JPH06238124A

JPH06238124A - 有害気体の除害方法

Info

Publication number: JPH06238124A
Application number: JP5026767A
Authority: JP
Inventors: Teruyuki Tsutsumi; 輝之堤
Original assignee: Teijin Chemicals Ltd
Current assignee: Teijin Ltd
Priority date: 1993-02-16
Filing date: 1993-02-16
Publication date: 1994-08-30

Abstract

(57)【要約】【目的】気体中に混入したヒ素、ホウ素、リン、セレ
ン、ゲルマニウムの水素化物を効率的に且つ経済的に除
去できる有害気体の除害方法を提供する。【構成】銅、銀、マグネシウム、亜鉛、アルミニウ
ム、錫、マンガン、鉄、コバルト、白金の粉体、塩及び
酸化物より選ばれた少くとも一種の金属及び／又は金属
化合物を配合した水溶液状態で酸化能力を有する酸化剤
の水溶液にヒ素、ホウ素、リン、セレン、ゲルマニウム
の水素化物の一種以上を含有する有害気体を接触させる
ことを特徴とする有害気体の除害方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は有害気体の除害方法に関
する。更に詳しくは、ヒ素、ホウ素、リン、セレン、ゲ
ルマニウムの水素化物の一種以上を含有する有害気体を
極めて効率的に且つ経済的に除害する方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】ヒ素、ホウ素、リン、セレン、ゲルマニ
ウムの水素化物は半導体の製造に、リンの水素化物は燻
蒸剤等に多量に使用されているが、これらは微量でも人
体に有害である。従って、気体中に混入したこれら水素
化物を効率よく除去することが必要である。特に燻蒸剤
として使用したリンの水素化物は、極めて高濃度に混入
した気体から極短時間に除去する必要から、より効率的
に除去する除害方法が強く望まれている。

【０００３】気体中に混入したこれらの水素化物を除去
する方法として、乾式法による塩化第二鉄や過マンガン
酸カリウム等の酸化剤を主剤とする吸着剤に吸収させる
吸着法、湿式法による次亜塩素酸ナトリウムや過マンガ
ン酸カリウム、塩化第二鉄等の酸化性溶液を用いる薬液
吸収法等が実用化されている。しかしながら、次亜塩素
酸ナトリウムによる方法は吸収速度が遅いため除去効率
が悪く、過マンガン酸カリウム、塩化第二鉄等による吸
収は気体の処理能が小さく、又過マンガン酸カリウムは
不溶のスラッジが生成し、装置の目詰まりを起こし易い
等の問題点がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、気体
中に混入したヒ素、ホウ素、リン、セレン、ゲルマニウ
ムの水素化物を効率的に且つ経済的に除去できる有害気
体の除害方法を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、銅、銀、マグ
ネシウム、亜鉛、アルミニウム、錫、マンガン、鉄、コ
バルト、白金の粉体、塩及び酸化物より選ばれた少くと
も一種の金属及び／又は金属化合物を０．０１重量％以
上配合した水溶液状態で酸化力を有する酸化剤の水溶液
にヒ素、ホウ素、リン、セレン、ゲルマニウムの水素化
物の一種以上を含有する気体を接触させることを特徴と
する有害気体の除害方法である。

【０００６】本発明の除害の対象とする有害気体はヒ
素、ホウ素、リン、セレン、ゲルマニウムの水素化物、
例えばＡｓＨ₃、Ｂ₂Ｈ₆、ＰＨ₃、ＳｅＨ₂、ＧｅＨ
₄等の一種以上を含有する気体であり、かかる有害気体
の濃度は、通常０．１〜１０，０００ppm であり、好ま
しくは０．３〜３，０００ppm である。

【０００７】本発明で使用する酸化剤は水溶液状態で酸
化力を有するものであり、例えば次亜塩素酸塩、塩素酸
塩、過塩素酸塩、過マンガン酸塩、過酸化水素、過酸化
ナトリウム、臭素酸塩、ヨウ素酸塩、クロム酸塩、重ク
ロム酸塩等があげられ、例えば次亜塩素酸ナトリウムや
さらし粉等の次亜塩素酸塩、過酸化水素、過酸化ソーダ
等が好ましい。かかる酸化剤は水溶液として使用され、
その濃度は通常０．１重量％〜飽和溶液であり、好まし
くは１重量％〜飽和溶液である。

【０００８】本発明で使用する金属の種類は銅(Cu)、銀
(Ag)、マグネシウム(Mg)、亜鉛(Zn)、アルミニウム(A
l)、錫(Sn)、マンガン(Mn)、鉄(Fe)、コバルト(Co)及び
白金(Pt)であり、特に銀(Ag)、マグネシウム(Mg)、アル
ミニウム(Al)、鉄(Fe)が好ましい。かかる金属は金属粉
体、塩又は酸化物の状態で使用され、その使用量は酸化
剤水溶液に０．０１重量％以上、好ましくは０．１重量
％以上含ませればその効果を十分示す。０．０１重量％
未満では十分な効果を示さない。その上限は特に定める
必要はなく、多量使用しても差支えないが、特に１重量
％以上加えても効果に差は認められない。

【０００９】所定の金属及び／又は金属化合物を配合し
た上記酸化剤の水溶液に有害気体を接触させる方式とし
ては、例えば酸化剤水溶液に有害気体を吹込むバブリン
グ方式、ジェットスクラバー、充填用スクラバー、多孔
板式スクラバー、スプレー式スクラバー、ロータリーア
トマイザー等のスクラバー方式等があげられる。有害気
体を酸化剤水溶液に接触させる温度は通常１００℃以
下、好しくは０〜６０℃であり、接触圧力は通常１０at
m 以下、好しくは０．００１〜５atm である。空間速度
（SV値，単位はVol/Vol/hr）は、０℃１atm 換算で通常
１００，０００以下、好しくは１０，０００以下であ
る。

【００１０】

【実施例】以下に実施例を記載して本発明をより具体的
に説明する。なお、実施例中の％は重量％であり、有害
ガスの濃度は定電位電解式の測定器で測定した。

【００１１】

【実施例１〜８６及び比較例１〜２】水に酸化剤として
表１記載量のＮａＣｌＯ及び表１記載の金属及び／又は
金属化合物（以下金属化合物と記す）を表記載の量配合
して得た除害剤１００mlを直径２．５cm、長さ３０cmの
ガラス管に入れ、これにＡｓＨ₃濃度が１０ppm と１０
０ppm の大気、及びＰＨ₃濃度が１０ppm と１，０００
ppm の大気を、SV値が１，０００の場合で直径１mmの管
より吹込んでバブリング状態で接触させ、出口における
ＡｓＨ₃及びＰＨ₃の濃度を測定し、これより除害剤に
よる除害率を求め、結果を表１〜３に示した。

【００１２】

【表１】

【００１３】

【表２】

【００１４】

【表３】

【００１５】

【実施例８７〜１１０及び比較例３、４】酸化剤として
表４記載量のＨ₂Ｏ₂及び表４記載の金属化合物を表記
載の量配合して得た除害剤を使用する以外は上記実施例
と同様にして除害率を求め、結果を表４に示した。

【００１６】

【表４】

【００１７】

【実施例１１１〜１１４及び比較例５，６】酸化剤とし
て表５記載量のＮａＣＩＯ₃及び表５記載の金属化合物
を表記載の量配合して得た除害剤を使用する以外は上記
実施例と同様にして除害率を求め、結果を表５に示し
た。

【００１８】

【表５】

【００１９】

【実施例１１５〜１２３及び比較例７〜９】水に表６記
載の酸化剤及び金属化合物を表６記載の量配合して得た
除害剤１００mlを直径２．５cm、長さ３０cmのガラス管
に入れ、これにＢ₂Ｈ₆濃度が１０ppm の大気、ＳｅＨ
₂濃度が１０ppm の大気、ＧｅＨ₄濃度が１０ppm の大
気及びＰＨ₃濃度が１，０００ppm の大気を、SV値が１
０，０００の場合で直径１mmの管より吹込んでバブリン
グ状態で接触させ、出口におけるＢ₂Ｈ₆、ＳｅＨ₂、
ＧｅＨ₄及びＰＨ₃の濃度を測定し、その結果を表７に
示した。

【００２０】

【表６】

【００２１】

【表７】

【００２２】

【発明の効果】本発明の方法によればヒ素、ホウ素、リ
ン、セレン、ゲルマニウムの水素化物の一種以上を含有
する有害気体から極めて効率的に且つ経済的に有害ガス
を除去することができ、その奏する効果は格別なもので
ある。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】銅、銀、マグネシウム、亜鉛、アルミニ
ウム、錫、マンガン、鉄、コバルト、白金の粉体、塩及
び酸化物より選ばれた少くとも一種の金属及び／又は金
属化合物を０．０１重量％以上配合した、水溶液状態で
酸化力を有する酸化剤の水溶液にヒ素、ホウ素、リン、
セレン、ゲルマニウムの水素化物の一種以上を含有する
有害気体を接触させることを特徴とする有害気体の除害
方法。