JPH0557954A - 光プリンタヘツド - Google Patents
光プリンタヘツドInfo
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- JPH0557954A JPH0557954A JP21843991A JP21843991A JPH0557954A JP H0557954 A JPH0557954 A JP H0557954A JP 21843991 A JP21843991 A JP 21843991A JP 21843991 A JP21843991 A JP 21843991A JP H0557954 A JPH0557954 A JP H0557954A
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- Japan
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- data electrode
- thin film
- film transistor
- light emitting
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- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
- Dot-Matrix Printers And Others (AREA)
- Printers Or Recording Devices Using Electromagnetic And Radiation Means (AREA)
- Exposure Or Original Feeding In Electrophotography (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高速かつ鮮明な印字が可能で、コンパクト化
された光プリンタヘッドの提供を目的とする。 【構成】 基板と、この基板の所定面に一体的に配設さ
れた主走査電極が共通の一端面発光形ＥＬ素子アレイ
と、このＥＬ素子アレイ発光端面の反対側に位置して前
記基板の所定面に一体的に配設されたデータ電極駆動回
路とを具備して成り、前記データ電極駆動回路は一端面
発光形ＥＬ素子アレイを成す各ＥＬ素子のデータ電極に
直接接続する多結晶シリコン系の薄膜トランジスタを備
え、かつ少なくともこのデータ電極に直接接続する多結
晶シリコン系の薄膜トランジスタが多重ゲート構成を成
していることを特徴とする。
された光プリンタヘッドの提供を目的とする。 【構成】 基板と、この基板の所定面に一体的に配設さ
れた主走査電極が共通の一端面発光形ＥＬ素子アレイ
と、このＥＬ素子アレイ発光端面の反対側に位置して前
記基板の所定面に一体的に配設されたデータ電極駆動回
路とを具備して成り、前記データ電極駆動回路は一端面
発光形ＥＬ素子アレイを成す各ＥＬ素子のデータ電極に
直接接続する多結晶シリコン系の薄膜トランジスタを備
え、かつ少なくともこのデータ電極に直接接続する多結
晶シリコン系の薄膜トランジスタが多重ゲート構成を成
していることを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、一端面発光形ＥＬ素
子アレイを用いた光プリンタヘッドに係り、さらに詳し
くは小型で高速印字が可能な光プリンタヘッドに関す
る。
子アレイを用いた光プリンタヘッドに係り、さらに詳し
くは小型で高速印字が可能な光プリンタヘッドに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】電気的に処理された情報を、印刷の形で
伝えるプリンターとして、たとえば電子写真方式ページ
プリンターが知られている。すなわち、感光部材を帯電
した後、この帯電した感光部材に印字情報に従って光書
き込みを行い、感光部材表面に静電潜像を形成し、この
静電潜像をトナーで可視像化するプリンターが開発され
ている。
伝えるプリンターとして、たとえば電子写真方式ページ
プリンターが知られている。すなわち、感光部材を帯電
した後、この帯電した感光部材に印字情報に従って光書
き込みを行い、感光部材表面に静電潜像を形成し、この
静電潜像をトナーで可視像化するプリンターが開発され
ている。
【０００３】そして、前記帯電した感光部材に印字情報
を光書き込みする方式として、一端面発光形ＥＬ素子ア
レイを用いた光プリンタヘッドが注目されている（特開
平 2-158361 号公報）。すなわち、ＥＬ発光層が絶縁層
を介して挟持された形の一対の電極に、所要の電圧を印
加したときのＥＬ発光層の発光を、前記絶縁層との界面
で全反射させてＥＬ発光層内に閉じ込めた形で、一端面
側に導光し放射する構成のＥＬ素子を、複数個アレイ状
に配列するとともに、前記各ＥＬ素子の一対の電極（マ
トリックス状に形成されている主走査電極とデータ電
極）に、それぞれ選択的に所要の電圧を印加する方式で
ある。つまり、主走査電極にＥＬ発光層が発光開始する
電圧（発光しきい値電圧）よりも低い電圧を印加してお
き、データ信号に対応してデータ電極に応じて、前記発
光しきい値電圧よりも高い電圧（たとえば20 V程度）を
印加し、ＥＬ発光層を選択的に発光させることにより、
所要の情報信号を光書き込みするものである。このマト
リックスに印加する構成とした光プリンタヘッドは、構
成が比較的簡単で、印字ムラの発生なども低減するばか
りでなく、コスト面など経済性もよいので、実用面から
多くの関心が寄せられている。
を光書き込みする方式として、一端面発光形ＥＬ素子ア
レイを用いた光プリンタヘッドが注目されている（特開
平 2-158361 号公報）。すなわち、ＥＬ発光層が絶縁層
を介して挟持された形の一対の電極に、所要の電圧を印
加したときのＥＬ発光層の発光を、前記絶縁層との界面
で全反射させてＥＬ発光層内に閉じ込めた形で、一端面
側に導光し放射する構成のＥＬ素子を、複数個アレイ状
に配列するとともに、前記各ＥＬ素子の一対の電極（マ
トリックス状に形成されている主走査電極とデータ電
極）に、それぞれ選択的に所要の電圧を印加する方式で
ある。つまり、主走査電極にＥＬ発光層が発光開始する
電圧（発光しきい値電圧）よりも低い電圧を印加してお
き、データ信号に対応してデータ電極に応じて、前記発
光しきい値電圧よりも高い電圧（たとえば20 V程度）を
印加し、ＥＬ発光層を選択的に発光させることにより、
所要の情報信号を光書き込みするものである。このマト
リックスに印加する構成とした光プリンタヘッドは、構
成が比較的簡単で、印字ムラの発生なども低減するばか
りでなく、コスト面など経済性もよいので、実用面から
多くの関心が寄せられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
成の光プリンタヘッドの場合は、いわゆるマトリックス
駆動のため、一端面発光形ＥＬ素子アレイを一定のブロ
ックに分割した形で、それら一端面発光形ＥＬ素子の発
光が行われることになるので、所要の光書き込み・印字
時間が必然的に遅くなるという問題、あるいは鮮明な印
字が得られ難いという問題がある。しかも、主走査電極
側およびデータ電極側とも、駆動回路が外付（ワイヤボ
ンディングなど）の構成と成っているため、接続箇所も
必然的に増大し、信頼性に問題がある。
成の光プリンタヘッドの場合は、いわゆるマトリックス
駆動のため、一端面発光形ＥＬ素子アレイを一定のブロ
ックに分割した形で、それら一端面発光形ＥＬ素子の発
光が行われることになるので、所要の光書き込み・印字
時間が必然的に遅くなるという問題、あるいは鮮明な印
字が得られ難いという問題がある。しかも、主走査電極
側およびデータ電極側とも、駆動回路が外付（ワイヤボ
ンディングなど）の構成と成っているため、接続箇所も
必然的に増大し、信頼性に問題がある。
【０００５】また、前記マトリックス駆動回路の場合
は、主走査電極数も多いため必然的に長くなるととも
に、配線の浮遊容量や抵抗の問題を生じる。この問題を
回避するため、主走査電極幅を広くすると主走査電極の
形成領域が広くなり、光プリンタヘッドのコンパクト化
が損なわれるという問題がある。
は、主走査電極数も多いため必然的に長くなるととも
に、配線の浮遊容量や抵抗の問題を生じる。この問題を
回避するため、主走査電極幅を広くすると主走査電極の
形成領域が広くなり、光プリンタヘッドのコンパクト化
が損なわれるという問題がある。
【０００６】特に前記構成において、本発明者の実験に
よると高速印字（高速発光）しようとした場合、応答性
ＥＬ発光層の発光輝度が応答性よく得られない傾向が認
められる。つまり、ヒステリシス現象によりＥＬ発光層
の発光輝度が応答性よくオン−オフを行わないため、鮮
明な印字が得られ難いという問題あり、この問題の解消
は、主走査電極に発光しきい値電圧よりもさらに低い電
圧が印加する一方、その分データ電極への印加電圧を、
たとえば50 V程度に高めることによって達成し得ること
を、本発明者は見出だした。
よると高速印字（高速発光）しようとした場合、応答性
ＥＬ発光層の発光輝度が応答性よく得られない傾向が認
められる。つまり、ヒステリシス現象によりＥＬ発光層
の発光輝度が応答性よくオン−オフを行わないため、鮮
明な印字が得られ難いという問題あり、この問題の解消
は、主走査電極に発光しきい値電圧よりもさらに低い電
圧が印加する一方、その分データ電極への印加電圧を、
たとえば50 V程度に高めることによって達成し得ること
を、本発明者は見出だした。
【０００７】本発明は上記事情に対処し、また前記知見
に基づいてなされたもので、高速・鮮明な印字が可能
で、かつコンパクト化された光プリンタヘッドの提供を
目的とする。
に基づいてなされたもので、高速・鮮明な印字が可能
で、かつコンパクト化された光プリンタヘッドの提供を
目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明に係る光プリンタ
ヘッドは、基板と、この基板の所定面に一体的に配設さ
れた主走査電極が共通の一端面発光形ＥＬ素子アレイ
と、このＥＬ素子アレイ発光端面の反対側に位置して前
記基板の所定面に一体的に配設されたデータ電極駆動回
路とを具備して成り、前記データ電極駆動回路は一端面
発光形ＥＬ素子アレイを成す各ＥＬ素子のデータ電極に
直接接続する多結晶シリコン系の薄膜トランジスタを備
え、かつ少なくともこのデータ電極に直接接続する多結
晶シリコン系の薄膜トランジスタが多重ゲート構成を成
していることを特徴とする。
ヘッドは、基板と、この基板の所定面に一体的に配設さ
れた主走査電極が共通の一端面発光形ＥＬ素子アレイ
と、このＥＬ素子アレイ発光端面の反対側に位置して前
記基板の所定面に一体的に配設されたデータ電極駆動回
路とを具備して成り、前記データ電極駆動回路は一端面
発光形ＥＬ素子アレイを成す各ＥＬ素子のデータ電極に
直接接続する多結晶シリコン系の薄膜トランジスタを備
え、かつ少なくともこのデータ電極に直接接続する多結
晶シリコン系の薄膜トランジスタが多重ゲート構成を成
していることを特徴とする。
【０００９】
【作用】本発明の光プリンタヘッドは、一端面発光形Ｅ
Ｌ素子アレイを成す各ＥＬ素子データ電極に、多重ゲー
ト構造の多結晶シリコン系薄膜トランジスタを介してデ
ータ電極駆動回路が直接・接続され、直接駆動される構
成を成しているため、分割駆動方式の場合に較べて分割
分だけ印字速度が向上する。しかも、前記各ＥＬ素子デ
ータ電極に、直接・接続される多結晶シリコン系薄膜ト
ランジスタは多重ゲート構造に配置されているため、た
とえば50 V程度の耐電圧性を呈し得るので、データ電極
への印加電圧をさらに高め得ることにより、鮮明な印字
が可能となる。 また、前記直接駆動方式に伴い主走査
電極数も共通する１個で足りるので、それだけ主走査電
極形成に要する領域面の低減が可能となり、光プリンタ
ヘッドのコンパクト化も達成される。
Ｌ素子アレイを成す各ＥＬ素子データ電極に、多重ゲー
ト構造の多結晶シリコン系薄膜トランジスタを介してデ
ータ電極駆動回路が直接・接続され、直接駆動される構
成を成しているため、分割駆動方式の場合に較べて分割
分だけ印字速度が向上する。しかも、前記各ＥＬ素子デ
ータ電極に、直接・接続される多結晶シリコン系薄膜ト
ランジスタは多重ゲート構造に配置されているため、た
とえば50 V程度の耐電圧性を呈し得るので、データ電極
への印加電圧をさらに高め得ることにより、鮮明な印字
が可能となる。 また、前記直接駆動方式に伴い主走査
電極数も共通する１個で足りるので、それだけ主走査電
極形成に要する領域面の低減が可能となり、光プリンタ
ヘッドのコンパクト化も達成される。
【００１０】
【実施例】以下、添付図をを参照して本発明の実施例を
説明する。
説明する。
【００１１】図１は本発明に係る光プリンタヘッドの一
例について、その要部構成を断面的に示したもので、１
は絶縁性基板、たとえば厚さ1.1 mm程度、幅0.5 cm程
度、長さ30cm程度のガラス板、２は前記ガラス板１の所
定面に一体的に配設された主走査電極が共通の一端面発
光形ＥＬ素子アレイを構成する一端面発光形のＥＬ素子
である。ここで、一端面発光形のＥＬ素子２は、ガラス
板１の所定領域面に、データ電極層2a、第１の絶縁体層
（誘電体層）2b、ＥＬ発光層2c、第２の絶縁体層（誘電
体層）2d、および共通の主走査電極層2eを積層一体化し
て構成されている。なお、データ電極層2aは、一端面発
光形ＥＬ素子アレイを構成する一端面発光形の各ＥＬ素
子２ごとに各別（独立）に形成されているが、主走査電
極層2eは、一端面発光形ＥＬ素子アレイを構成する全て
の一端面発光形のＥＬ素子２に共通する形で形成されて
いる。
例について、その要部構成を断面的に示したもので、１
は絶縁性基板、たとえば厚さ1.1 mm程度、幅0.5 cm程
度、長さ30cm程度のガラス板、２は前記ガラス板１の所
定面に一体的に配設された主走査電極が共通の一端面発
光形ＥＬ素子アレイを構成する一端面発光形のＥＬ素子
である。ここで、一端面発光形のＥＬ素子２は、ガラス
板１の所定領域面に、データ電極層2a、第１の絶縁体層
（誘電体層）2b、ＥＬ発光層2c、第２の絶縁体層（誘電
体層）2d、および共通の主走査電極層2eを積層一体化し
て構成されている。なお、データ電極層2aは、一端面発
光形ＥＬ素子アレイを構成する一端面発光形の各ＥＬ素
子２ごとに各別（独立）に形成されているが、主走査電
極層2eは、一端面発光形ＥＬ素子アレイを構成する全て
の一端面発光形のＥＬ素子２に共通する形で形成されて
いる。
【００１２】また、３は多結晶シリコンを活性層として
成る多重ゲート構造の薄膜トランジスタ、換言すると複
数個、たとえば３個が並列配置されて多重ゲート構造を
成す薄膜トランジスタ3a含むデータ電極駆動回路で、前
記ＥＬ素子アレイの発光端面とは反対側に、ＥＬ素子ア
レイに近接して、前記基板１の所定面に一体的に配設さ
れており、コンタクトホール3bを介してそれら複数個の
多結晶シリコン系薄膜トランジスタ（スイッチング素
子）3aと各一端面発光形のＥＬ素子２のデータ電極層2a
とがそれぞれ電気的に直接接続している。つまり、図２
に示すごとく、スイッチング作用により所要の印刷情報
信号を流すシフトレジスタ3c、前記シフトレジスタ3cか
らの印刷情報信号を溜め・転送するラッチ3d、前記ラッ
チ3dからの出力に応動する論理回路3e、および前記論理
回路3eによってスイチッチング作用する３個の多結晶シ
リコン系薄膜トランジスタ3aなどを含むデータ電極駆動
回路３は、互いに対を成す３個の多結晶シリコン系薄膜
トランジスタ3a（多重ゲート構造の薄膜トランジスタ）
を介して、各一端面発光形のＥＬ素子２のデータ電極層
2aに電気的に接続した構成を成している。
成る多重ゲート構造の薄膜トランジスタ、換言すると複
数個、たとえば３個が並列配置されて多重ゲート構造を
成す薄膜トランジスタ3a含むデータ電極駆動回路で、前
記ＥＬ素子アレイの発光端面とは反対側に、ＥＬ素子ア
レイに近接して、前記基板１の所定面に一体的に配設さ
れており、コンタクトホール3bを介してそれら複数個の
多結晶シリコン系薄膜トランジスタ（スイッチング素
子）3aと各一端面発光形のＥＬ素子２のデータ電極層2a
とがそれぞれ電気的に直接接続している。つまり、図２
に示すごとく、スイッチング作用により所要の印刷情報
信号を流すシフトレジスタ3c、前記シフトレジスタ3cか
らの印刷情報信号を溜め・転送するラッチ3d、前記ラッ
チ3dからの出力に応動する論理回路3e、および前記論理
回路3eによってスイチッチング作用する３個の多結晶シ
リコン系薄膜トランジスタ3aなどを含むデータ電極駆動
回路３は、互いに対を成す３個の多結晶シリコン系薄膜
トランジスタ3a（多重ゲート構造の薄膜トランジスタ）
を介して、各一端面発光形のＥＬ素子２のデータ電極層
2aに電気的に接続した構成を成している。
【００１３】次に上記構成の光プリンタヘッドの製造手
段の一例を説明する。
段の一例を説明する。
【００１４】たとえば厚さ1.1 mm程度、幅 5cm程度、長
さ30cm程度のガラス板１を用意し、このセラミックス板
１の所定領域面に、ａ−Ｓｉを減圧ＣＶＤ法で堆積した
後、固相成長法によってｐ−Ｓｉ（ポリシリコン）膜を
形成し、薄膜トランジスタ3a形成領域外のｐ−Ｓｉ膜を
選択的に除去した。次いで、前記薄膜トランジスタ3a形
成領域に島状に残したｐ−Ｓｉ膜上に、ゲート絶縁膜と
してＳｉＯ2 をＣＶＤ法で堆積し、さらにその上にｐ−
Ｓｉを減圧ＣＶＤ法で堆積した後、選択的にイオン注入
してゲート電極、ソース領域、ドレイン領域をそれぞれ
形成した。引き続き、層間絶縁膜を常圧ＣＶＤ法で堆積
して所要の多結晶シリコン系薄膜トランジスタ3a（多重
ゲート構造の薄膜トランジスタ）を形成し、これらの薄
膜トランジスタ3aを含むデータ電極駆動回路３を一体的
に形成する。
さ30cm程度のガラス板１を用意し、このセラミックス板
１の所定領域面に、ａ−Ｓｉを減圧ＣＶＤ法で堆積した
後、固相成長法によってｐ−Ｓｉ（ポリシリコン）膜を
形成し、薄膜トランジスタ3a形成領域外のｐ−Ｓｉ膜を
選択的に除去した。次いで、前記薄膜トランジスタ3a形
成領域に島状に残したｐ−Ｓｉ膜上に、ゲート絶縁膜と
してＳｉＯ2 をＣＶＤ法で堆積し、さらにその上にｐ−
Ｓｉを減圧ＣＶＤ法で堆積した後、選択的にイオン注入
してゲート電極、ソース領域、ドレイン領域をそれぞれ
形成した。引き続き、層間絶縁膜を常圧ＣＶＤ法で堆積
して所要の多結晶シリコン系薄膜トランジスタ3a（多重
ゲート構造の薄膜トランジスタ）を形成し、これらの薄
膜トランジスタ3aを含むデータ電極駆動回路３を一体的
に形成する。
【００１５】一方、前記形成した多結晶シリコン系薄膜
トランジスタ3a（多重ゲート構造の薄膜トランジスタ）
に近接して、ガラス板１の所定領域面に、一端面発光形
ＥＬ素子アレイを構成する各ＥＬ素子２のデータ電極層
2aを、たとえばスパッタ手段によりＣｒ−Ａｕの２層構
造に形成する。このデータ電極層2aの形成に当たり、デ
ータ電極層2aの一端を延設させ、たとえばコンタクトホ
ール3bを介して、データ電極駆動回路３の最終段側（一
端面発光形のＥＬ素子２側）に位置する多結晶系薄膜ト
ランジスタ（多重ゲート構造の薄膜トランジスタ…スイ
ッチング素子として機能する）3aと電気的に接続させ
る。ここで、データ電極層2aをＣｒ−Ａｕの２層構造に
形成したのは、その後のＥＬ素子２構成における加工温
度を考慮したものである。
トランジスタ3a（多重ゲート構造の薄膜トランジスタ）
に近接して、ガラス板１の所定領域面に、一端面発光形
ＥＬ素子アレイを構成する各ＥＬ素子２のデータ電極層
2aを、たとえばスパッタ手段によりＣｒ−Ａｕの２層構
造に形成する。このデータ電極層2aの形成に当たり、デ
ータ電極層2aの一端を延設させ、たとえばコンタクトホ
ール3bを介して、データ電極駆動回路３の最終段側（一
端面発光形のＥＬ素子２側）に位置する多結晶系薄膜ト
ランジスタ（多重ゲート構造の薄膜トランジスタ…スイ
ッチング素子として機能する）3aと電気的に接続させ
る。ここで、データ電極層2aをＣｒ−Ａｕの２層構造に
形成したのは、その後のＥＬ素子２構成における加工温
度を考慮したものである。
【００１６】しかる後、上記形成したデータ電極層2a上
に、たとえばスパッタリング手段によりＳｉＯＮから成
る第１の絶縁層2b、Ｅｌ発光層（たとえばＭｎドープド
ＺｎＳ）2c、ＳｉＯＮから成る第２の絶縁層2dを順次被
着形成した後、いわゆるイオンビームエッチングなどに
よってピクセルを形成してから、たとえばＡｌをスパッ
タリングして共通する主走査電極層2eおよびデータ電極
駆動回路３の配線を同時に形成することにより、一端面
発光形ＥＬ素子アレイ型で、かつコンパクトにして高速
印字が可能な光プリンタヘッドが得られる。
に、たとえばスパッタリング手段によりＳｉＯＮから成
る第１の絶縁層2b、Ｅｌ発光層（たとえばＭｎドープド
ＺｎＳ）2c、ＳｉＯＮから成る第２の絶縁層2dを順次被
着形成した後、いわゆるイオンビームエッチングなどに
よってピクセルを形成してから、たとえばＡｌをスパッ
タリングして共通する主走査電極層2eおよびデータ電極
駆動回路３の配線を同時に形成することにより、一端面
発光形ＥＬ素子アレイ型で、かつコンパクトにして高速
印字が可能な光プリンタヘッドが得られる。
【００１７】なお、上記ではデータ電極駆動回路３の最
終段側（一端面発光形のＥＬ素子２側）に位置する多重
ゲート構造の多結晶系薄膜トランジスタを、３個の多結
晶系薄膜トランジスタ3aで構成した光プリンタヘッドの
構造例を示したが、たとえば図３に示すような回路構成
するなど、多重ゲート構造は２個以上の多結晶系薄膜ト
ランジスタ3aの並列配置、異種チャンネルの多重ゲート
構造、さらにそれらの多重ゲート構造を多段的に配置し
た構成としてもよい。
終段側（一端面発光形のＥＬ素子２側）に位置する多重
ゲート構造の多結晶系薄膜トランジスタを、３個の多結
晶系薄膜トランジスタ3aで構成した光プリンタヘッドの
構造例を示したが、たとえば図３に示すような回路構成
するなど、多重ゲート構造は２個以上の多結晶系薄膜ト
ランジスタ3aの並列配置、異種チャンネルの多重ゲート
構造、さらにそれらの多重ゲート構造を多段的に配置し
た構成としてもよい。
【００１８】
【発明の効果】上記説明したように、本発明に係る光プ
リンタヘッドにおいては、一端面発光形ＥＬ素子アレイ
を構成する各一端面発光形のＥＬ素子のデータ電極が、
個別にかつ直接駆動されるため、従来のマトリックス分
割駆動方式の構成に比べて、格段の高速で所要の光書き
込みないし印字を成し得る。しかも、前記ＥＬ素子のデ
ータ電極とデータ電極駆動回路とは、多重ゲート構造の
多結晶系薄膜トランジスタを介して接続されているた
め、従来の駆動回路に比べて２倍以上の駆動電圧を印加
し得ることになる。つまり、主操作電極への印加電圧を
ＥＬ発行層の発光しきい値電圧よりも大部低く設定し、
一方ゲート電極への印加電圧を大幅に高めて高速・鮮明
な印字も可能となる。
リンタヘッドにおいては、一端面発光形ＥＬ素子アレイ
を構成する各一端面発光形のＥＬ素子のデータ電極が、
個別にかつ直接駆動されるため、従来のマトリックス分
割駆動方式の構成に比べて、格段の高速で所要の光書き
込みないし印字を成し得る。しかも、前記ＥＬ素子のデ
ータ電極とデータ電極駆動回路とは、多重ゲート構造の
多結晶系薄膜トランジスタを介して接続されているた
め、従来の駆動回路に比べて２倍以上の駆動電圧を印加
し得ることになる。つまり、主操作電極への印加電圧を
ＥＬ発行層の発光しきい値電圧よりも大部低く設定し、
一方ゲート電極への印加電圧を大幅に高めて高速・鮮明
な印字も可能となる。
【００１９】また、主走査電極の数も１本で足りるた
め、回路構成も簡略化するとともにコンパクト化も容易
に達成し得るし、さらに前記多重ゲート構造の多結晶系
薄膜トランジスタとの接続も、直接（いわゆるワイアボ
ンディングなどの外付でない）なため、大幅に向上した
接続の信頼性を呈する。かくして、本発明はこの種の光
プリンタヘッドを用いるプリンターにおいて、実用上望
まれているいる高速印字、印字分解能の向上、コンパク
ト化に十分応え得るものといえる。
め、回路構成も簡略化するとともにコンパクト化も容易
に達成し得るし、さらに前記多重ゲート構造の多結晶系
薄膜トランジスタとの接続も、直接（いわゆるワイアボ
ンディングなどの外付でない）なため、大幅に向上した
接続の信頼性を呈する。かくして、本発明はこの種の光
プリンタヘッドを用いるプリンターにおいて、実用上望
まれているいる高速印字、印字分解能の向上、コンパク
ト化に十分応え得るものといえる。
【図１】本発明に係る光プリンタヘッドの要部構成例を
示す断面図。
示す断面図。
【図２】本発明に係る光プリンタヘッドのデータ電極駆
動回路例を示すブロック図。
動回路例を示すブロック図。
【図３】本発明に係る光プリンタヘッドの他のデータ電
極駆動回路例を示すブロック図。
極駆動回路例を示すブロック図。
１…基板 ２…一端面発光形のＥＬ素子 2a…デー
タ電極（データ電極層） 2b…第１の絶縁層（誘電
体） 2c…ＥＬ発光層 2d…第２の絶縁層（誘電
体） 2e…主走査電極（共通の主走査電極層） ３
…データ電極駆動回路 3a…多重ゲート構造を成す多
結晶シリコン系薄膜トランジスタ 3b…コンタクトホ
ール 3c…シフトレジスタ 3d…ラッチ 3e…論
理回路
タ電極（データ電極層） 2b…第１の絶縁層（誘電
体） 2c…ＥＬ発光層 2d…第２の絶縁層（誘電
体） 2e…主走査電極（共通の主走査電極層） ３
…データ電極駆動回路 3a…多重ゲート構造を成す多
結晶シリコン系薄膜トランジスタ 3b…コンタクトホ
ール 3c…シフトレジスタ 3d…ラッチ 3e…論
理回路
フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０３Ｇ 15/04 １１６ 9122−2Ｈ Ｈ０１Ｌ 29/784 Ｈ０５Ｂ 33/00 8815−3Ｋ 33/08 8815−3Ｋ
Claims (1)
- 【請求項１】 基板と、この基板の所定面に一体的に配
設された主走査電極が共通の一端面発光形ＥＬ素子アレ
イと、このＥＬ素子アレイ発光端面の反対側に位置して
前記基板の所定面に一体的に配設されたデータ電極駆動
回路とを具備して成り、 前記データ電極駆動回路は一端面発光形ＥＬ素子アレイ
を成す各ＥＬ素子のデータ電極に直接接続する多結晶シ
リコン系の薄膜トランジスタを備え、かつ少なくともこ
のデータ電極に直接接続する多結晶シリコン系の薄膜ト
ランジスタが多重ゲート構成を成していることを特徴と
する光プリンタヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21843991A JPH0557954A (ja) | 1991-08-29 | 1991-08-29 | 光プリンタヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21843991A JPH0557954A (ja) | 1991-08-29 | 1991-08-29 | 光プリンタヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0557954A true JPH0557954A (ja) | 1993-03-09 |
Family
ID=16719934
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21843991A Withdrawn JPH0557954A (ja) | 1991-08-29 | 1991-08-29 | 光プリンタヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0557954A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6480212B1 (en) * | 1999-07-02 | 2002-11-12 | Seiko Epson Corporation | Printer |
-
1991
- 1991-08-29 JP JP21843991A patent/JPH0557954A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6480212B1 (en) * | 1999-07-02 | 2002-11-12 | Seiko Epson Corporation | Printer |
| US6573920B2 (en) | 1999-07-02 | 2003-06-03 | Seiko Epson Corporation | Method of manufacturing a printer with an electroluminescent (EL) pixel array |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19981112 |