JPH05125334A - 熱圧着可能な導電性フイルム状接着剤 - Google Patents
熱圧着可能な導電性フイルム状接着剤Info
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- JPH05125334A JPH05125334A JP3287912A JP28791291A JPH05125334A JP H05125334 A JPH05125334 A JP H05125334A JP 3287912 A JP3287912 A JP 3287912A JP 28791291 A JP28791291 A JP 28791291A JP H05125334 A JPH05125334 A JP H05125334A
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Abstract
(57)【要約】
【構成】
【請求項1】 4,4'-オキシジフタル酸二無水物Aモル
及び式(1)で表わされる酸無水物末端シリコーン化合
物Bモル及び他の酸二無水物成分Cモルを含む酸成分
と、ジアミン成分Dモルとを、4,4'-オキシジフタル酸
二無水物又は酸末端シリコーン化合物の少なくともどち
らか一方を必須成分とし、(A+B)/(A+B+C+
D)が0.3〜0.55、(A+B+C)/Dが0.8〜1.2の範
囲で反応させ、少なくとも80%以上がイミド化されてい
るポリイミドシロキサンと、ポリイミドシロキサンに対
して50〜900wt%の導電性フィラーとからなる熱圧着可
能な導電性フィルム状接着剤。 【化1】 【効果】 耐熱性に優れ、低温、低圧、短時間で熱圧着
作業性が良好な、銅、シリコンなどの金属、セラミック
スへの接着性に優れ、室温だけでなく、260℃のような
半田溶融温度でも充分な接着強度を有し、かつ優れた導
電性を有するフィルム状接着剤を得ることができる。
及び式(1)で表わされる酸無水物末端シリコーン化合
物Bモル及び他の酸二無水物成分Cモルを含む酸成分
と、ジアミン成分Dモルとを、4,4'-オキシジフタル酸
二無水物又は酸末端シリコーン化合物の少なくともどち
らか一方を必須成分とし、(A+B)/(A+B+C+
D)が0.3〜0.55、(A+B+C)/Dが0.8〜1.2の範
囲で反応させ、少なくとも80%以上がイミド化されてい
るポリイミドシロキサンと、ポリイミドシロキサンに対
して50〜900wt%の導電性フィラーとからなる熱圧着可
能な導電性フィルム状接着剤。 【化1】 【効果】 耐熱性に優れ、低温、低圧、短時間で熱圧着
作業性が良好な、銅、シリコンなどの金属、セラミック
スへの接着性に優れ、室温だけでなく、260℃のような
半田溶融温度でも充分な接着強度を有し、かつ優れた導
電性を有するフィルム状接着剤を得ることができる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、導電性及び耐熱性に優
れ、熱圧着して用いることのできるフィルム状接着剤に
関するものである。
れ、熱圧着して用いることのできるフィルム状接着剤に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、耐熱性の熱圧着可能なフィルム状
接着剤はいくつか知られている。例えば、特開平1-2822
83号公報には、ポリアミドイミド系やポリアミド系のホ
ットメルト接着剤、特開昭58-157190号公報には、ポリ
イミド系接着剤によるフレキシブル印刷回路基板の製造
法、特開昭62-235382号及び特開昭62-235383号公報に
は、熱硬化性のポリイミド系フィルム状接着剤に関する
記述がなされている。ところが、ポリアミド系やポリア
ミドイミド系樹脂は、アミド基の親水性のために吸水率
が大きくなるという欠点を有し、信頼性を必要とするエ
レクトロニクス用途としての接着剤に用いるには限界が
あった。またその他の公報に記載されているフィルム状
接着剤の熱圧着条件は、275℃、50kgf/cm2、30分間が
標準であり、熱や圧力に鋭敏な電子部品や、量産性を必
要とされる用途のフィルム状接着剤としては必ずしも有
利であるとは言えなかった。
接着剤はいくつか知られている。例えば、特開平1-2822
83号公報には、ポリアミドイミド系やポリアミド系のホ
ットメルト接着剤、特開昭58-157190号公報には、ポリ
イミド系接着剤によるフレキシブル印刷回路基板の製造
法、特開昭62-235382号及び特開昭62-235383号公報に
は、熱硬化性のポリイミド系フィルム状接着剤に関する
記述がなされている。ところが、ポリアミド系やポリア
ミドイミド系樹脂は、アミド基の親水性のために吸水率
が大きくなるという欠点を有し、信頼性を必要とするエ
レクトロニクス用途としての接着剤に用いるには限界が
あった。またその他の公報に記載されているフィルム状
接着剤の熱圧着条件は、275℃、50kgf/cm2、30分間が
標準であり、熱や圧力に鋭敏な電子部品や、量産性を必
要とされる用途のフィルム状接着剤としては必ずしも有
利であるとは言えなかった。
【0003】一方で、従来用いられているエポキシ系、
フェノール系、アクリル系等の接着剤は、比較的低温、
低圧で熱圧着できるという利点を有するが、熱硬化型で
あるため、ある程度硬化時間を長く設ける必要があっ
た。また熱可塑性樹脂をホットメルト型接着剤として用
いることもよく行なわれるが、耐熱性に乏しい欠点を有
している。
フェノール系、アクリル系等の接着剤は、比較的低温、
低圧で熱圧着できるという利点を有するが、熱硬化型で
あるため、ある程度硬化時間を長く設ける必要があっ
た。また熱可塑性樹脂をホットメルト型接着剤として用
いることもよく行なわれるが、耐熱性に乏しい欠点を有
している。
【0004】また一方で、IC、LSI等の半導体チッ
プとリードフレームとの接合には、従来Au−Si共晶
が用いられていたが、Auが高価なため、最近では導電
性樹脂ペーストが主流になってきた。この種の導電性樹
脂ペーストとしては、特開昭55-25482号又は52-107036
号公報に開示されているように、通常エポキシ樹脂をバ
インダーとし、これに銀粉を混合した銀ペーストが作業
性や接着性が良いため、主に使用されてきた。しかしな
がら、このようなペースト状接着剤は、塗布量を厳密
にコントロールしないと厚み制御ができないこと、チ
ップ側面へのペーストの這い上がりのあること、表面
加工したリードフレームに均一に塗布できない、等の不
具合があり、これらを解決する方法として導電性並びに
耐熱性を有するフィルム状接着剤が望まれていた。
プとリードフレームとの接合には、従来Au−Si共晶
が用いられていたが、Auが高価なため、最近では導電
性樹脂ペーストが主流になってきた。この種の導電性樹
脂ペーストとしては、特開昭55-25482号又は52-107036
号公報に開示されているように、通常エポキシ樹脂をバ
インダーとし、これに銀粉を混合した銀ペーストが作業
性や接着性が良いため、主に使用されてきた。しかしな
がら、このようなペースト状接着剤は、塗布量を厳密
にコントロールしないと厚み制御ができないこと、チ
ップ側面へのペーストの這い上がりのあること、表面
加工したリードフレームに均一に塗布できない、等の不
具合があり、これらを解決する方法として導電性並びに
耐熱性を有するフィルム状接着剤が望まれていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明者らは、耐熱性
に優れ、低温、低圧、短時間で熱圧着可能な導電性フィ
ルム状接着剤を得んとして鋭意研究を重ねた結果、特定
の構造を有するポリイミドシロキサンに、導電性フィラ
ーを必要量分散させフィルム化した接着剤が上記の目標
を達成し得ることが判り、本発明を完成するに至ったも
のである。その目的とするところは、導電性、耐熱性及
び熱圧着作業性を両立させたフィルム状接着剤を提供す
るにある。
に優れ、低温、低圧、短時間で熱圧着可能な導電性フィ
ルム状接着剤を得んとして鋭意研究を重ねた結果、特定
の構造を有するポリイミドシロキサンに、導電性フィラ
ーを必要量分散させフィルム化した接着剤が上記の目標
を達成し得ることが判り、本発明を完成するに至ったも
のである。その目的とするところは、導電性、耐熱性及
び熱圧着作業性を両立させたフィルム状接着剤を提供す
るにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、4,4'-オキシ
ジフタル酸二無水物Aモル及び式(1)で表わされる酸
無水物末端シリコーン化合物Bモル
ジフタル酸二無水物Aモル及び式(1)で表わされる酸
無水物末端シリコーン化合物Bモル
【0007】
【化1】
【0008】及び他の酸二無水物成分Cモルを含む酸成
分と、ジアミン成分Dモルとを、4,4'-オキシジフタル
酸二無水物又は酸末端シリコーン化合物の少なくともど
ちらか一方を必須成分とし、(A+B)/(A+B+C
+D)が0.3〜0.55、(A+B+C)/Dが0.8〜1.2の
範囲で反応させ、少なくとも80%以上がイミド化されて
いるポリイミドシロキサンと、ポリイミドシロキサンに
対して50〜900wt%の導電性フィラーとからなる熱圧着
可能な導電性フィルム状接着剤である。
分と、ジアミン成分Dモルとを、4,4'-オキシジフタル
酸二無水物又は酸末端シリコーン化合物の少なくともど
ちらか一方を必須成分とし、(A+B)/(A+B+C
+D)が0.3〜0.55、(A+B+C)/Dが0.8〜1.2の
範囲で反応させ、少なくとも80%以上がイミド化されて
いるポリイミドシロキサンと、ポリイミドシロキサンに
対して50〜900wt%の導電性フィラーとからなる熱圧着
可能な導電性フィルム状接着剤である。
【0009】本発明において用いられる酸二無水物は、
4,4'-オキシジフタル酸二無水物(以下ODPAと略
す)と酸末端シリコーン化合物であるが、両者以外の酸
二無水物の例を挙げると、ピロメリット酸二無水物、3,
3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,
2',3,3'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,
3,3',4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ナ
フタレン-2,3,6,7-テトラカルボン酸二無水物、ナフタ
レン-1,2,5,6-テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン-
1,2,4,5-テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン-1,4,
5,8-テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン-1,2,6,7-
テトラカルボン酸二無水物、4,8-ジメチル-1,2,3,5,6,7
-ヘキサヒドロナフタレン-1,2,5,6-テトラカルボン酸二
無水物、4,8-ジメチル-1,2,3,5,6,7-ヘキサヒドロナフ
タレン-2,3,6,7-テトラカルボン酸二無水物、2,6-ジク
ロロナフタレン-1,4,5,8-テトラカルボン酸二無水物、
2,7-ジクロロナフタレン-1,4,5,8-テトラカルボン酸二
無水物、2,3,6,7-テトラクロロナフタレン-1,4,5,8-テ
トラカルボン酸二無水物、1,4,5,8-テトラクロロナフタ
レン-2,3,6,7-テトラカルボン酸二無水物、3,3',4,4'-
ジフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2',3,3'-ジフ
ェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3',4'-ジフェニ
ルテトラカルボン酸二無水物、3,3",4,4"-p-テルフェニ
ルテトラカルボン酸二無水物、2,2",3,3"-p-テルフェニ
ルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3",4"-p-テルフェニ
ルテトラカルボン酸二無水物、2,2-ビス(2,3-ジカルボ
キシフェニル)-プロパン二無水物、2,2-ビス(3,4-ジカ
ルボキシフェニル)-プロパン二無水物、ビス(2,3-ジカ
ルボキシフェニル)エーテル二無水物、ビス(2,3-ジカル
ボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3,4-ジカルボキ
シフェニル)メタン二無水物、ビス(2,3-ジカルボキシフ
ェニル)スルホン二無水物、ビス(3,4-ジカルボキシフェ
ニル)スルホン二無水物、1,1-ビス(2,3-ジカルボキシフ
ェニル)エタン二無水物、1,1-ビス(3,4-ジカルボキシフ
ェニル)エタン二無水物、ペリレン-2,3,8,9-テトラカル
ボン酸二無水物、ペリレン-3,4,9,10-テトラカルボン酸
二無水物、ペリレン-4,5,10,11-テトラカルボン酸二無
水物、ペリレン-5,6,11,12-テトラカルボン酸二無水
物、フェナンスレン-1,2,7,8-テトラカルボン酸二無水
物、フェナンスレン-1,2,6,7-テトラカルボン酸二無水
物、フェナンスレン-1,2,9,10-テトラカルボン酸二無水
物、シクロペンタン-1,2,3,4-テトラカルボン酸二無水
物、ピラジン-2,3,5,6-テトラカルボン酸二無水物、ピ
ロリジン-2,3,4,5-テトラカルボン酸二無水物、チオフ
ェン-2,3,4,5-テトラカルボン酸二無水物などがあげら
れるが、これらに限定されるものではない。
4,4'-オキシジフタル酸二無水物(以下ODPAと略
す)と酸末端シリコーン化合物であるが、両者以外の酸
二無水物の例を挙げると、ピロメリット酸二無水物、3,
3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,
2',3,3'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,
3,3',4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ナ
フタレン-2,3,6,7-テトラカルボン酸二無水物、ナフタ
レン-1,2,5,6-テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン-
1,2,4,5-テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン-1,4,
5,8-テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン-1,2,6,7-
テトラカルボン酸二無水物、4,8-ジメチル-1,2,3,5,6,7
-ヘキサヒドロナフタレン-1,2,5,6-テトラカルボン酸二
無水物、4,8-ジメチル-1,2,3,5,6,7-ヘキサヒドロナフ
タレン-2,3,6,7-テトラカルボン酸二無水物、2,6-ジク
ロロナフタレン-1,4,5,8-テトラカルボン酸二無水物、
2,7-ジクロロナフタレン-1,4,5,8-テトラカルボン酸二
無水物、2,3,6,7-テトラクロロナフタレン-1,4,5,8-テ
トラカルボン酸二無水物、1,4,5,8-テトラクロロナフタ
レン-2,3,6,7-テトラカルボン酸二無水物、3,3',4,4'-
ジフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2',3,3'-ジフ
ェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3',4'-ジフェニ
ルテトラカルボン酸二無水物、3,3",4,4"-p-テルフェニ
ルテトラカルボン酸二無水物、2,2",3,3"-p-テルフェニ
ルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3",4"-p-テルフェニ
ルテトラカルボン酸二無水物、2,2-ビス(2,3-ジカルボ
キシフェニル)-プロパン二無水物、2,2-ビス(3,4-ジカ
ルボキシフェニル)-プロパン二無水物、ビス(2,3-ジカ
ルボキシフェニル)エーテル二無水物、ビス(2,3-ジカル
ボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3,4-ジカルボキ
シフェニル)メタン二無水物、ビス(2,3-ジカルボキシフ
ェニル)スルホン二無水物、ビス(3,4-ジカルボキシフェ
ニル)スルホン二無水物、1,1-ビス(2,3-ジカルボキシフ
ェニル)エタン二無水物、1,1-ビス(3,4-ジカルボキシフ
ェニル)エタン二無水物、ペリレン-2,3,8,9-テトラカル
ボン酸二無水物、ペリレン-3,4,9,10-テトラカルボン酸
二無水物、ペリレン-4,5,10,11-テトラカルボン酸二無
水物、ペリレン-5,6,11,12-テトラカルボン酸二無水
物、フェナンスレン-1,2,7,8-テトラカルボン酸二無水
物、フェナンスレン-1,2,6,7-テトラカルボン酸二無水
物、フェナンスレン-1,2,9,10-テトラカルボン酸二無水
物、シクロペンタン-1,2,3,4-テトラカルボン酸二無水
物、ピラジン-2,3,5,6-テトラカルボン酸二無水物、ピ
ロリジン-2,3,4,5-テトラカルボン酸二無水物、チオフ
ェン-2,3,4,5-テトラカルボン酸二無水物などがあげら
れるが、これらに限定されるものではない。
【0010】本発明に用いられる酸無水物末端シリコー
ン化合物は特に限定されないが、例を挙げると下記の式
で示されるフタル酸無水物末端シリコーン化合物やナジ
ック酸無水物末端シリコーン化合物等である。
ン化合物は特に限定されないが、例を挙げると下記の式
で示されるフタル酸無水物末端シリコーン化合物やナジ
ック酸無水物末端シリコーン化合物等である。
【0011】
【化2】
【0012】本発明において用いられるジアミン成分は
特に限定されるものではないが、例を具体的に挙げる
と、3,3'-ジメチル-4,4'-ジアミノビフェニル、4,6-ジ
メチル-m-フェニレンジアミン、2,5-ジメチル-p-フェニ
レンジアミン、2,4-ジアミノメシチレン、4,4'-メチレ
ンジ-o-トルイジン、4,4'-メチレンジ-2,6-キシリジ
ン、4,4'-メチレン-2,6-ジエチルアニリン、2,4-トルエ
ンジアミン、m-フェニレン-ジアミン、p-フェニレン-ジ
アミン、4,4'-ジアミノ-ジフェニルプロパン、3,3'-ジ
アミノ-ジフェニルプロパン、4,4'-ジアミノ-ジフェニ
ルエタン、3,3'-ジアミノ-ジフェニルエタン、4,4'-ジ
アミノ-ジフェニルメタン、3,3'-ジアミノ-ジフェニル
メタン、4,4'-ジアミノ-ジフェニルスルフィド、3,3'-
ジアミノ-ジフェニルスルフィド、4,4'-ジアミノ-ジフ
ェニルスルホン、3,3'-ジアミノ-ジフェニルスルホン、
4,4'-ジアミノ-ジフェニルエーテル、3,3'-ジアミノ-ジ
フェニルエーテル、ベンジジン、3,3'-ジアミノ-ビフェ
ニル、3,3'-ジメチル-4,4'-ジアミノ-ビフェニル、3,3'
-ジメトキシ-ベンジジン、4,4"-ジアミノ-p-テルフェニ
ル、3,3"-ジアミノ-p-テルフェニル、ビス(p-アミノ-シ
クロヘキシル)メタン、ビス(p-β-アミノ-t-ブチルフェ
ニル)エーテル、ビス(p-β-メチル-δ-アミノペンチル)
ベンゼン、p-ビス(2-メチル-4-アミノ-ペンチル)ベンゼ
ン、p-ビス(1,1-ジメチル-5-アミノ-ペンチル)ベンゼ
ン、1,5-ジアミノ-ナフタレン、2,6-ジアミノ-ナフタレ
ン、2,4-ビス(β-アミノ-t-ブチル)トルエン、2,4-ジア
ミノ-トルエン、m-キシレン-2,5-ジアミン、p-キシレン
-2,5-ジアミン、m-キシリレン-ジアミン、p-キシリレン
-ジアミン、2,6-ジアミノ-ピリジン、2,5-ジアミノ-ピ
リジン、2,5-ジアミノ-1,3,4-オキサジアゾール、1,4-
ジアミノ-シクロヘキサン、ピペラジン、メチレン-ジア
ミン、エチレン-ジアミン、プロピレン-ジアミン、2,2-
ジメチル-プロピレン-ジアミン、テトラメチレン-ジア
ミン、ペンタメチレン-ジアミン、ヘキサメチレン-ジア
ミン、2,5-ジメチル-ヘキサメチレン-ジアミン、3-メト
キシ-ヘキサメチレン-ジアミン、ヘプタメチレン-ジア
ミン、2,5-ジメチル-ヘプタメチレン-ジアミン、3-メチ
ル-ヘプタメチレン-ジアミン、4,4-ジメチル-ヘプタメ
チレン-ジアミン、オクタメチレン-ジアミン、ノナメチ
レン-ジアミン、5-メチル-ノナメチレン-ジアミン、2,5
-ジメチル-ノナメチレン-ジアミン、デカメチレン-ジア
ミン、1,10-ジアミノ-1,10-ジメチル-デカン、2,11-ジ
アミノ-ドデカン、1,12-ジアミノ-オクタデカン、2,12-
ジアミノ-オクタデカン、2,17-ジアミノ-アイコサン、
1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼンなどが挙げられ
る。
特に限定されるものではないが、例を具体的に挙げる
と、3,3'-ジメチル-4,4'-ジアミノビフェニル、4,6-ジ
メチル-m-フェニレンジアミン、2,5-ジメチル-p-フェニ
レンジアミン、2,4-ジアミノメシチレン、4,4'-メチレ
ンジ-o-トルイジン、4,4'-メチレンジ-2,6-キシリジ
ン、4,4'-メチレン-2,6-ジエチルアニリン、2,4-トルエ
ンジアミン、m-フェニレン-ジアミン、p-フェニレン-ジ
アミン、4,4'-ジアミノ-ジフェニルプロパン、3,3'-ジ
アミノ-ジフェニルプロパン、4,4'-ジアミノ-ジフェニ
ルエタン、3,3'-ジアミノ-ジフェニルエタン、4,4'-ジ
アミノ-ジフェニルメタン、3,3'-ジアミノ-ジフェニル
メタン、4,4'-ジアミノ-ジフェニルスルフィド、3,3'-
ジアミノ-ジフェニルスルフィド、4,4'-ジアミノ-ジフ
ェニルスルホン、3,3'-ジアミノ-ジフェニルスルホン、
4,4'-ジアミノ-ジフェニルエーテル、3,3'-ジアミノ-ジ
フェニルエーテル、ベンジジン、3,3'-ジアミノ-ビフェ
ニル、3,3'-ジメチル-4,4'-ジアミノ-ビフェニル、3,3'
-ジメトキシ-ベンジジン、4,4"-ジアミノ-p-テルフェニ
ル、3,3"-ジアミノ-p-テルフェニル、ビス(p-アミノ-シ
クロヘキシル)メタン、ビス(p-β-アミノ-t-ブチルフェ
ニル)エーテル、ビス(p-β-メチル-δ-アミノペンチル)
ベンゼン、p-ビス(2-メチル-4-アミノ-ペンチル)ベンゼ
ン、p-ビス(1,1-ジメチル-5-アミノ-ペンチル)ベンゼ
ン、1,5-ジアミノ-ナフタレン、2,6-ジアミノ-ナフタレ
ン、2,4-ビス(β-アミノ-t-ブチル)トルエン、2,4-ジア
ミノ-トルエン、m-キシレン-2,5-ジアミン、p-キシレン
-2,5-ジアミン、m-キシリレン-ジアミン、p-キシリレン
-ジアミン、2,6-ジアミノ-ピリジン、2,5-ジアミノ-ピ
リジン、2,5-ジアミノ-1,3,4-オキサジアゾール、1,4-
ジアミノ-シクロヘキサン、ピペラジン、メチレン-ジア
ミン、エチレン-ジアミン、プロピレン-ジアミン、2,2-
ジメチル-プロピレン-ジアミン、テトラメチレン-ジア
ミン、ペンタメチレン-ジアミン、ヘキサメチレン-ジア
ミン、2,5-ジメチル-ヘキサメチレン-ジアミン、3-メト
キシ-ヘキサメチレン-ジアミン、ヘプタメチレン-ジア
ミン、2,5-ジメチル-ヘプタメチレン-ジアミン、3-メチ
ル-ヘプタメチレン-ジアミン、4,4-ジメチル-ヘプタメ
チレン-ジアミン、オクタメチレン-ジアミン、ノナメチ
レン-ジアミン、5-メチル-ノナメチレン-ジアミン、2,5
-ジメチル-ノナメチレン-ジアミン、デカメチレン-ジア
ミン、1,10-ジアミノ-1,10-ジメチル-デカン、2,11-ジ
アミノ-ドデカン、1,12-ジアミノ-オクタデカン、2,12-
ジアミノ-オクタデカン、2,17-ジアミノ-アイコサン、
1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼンなどが挙げられ
る。
【0013】本発明における酸二無水物とジアミンの反
応は、公知の方法で行なうことができる。予め、酸二無
水物成分あるいはジアミン成分の何れか一方を有機溶剤
中に溶解あるいは懸濁させておき、他方の成分を粉末又
は液状あるいは有機溶剤に溶解した状態で徐々に添加す
る。反応は発熱を伴うため、望ましくは冷却しながら反
応系の温度を室温付近に保って実施する。
応は、公知の方法で行なうことができる。予め、酸二無
水物成分あるいはジアミン成分の何れか一方を有機溶剤
中に溶解あるいは懸濁させておき、他方の成分を粉末又
は液状あるいは有機溶剤に溶解した状態で徐々に添加す
る。反応は発熱を伴うため、望ましくは冷却しながら反
応系の温度を室温付近に保って実施する。
【0014】酸二無水物成分とジアミン成分のモル比
(A+B+C)/Dは、当量付近、特に0.8〜1.2の範囲
にあるのが望ましい。何れか一方が多くなり過ぎると、
分子量が高くならず、耐熱性、機械特性が低下するので
好ましくない。室温付近で反応させ、ポリアミド酸を合
成した後、加熱あるいは無水酢酸/ピリジン系触媒を用
いる等公知の方法によりイミド化を実施することができ
る。イミド化率は少なくとも80%以上であることが望ま
しい。イミド化率が80%よりも低いと後にフィルム化し
て熱圧着する際にイミド化が進行して水分が発生し、ボ
イドの原因となって接着強度の低下を招くので好ましく
ない。
(A+B+C)/Dは、当量付近、特に0.8〜1.2の範囲
にあるのが望ましい。何れか一方が多くなり過ぎると、
分子量が高くならず、耐熱性、機械特性が低下するので
好ましくない。室温付近で反応させ、ポリアミド酸を合
成した後、加熱あるいは無水酢酸/ピリジン系触媒を用
いる等公知の方法によりイミド化を実施することができ
る。イミド化率は少なくとも80%以上であることが望ま
しい。イミド化率が80%よりも低いと後にフィルム化し
て熱圧着する際にイミド化が進行して水分が発生し、ボ
イドの原因となって接着強度の低下を招くので好ましく
ない。
【0015】(A+B)/(A+B+C+D)の値は、
0.3〜0.55であることが必要であり、0.3未満であると熱
溶融性が低下してしまい、少なくとも300℃以上、ある
いは50kgf/cm2以上の熱圧着条件が必要となり、量産性
の点で好ましくない。0.3以上であれば、250℃以下の温
度で、しかも20kgf/cm2以下の圧力下、10分以内の短時
間で熱圧着でき、良好な接着強度を達成することができ
る。
0.3〜0.55であることが必要であり、0.3未満であると熱
溶融性が低下してしまい、少なくとも300℃以上、ある
いは50kgf/cm2以上の熱圧着条件が必要となり、量産性
の点で好ましくない。0.3以上であれば、250℃以下の温
度で、しかも20kgf/cm2以下の圧力下、10分以内の短時
間で熱圧着でき、良好な接着強度を達成することができ
る。
【0016】本発明においては、ODPA又は酸末端シ
リコーン化合物の少なくともどちらか一方が必須成分と
して含まれていることが必要である。ODPAと酸末端
シリコーン化合物は、その構造上の特徴により、ポリイ
ミド中に少なくともそのどちらか一方が上述のモル比を
満たすように含まれることによって、熱溶融性に優れ、
接着強度も良好であり、耐熱性とのバランスにも優れた
フィルム状接着剤を得ることができる。
リコーン化合物の少なくともどちらか一方が必須成分と
して含まれていることが必要である。ODPAと酸末端
シリコーン化合物は、その構造上の特徴により、ポリイ
ミド中に少なくともそのどちらか一方が上述のモル比を
満たすように含まれることによって、熱溶融性に優れ、
接着強度も良好であり、耐熱性とのバランスにも優れた
フィルム状接着剤を得ることができる。
【0017】本発明において用いられる有機溶剤は特に
限定されるものではないが、均一溶解可能なものなら
ば、一種類或いは二種類以上を併用した混合溶媒であっ
ても差し支えない。この種の溶媒として代表的なもの
は、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトア
ミド、N,N-ジエチルホルムアミド、N,N-ジエチルアセト
アミド、N,N-ジメチルメトキシアセトアミド、ジメチル
スルホキシド、ヘキサメチルフォスホアミド、N-メチル
-2-ピロリドン、ピリジン、ジメチルスルホン、テトラ
メチルスルホン、ジメチルテトラメチレンスルホン、γ
-ブチロラクトン、ジグライム、テトラヒドロフラン、
塩化メチレン、ジオキサン、シクロヘキサノン等があ
り、均一に溶解できる範囲で貧溶媒を揮散調節剤、皮膜
平滑剤などとして使用することもできる。
限定されるものではないが、均一溶解可能なものなら
ば、一種類或いは二種類以上を併用した混合溶媒であっ
ても差し支えない。この種の溶媒として代表的なもの
は、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトア
ミド、N,N-ジエチルホルムアミド、N,N-ジエチルアセト
アミド、N,N-ジメチルメトキシアセトアミド、ジメチル
スルホキシド、ヘキサメチルフォスホアミド、N-メチル
-2-ピロリドン、ピリジン、ジメチルスルホン、テトラ
メチルスルホン、ジメチルテトラメチレンスルホン、γ
-ブチロラクトン、ジグライム、テトラヒドロフラン、
塩化メチレン、ジオキサン、シクロヘキサノン等があ
り、均一に溶解できる範囲で貧溶媒を揮散調節剤、皮膜
平滑剤などとして使用することもできる。
【0018】本発明において用いられる導電性フィラー
は、特に限定されるものではないが、通常好ましく用い
られるものとして例を挙げると、金、銀、銅、ニッケ
ル、アルミニウム等であり、使用目的に応じてこれらを
単独又は混合して用いることができる。通常、このよう
な導電性フィラーの添加量は、樹脂に対して50〜900%
となるように用いるのが好ましい。50wt%未満では得ら
れるフィルム状接着層の導電性が発揮されないので好ま
しくなく、900wt%を越えるとバインダーである樹脂分
が少なくなるために、充分な接着強度が得られなくなる
ので好ましくない。形状は、特に制限されず、例えばフ
レーク状、樹枝状や球状等のものがあり、これらの金属
粉末の一種又は二種以上を混合して用いてもよい。粒径
についても特に限定されないが、最終接着層の厚さ、作
業性等を考慮すると、平均粒径は、50μm以下のものが
好ましい。
は、特に限定されるものではないが、通常好ましく用い
られるものとして例を挙げると、金、銀、銅、ニッケ
ル、アルミニウム等であり、使用目的に応じてこれらを
単独又は混合して用いることができる。通常、このよう
な導電性フィラーの添加量は、樹脂に対して50〜900%
となるように用いるのが好ましい。50wt%未満では得ら
れるフィルム状接着層の導電性が発揮されないので好ま
しくなく、900wt%を越えるとバインダーである樹脂分
が少なくなるために、充分な接着強度が得られなくなる
ので好ましくない。形状は、特に制限されず、例えばフ
レーク状、樹枝状や球状等のものがあり、これらの金属
粉末の一種又は二種以上を混合して用いてもよい。粒径
についても特に限定されないが、最終接着層の厚さ、作
業性等を考慮すると、平均粒径は、50μm以下のものが
好ましい。
【0019】本発明の熱圧着可能な導電性フィルム状接
着剤の使用方法としては、特に限定されるものではない
が、通常充分にイミド化されたワニスに導電性フィラー
を加えて、公知の分散装置である三本ロール、ボールミ
ル、擂潰機等により均一分散させ、ペースト状にしたも
のを、テフロン等の離型性に優れた基材に塗布した後、
加熱処理によって溶剤を揮散させてフィルム化し、基材
から剥がして導電性フィルムを得る。これを被接着体間
に挟んだ後、熱圧着する。または予め被着体の上に塗布
した後、加熱処理を施して充分に溶剤を揮散させた後、
一方の被着体と合わせて熱圧着することもできる。
着剤の使用方法としては、特に限定されるものではない
が、通常充分にイミド化されたワニスに導電性フィラー
を加えて、公知の分散装置である三本ロール、ボールミ
ル、擂潰機等により均一分散させ、ペースト状にしたも
のを、テフロン等の離型性に優れた基材に塗布した後、
加熱処理によって溶剤を揮散させてフィルム化し、基材
から剥がして導電性フィルムを得る。これを被接着体間
に挟んだ後、熱圧着する。または予め被着体の上に塗布
した後、加熱処理を施して充分に溶剤を揮散させた後、
一方の被着体と合わせて熱圧着することもできる。
【0020】また本発明の接着剤のベース樹脂であるポ
リイミドシロキサンには、必要に応じて各種添加剤を加
えることができる。例えば、基材に塗布する際の表面平
滑剤、濡れ性を高めるためのレベリング剤や各種界面活
性剤、シランカップリング剤、また接着剤の熱圧着後の
耐熱性を高めるための各種架橋剤などの添加剤である。
これらの添加剤は、フィルム状接着剤の特性を損わない
程度の量で使用することができる。
リイミドシロキサンには、必要に応じて各種添加剤を加
えることができる。例えば、基材に塗布する際の表面平
滑剤、濡れ性を高めるためのレベリング剤や各種界面活
性剤、シランカップリング剤、また接着剤の熱圧着後の
耐熱性を高めるための各種架橋剤などの添加剤である。
これらの添加剤は、フィルム状接着剤の特性を損わない
程度の量で使用することができる。
【0021】以下に実施例を以て本発明を具体的に説明
するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものでは
ない。
するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものでは
ない。
【0022】
(実施例1)温度計、撹拌機、原料投入口、乾燥窒素ガ
ス導入管を備えた四つ口のセパラブルフラスコ中に、1,
3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン(APB)29.23
g(0.1モル)を300gのN-メチル-2-ピロリドン(NM
P)に溶解させ、4,4'-オキシジフタル酸二無水物(O
DPA)15.51g(0.05モル)及び下記式の酸末端シリ
コーン化合物50.99g(0.05モル)
ス導入管を備えた四つ口のセパラブルフラスコ中に、1,
3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン(APB)29.23
g(0.1モル)を300gのN-メチル-2-ピロリドン(NM
P)に溶解させ、4,4'-オキシジフタル酸二無水物(O
DPA)15.51g(0.05モル)及び下記式の酸末端シリ
コーン化合物50.99g(0.05モル)
【0023】
【化3】
【0024】を30分間かけて粉状のまま徐々に添加した
後2時間撹拌を続けた。この間ずっと乾燥窒素ガスを流
しておき、更に酸無水物を添加する前から氷浴で冷却
し、系を反応の間ずっと20℃に保っておいた。
後2時間撹拌を続けた。この間ずっと乾燥窒素ガスを流
しておき、更に酸無水物を添加する前から氷浴で冷却
し、系を反応の間ずっと20℃に保っておいた。
【0025】次いで、この系にキシレン60gを添加し、
乾燥窒素導入管を外して、代りにディーンスターチ還流
冷却管を取付け、氷浴を外してオイルバスで加熱して系
の温度を上昇させる。イミド化に伴って生じる水をトル
エンとの共沸により系外へ除去しながら加熱を続け、15
0〜160℃でイミド化を進めて水が発生しなくなった5時
間後に反応を終了させた。このポリイミドワニスを30リ
ットルのメタノール中に撹拌しながら1時間かけて滴下
し、樹脂を沈澱させ、濾過して固形分のみを回収した
後、真空乾燥機中にて減圧下80℃で5時間乾燥させた。
このようにして得られたポリイミドシロキサンのFT-IR
スペクトルを測定し、1650cm-1に現れるイミド化前のア
ミド結合に基づく吸収と、1780cm-1に現れるイミド環に
基づく吸収からイミド化率を求めたところ、100%イミ
ド化されていることが判った。
乾燥窒素導入管を外して、代りにディーンスターチ還流
冷却管を取付け、氷浴を外してオイルバスで加熱して系
の温度を上昇させる。イミド化に伴って生じる水をトル
エンとの共沸により系外へ除去しながら加熱を続け、15
0〜160℃でイミド化を進めて水が発生しなくなった5時
間後に反応を終了させた。このポリイミドワニスを30リ
ットルのメタノール中に撹拌しながら1時間かけて滴下
し、樹脂を沈澱させ、濾過して固形分のみを回収した
後、真空乾燥機中にて減圧下80℃で5時間乾燥させた。
このようにして得られたポリイミドシロキサンのFT-IR
スペクトルを測定し、1650cm-1に現れるイミド化前のア
ミド結合に基づく吸収と、1780cm-1に現れるイミド環に
基づく吸収からイミド化率を求めたところ、100%イミ
ド化されていることが判った。
【0026】このポリイミドシロキサンをジエチレング
リコールジメチルエーテル(ジグライム)に溶解させ、
濃度10%に調整した。このワニスに、平均粒径3μmの
銀粉をポリイミドシロキサンに対して400wt%となるよ
うに加え、三本ロールを用いて均一に分散させ、ペース
ト状物を得た。このペーストをアプリケータを用いて表
面研磨されたテフロン板の上にキャストし、乾燥機中で
120℃、5時間加熱処理をすることによって溶剤を揮散
させ、テフロン基板から剥がして、厚み25μmのフィル
ムを作成した。このフィルムから、3mm×3.5mm角の大き
さを切出し、銅製のリードフレームと、3mm×3.5mm角の
大きさのシリコンチップの間に挟み、200℃のホットプ
レート上で500gの荷重をかけ(約4.76kgf/cm2)、10
秒で熱圧着した後、室温まで冷却してプッシュプルゲー
ジで剪断強度を測定したところ、10kgf以上の値のとこ
ろでシリコンチップが破壊して正確な剪断強度が得られ
ない程、強固に接着していた。次に、260℃のホットプ
レート上に10秒間、同様の接着サンプルを置いて剪断強
度を測定したところ、1.3kgfの強度が得られた。破壊の
モードは凝集破壊であり、リードフレームにもチップに
もフィルムの一部が残っていた。またフィルムにはボイ
ドは全く認められなかった。このフィルムの体積抵抗率
を測定したところ、1×10-4[Ω-cm]であり、導電性に
優れていることを確認した。
リコールジメチルエーテル(ジグライム)に溶解させ、
濃度10%に調整した。このワニスに、平均粒径3μmの
銀粉をポリイミドシロキサンに対して400wt%となるよ
うに加え、三本ロールを用いて均一に分散させ、ペース
ト状物を得た。このペーストをアプリケータを用いて表
面研磨されたテフロン板の上にキャストし、乾燥機中で
120℃、5時間加熱処理をすることによって溶剤を揮散
させ、テフロン基板から剥がして、厚み25μmのフィル
ムを作成した。このフィルムから、3mm×3.5mm角の大き
さを切出し、銅製のリードフレームと、3mm×3.5mm角の
大きさのシリコンチップの間に挟み、200℃のホットプ
レート上で500gの荷重をかけ(約4.76kgf/cm2)、10
秒で熱圧着した後、室温まで冷却してプッシュプルゲー
ジで剪断強度を測定したところ、10kgf以上の値のとこ
ろでシリコンチップが破壊して正確な剪断強度が得られ
ない程、強固に接着していた。次に、260℃のホットプ
レート上に10秒間、同様の接着サンプルを置いて剪断強
度を測定したところ、1.3kgfの強度が得られた。破壊の
モードは凝集破壊であり、リードフレームにもチップに
もフィルムの一部が残っていた。またフィルムにはボイ
ドは全く認められなかった。このフィルムの体積抵抗率
を測定したところ、1×10-4[Ω-cm]であり、導電性に
優れていることを確認した。
【0027】(実施例2)酸無水物成分として、ODP
A9.31g(0.03モル)、下記式の酸末端シリコーン化合
物31.68g(0.03モル)
A9.31g(0.03モル)、下記式の酸末端シリコーン化合
物31.68g(0.03モル)
【0028】
【化4】
【0029】3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン
酸二無水物(BTDA)12.89g(0.04モル)及びジア
ミン成分として、APB14.62g(0.05モル)、2,4-ジ
アミノトルエン6.11g(0.05モル)を用いた以外は実施
例1と同様の方法によってポリイミドシロキサンを得、
イミド化率を測定したところ、100%であった。
酸二無水物(BTDA)12.89g(0.04モル)及びジア
ミン成分として、APB14.62g(0.05モル)、2,4-ジ
アミノトルエン6.11g(0.05モル)を用いた以外は実施
例1と同様の方法によってポリイミドシロキサンを得、
イミド化率を測定したところ、100%であった。
【0030】この樹脂をジグライムとブチルセルソルブ
アセテート(BCA)の1対1混合溶媒で溶解し、濃度
15%に調整した。このワニスに、平均粒径3μmの銀粉
並びにニッケル粉をポリイミドシロキサンに対してそれ
ぞれ300wt%、150wt%となるよう添加し、三本ロールを
用いて均一に分散してペースト状物を得た。このペース
トをアプリケータを用いて表面研磨したテフロン板の上
にキャストし、乾燥機中で120℃、5時間加熱処理して
溶剤を揮散させた後、テフロン基板から剥がして厚さ25
μmのフィルムを作成した。このフィルムから3mm×3.5m
m角の大きさを切り出し、銅製のリードフレームと3mm×
3.5mm角の大きさのシリコンチップの間に挟み、250℃の
ホットプレート上で500gの荷重を10秒かけ接着した。
室温で剪断強度を測定したところ、10kgf以上でシリコ
ンチップが破壊した。次に、260℃のホットプレート上
に10秒間、同様の接着サンプルを置いて剪断強度を測定
したところ、1.6kgfであった。接着フィルム面にはボイ
ドは全く認められなかった。このフィルムの体積抵抗率
を測定したところ、1.5×10-4[Ω-cm]であり、導電性で
あることが確認された。
アセテート(BCA)の1対1混合溶媒で溶解し、濃度
15%に調整した。このワニスに、平均粒径3μmの銀粉
並びにニッケル粉をポリイミドシロキサンに対してそれ
ぞれ300wt%、150wt%となるよう添加し、三本ロールを
用いて均一に分散してペースト状物を得た。このペース
トをアプリケータを用いて表面研磨したテフロン板の上
にキャストし、乾燥機中で120℃、5時間加熱処理して
溶剤を揮散させた後、テフロン基板から剥がして厚さ25
μmのフィルムを作成した。このフィルムから3mm×3.5m
m角の大きさを切り出し、銅製のリードフレームと3mm×
3.5mm角の大きさのシリコンチップの間に挟み、250℃の
ホットプレート上で500gの荷重を10秒かけ接着した。
室温で剪断強度を測定したところ、10kgf以上でシリコ
ンチップが破壊した。次に、260℃のホットプレート上
に10秒間、同様の接着サンプルを置いて剪断強度を測定
したところ、1.6kgfであった。接着フィルム面にはボイ
ドは全く認められなかった。このフィルムの体積抵抗率
を測定したところ、1.5×10-4[Ω-cm]であり、導電性で
あることが確認された。
【0031】(実施例3〜5及び比較例1〜5)ポリイ
ミドシロキサンの組成、イミド化時間、導電性フィラー
の種類、添加量以外は全て実施例1の方法と同様に行な
い、表1の結果を得た。
ミドシロキサンの組成、イミド化時間、導電性フィラー
の種類、添加量以外は全て実施例1の方法と同様に行な
い、表1の結果を得た。
【0032】
【表1】
【0033】実施例1、2並びに表1の実施例3〜5の
ように、ODPAと酸末端シリコーン化合物が全体の樹
脂組成のうち、モル数の割合で0.3〜0.55であり、酸無
水物とジアミンのモル比が0.8〜1.2の範囲にあり、イミ
ド化率が80%以上のポリイミドシロキサンを用いて、導
電性フィラーを樹脂に対して50〜900wt%の割合で均一
分散させ用いてフィルム化したものは、250℃以下の比
較的低い温度で、しかも10kgf/cm2以下という比較的低
い圧力で、10秒間という短時間の熱圧着条件で強固な接
着強度が得られ、さらに260℃という高温においても1.0
kgf以上の接着強度を有していた。また得られた接着フ
ィルムの体積抵抗率で全て1×10-3[Ω-cm]以下であ
り、良好な導電性を有していた。
ように、ODPAと酸末端シリコーン化合物が全体の樹
脂組成のうち、モル数の割合で0.3〜0.55であり、酸無
水物とジアミンのモル比が0.8〜1.2の範囲にあり、イミ
ド化率が80%以上のポリイミドシロキサンを用いて、導
電性フィラーを樹脂に対して50〜900wt%の割合で均一
分散させ用いてフィルム化したものは、250℃以下の比
較的低い温度で、しかも10kgf/cm2以下という比較的低
い圧力で、10秒間という短時間の熱圧着条件で強固な接
着強度が得られ、さらに260℃という高温においても1.0
kgf以上の接着強度を有していた。また得られた接着フ
ィルムの体積抵抗率で全て1×10-3[Ω-cm]以下であ
り、良好な導電性を有していた。
【0034】一方、比較例1のようにODPA、酸末端
シリコーン化合物の全体の樹脂組成に占める割合がモル
比で0.3未満となると、250℃、5kgf/cm2、10秒の熱圧
着条件では充分な接着強度が得られなかった。比較例2
のように、導電性フィラーの添加量が樹脂分に対して50
wt%未満になると、充分な導電性が得られなかった。ま
た逆に比較例3のように、フィラーの添加量が900wt%
を越えると、接着成分である樹脂量が不足し、充分な接
着強度が得られなかった。比較例4のように、酸二無水
物とジアミンとの反応の当量比が一方に極端にずれる
と、樹脂の分子量が上がらず、充分な接着強度が得られ
なかった。比較例5のようにイミド化率が80%未満であ
ると、熱圧着後のフィルム面にボイドが発生してしまう
ため、充分な接着強度が得られなかった。以上のように
本発明の条件以外では良好な結果を得ることができなか
った。
シリコーン化合物の全体の樹脂組成に占める割合がモル
比で0.3未満となると、250℃、5kgf/cm2、10秒の熱圧
着条件では充分な接着強度が得られなかった。比較例2
のように、導電性フィラーの添加量が樹脂分に対して50
wt%未満になると、充分な導電性が得られなかった。ま
た逆に比較例3のように、フィラーの添加量が900wt%
を越えると、接着成分である樹脂量が不足し、充分な接
着強度が得られなかった。比較例4のように、酸二無水
物とジアミンとの反応の当量比が一方に極端にずれる
と、樹脂の分子量が上がらず、充分な接着強度が得られ
なかった。比較例5のようにイミド化率が80%未満であ
ると、熱圧着後のフィルム面にボイドが発生してしまう
ため、充分な接着強度が得られなかった。以上のように
本発明の条件以外では良好な結果を得ることができなか
った。
【0035】
【発明の効果】本発明の熱圧着可能なフィルム状接着剤
は、銅、シリコンなどの金属、セラミックスへの接着性
に優れており、室温だけでなく、260℃のような半田溶
融温度でも充分な接着強度を有する耐熱性に優れたもの
である。また接着層は充分な導電性を有していた。しか
も従来にない、低温、低圧、短時間で熱圧着できる量産
性の点においても有利な導電性フィルム状接着剤を得る
ことができる。
は、銅、シリコンなどの金属、セラミックスへの接着性
に優れており、室温だけでなく、260℃のような半田溶
融温度でも充分な接着強度を有する耐熱性に優れたもの
である。また接着層は充分な導電性を有していた。しか
も従来にない、低温、低圧、短時間で熱圧着できる量産
性の点においても有利な導電性フィルム状接着剤を得る
ことができる。
Claims (1)
- 【請求項1】 4,4'-オキシジフタル酸二無水物Aモル
及び式(1)で表わされる酸無水物末端シリコーン化合
物Bモル及び他の酸二無水物成分Cモルを含む酸成分
と、ジアミン成分Dモルとを、4,4'-オキシジフタル酸
二無水物又は酸末端シリコーン化合物の少なくともどち
らか一方を必須成分とし、(A+B)/(A+B+C+
D)が0.3〜0.55、(A+B+C)/Dが0.8〜1.2の範
囲で反応させ、少なくとも80%以上がイミド化されてい
るポリイミドシロキサンと、ポリイミドシロキサンに対
して50〜900wt%の導電性フィラーとからなる熱圧着可
能な導電性フィルム状接着剤。 【化1】
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3287912A JPH05125334A (ja) | 1991-11-01 | 1991-11-01 | 熱圧着可能な導電性フイルム状接着剤 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3287912A JPH05125334A (ja) | 1991-11-01 | 1991-11-01 | 熱圧着可能な導電性フイルム状接着剤 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05125334A true JPH05125334A (ja) | 1993-05-21 |
Family
ID=17723338
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3287912A Pending JPH05125334A (ja) | 1991-11-01 | 1991-11-01 | 熱圧着可能な導電性フイルム状接着剤 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05125334A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003041218A (ja) * | 2000-08-31 | 2003-02-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 導電性接着剤およびこれを用いた実装構造体 |
US7781541B2 (en) * | 2006-02-15 | 2010-08-24 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Polyimide silicone resin and thermosetting composition comprising the same |
JP2012004200A (ja) * | 2010-06-15 | 2012-01-05 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 薄型ウエハの製造方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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