JPH06223775A - Electrode for discharge lamp and its manufacture - Google Patents
Electrode for discharge lamp and its manufactureInfo
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- JPH06223775A JPH06223775A JP1061893A JP1061893A JPH06223775A JP H06223775 A JPH06223775 A JP H06223775A JP 1061893 A JP1061893 A JP 1061893A JP 1061893 A JP1061893 A JP 1061893A JP H06223775 A JPH06223775 A JP H06223775A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、放電ランプ用電極及び
その製造方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a discharge lamp electrode and a method for manufacturing the same.
【0002】[0002]
【従来の技術】放電ランプ特に低圧放電ランプにおいて
は、電極として通常二重あるいは三重のコイル状のタン
グステンフィラメント21に電子放射性物質22として
Ba系酸化物を塗布した図12のようなフィラメント電
極が用いられているが、ランプ点灯の際にイオン化され
た封入ガスの衝撃(スパッタリング)や電極加熱による
蒸発のために、表面の電子放射性物質22を消耗し、こ
れが結果的にランプ寿命の原因となる。2. Description of the Related Art In a discharge lamp, especially a low-pressure discharge lamp, a filament electrode as shown in FIG. 12 is used, in which a double or triple coiled tungsten filament 21 is coated with a Ba-based oxide as an electron emitting substance 22. However, the electron emitting substance 22 on the surface is consumed due to the impact (sputtering) of the ionized enclosed gas when the lamp is lit and the evaporation due to the heating of the electrode, which eventually causes the life of the lamp.
【0003】この電子放射性物質の損失の少ないものと
して、燃焼あるいは含浸電極の存在が一般に知られてい
る。しかし、これらは図13に示されるように、主に傍
熱構造である。即ち、ヒータ23と含浸電極24の間が
離れているために熱容量が大きく、そのために昇温する
のに多くの電力を必要とするのみでなく、時間もかか
る。なお、25はスリーブである。The existence of a burning or impregnating electrode is generally known as a material that causes little loss of the electron emissive material. However, these are mainly indirect heating structures, as shown in FIG. That is, since the heater 23 and the impregnated electrode 24 are separated from each other, the heat capacity is large, so that not only a large amount of electric power is required to raise the temperature, but also it takes time. In addition, 25 is a sleeve.
【0004】これらの欠点を克服するものとして、特開
昭57−121125号公報に紹介される直熱構造があ
る。これは、図14に示すように、円柱状の含浸電極2
4の外周に旋盤などでらせん状の溝を形成し、さらにこ
の円柱の中心部をえぐり取り、図14のような後に残っ
たらせん状の外周を陰極として使用するものである。As a means for overcoming these drawbacks, there is a direct heating structure introduced in JP-A-57-121125. This is a cylindrical impregnation electrode 2 as shown in FIG.
A spiral groove is formed on the outer periphery of 4 by a lathe or the like, and the central portion of this cylinder is further cut out, and the spiral outer periphery left after FIG. 14 is used as the cathode.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】このように、この発明
で示されている直熱型電極は熱容量が小さく、少ない電
力で早く昇温できるものである。しかし、これを試作す
るには、含浸電極の材料の大部分を無駄にしてしまう結
果となり、不経済であることが問題となる。このよう
に、従来の発明では、昇温に時間がかかるか値段が高い
かのどちらかであり、一般のランプに使用するには不適
当なものであった。As described above, the direct heating type electrode shown in the present invention has a small heat capacity and can quickly raise the temperature with a small amount of electric power. However, trial production of this results in wasting most of the material of the impregnated electrode, which is uneconomical. As described above, in the conventional invention, it takes either a long time to raise the temperature or the cost is high, which is unsuitable for use in a general lamp.
【0006】本発明は上述の点に鑑みて提供したもので
あって、ランプの始動に十分な昇温が比較的小さい入力
で可能でかつ値段の安いスパッタリングに強い放電ラン
プ用電極及びその製造方法を提供することを目的とす
る。[0006] The present invention has been made in view of the above points, and is a discharge lamp electrode that is resistant to sputtering and that is inexpensive and that can be heated with a relatively small input sufficient for starting the lamp and a method for manufacturing the same. The purpose is to provide.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明は、高融点金属の
ヒータと、該ヒータを同心円状に被覆する高耐熱性絶縁
膜と、該絶縁膜を同心円状に被覆する高融点金属粉末と
電子放射性物質の焼結体と、該焼結体に結合する通電線
とで構成したものである。また、請求項2においては、
コイル状の高融点金属のヒータに高耐熱性絶縁膜を被覆
し、その周辺にスパッタリングに強い高融点金属粉末と
電子放射性物質の焼結体を被覆して通電線を結合して一
体成形するようにしたものである。The present invention is directed to a high melting point metal heater, a high heat resistant insulating film for concentrically covering the heater, a high melting point metal powder for concentrically covering the insulating film, and an electron. It is composed of a sintered body of a radioactive substance and an electric current wire coupled to the sintered body. Further, in claim 2,
A coil-shaped heater with a high melting point metal is coated with a high heat resistant insulating film, and the periphery of the heater is coated with a high melting point metal powder that is resistant to sputtering and a sintered body of an electron emissive material, and the current conductors are joined together for integral molding. It is the one.
【0008】[0008]
【作用】本発明によれば、従来のタングステンフィラメ
ント電極に比して、ランプ点灯時の電子放射性物質の損
失を低く抑えることができるために、低圧放電ランプの
長寿命化等を図ることができる。また、ランプの始動に
十分な昇温が比較的小さい入力で可能でかつ値段の安い
スパッタリングに強い放電ランプ用電極を提供すること
ができる。According to the present invention, the loss of the electron emissive material when the lamp is lit can be suppressed lower than that of the conventional tungsten filament electrode, so that the life of the low-pressure discharge lamp can be extended. . Further, it is possible to provide an electrode for a discharge lamp, which is capable of heating with a relatively small input sufficient for starting the lamp and is inexpensive and resistant to sputtering.
【0009】また、請求項2によれば、従来の傍熱型含
浸電極より熱伝導の良好な、より直熱型に近い昇温特性
を有するものとなる。According to the second aspect of the present invention, the temperature rise characteristic is closer to that of the direct heating type, which has better heat conduction than the conventional indirectly heated type impregnated electrode.
【0010】[0010]
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。本発明は、前記目的を達成するために、図1に示
すように、直線の高融点金属のヒータ1に高耐熱性絶縁
膜2を被覆し、その周囲にスパッタリングに強い高融点
金属粉末と電子放射性物質の焼結体3を被覆して通電線
4を結合した。これにより、昇温が比較的小さい入力で
ランプ始動に対して十分速くかつスパッタリングに強い
放電ランプ用電極としてことに特徴がある。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In order to achieve the above object, the present invention, as shown in FIG. 1, coats a linear high melting point metal heater 1 with a high heat resistant insulating film 2 and surrounds it with a high melting point metal powder resistant to sputtering and an electron. The radioactive material sintered body 3 was covered and the conducting wire 4 was connected. As a result, it is characterized as an electrode for a discharge lamp that is sufficiently fast for starting the lamp and resistant to sputtering with an input with a relatively small temperature rise.
【0011】また、本発明による電極の寸法形状は、図
1に示すように、ヒータ1を中心とする同心円状モデル
において熱伝導方程式を解析することにより、電極表面
温度を最も効率的に上げることのできる条件で決定され
た。図2に前記解析による前記電極の昇温特性を、ま
た、図3に前記電極に対する前記解析と実験値との比較
をそれぞれ示す。As for the size and shape of the electrode according to the present invention, as shown in FIG. 1, the heat conduction equation is analyzed in a concentric model centering on the heater 1 so that the electrode surface temperature can be raised most efficiently. It was decided under the condition that FIG. 2 shows the temperature rise characteristics of the electrode by the analysis, and FIG. 3 shows the comparison between the analysis and the experimental value for the electrode.
【0012】ランプの始動時に必要とされる条件、即ち
始動条件は、通電して1秒後で800〜1000°Cで
ある。前記解析で電極の形状寸法が決まれば、前記始動
条件を満たすヒータ発熱量は一意的に求まる。また回路
コストを考慮すれば、入力電流はなるべく小さく抑える
必要があるので、ヒータ1の抵抗は高いほうが望ましい
ことが分かる。今回の場合は、抵抗の温度依存性が比較
的小さく、比較的値の大きいカンタル線の直線ヒータを
使用した。上記ヒータの線径は、熱容量と強度の兼ね合
いにより0.05から0.4mmの間で決定された。The condition required at the time of starting the lamp, that is, the starting condition is 800 to 1000 ° C. one second after the power is turned on. If the shape of the electrode is determined by the analysis, the heat generation amount of the heater satisfying the starting condition can be uniquely obtained. Further, considering the circuit cost, it is necessary to keep the input current as small as possible, so it is understood that it is desirable that the resistance of the heater 1 is high. In this case, a linear heater of Kanthal wire, which has a relatively small temperature dependency of resistance and a relatively large value, was used. The wire diameter of the heater was determined to be between 0.05 and 0.4 mm depending on the balance between heat capacity and strength.
【0013】ヒータ1への通電は、焼結体3で短絡され
ることなく効率的に熱エネルギーへ変換されなければな
らない。ゆえにヒータ表面は高耐熱性の絶縁層2で被覆
した。今回はアルミナが主成分のセラミック絶縁層で被
覆し、その厚さは短絡されずに絶縁がとれる範囲におい
て、熱容量を極力小さくする方向で0.2mmに決定さ
れた。The electricity supplied to the heater 1 must be efficiently converted into heat energy without being short-circuited by the sintered body 3. Therefore, the surface of the heater is covered with the insulating layer 2 having high heat resistance. This time, alumina was coated with a ceramic insulating layer composed mainly of alumina, and the thickness was determined to be 0.2 mm in the direction in which the heat capacity was made as small as possible in the range where insulation could be obtained without short circuit.
【0014】表面層の焼結体3は、十分な量の電子放射
性物質を保持していなければならない一方で、熱容量は
あまり大きくできないという相反する条件が必要とされ
る。このために、上記焼結体3の厚さの最適値を求める
ことは難しいが、今回は安全側で考えて0.6mmとし
た。また上記焼結体3には、通電線4が結合される。上
記のような構造にすることにより、本発明による電極は
従来の傍熱型含浸電極より熱伝導の良好な、より直熱型
に近い昇温特性を有するものとなる。さらに図2に示さ
れるように、前記解析による結果は、前記電極(ヒータ
線径:0.4mm 絶縁層厚:0.2mm 表面層厚:
0.6mm)が前記始動条件を達成することが可能であ
ることを支持する。The sintered body 3 of the surface layer must hold a sufficient amount of electron emissive material, while the heat capacity cannot be increased so much that the contradictory conditions are required. For this reason, it is difficult to find the optimum value of the thickness of the sintered body 3, but this time it is set to 0.6 mm in consideration of safety. Further, an electric wire 4 is connected to the sintered body 3. With the structure as described above, the electrode according to the present invention has a heat-up characteristic that is better than that of a conventional indirectly heated type impregnated electrode and is closer to that of a direct heating type. Further, as shown in FIG. 2, the results of the analysis show that the electrodes (heater wire diameter: 0.4 mm, insulating layer thickness: 0.2 mm, surface layer thickness:
0.6 mm) supports that it is possible to achieve the starting conditions.
【0015】また図3は、前記電極の昇温特性を、前記
解析結果と実験結果で比較したもので、比較的良い一致
を示している。放電ランプに本発明による電極を用いる
場合には、具体的には次のような手順で始動が行われ
る。まず、前記放電ランプの点灯前は、前記ヒータ1に
通電することで前記焼結体3を予熱し、熱電子を放出さ
せて放電のきっかけをつくる。FIG. 3 is a comparison of the temperature rising characteristics of the electrode between the analysis result and the experimental result, and shows a relatively good agreement. When the electrode according to the present invention is used in the discharge lamp, the start is specifically performed by the following procedure. First, before the discharge lamp is turned on, the heater 1 is energized to preheat the sintered body 3 to emit thermoelectrons to trigger a discharge.
【0016】次に前記始動条件を満たしたならば、主放
電が開始し前記ヒータ1の通電は止められる。放電電流
は通電線4を通じて流れる。その後電極の温度はランプ
電流がカソードに流れこむこと(いわゆるセルフヒーテ
イング)により保たれ、焼結体3の細孔に充填された電
子放射性物質は電極表面に近い部分から電子を放出しな
がら徐々に蒸発して失われていく。Next, if the starting condition is satisfied, main discharge is started and the energization of the heater 1 is stopped. The discharge current flows through the conducting wire 4. After that, the temperature of the electrode is maintained by the lamp current flowing into the cathode (so-called self-heating), and the electron emissive material filled in the pores of the sintered body 3 gradually emits electrons from the portion close to the electrode surface. It evaporates and is lost.
【0017】このように電子の供給は安定して行われ、
放電は持続する。しかも、その際のスパッタリング等に
よる電子放射性物質の消耗は、電極表面の細孔構造によ
り効果的に抑えられる。図1は本発明による放電ランプ
用電極の構造を示し、(a)は平面図、(b)は断面図
である。図1で1は通電加熱用ヒータで例えばタングス
テン線、2はヒータ外周を被覆しているセラミックス等
の絶縁膜、4は通電線、3はBa系酸化物とタングステ
ンの焼結体である。As described above, the supply of electrons is stably performed,
The discharge continues. Moreover, consumption of the electron emissive material due to sputtering or the like at that time is effectively suppressed by the pore structure of the electrode surface. 1A and 1B show the structure of a discharge lamp electrode according to the present invention, wherein FIG. 1A is a plan view and FIG. 1B is a sectional view. In FIG. 1, reference numeral 1 is a heater for electric heating, for example, a tungsten wire, 2 is an insulating film of ceramics or the like covering the outer circumference of the heater, 4 is an electric wire, and 3 is a sintered body of Ba-based oxide and tungsten.
【0018】本発明による電極の寸法形状は、ヒータ1
を中心とする同心円状モデルにおいて熱伝導方程式を解
析することにより、電極表面温度を最も効率的に上げる
ことのできる条件で決定される。図2は、本発明による
電極の昇温特性の解析結果であり、図3は昇温特性にお
ける解析結果と実験結果の比較である。The size and shape of the electrode according to the present invention is the heater 1
By analyzing the heat conduction equation in a concentric model centered on, it is determined under the condition that the electrode surface temperature can be raised most efficiently. FIG. 2 is an analysis result of the temperature rise characteristic of the electrode according to the present invention, and FIG. 3 is a comparison of the analysis result and the experimental result in the temperature rise characteristic.
【0019】以上説明したように、本発明による放電ラ
ンプ用電極は、従来のタングステンフィラメント電極に
比して、ランプ点灯時の電子放射性物質の損失を低く抑
えることができるために、低圧放電ランプの長寿命化等
に効果がある。次に本発明の放電ランプ用電極の製造方
法を図4〜図11により説明する。先ず図4のように、
電子放射性物質6と高融点金属粉末5を混合した混合粉
末7を用意する。次に絶縁層をコーテイングしてあるヒ
ータ1を、図5のようなヒータ形状の開孔部9aを持つ
ピン9に装着する。As described above, the electrode for a discharge lamp according to the present invention can suppress the loss of the electron emissive material when the lamp is lit, as compared with the conventional tungsten filament electrode. Effective in extending the service life. Next, a method for manufacturing the electrode for a discharge lamp of the present invention will be described with reference to FIGS. First, as shown in Figure 4,
A mixed powder 7 is prepared by mixing the electron emissive material 6 and the refractory metal powder 5. Next, the heater 1 having the insulating layer coated thereon is mounted on the pin 9 having the heater-shaped opening 9a as shown in FIG.
【0020】このピン9は、図6のような治具10に固
定される。次に、図7に示すように混合粉末7を治具1
1の上面まで、空気が入らないように均等かつ密に入る
ように充填する。次に図8のようにピン9と同様のヒー
タ形状の開孔部をもつピン12を治具13に固定し、治
具11の開孔部に挿入し軽くプレスする。次にプレスを
解除し、図8(b)のようにスペーサ14を抜く。The pin 9 is fixed to a jig 10 as shown in FIG. Next, as shown in FIG.
Fill up to the upper surface of No. 1 so that air does not enter evenly and densely. Next, as shown in FIG. 8, a pin 12 having a heater-shaped opening similar to the pin 9 is fixed to the jig 13, inserted into the opening of the jig 11 and lightly pressed. Next, the press is released, and the spacer 14 is pulled out as shown in FIG.
【0021】次に図9のように、再びプレスして粉体を
成形する。次に図10のように、治具10、治具13を
取り除く。治具11内部に残る成形物は、図11のよう
にピン12を固定した治具13を、スペーサ15をはさ
んで治具11の開孔部に挿入、プレスして取り出す。以
上の方法により、本発明による電極は傍熱型でありなが
ら、従来のそれとは異なる電極をヒータが貫いた一体成
形構造にすることができ、非常に昇温特性の良いものと
なる。Next, as shown in FIG. 9, the powder is molded by pressing again. Next, as shown in FIG. 10, the jigs 10 and 13 are removed. The molded product remaining inside the jig 11 is inserted into the opening portion of the jig 11 with the spacer 13 sandwiched between the jig 13 having the pins 12 fixed thereto as shown in FIG. By the method described above, the electrode according to the present invention is an indirectly heated type, but it is possible to form an integrally formed structure in which a heater penetrates an electrode different from the conventional one, and the temperature rising characteristic becomes very good.
【0022】次に本発明の放電ランプ用電極の製造の具
体的な一実施例を説明する。先ず図4の電子放射性物質
6には、例えばBa系酸化物と高融点金属粉末5のタン
グステン粉末をそれぞれ重量比で2:8に混合したもの
を用いる。ヒータ1の絶縁層コーテイングは、例えばア
ルミナを主成分とするセラミックスコーテイングが施さ
れたタングステンコイル(外径:約0.8mm、長さ:
約17mm)を用いる。成形部は、治具9と12の先端
部の面(径:2mm)で上下にプレスされ、20kgf
/cm2 まで圧力をかけることで粉体を高さ2.5mm
まで圧力をかけることで、粉体を高さ2.5mmまで圧
縮、成形する。Next, a specific example of the production of the discharge lamp electrode of the present invention will be described. First, as the electron emitting material 6 in FIG. 4, for example, a mixture of Ba-based oxide and tungsten powder of the refractory metal powder 5 in a weight ratio of 2: 8 is used. The insulating layer coating of the heater 1 is, for example, a tungsten coil (outer diameter: about 0.8 mm, length: with a ceramic coating containing alumina as a main component).
About 17 mm) is used. The molding part is pressed up and down by the surface (diameter: 2 mm) of the tip parts of the jigs 9 and 12, and 20 kgf
2.5mm height of powder by applying pressure up to / cm 2.
By applying pressure up to 2.5 mm, the powder is compressed to a height of 2.5 mm and molded.
【0023】これにより、本発明による放電ランプ用電
極の製造方法によって、上記のような構造にすることに
より、従来の傍熱型含浸電極より熱伝導の良好な、より
直熱型に近い昇温特性を有するものとなる。With the above structure, the method of manufacturing an electrode for a discharge lamp according to the present invention has the above-described structure, and thus has a temperature rise similar to that of a direct heating type, which has better heat conduction than the conventional indirectly heated type impregnation electrode. It has characteristics.
【0024】[0024]
【発明の効果】本発明は上述のように、高融点金属のヒ
ータと、該ヒータを同心円状に被覆する高耐熱性絶縁膜
と、該絶縁膜を同心円状に被覆する高融点金属粉末と電
子放射性物質の焼結体と、該焼結体に結合する通電線と
で構成したものであるから、従来のタングステンフィラ
メント電極に比して、ランプ点灯時の電子放射性物質の
損失を低く抑えることができるために、低圧放電ランプ
の長寿命化等を図ることができる効果を奏するものであ
る。また、ランプの始動に十分な昇温が比較的小さい入
力で可能でかつ値段の安いスパッタリングに強い放電ラ
ンプ用電極を提供することができる。As described above, the present invention provides a high melting point metal heater, a high heat resistant insulating film that concentrically covers the heater, a high melting point metal powder that concentrically covers the insulating film, and an electron. Since it is composed of a sintered body of a radioactive substance and a current-carrying wire coupled to the sintered body, it is possible to suppress the loss of the electron radioactive substance at the time of lighting the lamp as compared with the conventional tungsten filament electrode. Therefore, there is an effect that the life of the low-pressure discharge lamp can be extended. Further, it is possible to provide an electrode for a discharge lamp, which is capable of heating with a relatively small input sufficient for starting the lamp and is inexpensive and resistant to sputtering.
【0025】また、請求項2においては、コイル状の高
融点金属のヒータに高耐熱性絶縁膜を被覆し、その周辺
にスパッタリングに強い高融点金属粉末と電子放射性物
質の焼結体を被覆して通電線を結合して一体成形するよ
うにしたものであるから、従来の傍熱型含浸電極より熱
伝導の良好な、より直熱型に近い昇温特性を有するもの
となる。In the second aspect of the present invention, the coil-shaped high melting point metal heater is covered with a high heat resistant insulating film, and the periphery thereof is covered with a high melting point metal powder resistant to sputtering and a sintered body of an electron emitting substance. Since the current-carrying wires are joined together and integrally molded, the temperature-increasing characteristics are closer to those of the direct heating type and have better heat conduction than the conventional indirectly heated type impregnated electrode.
【図1】(a)(b)は本発明の実施例の放電ランプ用
電極の側面図及び正面図である。1A and 1B are a side view and a front view of a discharge lamp electrode according to an embodiment of the present invention.
【図2】同上の電極の昇温特性の解析結果を示す図であ
る。FIG. 2 is a diagram showing an analysis result of temperature rising characteristics of the above electrode.
【図3】同上の昇温特性における解析結果と実験結果と
の比較を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a comparison between an analysis result and an experimental result in the temperature rising characteristic of the same.
【図4】同上の放電ランプ用電極の製造を示す工程図で
ある。FIG. 4 is a process drawing showing the manufacture of the above electrode for a discharge lamp.
【図5】同上の放電ランプ用電極の製造を示す工程図で
ある。FIG. 5 is a process drawing showing the production of the above electrode for a discharge lamp.
【図6】同上の放電ランプ用電極の製造を示す工程図で
ある。FIG. 6 is a process drawing showing the manufacture of the above electrode for a discharge lamp.
【図7】同上の放電ランプ用電極の製造を示す工程図で
ある。FIG. 7 is a process drawing showing the production of the above discharge lamp electrode.
【図8】同上の放電ランプ用電極の製造を示す工程図で
ある。FIG. 8 is a process drawing showing the manufacture of the above electrode for a discharge lamp.
【図9】同上の放電ランプ用電極の製造を示す工程図で
ある。FIG. 9 is a process drawing showing the production of the above electrode for a discharge lamp.
【図10】同上の放電ランプ用電極の製造を示す工程図
である。FIG. 10 is a process drawing showing the production of the above electrode for a discharge lamp.
【図11】同上の放電ランプ用電極の製造を示す工程図
である。FIG. 11 is a process drawing showing the production of the above electrode for a discharge lamp.
【図12】従来例の電極の構成図である。FIG. 12 is a configuration diagram of an electrode of a conventional example.
【図13】他の従来例の電極の構成図である。FIG. 13 is a configuration diagram of another conventional electrode.
【図14】更に他の従来例の構成図である。FIG. 14 is a configuration diagram of still another conventional example.
1 ヒータ 2 絶縁膜 3 焼結体 4 通電線 1 Heater 2 Insulating film 3 Sintered body 4 Conductive wire
─────────────────────────────────────────────────────
─────────────────────────────────────────────────── ───
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成5年5月6日[Submission date] May 6, 1993
【手続補正1】[Procedure Amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】0003[Name of item to be corrected] 0003
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【0003】この電子放射性物質の損失の少ないものと
して、焼結あるいは含浸電極の存在が一般に知られてい
る。しかし、これらは図13に示されるように、主に傍
熱構造である。即ち、ヒータ23と含浸電極24の間が
離れているために熱容量が大きく、そのために昇温する
のに多くの電力を必要とするのみでなく、時間もかか
る。なお、25はスリーブである。The presence of a sintered or impregnated electrode is generally known as a material that causes little loss of the electron emissive material. However, these are mainly indirect heating structures, as shown in FIG. That is, since the heater 23 and the impregnated electrode 24 are separated from each other, the heat capacity is large, so that not only a large amount of electric power is required to raise the temperature, but also it takes time. In addition, 25 is a sleeve.
【手続補正2】[Procedure Amendment 2]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】0022[Name of item to be corrected] 0022
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【0022】次に本発明の放電ランプ用電極の製造の具
体的な一実施例を説明する。先ず図4の電子放射性物質
6には、例えばBa系酸化物と高融点金属粉末5のタン
グステン粉末をそれぞれ重量比で2:8に混合したもの
を用いる。ヒータ1の絶縁層コーテイングは、例えばア
ルミナを主成分とするセラミックスコーテイングが施さ
れたタングステンコイル(外径:約0.8mm、長さ:
約17mm)を用いる。成形部は、治具9と12の先端
部の面(径:2mm)で上下にプレスされ、20kgf
/cm2 まで圧力をかけることで、粉体を2.5mmの
高さまで圧縮、成形する。Next, a specific example of the production of the discharge lamp electrode of the present invention will be described. First, as the electron emitting material 6 in FIG. 4, for example, a mixture of Ba-based oxide and tungsten powder of the refractory metal powder 5 in a weight ratio of 2: 8 is used. The insulating layer coating of the heater 1 is, for example, a tungsten coil (outer diameter: about 0.8 mm, length: with a ceramic coating containing alumina as a main component).
About 17 mm) is used. The molding part is pressed up and down by the surface (diameter: 2 mm) of the tip parts of the jigs 9 and 12, and 20 kgf
/ Cm 2 by applying a pressure to the powder to 2.5mm of
Compress and mold to height .
Claims (2)
円状に被覆する高耐熱性絶縁膜と、該絶縁膜を同心円状
に被覆する高融点金属粉末と電子放射性物質の焼結体
と、該焼結体に結合する通電線とから成ることを特徴と
する放電ランプ用電極。1. A high melting point metal heater, a high heat resistant insulating film that concentrically covers the heater, a high melting point metal powder that concentrically covers the insulating film, and a sintered body of an electron emitting substance. An electrode for a discharge lamp, comprising: a current-carrying wire coupled to the sintered body.
性絶縁膜を被覆し、その周辺にスパッタリングに強い高
融点金属粉末と電子放射性物質の焼結体を被覆して通電
線を結合して一体成形するようにしたことを特徴とする
放電ランプ用電極の製造方法。2. A coil-shaped heater of a high melting point metal is coated with a high heat resistant insulating film, and the periphery of the heater is coated with a high melting point metal powder resistant to sputtering and a sintered body of an electron emitting material to connect a conducting wire. A method for manufacturing an electrode for a discharge lamp, characterized in that it is integrally molded.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1061893A JP2826245B2 (en) | 1993-01-26 | 1993-01-26 | Discharge lamp electrode and method of manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1061893A JP2826245B2 (en) | 1993-01-26 | 1993-01-26 | Discharge lamp electrode and method of manufacturing the same |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06223775A true JPH06223775A (en) | 1994-08-12 |
JP2826245B2 JP2826245B2 (en) | 1998-11-18 |
Family
ID=11755221
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1061893A Expired - Lifetime JP2826245B2 (en) | 1993-01-26 | 1993-01-26 | Discharge lamp electrode and method of manufacturing the same |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2826245B2 (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001067486A1 (en) * | 2000-03-09 | 2001-09-13 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Low-pressure mercury-vapor discharge lamp |
US6555275B2 (en) | 2000-09-01 | 2003-04-29 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Technique of exposing a resist using electron beams having different accelerating voltages, and method of manufacturing a photomask using the technique |
-
1993
- 1993-01-26 JP JP1061893A patent/JP2826245B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001067486A1 (en) * | 2000-03-09 | 2001-09-13 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Low-pressure mercury-vapor discharge lamp |
US6555275B2 (en) | 2000-09-01 | 2003-04-29 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Technique of exposing a resist using electron beams having different accelerating voltages, and method of manufacturing a photomask using the technique |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2826245B2 (en) | 1998-11-18 |
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