JPH06186588A - 液晶表示装置 - Google Patents
液晶表示装置Info
- Publication number
- JPH06186588A JPH06186588A JP33749192A JP33749192A JPH06186588A JP H06186588 A JPH06186588 A JP H06186588A JP 33749192 A JP33749192 A JP 33749192A JP 33749192 A JP33749192 A JP 33749192A JP H06186588 A JPH06186588 A JP H06186588A
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- Japan
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- driver
- interlayer insulating
- thin film
- insulating film
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- Liquid Crystal (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 有機薄膜を用いた層間絶縁膜上に画素電極を
形成した液晶表示装置に於いて、ドライバーの信頼性を
低下させる事無く対向基板間距離を一定に保ち、かつ基
板の小型化を図る事を目的とする。 【構成】 有機薄膜上に画素電極を形成し、同時にドラ
イバーを形成したシール部にも有機薄膜を形成する。
形成した液晶表示装置に於いて、ドライバーの信頼性を
低下させる事無く対向基板間距離を一定に保ち、かつ基
板の小型化を図る事を目的とする。 【構成】 有機薄膜上に画素電極を形成し、同時にドラ
イバーを形成したシール部にも有機薄膜を形成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は液晶表示装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】有機薄膜上に画素電極を形成したことを
特徴とする従来例としては、特公平１−３５３５１号の
ようなものが上げられる。この例では画素電極としてア
ルミニウムを用い、反射型液晶表示装置の構成としてい
る。
特徴とする従来例としては、特公平１−３５３５１号の
ようなものが上げられる。この例では画素電極としてア
ルミニウムを用い、反射型液晶表示装置の構成としてい
る。
【０００３】また一般にドライバーをアクティブマトリ
クス基板に内蔵する場合、特開昭６４−６８７２５号の
ごとくドライバーは基板間の接着部（以下シール部と称
する）よりも画素部に対して外側に配置され、かつドラ
イバーの耐湿性向上のためポリイミド等の有機樹脂膜で
封止してある。
クス基板に内蔵する場合、特開昭６４−６８７２５号の
ごとくドライバーは基板間の接着部（以下シール部と称
する）よりも画素部に対して外側に配置され、かつドラ
イバーの耐湿性向上のためポリイミド等の有機樹脂膜で
封止してある。
【０００４】接着部の構成に関しては、図４に示すが、
一般に対向する基板間距離を一定に保つためのギャップ
材と呼ばれる直径数μｍの小球を画素部及び接着部に散
布している。この時画素部と接着部とでギャップ材の直
径を変化させる事もある。
一般に対向する基板間距離を一定に保つためのギャップ
材と呼ばれる直径数μｍの小球を画素部及び接着部に散
布している。この時画素部と接着部とでギャップ材の直
径を変化させる事もある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】接着部の構造に関し、
前記従来例では画素部と接着部の基板間距離が極端に異
なる場合、画素部と接着部の境界近傍では一定の基板間
距離を維持する事が困難であると言う課題を有する。
前記従来例では画素部と接着部の基板間距離が極端に異
なる場合、画素部と接着部の境界近傍では一定の基板間
距離を維持する事が困難であると言う課題を有する。
【０００６】またドライバーが外側に配置されていると
ドライバー用のスペースが必要であり、結果として基板
面積の増大を招くと言う課題も有する。
ドライバー用のスペースが必要であり、結果として基板
面積の増大を招くと言う課題も有する。
【０００７】本発明の目的は、ドライバーの信頼性を低
下させる事無く、セルギャップの均一性を確保する事
と、省スペース化の出来る液晶表示装置の構造を提供す
る事にある。
下させる事無く、セルギャップの均一性を確保する事
と、省スペース化の出来る液晶表示装置の構造を提供す
る事にある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、ドライバー内
蔵アクティブマトリクス方式の液晶表示装置において、
アクティブマトリクス基板はソース線と画素電極がポリ
イミド樹脂あるいは酸化シリコンあるいは窒化シリコン
等の層間絶縁膜を介して非同一層に形成されてあること
と、ドライバーは対向する２枚の基板の接着部に形成す
ることと、前記層間絶縁膜は前記接着部のドライバー上
にも形成することと、ドライバー上の層間絶縁膜上には
ＩＴＯなどの導電性薄膜を形成することと、前記導電性
薄膜は共通電位にすることと、対向基板の接着部にも導
電性薄膜を形成することを特徴とする。
蔵アクティブマトリクス方式の液晶表示装置において、
アクティブマトリクス基板はソース線と画素電極がポリ
イミド樹脂あるいは酸化シリコンあるいは窒化シリコン
等の層間絶縁膜を介して非同一層に形成されてあること
と、ドライバーは対向する２枚の基板の接着部に形成す
ることと、前記層間絶縁膜は前記接着部のドライバー上
にも形成することと、ドライバー上の層間絶縁膜上には
ＩＴＯなどの導電性薄膜を形成することと、前記導電性
薄膜は共通電位にすることと、対向基板の接着部にも導
電性薄膜を形成することを特徴とする。
【０００９】
【実施例】本発明による一実施例の液晶表示装置の平面
図を図１に示し、そのＸ−Ｘ’間における断面図を図２
に示す。例えばガラス基板の様な絶縁性基板１０１上に
画素スイッチング用ＴＦＴ（以下画素ＴＦＴと称す）１
０２を形成し、同時に前記画素ＴＦＴ群の駆動用ＴＦＴ
（以下ドライバーと称す）１０３を形成する。次に層間
絶縁膜１０４として例えばポリイミドを２μｍ程度の膜
厚となるように塗布する。前記ポリイミドを乾燥後、ク
ロム薄膜を１０００Å程度堆積し、パターニングしてエ
ッチングマスク１０５とする。この後ドライエッチング
法にて層間絶縁膜１０４をパターニングする。このとき
層間絶縁膜１０４の被エッチング部分は、画素ＴＦＴの
画素電極接続部と、対向基板との接着部１１０（以下シ
ール部と称す）より外側部分とする。エッチング終了後
エッチングマスク１０５を剥離し、画素電極１０６をＩ
ＴＯで形成する。このときシール部１１０にもＩＴＯを
形成して、共通電位にしておく。次に絶縁性基板１０１
と対向基板１０７をシール部１１０で接着するがその際
ギャップ材を混入した接着剤で接着する。最後にギャッ
プ材を混入した液晶を封入する。
図を図１に示し、そのＸ−Ｘ’間における断面図を図２
に示す。例えばガラス基板の様な絶縁性基板１０１上に
画素スイッチング用ＴＦＴ（以下画素ＴＦＴと称す）１
０２を形成し、同時に前記画素ＴＦＴ群の駆動用ＴＦＴ
（以下ドライバーと称す）１０３を形成する。次に層間
絶縁膜１０４として例えばポリイミドを２μｍ程度の膜
厚となるように塗布する。前記ポリイミドを乾燥後、ク
ロム薄膜を１０００Å程度堆積し、パターニングしてエ
ッチングマスク１０５とする。この後ドライエッチング
法にて層間絶縁膜１０４をパターニングする。このとき
層間絶縁膜１０４の被エッチング部分は、画素ＴＦＴの
画素電極接続部と、対向基板との接着部１１０（以下シ
ール部と称す）より外側部分とする。エッチング終了後
エッチングマスク１０５を剥離し、画素電極１０６をＩ
ＴＯで形成する。このときシール部１１０にもＩＴＯを
形成して、共通電位にしておく。次に絶縁性基板１０１
と対向基板１０７をシール部１１０で接着するがその際
ギャップ材を混入した接着剤で接着する。最後にギャッ
プ材を混入した液晶を封入する。
【００１０】以上の実施例ではエッチングマスクとして
クロムを用いたが、エッチングマスクになるものなら例
えば窒化ケイ素膜や二酸化ケイ素膜のような別の材料で
もかまわない。
クロムを用いたが、エッチングマスクになるものなら例
えば窒化ケイ素膜や二酸化ケイ素膜のような別の材料で
もかまわない。
【００１１】さらにエッチングマスクの除去は必ずしも
必要ではなく、エッチングマスクを介して層間絶縁膜の
上層に画素電極を形成する事も可能である。この場合エ
ッチングマスク剥離工程の削除を伴うので、層間絶縁膜
へのダメージを更に低減できる。またエッチングマスク
のパターニング後、フォトレジストの剥離を行うと層間
絶縁膜１０４のエッチング時に、エッチングマスクがエ
ッチングガスに曝されてダメージを受け易くなるため、
前記フォトレジストは剥離しないまま層間絶縁膜のエッ
チングを行うのが望ましい。
必要ではなく、エッチングマスクを介して層間絶縁膜の
上層に画素電極を形成する事も可能である。この場合エ
ッチングマスク剥離工程の削除を伴うので、層間絶縁膜
へのダメージを更に低減できる。またエッチングマスク
のパターニング後、フォトレジストの剥離を行うと層間
絶縁膜１０４のエッチング時に、エッチングマスクがエ
ッチングガスに曝されてダメージを受け易くなるため、
前記フォトレジストは剥離しないまま層間絶縁膜のエッ
チングを行うのが望ましい。
【００１２】また画素電極も例えばアルミニウムが使え
るなどＩＴＯには限らない。
るなどＩＴＯには限らない。
【００１３】以上が本発明の一実施例であるが、シール
部１１０にも層間絶縁膜１０４が形成されているため画
素部１１２とシール部１１０の段差は殆ど無い。従って
シール部のギャップ材と画素部のギャップ材を変更する
必要がなく、セルギャップの均一性制御が容易になる。
部１１０にも層間絶縁膜１０４が形成されているため画
素部１１２とシール部１１０の段差は殆ど無い。従って
シール部のギャップ材と画素部のギャップ材を変更する
必要がなく、セルギャップの均一性制御が容易になる。
【００１４】同時にドライバー１０３はシール部１１０
にあるためわざわざドライバー用のスペースを確保する
必要がなく省スペース化がはかれる。さらにドライバー
１０３上の層間絶縁膜１０４を除去せずに済むためドラ
イバーはエッチングによるダメージを受けない。また従
来の構造では最終的にポリイミドでドライバーを封止す
る必要があったが本発明を用いるとすでに層間絶縁膜１
０４で覆われているのでさらなる封止は不必要となる。
にあるためわざわざドライバー用のスペースを確保する
必要がなく省スペース化がはかれる。さらにドライバー
１０３上の層間絶縁膜１０４を除去せずに済むためドラ
イバーはエッチングによるダメージを受けない。また従
来の構造では最終的にポリイミドでドライバーを封止す
る必要があったが本発明を用いるとすでに層間絶縁膜１
０４で覆われているのでさらなる封止は不必要となる。
【００１５】またＩＴＯなどの導電性薄膜１１２がドラ
イバー上の層間絶縁膜１０４上に存在し、導電性薄膜１
１２は対向電極１０９と同電位にしてあるため接着剤や
有機薄膜の分極によるドライバーの信頼性低下を招かな
い。
イバー上の層間絶縁膜１０４上に存在し、導電性薄膜１
１２は対向電極１０９と同電位にしてあるため接着剤や
有機薄膜の分極によるドライバーの信頼性低下を招かな
い。
【００１６】さらに共通電位に落とされている対向電極
がシール部接着剤を介してドライバー上に位置的に重な
っていることにより、電場シールド効果が増す。従って
外部電場がかかってもドライバーやドライバー周辺の配
線への悪影響は低減可能であり、結果として表示品質へ
の影響は少なくなる。
がシール部接着剤を介してドライバー上に位置的に重な
っていることにより、電場シールド効果が増す。従って
外部電場がかかってもドライバーやドライバー周辺の配
線への悪影響は低減可能であり、結果として表示品質へ
の影響は少なくなる。
【００１７】
【発明の効果】本発明を用いれば、ドライバーはシール
部にあるため省スペース化が図れる。さらにドライバー
上には画素部と共に同じ膜厚の層間絶縁膜を形成するた
め、画素部とシール部の段差は殆どなく、従って画素部
とシール部のギャップ材径が同一となるためセルギャッ
プの均一性が向上する。
部にあるため省スペース化が図れる。さらにドライバー
上には画素部と共に同じ膜厚の層間絶縁膜を形成するた
め、画素部とシール部の段差は殆どなく、従って画素部
とシール部のギャップ材径が同一となるためセルギャッ
プの均一性が向上する。
【００１８】またドライバーは層間絶縁膜上の共通電位
になっている導電性薄膜にも保護されているため、外部
電場による悪影響も低減できる。
になっている導電性薄膜にも保護されているため、外部
電場による悪影響も低減できる。
【図１】 実施例記載の液晶表示装置の平面図。
【図２】 実施例記載の液晶表示装置のＸ−Ｘ’間に於
ける断面図。
ける断面図。
【図３】 実施例の工程を表す断面図。
【図４】 従来例の液晶表示装置の断面図。
１０１ ガラス基板 １０２ 画素ＴＦＴ １０３ ドライバー １０４ 層間絶縁膜 １０５ エッチングマスク １０６ 画素電極 １０７ 対向基板 １０８ 接着剤 １０９ 対向電極 １１０ シール部 １１１ 画素部 １１２ 導電性薄膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 29/784
Claims (1)
- 【請求項１】 ドライバー内蔵アクティブマトリクス方
式の液晶表示装置において、アクティブマトリクス基板
はソース線と画素電極がポリイミド樹脂あるいは酸化シ
リコンあるいは窒化シリコン等の層間絶縁膜を介して非
同一層に形成され、ドライバーは対向する２枚の基板の
接着部に形成され、前記層間絶縁膜は前記接着部のドラ
イバー上にも形成され、ドライバー上の層間絶縁膜上に
はＩＴＯなどの導電性薄膜が形成され、前記導電性薄膜
は共通電位され、対向基板の接着部にも導電性薄膜が形
成されることを特徴とする液晶表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33749192A JPH06186588A (ja) | 1992-12-17 | 1992-12-17 | 液晶表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33749192A JPH06186588A (ja) | 1992-12-17 | 1992-12-17 | 液晶表示装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06186588A true JPH06186588A (ja) | 1994-07-08 |
Family
ID=18309153
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33749192A Pending JPH06186588A (ja) | 1992-12-17 | 1992-12-17 | 液晶表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06186588A (ja) |
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
1992
- 1992-12-17 JP JP33749192A patent/JPH06186588A/ja active Pending
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