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JPH05203347A - 高純度酸素製造のための極低温精留システム - Google Patents

高純度酸素製造のための極低温精留システム

Info

Publication number
JPH05203347A
JPH05203347A JP4296584A JP29658492A JPH05203347A JP H05203347 A JPH05203347 A JP H05203347A JP 4296584 A JP4296584 A JP 4296584A JP 29658492 A JP29658492 A JP 29658492A JP H05203347 A JPH05203347 A JP H05203347A
Authority
JP
Japan
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argon
tower
oxygen
main
feed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4296584A
Other languages
English (en)
Inventor
David R Parsnick
デイビッド・ロス・パースニック
James Robert Dray
ジェイムズ・ロバート・ドレイ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Praxair Technology Inc
Original Assignee
Praxair Technology Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=25100562&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=JPH05203347(A) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Praxair Technology Inc filed Critical Praxair Technology Inc
Publication of JPH05203347A publication Critical patent/JPH05203347A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】 【目的】 改善された回収率を有する高純度酸素製造の
ための極低温精留方法及び装置の開発。 【構成】 酸素、窒素及びアルゴンを含む供給物（空
気）５００を主熱交換器２０にて冷却し高圧塔３００及
び低圧塔２００を備える主塔設備に導入し、極低温精留
により前記供給物を窒素リッチ成分とロッチ富化成分と
に分離し、主塔設備からのアルゴン及び酸素を含む流体
１０１をアルゴン塔１００に通入して、粗アルゴン１０
３と酸素富化流体１０２とに分離し、酸素富化流体を主
塔設備に通入しそして該主塔設備から高純度酸素４３、
４７を回収しまた窒素製品４２、４００を回収するに際
して、生成する粗アルゴン１０５を蒸気１０６と液体１
０８に分離し、主熱交換器２０及びアルゴン塔ボイラー
１０９での供給物との熱交換を通してその冷凍能を主塔
設備において冷凍力として利用する。低圧塔の上方部分
内での還流比を増加することにより酸素回収率の増加を
もたらす。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、酸素、窒素及びアルゴ
ンを含む流体混合物、例えば空気の極低温精留技術に関
するものであり、特にはそうした極低温精留の使用によ
る改善された回収率での高純度酸素の製造方法及び装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】酸素、窒素及びアルゴンを含む混合物、
例えば空気の成分分離のために多く使用されている工業
的システムは、極低温精留である。こうした極低温分離
により製造される有用な製品の一つは高純度酸素であ
る。
【０００３】しかし、極低温精留による高純度酸素の製
造においては一般に、酸素純度が増加するにつれ、酸素
の収率即ち回収率が減少する。
【０００４】極低温精留による高純度酸素の回収は、極
低温精留塔設備に段数を追加することにより改善するこ
とが出来る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この方法は、
特にトレイ式塔区画が使用されるなら、極低温精留設備
の設備投資及び運転コスト両方を増大する。
【０００６】本発明の課題は、改善された回収率を有す
る高純度酸素製造のための改善された極低温精留方法を
開発することである。本発明のまた別の課題は、改善さ
れた回収率でもって高純度酸素を回収することを可能と
する極低温精留装置を開発することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明者は、アルゴン塔
において生成された粗アルゴン中の冷凍能を逸失するこ
となく、入来する供給物との熱交換を通して主塔設備に
おいて冷凍力として利用して極低温精留を推進すること
を想到した。本発明は、第１の様相において、改善され
た回収率で高純度酸素を製造する方法を提供するもので
あって、本方法は、（Ａ）酸素、窒素及びアルゴンを含
む供給物を冷却しそして該供給物を少なくとも２塔を備
える主塔設備に導入する段階と、（Ｂ）前記主塔設備に
おいて極低温精留により前記供給物を窒素リッチ成分と
酸素リッチ成分とに分離する段階と、（Ｃ）前記主塔設
備からのアルゴン及び酸素を含む流体をアルゴン塔にア
ルゴン塔供給物として通入しそして該アルゴン塔供給物
を該アルゴン塔内で極低温精留により粗アルゴンと酸素
富化流体とに分離する段階と、（Ｄ）前記酸素富化流体
を前記主塔設備に通入しそして該主塔設備から高純度酸
素を回収する段階と、（Ｅ）前記粗アルゴンを供給物と
間接熱交換状態に通して段階（Ａ）の冷却を実施する段
階とを包含する。
【０００８】本発明の別の様相は極低温精留装置にあ
り、これは、（Ａ）（１）少なくとも２つの塔を備える
主塔設備、（２）アルゴン塔、（３）該主塔設備から該
アルゴン塔内に流体を提供する手段、及び（４）該アル
ゴン塔から該主塔設備に流体を提供する手段と、（Ｂ）
主熱交換器、該主熱交換器から前記主塔設備に流体を提
供する手段、及び前記アルゴン塔から該主熱交換器に流
体を提供する手段と、（Ｃ）前記主塔設備から流体を回
収する手段とを包含する。
【０００９】（用語の定義）ここで使用するものとして
の養護「高純度酸素」とは、少なくとも９９．６％の酸
素濃度を有する流体を意味する。ここで使用するものと
しての用語「粗アルゴン」とは、少なくとも９０％のア
ルゴン濃度を有する流体を意味する。
【００１０】ここで使用するものとしての用語「塔」
は、蒸留或いは分留を実施するためのカラム或いは帯
域、即ち液体及び気体相を向流で接触して流体混合物の
分離をもたらす接触カラム或いは帯域を意味し、これは
例えば塔内に取付けられた一連の垂直方向に隔置された
トレー或いはプレートにおいて或いは塔に充填した秩序
化乃至無秩序化配列された充填物要素において蒸気及び
液体相を接触することにより実施される。蒸留塔のこれ
以上の詳細については、マックグローヒル・ブック・カ
ンパニー出版、アール．エッチ．ペリー等編「ケミカル
・エンジニアズ・ハンドブック」１３節、１３−３頁、
「連続蒸留プロセス」を参照されたい。
【００１１】用語「複塔」とは、高圧塔と低圧塔とから
なり、そして高圧塔の上端を低圧塔の下端と熱交換関係
で接触せしめた塔設備を意味するのに使用される。複塔
についての詳しい論議は、オックスフォード・ユニバー
シティ・プレス出版（１９４９年）のルヘマン著「ザ・
セパレーション・オブ・ガス」ＶＩＩ章の「工業的空気
分離」に掲載されている。
【００１２】「蒸気及び液体接触分離プロセス」は成分
に対する蒸気圧差に依存する。高蒸気圧成分（即ち、よ
り高揮発性、低沸騰点）成分は、蒸気相に濃縮する傾向
があり、他方低蒸気圧成分（即ち、より低揮発性、高沸
騰点）成分は、液体相に濃縮する傾向がある。「蒸留」
とは、揮発性成分を蒸気相に濃縮し、それにより低揮発
性成分を液体相に残すのに液体混合物の加熱作用を使用
する分離プロセスである。また、「部分凝縮」は、揮発
性成分を蒸気相に濃縮し、それにより低揮発性成分を液
体相に残すのに蒸気混合物の冷却作用を使用する分離プ
ロセスである。「精留或いは連続蒸留」とは、蒸気相と
液体相の向流処理により得られるような順次しての部分
的な蒸発及び凝縮を組み合わせる分離プロセスである。
蒸気及び液体相の向流接触は断熱的でありそして相間の
積分型或いは微分型接触を含みうる。混合物を分離する
のに精留の原理を利用する分離プロセス設備は、精留
塔、蒸留塔或いは分留塔と互換的に呼ばれることが多
い。
【００１３】用語「極低温精留」とは、２５０Ｋ以下の
温度におけるような低温で少なくとも部分的に実施され
る精留プロセスである。
【００１４】用語「間接熱交換」とは、２種の流体流れ
を相互の物理的接触或いは相互混合をもたらすことなく
熱交換関係に持ちきたすことを意味する。
【００１５】ここで使用するものとしての「アルゴン
塔」とは、アルゴンを含む供給物を処理しそして供給物
におけるアルゴン濃度を超えるアルゴン濃度を有する生
成物を製造する塔及び頂部凝縮器を備える設備を意味す
る。
【００１６】用語「平衡段」とは、存在する蒸気と液体
流れとが平衡状態にあるような蒸気と液体との間での接
触プロセスを意味する。
【００１７】
【作用】酸素、窒素及びアルゴンを含む供給物が、主熱
交換器を通して戻り流れとの間接熱交換により冷却され
る。高圧塔と低圧塔とが主塔設備を構成する。供給物の
第１部分は、ターボ膨張機に通されて冷凍能を発生した
後低圧塔に通入される。供給物の第２部分は、更に第１
及び第２分流部分に分割される。第１分流部分は高圧塔
に通入される。第２分流部分はアルゴン塔ボイラーを下
流側で通過して粗アルゴンとの間接熱交換により冷却さ
れ、高圧塔に通入される。高圧塔内では、供給物からの
供給流れは、極低温精留により窒素リッチ蒸気と酸素リ
ッチ液体とに分離される。酸素リッチ液体は、アルゴン
塔の頂部凝縮器に通入される。低圧塔からの酸素とアル
ゴンを含む流体流れは、アルゴン塔内に通入され、ここ
で極低温精留により酸素富化流体と粗アルゴンとに分離
される。酸素富化流体は、アルゴン塔から低圧塔内に通
される。粗アルゴン蒸気はアルゴン塔頂部凝縮器に通入
され、部分凝縮し、同時に酸素リッチ液体を部分蒸発せ
しめる。生成する酸素リッチ蒸気と酸素リッチ液体は低
圧塔に通入される。生成する２相粗アルゴン流れは相分
離器に通入され、アルゴン蒸気とアルゴン液体に分離さ
れる。アルゴン蒸気流れの冷凍能が熱交換器を通過せし
めることにより回収されうる。アルゴン液体流れは供給
物第２分流部分との間接熱交換により揮化され、その
後、生成する蒸気流れの冷凍能が熱交換器において回収
される。こうして、粗アルゴンは入来する供給物を幾つ
かの形で冷却するのに使用される。
【００１８】アルゴン塔において生成された粗アルゴン
中の冷凍能は逸失されず、入来する供給物との熱交換を
通して主塔設備において冷凍力として利用されて極低温
精留を推進する。アルゴン塔ボイラーが使用されるな
ら、そこでの熱交換は粗アルゴンからの冷凍能を更に抽
出しそしてそれを主塔設備に移す役目をなす。この回収
された冷凍能は、回収されなければ低圧塔への供給空気
のターボ膨張による等して主塔設備に供給されることに
なる冷凍力量をそれだけ減じる。低圧塔タービン空気量
を減じることは、低圧塔の上方部分内での還流比を増加
することにより酸素回収率の増加をもたらす。
【００１９】
【実施例】図１を参照すると、例えば空気のような酸
素、窒素及びアルゴンを含む供給物５００が、主熱交換
器２０を通して以下に詳しく説明する戻り流れとの間接
熱交換により冷却される。供給物の第１部分２１は、タ
ーボ膨張機３２に通されて冷凍能（冷凍力、冷気）を発
生しそして生成する流れ２２は熱交換器３０に通されそ
して後流れ２３として低圧塔２００に通入される。供給
物の第２部分２４は、更に第１分流部分３４と第２分流
部分３１０とに分割される。第１分流部分３４は、少な
くとも２つの塔を備える主塔設備の高圧塔３００に通入
される。高圧塔３００は、一般に６５〜９０psia（４．
５５〜６．３kg/cm2）の範囲内の圧力で運転されてい
る。図１に例示される具体例では、主塔設備は、高圧塔
３００と低圧塔２００を備える複塔設備から基本的に構
成される。本発明の実施に使用しうる主塔設備の他の具
体例としては、２つ以上の塔を直列に配列したものを含
む。第２分流部分３１０は、熱交換器或いはアルゴン塔
ボイラー１０９を下流側で通過することによる粗アルゴ
ンとの間接熱交換により冷却される。その後、生成する
流れ３１１は高圧塔に通入される。
【００２０】高圧塔３００内では、供給物５００から派
生する該塔内への幾つかの供給流れが、極低温精留によ
り窒素リッチ蒸気と酸素リッチ液体とに分離される。酸
素リッチ液体３０２は、高圧塔３００から取り出され、
熱交換器２２１を部分的に通過することによる間接熱交
換により冷却されそしてアルゴン塔１００の頂部凝縮器
１０４に通入され、ここで自身は部分的に蒸発せしめら
れつつ同時に粗アルゴンを凝縮せしめる。生成する酸素
リッチ蒸気と残りの酸素リッチ液体は流れ３０３及び３
０４として低圧塔２００にそれぞれ通入される。低圧塔
２００は、高圧塔３００より低い圧力で運転されそして
一般に１６〜２５psia（１．１〜１．８kg/cm2）の圧力
範囲内にある。
【００２１】窒素リッチ蒸気は流れ３５として主凝縮器
３６に通入され、ここで自身は凝縮しつつ低圧塔２００
の底液を再沸する役割をなす。生成する凝縮された窒素
リッチ液体３７は主凝縮器３６から抜き出されそしてそ
の一部３８は還流として高圧塔３００に戻して通され
る。窒素リッチ液体３７の別の部分３９は、熱交換器２
２１を部分通過することにより冷却されそして低圧塔に
還流として通入される。所望なら、流れ３９の一部４０
０は一般に９９．９５％を超える濃度を有する液体窒素
製品として回収されうる。
【００２２】低圧塔２００内で、幾つかの供給物は、極
低温精留により窒素リッチ成分と酸素リッチ成分とに分
離される。窒素リッチ成分は低圧塔２００から流れ４１
として抜き出され、熱交換器２２１及び２０を通過する
ことにより加温されそして一般に９９．９８％を超える
窒素濃度を有する気体窒素製品４２として回収されう
る。廃棄流れ２２０は、流れ４１を抜き出した水準より
低い位置で低圧塔２００から抜き出され、熱交換器２２
１及び２０を通過することにより加温されそして流れ２
２３として系外に送られ、一般には大気に放出される。
【００２３】酸素リッチ成分は低圧塔２００から抜き出
されそしてそして高純度酸素製品として回収される。図
１に例示した具体例では、高純度酸素液体流れ４３は低
圧塔２００から抜き出されそして回収される。他方、高
純度酸素蒸気流れ４５は熱交換器３０を通過することに
より加温されそして生成する高純度酸素蒸気４６は主熱
交換器２０を通過することにより加温されそして高純度
気体酸素製品４７として回収される。
【００２４】酸素とアルゴンを含む流体流れ１０１は、
低圧塔２００からアルゴン塔１００内に通入され、ここ
で極低温精留により酸素富化流体と粗アルゴンとに分離
される。酸素富化流体は、アルゴン塔１００から低圧塔
２００内に流れ１０２として通される。粗アルゴン蒸気
は流れ１０３としてアルゴン塔頂部凝縮器１０４に通入
され、ここですでに記載したように部分凝縮し、同時に
酸素リッチ液体３０２を部分蒸発せしめる。生成する２
相粗アルゴン流れ１０５は相分離器１０７に通入され、
ここでアルゴン蒸気１０６とアルゴン液体１０８に分離
される。液体アルゴンの一部４８はアルゴン塔１００に
還流として戻される。アルゴン蒸気流れ１０６は、大気
に排出しても良いし或いは塔１００の頂部の圧力が充分
なら蒸気流れ１０６における冷凍能が熱交換器２０を通
過せしめることにより回収されうる。圧力が充分でない
場合に対しては、アルゴン液体流れ１０８は液体ヘッド
によるなどして加圧されそしてすでに説明したように下
流側供給流れ３１０との熱交換器１０９を通しての間接
熱交換により揮化される。その後、生成する蒸気流れ１
１０の冷凍能が熱交換器２０において回収される。図１
に例示した具体例はこれら２つの方法の両方を示し、こ
こでは蒸気流れ１０６と１１０が合流して粗アルゴン蒸
気流れ１１１を形成する。しかし、粗アルゴン流れ１１
１はまた流れ１０６或いは流れ１１０いずれかのみから
全量を構成するようにもできることが理解されよう。
【００２５】本発明の別の具体例において、粗アルゴン
蒸気流れ１０３は頂部凝縮器１０４において全量凝縮さ
れ、以って相分離器１０７２及び流れ１０６の必要性を
排除することができる。
【００２６】粗アルゴン蒸気は入来する供給物を冷却す
るように主熱交換器２０において入来する供給物との間
接熱交換により加温される。好ましくは、図１に例示す
るように、粗アルゴン流れ１１１は廃棄流れ２２０と合
流された後供給物を冷却する役目を果たす。別様には、
流れ１１１は、別個に熱交換器２０に通され、それに際
して粗アルゴン流れ１１１の一部或いは全部が回収され
そして更に処理されうる。所望なら、粗アルゴン流れの
一部１１２が熱交換器を通すことなく回収されそして一
つ以上の追加分離段階を経由して精製アルゴンを生成す
るようにすることもできる。
【００２７】本発明の実施でもって、アルゴン塔におい
て生成された粗アルゴン中の冷凍能は逸失されず、入来
する供給物に移行され、結局主塔設備において利用され
て極低温精留を推進する。熱交換器或いはアルゴン塔ボ
イラー１０９が使用されるなら、そこでの熱交換は粗ア
ルゴンからの冷凍能を更に抽出しそしてそれを主塔設備
に移す役目をなす。この回収された冷凍能は、回収され
なければ低圧塔への供給空気のターボ膨張による等して
主塔設備に供給されることを必要とする所要冷凍力量を
それだけ減じる。低圧塔（上方塔）タービン空気をそれ
だけ減じることは、低圧塔（上方塔）の上方部分内での
還流比を増加することにより酸素回収率の増加をもたら
す。高圧塔（下方塔）への流量が一層高くなるので還流
比は増加し、高圧塔（下方塔）への還流の流量増加をも
たらす。低圧塔（上方塔）への流量減少はまた低圧塔
（上方塔）の頂部での蒸気流れを減じる。
【００２８】図２は、粗アルゴンを回収せずそして供給
空気総計量の１％に相当する液体窒素流れを回収する本
発明の計算例をグラフの形で示す。製品酸素回収率を縦
軸としてそして製品酸素純度を横軸として測定した。
「酸素回収率」は、設備への供給物中に含まれる酸素の
量に対する製品酸素中に含まれる酸素の量の比率として
定義することができる。
【００２９】曲線Ａは、本発明の実施で得られた結果を
表す。曲線Ｂは、比較目的で、従来型式の複塔設備を使
用してアルゴン回収なしに得られた計算結果を表す。両
方の場合において、データは、低圧塔が秩序化された即
ち規則的に配列された充填物を使用しそして廃棄流れ抜
き出し点より下側に６０段を有する複塔設備について計
算された。図２からわかるように、本発明は、９９．７
４％の純度において従来設備を使用して達成されるより
も０．８％相当の回収率の増加を可能ならしめる。更
に、本発明の回収率の利益は酸素製品純度が９９．９７
％に増加するとき１．７％相当まで増加する。
【００３０】上述した本発明計算例及び比較計算例を液
体窒素回収率を供給空気の４．５％であるように増加し
たことを除いて繰り返しそして結果を図３に例示した。
図３からわかるように、９９．７４％の純度において従
来設備で達成されたより酸素回収率において３．４％相
当の増加を可能ならしめそして回収率増加の利益は９
９．９０％の酸素純度において４．３％まで増加する。
その後、もっと高い純度になると回収率の増加の利益は
やや落ちるが、依然として相当の利益が得られている。
【００３１】
【発明の効果】本発明の極低温精留システムの使用によ
り、主塔設備での追加段数の使用を必要とすることなく
高純度酸素の回収率を増加することができる。
【００３２】本発明の好ましい具体例について説明した
が、本発明の範囲内で他の多くの変更をなしうることを
銘記されたい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の好ましい具体例の概略流れ図である。
【図２】本発明の実施により得られた結果をアルゴン塔
を使用することなく従来設備で得られた結果と比較する
グラフである。
【図３】別の実施条件で本発明の実施により得られた結
果をアルゴン塔を使用することなく従来設備で得られた
結果と比較するグラフである。
【符号の説明】
５００ 酸素、窒素及びアルゴンを含む供給物 ２０ 主熱交換器 ２１ 供給物の第１部分 ２４ 供給物の第２部分 ３４、３１０ 第２部分の第１及び第２分流部分 ３２ ターボ膨張機 ３０、２２１ 熱交換器 ２００ 低圧塔 ３００ 高圧塔 ３６ 主凝縮器 １００ アルゴン塔 １０４ アルゴン塔頂部凝縮器 １０９ アルゴン塔ボイラー（熱交換器） １０７ 相分離器 ３０２ 酸素リッチ液体 ３０３ 酸素リッチ蒸気 ３０４ 酸素リッチ液体 ３５ 窒素リッチ蒸気 ３７ 窒素リッチ液体 ３８ 還流 ３９ 窒素リッチ液体 ４００ 液体窒素製品 ４１ 窒素リッチ蒸気 ４２ 気体窒素製品 ４３ 高純度液体酸素製品 ４５、４６ 高純度酸素蒸気 ４７ 高純度気体酸素製品 ２２０ 廃棄流れ １０１ 酸素とアルゴンとを含む流体 １０２ 酸素富化流体 １０３ 粗アルゴン蒸気 １０５ ２相粗アルゴン １０６ アルゴン蒸気 １０８ アルゴン液体 ４８ 液体アルゴン １１０ アルゴン蒸気 １１１ 粗アルゴン蒸気
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年１２月２１日
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 改善された回収率で高純度酸素を製造す
    るための極低温精留方法であって、（Ａ）酸素、窒素及
    びアルゴンを含む供給物を冷却しそして該供給物を少な
    くとも２塔を備える主塔設備に導入する段階と、（Ｂ）
    前記主塔設備において極低温精留により前記供給物を窒
    素リッチ成分と酸素リッチ成分とに分離する段階と、
    （Ｃ）前記主塔設備からのアルゴン及び酸素を含む流体
    をアルゴン塔にアルゴン塔供給物として通入しそして該
    アルゴン塔供給物を該アルゴン塔内で極低温精留により
    粗アルゴンと酸素富化流体とに分離する段階と、（Ｄ）
    前記酸素富化流体を前記主塔設備に通入しそして該主塔
    設備から高純度酸素を回収する段階と、（Ｅ）前記粗ア
    ルゴンを供給物と間接熱交換状態に通して段階（Ａ）の
    冷却を実施する段階とを包含する高純度酸素製造方法。
  2. 【請求項２】 粗アルゴンの少なくとも一部が供給物と
    の熱交換後大気に放出される請求項１の方法。
  3. 【請求項３】 粗アルゴンの少なくとも一部が供給物と
    の熱交換後回収される請求項１の方法。
  4. 【請求項４】 粗アルゴンを供給物との間接熱交換に通
    す前に液体粗アルゴンを供給物の下流側分流部分との間
    接熱交換により気化する段階を更に含む請求項１の方
    法。
  5. 【請求項５】 窒素富化成分を製品窒素として回収する
    段階を更に含む請求項１の方法。
  6. 【請求項６】 主塔設備から液体窒素を回収する段階を
    更に含む請求項１の方法。
  7. 【請求項７】 極低温精留装置であって、（Ａ）（１）
    少なくとも２つの塔を備える主塔設備、（２）アルゴン
    塔、（３）該主塔設備から該アルゴン塔内に流体を提供
    する手段、及び（４）該アルゴン塔から該主塔設備に流
    体を提供する手段と、（Ｂ）主熱交換器、該主熱交換器
    から前記主塔設備似流体を提供する手段、及び前記アル
    ゴン塔から該主熱交換器に流体を提供する手段と、
    （Ｃ）前記主塔設備から流体を回収する手段とを包含す
    る極低温精留装置。
  8. 【請求項８】 アルゴン塔ボイラー、供給物をアルゴン
    塔ボイラーに通しそして該アルゴン塔ボイラーから主塔
    設備に通す手段、流体をアルゴン塔からアルゴン塔ボイ
    ラーにそして該アルゴン塔ボイラーから主熱交換器に通
    す手段を更に含む請求項７の装置。
  9. 【請求項９】 主塔設備が複塔を備える請求項７の装
    置。
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