ）値をそれぞれ測定する計数 手段（７５）と、前記第１及び第２の内部位相遅延値並びに前記第１及び第２の Δｔ値に応答し、前記第１のΔｔ値を前記第１の内部位相遅延値により補供して 第１の補償Δｔ値を発生すると共に、前記第２のΔｔ値を前記第２の内部位相遅 延値により補償して第２の補償Δｔ値を発生する手段（６２０）とからなる計数 ・処理手段（７０，８０）と、前記第１または第２のセンサ信号を、前記第１、 第２及び第３の入力チャンネルの対応する入力に選択的に連絡する選択的連絡手 段（３１）と、 前記選択的連絡手段及び前記計数・処理手段に接続され、前記センサ信号のいず れを前記入力チャンネルのいずれの入力として同時に印加すべきかを特定すると 共に、前記選択的連絡手段並びに前記第１及び第２の対の前記入力チャンネルを 、前記計数手段と協働して動作して、前記第１の対の前記入力チャンネルにより 前記第１の内部位相遅延値を決定する一方で、前記第２の対の前記入力チャンネ ルにより前記第２のΔｔ値を測定し、更に、前記第１及び第２の対の前記入力チ ャンネルの動作を所定時間経過後に反転して、前記第２の対の前記入力チャンネ ルにより前記第２の内部位相遅延値を決定する一方、前記第１の対の前記入力チ ャンネルにより前記第１のΔｔ値を測定する制御手段（７２）とを備え、 前記計数・処理手段は、更に、 前記プロセス流体の流量率値を前記第１及び第２の補償Δｔ値の所定の関数とし て決定する処理手段を備えるコリオリ式計器。
3. ３．前記第１及び第２の内部位相遅延値は、前記プロセス流体が前記計器を通っ て流れる間に測定される請求項２記載のコリオリ式計器。
4. ４．前記制御手段は、前記両対の前記入力チャンネルの各々を、第１及び第２の モードで動作して、前記第１のモードでは、前記選択的連絡手段により、基準信 号を前記各対の前記両入力チャンネルの前記入力に選択的に連絡すると共に、前 記計数手段により、前記各対の前記両入力チャンネルから供給される前記チャン ネル出力信号の対応時点間における第３の時間差値を測定して、前記第３の時間 差値により前記各対の前記入力チャンネルに関する前記内部位相遅延値を表し、 前記第２のモードでは、前記選択的連絡手段により、前記第１及び第２のセンサ 信号を前記各対の前記両入力チャンネルの前記入力のうちの対応するものに連絡 すると共に、前記計数手段により、前記各対の前記入力チャンネルに関して、複 数のΔｔ値を測定する手段（７００）を備える請求項３記載のコリオリ式計器。
5. ５．前記基準信号は前記第１または第２のセンサ信号のいずれかである請求項４ 記載のコリオリ式計器。
6. ６．前記補償手段は、更に、 前記第３の時間差値に応答すると共に、前記第１及び第２の対の前記入力チャン ネルについて前記第１のモードの間中動作し、前記第１及び第２の内部位相遅延 値をそれぞれ発生する手段（７１０）と、前記第１及び第２の対の前記入力チャ ンネルについて前記第２のモードの間中動作し、前記第１及び第２の対の前記入 力チャンネルについて前記第１のモードの間に得られる前記第１及び第２の内部 位相遅延値により、対応する複数の第１及び第２の測定Δｔ値の各々を別個に補 償する手段（７６０）とを備える 請求項５記載のコリオリ式計器。
7. ７．前記制御手段は、更に、前記第１及び第２の対の前記入力チャンネルを前記 第１及び第２のモード間で継続的に周期動作する手段（７０３，７３０）を備え る請求項６記載のコリオリ式計器。
8. ８．前記制御手段は、更に、 前記第１及び第２のセンサ信号に接続され、第１、第２及び第３のマルチプレク サ出力を供給すると共に、選択信号に応答して動作して、前記第１または第２の センサ信号を前記第１、第２及び第３のマルチプレクサ出力の各々に選択的に連 絡する入力マルチプレクサ手段（３１）と、前記第１、第２及び第３のマルチプ レクサ出力にそれぞれ接続される第１、第２及び第３のチャンネル入力を有し、 前記第１、第２及び第３のチャンネル入力の対応する一つに印加される信号が所 定のレベルとなるときは、常に、各々レベル変化を呈する第１、第２及び第３の チャンネル出力信号をそれぞれ供給する第１、第２及び第３の入力チャンネルと 、 前記第１及び第２のチャンネル出力信号、並びに、前記第２及び第３のチャンネ ル出力信号にそれぞれ接続されて、前記第１及び第２の対の前記入力チャンネル を画定する第１及び第２のタイミング手段（７４，７６）であって、前記第１の タイミング手段（７４）により前記第１及び第２のチャンネル出力信号の対応時 点間に生じる第１の時間間隔を継続的に測定すると共に、前記第２のタイミング 手段（７６）により前記第２及び第３のチャンネル出力信号の対応時点間に生じ る第２の時間間隔を継続的に測定する第１及び第２のタイミング手段とを備え、 前記制御手段には、更に、前記第１及び第２のタイミング手段並びに前記入力マ ルチプレクサ手段に接続され、前記選択信号を発生して、前記第１または第２の センサ信号を前記第２のマルチプレクサ出力に継続的に連絡すると共に、前記第 １または第２のセンサ信号のいずれかを前記第１及び第３のマルチプレクサ出力 に選択的に接続して、前記第１及び第２の対の前記入力チャンネルを前記第１及 び第２のモードのいずれかで動作するロジック手段（７２，８０）を備えた請求 項２または７記載のコリオリ式計器。
9. ９．前記ロジック手段は、前記選択信号を適宜連続して発生して、前記第１及び 第２の対の前記入力チャンネルの各々を前記第１及び第２のモード間で反復的に 周期動作する状態選択手段（７１０）を備える請求項８記載のコリオリ式計器。
10. １０．前記状態選択手段は、更に、前記選択信号を発生し、かつ、前記第１及び 第２の対の前記入力チャンネルの各々の現在の状態を表す状態情報を供給する手 段（７０３，７３０）を備えると共に、前記補償手段は、前記第１及び第２のタ イミング手段から得られる前記第１及び第２の時間間隔測定値並びに前記状態情 報に応答して動作し、前記第１及び第２の対の前記入力チャンネルが前記第２の モードでそれぞれ動作する間に得られる前記第１及び第２の時間間隔測定値の各 々を、対応する対の入力チャンネルが前記第１のモードで最も直近に動作する間 に前記第１及び第２の対の前記入力チャンネルについてそれぞれ得られた前記内 部位相遅延の値により補償するプロセッサ手段（７６０）を備える請求項９記載 のコリオリ式計器。
11. １１．前記プロセッサ手段は、前記第１及び第２の対の前記入力チャンネルにつ いての前記第１及び第２の内部位相遅延値を、前記第１及び第２の対の前記入力 チャンネルが前記第１のモードでそれぞれ動作する間に前記第１及び第２の対の 前記入力チャンネルが発生した前記第１及び第２の時間間隔の測定値の平均値と して、それぞれ、発生する手段（７１８，７４５）を備える請求項１０記載のコ リオリ式計器。
12. １２．前記第１または第２の対の前記入力チャンネルの各一方について、前記第 １のモードは、前記一方の対の入力チャンネルに至る前記チャンネル入力の一方 が、前記入力マルチプレクサ手段を介して、前記第２のセンサ信号から前記第１ のセンサ信号に切換えられる第１の切換時間と、前記一方の対の入力チャンネル が前記第１または第２の時間間隔の測定値を連続して発生するゼロ化時間と、前 記一方のチャンネル入力が、前記入力マルチプレクサ手段を介して、再度、前記 第１のセンサ信号から前記第２のセンサ信号に切換えられる第２の切換時間とを 連続的に備える請求項１０記載のコリオリ式計器。
13. １３．前記第１及び第２の切換時間は、互いに等しい時間継続すると共に、各切 換時間は、その各々の間に生じる切換過渡現象が所定のレベルに低下する程十分 に長いものである請求項１２記載のコリオリ式計器。
14. １４．前記第１のモードは、更に、前記第２の切換時間後に開始する活動時間を 備え、前記活動時間中は、前記プロセス流体が前記計器を通って流れる間、前記 一方の対の入力チャンネルが測定Δｔ値を発生可能とされる請求項１３記載のコ リオリ式計器。
15. １５．内部を流れるプロセス流体の流量率を測定するためのコリオリ式計器（５ ）であって、少なくとも一つの流路（１３０）と、前記流路を所定の振幅で振動 させる振幅手段（１８０）と、前記プロセス流体が前記流路を通過することによ って誘発される反対方向のコリオリの力により発生する前記流路の移動を検出し て、前記流路の前記検出された移動に対応する第１及び第２のセンサ信号を発生 する移動検出手段（１６０Ｒ，１６０Ｌ）と、前記第１及び第２のセンサ信号に 応答して、前記プロセス流体の流量率値を提供する回路（３０）とを具備し、前 記回路は、各々が第１、第２及び第３のチャンネル出力信号を発生する第１、第 ２及び第３の入力チャンネル（４４，５４，６４）を備えるコリオリ式計器にお ける測定方法であって、 前記第１、第２及び第３のチャンネル出力信号に応答し、第１及び第２の対の前 記入力チャンネルの各々に関して第１及び第２の内部位相遅延値を決定すると共 に、前記第１及び第２の対の前記入力チャンネルについて第１及び第２の時間差 （Δｔ）値をそれぞれ測定する工程と、前記第１及び第２の内部位相遅延値並び に前記第１及び第２のΔｔ値に応答し、前記第１のΔｔ値を前記第１の内部位相 遅延値により補償して第１の補償Δｔ値を発生すると共に、前記第２のΔｔ値を 前記第２の内部位相遅延値により補償して第２の補償Δｔ値を発生する補償工程 と、前記第１または第２のセンサ信号を、前記第１、第２及び第３の入力チャン ネルの対応する入力に選択的に連絡する選択的連絡工程と、前記選択的連絡工程 に対して、前記センサ信号のいずれを前記入力チャンネルのいずれの入力として 同時に印加すべきかを特定すると共に、前記選択的連絡手段並びに前記第１及び 第２の対の前記入力チャンネルを動作して、前記第１の対の前記入力チャンネル により前記第１の内部位相遅延値を決定する一方で、前記第２の対の前記入力チ ャンネルにより前記第２のΔｔ値を測定し、更に、前記第１及び第２の対の前記 入力チャンネルの動作を所定時間経過後に反転して、前記第２の対の前記入力チ ャンネルにより前記第２の内部位相遅延値を決定する一方、前記第１の対の前記 入力チャンネルにより前記第１のΔｔ値を測定する工程と、前記プロセス流体の 流量率値を前記第１及び第２の補償Δｔ値の所定の関数として決定する工程と を具備するコリオリ式計器における測定方法。
16. １６．前記第１及び第２の内部位相遅延値は、前記プロセス流体が前記計器を通 って流れる間に測定される請求項１５記載のコリオリ式計器における測定方法。
17. １７．更に、前記両対の前記入力チャンネルの各々を、第１及び第２のモードで 動作して、前記第１のモードでは、基準信号を前記各対の前記両入力チャンネル の前記入力に選択的に連絡すると共に、前記各対の前記両入力チャンネルから供 給される前記チャンネル出力信号の対応時点間における第３の時間差値を測定し て、前記第３の時間差値により前記各対の前記入力チャンネルに関する前記内部 位相遅延値を表し、前記第２のモードでは、前記第１及び第２のセンサ信号を前 記格対の前記両入力チャンネルの前記入力のうちの対応するものに連絡すると共 に、前記各対の前記入力チャンネルに関して、複数のΔｔ値を測定する工程を具 備する請求項１６記載のコリオリ式計器における測定方法。
18. １８．前記基準信号は前記第１または第２のセンサ信号のいずれかである請求項 １７記載のコリオリ式計器。
19. １９．前記補償工程は、更に、 前記第１及び第２の対の前記入力チャンネルについて前記第１のモードの間にそ れぞれ発生する前記第３の時間差値に応答して、前記第１及び第２の内部位相遅 延値を発生する工程と、前記第１及び第２の対の前記入力チャンネルが前記第２ のモードにある間に、前記第１及び第２の対の前記入力チャンネルについて前記 第１のモードの間に得られる前記第１及び第２の内部位相遅延値により、対応す る複数の第１及び第２の測定Δｔ値の各々を別個に補償する工程とを備える請求 項１８記載のコリオリ式計器における測定方法。
20. ２０．前記制御手段は、更に、前記第１及び第２の対の前記入力チャンネルを前 記第１及び第２のモード間で継続的に周期動作する手段（７１０）を備える請求 項１９記載のコリオリ式計器における測定方法。
21. ２１．更に、 前記第１及び第２のセンサ信号に接続される入力マルチプレクサ手段を介して、 第１、第２及び第３のマルチプレクサ出力を供給すると共に、選択信号に応答し て、前記第１または第２のセンサ信号を前記第１、第２及び第３のマルチプレク サ出力の各々に選択的に連絡する工程と、前記第１、第２及び第３のマルチプレ クサ出力にそれぞれ接続される第１、第２及び第３のチャンネル入力を有する第 １、第２及び第３の入力チャンネルを介して、前記第１、第２及び第３のチャン ネル入力の対応する一つに印加される信号が所定のレベルとなるときは、常に、 各々レベル変化を呈する第１、第２及び第３のチャンネル出力信号を供給する工 程と、 前記第１及び第２のチャンネル出力信号、並びに、前記第２及び第３のチャンネ ル出力信号にそれぞれ接続されて、前記第１及び第２の対の前記入力チャンネル を画定する第１及び第２のタイミング手段を介して、前記第１のタイミング手段 により、前記第１及び第２のチャンネル出力信号の対応時点間に生じる第１の時 間間隔を継続的に測定すると共に、前記第２のタイミング手段により、前記第２ 及び第３のチャンネル出力信号の対応時点間に生じる第２の時間間隔を継続的に 測定する工程と、前記第１及び第２のタイミング手段並びに前記入力マルチプレ クサ手段に接続されるロジック手段を介して、前記選択信号を発生して、前記第 １または第２のセンサ信号を前記第２のマルチプレクサ出力に継続的に連絡する と共に、前記第１または第２のセンサ信号のいずれかを前記第１及び第３のマル チプレクサ出力に選択的に接続して、前記第１及び第２の対の前記入力チャンネ ルを前記第１及び第２のモードのいずれかで動作する選択信号発生工程と を具備する請求項１５または２０記載のコリオリ式計器における測定方法。
22. ２２．前記選択信号発生工程は、前記選択信号を適宜連続して発生して、前記第 １及び第２の対の前記入力チャンネルの各々を前記第１及び第２のモード間で反 復的に周期動作する連続発生工程を備える請求項２１記載のコリオリ式計器にお ける測定方法。
23. ２３．前記連続発生工程は、更に、 前記選択信号を発生する工程と、 前記第１及び第２の対の前記入力チャンネルの各々の現在の状態を表す状態情報 を供給する工程と備えると共に、前記補償工程は、 前記第１及び第２のタイミング手段から得られる前記第１及び第２の時間間隔測 定値並びに前記状態情報に応答して、前記第１及び第２の対の前記入力チャンネ ルが前記第２のモードでそれぞれ動作する間に得られる前記第１及び第２の時間 間隔測定値の各々を、対応する対の入力チャンネルが前記第１のモードで最も直 近に動作する間に前記第１及び第２の対の前記入力チャンネルについてそれぞれ 得られた前記内部位相遅延の値により補償する工程を備えδ 請求項２２記載のコリオリ式計器における測定方法。
24. ２４．更に、前記第１及び第２の対の前記入力チャンネルについての前記第１及 び第２の内部位相遅延値を、前記第１及び第２の対の前記入力チャンネルが前記 第１のモードでそれぞれ動作する間に前記第１及び第２の対の前記入力チャンネ ルが発生した前記第１及び第２の時間間隔の測定値の平均値として、それぞれ、 発生する工程を備える請求項２２記載のコリオリ式計器における測定方法。
25. ２５．前記第１及び第２の対の前記入力チャンネルについて、前記第１のモード は、前記一方の対の入力チャンネルに至る前記チャンネル入力の一方が、前記入 力マルチプレクサ手段を介して、前記第２のセンサ信号から前記第１のセンサ信 号に切換えられる第１の切換時間と、前記一方の対の入力チャンネルが前記第１ または第２の時間間隔の測定値を連続して発生するゼロ化時間と、前記一方のチ ャンネル入力が、前記入力マルチプレクサ手段を介して、再度、前記第１のセン サ信号から前記第２のセンサ信号に切換えられる第２の切換時間とを連続的に備 える請求項２２記載のコリオリ式計器における測定方法。
26. ２６．前記第１及び第２の切換時間は、互いに等しい時間継続すると共に、各切 換時間は、その各々の間に生じる切換過渡現象が所定のレベルに低下する程十分 に長いものである請求項２５記載のコリオリ式計器における測定方法。
27. ２７．前記第１のモードは、更に、前記第２の切換時間後に開始する活動時間を 備え、前記活動時間中は、前記プロセス流体が前記計器を通って流れる間、前記 一方の対の入力チャンネルが測定Δｔ値を発生可能とされる請求項２６記載のコ リオリ式計器における測定方法。
28. ２８．第１及び第２の入力信号の測定回路であって、第１、第２及び第３のチャ ンネル入力を有し、前記第１、第２及び第３のチャンネル入力の所定の特徴に応 答して第１、第２及び第３のチャンネル出力信号を発生する第１、第２及び第３ の入力チャンネル（４４，５４，６４）と、 前記第１、第２及び第３のチャンネル出力信号に応答し、第１及び第２の対の前 記入力チャンネルのそれぞれに関する第１及び第２の内部オフセット値を決定す ると共に、前記第１及び第２の対の前記入力チャンネルを介して第１及び第２の 信号値をそれぞれ測定し、第１及び第２の測定信号値を発生する手段（７０）と 、前記第１及び第２の測定信号値並びに前記第１及び第２の内部オフセット値に 応答し、前記第１及び第２の測定信号値を前記第１及び第２の内部オフセット値 によりそれぞれ補償して、第１及び第２の補償値を、それぞれ、前記第１及び第 ２の入力信号の測定値として発生する手段（８０）とを備える測定手段（７０， ８０）と、 前記第１または第２の入力信号を前記第１、第２及び第３の入力チャンネルの対 応する入力に選択的に連絡する選択的連絡手段（３１）と、前記選択的連絡手段 及び前記測定手段に接続され、前記センサ信号のいずれを前記入力チャンネルの いずれの入力として同時に印加すべきかを特定すると共に、前記選択的連絡手段 並びに前記第１及び第２の対の前記入力チャンネルを、前記測定手段と協動して 動作して、前記第１の対の前記入力チャンネルにより前記第１の内部オフセット 遅延値を決定する一方で、前記第２の対の前記入力チャンネルにより前記第２の 信号値を測定し、更に、前記第１及び第２の対の前記入力チャンネルの動作を所 定時間経過後に反転して、前記第２の対の前記入力チャンネルにより前記第２の 内部オフセット遅延値を決定する一方、前記第１の対の前記入力チャンネルによ り前記信号値を測定し、前記第１及び第２の入力信号を継続的に測定して、前記 各対の前記入力チャンネルから発生される前記第１及び第２の入力信号の測定値 を、対応する特定の対の前記入力チャンネルに関する前記内部オフセットの値に より補償する制御手段（７２）と を具備する測定回路。
29. ２９．更に、 前記第１及び第２の入力信号に接続され、前記第１、第２及び第３のチャンネル 入力にそれぞれ接続する第１、第２及び第３のマルチプレクサ出力を供給すると 共に、選択信号に応答して動作して、前記第１または第２の入力信号を前記第１ 、第２及び第３のマルチプレクサ出力の各々に選択的に連絡する入力マルチプレ クサ手段（３１）と、前記第１及び第２のチャンネル出力信号、並びに、前記第 ２及び第３のチャンネル出力信号にそれぞれ接続されて、前記第１及び第２の対 の前記入力チャンネルを画定する第１及び第２の測定手段（７４，７６）であっ て、前記第１及び第２の対の前記入力チャンネルにより、それぞれ、前記第１及 び第２のチャンネル出力信号、並びに、前記第２及び第３のチャンネル出力信号 の前記所定の特徴を測定する第１及び第２の測定手段とを具備し、 前記制御手段には、更に、前記第１及び第２の測定手段並びに前記入力マルチプ レクサ手段に接続され、前記選択信号を発生して、前記第１または第２の入力信 号を前記第２のマルチプレクサ出力に継続的に連絡すると共に、前記第１または 第２の入力信号のいずれかを前記第１及び第３のマルチプレクサ出力の各々に選 択的に接続して、前記第１及び第２の対の前記入力チャンネルの両者が、第１及 び第２のモードのいずれかでそれぞれ同時に動作するようにすると共に、前記第 １及び第２の対の前記入力チャンネルの各々が、前記第１及び第２のモード間を 反復的に周期動作するようにするロジック手段（７１０）を備え、前記第１のモ ードで動作する前記第１及び第２の対の前記入力チャンネルの一方については、 その入力チャンネルの両者に前記第１または第２の入力信号を印加して、これに より発生する第１の測定値が、前記一方の対の前記入力チャンネルの内部に発生 する前記所定のオフセットの値を反映するようにし、 前記第２のモードで動作する前記第１及び第２の対の前記入力チャンネルの他方 については、その入力チャンネルの対応するものに前記第１及び第２の入力信号 を印加して、これにより発生する第２の測定値が、前記第１及び第２の入力信号 の所望の特徴を反映するようにした請求項２８記載の測定回路。
30. ３０．前記第１及び第２の対の前記入力チャンネルのいずれか一方について、前 記第１のモードは、前記一方の対の入力チャンネルに至る前記チャンネル入力の 一方が、前記入力マルチプレクサ手段を介して、前記第２の入力信号から前記第 １の入力信号に切換えられる第１の切換時間と、前記一方の対の入力チャンネル が複数の第１の測定値を発生するゼロ化時間と、前記一方のチャンネル入力が、 前記入力マルチプレクサ手段を介して、再度、前記第１の入力信号から前記第２ の入力信号に切換えられる第２の切換時間とを連続的に備える請求項２９記載の 測定回路。
31. ３１．前記第１及び第２の切換時間は、互いに等しい時間継続すると共に、各切 換時間は、その各々の間に生じる切換過渡現象が所定のレベルに低下する程十分 に長いものである請求項３０記載の測定回路。
32. ３２．前記ロジック手段は、更に、 前記選択信号を発生し、前記第１及び第２の対の前記入力チャンネルの各々の現 在の状態を表す状態情報を供給する手段（７０３，７３０）と、 前記第１及び第２の対の前記入力チャンネルから得られる前記第１及び第２の測 定値並びに前記状態情報に応答して動作し、前記一方の対の前記入力チャンネル が前記第２のモードで動作する間に得られる複数の第２の測定値の各々を、それ 以前に、その対の入力チャンネルが前記第１のモードで動作する間に得られた前 記第１の測定値により補償するプロセッサ手段（７６０）と を備える請求項３１記載の測定回路。
33. ３３．前記所望の特徴は、前記第１及び第２の入力信号の対応時点間に生じる時 間差（Δｔ）であり、前記第１及び第２の対の前記入力チャンネルについての前 記第１の測定値は、それぞれ、前記第１及び第２の対の前記入力チャンネルにつ いての内部位相遅延を反映する請求項３２記載の測定回路。
34. ３４．前記第１及び第２の測定手段は、各々、カウンタ（７４，７６）を備える 請求項３３記載の測定回路。
35. ３５．前記第１、第２または第３のチャンネル入力に印加される前記第１及び第 ２の入力信号についての前記所定の特徴は、前記第１、第２または第３のチャン ネル入力に印加される信号が、所定の大きさとなった時の時間により与えられる 請求項３４記載の測定回路。
36. ３６．第１及び第２の入力信号の測定回路における測定方法であって、第１、第 ２及び第３のチャンネル入力を有する第１、第２及び第３の入力チャンネルを介 して、前記第１、第２及び第３のチャンネル入力の所定の特徴に応答して第１、 第２及び第３のチャンネル出力信号をそれぞれ発生する工程と、 前記第１、第２及び第３のチャンネル出力信号に応答し、第１及び第２の対の前 記入力チャンネルのそれぞれに関する第１及び第２の内部オフセット値を決定す ると共に、前記第１及び第２の対の前記入力チャンネルを介して第１及び第２の 信号値をそれぞれ測定し、第１及び第２の測定信号値を発生する工程と、 前記第１及び第２の測定信号値並びに前記第１及び第２の内部オフセット値に応 答し、前記第１及び第２の測定信号値を前記第１及び第２の内部オフセット値に よりそれぞれ補償して、第１及び第２の補償値を、それぞれ、前記第１及び第２ の入力信号の測定値として発生する工程と、前記第１または第２の入力信号を前 記第１、第２及び第３の入力チャンネルの対応する入力に選択的に連絡する選択 的連絡工程と、前記選択的連絡工程に対し、前記入力信号のいずれを前記入力チ ャンネルのいずれの入力として同時に印加すべきかを特定すると共に、前記選択 的連絡手段並びに前記第１及び第２の対の前記入力チャンネルを、前記測定手段 と協働して動作して、前記第１の対の前記入力チャンネルにより前記第１の内部 オフセット遅延値を決定する一方で、前記第２の対の前記入力チャンネルにより 前記第２の信号値を測定し、更に、前記第１及び第２の対の前記入力チャンネル の動作を所定時間経過後に反転して、前記第２の対の前記入力チャンネルにより 前記第２の内部オフセット遅延値を決定する一方、前記第１の対の前記入力チャ ンネルにより前記信号値を測定し、前記第１及び第２の入力信号を継続的に測定 して、前記各対の前記入力チャンネルから発生される前記第１及び第２の入力信 号の測定値を、対応する特定の対の前記入力チャンネルに関する前記内部オフセ ットの値により補償する工程とを具備する測定回路における測定方法。
37. ３７．更に、 前記第１及び第２の入力信号に接続される入力マルチプレクサ手段を介して、前 記第１、第２及び第３のチャンネル入力にそれぞれ接続する第１、第２及び第３ のマルチプレクサ出力を供給すると共に、選択信号に応答して動作して、前記第 １または第２の入力信号を前記第１、第２及び第３のマルチプレクサ出力の各々 に選択的に連絡する工程と、前記第１及び第２のチャンネル出力信号、並びに、 前記第２及び第３のチャンネル出力信号にそれぞれ接続されて、前記第１及び第 ２の対の前記入力チャンネルを画定する第１及び第２の測定手段（７４，７６） であって、前記第１及び第２の対の前記入力チャンネルにより、それぞれ、前記 第１及び第２のチャンネル出力信号、並びに、前記第２及び第３のチャンネル出 力信号の前記所定の特徴を測定する第１及び第２の測定手段と、 前記選択信号を発生して、前記第１または第２の入力信号を前記第２のマルチプ レクサ出力に継続的に連絡すると共に、前記第１または第２の入力信号のいずれ かを前記第１及び第３のマルチプレクサ出力の各々に選択的に接続して、前記第 １及び第２の対の前記入力チャンネルの両者が、第１及び第２のモードのいずれ かでそれぞれ同時に動作するようにすると共に、前記第１及び第２の対の前記入 力チャンネルの各々が、前記第１及び第２のモード間を反復的に周期動作するよ うにする工程とを備え、 前記第１のモードで動作する前記第１及び第２の対の前記入力チャンネルの一方 については、その入力チャンネルの両者に前記第１または第２の入力信号を印加 して、これにより発生する第１の測定値が、前記一方の対の前記入力チャンネル の内部に発生する前記所定のオフセットの値を反映するようにし、 前記第２のモードで動作する前記第１及び第２の対の前記入力チャンネルの他方 については、その入力チャンネルの対応するものに前記第１及び第２の入力信号 を印加して、これにより発生する第２の測定値が、前記第１及び第２の入力信号 の所望の特徴を反映するようにした請求項３６記載の測定回路における測定方法 。
38. ３８．前記第１及び第２の対の前記入力チャンネルのいずれか一方について、前 記第１のモードは、前記一方の対の入力チャンネルに至る前記チャンネル入力の 一方が、前記入力マルチプレクサ手段を介して、前記第２の入力信号から前記第 １の入力信号に切換えられる第１の切換時間と、前記一方の対の入力チャンネル が複数の第１の測定値を発生するゼロ化時間と、前記一方のチャンネル入力が、 前記入力マルチプレクサ手段を介して、再度、前記第１の入力信号から前記第２ の入力信号に切換えられる第２の切換時間とを連続的に備える請求項３７記載の 測定回路における測定方法。
39. ３９．前記第１及び第２の切換時間は、互いに等しい時間継続すると共に、各切 換時間は、その各々の間に生じる切換過渡現象が所定のレベルに低下する程十分 に長いものである請求項３８記載の測定回路における測定方法。
40. ４０．更に、 前記選択信号を発生し、前記第１及び第２の対の前記入力チャンネルの各々の現 在の状態を表す状態情報を供給する工程と、前記第１及び第２の対の前記入力チ ャンネルから得られる前記第１及び第２の測定値並びに前記状態情報に応答して 、前記一方の対の前記入力チャンネルが前記第２のモードで動作する間に得られ る複数の第２の測定値の各々を、それ以前に、その対の入力チャンネルが前記第 １のモードで動作する間に得られた前記第１の測定値により補償する工程とを備 える請求項３９記載の測定回路における測定方法。
41. ４１．前記所望の特徴は、前記第１及び第２の入力信号の対応時点間に生じる時 間差（Δｔ）であり、前記第１及び第２の対の前記入力チャンネルについての前 記第１の測定値は、それぞれ、前記第１及び第２の対の前記入力チャンネルにつ いての内部位相遅延を反映する請求項４０記載の測定回路における測定方法。
42. ４２．前記第１、第２または第３のチャンネル入力に印加される前記第１及び第 ２の入力信号についての前記所定の特徴は、前記第１、第２または第３のチャン ネル入力に印加される信号が、所定の大きさとなった時の時間により与えられる 請求項４１記載の測定回路。、