JPH06154715A - 洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】予洗槽での被洗浄物の洗浄力を高くし、十分に
予洗された被洗浄物を洗浄部に送って効率の良い洗浄を
行なう。 【構成】予洗槽２０に、この予洗槽内の洗浄水に超音波
振動を与える超音波振動子２１と、前記洗浄水中に気体
を噴出する給気手段２２とを設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶セルもしくはその
基板等の洗浄に用いられる洗浄装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】例えば液晶表示素子に用いられる液晶セ
ルは、表示用の透明電極および配向膜等を形成した一対
の透明基板を液晶封入領域を囲む枠状のシール材を介し
て接着しセル本体を組立て、このセル本体内（両基板間
の間隙）に前記シール材の一部にあらかじめ形成してお
いた液晶注入口から真空注入法によって液晶を充填した
後、前記液晶注入口を封止して製造されており、製造さ
れた液晶セルは、これを洗浄した後に液晶表示素子の組
立てライン（液晶セルの両面に偏光板を接着するライ
ン）に送られている。

【０００３】また、上記液晶セルの一対の基板は、ガラ
ス板等からなっており、この基板上に設けられる透明電
極や配向膜等は、その形成前にその基板を洗浄してから
形成され、また透明電極および配向膜等を形成した基板
は、これを洗浄した後にセル本体の組立てラインに送ら
れている。上記液晶セルやその基板等の洗浄は、ディッ
プ式の洗浄装置によって行なわれている。

【０００４】図２は液晶セルやその基板等の洗浄に用い
られている従来の洗浄装置の側面図であり、この洗浄装
置は、洗浄部１０と、この洗浄部１０の手前に設けられ
た予洗槽２０とからなっている。

【０００５】上記洗浄部１０は、洗浄槽１１、第１すす
ぎ槽１２、第２すすぎ槽１３、揮発溶剤槽１４および乾
燥槽１５からなっており、これら各槽１１〜１５は順に
並べて配置されている。

【０００６】上記洗浄槽１１には、純水に洗剤を溶解さ
せた洗剤溶液が満たされている。また、第１および第２
のすすぎ槽１２，１３にはそれぞれ純水が満たされてお
り、第１すすぎ槽１２内の純水は図示しないヒータによ
って加熱されて数十℃の温水とされている。なお、第２
すすぎ槽１３内の純水の温度は室温である。

【０００７】また、上記揮発溶剤槽１４には、ＩＰＡ
（イソ・プロピル・アルコール）等の水溶性揮発溶剤が
満たされており、乾燥槽１５には槽内に温風を送風する
送風機（図示せず）が設けられている。

【０００８】一方、上記予洗槽２０には予洗洗浄水（純
水）が満たされており、この予洗槽２０の後端部（洗浄
部１０側の端部）の底部には、予洗槽２０内の洗浄水に
超音波振動を与える超音波振動子２１が設けられてい
る。

【０００９】また、図２において、３０は予洗槽２０お
よび洗浄部１０の上方に設けられた被洗浄物搬送機構で
あり、この搬送機構３０は、被洗浄物を予洗槽２０およ
び洗浄部１０の各槽１１〜１５に順次搬送する。

【００１０】この洗浄装置による被洗浄物の洗浄を、液
晶セルの洗浄を例にとって説明すると、被洗浄物である
液晶セル１は、複数枚ずつキャリヤラック２に保持され
てセルカセットＡとされ、カセット搬送機構３０によっ
て予洗槽２０の上に搬送されてくる。

【００１１】なお、上記キャリヤラック２は、周側面お
よび上下面が開放する枠体からなっており、各液晶セル
１は、垂直に立てた状態で互いに間隔をおいて前後に並
べられ、その下縁部および両側縁部をキャリヤラック２
に保持されている。

【００１２】そして、予洗槽２０の上に搬送されてきた
セルカセットＡは、予洗槽２０内の前端部に下げ降ろさ
れて洗浄水中に浸漬され、その後、予洗槽２０内を水平
に間欠搬送されながら、その間に各液晶セル１が予洗さ
れる。

【００１３】なお、この予洗槽２０は、液晶セル１の予
洗時間を十分にとるために、洗浄部１０の各槽１１〜１
５の槽長（セルカセット搬送方向の長さ）に比べて数倍
（図では約３倍）の槽長をもつ大型槽とされており、こ
の予洗槽２０内でのセルカセットＡの水平搬送は、洗浄
部１０の各槽１１〜１５にセルカセットＡを順次搬送す
るタイミングで行なわれる。

【００１４】また、予洗槽２０内をその後端部まで水平
搬送されてきたセルカセットＡは、予洗槽２０から引上
げられて洗浄部１０に送られ、まず洗浄槽１１に浸漬さ
れて洗剤溶液により各液晶セル１が本洗浄される。

【００１５】次に、セルカセットＡは、第１および第２
のすすぎ槽１２，１３に順次浸漬され、各液晶セル１を
温水と純水によってすすぎ洗いされた後、揮発溶剤槽１
４に浸漬される。この揮発溶剤槽１４にセルカセットＡ
を浸漬すると、各液晶セル１に付着しているすすぎ水を
水溶性揮発溶剤中に溶解する。

【００１６】次に、セルカセットＡは、乾燥槽１５内に
送られて各液晶セル１を温風乾燥され、この後、乾燥槽
１５から引上げられて、液晶表示素子の組立てラインに
送られる。

【００１７】なお、ここでは液晶セル１の洗浄について
説明したが、上記洗浄装置は、液晶セルに用いる基板等
の洗浄にも利用されており、この基板等の洗浄も上記と
同様にして行なわれている。

【００１８】すなわち、上記洗浄装置は、被洗浄物を予
洗槽２０において予洗した後に、この被洗浄物を洗浄部
１０に搬送して本洗浄および乾燥を行なうものであり、
このように被洗浄物を予洗してから本洗浄すれば、被洗
浄物を効果的に洗浄することができる。

【００１９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の洗浄装置は、予洗槽２０での被洗浄物の洗浄力が弱
く、そのため、被洗浄物が十分に予洗されないまま洗浄
部１０に送られてしまうという問題をもっていた。

【００２０】すなわち、従来の洗浄装置では、予洗槽２
０に槽内の洗浄水に超音波振動を与える超音波振動子２
１を設けてはいるが、予洗槽２０は上述したように槽長
の長い大型槽とされているため、超音波振動子２１から
遠い箇所では洗浄水がほとんど振動せず、したがって被
洗浄物は、単に水中に漬かっている状態で予洗槽２０を
移動し、超音波振動子２１の付近にきたときのみ超音波
洗浄によって表面の汚れが除去されるだけである。

【００２１】そして、従来の洗浄装置では、被洗浄物が
十分に予洗されないまま予洗槽２０から洗浄部１０に送
られてしまうため、被洗浄物を十分に洗浄するには、洗
浄部１０の洗浄槽１１での洗浄時間を長くとらなければ
ならず、したがって洗浄効率が悪くなる。

【００２２】本発明は、予洗槽での被洗浄物の洗浄力を
高くし、十分に予洗された被洗浄物を洗浄部に送って効
率の良い洗浄を行なうことができる洗浄装置を提供する
ことを目的としたものである。

【００２３】

【課題を解決するための手段】本発明は、洗浄槽を備え
た洗浄部の手前に予洗槽を設けてなり、被洗浄物を前記
予洗槽において予洗した後、この被洗浄物を前記洗浄部
の洗浄槽に搬入して本洗浄する洗浄装置において、前記
予洗槽に、この予洗槽内の洗浄水に超音波振動を与える
超音波振動子と、前記洗浄水中に気体を噴出する給気手
段とを設けたことを特徴とするものである。

【００２４】

【作用】すなわち、本発明は、予洗槽内の洗浄水に超音
波振動を与えるだけでなく、この洗浄水中に気体を噴出
して洗浄水を泡立てやるようにしたものであり、このよ
うにすれば、被洗浄物が超音波振動子の付近にきたとき
に超音波洗浄によって表面の汚れを除去されるととも
に、洗浄水が泡立てられている箇所にきたときに、気泡
の衝突による衝撃を受けて表面の汚れを除去される。

【００２５】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図１を参照して説
明する。なお、図１において、図２に示した従来の洗浄
装置に対応するものには同符号を付し、重複する説明は
省略する。

【００２６】この実施例の洗浄装置は、洗浄部１０の手
前に設けられる予洗槽２０に、この予洗槽内の洗浄水に
超音波振動を与える超音波振動子２１と、前記洗浄水中
に気体を噴出する給気手段２２とを設けたものであり、
この実施例では、予洗槽２０の槽長を洗浄部１０の各槽
１１〜１５（ただし、図１では乾燥槽１５は省略してい
る）の槽長の約４倍とし、予洗槽２０の後端部の底部に
超音波振動子２１を配置し、給気手段２２を予洗槽２０
の前端側に設けている。

【００２７】上記給気手段２２は、エアーポンプ２３
と、このエアーポンプ２３から供給される空気を予洗槽
２０内に噴出するエアーノズル２４と、予洗槽２０内へ
の空気噴出および噴出量を制御するバルブ２５とからな
っており、前記エアーノズル２４は、予洗槽２０内を水
平に間欠搬送される被洗浄物の停止位置に対向させて、
予洗槽２０の底部に設けられている。

【００２８】上記予洗槽２０における被洗浄物の予洗
を、液晶セル１の洗浄を例にとって説明すると、被洗浄
物である液晶セル１は、従来の洗浄装置と同様に複数枚
ずつキャリヤラック２に保持されてセルカセットＡとさ
れ、カセット搬送機構３０によって予洗槽２０の上に搬
送されてくる。

【００２９】そして、予洗槽２０の上に搬送されてきた
セルカセットＡは、予洗槽２０内の前端部に下げ降ろさ
れて洗浄水中に浸漬され、その後、予洗槽２０内を水平
に搬送されて、まずエアーノズル２４の上方で停止す
る。

【００３０】一方、給気手段２２は、エアーノズル２４
の上方にセルカセットＡが停止している時間中バルブ２
５を開き、予洗槽２０の洗浄水中にエアーノズル２４か
ら気体を噴出する。このように洗浄水中に気体を噴出す
ると、洗浄水が泡立てられてその気泡ａがセルカセット
Ａの各液晶セル１の表面に衝突し、その衝撃により各液
晶セル１の表面の汚れが除去される。

【００３１】また、この泡立て洗浄により各液晶セル１
を洗浄されたセルカセットＡは、予洗槽２０内をさらに
間欠搬送され、予洗槽２０の後端部で停止したとき、つ
まり超音波振動子２１の付近にきたときに超音波洗浄に
よってセル表面の汚れが除去される。なお、予洗槽２０
内をそ後端部まで搬送されたセルカセットＡは、従来の
洗浄装置と同様に洗浄部１０の洗浄槽１１に搬入されて
本洗浄される。

【００３２】すなわち、上記洗浄装置は、予洗槽２０に
超音波振動子２１と給気手段２２とを設けることによ
り、予洗槽内の洗浄水に超音波振動を与えるだけでな
く、この洗浄水中に気体を噴出して洗浄水を泡立てやる
ようにしたものであり、このようにすれば、被洗浄物が
超音波振動子２１の付近にきたときに超音波洗浄によっ
て表面の汚れを除去されるとともに、洗浄水が泡立てら
れている箇所にきたときに、気泡ａの衝突による衝撃を
受けて表面の汚れが除去される。

【００３３】このため、この洗浄装置によれば、予洗槽
２０での被洗浄物の洗浄力を高くし、十分に予洗された
被洗浄物を洗浄部１０に送って効率の良い洗浄を行なう
ことができる。

【００３４】なお、上記実施例では、予洗槽２０の後端
部に超音波振動子２１を配置し、予洗槽２０の前端側に
給気手段２２を設けているが、これらの配置位置は任意
でよい。また、本発明の洗浄装置は液晶セル１に限ら
ず、例えば液晶セルに用いる基板等の洗浄等にも利用す
ることができる。

【００３５】

【発明の効果】本発明の洗浄装置は、予洗槽に、この予
洗槽内の洗浄水に超音波振動を与える超音波振動子と、
前記洗浄水中に気体を噴出する給気手段とを設けたもの
であるから、予洗槽での被洗浄物の洗浄力を高くし、十
分に予洗された被洗浄物を洗浄部に送って効率の良い洗
浄を行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例による洗浄装置の側面図。

【図２】従来の洗浄装置の側面図。

【符号の説明】

１…液晶セル（被洗浄物） ２…キャリヤラック Ａ…セルカセット １０…洗浄部 １１…洗浄槽 １２，１３…すすぎ槽 ２０…予洗層 ２１…超音波振動子 ２２…給気手段 ２３…エアーポンプ ２４…エアーノズル ２５…バルブ ａ…気泡 ３０…搬送機構

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】洗浄槽を備えた洗浄部の手前に予洗槽を設
   けてなり、被洗浄物を前記予洗槽において予洗した後、
   この被洗浄物を前記洗浄部の洗浄槽に搬入して本洗浄す
   る洗浄装置において、前記予洗槽に、この予洗槽内の洗
   浄水に超音波振動を与える超音波振動子と、前記洗浄水
   中に気体を噴出する給気手段とを設けたことを特徴とす
   る洗浄装置。