JPH0558911U - 流体圧アクチュエータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 空気圧シリンダにおいて、マグネットの摩耗
をなくし、磁性粉の発生を防止し、クリーンルームの清
浄化を図る。 【構成】 空気圧シリンダにおいて、成形、コーティン
グ、着磁の順で製造されたマグネット９を使用し、この
マグネット９をピストン５ａ，５ｂ間の外周溝１０に接
着により固定し、このマグネット９の外周面とシリンダ
チューブ１の内周面との間に一定のクリアランスを形成
した構造とした。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、流体圧アクチュエータに関し、特に、たとえばピストンなどの駆動 体に設けられる磁気感応形の位置センサ用のマグネットに適用して有効な技術に 関する。

【０００２】

【従来の技術】

この種の空気圧シリンダでは、ストローク端部に相当するシリンダチューブの 外周面に、磁気感応形の位置センサを配置し、シリンダチューブ内を空気圧によ り往復移動するピストンの外周溝に、前記位置センサを磁気的に感応させるマグ ネットを設けた構造となっている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかし、前記した従来の空気圧シリンダの構造では、マグネットの外周面とシ リンダチューブの内周面とのクリアランスが小さい構造となっているので、マグ ネットがシリンダチューブの内周面に当たって摩耗し、磁性粉が発生し、クリー ンルーム内に飛散するという問題があった。

【０００４】 また、ピストンの外周溝にマグネットが遊嵌状態で設けられる構造となってい るので、マグネットにガタが発生し、マグネットの摩耗により、磁性粉が発生し 、クリーンルーム内に飛散するという問題があった。

【０００５】 本考案の目的は、マグネットの摩耗をなくし、磁性粉の発生を防止し、クリー ンルームの清浄化を図ることのできる流体圧アクチュエータを提供することにあ る。

【０００６】 本考案の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添 付図面から明らかになるであろう。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

本願において開示される考案のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば 、以下のとおりである。

【０００８】 本考案の流体圧アクチュエータは、アクチュエータ本体内を流体圧により往復 動する駆動体に設けられるマグネットと、ストローク端部相当位置のアクチュエ ータ本体の外周面に配置され、前記マグネットからの磁気に感応して駆動体の位 置を検出する磁気感応形の位置センサとを備え、前記駆動体にマグネットを接着 により固定し、このマグネットの外周面とアクチュエータ本体の内周面との間に 一定のクリアランスを形成した構造としたものである。

【０００９】 この場合、前記マグネットとして、成形、コーティング、着磁の順で製造され たマグネットを使用した構造とすることができる。

【００１０】

【作用】

本考案の流体圧アクチュエータによれば、駆動体にマグネットを接着により固 定し、このマグネットの外周面とアクチュエータ本体の内周面との間に一定のク リアランスを形成した構造としたので、マグネットの当たりやガタをなくすこと ができる。

【００１１】 したがって、マグネットの摩耗をなくし、磁性粉の発生を防止し、クリーンル ームの清浄化を図ることができる。

【００１２】 この場合、前記マグネットとして、成形、コーティング、着磁の順で製造され たマグネットを使用した構造としたので、コーティングの際、表面に磁性粉が吸 着せず、このため磁性粉の発生をより一層防止し、クリーンルームの清浄化をよ り一層図ることができる。

【００１３】

【実施例】

図１は本考案の実施例である流体圧アクチュエータを示す断面図、図２は図１ の流体圧アクチュエータの要部を示す断面図である。

【００１４】 本実施例における流体圧アクチュエータは空気圧シリンダに適用したものであ る。この空気圧シリンダでは、シリンダチューブ１と、ヘッドカバー２と、ロッ ドカバー３とで内部にシリンダ室４が形成され、このシリンダ室４にピストン５ が摺動自在に設けられ、このピストン（駆動体）５に固定されるピストンロッド ６はロッドカバー３を貫通し、ロッド側に延在している。

【００１５】 また、前記シリンダ室４は、ピストン５により第１および第２のシリンダ室４ ａ，４ｂに仕切られ、第１および第２のシリンダ室４ａ，４ｂはロッドカバー３ およびヘッドカバー２に形成される第１および第２の給排ポート７ａ，７ｂに連 通している。

【００１６】 シリンダチューブ１の外周面には、ストローク端部に相当する位置に磁気感応 形の位置センサ８が配置され、この位置センサ８を磁気的に感応させてスイッチ ングを行うマグネット９がピストン５に設けられている。

【００１７】 本実施例は、このマグネット９を改良した点で特徴を有する。

【００１８】 すなわち、前記ピストン５は２個のピストン５ａ，５ｂが連結されてなり、こ の両ピストン５ａ，５ｂ間の外周溝１０にマグネット９が接着により固定され、 マグネット９の外周面とシリンダチューブ１の内周面との間に一定のクリアラン スＬが形成されている。

【００１９】 また、前記マグネット９は、コーティングの際、表面に磁性粉が付着するのを 防止するために、成形、コーティング、着磁の順でクリーンな環境の下で製造し たものが使用されている。

【００２０】 なお、１１はピストンパッキン、１２はロッドパッキン、１３はブッシュであ る。

【００２１】 次に、本実施例の作用を説明する。

【００２２】 シリンダ室４ａ，４ｂ内の空気圧によりピストン５を往復移動させ、マグネッ ト９により位置センサ８を磁気的に感応させてピストン５のストローク端の位置 を検出することができるが、本実施例では、ピストン５ａ，５ｂ間の外周溝１０ にマグネット９を接着により固定し、このマグネット９の外周面とシリンダチュ ーブ１の内周面との間に一定のクリアランスＬを形成した構造としたので、マグ ネット９の当たりやガタをなくすことができる。

【００２３】 したがって、マグネット９の摩耗をなくし、磁性粉の発生を防止し、クリーン ルームの清浄化を図ることができる。

【００２４】 この場合、前記マグネット９として、成形、コーティング、着磁の順でクリー ンな環境の下で製造されたマグネット９を使用した構造としたので、コーティン グの際、表面に磁性粉が吸着せず、このため磁性粉の発生をより一層防止し、ク リーンルームの清浄化をより一層図ることができる。

【００２５】 以上、本考案者によってなされた考案を実施例に基づき具体的に説明したが、 本考案は、前記実施例に限定されるものでなく、その要旨を逸脱しない範囲で種 々変更可能であることはいうまでもない。

【００２６】 たとえば、前記実施例では、空気圧シリンダのピストンにマグネットを設ける 場合について説明したが、これに限らず、揺動形のアクチュエータのベーンにマ グネットを設ける場合に対しても適用することができる。

【００２７】 以上の説明では、主として本考案者によってなされた考案をその利用分野であ る空気圧により作動する空気圧シリンダなどの流体圧アクチュエータで説明した が、これに限らず、油圧により作動する油圧シリンダなどの流体圧アクチュエー タにも適用できる。

【００２８】

【考案の効果】

本願において開示される考案のうち、代表的なものによって得られる効果を簡 単に説明すれば、以下のとおりである。

【００２９】 (1).駆動体にマグネットを接着により固定し、このマグネットの外周面とアクチ ュエータ本体の内周面との間に一定のクリアランスを形成した構造としたので、 マグネットの当たりやガタをなくすことができる。

【００３０】 (2).前記(1) の効果により、マグネットの摩耗をなくし、磁性粉の発生を防止し 、クリーンルームの清浄化を図ることができる。

【００３１】 (3).前記(1) の場合、前記マグネットとして、成形、コーティング、着磁の順で 製造されたマグネットを使用した構造としたので、コーティングの際、表面に磁 性粉が吸着せず、このため磁性粉の発生をより一層防止し、クリーンルームの清 浄化をより一層図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例である流体圧アクチュエータを
示す断面図である。

【図２】図１の流体圧アクチュエータの要部を示す断面
図である。

【符号の説明】

１ シリンダチューブ ２ ヘッドカバー ３ ロッドカバー ４ シリンダ室 ４ａ 第１のシリンダ室 ４ｂ 第２のシリンダ室 ５ ピストン（駆動体） ５ａ ピストン ５ｂ ピストン ６ ピストンロッド ７ａ 第１の給排ポート ７ｂ 第２の給排ポート ８ 位置センサ ９ マグネット １０ 外周溝 １１ ピストンパッキン １２ ロッドパッキン １３ ブッシュ Ｌ クリアランス

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 アクチュエータ本体内を流体圧により往
   復動する駆動体に設けられるマグネットと、ストローク
   端部相当位置のアクチュエータ本体の外周面に配置さ
   れ、前記マグネットからの磁気に感応して駆動体の位置
   を検出する磁気感応形の位置センサとを備え、前記駆動
   体にマグネットを接着により固定し、このマグネットの
   外周面とアクチュエータ本体の内周面との間に一定のク
   リアランスを形成したことを特徴とする流体圧アクチュ
   エータ。
2. 【請求項２】 前記マグネットとして、成形、コーティ
   ング、着磁の順で製造されたマグネットを使用したこと
   を特徴とする請求項１記載の流体圧アクチュエータ。
3. 【請求項３】 前記マグネットとして、成形、コーティ
   ング、着磁の順でクリーンな環境の下で製造されたマグ
   ネットを使用したことを特徴とする請求項１記載の流体
   圧アクチュエータ。