JPH06114738A - 精密研削用砥石及びその製造方法 - Google Patents
精密研削用砥石及びその製造方法Info
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- JPH06114738A JPH06114738A JP27157392A JP27157392A JPH06114738A JP H06114738 A JPH06114738 A JP H06114738A JP 27157392 A JP27157392 A JP 27157392A JP 27157392 A JP27157392 A JP 27157392A JP H06114738 A JPH06114738 A JP H06114738A
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Landscapes
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ダイヤモンド及びＣＢＮを砥粒とする砥石を
用いて精密研削を行なう際、砥石のツルーイング・ドレ
ッシングが困難で高精度化に限界が生じてしまう点を一
挙に解決し得る精密研削用砥石を提供する。 【構成】 砥石ベース１の円盤１ｂの表面にＣＶＤ法に
よりダイヤモンド膜を形成することにより凹凸を有する
ダイヤモンド膜を形成したものである。
用いて精密研削を行なう際、砥石のツルーイング・ドレ
ッシングが困難で高精度化に限界が生じてしまう点を一
挙に解決し得る精密研削用砥石を提供する。 【構成】 砥石ベース１の円盤１ｂの表面にＣＶＤ法に
よりダイヤモンド膜を形成することにより凹凸を有する
ダイヤモンド膜を形成したものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は精密研削用砥石に関し、
特にダイヤモンド砥石及びＣＢＮ（立方晶窒化ホウ素）
砥石に適用して有用なものである。
特にダイヤモンド砥石及びＣＢＮ（立方晶窒化ホウ素）
砥石に適用して有用なものである。
【０００２】
【従来の技術】研削の精密化を図るには研削盤自体の精
度を高めることは勿論、工具となる砥石を精密にツルー
イング・ドレッシングする必要がある。このツルーイン
グ・ドレッシングとは砥石の振れどり等の形修正及び目
立てのことである。
度を高めることは勿論、工具となる砥石を精密にツルー
イング・ドレッシングする必要がある。このツルーイン
グ・ドレッシングとは砥石の振れどり等の形修正及び目
立てのことである。
【０００３】この種の精密研削用の工具としては、砥粒
をダイヤモンド及びＣＢＮで形成した超砥粒砥石が主に
用いられる。また、この種の工具のツルーイング・ドレ
ッシングでは、従来、ダイヤモンド粒を外表面に付けた
工具（以下ドレッサと称す）で砥石を研削する方法を採
っている。
をダイヤモンド及びＣＢＮで形成した超砥粒砥石が主に
用いられる。また、この種の工具のツルーイング・ドレ
ッシングでは、従来、ダイヤモンド粒を外表面に付けた
工具（以下ドレッサと称す）で砥石を研削する方法を採
っている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述の如き従来技術に
係るツルーイング・ドレッシングでは、ダイヤモンド及
びこれに近い硬度をもつＣＢＮの砥粒を、ドレッサのダ
イヤモンド粒で研削するので、ドレッサのダイヤモンド
粒の摩耗が激しく、すなわち形崩れが激しく、精度の高
いツルーイング・ドレッシングは難かしい。このよう
に、ダイヤモンド及びＣＢＮを砥粒とする超砥粒砥石の
ツルーイング・ドレッシングの困難さが研削の精密化を
図るうえでの大きな障害になっている。
係るツルーイング・ドレッシングでは、ダイヤモンド及
びこれに近い硬度をもつＣＢＮの砥粒を、ドレッサのダ
イヤモンド粒で研削するので、ドレッサのダイヤモンド
粒の摩耗が激しく、すなわち形崩れが激しく、精度の高
いツルーイング・ドレッシングは難かしい。このよう
に、ダイヤモンド及びＣＢＮを砥粒とする超砥粒砥石の
ツルーイング・ドレッシングの困難さが研削の精密化を
図るうえでの大きな障害になっている。
【０００５】本発明は、上記従来技術に鑑み、ダイヤモ
ンド及びＣＢＮを砥粒とする砥石を用いて精密研削を行
なう際、砥石のツルーイング・ドレッシングが困難で高
精度化に限界が生じてしまう点を一挙に解決し得る精密
研削用砥石を提供することを目的とする。
ンド及びＣＢＮを砥粒とする砥石を用いて精密研削を行
なう際、砥石のツルーイング・ドレッシングが困難で高
精度化に限界が生じてしまう点を一挙に解決し得る精密
研削用砥石を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の構成は、ダイヤモンド膜もしくは立方晶窒化
ホウ素膜を砥石ベース上に形成するとともにこのダイヤ
モンド膜もしくは立方晶窒化ホウ素膜の表面が凹凸を有
することを特徴とする。
の本発明の構成は、ダイヤモンド膜もしくは立方晶窒化
ホウ素膜を砥石ベース上に形成するとともにこのダイヤ
モンド膜もしくは立方晶窒化ホウ素膜の表面が凹凸を有
することを特徴とする。
【０００７】
【作用】上記構成の本発明によれば、ダイヤモンド膜も
しくは立方晶窒化ホウ素膜に凹凸を設けたものであるた
め、高さが均一な凸部を形成することができ、この凸部
が切刃となる。
しくは立方晶窒化ホウ素膜に凹凸を設けたものであるた
め、高さが均一な凸部を形成することができ、この凸部
が切刃となる。
【０００８】
【実施例】以下本発明の実施例を図面に基づき詳細に説
明する。
明する。
【０００９】図１は本発明の実施例に係る精密研削用砥
石の製作時の態様を示す説明図である。同図に示すよう
に、砥石ベース１は、砥石ベース部材となるステンレス
鋼製の円盤１ａの一端面に表面を所要の高精度に仕上げ
た薄板であるＳｉ製の円盤１ｂを貼り付けた構造として
チャンバ２内に収納してあり、その他端面が砥石台３の
砥石軸３ａに固着してある。
石の製作時の態様を示す説明図である。同図に示すよう
に、砥石ベース１は、砥石ベース部材となるステンレス
鋼製の円盤１ａの一端面に表面を所要の高精度に仕上げ
た薄板であるＳｉ製の円盤１ｂを貼り付けた構造として
チャンバ２内に収納してあり、その他端面が砥石台３の
砥石軸３ａに固着してある。
【００１０】チャンバ２は、砥石ベース１の円盤１ｂの
表面にダイヤモンド膜をＣＶＤ法（化学的蒸着法）によ
り形成するためのものである。チャンバ２内には砥石加
熱用ヒータ４及びヒータ５とともに、ガス供給口６及び
ガス排気口７が設けてあり、このチャンバ２内で砥石加
熱用ヒータ４により砥石ベース１を加熱して円盤１ｂの
表面にダイヤモンド膜を形成する。
表面にダイヤモンド膜をＣＶＤ法（化学的蒸着法）によ
り形成するためのものである。チャンバ２内には砥石加
熱用ヒータ４及びヒータ５とともに、ガス供給口６及び
ガス排気口７が設けてあり、このチャンバ２内で砥石加
熱用ヒータ４により砥石ベース１を加熱して円盤１ｂの
表面にダイヤモンド膜を形成する。
【００１１】このとき、ダイヤモンドの凹凸な膜を形成
する条件は、炭化水素（ＣｎＨｍ）２％にＨ2 が９８％
の混合ガスを圧力１００Torrでチャンバ２内に供給し、
ヒータ５に１０Ｖの交流を印加する。この結果、砥石ベ
ース１は７００℃に加熱される。約１時間の処理で１μ
ｍ程度の厚さの多数の凹凸を有するダイヤモンド膜を形
成し得る。ちなみに、ダイヤモンドはコーティングする
と平滑な膜でなく、多数の凹凸を有する膜となる。
する条件は、炭化水素（ＣｎＨｍ）２％にＨ2 が９８％
の混合ガスを圧力１００Torrでチャンバ２内に供給し、
ヒータ５に１０Ｖの交流を印加する。この結果、砥石ベ
ース１は７００℃に加熱される。約１時間の処理で１μ
ｍ程度の厚さの多数の凹凸を有するダイヤモンド膜を形
成し得る。ちなみに、ダイヤモンドはコーティングする
と平滑な膜でなく、多数の凹凸を有する膜となる。
【００１２】上記条件において、砥石ベース１の加工温
度を３００℃にすれば凹凸を有するダイヤモンド状炭素
膜を作ることができ、この場合はダイヤモンド膜に較べ
砥石としての耐摩耗性は若干劣るが本発明の実施例とし
て含めることができる。
度を３００℃にすれば凹凸を有するダイヤモンド状炭素
膜を作ることができ、この場合はダイヤモンド膜に較べ
砥石としての耐摩耗性は若干劣るが本発明の実施例とし
て含めることができる。
【００１３】上記製造方法により得られる精密研削用砥
石は、砥石ベース１の円盤１ｂの表面に凹凸を有するダ
イヤモンド膜を有するものとなる。この精密研削用砥石
によりガラス（材質ＢＫ７）を５nmの面粗さに仕上げる
ことができる。
石は、砥石ベース１の円盤１ｂの表面に凹凸を有するダ
イヤモンド膜を有するものとなる。この精密研削用砥石
によりガラス（材質ＢＫ７）を５nmの面粗さに仕上げる
ことができる。
【００１４】上記精密研削用砥石は、図１に示すよう
に、チャンバ２に隣接して配設した工作物８を研削す
る。すなわち、工作物８は工作物主軸台９のチャック１
０に把持されて工作物案内面１１上を図中左右方向に移
動可能に形成してあり、砥石案内面１２上を図中上下方
向に移動可能に形成するとともに砥石ベース１を回転す
る砥石台３の移動により図２に示す状態で研削される。
に、チャンバ２に隣接して配設した工作物８を研削す
る。すなわち、工作物８は工作物主軸台９のチャック１
０に把持されて工作物案内面１１上を図中左右方向に移
動可能に形成してあり、砥石案内面１２上を図中上下方
向に移動可能に形成するとともに砥石ベース１を回転す
る砥石台３の移動により図２に示す状態で研削される。
【００１５】砥石ベース１の蒸着面となる円盤１ｂの表
面は、図３に示すように、工具案内面１１上に固着した
工具ホルダ１３に固着するダイヤモンドチップ１４によ
り予め加工しても良い。かかるダイヤモンドチップ１４
によりコーティング前に円盤１ｂの表面を切削（セルフ
カット）して高精度に仕上げることができる。
面は、図３に示すように、工具案内面１１上に固着した
工具ホルダ１３に固着するダイヤモンドチップ１４によ
り予め加工しても良い。かかるダイヤモンドチップ１４
によりコーティング前に円盤１ｂの表面を切削（セルフ
カット）して高精度に仕上げることができる。
【００１６】図４は、前記実施例の円盤１ｂに代えて、
他のコーティング装置により前述と同一の条件で予めダ
イヤモンド膜を形成した超硬性の円盤１５ｂを用いた他
の実施例である。本実施例では砥石ベース部材であるス
テンレス製の円盤１５ａに円盤１５ｂを空気圧により吸
着させて砥石ベース１５を形成したものである。このと
き円盤１５ａは真空チャックになっている。
他のコーティング装置により前述と同一の条件で予めダ
イヤモンド膜を形成した超硬性の円盤１５ｂを用いた他
の実施例である。本実施例では砥石ベース部材であるス
テンレス製の円盤１５ａに円盤１５ｂを空気圧により吸
着させて砥石ベース１５を形成したものである。このと
き円盤１５ａは真空チャックになっている。
【００１７】かかる本実施例によれば、研削盤上でのコ
ーティングが不要になるため、前記実施例の場合のよう
なコーティング時の加熱が不要になる。ダイヤモンド膜
を予め形成した円盤１５ｂは厚さが０．５mm以下であれ
ば、真空チッャクである円盤１５ａに全面を隙間なく吸
着させることができる。
ーティングが不要になるため、前記実施例の場合のよう
なコーティング時の加熱が不要になる。ダイヤモンド膜
を予め形成した円盤１５ｂは厚さが０．５mm以下であれ
ば、真空チッャクである円盤１５ａに全面を隙間なく吸
着させることができる。
【００１８】ダイヤモンド膜もしくはＣＢＮ膜を凹凸に
形成するのは前述の如く自然に凹凸が形成されるのを利
用する他、平滑なコーティング膜を後で凹凸に形成する
場合もある。例えばＣＢＮ膜についてはＰＶＤ法（物理
的蒸着法）で平滑な膜のできることが公知であるが、こ
の膜を例えばＡｒエッチングすることにより凹凸を形成
し得る。
形成するのは前述の如く自然に凹凸が形成されるのを利
用する他、平滑なコーティング膜を後で凹凸に形成する
場合もある。例えばＣＢＮ膜についてはＰＶＤ法（物理
的蒸着法）で平滑な膜のできることが公知であるが、こ
の膜を例えばＡｒエッチングすることにより凹凸を形成
し得る。
【００１９】上述の如き実施例に係る精密研削用砥石は
ダイヤモンド膜もしくはＣＢＮ膜の凹凸により高さがほ
ぼ均一な切刃（砥粒に相当する）を有しているので所定
の高精度な加工を実現し得る。
ダイヤモンド膜もしくはＣＢＮ膜の凹凸により高さがほ
ぼ均一な切刃（砥粒に相当する）を有しているので所定
の高精度な加工を実現し得る。
【００２０】
【発明の効果】以上実施例とともに具体的に説明したよ
うに、本発明によれば、ツルーイング・ドレッシングを
行なう必要がなく、ダイヤモンド砥石もしくはＣＢＮ砥
石を用いた研削において砥石の精度不良に起因した研削
精度の向上を図ることができる。
うに、本発明によれば、ツルーイング・ドレッシングを
行なう必要がなく、ダイヤモンド砥石もしくはＣＢＮ砥
石を用いた研削において砥石の精度不良に起因した研削
精度の向上を図ることができる。
【図１】本発明の実施例を示す説明図である。
【図２】前記実施例における工具研削時の態様を示す説
明図である。
明図である。
【図３】前記実施例において円盤を加工する場合の説明
図である。
図である。
【図４】本発明の他の実施例を示す説明図である。
１，１５ 砥石ベース １ａ，１５ａ 円盤 １ｂ，１５ｂ 円盤
フロントページの続き (72)発明者 津野 武志 神奈川県横浜市金沢区幸浦一丁目８番地１ 三菱重工業株式会社基盤技術研究所内
Claims (4)
- 【請求項１】 ダイヤモンド膜もしくは立方晶窒化ホウ
素膜を砥石ベース上に形成するとともにこのダイヤモン
ド膜もしくは立方晶窒化ホウ素膜の表面が凹凸を有する
ことを特徴とする精密研削用砥石。 - 【請求項２】 表面に凹凸を有するダイヤモンド膜もし
くは立方晶窒化ホウ素膜を形成した薄板を砥石ベース部
材に吸着もしくは貼着したことを特徴とする精密研削用
砥石。 - 【請求項３】 前記ダイヤモンド膜もしくは立方晶窒化
ホウ素膜を化学的蒸着法で形成することを特徴とする精
密研削用砥石の製造方法。 - 【請求項４】 前記ダイヤモンド膜もしくは立方晶窒化
ホウ素膜を物理的蒸着法で形成するとともに、その後膜
の表面にエッチング等により凹凸を形成したことを特徴
とする精密研削用砥石の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27157392A JPH06114738A (ja) | 1992-10-09 | 1992-10-09 | 精密研削用砥石及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27157392A JPH06114738A (ja) | 1992-10-09 | 1992-10-09 | 精密研削用砥石及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06114738A true JPH06114738A (ja) | 1994-04-26 |
Family
ID=17501966
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27157392A Pending JPH06114738A (ja) | 1992-10-09 | 1992-10-09 | 精密研削用砥石及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06114738A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109648478A (zh) * | 2019-01-30 | 2019-04-19 | 华侨大学 | 一种在线监测砂轮磨钝状态的方法及其装置 |
-
1992
- 1992-10-09 JP JP27157392A patent/JPH06114738A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109648478A (zh) * | 2019-01-30 | 2019-04-19 | 华侨大学 | 一种在线监测砂轮磨钝状态的方法及其装置 |
| CN109648478B (zh) * | 2019-01-30 | 2024-02-23 | 华侨大学 | 一种在线监测砂轮磨钝状态的方法及其装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19990831 |