JPH0521163A - 有機薄膜発光素子 - Google Patents
有機薄膜発光素子Info
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- JPH0521163A JPH0521163A JP3139316A JP13931691A JPH0521163A JP H0521163 A JPH0521163 A JP H0521163A JP 3139316 A JP3139316 A JP 3139316A JP 13931691 A JP13931691 A JP 13931691A JP H0521163 A JPH0521163 A JP H0521163A
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- JP
- Japan
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- light emitting
- group
- injection layer
- thin film
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Abstract
(57)【要約】
【目的】成膜性に優れる有機薄膜発光素子を得る。
【構成】電極と発光層と少なくとも正孔注入層からなる
電荷注入層を有する有機薄膜発光素子において正孔注入
層をポリスチレン樹脂で結着した正孔注入物質により構
成する。
電荷注入層を有する有機薄膜発光素子において正孔注入
層をポリスチレン樹脂で結着した正孔注入物質により構
成する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は有機薄膜発光素子の正
孔注入層にかかり、特に正孔注入層の成膜性にすぐれる
発光素子に関する。
孔注入層にかかり、特に正孔注入層の成膜性にすぐれる
発光素子に関する。
【0002】
【従来の技術】従来のブラウン管に代わるフラットディ
スプレイの需要の急増に伴い、各種表示素子の開発及び
実用化が精力的に進められている。エレクトロルミネッ
センス素子(以下EL素子とする)もこうしたニ−ズに
即するものであり、特に全固体の自発発光素子として、
他のディスプレイにはない高解像度及び高視認性により
注目を集めている。現在、実用化されているものは、発
光層にZnS/Mn系を用いた無機材料からなるEL素
子である。しかるに、この種の無機EL素子は発光に必
要な駆動電圧が200V程度と高いため駆動方法が複雑
となり製造コストが高いといった問題点がある。また、
青色発光の効率が低いため、フルカラ−化が困難であ
る。
スプレイの需要の急増に伴い、各種表示素子の開発及び
実用化が精力的に進められている。エレクトロルミネッ
センス素子(以下EL素子とする)もこうしたニ−ズに
即するものであり、特に全固体の自発発光素子として、
他のディスプレイにはない高解像度及び高視認性により
注目を集めている。現在、実用化されているものは、発
光層にZnS/Mn系を用いた無機材料からなるEL素
子である。しかるに、この種の無機EL素子は発光に必
要な駆動電圧が200V程度と高いため駆動方法が複雑
となり製造コストが高いといった問題点がある。また、
青色発光の効率が低いため、フルカラ−化が困難であ
る。
【0003】これに対して、有機材料を用いた薄膜発光
素子は、発光に必要な駆動電圧が大幅に低減でき、かつ
各種発光材料の添加によりフルカラ−化の可能性を充分
にもつことから、近年研究が活発化している。特に電極
/正孔注入層/発光層からなる積層型において、発光剤
にトリス(8−ヒドロキシキノリン)アルミニウム、正
孔注入剤に1,1’−ビス(4−N,N−ジトリアミノ
フェニル)シクロヘキサンを用いることにより、10V
以下の印加電圧で1000cd/m2 以上高輝度が得ら
れたという報告がなされて以来開発に拍車がかけられた
(Appl.Phys.Lett.51,913,(1987)) 。
素子は、発光に必要な駆動電圧が大幅に低減でき、かつ
各種発光材料の添加によりフルカラ−化の可能性を充分
にもつことから、近年研究が活発化している。特に電極
/正孔注入層/発光層からなる積層型において、発光剤
にトリス(8−ヒドロキシキノリン)アルミニウム、正
孔注入剤に1,1’−ビス(4−N,N−ジトリアミノ
フェニル)シクロヘキサンを用いることにより、10V
以下の印加電圧で1000cd/m2 以上高輝度が得ら
れたという報告がなされて以来開発に拍車がかけられた
(Appl.Phys.Lett.51,913,(1987)) 。
【0004】現在広く研究されている該有機発光素子の
具体的な構造ならびに材料につき、図面を使って、以下
に説明する。図1は積層構造型の典型的な構造断面図で
ある(発光は図中の矢印に示す方向に進む)。ガラス等
の透明基板1上に金、ニッケル等の半透膜やインジウム
スズ酸化物(ITO)、酸化スズ(SnO2 )等の透明
導電膜からなる正極2を抵抗加熱蒸着、電子ビ−ム蒸
着、スパッタ法により形成する。該電極2は、透明性を
持たせるために、100〜3000Åの厚さにすること
が望ましい。次に正孔注入層3、発光層4と順次有機薄
膜を成膜する。
具体的な構造ならびに材料につき、図面を使って、以下
に説明する。図1は積層構造型の典型的な構造断面図で
ある(発光は図中の矢印に示す方向に進む)。ガラス等
の透明基板1上に金、ニッケル等の半透膜やインジウム
スズ酸化物(ITO)、酸化スズ(SnO2 )等の透明
導電膜からなる正極2を抵抗加熱蒸着、電子ビ−ム蒸
着、スパッタ法により形成する。該電極2は、透明性を
持たせるために、100〜3000Åの厚さにすること
が望ましい。次に正孔注入層3、発光層4と順次有機薄
膜を成膜する。
【0005】正孔注入物質としては、上記1,1’−ビ
ス(4−N,N−ジトリアミノフェニル)シクロヘキサ
ン等のジアミン系化合物の他に、ヒドラゾン系化合物、
スチルベン系化合物等が用いられている。また、発光物
質には、上記トリス(8−ヒドロキシキノリン)アルミ
ニウム等の金属錯体化合物の他に、ジスチリルベンゼン
化合物、ペリレン系化合物等が用いられている。両層と
もにスピンコ−ト、キャスティング、LB法、抵抗加熱
蒸着、電子ビ−ム蒸着等により成膜できるが、現在のと
ころ発光特性面で優れていることから抵抗加熱蒸着法が
主流である。また、両層の膜厚は、抵抗加熱蒸着法にお
いては、それぞれ200〜3000Å、好適には300
〜1500Åである。最後に負極5を蒸着にて形成す
る。なお、該電極5用材料としては仕事関数の小さいM
g,Mg/Ag,In,Ca,Al等が用いられる。
ス(4−N,N−ジトリアミノフェニル)シクロヘキサ
ン等のジアミン系化合物の他に、ヒドラゾン系化合物、
スチルベン系化合物等が用いられている。また、発光物
質には、上記トリス(8−ヒドロキシキノリン)アルミ
ニウム等の金属錯体化合物の他に、ジスチリルベンゼン
化合物、ペリレン系化合物等が用いられている。両層と
もにスピンコ−ト、キャスティング、LB法、抵抗加熱
蒸着、電子ビ−ム蒸着等により成膜できるが、現在のと
ころ発光特性面で優れていることから抵抗加熱蒸着法が
主流である。また、両層の膜厚は、抵抗加熱蒸着法にお
いては、それぞれ200〜3000Å、好適には300
〜1500Åである。最後に負極5を蒸着にて形成す
る。なお、該電極5用材料としては仕事関数の小さいM
g,Mg/Ag,In,Ca,Al等が用いられる。
【0006】図2は他の素子構造をしめす断面図であ
る。(発光は図の矢印に示す方向に進む)。ガラス等の
透明基板1上に金、ニッケル等の半透膜やインジウムス
ズ酸化物(ITO)、酸化スズ(SnO2 )等の透明導
電膜からなる正極2を、図1と同様に形成し、正孔注入
層3,発光層4さらに電子注入層5の3層を成膜する。
該電子注入剤については、ジフェノキノン系化合物、ペ
リレン系化合物、オキサジアゾ−ル系化合物等が用いら
れている。該正孔注入層3,発光層4および電子注入層
5の膜厚はすべて上記図1の場合と同様にそれぞれ20
0〜3000Å,好適には300〜1500Åである。
最後に負極6をMg,Mg/Ag,In,Ca,Al等
を用いて蒸着する。
る。(発光は図の矢印に示す方向に進む)。ガラス等の
透明基板1上に金、ニッケル等の半透膜やインジウムス
ズ酸化物(ITO)、酸化スズ(SnO2 )等の透明導
電膜からなる正極2を、図1と同様に形成し、正孔注入
層3,発光層4さらに電子注入層5の3層を成膜する。
該電子注入剤については、ジフェノキノン系化合物、ペ
リレン系化合物、オキサジアゾ−ル系化合物等が用いら
れている。該正孔注入層3,発光層4および電子注入層
5の膜厚はすべて上記図1の場合と同様にそれぞれ20
0〜3000Å,好適には300〜1500Åである。
最後に負極6をMg,Mg/Ag,In,Ca,Al等
を用いて蒸着する。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】この様に、有機材料を
用いた薄膜発光素子は低電圧駆動やフルカラ−化の可能
性等を強く示唆しているものの、性能面で解決しなけれ
ばならない課題が多く残されている。特に1万時間程度
の長時間駆動に伴う特性劣化の問題は乗り越えなければ
ならないハ−ドルである。また、該有機薄膜の膜厚は1
μm以下であるため、成膜性が良好で、成膜中にピンホ
−ル等の電気的欠陥を生じないこと、さらには、薄膜で
あるがために、発光時に素子に加わる電界及び/または
電流により短絡しない様な材料開発および成膜法の検討
が必要である。特に、抵抗加熱蒸着膜においては電気的
欠陥が発生しやすく、かつ発光時に短絡しやすいといっ
た問題がある。さらには、量産性の観点から、大量製造
が容易で安価な有機材料の開発や素子形成方法の改良等
も重要な技術課題である。
用いた薄膜発光素子は低電圧駆動やフルカラ−化の可能
性等を強く示唆しているものの、性能面で解決しなけれ
ばならない課題が多く残されている。特に1万時間程度
の長時間駆動に伴う特性劣化の問題は乗り越えなければ
ならないハ−ドルである。また、該有機薄膜の膜厚は1
μm以下であるため、成膜性が良好で、成膜中にピンホ
−ル等の電気的欠陥を生じないこと、さらには、薄膜で
あるがために、発光時に素子に加わる電界及び/または
電流により短絡しない様な材料開発および成膜法の検討
が必要である。特に、抵抗加熱蒸着膜においては電気的
欠陥が発生しやすく、かつ発光時に短絡しやすいといっ
た問題がある。さらには、量産性の観点から、大量製造
が容易で安価な有機材料の開発や素子形成方法の改良等
も重要な技術課題である。
【0008】この発明は上述の点に鑑みてなされその目
的は樹脂分散膜におけるバインダを開発することにより
成膜性に優れる有機薄膜発光素子を提供することにあ
る。
的は樹脂分散膜におけるバインダを開発することにより
成膜性に優れる有機薄膜発光素子を提供することにあ
る。
【0009】
【課題を解決するための手段】上述の目的はこの発明に
よれば、正極と負極とからなる一対の電極と、その間に
はさまれた発光層と電荷注入層とを有し、電荷注入層は
電子注入層と正孔注入層のうちの少なくとも正孔注入層
からなり、この際正孔注入層は正孔注入物質とポリスチ
レン樹脂からなるとする事により達成される。
よれば、正極と負極とからなる一対の電極と、その間に
はさまれた発光層と電荷注入層とを有し、電荷注入層は
電子注入層と正孔注入層のうちの少なくとも正孔注入層
からなり、この際正孔注入層は正孔注入物質とポリスチ
レン樹脂からなるとする事により達成される。
【0010】ジアミン系化合物の具体例が化学式I−1
ないし化学式I−14にヒドラゾン系化合物が化学式II
−1ないし化学式II−21にスチルベン系化合物が化学
式III-1ないし化学式III-4に示される。
ないし化学式I−14にヒドラゾン系化合物が化学式II
−1ないし化学式II−21にスチルベン系化合物が化学
式III-1ないし化学式III-4に示される。
【0011】
【化5】
【0012】
【化6】
【0013】
【化7】
【0014】
【化8】
【0015】
【化9】
【0016】
【作用】発光層と正孔注入層を積層してなる有機薄膜発
光素子において、該正孔注入層に正孔注入物質とポリス
チレン樹脂バインダ−の分散膜を用いることにより、良
好な膜形成可能で、膜中に発生するピンホ−ル等の電気
的欠陥が少なく、発光時に素子にかかる電界または電流
により発生する短絡現象を防げるといった作用があると
ともに、発光特性においても良好な結果をもたらす。ま
た、該正孔注入物質として、ジアミン系化合物、ヒドラ
ゾン系化合物及びスチルベン系化合物が良好な結果をも
たらす。
光素子において、該正孔注入層に正孔注入物質とポリス
チレン樹脂バインダ−の分散膜を用いることにより、良
好な膜形成可能で、膜中に発生するピンホ−ル等の電気
的欠陥が少なく、発光時に素子にかかる電界または電流
により発生する短絡現象を防げるといった作用があると
ともに、発光特性においても良好な結果をもたらす。ま
た、該正孔注入物質として、ジアミン系化合物、ヒドラ
ゾン系化合物及びスチルベン系化合物が良好な結果をも
たらす。
【0017】
【実施例】次にこの発明の実施例を図面に基づいて説明
する。この発明において、正孔注入層として導入した正
孔注入物質とポリスチレンバインダ−からなる分散膜
は、両者を適当な有機溶媒中に溶解せしめてなる塗液を
用いて、スピンコ−ト、キャスティング等により形成さ
れる。該塗液の配合時における正孔注入物質の、正孔注
入物質とポリスチレンバインダ−全量に占める重量比は
30〜80%、好適には40〜70%である。また、該
正孔注入層分散膜の膜厚は、500〜3000Å、好適
には800〜2000Åである。
する。この発明において、正孔注入層として導入した正
孔注入物質とポリスチレンバインダ−からなる分散膜
は、両者を適当な有機溶媒中に溶解せしめてなる塗液を
用いて、スピンコ−ト、キャスティング等により形成さ
れる。該塗液の配合時における正孔注入物質の、正孔注
入物質とポリスチレンバインダ−全量に占める重量比は
30〜80%、好適には40〜70%である。また、該
正孔注入層分散膜の膜厚は、500〜3000Å、好適
には800〜2000Åである。
【0018】実施例1
膜厚〜1000ÅのITOを設けた50mm角のガラス
を基板とし該基板をスピンコ−タにセットした後、前記
ジアミン系化合物のうちI−1で示した化合物1重量
部、ポリスチレン樹脂1重量部をジクロロメタン500
重量部にて溶解させた塗液を用いて、回転数5000r
pmにて該基板上に〜1000Åスピンコ−トし、正孔
注入層とした。次に、該正孔注入層をコ−トした基板を
抵抗加熱蒸着装置内にセットし、発光層を形成した。成
膜に際して、真空槽内は6×10-6Torrまで減圧し
た。発光剤には、(8−ヒドロキシキノリン)アルミニ
ウムを用い、ボ−ト温度100〜3000 Cの範囲で加
熱し、成膜速度を2Å/秒の条件下で600Å形成し
た。最後に、試料を真空槽から取り出し、直径5mmの
ドットパタ−ン16個からなるステンレス製マスクを取
りつけ、新たに抵抗加熱蒸着装置内にセットし負極とし
てMg/Ag(10:1の比率)を形成した。
を基板とし該基板をスピンコ−タにセットした後、前記
ジアミン系化合物のうちI−1で示した化合物1重量
部、ポリスチレン樹脂1重量部をジクロロメタン500
重量部にて溶解させた塗液を用いて、回転数5000r
pmにて該基板上に〜1000Åスピンコ−トし、正孔
注入層とした。次に、該正孔注入層をコ−トした基板を
抵抗加熱蒸着装置内にセットし、発光層を形成した。成
膜に際して、真空槽内は6×10-6Torrまで減圧し
た。発光剤には、(8−ヒドロキシキノリン)アルミニ
ウムを用い、ボ−ト温度100〜3000 Cの範囲で加
熱し、成膜速度を2Å/秒の条件下で600Å形成し
た。最後に、試料を真空槽から取り出し、直径5mmの
ドットパタ−ン16個からなるステンレス製マスクを取
りつけ、新たに抵抗加熱蒸着装置内にセットし負極とし
てMg/Ag(10:1の比率)を形成した。
【0019】実施例2
実施例1と同様に膜厚〜1000ÅのITOを設けた5
0mm角のガラスを基板に用い実施例1と同一材料、同
一製法、同一条件下で正孔注入層と発光層を形成する。
次に、発光層形成後、真空槽の真空を破らず、続けて電
子注入層として下記(IV)に構造式を示したペリレンテ
トラカルボン酸誘導体を、ボ−ト加熱温度150〜30
0℃、成膜速度3Å/秒の条件下で700Å形成した。
最後に、上記実施例1と同様に、試料を真空槽から取り
出し、直径5mmのドットパタ−ン16個からなるステ
ンレス製マスクを取りつけ、新たに抵抗加熱蒸着装置内
にセットし負極としてMg/Ag(10:1の比率)を
形成した。
0mm角のガラスを基板に用い実施例1と同一材料、同
一製法、同一条件下で正孔注入層と発光層を形成する。
次に、発光層形成後、真空槽の真空を破らず、続けて電
子注入層として下記(IV)に構造式を示したペリレンテ
トラカルボン酸誘導体を、ボ−ト加熱温度150〜30
0℃、成膜速度3Å/秒の条件下で700Å形成した。
最後に、上記実施例1と同様に、試料を真空槽から取り
出し、直径5mmのドットパタ−ン16個からなるステ
ンレス製マスクを取りつけ、新たに抵抗加熱蒸着装置内
にセットし負極としてMg/Ag(10:1の比率)を
形成した。
【0020】
【化10】
【0021】以上に示した2つの実施例における有機薄
膜発光素子に、直流電圧を印加したところ、ともに緑色
(発光中心波長:550nm)の均一な発光が得られ
た。また、ともに該50mm 角のガラス基板上の直径
5mmのドットパタ−ン16個のパタ−ンすべてが、短
絡現象をおこさず、発光特性ばらつき5%の範囲内にお
さまった。さらに、実施例1の素子においては、印加電
圧15V下で、2400cd/m2 (電流密度100m
A/cm2 )、実施例2の素子においては、印加電圧1
5V下で、2520cd/m2 (電流密度95mA/c
m2 )の高輝度発光が得られた。
膜発光素子に、直流電圧を印加したところ、ともに緑色
(発光中心波長:550nm)の均一な発光が得られ
た。また、ともに該50mm 角のガラス基板上の直径
5mmのドットパタ−ン16個のパタ−ンすべてが、短
絡現象をおこさず、発光特性ばらつき5%の範囲内にお
さまった。さらに、実施例1の素子においては、印加電
圧15V下で、2400cd/m2 (電流密度100m
A/cm2 )、実施例2の素子においては、印加電圧1
5V下で、2520cd/m2 (電流密度95mA/c
m2 )の高輝度発光が得られた。
【0022】実施例3
正孔注入物質に前記ヒドラゾン系化合物のうちII−6を
用いて、その他の材料製法、条件は実施例1と同一にし
て素子を形成した。上記実施例における有機発光素子
に、直流電圧を印加したところ、緑色(発光中心波長:
550nm)の均一な発光が得られた。また、該50m
m角のガラス基板上の直径5mmのドットパタ−ン16
個のパタ−ンすべてが、短絡現象をおこさず、発光特性
ばらつき7%の範囲内におさまった。さらに、印加電圧
15V下で、2050cd/m2 (電流密度120mA
/cm2 )の高輝度発光が得られた。
用いて、その他の材料製法、条件は実施例1と同一にし
て素子を形成した。上記実施例における有機発光素子
に、直流電圧を印加したところ、緑色(発光中心波長:
550nm)の均一な発光が得られた。また、該50m
m角のガラス基板上の直径5mmのドットパタ−ン16
個のパタ−ンすべてが、短絡現象をおこさず、発光特性
ばらつき7%の範囲内におさまった。さらに、印加電圧
15V下で、2050cd/m2 (電流密度120mA
/cm2 )の高輝度発光が得られた。
【0023】実施例4
正孔注入物質に前記スチルベン系化合物のうちIII-2を
用いて、その他の材料製法、条件は実施例1と同一にし
て素子を形成した。上記実施例における有機発光素子
に、直流電圧を印加したところ、緑色(発光中心波長
:550nm)の均一な発光が得られた。また、該5
0mm角のガラス基板上の直径5mmのドットパタ−ン
16個のパタ−ンすべてが、短絡現象をおこさず、発光
特性ばらつき7%の範囲内におさまった。さらに、印加
電圧15V下で、2240cd/m2 (電流密度110
mA/cm2 )の高輝度発光が得られた。
用いて、その他の材料製法、条件は実施例1と同一にし
て素子を形成した。上記実施例における有機発光素子
に、直流電圧を印加したところ、緑色(発光中心波長
:550nm)の均一な発光が得られた。また、該5
0mm角のガラス基板上の直径5mmのドットパタ−ン
16個のパタ−ンすべてが、短絡現象をおこさず、発光
特性ばらつき7%の範囲内におさまった。さらに、印加
電圧15V下で、2240cd/m2 (電流密度110
mA/cm2 )の高輝度発光が得られた。
【0024】
【発明の効果】この発明によれば、正極と負極とからな
る一対の電極と、その間にはさまれた発光層と電荷注入
層とを有し、電荷注入層は電子注入層と正孔注入層のう
ちの少なくとも正孔注入層からなり、この際正孔注入層
は正孔注入物質とポリスチレン樹脂からなるとするの
で、良好な膜形成可能で、膜中に発生するピンホ−ル等
の電気的欠陥が少なく、発光時に素子にかかる電界また
は電流により発生する短絡現象を防ぐことができ高輝度
発光性に優れる有機薄膜発光素子が得られる。
る一対の電極と、その間にはさまれた発光層と電荷注入
層とを有し、電荷注入層は電子注入層と正孔注入層のう
ちの少なくとも正孔注入層からなり、この際正孔注入層
は正孔注入物質とポリスチレン樹脂からなるとするの
で、良好な膜形成可能で、膜中に発生するピンホ−ル等
の電気的欠陥が少なく、発光時に素子にかかる電界また
は電流により発生する短絡現象を防ぐことができ高輝度
発光性に優れる有機薄膜発光素子が得られる。
【図1】積層構造型の素子の構造を示す断面図
【図2】積層構造型の素子の他の構造をしめす断面図
1 絶縁性透明基板
2 正極
3 正孔注入層
4 発光層
5 電子注入層
6 負極
7 直流電源
Claims (4)
- 【請求項1】正極と負極とからなる一対の電極と、その
間にはさまれた発光層と電荷注入層とを有し、 電荷注入層は電子注入層と正孔注入層のうちの少なくと
も正孔注入層からなり、この際正孔注入層は正孔注入物
質とポリスチレン樹脂からなることを特徴とする有機薄
膜発光素子。 - 【請求項2】請求項1記載の素子において、正孔注入物
質は一般式(I)で示されるジアミン系化合物であるこ
とを特徴とする有機薄膜発光素子。 【化1】 (一般式(I)においてAは下記一般式(IA),(IB)
又は(IC) で示される。 【化2】 R1 、R2 、R3 、R4 は、置換されてもよいアルキル
基,アリル基,アリ−ル基,アラルキル基である。また
一般式(IA),(IB) 又は(IC) においてR5 、R6 、
R7 、R8 は水素原子,ハロゲン,置換されてもよいア
ルキル基,アルコキシ基、Xは−C(R19)(R20)−
(R19、R20は水素原子,アルキル基),─O─,─S
─,>C6 H10である。) - 【請求項3】請求項1記載の素子において、正孔注入物
質は一般式(II)で示されるヒドラゾン系化合物である
ことを特徴とする有機薄膜発光素子。 【化3】 ( R9 は、水素原子,アルキル基,ハロゲン原子,ア
ルコキシ基をあらわし、R10、R11は、置換されてもよ
いアルキル基,アリ−ル基,アラルキル基、R12、R13
は置換されてもよいアルキル基,アリ−ル基,アラルキ
ル基,テニル基である。) - 【請求項4】請求項1記載の素子において、正孔注入物
質は一般式(III )で示されるスチルベン系化合物であ
ることを特徴とする有機薄膜発光素子。 【化4】 (R14は、水素原子,アルキル基,ハロゲン基,アルコ
キシ基を表しR15、R16は、置換されてもよいアリ−ル
基,アラルキル基を表しR17、R18は、置換されてもよ
いアリ−ル基である。)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3139316A JPH0521163A (ja) | 1991-05-08 | 1991-06-12 | 有機薄膜発光素子 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3-101683 | 1991-05-08 | ||
JP10168391 | 1991-05-08 | ||
JP3139316A JPH0521163A (ja) | 1991-05-08 | 1991-06-12 | 有機薄膜発光素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0521163A true JPH0521163A (ja) | 1993-01-29 |
Family
ID=26442518
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3139316A Pending JPH0521163A (ja) | 1991-05-08 | 1991-06-12 | 有機薄膜発光素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0521163A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6033542A (en) * | 1993-07-27 | 2000-03-07 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho | Electrode and its fabrication method for semiconductor devices, and sputtering target for forming electrode film for semiconductor devices |
-
1991
- 1991-06-12 JP JP3139316A patent/JPH0521163A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6033542A (en) * | 1993-07-27 | 2000-03-07 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho | Electrode and its fabrication method for semiconductor devices, and sputtering target for forming electrode film for semiconductor devices |
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