JPH0618344A - 圧力検出器とその製造方法 - Google Patents
圧力検出器とその製造方法Info
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- JPH0618344A JPH0618344A JP5066490A JP6649093A JPH0618344A JP H0618344 A JPH0618344 A JP H0618344A JP 5066490 A JP5066490 A JP 5066490A JP 6649093 A JP6649093 A JP 6649093A JP H0618344 A JPH0618344 A JP H0618344A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/147—Details about the mounting of the sensor to support or covering means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
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- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0007—Fluidic connecting means
- G01L19/0038—Fluidic connecting means being part of the housing
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- G—PHYSICS
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- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
- G01L19/0627—Protection against aggressive medium in general
- G01L19/0645—Protection against aggressive medium in general using isolation membranes, specially adapted for protection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/142—Multiple part housings
- G01L19/143—Two part housings
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 構造が簡単であり、大きな静圧力負荷及び脈
動圧力負荷に使用することのできる圧力検出器を提供す
る。 【構成】 ハウジング（６）、ダイアフラム領域（３）
を有するプレート（２）、及び上記のプレート（２）が
その上に取り付けられ、接着剤（５）によって上記のハ
ウジング（６）に結合された中間支持部材（４）を有す
る圧力検出器（１）とかかる圧力検出器を製造する方法
を提案する。接着剤（５）は、ハウジング（６）と中間
支持部材（４）の間の接合部内に形成され、この接合部
は圧力の方向と直交する少なくとも１つの方向への接着
剤（５）の移動を制限する。製造中、接着剤を塗布する
前に接着剤の領域に境界を形成する手段を設ける。
動圧力負荷に使用することのできる圧力検出器を提供す
る。 【構成】 ハウジング（６）、ダイアフラム領域（３）
を有するプレート（２）、及び上記のプレート（２）が
その上に取り付けられ、接着剤（５）によって上記のハ
ウジング（６）に結合された中間支持部材（４）を有す
る圧力検出器（１）とかかる圧力検出器を製造する方法
を提案する。接着剤（５）は、ハウジング（６）と中間
支持部材（４）の間の接合部内に形成され、この接合部
は圧力の方向と直交する少なくとも１つの方向への接着
剤（５）の移動を制限する。製造中、接着剤を塗布する
前に接着剤の領域に境界を形成する手段を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ハウジング、ダイヤフ
ラム領域を有するプレート、及び前記プレートがその上
に取り付けられ、接着剤によって前記ハウジングに結合
された中間支持部材を有する圧力検出器、及びダイヤフ
ラム領域を有するプレートと中間支持部材が共に結合さ
れ、前記中間支持部材はハウジングに接着剤によって固
定された圧力センサの製造方法に関し、かかる方法にお
いて、接着剤はハウジング及び（または）中間支持部材
に塗布される。
ラム領域を有するプレート、及び前記プレートがその上
に取り付けられ、接着剤によって前記ハウジングに結合
された中間支持部材を有する圧力検出器、及びダイヤフ
ラム領域を有するプレートと中間支持部材が共に結合さ
れ、前記中間支持部材はハウジングに接着剤によって固
定された圧力センサの製造方法に関し、かかる方法にお
いて、接着剤はハウジング及び（または）中間支持部材
に塗布される。
【０００２】
【従来の技術】この種の圧力検出器とこの圧力検出器の
製造方法は、例えば、ヨーロッパ特許出願公開第０１４
０９９２号から知られている。この場合の中間支持部材
はガラス基板によって構成されているが、プレートはシ
リコンのような半導体材料から製造することができる。
ここで中間支持部材の機能は、プレートをハウジングか
ら隔離することである。ハウジングは通常、例えば、鋼
のような金属によって構成される。
製造方法は、例えば、ヨーロッパ特許出願公開第０１４
０９９２号から知られている。この場合の中間支持部材
はガラス基板によって構成されているが、プレートはシ
リコンのような半導体材料から製造することができる。
ここで中間支持部材の機能は、プレートをハウジングか
ら隔離することである。ハウジングは通常、例えば、鋼
のような金属によって構成される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような圧力検出器
の問題点は、このプレートとハウジングが広い範囲にわ
たって異なった熱膨張係数を有していることである。温
度上昇のある場合にもしハウジングがダイヤフラムを有
するプレート以上に膨張すれば、これによってダイヤフ
ラムが湾曲する可能性があり、その結果、測定結果に誤
りが生じる。中間支持部材またはその固定手段によって
生じる熱膨張係数の相違によって発生する応力の一部を
除去するため、現在種々の努力が行われている。圧力が
比較的低いと、この場合弾性を有する接着剤を使用する
だけで十分であり、この弾性を有する接着剤は機械的な
応力を吸収することができる、即ち、中間支持部材とハ
ウジングの間で一定の相対的な変位を許容する。
の問題点は、このプレートとハウジングが広い範囲にわ
たって異なった熱膨張係数を有していることである。温
度上昇のある場合にもしハウジングがダイヤフラムを有
するプレート以上に膨張すれば、これによってダイヤフ
ラムが湾曲する可能性があり、その結果、測定結果に誤
りが生じる。中間支持部材またはその固定手段によって
生じる熱膨張係数の相違によって発生する応力の一部を
除去するため、現在種々の努力が行われている。圧力が
比較的低いと、この場合弾性を有する接着剤を使用する
だけで十分であり、この弾性を有する接着剤は機械的な
応力を吸収することができる、即ち、中間支持部材とハ
ウジングの間で一定の相対的な変位を許容する。
【０００４】しかし、圧力がより高い場合、ヨーロッパ
特許出願公開第０１４０９９２号では、温度変化によっ
て生じる応力を低減するため、プレートと同じ熱膨張係
数を有するように構成した他の層を中間支持部材とハウ
ジングの間に使用する。同様の構造は、ヨーロッパ特許
出願公開第０３１７６６４号にも開示されている。ここ
に開示されたものは、キャリア・プレートとベース・プ
レートが弾性を有する接着剤層によって接着結合されて
いる。中間支持部材とダイヤフラムを有するプレートを
その上に取り付けたベース・プレートは、固定部材によ
ってこのキャリア・プレートに固定される。
特許出願公開第０１４０９９２号では、温度変化によっ
て生じる応力を低減するため、プレートと同じ熱膨張係
数を有するように構成した他の層を中間支持部材とハウ
ジングの間に使用する。同様の構造は、ヨーロッパ特許
出願公開第０３１７６６４号にも開示されている。ここ
に開示されたものは、キャリア・プレートとベース・プ
レートが弾性を有する接着剤層によって接着結合されて
いる。中間支持部材とダイヤフラムを有するプレートを
その上に取り付けたベース・プレートは、固定部材によ
ってこのキャリア・プレートに固定される。
【０００５】米国特許第４，３６４，２７６号は、比較
的高いシステムの圧力用に差動圧力計を開示している。
実際の検出器として機能するシリコン・プレートをガラ
ス基板上に取り付け、このガラス基板を、例えば、鉄‐
ニッケル合金のような金属のキャリア層に固定するが、
これらの３つの層の間の結合は接着技術によって行われ
る。この圧力検出器の場合、金属部分がガラス基板用の
支持層として機能することを意図し、その結果、システ
ムの圧力が高い場合でも発生する高い静水圧によって変
形されることなく常に正確な測定結果を提供することが
できる。
的高いシステムの圧力用に差動圧力計を開示している。
実際の検出器として機能するシリコン・プレートをガラ
ス基板上に取り付け、このガラス基板を、例えば、鉄‐
ニッケル合金のような金属のキャリア層に固定するが、
これらの３つの層の間の結合は接着技術によって行われ
る。この圧力検出器の場合、金属部分がガラス基板用の
支持層として機能することを意図し、その結果、システ
ムの圧力が高い場合でも発生する高い静水圧によって変
形されることなく常に正確な測定結果を提供することが
できる。
【０００６】ドイツ出願公開第３９３７５２２号は、比
較的高い圧力にまた使用することのできる他の半導体圧
力検出器を開示している。この目的のため、ダイヤフラ
ムを保持した中間支持部材が、エラストマ・シールによ
ってハウジングに結合されている。ダイヤフラムに加わ
る圧力が増加すると、エラストマ・シールにかかる圧力
もまた増加し、その結果、比較的高い圧力では、シール
の密閉状態が改善される。
較的高い圧力にまた使用することのできる他の半導体圧
力検出器を開示している。この目的のため、ダイヤフラ
ムを保持した中間支持部材が、エラストマ・シールによ
ってハウジングに結合されている。ダイヤフラムに加わ
る圧力が増加すると、エラストマ・シールにかかる圧力
もまた増加し、その結果、比較的高い圧力では、シール
の密閉状態が改善される。
【０００７】
【発明の目的】本発明は、ハウジング、ダイアフラム領
域を有するプレート、前記プレートがその上に取り付け
られ、接着剤によって前記ハウジングに結合された中間
支持部材を有する圧力検出器において、構造が非常に簡
単であり、大きな静止及び脈動圧力負荷で使用すること
ができる圧力検出器およびこのような圧力検出器を製造
する方法を提供することを目的とするものである。
域を有するプレート、前記プレートがその上に取り付け
られ、接着剤によって前記ハウジングに結合された中間
支持部材を有する圧力検出器において、構造が非常に簡
単であり、大きな静止及び脈動圧力負荷で使用すること
ができる圧力検出器およびこのような圧力検出器を製造
する方法を提供することを目的とするものである。
【０００８】
【発明の構成および作用】本発明のかかる目的は、前記
接着剤が、前記ハウジングと前記中間支持部材の間の結
合部内に形成され、前記結合部が、圧力の方向と直交す
る少なくとも１つの方向への前記接着剤（５）の移動を
制限することによって達成される。この対策によって、
圧力負荷が極端に高い場合、ハウジングと支持部材の間
から接着剤が絞り出されるのが防止される。このような
事態が発生すれば、ハウジングと中間支持部材の間の接
着剤によって与えられる保持力が削減されるかまたはこ
の保持力の消失さえも発生する。圧力の方向と直行する
方向に対する接着剤の移動は少なくとも１つの方向では
制限されているので、高い圧力では接着剤の漏出は基本
的には可能であるが、ハウジングと中間支持部材の間の
スペースから接着剤が完全に除去されるという事態は防
止される。しかし、低い圧力では、十分な弾性を有さな
ければならないこの接着剤は、中間支持部材とハウジン
グの間の応力を吸収することができ、その結果、プレー
トのねじれは発生せず、従って、ダイヤフラムのねじれ
を回避することができる。
接着剤が、前記ハウジングと前記中間支持部材の間の結
合部内に形成され、前記結合部が、圧力の方向と直交す
る少なくとも１つの方向への前記接着剤（５）の移動を
制限することによって達成される。この対策によって、
圧力負荷が極端に高い場合、ハウジングと支持部材の間
から接着剤が絞り出されるのが防止される。このような
事態が発生すれば、ハウジングと中間支持部材の間の接
着剤によって与えられる保持力が削減されるかまたはこ
の保持力の消失さえも発生する。圧力の方向と直行する
方向に対する接着剤の移動は少なくとも１つの方向では
制限されているので、高い圧力では接着剤の漏出は基本
的には可能であるが、ハウジングと中間支持部材の間の
スペースから接着剤が完全に除去されるという事態は防
止される。しかし、低い圧力では、十分な弾性を有さな
ければならないこの接着剤は、中間支持部材とハウジン
グの間の応力を吸収することができ、その結果、プレー
トのねじれは発生せず、従って、ダイヤフラムのねじれ
を回避することができる。
【０００９】有利な構造では、結合部を周囲に構成した
中間領域を有する中間支持部材を設け、この結合部は接
着剤がこの中間領域に移動するのを防止する境界面を有
する。換言すれば、この中間支持部材の中間領域には停
止部材が形成され、この停止部材によって、中間支持部
材とハウジングが相互に対する係合を完了する前にこれ
らの中間支持部材とハウジングが相互に向かって移動す
るのが防止される。従って、各ケースについて、中間領
域の周囲にはスペースがあり、この中に接着剤が留まる
ことができる。従って、プレート及びダイアフラムに作
用する静水圧によって引き起こされる力は、接着剤を結
合部から完全に絞り出すことなく吸収することができ
る。その結果、自己制限効果が発生する。
中間領域を有する中間支持部材を設け、この結合部は接
着剤がこの中間領域に移動するのを防止する境界面を有
する。換言すれば、この中間支持部材の中間領域には停
止部材が形成され、この停止部材によって、中間支持部
材とハウジングが相互に対する係合を完了する前にこれ
らの中間支持部材とハウジングが相互に向かって移動す
るのが防止される。従って、各ケースについて、中間領
域の周囲にはスペースがあり、この中に接着剤が留まる
ことができる。従って、プレート及びダイアフラムに作
用する静水圧によって引き起こされる力は、接着剤を結
合部から完全に絞り出すことなく吸収することができ
る。その結果、自己制限効果が発生する。
【００１０】境界面は、種々の方法で形成することがで
きる。先ず、接合部の境界面は、ハウジングから中間支
持部材に向かって突出する突起部の周面によって形成す
ることができる。この突起部はまた中間支持部材上に形
成て、ハウジングに向かって突出することが可能であ
る。最後に、この境界面を形成するため、ハウジングと
中間支持部材の間に形成された中間プレートを使用する
ことがまた可能であり、このプレートの周面が境界面と
して機能する。これら３つの全てのケースにおいて、接
着剤の変位につながる中間支持部材とハウジングの相互
に対する完全な係合の前に、機械的な障壁が効力を発揮
し、これによって、結合部が所定の最小の容積を保持す
ることが保証される。
きる。先ず、接合部の境界面は、ハウジングから中間支
持部材に向かって突出する突起部の周面によって形成す
ることができる。この突起部はまた中間支持部材上に形
成て、ハウジングに向かって突出することが可能であ
る。最後に、この境界面を形成するため、ハウジングと
中間支持部材の間に形成された中間プレートを使用する
ことがまた可能であり、このプレートの周面が境界面と
して機能する。これら３つの全てのケースにおいて、接
着剤の変位につながる中間支持部材とハウジングの相互
に対する完全な係合の前に、機械的な障壁が効力を発揮
し、これによって、結合部が所定の最小の容積を保持す
ることが保証される。
【００１１】更に、境界面が接着剤のな無い領域を形成
し、この領域を介してハウジング内に逆圧ダクトを導く
ことができるのは、大きな利点である。圧力検出器を差
動圧力検出器として構成すると、圧力をダイアフラムの
両側から加えることができる。境界面は、製造中に接着
剤が逆圧ダクト内に入り、これを閉塞または狭窄するの
を防止する。
し、この領域を介してハウジング内に逆圧ダクトを導く
ことができるのは、大きな利点である。圧力検出器を差
動圧力検出器として構成すると、圧力をダイアフラムの
両側から加えることができる。境界面は、製造中に接着
剤が逆圧ダクト内に入り、これを閉塞または狭窄するの
を防止する。
【００１２】ハウジングと中間支持部材上にある摩擦接
触面の平滑性を増すのが好ましい。これによって、中間
支持部材とハウジングの間の摩擦が減少し、その結果、
温度が変動する結果としてハウジングと中間支持部材の
膨張が異なっても、これらの２つの部品は、相互に対し
て比較的自由に移動することが保証される。結合部は、
数百分の１ミリのサイズの領域を有するのが好ましい。
この範囲のサイズは、十分な量の接着剤を収容するのに
十分な大きさであり、その結果、一方では、中間支持部
材とハウジングが相互に対して固定される信頼性が保証
され、他方では、この層は低い圧力で十分な弾性を有
し、中間支持部材とハウジングの間の機械的な応力を補
償する。
触面の平滑性を増すのが好ましい。これによって、中間
支持部材とハウジングの間の摩擦が減少し、その結果、
温度が変動する結果としてハウジングと中間支持部材の
膨張が異なっても、これらの２つの部品は、相互に対し
て比較的自由に移動することが保証される。結合部は、
数百分の１ミリのサイズの領域を有するのが好ましい。
この範囲のサイズは、十分な量の接着剤を収容するのに
十分な大きさであり、その結果、一方では、中間支持部
材とハウジングが相互に対して固定される信頼性が保証
され、他方では、この層は低い圧力で十分な弾性を有
し、中間支持部材とハウジングの間の機械的な応力を補
償する。
【００１３】問題は、接着剤の塗布に先立って、接着剤
領域に境界を形成する手段を設けるという冒頭で述べた
種類の方法によって解決される。この接着剤領域に境界
を形成する手段は、例えば、上述したように、ハウジン
グ上または中間支持部材上の突起部、または中間プレー
トを使用することによって形成することができ、この中
間プレートは、接着剤を塗布する前にハウジング及び
（または）中間支持部材上に取り付けられる。
領域に境界を形成する手段を設けるという冒頭で述べた
種類の方法によって解決される。この接着剤領域に境界
を形成する手段は、例えば、上述したように、ハウジン
グ上または中間支持部材上の突起部、または中間プレー
トを使用することによって形成することができ、この中
間プレートは、接着剤を塗布する前にハウジング及び
（または）中間支持部材上に取り付けられる。
【００１４】
【実施例】図面と組み合わせ、好適な実施例を参照し
て、本発明を以下で説明する。圧力検出器１は、ダイヤ
フラム３を有するプレート２によって構成され、このプ
レート２は中間支持部材４に結合される。この中間支持
部材は、弾性を有する接着剤５によってハウジング６に
結合される。
て、本発明を以下で説明する。圧力検出器１は、ダイヤ
フラム３を有するプレート２によって構成され、このプ
レート２は中間支持部材４に結合される。この中間支持
部材は、弾性を有する接着剤５によってハウジング６に
結合される。
【００１５】ハウジング６は金属によって構成される。
中間支持部材４はガラス基板によって形成される。ダイ
ヤフラム３を有するプレート２はシリコンによって構成
される。抵抗または他の電気部品は、例えばドーピング
のような図示しないがそれ自身公知の方法でダイヤフラ
ム３内に内蔵される。これらの部品の電気特性は、ダイ
ヤフラム３の機械的応力またはたわみによって変化す
る。これらの部品の電気的特性の変化の大きさは、ダイ
ヤフラム３が受けている圧力の尺度である。
中間支持部材４はガラス基板によって形成される。ダイ
ヤフラム３を有するプレート２はシリコンによって構成
される。抵抗または他の電気部品は、例えばドーピング
のような図示しないがそれ自身公知の方法でダイヤフラ
ム３内に内蔵される。これらの部品の電気特性は、ダイ
ヤフラム３の機械的応力またはたわみによって変化す
る。これらの部品の電気的特性の変化の大きさは、ダイ
ヤフラム３が受けている圧力の尺度である。
【００１６】導電線７が図示しない電気部品から接続部
８を介して詳細に図示しない評価装置に導かれる。プレ
ート２を有する支持部材４は、ハウジング６内に設けら
れた圧力チャンバ９内に形成され、この圧力チャンバは
補助ダイヤフラム１０によって閉鎖され、例えば、シリ
コーン油のような圧力媒体１２がこの圧力チャンバに充
填される。補助ダイヤフラム１０に作用する圧力は、圧
力媒体１１を介してプレート２のダイヤフラム３に伝播
し、ダイヤフラムをたわませ、従って加えられている圧
力の尺度である電気部品の電気的特性に変化を発生す
る。この補助ダイヤフラム１０は、次にハウジング６内
の開口部９を介して外部から加圧されることができる。
圧力検出器１を差動圧力計として使用するためには、ハ
ウジング６と中間支持部材４を介して導かれる逆圧ダク
ト１２を設ける。圧力は、この逆圧ダクト１２を介して
ダイヤフラム３の他方の側に伝達されることができる。
従って、ダイヤフラム３のたわみは、ダイヤフラム３の
２つの側に加わる２つの圧力の間の圧力差に応じて発生
される。
８を介して詳細に図示しない評価装置に導かれる。プレ
ート２を有する支持部材４は、ハウジング６内に設けら
れた圧力チャンバ９内に形成され、この圧力チャンバは
補助ダイヤフラム１０によって閉鎖され、例えば、シリ
コーン油のような圧力媒体１２がこの圧力チャンバに充
填される。補助ダイヤフラム１０に作用する圧力は、圧
力媒体１１を介してプレート２のダイヤフラム３に伝播
し、ダイヤフラムをたわませ、従って加えられている圧
力の尺度である電気部品の電気的特性に変化を発生す
る。この補助ダイヤフラム１０は、次にハウジング６内
の開口部９を介して外部から加圧されることができる。
圧力検出器１を差動圧力計として使用するためには、ハ
ウジング６と中間支持部材４を介して導かれる逆圧ダク
ト１２を設ける。圧力は、この逆圧ダクト１２を介して
ダイヤフラム３の他方の側に伝達されることができる。
従って、ダイヤフラム３のたわみは、ダイヤフラム３の
２つの側に加わる２つの圧力の間の圧力差に応じて発生
される。
【００１７】例えば厚さが０．０４ｍｍ、外径が２ｍ
ｍ、孔径が１ｍｍであり、鋼によって作ることのできる
中間プレート１４をハウジング６と中間支持部材４の間
に形成する。この中間プレート１４は接着剤５に対する
境界面として機能する外周１５を有する。同時に、この
中間プレート１４は、ハウジング６と中間支持部材４が
相方に向かう場合に生じる移動を停止する停止部材とし
て作用する。圧力が非常に強くても、接着剤の結合部１
６はハウジング６と中間支持部材４の間に留まり、ここ
から接着剤５は圧縮されることもできないし、または絞
り出されることもできない。ハウジング６と中間支持部
材４の相互に対する移動は、中間プレート１４によって
制限される。同時に、中間プレート１４はその外周１５
によって接着剤が例え圧力が高くても中間支持部材の中
間部に進入することができるのを防止する。例え接着剤
が高い圧力で外部に強制的に押し出される場合でも、十
分な量の接着剤がなお結合部１６の後部に残りハウジン
グ６と中間支持部材４の間で接着力を保持する。使用さ
れる接着剤は、例えば、シリコーン接着剤であり、また
例えば、シリコーン・ゴムである。
ｍ、孔径が１ｍｍであり、鋼によって作ることのできる
中間プレート１４をハウジング６と中間支持部材４の間
に形成する。この中間プレート１４は接着剤５に対する
境界面として機能する外周１５を有する。同時に、この
中間プレート１４は、ハウジング６と中間支持部材４が
相方に向かう場合に生じる移動を停止する停止部材とし
て作用する。圧力が非常に強くても、接着剤の結合部１
６はハウジング６と中間支持部材４の間に留まり、ここ
から接着剤５は圧縮されることもできないし、または絞
り出されることもできない。ハウジング６と中間支持部
材４の相互に対する移動は、中間プレート１４によって
制限される。同時に、中間プレート１４はその外周１５
によって接着剤が例え圧力が高くても中間支持部材の中
間部に進入することができるのを防止する。例え接着剤
が高い圧力で外部に強制的に押し出される場合でも、十
分な量の接着剤がなお結合部１６の後部に残りハウジン
グ６と中間支持部材４の間で接着力を保持する。使用さ
れる接着剤は、例えば、シリコーン接着剤であり、また
例えば、シリコーン・ゴムである。
【００１８】図４は変形例を示し、ここで同一の部品に
は図１ないし３と同じ参照番号を付け、対応する部品に
は１００を加えた参照番号を付ける。中間プレート１４
は、ここではハウジング１０４内に形成され、中間支持
部材４に向かって突出する突起部１７によって代替す
る。この突起部１７は、一方では中間支持部材４とハウ
ジング１０６が相方に向かう場合に生じる移動を停止す
る停止部材を形成し、他方では結合部１６を形成し、そ
の結果、接着剤は結合部１６の外部に絞り出される可能
性があるが、中間支持部材の中間領域に進入することは
できない。接着剤５をハウジング１０６に塗布すると、
突起部１７は同時にこの接着剤が逆圧ダクト１２に入る
のを防止する。
は図１ないし３と同じ参照番号を付け、対応する部品に
は１００を加えた参照番号を付ける。中間プレート１４
は、ここではハウジング１０４内に形成され、中間支持
部材４に向かって突出する突起部１７によって代替す
る。この突起部１７は、一方では中間支持部材４とハウ
ジング１０６が相方に向かう場合に生じる移動を停止す
る停止部材を形成し、他方では結合部１６を形成し、そ
の結果、接着剤は結合部１６の外部に絞り出される可能
性があるが、中間支持部材の中間領域に進入することは
できない。接着剤５をハウジング１０６に塗布すると、
突起部１７は同時にこの接着剤が逆圧ダクト１２に入る
のを防止する。
【００１９】図５では、同一の部品には図１と同じ参照
番号を付け、対応する部品には２００を加えた参照番号
を付け、中間プレート１４は突起部１８と代替され、こ
の突起部は中間支持部材２０４上に形成されてハウジン
グ６に向かって突出する。この突起部１８は原理的には
図３の突起部１７または図１ないし３の中間プレートと
同じ機能を有する。
番号を付け、対応する部品には２００を加えた参照番号
を付け、中間プレート１４は突起部１８と代替され、こ
の突起部は中間支持部材２０４上に形成されてハウジン
グ６に向かって突出する。この突起部１８は原理的には
図３の突起部１７または図１ないし３の中間プレートと
同じ機能を有する。
【００２０】
【発明の効果】本発明によれば、ハウジング、ダイアフ
ラム領域を有するプレート、前記プレートがその上に取
り付けられ、接着剤によって前記ハウジングに結合され
た中間支持部材を有する圧力検出器において、構造が非
常に簡単であり、大きな静止及び脈動圧力負荷で使用す
ることができる圧力検出器およびこのような圧力検出器
を製造する方法を提供することが可能になる。
ラム領域を有するプレート、前記プレートがその上に取
り付けられ、接着剤によって前記ハウジングに結合され
た中間支持部材を有する圧力検出器において、構造が非
常に簡単であり、大きな静止及び脈動圧力負荷で使用す
ることができる圧力検出器およびこのような圧力検出器
を製造する方法を提供することが可能になる。
【図１】圧力検出器の断面図を示す。
【図２】図１の線Ａ−Ａに沿って切断した部分断面図を
示す。
示す。
【図３】図２の線Ｂ−Ｂに沿って切断した断面図を示
す。
す。
【図４】図３に基づく変形実施例を示す。
【図５】他の変形実施例を示す。
４、２０４ 中間支持部材 ５ 接着剤 ６、１０６ ハウジング １２ 逆圧ダクト １４ 中間プレート １５ 境界面 １６ 結合部 １７、１８ 突起部
Claims (9)
- 【請求項１】 ハウジング、ダイアフラム領域を有する
プレート、前記プレートがその上に取り付けられ、接着
剤によって、前記ハウジングに結合された中間支持部材
を有する圧力検出器において、前記接着剤（５）が、前
記ハウジング（６、１０６）と前記中間支持部材（４、
２０４）の間の結合部（１６）内に形成され、前記結合
部が、圧力の方向と直交する少なくとも１つの方向への
前記接着剤（５）の移動を制限することを特徴とする圧
力検出器。 - 【請求項２】 前記中間支持部材（４、２０４）が、そ
の周囲に前記結合部（１６）の形成された中間領域を有
し、前記結合部（１６）が、前記中間部内への前記接着
剤（５）の移動を防止する境界面（１５）を有すること
を特徴とする請求項１記載の圧力検出器。 - 【請求項３】 前記結合部（１６）の境界面（１５）
が、前記ハウジング（１０６）から前記中間支持部材
（４）に向かって突出する突起部（１７）の周面によっ
て形成されることを特徴とする請求項２記載の圧力検出
器。 - 【請求項４】 前記結合部（１６）の境界面（１５）
が、前記中間支持部材（２０４）から前記ハウジング
（６）に向かって突出する突起部（１８）の周面によっ
て形成されることを特徴とする請求項２記載の圧力検出
器。 - 【請求項５】 前記結合部（１６）の境界面（１５）
が、前記ハウジング（６）と前記中間支持部材（４）の
間に形成された中間プレート（１４）の周面によって形
成されることを特徴とする請求項２記載の圧力検出器。 - 【請求項６】 前記境界面（１５）が、接着剤の無い領
域を形成し、前記領域を介して前記ハウジング（６）内
の逆圧ダクト（１２）が導かれることを特徴とする請求
項２ないし請求項５の１つに記載の圧力検出器。 - 【請求項７】 前記ハウジング（６、１０６）と前記中
間支持部材（４、２０４）上にある摩擦接触面の平滑性
が増すことを特徴とする請求項２ないし請求項６の１つ
に記載の圧力検出器。 - 【請求項８】 前記結合部（１６）が、数百分の１ミリ
のサイズの領域を有することを特徴とする請求項１ない
し請求項７の１つに記載の圧力検出器。 - 【請求項９】 ダイアフラム領域を有するプレートと中
間支持部材が共に結合され、前記中間支持部材は接着剤
によってハウジングに固定され、接着剤は前記ハウジン
グ及び（または）前記中間支持部材に塗布される請求項
１ないし請求項８の１つに記載の圧力検出器の製造方法
において、前記接着剤（５）の塗布の前に、前記接着剤
領域の境界を形成する手段を設けることを特徴とする方
法。
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|---|---|---|---|
| DE4211816A DE4211816C2 (de) | 1992-04-08 | 1992-04-08 | Drucksensor |
| DE4211816:6 | 1992-04-08 |
Publications (2)
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|---|---|
| JPH0618344A true JPH0618344A (ja) | 1994-01-25 |
| JP2670413B2 JP2670413B2 (ja) | 1997-10-29 |
Family
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| JP5066490A Expired - Fee Related JP2670413B2 (ja) | 1992-04-08 | 1993-03-25 | 圧力検出器とその製造方法 |
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| CH (1) | CH684808A5 (ja) |
| DE (1) | DE4211816C2 (ja) |
| DK (1) | DK174311B1 (ja) |
| FR (1) | FR2689975B1 (ja) |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1992
- 1992-04-08 DE DE4211816A patent/DE4211816C2/de not_active Expired - Fee Related
-
1993
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- 1993-03-31 DK DK199300377A patent/DK174311B1/da not_active IP Right Cessation
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- 1993-11-16 US US08/153,481 patent/US5333507A/en not_active Expired - Lifetime
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