JPH0534543A - 導波型光部品 - Google Patents
導波型光部品Info
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- JPH0534543A JPH0534543A JP19533691A JP19533691A JPH0534543A JP H0534543 A JPH0534543 A JP H0534543A JP 19533691 A JP19533691 A JP 19533691A JP 19533691 A JP19533691 A JP 19533691A JP H0534543 A JPH0534543 A JP H0534543A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 92
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract description 53
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 42
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 41
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 40
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 abstract description 21
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 19
- 238000003491 array Methods 0.000 abstract description 8
- 239000000835 fiber Substances 0.000 abstract description 7
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 abstract description 5
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 abstract description 4
- 230000007774 longterm Effects 0.000 abstract description 3
- 239000010453 quartz Substances 0.000 abstract 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 19
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 16
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 5
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 3
- 239000013464 silicone adhesive Substances 0.000 description 3
- RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N Acetaminophen Chemical compound CC(=O)NC1=CC=C(O)C=C1 RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 2
- 239000005297 pyrex Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- ILBBNQMSDGAAPF-UHFFFAOYSA-N 1-(6-hydroxy-6-methylcyclohexa-2,4-dien-1-yl)propan-1-one Chemical compound CCC(=O)C1C=CC=CC1(C)O ILBBNQMSDGAAPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N ether Substances CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007496 glass forming Methods 0.000 description 1
- 238000013007 heat curing Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 長期信頼性、特に温度変化や高湿熱雰囲気下
での信頼性に優れた導波型光部品を提供する。 【構成】 シリコーン基板上に形成されたコア寸法５０
μｍ×５０μｍの石英系多モード光導波路チップを接着
剤８でコバール筐体３に固定し、光導波路アレイ９とし
た。また、コア直径５０μｍの石英系多モード光ファイ
バＶ溝基板７，７’を介して接着剤８によりコバール筐
体２，２’に保持した単芯と４芯の光ファイバアレイを
得た。これらの光ファイバアレイを光導波路アレイ９の
両端に突合わせ、界面に屈折率１．４５６の熱硬化型の
シリコーン５を塗布した後、筐体２と３，２’と３の接
続部６，６’をＹＡＧレーザーにより溶接した。次に、
８０℃で３時間加熱し、シリコーン５を硬化させ、導波
型光部品を得た。
での信頼性に優れた導波型光部品を提供する。 【構成】 シリコーン基板上に形成されたコア寸法５０
μｍ×５０μｍの石英系多モード光導波路チップを接着
剤８でコバール筐体３に固定し、光導波路アレイ９とし
た。また、コア直径５０μｍの石英系多モード光ファイ
バＶ溝基板７，７’を介して接着剤８によりコバール筐
体２，２’に保持した単芯と４芯の光ファイバアレイを
得た。これらの光ファイバアレイを光導波路アレイ９の
両端に突合わせ、界面に屈折率１．４５６の熱硬化型の
シリコーン５を塗布した後、筐体２と３，２’と３の接
続部６，６’をＹＡＧレーザーにより溶接した。次に、
８０℃で３時間加熱し、シリコーン５を硬化させ、導波
型光部品を得た。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光通信分野等で用いら
れ、光導波路アレイと入出力用光ファイバの光ファイバ
アレイとから構成される導波型光部品に関する。
れ、光導波路アレイと入出力用光ファイバの光ファイバ
アレイとから構成される導波型光部品に関する。
【０００２】
【従来の技術】光通信技術の進展に伴い、従来の光源、
光ファイバ、受光器に加えて、光分岐素子、光スイッ
チ、光合分波器等の各種の導波型光部品が要求されてい
る。この種の導波型光部品は基本的に導波路チップを搭
載した光導波路アレイと、入出力用の光ファイバを搭載
した光ファイバアレイとから構成されている。
光ファイバ、受光器に加えて、光分岐素子、光スイッ
チ、光合分波器等の各種の導波型光部品が要求されてい
る。この種の導波型光部品は基本的に導波路チップを搭
載した光導波路アレイと、入出力用の光ファイバを搭載
した光ファイバアレイとから構成されている。
【０００３】さて、光導波路アレイは一般にシリコン、
ガラス、サファイヤ等の基板上に導波路が形成された導
波路チップが接着剤等で筐体に固定された構造を有して
おり、また、光ファイバアレイはＶ溝基板等に整列され
た光ファイバが接着剤等によって筐体に固定された構造
になっている。この種の光導波路アレイと光ファイバア
レイとを接続する方法としては、両者の界面を接着剤で
固定する接着剤法と、筐体どうしをレーザーで接続する
レーザー溶接法等が提案されている。
ガラス、サファイヤ等の基板上に導波路が形成された導
波路チップが接着剤等で筐体に固定された構造を有して
おり、また、光ファイバアレイはＶ溝基板等に整列され
た光ファイバが接着剤等によって筐体に固定された構造
になっている。この種の光導波路アレイと光ファイバア
レイとを接続する方法としては、両者の界面を接着剤で
固定する接着剤法と、筐体どうしをレーザーで接続する
レーザー溶接法等が提案されている。
【０００４】接着剤法においては光軸のずれを極力抑え
るため、比較的ヤング率の高い接着剤が用いられている
が、この方法は長期信頼性に問題があるとされている。
一方、レーザー溶接法においては、筐体が金属の場合に
は一般にＹＡＧレーザーによって、また筐体がガラス等
の場合には炭酸ガスレーザー等によって筐体どうしが接
続され、導波型光部品として組み立てられている。ま
た、別の方法としては、筐体どうしを嵌合いピンやばね
等で接合することも検討されている。これらの筐体どう
し及び筐体を介して接続する方法においては、反射によ
る損失を少なくするため、光ファイバアレイと光導波路
アレイの接続部界面にマッチングオイル、あるいはマッ
チンググリースと呼ばれる流動性のある屈折率整合剤が
充填されている。
るため、比較的ヤング率の高い接着剤が用いられている
が、この方法は長期信頼性に問題があるとされている。
一方、レーザー溶接法においては、筐体が金属の場合に
は一般にＹＡＧレーザーによって、また筐体がガラス等
の場合には炭酸ガスレーザー等によって筐体どうしが接
続され、導波型光部品として組み立てられている。ま
た、別の方法としては、筐体どうしを嵌合いピンやばね
等で接合することも検討されている。これらの筐体どう
し及び筐体を介して接続する方法においては、反射によ
る損失を少なくするため、光ファイバアレイと光導波路
アレイの接続部界面にマッチングオイル、あるいはマッ
チンググリースと呼ばれる流動性のある屈折率整合剤が
充填されている。
【０００５】さて、導波型光部品には各種の信頼性が要
求されているが、温度変化に対応することも重要な条件
の一つである。しかるに、この種の導波型光部品を低温
や高温に保持した場合、導波路基板と筐体、光ファイバ
と筐体の線膨張係数の不整合により光導波路や光ファイ
バアレイが伸縮し、このため光導波路と光ファイバアレ
イの界面が伸縮する。導波路基板にシリコーン（線膨張
係数：２８×１０-7℃ -1）、筐体にコバール（線膨張係
数：４６×１０-7℃-1）を用いた長さ５０ｍｍの導波型
光部品の導波路を例にとると、−４０℃〜８０℃の範囲
で２０℃を基準にした変動は±５．４μｍと算出され
る。
求されているが、温度変化に対応することも重要な条件
の一つである。しかるに、この種の導波型光部品を低温
や高温に保持した場合、導波路基板と筐体、光ファイバ
と筐体の線膨張係数の不整合により光導波路や光ファイ
バアレイが伸縮し、このため光導波路と光ファイバアレ
イの界面が伸縮する。導波路基板にシリコーン（線膨張
係数：２８×１０-7℃ -1）、筐体にコバール（線膨張係
数：４６×１０-7℃-1）を用いた長さ５０ｍｍの導波型
光部品の導波路を例にとると、−４０℃〜８０℃の範囲
で２０℃を基準にした変動は±５．４μｍと算出され
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】このような導波型光部
品において、光導波路と光ファイバ界面に介在した屈折
率整合剤は流動性があるため、上記の各部材の線膨張係
数の不整合に起因して生じる界面の伸縮により屈折率整
合剤中に空気等の気泡が取り込まれる。このような界面
の異物は散乱等の原因となり、光透過率が著しく増加す
る。別の問題としては、高温高湿雰囲気中では、この種
の導波型光部品の界面には空気ばかりではなく、水蒸気
等も取り込まれることとなり、それが信頼性に著しい悪
影響を与える問題があった。
品において、光導波路と光ファイバ界面に介在した屈折
率整合剤は流動性があるため、上記の各部材の線膨張係
数の不整合に起因して生じる界面の伸縮により屈折率整
合剤中に空気等の気泡が取り込まれる。このような界面
の異物は散乱等の原因となり、光透過率が著しく増加す
る。別の問題としては、高温高湿雰囲気中では、この種
の導波型光部品の界面には空気ばかりではなく、水蒸気
等も取り込まれることとなり、それが信頼性に著しい悪
影響を与える問題があった。
【０００７】したがって、マッチンググリース等の流動
性のある屈折率整合剤を光導波路と光ファイバアレイと
の界面に充填した従来の導波型光部品はヒートサイクル
試験や湿熱試験により光損失が増加するという信頼性上
の問題があった。
性のある屈折率整合剤を光導波路と光ファイバアレイと
の界面に充填した従来の導波型光部品はヒートサイクル
試験や湿熱試験により光損失が増加するという信頼性上
の問題があった。
【０００８】本発明の目的は、長期信頼性、特に温度変
化や高湿熱雰囲気下での信頼性に優れた導波型光部品を
提供することである。
化や高湿熱雰囲気下での信頼性に優れた導波型光部品を
提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の導波型光部品は、各々が筐体に保持され、
かつ、互いに光軸が一致するように筐体どうしを接続す
ることによって互いに接続された光導波路アレイと入出
力用光ファイバの光ファイバアレイとから構成される導
波型光部品において、前記光導波路アレイと光ファイバ
アレイの界面に接着剤が介在することを特徴とする。
に、本発明の導波型光部品は、各々が筐体に保持され、
かつ、互いに光軸が一致するように筐体どうしを接続す
ることによって互いに接続された光導波路アレイと入出
力用光ファイバの光ファイバアレイとから構成される導
波型光部品において、前記光導波路アレイと光ファイバ
アレイの界面に接着剤が介在することを特徴とする。
【００１０】
【作用】従来技術において用いられていた屈折率整合剤
が流動性を有していたのに対し、本発明では流動性のな
い接着剤を用いた点に特徴がある。本発明に用いられる
接着剤は、光導波路と光ファイバアレイを接続した場合
に、反射による損失が著しく大きくなるような接着剤以
外ならば、その種類は特に限定するものではない。エポ
キシ系、アクリル系、ウレタン系、シリコーン系等の有
機系の接着剤が例示され、熱キュア型でも、光キュア型
の接着剤でもよい。温度変化による伸縮が大きい導波型
光部品に対して好ましい接着剤は、弾性を有する接着
剤、すなわち比較的ヤング率の低い接着剤であり、さら
に好ましくは低温まで弾性を保持している接着剤であ
る。この種の接着剤としては、その化学構造としてシロ
キサン結合、ジエン結合、エーテル結合等をもつ接着剤
が例示される。
が流動性を有していたのに対し、本発明では流動性のな
い接着剤を用いた点に特徴がある。本発明に用いられる
接着剤は、光導波路と光ファイバアレイを接続した場合
に、反射による損失が著しく大きくなるような接着剤以
外ならば、その種類は特に限定するものではない。エポ
キシ系、アクリル系、ウレタン系、シリコーン系等の有
機系の接着剤が例示され、熱キュア型でも、光キュア型
の接着剤でもよい。温度変化による伸縮が大きい導波型
光部品に対して好ましい接着剤は、弾性を有する接着
剤、すなわち比較的ヤング率の低い接着剤であり、さら
に好ましくは低温まで弾性を保持している接着剤であ
る。この種の接着剤としては、その化学構造としてシロ
キサン結合、ジエン結合、エーテル結合等をもつ接着剤
が例示される。
【００１１】本発明においては、光ファイバアレイと導
波路アレイの界面に有機系の接着剤を介在し、この接着
剤は導波型部品を構成する金属やガラスに対し、ヤング
率が低いため、温度変化による界面の伸縮に伴い接着剤
も伸縮する。このため、流動性を有するマッチングオイ
ルを用いた場合にみられた気泡の混入はない。
波路アレイの界面に有機系の接着剤を介在し、この接着
剤は導波型部品を構成する金属やガラスに対し、ヤング
率が低いため、温度変化による界面の伸縮に伴い接着剤
も伸縮する。このため、流動性を有するマッチングオイ
ルを用いた場合にみられた気泡の混入はない。
【００１２】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００１３】図１（１）は本発明の一実施例の導波型光
部品の斜視図、同図（２），（３）はその構成部分の斜
視図である。
部品の斜視図、同図（２），（３）はその構成部分の斜
視図である。
【００１４】光導波路としてシリコン基板上に形成され
た石英系光導波路を使用した場合について説明する。石
英系光導波路は、石英系光ファイバとの屈折率整合性に
優れ、実用的な導波型光部品を提供できるが、本発明
は、このような石英光導波路のみに限定されるものでは
ないことは言うまでもない。
た石英系光導波路を使用した場合について説明する。石
英系光導波路は、石英系光ファイバとの屈折率整合性に
優れ、実用的な導波型光部品を提供できるが、本発明
は、このような石英光導波路のみに限定されるものでは
ないことは言うまでもない。
【００１５】光導波路アレイ９は、シリコーン基板上に
石英系光導波路が形成された導波路チップが接着剤８で
光導波路用コバール筐体３に固定されて構成されてい
る。光ファイバ１（４芯）の光ファイバアレイはＶ溝基
板７に整列され接着剤８で光ファイバ用コバール筐体２
に固定されている。光ファイバ４（単芯）の光ファイバ
アレイはＶ溝基板７’に保持され接着剤８で光ファイバ
用コバール筐体２’に固定されている。光ファイバ１の
光ファイバアレイ、光ファイバ４の光ファイバアレイは
光導波路アレイ９の各端面に突合されてシリコーン５が
塗布され、ファイバ用コバール筐体２と光導波路用コバ
ール筐体３の接続部６と、ファイバ用コバール筐体２’
と光導波路用コバール筐体の接続部６’はＹＡＧレーザ
により溶接されている。
石英系光導波路が形成された導波路チップが接着剤８で
光導波路用コバール筐体３に固定されて構成されてい
る。光ファイバ１（４芯）の光ファイバアレイはＶ溝基
板７に整列され接着剤８で光ファイバ用コバール筐体２
に固定されている。光ファイバ４（単芯）の光ファイバ
アレイはＶ溝基板７’に保持され接着剤８で光ファイバ
用コバール筐体２’に固定されている。光ファイバ１の
光ファイバアレイ、光ファイバ４の光ファイバアレイは
光導波路アレイ９の各端面に突合されてシリコーン５が
塗布され、ファイバ用コバール筐体２と光導波路用コバ
ール筐体３の接続部６と、ファイバ用コバール筐体２’
と光導波路用コバール筐体の接続部６’はＹＡＧレーザ
により溶接されている。
【００１６】また、以下の実験例では導波回路として、
１×４のスプリッターを用いているが、本発明はこれに
限定されるものではなく、例えば、８芯や１６芯の光フ
ァイバアレイ等を８列や１６列の光導波路アレイ等に一
括して接続する等各種の場合にも適用できることは言う
までもない。 （実験例１）シリコーン基板上に形成されたコア寸法５
０μｍ×５０μｍの石英系多モード光導波路チップを接
着剤８で光導波路用コバール筐体３に固定し、光導波路
アレイ９とした。また、コア直径５０μｍの石英系多モ
ード光ファイバ１，４をＶ溝基板７，７’を介して接着
剤８によりそれぞれ光ファイバ用コバール筐体２，２’
に保持した単芯と４芯の光ファイバアレイを得た。これ
らの光ファイバアレイを光導波路アレイ９の両端に突合
わせ、界面に屈折率１．４５６の熱硬化型のシリコーン
５を塗布した後、筐体２と３，２’と３の接続部６，
６’をＹＡＧレーザーにより溶接した。次に、８０℃で
３時間加熱し、シリコーン５を硬化させ、導波型光部品
を得た。
１×４のスプリッターを用いているが、本発明はこれに
限定されるものではなく、例えば、８芯や１６芯の光フ
ァイバアレイ等を８列や１６列の光導波路アレイ等に一
括して接続する等各種の場合にも適用できることは言う
までもない。 （実験例１）シリコーン基板上に形成されたコア寸法５
０μｍ×５０μｍの石英系多モード光導波路チップを接
着剤８で光導波路用コバール筐体３に固定し、光導波路
アレイ９とした。また、コア直径５０μｍの石英系多モ
ード光ファイバ１，４をＶ溝基板７，７’を介して接着
剤８によりそれぞれ光ファイバ用コバール筐体２，２’
に保持した単芯と４芯の光ファイバアレイを得た。これ
らの光ファイバアレイを光導波路アレイ９の両端に突合
わせ、界面に屈折率１．４５６の熱硬化型のシリコーン
５を塗布した後、筐体２と３，２’と３の接続部６，
６’をＹＡＧレーザーにより溶接した。次に、８０℃で
３時間加熱し、シリコーン５を硬化させ、導波型光部品
を得た。
【００１７】この部品のヒートサイクル試験（１サイク
ル：４時間、温度範囲：−３０〜８０℃）を行なったと
ころ、この温度範囲における損失変動は±０．２ｄＢ以
下であり、優れていることが分かった。また、湿熱試験
（温度７０℃、相対湿度９０％）を行なったところ、２
００時間経過後も損失変動は±０．１ｄＢ以下と極めて
優れていることが分かった。 （実験例２）シリコーン基板上の厚さ５０μｍの石英系
ガラスクラッド層に埋設された断面寸法８μｍ×８μｍ
の石英系ガラスコアからなる石英系ガラス単一モード光
導波路チップを接着剤８により光導波路用コバール筐体
３に固定し、光導波路アレイ９とした。また、コア直径
１０μｍの石英系単一モード光ファイバ１，４をＶ溝基
板７，７’を介し接着剤８により光ファイバ用コバール
筐体２，２’に固定し、単芯と４芯の光ファイバアレイ
を得た。これらの光ファイバアレイを光導波路アレイ９
の両端に突合わせ、界面に屈折率１．４５６の熱硬化型
のシリコーン５を塗布した後、接続部６，６’をＹＡＧ
レーザーにより溶接した。次に、８０℃で３時間加熱
し、シリコーン５を硬化させ、導波型光部品を得た。
ル：４時間、温度範囲：−３０〜８０℃）を行なったと
ころ、この温度範囲における損失変動は±０．２ｄＢ以
下であり、優れていることが分かった。また、湿熱試験
（温度７０℃、相対湿度９０％）を行なったところ、２
００時間経過後も損失変動は±０．１ｄＢ以下と極めて
優れていることが分かった。 （実験例２）シリコーン基板上の厚さ５０μｍの石英系
ガラスクラッド層に埋設された断面寸法８μｍ×８μｍ
の石英系ガラスコアからなる石英系ガラス単一モード光
導波路チップを接着剤８により光導波路用コバール筐体
３に固定し、光導波路アレイ９とした。また、コア直径
１０μｍの石英系単一モード光ファイバ１，４をＶ溝基
板７，７’を介し接着剤８により光ファイバ用コバール
筐体２，２’に固定し、単芯と４芯の光ファイバアレイ
を得た。これらの光ファイバアレイを光導波路アレイ９
の両端に突合わせ、界面に屈折率１．４５６の熱硬化型
のシリコーン５を塗布した後、接続部６，６’をＹＡＧ
レーザーにより溶接した。次に、８０℃で３時間加熱
し、シリコーン５を硬化させ、導波型光部品を得た。
【００１８】図２はこのようにして作製された導波型光
部品のヒートサイクル試験の結果を示す図である。−３
０〜８０℃の温度範囲における損失変動は±０．２ｄＢ
以下であり、優れていることが分かる。
部品のヒートサイクル試験の結果を示す図である。−３
０〜８０℃の温度範囲における損失変動は±０．２ｄＢ
以下であり、優れていることが分かる。
【００１９】図３は湿熱試験（温度７０℃、相対湿度９
０％）の結果を示す図である。５００時間経過後も損失
変動は±０．１ｄＢ以下と極めて優れていることが分か
る。 （実験例３）シリコーン基板上の厚さ５０μｍの石英系
ガラスクラッド層に埋設された断面寸法８μｍ×８μｍ
の石英系ガラスコアからなる石英系バラス単一モード光
導波路チップを接着剤により光導波路用コバール筐体に
固定し、光導波路アレイとした。また、コア直径１０μ
ｍの石英系単一モード光ファイバをＶ溝基板を介し接着
剤により、光ファイバ用コバール筐体に保持し、単芯と
４芯の光ファイバアレイを得た。これらの光ファイバア
レイを光導波路アレイの両端に突合わせ、界面に屈折率
１．４５６の熱硬化型のシリコーンを塗布した後、接続
部をばねで固定した。次に、８０℃で３時間加熱し、シ
リコーンを硬化させ、導波型光部品を得た。
０％）の結果を示す図である。５００時間経過後も損失
変動は±０．１ｄＢ以下と極めて優れていることが分か
る。 （実験例３）シリコーン基板上の厚さ５０μｍの石英系
ガラスクラッド層に埋設された断面寸法８μｍ×８μｍ
の石英系ガラスコアからなる石英系バラス単一モード光
導波路チップを接着剤により光導波路用コバール筐体に
固定し、光導波路アレイとした。また、コア直径１０μ
ｍの石英系単一モード光ファイバをＶ溝基板を介し接着
剤により、光ファイバ用コバール筐体に保持し、単芯と
４芯の光ファイバアレイを得た。これらの光ファイバア
レイを光導波路アレイの両端に突合わせ、界面に屈折率
１．４５６の熱硬化型のシリコーンを塗布した後、接続
部をばねで固定した。次に、８０℃で３時間加熱し、シ
リコーンを硬化させ、導波型光部品を得た。
【００２０】この導波型光部品のヒートサイクル試験を
行なったところ、−３０〜８０℃の温度範囲における損
失変動は±０．２ｄＢ以下であり、優れていることが分
かった。また、湿熱試験（温度７０℃、相対湿度９０
％）を行なったところ、５００時間経過後も損失変動は
±０．１ｄＢ以下と極めて優れていることが分かる。 （実験例４）シリコーン基板上の厚さ５０μｍの石英系
ガラスクラッド層に埋設された断面寸法８μｍ×８μｍ
の石英系ガラスコアからなる石英系ガラス単一モード光
導波路チップを接着剤により光導波路用パイレックスガ
ラス製筐体に固定し、光導波路アレイとした。また、コ
ア直径１０μｍの石英系単一モード光ファイバをＶ溝基
板を介し接着剤によりパイレックスガラス製筐体に保持
し、単芯と４芯の光ファイバアレイを得た。これらの光
ファイバアレイを光導波路アレイの両端に突合わせ、界
面に屈折率１．４５６の熱硬化型のシリコーンを塗布し
た後、接続部をばねで固定した。次に、８０℃で３時間
加熱し、シリコーンを硬化させ、導波型光部品を得た。
行なったところ、−３０〜８０℃の温度範囲における損
失変動は±０．２ｄＢ以下であり、優れていることが分
かった。また、湿熱試験（温度７０℃、相対湿度９０
％）を行なったところ、５００時間経過後も損失変動は
±０．１ｄＢ以下と極めて優れていることが分かる。 （実験例４）シリコーン基板上の厚さ５０μｍの石英系
ガラスクラッド層に埋設された断面寸法８μｍ×８μｍ
の石英系ガラスコアからなる石英系ガラス単一モード光
導波路チップを接着剤により光導波路用パイレックスガ
ラス製筐体に固定し、光導波路アレイとした。また、コ
ア直径１０μｍの石英系単一モード光ファイバをＶ溝基
板を介し接着剤によりパイレックスガラス製筐体に保持
し、単芯と４芯の光ファイバアレイを得た。これらの光
ファイバアレイを光導波路アレイの両端に突合わせ、界
面に屈折率１．４５６の熱硬化型のシリコーンを塗布し
た後、接続部をばねで固定した。次に、８０℃で３時間
加熱し、シリコーンを硬化させ、導波型光部品を得た。
【００２１】この導波型光部品のヒートサイクル試験を
行なったところ、−３０〜８０℃の温度範囲における損
失変動は±０．２ｄＢ以下であり、優れていることが分
かった。また、湿熱試験（温度７０℃、相対湿度９０
％）を行なったところ、５００時間経過後も損失変動は
±０．１ｄＢ以下と極めて優れていることが分かった。 （実験例５）実験例２において、屈折率整合型の接着剤
としてシリコーン系接着剤の代わりに屈折率１．４７８
の紫外線キュア型のエポキシを用い、接続部をＹＡＧレ
ーザーで接続した後、紫外線を照射し接着剤を硬化さ
せ、導波型光部品を得た。
行なったところ、−３０〜８０℃の温度範囲における損
失変動は±０．２ｄＢ以下であり、優れていることが分
かった。また、湿熱試験（温度７０℃、相対湿度９０
％）を行なったところ、５００時間経過後も損失変動は
±０．１ｄＢ以下と極めて優れていることが分かった。 （実験例５）実験例２において、屈折率整合型の接着剤
としてシリコーン系接着剤の代わりに屈折率１．４７８
の紫外線キュア型のエポキシを用い、接続部をＹＡＧレ
ーザーで接続した後、紫外線を照射し接着剤を硬化さ
せ、導波型光部品を得た。
【００２２】この導波型光部品のヒートサイクル試験を
行なったところ、−３０〜８０℃の温度範囲における損
失変動は±０．２ｄＢ以下であり、優れていることが分
かった。また、湿熱試験（温度７０℃、相対湿度９０
％）を行なったところ、５００時間経過後も損失変動は
±０．１ｄＢ以下と極めて優れていることが分かった。 （実験例６）実験例２において、屈折率整合型の接着剤
としてシリコーン系接着剤の代わりに屈折率１．４８８
の紫外線キュア型のアクリラートを用い、接続部をＹＡ
Ｇレーザーで接続した後、紫外線を照射し接着剤を硬化
させ、導波型光部品を得た。
行なったところ、−３０〜８０℃の温度範囲における損
失変動は±０．２ｄＢ以下であり、優れていることが分
かった。また、湿熱試験（温度７０℃、相対湿度９０
％）を行なったところ、５００時間経過後も損失変動は
±０．１ｄＢ以下と極めて優れていることが分かった。 （実験例６）実験例２において、屈折率整合型の接着剤
としてシリコーン系接着剤の代わりに屈折率１．４８８
の紫外線キュア型のアクリラートを用い、接続部をＹＡ
Ｇレーザーで接続した後、紫外線を照射し接着剤を硬化
させ、導波型光部品を得た。
【００２３】この導波型光部品のヒートサイクル試験を
行なったところ、−３０〜８０℃の温度範囲における損
失変動は±０．２ｄＢ以下であり、優れていることが分
かった。また、湿熱試験（温度７０℃、相対湿度９０
％）を行なったところ、５００時間経過後も損失変動は
±０．１ｄＢ以下と極めて優れていることが分かった。 （比較例）実験例２において、屈折率整合型のシリコー
ン系接着剤の代わりに従来法において使用している、屈
折率１．４５８のシリコーングリースを用いた。この導
波型光部品のヒートサイクル試験を行なったところ、−
３０〜８０℃の温度範囲における損失変動は図２に実線
で併記したように３．０ｄＢ以上であり、極めて大きか
った。また、湿熱試験（温度７０℃、相対湿度９０％）
を行なったところ、図３に実線で併記したように１０時
間経過後損失が徐々に増加し、２００時間経過後の損失
増加は、約１．８ｄＢであった。
行なったところ、−３０〜８０℃の温度範囲における損
失変動は±０．２ｄＢ以下であり、優れていることが分
かった。また、湿熱試験（温度７０℃、相対湿度９０
％）を行なったところ、５００時間経過後も損失変動は
±０．１ｄＢ以下と極めて優れていることが分かった。 （比較例）実験例２において、屈折率整合型のシリコー
ン系接着剤の代わりに従来法において使用している、屈
折率１．４５８のシリコーングリースを用いた。この導
波型光部品のヒートサイクル試験を行なったところ、−
３０〜８０℃の温度範囲における損失変動は図２に実線
で併記したように３．０ｄＢ以上であり、極めて大きか
った。また、湿熱試験（温度７０℃、相対湿度９０％）
を行なったところ、図３に実線で併記したように１０時
間経過後損失が徐々に増加し、２００時間経過後の損失
増加は、約１．８ｄＢであった。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、導波型光
部品の接続部界面に有機材料の接着剤が介在するため、
温度変化に対して、また、高湿熱雰囲気中においても損
失の変動が少なく、極めて信頼性に優れるという効果が
ある。したがって、本発明の光部品は光通信システムの
性能向上や、経済化に大きく寄与することが期待され
る。
部品の接続部界面に有機材料の接着剤が介在するため、
温度変化に対して、また、高湿熱雰囲気中においても損
失の変動が少なく、極めて信頼性に優れるという効果が
ある。したがって、本発明の光部品は光通信システムの
性能向上や、経済化に大きく寄与することが期待され
る。
【図１】同図（１）は本発明の一実施例の導波型光部品
の斜視図、同図（２），（３）はその構成部品の斜視図
である。
の斜視図、同図（２），（３）はその構成部品の斜視図
である。
【図２】実験例２および比較例において作製した導波型
光部品のヒートサイクル試験の結果を示す図である。
光部品のヒートサイクル試験の結果を示す図である。
【図３】実験例２および比較例において作製した導波型
光部品の湿熱試験の結果を示す図である。
光部品の湿熱試験の結果を示す図である。
１ 光ファイバ（４芯） ２，２’ 光ファイバ用コバール筐体 ３ 光導波路用コバール筐体 ４ 光ファイバ（単芯） ５ シリコーン ６，６’ 接続部 ７，７’ Ｖ溝基板 ８ 接着剤 ９ 光導波路アレイ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 各々が筐体に保持され、かつ、互いに光
軸が一致するように筐体どうしを接続することによって
互いに接続された光導波路アレイと入出力用光ファイバ
の光ファイバアレイとから構成される導波型光部品にお
いて、 前記光導波路アレイと光ファイバアレイの界面に接着剤
が介在することを特徴とする導波型光部品。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19533691A JPH0534543A (ja) | 1991-08-05 | 1991-08-05 | 導波型光部品 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19533691A JPH0534543A (ja) | 1991-08-05 | 1991-08-05 | 導波型光部品 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0534543A true JPH0534543A (ja) | 1993-02-12 |
Family
ID=16339483
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19533691A Pending JPH0534543A (ja) | 1991-08-05 | 1991-08-05 | 導波型光部品 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0534543A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0626600A1 (en) * | 1993-05-26 | 1994-11-30 | Sumitomo Electric Industries, Limited | Optical waveguide module and method of manufacturing the same |
| KR100393622B1 (ko) * | 2001-10-06 | 2003-08-02 | 삼성전자주식회사 | 평면 도파로 소자 모듈 |
| US7104685B2 (en) | 2003-03-28 | 2006-09-12 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Temperature sensor with quick response |
| JP2007127878A (ja) * | 2005-11-04 | 2007-05-24 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光導波路接続構造 |
| WO2007116792A1 (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-18 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | 光学部品の光入出力端およびビーム変換装置 |
| JP2016173600A (ja) * | 2016-06-01 | 2016-09-29 | オリンパス株式会社 | 光学デバイス |
| JP2019101283A (ja) * | 2017-12-05 | 2019-06-24 | 日本電信電話株式会社 | モードフィールド変換器 |
-
1991
- 1991-08-05 JP JP19533691A patent/JPH0534543A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0626600A1 (en) * | 1993-05-26 | 1994-11-30 | Sumitomo Electric Industries, Limited | Optical waveguide module and method of manufacturing the same |
| US5481632A (en) * | 1993-05-26 | 1996-01-02 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Optical waveguide module and method of manufacturing the same |
| KR100393622B1 (ko) * | 2001-10-06 | 2003-08-02 | 삼성전자주식회사 | 평면 도파로 소자 모듈 |
| US7104685B2 (en) | 2003-03-28 | 2006-09-12 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Temperature sensor with quick response |
| JP2007127878A (ja) * | 2005-11-04 | 2007-05-24 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光導波路接続構造 |
| WO2007116792A1 (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-18 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | 光学部品の光入出力端およびビーム変換装置 |
| EP2009473A1 (en) * | 2006-03-29 | 2008-12-31 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Light input/output port of optical component and beam converting apparatus |
| US8064742B2 (en) | 2006-03-29 | 2011-11-22 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Light input/output terminal module of the optical components and beam converting apparatus |
| EP2009473A4 (en) * | 2006-03-29 | 2012-03-28 | Furukawa Electric Co Ltd | INPUT PORT / LIGHT OUTPUT OF OPTICAL COMPONENT AND BEAM CONVERTING APPARATUS |
| JP2016173600A (ja) * | 2016-06-01 | 2016-09-29 | オリンパス株式会社 | 光学デバイス |
| JP2019101283A (ja) * | 2017-12-05 | 2019-06-24 | 日本電信電話株式会社 | モードフィールド変換器 |
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