JPH05188337A - 光シャッタアレイ - Google Patents
光シャッタアレイInfo
- Publication number
- JPH05188337A JPH05188337A JP4002154A JP215492A JPH05188337A JP H05188337 A JPH05188337 A JP H05188337A JP 4002154 A JP4002154 A JP 4002154A JP 215492 A JP215492 A JP 215492A JP H05188337 A JPH05188337 A JP H05188337A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical shutter
- optical
- array
- function
- shutter array
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/03—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect
- G02F1/055—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect the active material being a ceramic
- G02F1/0551—Constructional details
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 カラーディスプレイ用ヘッド又はカラープリ
ンタ用ヘッド等に容易に使用することができる光シャッ
タアレイを得る。 【構成】 電気光学効果を有する材料からなる３列の光
シャッタ部１０ａ，１０ｂ，１０ｃを設ける。この光シ
ャッタ部１０ａ〜１０ｃのうち、上面のシャッタ窓にア
ルミ膜（図においてドット表示されている部分がアルミ
膜が形成されている部分である）を設けていない光シャ
ッタ部１０ａ〜１０ｃが光シャッタ機能を発揮し、シャ
ッタ窓にアルミ膜を設けた光シャッタ部１０ａ〜１０ｃ
が電極機能を発揮する。すなわち、光シャッタ機能を発
揮する光シャッタ部１０ａ〜１０ｃは３列千鳥状に位置
している。
ンタ用ヘッド等に容易に使用することができる光シャッ
タアレイを得る。 【構成】 電気光学効果を有する材料からなる３列の光
シャッタ部１０ａ，１０ｂ，１０ｃを設ける。この光シ
ャッタ部１０ａ〜１０ｃのうち、上面のシャッタ窓にア
ルミ膜（図においてドット表示されている部分がアルミ
膜が形成されている部分である）を設けていない光シャ
ッタ部１０ａ〜１０ｃが光シャッタ機能を発揮し、シャ
ッタ窓にアルミ膜を設けた光シャッタ部１０ａ〜１０ｃ
が電極機能を発揮する。すなわち、光シャッタ機能を発
揮する光シャッタ部１０ａ〜１０ｃは３列千鳥状に位置
している。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、カラーディスプレイ用
ヘッド又はカラープリンタ用ヘッド等に使用される光シ
ャッタアレイ、特に、電気光学効果を有する材料で構成
された光シャッタ部が複数配置された光シャッタアレイ
に関する。
ヘッド又はカラープリンタ用ヘッド等に使用される光シ
ャッタアレイ、特に、電気光学効果を有する材料で構成
された光シャッタ部が複数配置された光シャッタアレイ
に関する。
【０００２】
【従来の技術と課題】従来より、ＰＬＺＴ等の電気光学
効果を有する材料で構成された光シャッタ部を２列に配
置した光シャッタアレイが知られている。この光シャッ
タアレイを、例えばカラーディスプレイ用ヘッド等に使
用する場合、カラーフィルタパネルと組み合わせて使用
される。ところが、光シャッタ部を２列に配置した光シ
ャッタアレイの場合、レッド、グリーン、ブルーのフィ
ルタ領域を１ドット単位毎に繰り返して配置した構造の
カラーフィルタパネルを使用する必要がある。このカラ
ーフィルタパネルは構造が複雑であることから高価で、
しかも取り付けの際の位置合わせが難しいという問題点
がある。従って、この光シャッタアレイをカラーディス
プレイ用ヘッド等に使用することは、製造及びコストの
観点から困難である。
効果を有する材料で構成された光シャッタ部を２列に配
置した光シャッタアレイが知られている。この光シャッ
タアレイを、例えばカラーディスプレイ用ヘッド等に使
用する場合、カラーフィルタパネルと組み合わせて使用
される。ところが、光シャッタ部を２列に配置した光シ
ャッタアレイの場合、レッド、グリーン、ブルーのフィ
ルタ領域を１ドット単位毎に繰り返して配置した構造の
カラーフィルタパネルを使用する必要がある。このカラ
ーフィルタパネルは構造が複雑であることから高価で、
しかも取り付けの際の位置合わせが難しいという問題点
がある。従って、この光シャッタアレイをカラーディス
プレイ用ヘッド等に使用することは、製造及びコストの
観点から困難である。
【０００３】そこで、本発明の課題は、カラーディスプ
レイ用ヘッド又はカラープリンタ用ヘッド等に容易に使
用することができる光シャッタアレイを提供することに
ある。
レイ用ヘッド又はカラープリンタ用ヘッド等に容易に使
用することができる光シャッタアレイを提供することに
ある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するた
め、本発明に係る光シャッタアレイは、電気光学効果を
有する材料からなる複数の光シャッタ部を少なくとも３
列に配置し、千鳥状に位置した光シャッタ部を残して光
シャッタ部の窓部分に電極膜を設けたことを特徴とす
る。
め、本発明に係る光シャッタアレイは、電気光学効果を
有する材料からなる複数の光シャッタ部を少なくとも３
列に配置し、千鳥状に位置した光シャッタ部を残して光
シャッタ部の窓部分に電極膜を設けたことを特徴とす
る。
【０００５】
【作用】以上の構成において、複数の光シャッタ部を少
なくとも３列に配置したため、この光シャッタアレイを
例えばカラーディスプレイ用ヘッド等に使用する場合、
カラーフィルタパネルはレッド、グリーン、ブルーの領
域をそれぞれ前記光シャッタ部の列単位毎に配置した構
造のものが使用される。従って、従来のカラーフィルタ
パネルと比較して構造が簡略なカラーフィルタを使用し
てカラーディスプレイ用ヘッド等が作製される。
なくとも３列に配置したため、この光シャッタアレイを
例えばカラーディスプレイ用ヘッド等に使用する場合、
カラーフィルタパネルはレッド、グリーン、ブルーの領
域をそれぞれ前記光シャッタ部の列単位毎に配置した構
造のものが使用される。従って、従来のカラーフィルタ
パネルと比較して構造が簡略なカラーフィルタを使用し
てカラーディスプレイ用ヘッド等が作製される。
【０００６】また、千鳥状に位置している光シャッタ部
を残して光シャッタ部の窓部分に電極膜を設けたため、
千鳥状に位置している光シャッタ部は本来の光シャッタ
機能を発揮し、その他の光シャッタ部は電極機能を発揮
する。そして、光シャッタ機能を発揮する光シャッタ部
は、電極機能を発揮する光シャッタ部を利用することに
より外部回路と容易に接続される。
を残して光シャッタ部の窓部分に電極膜を設けたため、
千鳥状に位置している光シャッタ部は本来の光シャッタ
機能を発揮し、その他の光シャッタ部は電極機能を発揮
する。そして、光シャッタ機能を発揮する光シャッタ部
は、電極機能を発揮する光シャッタ部を利用することに
より外部回路と容易に接続される。
【０００７】
【実施例】以下、本発明に係る光シャッタアレイの一実
施例を製造方法と共に添付図面を参照して説明する。ま
ず、図１に示すように、平板状長尺のベース部材１の表
面に約１μｍの厚さのレジスト膜２をスピンコート等の
手段にて形成する。ベース部材１の材料としては電気光
学効果を有する材料（例えば、ＰＬＺＴ等）が用いられ
る。ベース部材１の表裏面は予め光学研磨されている。
施例を製造方法と共に添付図面を参照して説明する。ま
ず、図１に示すように、平板状長尺のベース部材１の表
面に約１μｍの厚さのレジスト膜２をスピンコート等の
手段にて形成する。ベース部材１の材料としては電気光
学効果を有する材料（例えば、ＰＬＺＴ等）が用いられ
る。ベース部材１の表裏面は予め光学研磨されている。
【０００８】次に、図２に示すように、フォトリソグラ
フィーの技術を利用して後述の光シャッタ部（特に、光
シャッタ機能を発揮する光シャッタ部）１０のシャッタ
窓に相当する部分のレジスト膜２ａを残しその他の部分
のレジスト膜を除去する。残されたレジスト膜２ａ，２
ｂ，２ｃは一辺の長さが８０μｍの平行四辺形状のもの
で、ベース部材１の長手方向に３列千鳥状に配置されて
いる。
フィーの技術を利用して後述の光シャッタ部（特に、光
シャッタ機能を発揮する光シャッタ部）１０のシャッタ
窓に相当する部分のレジスト膜２ａを残しその他の部分
のレジスト膜を除去する。残されたレジスト膜２ａ，２
ｂ，２ｃは一辺の長さが８０μｍの平行四辺形状のもの
で、ベース部材１の長手方向に３列千鳥状に配置されて
いる。
【０００９】次に、図３に示すように、ベース部材１
を、その長手方向にレジスト膜２ｂの列とレジスト膜２
ｃの列の間を切削し、共通電極用溝３をベース部材１の
全長にわたって形成する。切削は送り精度５μｍのダイ
シングソーで行ない、刃厚が２５μｍのダイヤモンドカ
ッタを用いた。溝３の形状は幅８０μｍ、深さａ＝１５
０μｍである。なお、深さはベース部材１の表面を基準
とする。同様にして、ベース部材１を、その長手方向に
レジスト膜２ａの列とレジスト膜２ｂの列の間を切削
し、個別電極用溝４を形成する。溝４の形状は幅８０μ
ｍ、深さｂ＝１１０μｍである。さらに、ベース部材１
を、その長手方向にレジスト膜２ａの列とレジスト膜２
ｃの列に隣接してそれぞれ個別電極用段差部５，６を形
成する。段差部５，６も深さｂ＝１１０μｍである。な
お、レジスト膜２ａ〜２ｃの形状及び溝３，４と段差
５，６の深さａ，ｂは光シャッタに要求される性能に応
じ、かつ切削加工の精度の範囲内において任意に選択す
ることが可能である。ただし、ａ＞ｂを条件とする。
を、その長手方向にレジスト膜２ｂの列とレジスト膜２
ｃの列の間を切削し、共通電極用溝３をベース部材１の
全長にわたって形成する。切削は送り精度５μｍのダイ
シングソーで行ない、刃厚が２５μｍのダイヤモンドカ
ッタを用いた。溝３の形状は幅８０μｍ、深さａ＝１５
０μｍである。なお、深さはベース部材１の表面を基準
とする。同様にして、ベース部材１を、その長手方向に
レジスト膜２ａの列とレジスト膜２ｂの列の間を切削
し、個別電極用溝４を形成する。溝４の形状は幅８０μ
ｍ、深さｂ＝１１０μｍである。さらに、ベース部材１
を、その長手方向にレジスト膜２ａの列とレジスト膜２
ｃの列に隣接してそれぞれ個別電極用段差部５，６を形
成する。段差部５，６も深さｂ＝１１０μｍである。な
お、レジスト膜２ａ〜２ｃの形状及び溝３，４と段差
５，６の深さａ，ｂは光シャッタに要求される性能に応
じ、かつ切削加工の精度の範囲内において任意に選択す
ることが可能である。ただし、ａ＞ｂを条件とする。
【００１０】次に、図４に示すように、スパッタリング
法等の手法を用いて、ベース部材１の表面とレジスト膜
２ａ〜２ｃの表面に電極用アルミ膜を形成する。アルミ
膜を表面に形成したベース部材１は、図５に示すよう
に、先端角が６０゜、刃厚が２００μｍのダイヤモンド
カッタを使用して、溝３と溝４の間、溝３と段差部６の
間及び溝４と段差部５の間にＶ字溝７を形成し、光シャ
ッタ部１０ａ，１０ｂ，１０ｃを仮分割する。このと
き、Ｖ字溝７はレジスト膜２ａ〜２ｃの斜辺に平行に形
成される。
法等の手法を用いて、ベース部材１の表面とレジスト膜
２ａ〜２ｃの表面に電極用アルミ膜を形成する。アルミ
膜を表面に形成したベース部材１は、図５に示すよう
に、先端角が６０゜、刃厚が２００μｍのダイヤモンド
カッタを使用して、溝３と溝４の間、溝３と段差部６の
間及び溝４と段差部５の間にＶ字溝７を形成し、光シャ
ッタ部１０ａ，１０ｂ，１０ｃを仮分割する。このと
き、Ｖ字溝７はレジスト膜２ａ〜２ｃの斜辺に平行に形
成される。
【００１１】次に、図６に示すように、刃厚が１５μｍ
のダイヤモンドカッタを使用してＶ字溝７をＶ字溝７に
沿って切削加工し、深さＣ＝１３０μｍの個別電極分離
用溝８を形成する。深さｃはａ＞ｃ＞ｂの条件を満足す
る。すなわち、溝３，４、段差部５，６に対して溝８の
深さｃをこのように設定すると、溝４及び段差部５，６
のアルミ膜は一部を削り取られ、段差部５，６のアルミ
膜は各シャッタ部１０ａ〜１０ｃの個別電極１５，１６
となる。一方、溝３の底面部のアルミ膜は削り取られず
に残り、各シャッタ部１０ａ〜１０ｃに共通な共通電極
１７となる。さらに、ベース部材１の長手方向に分離溝
９を形成し、個別電極１５，１６と共通電極１７を分離
させる。
のダイヤモンドカッタを使用してＶ字溝７をＶ字溝７に
沿って切削加工し、深さＣ＝１３０μｍの個別電極分離
用溝８を形成する。深さｃはａ＞ｃ＞ｂの条件を満足す
る。すなわち、溝３，４、段差部５，６に対して溝８の
深さｃをこのように設定すると、溝４及び段差部５，６
のアルミ膜は一部を削り取られ、段差部５，６のアルミ
膜は各シャッタ部１０ａ〜１０ｃの個別電極１５，１６
となる。一方、溝３の底面部のアルミ膜は削り取られず
に残り、各シャッタ部１０ａ〜１０ｃに共通な共通電極
１７となる。さらに、ベース部材１の長手方向に分離溝
９を形成し、個別電極１５，１６と共通電極１７を分離
させる。
【００１２】次に、図７及び図８に示すように、光シャ
ッタ部１０ａ〜１０ｃのシャッタ窓に形成されているレ
ジスト膜２ａ〜２ｃ上のアルミ膜を除去する。すなわ
ち、アルミ膜はレジスト剥離液によってレジスト膜２ａ
〜２ｃをアルミ膜とともに剥離することにより除去され
る（リフトオフ法）。なお、アルミ膜の除去方法は、レ
ジスト膜を用いる方法の他、レジスト膜を使用せず、ベ
ース部材１の表面に直接形成した金属薄膜を光学研磨と
同等の手法で削り取るようにしてもよい。
ッタ部１０ａ〜１０ｃのシャッタ窓に形成されているレ
ジスト膜２ａ〜２ｃ上のアルミ膜を除去する。すなわ
ち、アルミ膜はレジスト剥離液によってレジスト膜２ａ
〜２ｃをアルミ膜とともに剥離することにより除去され
る（リフトオフ法）。なお、アルミ膜の除去方法は、レ
ジスト膜を用いる方法の他、レジスト膜を使用せず、ベ
ース部材１の表面に直接形成した金属薄膜を光学研磨と
同等の手法で削り取るようにしてもよい。
【００１３】こうして作製された光シャッタアレイ２０
は、３列の光シャッタ部１０ａ〜１０ｃがベース部材１
の長手方向に配置されている。各光シャッタ部１０ａ〜
１０ｃは上面のシャッタ窓が平行四辺形の立体形状をし
ており、この光シャッタ部１０ａ〜１０ｃのうち、シャ
ッタ窓にアルミ膜を設けていない光シャッタ部１０ａ〜
１０ｃが本来の光シャッタ機能を発揮し、シャッタ窓に
アルミ膜を設けた光シャッタ部１０ａ〜１０ｃが電極機
能を発揮する。すなわち、光シャッタ機能を発揮する光
シャッタ部１０ａ〜１０ｃは３列千鳥状に位置してい
る。
は、３列の光シャッタ部１０ａ〜１０ｃがベース部材１
の長手方向に配置されている。各光シャッタ部１０ａ〜
１０ｃは上面のシャッタ窓が平行四辺形の立体形状をし
ており、この光シャッタ部１０ａ〜１０ｃのうち、シャ
ッタ窓にアルミ膜を設けていない光シャッタ部１０ａ〜
１０ｃが本来の光シャッタ機能を発揮し、シャッタ窓に
アルミ膜を設けた光シャッタ部１０ａ〜１０ｃが電極機
能を発揮する。すなわち、光シャッタ機能を発揮する光
シャッタ部１０ａ〜１０ｃは３列千鳥状に位置してい
る。
【００１４】光シャッタ部１０ｂと１０ｃの間の溝３に
は共通電極１７が配設され、この共通電極１７は溝３の
端部からベース部材１の側面にまで延在している。光シ
ャッタ部１０ａ〜１０ｃの外側には、個別電極１５，１
６がそれぞれ隣接して配設され、この個別電極１５，１
６はベース部材１の上面縁部にまで延在している。光シ
ャッタ機能を発揮する光シャッタ部１０ａにおいて、外
側面には個別電極１５が延在しており、内側面には電極
機能を発揮する光シャッタ部１０ｂを介して共通電極１
７が延在している。同様に、光シャッタ機能を発揮する
光シャッタ部１０ｂにおいて、一方の側面には電極機能
を発揮する光シャッタ部１０ａを介して個別電極１５が
延在しており、他方の側面には共通電極１７が延在して
いる。光シャッタ機能を発揮する光シャッタ部１０ｃに
おいて、外側面には個別電極１６が延在しており、内側
面には共通電極１７が延在している。そして、この光シ
ャッタアレイ２０を駆動させるにあたって、個別電極１
５，１６及び共通電極１７と外部回路とをワイヤボンデ
ィング等の手段により電気的に接続する。個別電極１
５，１６及び共通電極１７はベース部材１の上面縁部及
び側面に延在しているため、外部回路との接続が簡単に
行なえる。
は共通電極１７が配設され、この共通電極１７は溝３の
端部からベース部材１の側面にまで延在している。光シ
ャッタ部１０ａ〜１０ｃの外側には、個別電極１５，１
６がそれぞれ隣接して配設され、この個別電極１５，１
６はベース部材１の上面縁部にまで延在している。光シ
ャッタ機能を発揮する光シャッタ部１０ａにおいて、外
側面には個別電極１５が延在しており、内側面には電極
機能を発揮する光シャッタ部１０ｂを介して共通電極１
７が延在している。同様に、光シャッタ機能を発揮する
光シャッタ部１０ｂにおいて、一方の側面には電極機能
を発揮する光シャッタ部１０ａを介して個別電極１５が
延在しており、他方の側面には共通電極１７が延在して
いる。光シャッタ機能を発揮する光シャッタ部１０ｃに
おいて、外側面には個別電極１６が延在しており、内側
面には共通電極１７が延在している。そして、この光シ
ャッタアレイ２０を駆動させるにあたって、個別電極１
５，１６及び共通電極１７と外部回路とをワイヤボンデ
ィング等の手段により電気的に接続する。個別電極１
５，１６及び共通電極１７はベース部材１の上面縁部及
び側面に延在しているため、外部回路との接続が簡単に
行なえる。
【００１５】以上の構造からなる光シャッタアレイ２０
をカラーフィルタパネル３０と組み合わせてカラーディ
スプレイ用ヘッドを構成する。すなわち、図７に示すよ
うに、カラーフィルタパネル３０は光シャッタアレイ２
０の形状に合わせて平板状長尺のものが用いられる。こ
のカラーフィルタパネル３０はレッド（Ｒ）、グリーン
（Ｇ）、ブルー（Ｂ）の領域がカラーフィルタパネル３
０の長尺方向に帯状に並設され、従来のカラーフィルタ
パネルと比較して簡略な構造になっている。しかも、カ
ラーフィルタパネル３０を光シャッタアレイ２０に取り
付ける際の位置合わせは、光シャッタアレイ２０の幅方
向において高精度に位置決めすれば、光シャッタアレイ
２０の長手方向においては高精度の位置決めは必要な
い。カラーフィルタパネル３０は光シャッタアレイ２０
の光シャッタ部１０ａ〜１０ｃに面した位置に配置さ
れ、光シャッタ部１０ａを透過した光はレッド（Ｒ）の
透過型フィルタ領域を透過して赤色光に変わり、光シャ
ッタ部１０ｂを透過した光はグリーン（Ｇ）の透過型フ
ィルタ領域を透過して緑色光に変わり、光シャッタ部１
０ｃを透過した光はブルー（Ｂ）の透過型フィルタ領域
を透過して青色光に変わる。従って、光シャッタ機能を
発揮する光シャッタ部１０ａ〜１０ｂを画像情報に基づ
いて駆動させることによりディスプレイ画面上にカラー
像を現わすことができる。
をカラーフィルタパネル３０と組み合わせてカラーディ
スプレイ用ヘッドを構成する。すなわち、図７に示すよ
うに、カラーフィルタパネル３０は光シャッタアレイ２
０の形状に合わせて平板状長尺のものが用いられる。こ
のカラーフィルタパネル３０はレッド（Ｒ）、グリーン
（Ｇ）、ブルー（Ｂ）の領域がカラーフィルタパネル３
０の長尺方向に帯状に並設され、従来のカラーフィルタ
パネルと比較して簡略な構造になっている。しかも、カ
ラーフィルタパネル３０を光シャッタアレイ２０に取り
付ける際の位置合わせは、光シャッタアレイ２０の幅方
向において高精度に位置決めすれば、光シャッタアレイ
２０の長手方向においては高精度の位置決めは必要な
い。カラーフィルタパネル３０は光シャッタアレイ２０
の光シャッタ部１０ａ〜１０ｃに面した位置に配置さ
れ、光シャッタ部１０ａを透過した光はレッド（Ｒ）の
透過型フィルタ領域を透過して赤色光に変わり、光シャ
ッタ部１０ｂを透過した光はグリーン（Ｇ）の透過型フ
ィルタ領域を透過して緑色光に変わり、光シャッタ部１
０ｃを透過した光はブルー（Ｂ）の透過型フィルタ領域
を透過して青色光に変わる。従って、光シャッタ機能を
発揮する光シャッタ部１０ａ〜１０ｂを画像情報に基づ
いて駆動させることによりディスプレイ画面上にカラー
像を現わすことができる。
【００１６】なお、本発明に係る光シャッタアレイは前
記実施例に限定するものではなく、その要旨の範囲内で
種々に変形することができる。前記実施例はカラーディ
スプレイ用ヘッドに使用される例について説明したが、
必らずしもこれに限定されるものではなく、カラープリ
ンタ用ヘッド等に使用することもできる。
記実施例に限定するものではなく、その要旨の範囲内で
種々に変形することができる。前記実施例はカラーディ
スプレイ用ヘッドに使用される例について説明したが、
必らずしもこれに限定されるものではなく、カラープリ
ンタ用ヘッド等に使用することもできる。
【００１７】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
よれば、複数の光シャッタ部を少なくとも３列に配置し
たので、色の３原色、すなわちレッド、グリーン、ブル
ーの画像情報をそれぞれ光シャッタ部の列毎に振り分け
ることができ、カラーディスプレイ用ヘッド等に容易に
使用することができる光シャッタアレイが得られる。例
えば、この光シャッタアレイをカラーディスプレイ用ヘ
ッドに使用した場合、組み合わされるカラーフィルタパ
ネルは従来と比較して構造を簡略化でき、しかもカラー
フィルタパネルを光シャッタアレイに取り付ける際の位
置合わせも簡単にできる。
よれば、複数の光シャッタ部を少なくとも３列に配置し
たので、色の３原色、すなわちレッド、グリーン、ブル
ーの画像情報をそれぞれ光シャッタ部の列毎に振り分け
ることができ、カラーディスプレイ用ヘッド等に容易に
使用することができる光シャッタアレイが得られる。例
えば、この光シャッタアレイをカラーディスプレイ用ヘ
ッドに使用した場合、組み合わされるカラーフィルタパ
ネルは従来と比較して構造を簡略化でき、しかもカラー
フィルタパネルを光シャッタアレイに取り付ける際の位
置合わせも簡単にできる。
【００１８】また、千鳥状に位置している光シャッタ部
を残して光シャッタ部の窓部分に電極膜を設けたので、
光シャッタ部の個別電極と共通電極が容易に外部回路と
接続できる。
を残して光シャッタ部の窓部分に電極膜を設けたので、
光シャッタ部の個別電極と共通電極が容易に外部回路と
接続できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る光シャッタアレイの一実施例の製
造工程を説明するための一部斜視図。
造工程を説明するための一部斜視図。
【図２】図１に続く製造工程を説明するための一部斜視
図。
図。
【図３】図２に続く製造工程を説明するための一部斜視
図。
図。
【図４】図３に続く製造工程を説明するための一部斜視
図。
図。
【図５】図４に続く製造工程を説明するための一部斜視
図。
図。
【図６】図５に続く製造工程を説明するための一部斜視
図。
図。
【図７】本発明に係る光シャッタアレイの一実施例の外
観を示す一部斜視図。
観を示す一部斜視図。
【図８】図７に示した光シャッタアレイの一部平面図。
１…ベース部材 １０ａ，１０ｂ，１０ｃ…光シャッタ部 １５，１６…個別電極 １７…共通電極 ２０…光シャッタアレイ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年１月２９日
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正内容】
【図８】
Claims (1)
- 【請求項１】 電気光学効果を有する材料からなる複数
の光シャッタ部を少なくとも３列に配置し、千鳥状に位
置した光シャッタ部を残して光シャッタ部の窓部分に電
極膜を設けたことを特徴とする光シャッタアレイ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4002154A JPH05188337A (ja) | 1992-01-09 | 1992-01-09 | 光シャッタアレイ |
| US07/998,723 US5416631A (en) | 1992-01-09 | 1992-12-30 | Light shutter array |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4002154A JPH05188337A (ja) | 1992-01-09 | 1992-01-09 | 光シャッタアレイ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05188337A true JPH05188337A (ja) | 1993-07-30 |
Family
ID=11521439
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4002154A Pending JPH05188337A (ja) | 1992-01-09 | 1992-01-09 | 光シャッタアレイ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5416631A (ja) |
| JP (1) | JPH05188337A (ja) |
Families Citing this family (40)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6816296B2 (en) | 1997-10-29 | 2004-11-09 | Teloptics Corporation | Optical switching network and network node and method of optical switching |
| US6310712B1 (en) | 1997-10-29 | 2001-10-30 | Teloptics Corporation | Discrete element light modulating microstructure devices |
| US6768572B2 (en) | 1997-10-29 | 2004-07-27 | Teloptics Corporation | Solid state free space switch array on a substrate |
| US6057955A (en) * | 1997-12-08 | 2000-05-02 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Optical modulator and drive method thereof |
| US6288829B1 (en) * | 1998-10-05 | 2001-09-11 | Fuji Photo Film, Co., Ltd. | Light modulation element, array-type light modulation element, and flat-panel display unit |
| US6486996B1 (en) * | 1998-10-27 | 2002-11-26 | Teloptics Corporations | Discrete element light modulating microstructure devices |
| US6222667B1 (en) | 1999-02-09 | 2001-04-24 | Advanced Optics Electronics, Inc. | Electro-optic light valve array |
| US7417782B2 (en) * | 2005-02-23 | 2008-08-26 | Pixtronix, Incorporated | Methods and apparatus for spatial light modulation |
| US7502159B2 (en) | 2005-02-23 | 2009-03-10 | Pixtronix, Inc. | Methods and apparatus for actuating displays |
| US8310442B2 (en) | 2005-02-23 | 2012-11-13 | Pixtronix, Inc. | Circuits for controlling display apparatus |
| US7999994B2 (en) | 2005-02-23 | 2011-08-16 | Pixtronix, Inc. | Display apparatus and methods for manufacture thereof |
| US8159428B2 (en) | 2005-02-23 | 2012-04-17 | Pixtronix, Inc. | Display methods and apparatus |
| US7742016B2 (en) | 2005-02-23 | 2010-06-22 | Pixtronix, Incorporated | Display methods and apparatus |
| US20070205969A1 (en) | 2005-02-23 | 2007-09-06 | Pixtronix, Incorporated | Direct-view MEMS display devices and methods for generating images thereon |
| US8519945B2 (en) | 2006-01-06 | 2013-08-27 | Pixtronix, Inc. | Circuits for controlling display apparatus |
| US9261694B2 (en) | 2005-02-23 | 2016-02-16 | Pixtronix, Inc. | Display apparatus and methods for manufacture thereof |
| US7746529B2 (en) | 2005-02-23 | 2010-06-29 | Pixtronix, Inc. | MEMS display apparatus |
| US9229222B2 (en) | 2005-02-23 | 2016-01-05 | Pixtronix, Inc. | Alignment methods in fluid-filled MEMS displays |
| US7304785B2 (en) | 2005-02-23 | 2007-12-04 | Pixtronix, Inc. | Display methods and apparatus |
| US7271945B2 (en) * | 2005-02-23 | 2007-09-18 | Pixtronix, Inc. | Methods and apparatus for actuating displays |
| US7755582B2 (en) | 2005-02-23 | 2010-07-13 | Pixtronix, Incorporated | Display methods and apparatus |
| US7304786B2 (en) | 2005-02-23 | 2007-12-04 | Pixtronix, Inc. | Methods and apparatus for bi-stable actuation of displays |
| US9158106B2 (en) | 2005-02-23 | 2015-10-13 | Pixtronix, Inc. | Display methods and apparatus |
| US7405852B2 (en) | 2005-02-23 | 2008-07-29 | Pixtronix, Inc. | Display apparatus and methods for manufacture thereof |
| US7616368B2 (en) * | 2005-02-23 | 2009-11-10 | Pixtronix, Inc. | Light concentrating reflective display methods and apparatus |
| US8482496B2 (en) | 2006-01-06 | 2013-07-09 | Pixtronix, Inc. | Circuits for controlling MEMS display apparatus on a transparent substrate |
| US7675665B2 (en) | 2005-02-23 | 2010-03-09 | Pixtronix, Incorporated | Methods and apparatus for actuating displays |
| US9082353B2 (en) | 2010-01-05 | 2015-07-14 | Pixtronix, Inc. | Circuits for controlling display apparatus |
| US8526096B2 (en) | 2006-02-23 | 2013-09-03 | Pixtronix, Inc. | Mechanical light modulators with stressed beams |
| US7876489B2 (en) | 2006-06-05 | 2011-01-25 | Pixtronix, Inc. | Display apparatus with optical cavities |
| WO2008051362A1 (en) | 2006-10-20 | 2008-05-02 | Pixtronix, Inc. | Light guides and backlight systems incorporating light redirectors at varying densities |
| US9176318B2 (en) | 2007-05-18 | 2015-11-03 | Pixtronix, Inc. | Methods for manufacturing fluid-filled MEMS displays |
| US7852546B2 (en) | 2007-10-19 | 2010-12-14 | Pixtronix, Inc. | Spacers for maintaining display apparatus alignment |
| JP4743132B2 (ja) * | 2007-02-15 | 2011-08-10 | ティアック株式会社 | 複数のファンクションキーを有する電子機器 |
| US7684101B2 (en) * | 2007-10-11 | 2010-03-23 | Eastman Kodak Company | Micro-electromechanical microshutter array |
| US8248560B2 (en) | 2008-04-18 | 2012-08-21 | Pixtronix, Inc. | Light guides and backlight systems incorporating prismatic structures and light redirectors |
| US8169679B2 (en) | 2008-10-27 | 2012-05-01 | Pixtronix, Inc. | MEMS anchors |
| CN103000141B (zh) | 2010-02-02 | 2016-01-13 | 皮克斯特罗尼克斯公司 | 用于控制显示装置的电路 |
| KR20120132680A (ko) * | 2010-02-02 | 2012-12-07 | 픽스트로닉스 인코포레이티드 | 저온 실 유체 충전된 디스플레이 장치의 제조 방법 |
| US9134552B2 (en) | 2013-03-13 | 2015-09-15 | Pixtronix, Inc. | Display apparatus with narrow gap electrostatic actuators |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4744640A (en) * | 1985-08-29 | 1988-05-17 | Motorola Inc. | PLZT multi-shutter color electrode pattern |
| DE3734849C2 (de) * | 1986-10-17 | 1999-05-06 | Minolta Camera Kk | Elektrooptische Abblendeinrichtung |
| US4887104A (en) * | 1986-11-19 | 1989-12-12 | Minolta Camera Kabushiki Kaisha | Electrooptical light shutter device and printer apparatus using same |
| US4802741A (en) * | 1987-10-09 | 1989-02-07 | Eastman Kodak Company | In-depth electrode light valve array devices and improved fabrication method therefor |
| JP2590988B2 (ja) * | 1987-12-11 | 1997-03-19 | ミノルタ株式会社 | 光シャッタアレイ |
| JPH01271720A (ja) * | 1988-04-25 | 1989-10-30 | Minolta Camera Co Ltd | 表示装置 |
| US4993811A (en) * | 1988-12-08 | 1991-02-19 | Eastman Kodak Company | Ridge array light valve device |
| JP2924110B2 (ja) * | 1990-07-04 | 1999-07-26 | ミノルタ株式会社 | 光シャッタ装置 |
| JP3024275B2 (ja) * | 1991-06-28 | 2000-03-21 | ミノルタ株式会社 | 光信号発生装置 |
-
1992
- 1992-01-09 JP JP4002154A patent/JPH05188337A/ja active Pending
- 1992-12-30 US US07/998,723 patent/US5416631A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5416631A (en) | 1995-05-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH05188337A (ja) | 光シャッタアレイ | |
| JPH06194637A (ja) | 液晶表示板用ガラス基板の貼り合せ方法 | |
| US4094058A (en) | Method of manufacture of liquid crystal displays | |
| US8125460B2 (en) | Method for manufacturing touch panel with glass panel layer and glass substrate | |
| US4854678A (en) | Electro-optical light shutter device | |
| US6154316A (en) | Polarizer labelling tape and method for making the same | |
| US4687299A (en) | Electrode structure of dot-matrix liquid-crystal cell having corresponding notches and slits | |
| US7992292B2 (en) | Method for manufacturing a touch panel | |
| JPS6138927A (ja) | 光シヤツタの製造方法 | |
| JP2560704B2 (ja) | 光シャッタアレイ及び画像形成装置 | |
| JPH06331974A (ja) | カラー液晶表示装置 | |
| JP4984371B2 (ja) | 多面付けカラーフィルタ用基板の製造方法 | |
| JPH06281818A (ja) | 偏光板ラベラー及びその製造方法 | |
| JPH04261503A (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
| JPH0731316B2 (ja) | 光シヤツタアレイ | |
| JPS63129318A (ja) | 光シヤツタアレイ | |
| JP2002258254A (ja) | 液晶表示素子用多面取りマザー基板 | |
| JP2000510971A (ja) | 液晶セルを製造する方法 | |
| JPH08211345A (ja) | 光シャッタアレイの製造方法 | |
| JPS63189836A (ja) | 光シヤツタアレイ | |
| JP2003202551A (ja) | 液晶表示素子およびその製造方法 | |
| JPH0755616A (ja) | 静電容量式圧力検出器の製造方法 | |
| JP2555616B2 (ja) | 光シャッタアレイ | |
| JPH0354520A (ja) | 液晶表示器の製造方法 | |
| JPS62134623A (ja) | カラ−液晶表示装置の製造方法 |