JPH06175356A

JPH06175356A - ペリクル剥離装置

Info

Publication number: JPH06175356A
Application number: JP35236792A
Authority: JP
Inventors: Fumitomo Hayano; 史倫早野
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1992-12-11
Filing date: 1992-12-11
Publication date: 1994-06-24

Abstract

(57)【要約】【目的】人間の手を介さずに自動的にペリクルフレー
ムをレチクルから剥離できるペリクル用剥離装置を得
る。【構成】レチクルとペリクルフレームとの間の接着剤
に、該接着剤の接着力を低減させ且つペリクル膜に対し
て安定な剥離液を供給する剥離液供給手段と、前記レチ
クルからペリクルフレームを引張り剥離する剥離手段と
を備えたものであるため、レチクルを汚染したり、傷付
けたりせずに、容易にレチクルからペリクルフレームを
剥すことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はペリクル剥離装置に関
し、特に半導体露光工程に使用されるレチクルからペリ
クルを剥離する装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図８は所謂「ペリクル付レチクル」の斜
視図である。図８に示すように、レチクル１に対し接着
剤２（レチクル１に隠れている側は見えない）を介し
て、フレーム３，４が接着固定されている。また、フレ
ーム３，４にはペリクル５が張設されている（下側フレ
ーム４のペリクルは隠れて見えないため図示せず）。

【０００３】従来、図８に示したペリクル付レチクルか
ら、ペリクルフレーム３，４を剥離する場合には、図９
に示すような剥離治具１０を用いて剥離作業を行ってい
た。剥離治具１０の先端１１を接着剤２（通常、接着剤
２としては、両面テープ状のものやアクリル系の接着剤
を用い、接着剤の厚さは、０．５ｍｍ程度である）に食
い込ませて、折曲辺部分１２を支点として、テコの原理
でレチクル１からフレーム３を剥離していた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記の如き、従来の技
術において、以下のような問題点があった。通常レチクル１と接着剤２との接着力の方が、フレ
ーム３と接着剤２との接着力より劣るため、フレーム３
と接着剤２とが一体となってレチクル１から剥離できる
はずである。しかしながら、現実は、接着剤２がレチク
ル１から剥離するが、同時にフレーム３からも剥離して
しまうことがあり、この双方から剥離した接着剤が他の
表面に再接着し、特にレチクル面に落下した場合には、
レチクル面の再洗浄など余分な工程が必要となる等、作
業性が悪く、種々の問題を引き起こす場合があった。

【０００５】剥離治具１０の折曲部分１２により、
レチクル１表面に傷が付く場合があった。６インチサイズは手で持つのに大きく、レチクルを
手から落として破損してしまう場合があった。

【０００６】そこで本発明は、上記問題の解決のため
に、自動的にペリクルフレームをレチクルから容易に剥
離できるペリクル用剥離装置を得ることを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本請求項１に記載の発明
に係るペリクル剥離装置では、レチクル又はマスクに、
前記レチクルを覆うペリクル膜を保持したペリクルフレ
ームが接着剤を介して固着されたものからペリクルフレ
ームを剥離する装置であって、前記レチクルとペリクル
フレームとの間の接着剤に、該接着剤の接着力を低減さ
せ且つ前記ペリクル膜に対して安定な剥離液を供給する
剥離液供給手段と、前記レチクルからペリクルフレーム
を引張り剥離する剥離手段とを備えたものである。

【０００８】また、本請求項２に記載の発明に係るペリ
クル剥離装置では、前記剥離手段が、前記レチクルに固
着されたペリクルフレームの一辺又は一点を支点とした
引張り力を懸けながら引張り剥離するものである。

【０００９】更に、本請求項３に記載の発明に係るペリ
クル剥離装置では、前記剥離手段が、前記レチクルに固
着されたペリクルフレームの一辺又は一点を支点とした
引張り力と、前記一辺又は一点以外の他辺又は他点を支
点とした別の引張り力とを連続して懸けながら引張り剥
離するものである。

【００１０】また、本請求項４に記載の発明に係るペリ
クル剥離装置では、前記請求項１〜３の何れかに記載の
ペリクル剥離装置において、前記剥離液供給手段が、剥
離液を貯留した剥離液槽と、該剥離液槽中に前記ペリク
ルフレームが固着されたレチクルを移動させる移動手段
とを備えたものである。

【００１１】更に、本請求項５に記載の発明に係るペリ
クル剥離装置では、前記剥離液供給手段が、前記ペリク
ルフレームが固着されたレチクルの接着部分に、剥離液
を噴射又は噴霧する剥離液注入手段を備えたものであ
る。

【００１２】また、本請求項６に記載の発明に係るペリ
クル剥離装置では、前記剥離液供給手段が、剥離液蒸気
が充満した剥離液蒸気室内と、該剥離液蒸気室内に、前
記ペリクルフレームが固着されたレチクルを移動させる
移動手段とを備えたものである。

【００１３】

【作用】本発明においては、レチクルとペリクルフレー
ムとの間の接着剤に、該接着剤の接着力を低減させ且つ
ペリクル膜に対して安定な剥離液を供給する剥離液供給
手段と、前記レチクルからペリクルフレームを引張り剥
離する剥離手段とを備えたものであるため、レチクルを
汚染したり、傷付けたりせずに、容易にレチクルからペ
リクルフレームを剥すことができる。

【００１４】即ち、本発明では、レチクルとペリクルフ
レームとを接着する接着剤に、一旦剥離液を供給して、
接着剤の接着力を弱くしてからフレームを剥離するよう
にしたため、容易にレチクルからペリクルフレームを剥
すことができる。

【００１５】また、具体的な剥離手段としては、レチク
ルに固着されたペリクルフレームの一辺又は一点を支点
とした引張り力を懸けながら引張り剥離するものや、特
に、前記レチクルに固着されたペリクルフレームの一辺
又は一点を支点とした引張り力と、前記一辺又は一点以
外の他辺又は他点を支点とした別の引張り力とを連続し
て懸けながら引張り剥離するものでは、機械によって容
易にレチクルからペリクルフレームを剥すことができ、
剥離作業を自動化することも可能である。

【００１６】更に、具体的な剥離液供給手段としては、
剥離液を貯留した剥離液槽と該剥離液槽中にペリクルフ
レームが固着されたレチクルを移動させる移動手段とを
備えたもの、また、ペリクルフレームが固着されたレチ
クルの接着部分に剥離液を噴射又は噴霧する剥離液注入
手段を備えたもの、更に、剥離液蒸気が充満した剥離液
蒸気室内と該剥離液蒸気室内にペリクルフレームが固着
されたレチクルを移動させる移動手段とを備えたものの
３つの剥離液供給手段を開示する。

【００１７】即ち、剥離液を貯留した剥離液槽と、該剥
離液槽中にペリクルフレームが固着されたレチクルを移
動させる移動手段とを備えたものでは、移動手段によっ
て、ペリクルフレームがレチクルに固着された所謂「ペ
リクル付レチクル」を剥離液槽内に浸漬する。剥離液は
接着剤の接着力を低減させ且つ前記ペリクル膜に対して
安定なものであるため、ペリクル膜面を溶解せず、ペリ
クルフレームとレチクルとの間の接着剤部分に浸透し
て、接着力を低減させる。従って、前述の剥離手段によ
って容易に剥離することができる。

【００１８】尚、剥離手段は前記移動手段を兼ねて、剥
離液槽中で剥離作業を行ってもよい。また、所定時間浸
漬した後に槽外で剥離作業を行ってもよい。この場合、
剥離作業のトルクが係りすぎるようであったら、再度、
剥離液槽中に浸漬して同様の剥離作業を行ってもよい。

【００１９】また、ペリクルフレームが固着されたレチ
クルの接着部分に剥離液を噴射又は噴霧する剥離液注入
手段を備えたものでは、ペリクル付レチクルの接着部分
の１箇所又は数カ所に噴射又は噴霧ノズルで剥離液を供
給する。供給された剥離液は、毛細管現象によって全周
に行き渡り、接着力を低減させる。従って、前述の剥離
手段によって容易に剥離することができる。

【００２０】更に、剥離液蒸気が充満した剥離液蒸気室
内と該剥離液蒸気室内にペリクルフレームが固着された
レチクルを移動させる移動手段とを備えたものでは、ペ
リクル付レチクルの接着部分に凝結した剥離液が同様に
全周に行き渡り、接着力を低減させる。従って、前述の
剥離手段によって容易に剥離することができる。

【００２１】また、剥離液の選定については、レチクル
とペリクルフレームとを固着する接着剤の接着力を低減
させるものであることは当然であり、なおかつペリクル
膜に対して安定であることを必要とする。即ち、接着剤
の接着力を低減するには、接着剤を溶解する溶解力の強
い薬液を用いればよいが、そのとき、ペリクル膜自身を
溶解したり、また接着剤も完全に溶解してしまうもので
は、溶解したペリクル乃至接着剤がレチクル面に付着す
る事故が発生する可能性がある。

【００２２】この場合、レチクル面を再生するに当たっ
て、レチクル面を洗浄するのであるが、特にレチクル面
のエッジ部分や複雑な回路部分などに付着した場合に
は、完全に洗浄するのに、多大な時間を要する場合があ
る。

【００２３】従って、接着剤の接着力を弱めるに当たっ
て、最適な薬液は接着力の低下させる程度と、ペリクル
と接着剤を溶解させない程度の兼ね合いで決定されなけ
ればならない。このためには、ペリクルの素材及び接着
剤の種類に応じた、剥離液を種々選択する。

【００２４】多くの場合、ペリクルはニトロセルロース
等のセルロース系樹脂が使用され、接着剤には両面テー
プ状のものやアクリル系の接着剤が使用されている。こ
れらのものに対して好ましい剥離剤は、両面テープでは
界面活性剤を溶解した水が用いられ、アクリル系接着剤
にはｉＰＡ（イソプロピルアルコール）を用いればよ
い。

【００２５】アセトンやエチルアルコール、メチルアル
コール等では、ニトロセルロース等のセルロース系樹脂
のペリクルが瞬時に解けて破れるか、或は膨潤の程度が
著しく高いかになってしまい、ペリクル付レチクルで
は、レチクルを汚染してしまうが、ｉＰＡや界面活性剤
水溶液等ではこのようなことは生じない。

【００２６】従って、ｉＰＡを満たした薬液槽にペリク
ル付レチクルを浸すともちろん接着剤の隙間を通ってペ
リクル内にｉＰＡが滲み込むことはあっても、接着剤の
接着力は衰えペリクルや接着剤が溶解してレチクルを汚
染することはない。このような状態になると、図９のよ
うな剥離治具を用いるまでもなく、極めて容易にレチク
ルからペリクルフレームを剥離することができる。

【００２７】

【実施例】図１は本発明の剥離装置の一実施例に使用す
るペリクル付レチクルの斜視図である。レチクル保持部
材２０の両面（片面の場合もある）にペリクルフレーム
２２，２３が接着固定されている。ペリクルフレーム２
１，２２の１辺につき２カ所の治具穴２３が設けられ１
枚のペリクルフレームについては、対向する辺同士に各
辺２カ所の治具穴２３を設けているため、１枚のペリク
ルフレームにつき計４カ所の治具穴２３が設けられてい
る。

【００２８】尚、治具穴２３は通常ペリクルフレーム２
１，２２を貫通しているものではなく、ペリクルの密閉
度を保つため、ある程度の深さを持った穴となってい
る。治具穴２３としては、例えば特開平１−９７９６１
号に開示されているような自動ペリクル貼付装置用の治
具穴を用いてもよい。

【００２９】また、図２は本発明の剥離装置の別の実施
例に使用するペリクル付レチクルの斜視図である。図２
のペリクル付レチクルでは、ペリクルフレーム２４，２
５には溝２６が設けられている。溝２６は各々対向する
辺にも設けられている。

【００３０】図１，図２共に、後で説明するペリクルフ
レームを引張り剥離する剥離手段の詳細な構造が変わる
だけであるから、以下の説明は図１のペリクル付レチク
ル場合に限定して行う。

【００３１】図３は剥離手段を構成するレチクル保持部
材を保持するレチクル保持アームの斜視図であり、図４
はレチクル保持アームがレチクル保持部材を保持した場
合の断面図である。レチクル保持アームは２つのアーム
３０，３１からなり、アーム３０，３１の対向する内側
には、Ｖ字型ないし凹状の溝３０Ａ，３１Ａが設けられ
ている。

【００３２】また、レチクル保持部材２０は、不図示の
駆動部により、アーム３０，３１を矢印３２の方向に平
行移動することにより、図４（断面図）のように、レチ
クル２０を溝３０Ａ，３１Ａによりはさんで支持固定す
る。また、アーム３０，３１の下端部には、ストッパー
３０Ｂ，３１Ｂが設けられていてレクチル保持部材２０
が落下しないようになっている。

【００３３】図５は剥離手段を構成するフレーム保持ア
ームの斜視図である。２つのアーム４０，４１からな
る。アーム４０，４１の対向する内側には、突起４２が
設けられ、不図示の駆動部によりアーム４０，４１を矢
印４３の方向に平行移動することにより、図１の治具穴
２３に挿入して、ペリクルフレームをはさんで支持固定
する。

【００３４】図６はペリクル２１，２２つきレチクル２
０を保持したときの断面図である。アーム３０，３１で
レチクル２０をはさみ、アーム４０，４１で突起４２を
介して、ペリクルフレーム２１の治具穴２３をはさみ、
アーム４４，４５で突起４２を介してもう一方のペリク
ルフレーム２２の治具穴２３をはさんで支持固定してい
る。

【００３５】図７は本発明のペリクル剥離装置の一実施
例の構成を示す斜視図である。尚、前述の部材と同じ部
材には同じ符合を付してある。ペリクル２１，２３が接
着固定されているレチクル保持部材２０は各々アームに
より保持され、ｉＰＡ，界面活性剤等の剥離液５０が満
たされた剥離液槽５１に不図示の駆動手段により矢印５
２の方向に移動して、ペリクル付レチクル２０が全体に
つかるように入れられる。

【００３６】剥離液５０の中に所定時間（例えば、５分
間）浸けられた後、矢印５２とは逆の方向に引上げら
れ、今度はアーム４０，４１を矢印５３方向に、アーム
４４，４５をレチクル，ペリクル面にほぼ直交する矢印
５４の方向にペリクルの下辺を支点にして、各々同時に
不図示の駆動手段により引っ張ることにより、レチクル
保持部材２０からペリクルフレーム２１，２２を剥離す
る。

【００３７】このとき、矢印５３，５４に動かす駆動手
段（例えば、モータ）のトルク（モータの駆動電流でも
よい）をモニタし、トルクが係りすぎているようであれ
ば、未だ、接着剤の接着力が強いと判断し、再びペリク
ル付レチクルを剥離液５０の中に浸して引上げた後、同
様の処理を行うようにすれば、無理にペリクルフレーム
をレチクルから剥離することがなくなる。

【００３８】更に、ペリクルフレーム２１，２２の下辺
を支点とした引張り力と、ペリクルフレーム２１，２２
の上辺を支点とした引張り力とを連続して懸けながら引
張り剥離することもできる。これにより、容易にレチク
ル保持部材からペリクルフレームを剥すことができ、剥
離作業を自動化することも可能である。

【００３９】剥離後のペリクルフレーム２０，２１は、
再生利用することはないのでアーム４０，４１、アーム
４４，４５を相互に開いて、所定の場所に廃棄しても構
わない。それに対し、レチクル２０はペリクルフレーム
２１，２２を剥離した後、洗浄して再生利用する。

【００４０】レチクル２０の洗浄は別の装置で行っても
よいが、ペリクルフレーム剥離後であっても、レチクル
２０はアーム３０，３１により保持されているので、こ
の装置内に設けられた第２の薬液槽において洗浄（例え
ばブラシ洗浄をも含む）を行うのが好ましい。

【００４１】このとき、もはやペリクルが付いていない
ので、溶解性の強い薬液であってもレチクルが汚染され
ることはない。ペリクルフレーム剥離後の洗浄に使う薬
液としてはアセトンやアンモニア等でもよいし、硫酸
と、過酸化水素水を混合した液に浸ける（通常、これを
酸洗浄と呼ぶ）のもよい。更にはこれらの薬液に浸ける
前にＵＶ光（紫外光）をレクチル２０に照射して、レチ
クル表面を親水性にするのもよい。

【００４２】尚、図７では剥離液５０にペリクル付レチ
クルを浸すような構成を取っているが、レチクル保持部
材の接着部分に剥離液を噴射又は噴霧する剥離液注入手
段を備えてもよく、ペリクル付レチクルの接着部分の１
箇所又は数カ所に噴射又は噴霧ノズルで剥離液を供給す
る。供給された剥離液は、毛細管現象によって全周に行
き渡り、接着力を低減させる。従って、前述の剥離手段
によって容易に剥離することができる。

【００４３】また、剥離液蒸気が充満した剥離液蒸気室
内にペリクルフレームが固着されたレチクル保持部材を
移動手段によって移動させるものでもよい。このため、
ペリクル付レチクルの接着部分に凝結した剥離液が同様
に全周に行き渡り、接着力を低減させる。従って、前述
の剥離手段によって容易に剥離することができる。

【００４４】

【発明の効果】本発明は以上説明したとおり、レチクル
とペリクルフレームとの間の接着剤に、該接着剤の接着
力を低減させ且つペリクル膜に対して安定な剥離液を供
給する剥離液供給手段と、前記レチクルからペリクルフ
レームを引張り剥離する剥離手段とを備えたものである
ため、レチクルを汚染したり、傷付けたりせずに、容易
にレチクルからペリクルフレームを剥すことができる。

【００４５】また、具体的な剥離手段としては、レチク
ルに固着されたペリクルフレームの一辺又は一点を支点
とした引張り力を懸けながら引張り剥離するものや、特
に、前記レチクルに固着されたペリクルフレームの一辺
又は一点を支点とした引張り力と、前記一辺又は一点以
外の他辺又は他点を支点とした別の引張り力とを連続し
て懸けながら引張り剥離するものでは、機械によって容
易にレチクルからペリクルフレームを剥すことができ、
剥離作業を自動化することも可能である。

【００４６】更に、具体的な剥離液供給手段としては、
剥離液を貯留した剥離液槽と、該剥離液槽中にペリクル
フレームが固着されたレチクルを移動させる移動手段と
を備えたものでは、移動手段によって、ペリクル付レチ
クルを剥離液槽内に浸漬する。剥離液は接着剤の接着力
を低減させ且つ前記ペリクル膜に対して安定なものであ
るため、ペリクル膜面を溶解せず、ペリクルフレームと
レチクルとの間の接着剤部分に浸透して、接着力を低減
させる。従って、前述の剥離手段によって容易に剥離す
ることができる。

【００４７】また、ペリクルフレームが固着されたレチ
クルの接着部分に剥離液を噴射又は噴霧する剥離液注入
手段を備えたものでは、ペリクル付レチクルの接着部分
の１箇所又は数カ所に噴射又は噴霧ノズルで剥離液を供
給する。供給された剥離液は、毛細管現象によって全周
に行き渡り、接着力を低減させる。従って、前述の剥離
手段によって容易に剥離することができる。

【００４８】更に、剥離液蒸気が充満した剥離液蒸気室
内と該剥離液蒸気室内にペリクルフレームが固着された
レチクルを移動させる移動手段とを備えたものでは、ペ
リクル付レチクルの接着部分に凝結した剥離液が同様に
全周に行き渡り、接着力を低減させる。従って、前述の
剥離手段によって容易に剥離することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の剥離装置の一実施例に使用するペリク
ル付レチクルの斜視図である。

【図２】本発明の剥離装置の別の実施例に使用するペリ
クル付レチクルの斜視図である。

【図３】剥離手段を構成するレチクル保持部材を保持す
るレチクル保持アームの斜視図であり、

【図４】レチクル保持アームがレチクル保持部材を保持
した場合の断面図である。

【図５】剥離手段を構成するフレーム保持アームの斜視
図である。

【図６】ペリクル付レチクルを保持したときの断面図で
ある。

【図７】本発明のペリクル剥離装置の一実施例の構成を
示す斜視図である。

【図８】所謂「ペリクル付レチクル」の構成を示す斜視
図である。

【図９】従来の剥離治具の構成を示す斜視図である。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】レチクル又はマスクに、前記レチクルを
覆うペリクル膜を保持したペリクルフレームが接着剤を
介して固着されたものからペリクルフレームを剥離する
装置であって、前記レチクルとペリクルフレームとの間の接着剤に、該
接着剤の接着力を低減させ且つ前記ペリクル膜に対して
安定な剥離液を供給する剥離液供給手段と、前記レチクルからペリクルフレームを引張り剥離する剥
離手段とを備えたことを特徴とするペリクル剥離装置。
【請求項２】前記請求項１に記載のペリクル剥離装置
において、前記剥離手段が、前記レチクルに固着されたペリクルフ
レームの一辺又は一点を支点とした引張り力を懸けなが
ら引張り剥離するものであることを特徴とするペリクル
剥離装置。
【請求項３】前記請求項１又は２に記載のペリクル剥
離装置において、前記剥離手段が、前記レチクルに固着されたペリクルフ
レームの一辺又は一点を支点とした引張り力と、前記一
辺又は一点以外の他辺又は他点を支点とした別の引張り
力とを連続して懸けながら引張り剥離するものであるこ
とを特徴とするペリクル剥離装置。
【請求項４】前記請求項１〜３の何れかに記載のペリ
クル剥離装置において、前記剥離液供給手段が、剥離液を貯留した剥離液槽と、
該剥離液槽中に前記ペリクルフレームが固着されたレチ
クルを移動させる移動手段とを備えたことを特徴とする
ペリクル剥離装置。
【請求項５】前記請求項１〜３の何れかに記載のペリ
クル剥離装置において、前記剥離液供給手段が、前記ペリクルフレームが固着さ
れたレチクルの接着部分に、剥離液を噴射又は噴霧する
剥離液注入手段を備えたことを特徴とするペリクル剥離
装置。
【請求項６】前記請求項１〜３の何れかに記載のペリ
クル剥離装置において、前記剥離液供給手段が、剥離液蒸気が充満した剥離液蒸
気室内と、該剥離液蒸気室内に、前記ペリクルフレーム
が固着されたレチクルを移動させる移動手段とを備えた
ことを特徴とするペリクル剥離装置。